JP2003042958A

JP2003042958A - 被検査体の搬送検査装置

Info

Publication number: JP2003042958A
Application number: JP2001229124A
Authority: JP
Inventors: Koichi Kajiyama; 康一梶山
Original assignee: V Technology Co Ltd
Current assignee: V Technology Co Ltd
Priority date: 2001-07-30
Filing date: 2001-07-30
Publication date: 2003-02-13

Abstract

(57)【要約】（修正有）【課題】循環型の被検査体の搬送検査装置おいて、被検
査を搬送している間に配管や配線の捩れを生じさせず、
従来の配線、配管類を不要としてコストやゴミを削減
し、また、被検査体の形状を矩形に制限することなく円
滑に搬送し検査することができ、更に、大きさが種々に
異なる液晶板等々の被検査体の検査工程中の搬送時にお
ける位置決め把持を迅速、且つ、正確に実行でき、検査
時間の短縮化と被検査体の損傷防止とを図る。【解決手段】液晶板形成用の被検査体１０を搬送コンベ
ア２により搬送しつつ光源３及びラインＣＣＤ４を有す
る検査光学系を用いて前記被検査体１０を走査すること
により液晶部の欠陥検査を行う被検査体１０の搬送検査
装置１であって、前記搬送コンベア２による被検査体１
０の搬送方向中央部位置に、前記被検査体１０の搬入位
置にて把持し、搬出位置にて把持解除を行う把持体５を
設けたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶板等の
ような被検査体の位置決め搬送装置に関するものであ
る。

【従来の技術】従来、各種デイスプレイ装置等に使用さ
れる液晶基板の製作は、例えば７００ｍｍ×９００ｍｍ
のガラス基板上に６個の１４インチ又は１６インチのＴ
ＦＴ（ＴｈｉｎＦｉｌｍＴｒａｎｓｉｓｔｏｒ）を
張り合わせて、更にＣＦ（ＣｏｌｏｒＦｉｌｔｅｒ）
を張り合わせ、これを切り取って製作される。上記ＴＦ
Ｔは５０万×３個（Ｒ，Ｇ，Ｂ三色）のトランジスター
群によって構成される。そして、上記ＴＦＴの欠陥検査
は、一つの大きさがほぼ２０μｍ位で、７００ｍｍの寸
法の中で３６，０００点を検査することになる。このよ
うな検査は、従来における被検査体の搬送検査装置を示
す図１３に示すように、通常搬送コンベア１０１により
３０ｃｍ／ｓｅｃ程度の速度で矢印方向に搬送される途
中のガラス基板（ワーク）１００に対する光源１１１と
リニアＣＣＤ（例えば８個使用）１１２を用いた検査手
段により４０ＭＢ／ｓｅｃ程度の取り込み速度による画
像取り込み処理によって行われる。ガラス基板１００
は、搬送コンベア１０１により搬送される際に、搬送コ
ンベア１０１に連動するように設けた把持体（チャッ
ク）１０２により搬送方向に沿う両端縁部を把持されて
位置決めされつつ搬送される。搬送コンベア１０１によ
り被検査体である例えばガラス基板１００等を搬送する
ようにしたいわゆる循環型の搬送機構（図１参照）の先
行技術としては、本発明の出願人と同出願人の特願２０
００−１２２５２７が参考となる。

【発明が解決しようとする課題】しなしながら、搬送コ
ンベア１０１により被検査体である例えばガラス基板１
００等を搬送するようにしたいわゆる循環型の搬送機構
にガラス基板１００を把持するための後記するような把
持体を取り付けた場合、その駆動力を空気圧や電気など
で供給することが困難なことであり、この点が大きな問
題となる。すなわち、従来のこの種の搬送方法では、そ
の動力をはじめとする各種の電線や空気配管を必要とす
る関係上、図１に示すような循環型の搬送機構を使用す
る場合、その動力として電線や空気配管の配管や配線を
使用すると、ガラス基板１００を搬送している間に配管
や配線の捩れが生じてしまい使用不可となってしまう。
一方、上述した従釆の被検査体の位置決め搬送装置は、
被検査体であるガラス基板１００の大きさが、図５中に
示すように、例えばガラス基板１００よりも小さいガラ
ス基板１００ａを検査する場合も存在し、逆にガラス基
板１００よりも大きいガラス基板を検査する場合等、被
検査体であるガラス基板１００のすべてが同じ大きさで
はないことから、このような被検査体であるガラス基板
の大小に応じてその都度、被検査体であるガラス基板を
各々把持する把持体１０２による掴み位置を個別に調整
し変更する必要がある。また、被検査体であるガラス基
板１００における把持体用の掴み代は、例えば３．５ｍ
ｍ程度しか設けられておらず、把持体１０２の掴み位置
を変更しながら３．５ｍｍ程度の掴み代を正確に掴むこ
とは容易ではなく、把持体１０２とガラス基板１００と
の位置合わせのために、例えばガラス基板１００の後戻
り搬送を要する等、１０ｓｅｃ程度の位置合わせ時間を
要し、１個の被検査体であるガラス基板１００に対する
検査時間（検査タクト）が３０ｓｅｃ程度以内であるこ
とを考慮すると、１０ｓｅｃ程度の位置合わせ時間を要
することは検査能率を低下させるという問題があり、上
述した位置合わせ時間の短縮化が要請されているところ
である。また、上述したような１０ｓｅｃ程度の時間を
要する把持体１０２と被検査体であるガラス基板１００
との位置合わせを行った場合、ガラス基板１００を傷付
ける虞があり、ガラス基板１００の単体価格が数万円程
度と非常に高価格であることを考慮すると、上述した把
持体１０２とガラス基板１００との位置合わせ工程の改
善が格別要請されているところである。本発明は、上述
した従来の諸事情に鑑み開発されたものであり、いわゆ
る循環型の搬送機構において被検査体を把持するための
動力を搬送駆動機構の外部に設けることにより、前記従
来のような被検査体（例えばガラス基板等）を搬送して
いる間に配管や配線の捩れが生じてしまい搬送不可とな
ってしまうような事態を解消するとともに、従来のよう
な配線、配管類が不要となることにより、コストやゴミ
の発生が大きく削減でき、また、被検査体の形状を矩形
に制限することなく搬送し検査でき、更に、大きさが種
々に異なる例えば液晶板等の被検査体の検査工程中の搬
送時における位置決め把持を迅速、且つ、正確に実行で
き、検査時間の短縮化と被検査体の損傷防止とを図るこ
とが可能な被検査体の搬送検査装置を提供するものであ
る。

【課題を解決するための手段】請求項１記載の発明は、
被検査体を搬送手段により搬送しつつ検査光学系を用い
て前記被検査体を走査することにより被検査体の欠陥検
査を行う被検査体の搬送検査装置であって、前記搬送手
段による被検査体の搬送方向中央部位置に、前記被検査
体の搬入位置から搬出位置に至るまで前記被検査体を位
置決め把持し、搬出位置にて把持解除を行うとともに、
搬送手段の外方に具備した駆動機構により駆動する把持
及び解除機構部を設けたことを特徴とするものである。
請求項２記載の発明は、請求項１記載の被検査体の搬送
検査装置において、前記把持及び解除機構部は、被検査
体の搬送方向中央部位置に臨ませる上チャック片、下チ
ャック片を備えた本体部と、本体部の外方に突出配置さ
れ、前記被検査体の搬入位置、搬出位置にて押圧力が作
用する作動体と、前記本体部内に上下対向配置に、且
つ、各々上下方向にスライド可能に配置されるととも
に、前記上チャック片、下チャック片に各々連結した上
チャック板、下チャック板と、前記作動体に作用する押
圧力を上チャック板に伝達する操作シャフトと、前記上
チャック板、下チャック板間に亙って設けられ、前記上
チャック板に伝達される押圧力に連動して、前記上チャ
ック片、下チャック片間を被検査体の把持及び把持解除
可能な開状態とするリンク部と、前記上チャック片に対
して常時前記上チャック片、下チャック片間の閉方向の
ばね力を付与する弾性体とを有することを特徴とするも
のである。請求項１、２記載の各発明によれば、この種
のいわゆる循環型の被検査体の搬送検査装置において被
検査体を把持するための動力を搬送駆動機構の外部に設
ける（動力を含む全ての配線類を駆動機構内部に具備し
ない）ことにより、前記従来のような被検査体である例
えばガラス基板等を搬送している間に配管や配線の捩れ
が生じてしまい搬送不可となってしまうような事態を解
消できるとともに、従来のような配線、配管類が不要と
なることにより、コストやゴミの発生が大きく削減で
き、また、被検査体の形状を矩形に制限することなく搬
送し検査でき、更に、搬送手段上に受け入れた例えば液
晶板のような被検査体の位置決め搬送を迅速、且つ、円
滑に行ない、被検査体の後戻し等も不要であり、欠陥検
査工程終了後自動的に次工程へ搬出できるので、検査時
間をの短縮化が図ることができる。また、搬入されてく
る被検査体に対して、被検査体の搬入位置にて前記把持
及び解除機構部を構成する前記作動体の動作に連動する
把持体の上チャック板、下チャック板に設けた上チャッ
ク片、下チャック片により、その搬送方向中央部位置の
掴み代の部分を速やか把持し、また、被検査体の搬出位
置にて上チャック片、下チャック片により把持解除を行
うようにしているので、被検査体であるガラス基板の大
小に応じてその都度ガラス基板を各々把持する把持体に
よる掴み位置を個別に調整し変更する必要がなく、如何
なるサイズの被検査体であるガラス基板にも即時に対応
でき、掴みクラック（微少な破損で広がるのでダメージ
が大きい）等の損傷を防止することもできる。

【発明の実施の形態】以下に、本発明に係るいわゆる循
環型の被検査体（例えばガラス基板等）の搬送検査装置
の実施の形態を図１乃至図１２を参照して詳細に説明す
る。図１は、本発明に係る実施の形態の被検査体１０の
搬送検査装置１の概略構成を示すものであり、この被検
査体の搬送検査装置１は、例えば矩形状等々液晶板形成
用の被検査体１０を、搬送手段である一対の無端の回転
フレーム２ａ、２ｂを用いた搬送コンベア２により搬送
し、光源３及びラインＣＣＤ（ラインセンサ）４を有す
る検査光学系を用いて前記被検査体１０の被検査体面
（以下「検査面」という）を走査することにより、この
検査面に設けられているＴＦＴ等の液晶部の欠陥検査を
行うようになっている。前記搬送コンベア２による被検
査体１０の搬送方向中央部位置（搬送コンベア２の幅寸
法をＬとすると、Ｌ／２となる位置）には、前記被検査
体１０の搬入位置から搬出位置に至るまでこの被検査体
１０の搬送方向先端縁に設けられている掴み代を位置決
め把持する把持及び解除機構部を構成する把持体５を設
けている。本実施の形態ではこの把持体５は、例えば搬
送コンベア２の全周長を２分割する位置に合計２箇所設
けている。すなわち、一方の把持及び解除機構部の把持
体５は、搬送コンベア２の回転フレーム２ａ、２ｂに対
して、金属板に４個の小さいローラー２２を上部に比べ
下部の間隔を小さくして、上下に２個取り付けて構成し
た２個のラック２３、２３を各々移動可能に配置し、２
個の各ラック２３、２３間に連結板２４を掛け渡し、連
結板２４の搬送方向中央部位置に前記把持体５を取り付
けている。そして、連結板２４を図示しないワイヤー駆
動機構により搬送コンベア２の回転フレーム２ａ、２ｂ
に沿って移動させるようにしている。他方の把持及び解
除機構部の把持体５も同様な構成からなり、光源３から
ラインＣＣＤ４への検査光路を妨げない配置で取り付け
ている。前記搬送コンベア２の前段には、被検査体１０
用の搬入ローラコンベア２６が設けられ、前記搬送コン
ベア２の後段には、被検査体１０用の搬出ローラコンベ
ア２７が設けられている。ここで、前記把持及び解除機
構部を構成する把持体５について、図５乃至図１１を参
照して詳述する。この把持体５は、図５乃至図７に示す
ように、連結板２４に取り付けた全体として略直方体状
の本体部３０と、この本体部３０の外方、例えば、図示
すように、本体部３０の底面下方に突出させた把持動
作、把持解除動作を行うための作動体３１とを有してい
る。すなわち、本実施の形態では、搬送手段の外方に具
備した駆動機構により駆動する把持及び解除機構部を設
けている。本体部３０は、夫々矩形状の上プレート３
２、一対の側プレート３３ａ及び３３ｂ、下プレート３
４を備え、これらの所要箇所をボルト４０を用いて各々
接合連結し、内部に直方体状の空間を形成している。そ
して、本体部３０には、各々側プレート３３ａ、３３ｂ
の近傍に位置して上プレート３２、下プレート３４間に
両端を嵌着した一対のリニアガイド３５及び３５を垂直
配置に取り付けている。一対のリニアガイド３５、３５
には、上下対向配置の上チャック板３６、下チャック板
３７を、平行配置に、且つ、各々リニアガイド３５、３
５に対して各々環状ブッシュ３８を用いて垂直上下方向
にスライド可能に嵌装している。また、前記一対のリニ
アガイド３５、３５の間の領域において、上チャック板
３６の下面側に対して上端を嵌着しボルト４０により締
め付け固定するとともに、中間部を前記下チャック板３
７に対して環状ブッシュ３８を介してスライド可能な貫
通状態とし、更に下端側を前記下プレート３４を遊嵌状
態で貫通して下方に突出させた一対の操作シャフト３
９、３９を有している。この一対の操作シャフト３９、
３９の下端には、前記作動体３１を構成するブラケット
３１ａの上面両端部をボルト４０を用いて連結してい
る。前記作動体３１は、ブラケット３１ａに対して軸体
３１ｂを介してローラ３１ｃを回転可能に支持すること
により構成している。一方、前記上チャック板３６の上
面中央部に設けた凹部と、前記上プレート３２との間に
は、上チャック板３６に対して下方にばね力を付与する
コイルバネ５１が抑え板５２及びボルト４０を用いて配
置している。更に、前記上チャック板３６の図５、図６
において左側には、上チャック片３６が、前記下チャッ
ク板３７の図５、図６において左側には、上チャック片
３６ａと対向配置の下チャック片３７ａが各々ボルト４
０を用いて取り付けられ、上チャック片３６ａ、下チャ
ック片３７ａ間で、図１０に示すように、前記被検査体
１０の掴み代の部分を挟み込むように構成している。前
記上チャック板３６、下チャック板３７の図５、図６に
おいて左側（一対のリニアガイド３５、３５を挟んで反
対側）には、図５、図１０に示すように、前記作動体３
１の変位に連動して、前記上チャック板３６、下チャッ
ク板３７を接近、離脱させる、すなわち、上チャック板
３６と一体の環状ブッシュ３８と、下チャック板３７と
一体の環状ブッシュ３８とを接合状態から離隔状態とす
るリンク部４１が設けられている。このリンク部４１に
ついて、図１１、図１２をも参照して説明する。このリ
ンク部４１は、前記側プレート３３ａ、３３ｂ間に軸受
４３を用いて回動可能に架設したセンター軸４２と、こ
のセンター軸４２に嵌着した回動体４４と、前記上チャ
ック板３６、下チャック板３７に各々ボルト４０を用い
て取り付けた一対のヒンジブラケット４５、４６と、上
チャック板３６側のヒンジブラケット４５の突出端と、
回動体４４の外周部との間に両端をそれぞれ回動可能に
取り付けた上アーム４７と、下チャック板３７側のヒン
ジブラケット４６の突出端と、回動体４４の外周部にお
ける前記上アーム４７の取り付け位置とはセンター軸４
２を挟んで対称となる位置との間に、両端を各々回動可
能に取り付けた下アーム４８とを具備している。上述し
た搬送検査装置１の作用を以下に説明する。搬入ローラ
コンベア２６により次々とタイミング良く運び込こまれ
る被検査体１０は、搬送コンベア２に受け渡され（図
２）、このとき、所定のタイミングで前記前記把持及び
解除機構部の把持体５により搬送方向中央部位置の掴み
代の部分を把持されて位置決めされる。すなわち、搬入
ローラコンベア２６から押し出される力で、液晶板形成
用の被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴み代の部分
が把持体５に挟まれるような形態となる。更に具体的に
説明すると、把持体５は、被検査体１０が搬送コンベア
２に受け渡されまでは、図１０に示すように前記上チャ
ック片３６ａ、下チャック片３７ａが閉じた状態で掴み
位置に至り、掴み位置にて図示しない押圧部が前記作動
体３１のローラ３１ｃを上方に押す。すると、前記ロー
ラ３１ｃの上方への変位に連動して前記一対の操作シャ
フト３９、３９及び上チャック板３６もコイルバネ５１
のバネ力に抗して上方へ変位し、これにより、前記リン
ク部４１の上アーム４７が図１０において回動体４４を
時計方向に回動させ、下アーム４８を変位させて下チャ
ック板３７を下降させる。この結果、上チャック片３６
ａ、下チャック片３７ａは相互の間隔が開いた図６に示
す状態となり、上チャック片３６ａ、下チャック片３７
ａ間に、被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴み代の
部分が挟まれる。このとき、前記コイルバネ５１のバネ
力が上チャック板３６に作用しているので、被検査体１
０の挟み状態は維持される。そして、搬送コンベア２の
矢印方向への移動とともに把持体５も被検査体１０を把
持しつつ移動し、光源３からラインＣＣＤ４への検査光
路を通過し（図３）、欠焔検査工程が終了した後、図４
に示す位置よりも少し先の位置である搬出端において、
把持体５は被検査体１０の把持状態を自動的に解除し、
これにより、被検査体１０は前記搬出ローラコンベア２
７へ搬出され、次工程へと運ばれる。具体的には、把持
体５により被検査体１０の搬送方向中央部位置の掴み代
の部分が把持された状態で搬出端に至った段階で図示し
ない押圧部が前記作動体３１のローラ３１ｃを上方に押
す。すると、ローラ３１ｃの上方への変位に連動して前
記一対の操作シャフト３９、３９及び上チャック板３６
も上方へ変位し、これにより、リンク部４１の上アーム
４７が図６において回動体４４を時計方向に回動させ、
下アーム４８を変位させて下チャック板３７を下降させ
る。この結果、上チャック片３６ａ、下チャック片３７
ａは相互の間隔が離隔する状態となり、上チャック片３
６ａ、下チャック片３７ａ間に挟まれていた被検査体１
０は解放状態になる。被検査体１０が解放された後は、
前記コイルバネ５１のバネ力により上チャック片３６
ａ、下チャック片３７ａは図１０に示す元の状態に復帰
する。このようにして、本実施の形態の搬送検査装置１
によれば、いわゆる循環型の被検査体１０の搬送検査装
置１において被検査体１０を把持する把持体５の動力を
含む全ての配線類を搬送検査装置１の外部に設ける（動
力を含む全ての配線類を駆動機構内部に具備しない）こ
とにより、前記従来のような被検査体である例えばガラ
ス基板等を搬送している間に配管や配線の捩れが生じて
しまい搬送不可となってしまうような事態を解消できる
とともに、従来のような配線、配管類が不要となること
により、コストやゴミの発生が大きく削減でき、また、
被検査体の形状を矩形に制限することなく円滑に搬送し
検査することができる。更に、本実施の形態の搬送検査
装置１によれば、被検査体１０の位置決め搬送を迅速、
且つ、円滑に行ない、前記従来例のような被検査体１０
の後戻し処理等が不要となり、欠陥検査工程終了後自動
的に次工程へ搬出でき、この結果、検査時間を大幅に短
縮できる。また、搬入されてくる被検査体１０に対し
て、前記肥持体５によりその搬送方向中央部位置の掴み
代の部分を速やか把持するようにしているので、前述し
た従来例の如く被検査体であるガラス基板の大小に応じ
てその都度、被検査体であるガラス基板を各々把持する
把持体１０２による掴み位置を個別に調整し変更する必
要がなく、更に、掴みクラック（微少な破損で広がるの
でダメージが大きい）等の損傷を防止することができ、
被検査体１０の品質を維持したまま次工程へと搬出でき
る。

【発明の効果】本発明によれば、上述した構成としたこ
とにより、いわゆる循環型の被検査体の搬送検査装置に
おいて前記従来のような被検査体である例えばガラス基
板等を搬送している間に配管や配線の捩れが生じてしま
い搬送不可となってしまうような事態を解消できるとと
もに、従来のような配線、配管類が不要となることによ
り、コストやゴミの発生が大きく削減でき、また、被検
査体の形状を矩形に制限することなく円滑に搬送し検査
することができ、更に、搬送手段上に受け入れた例えば
液晶板のような被検査体の位置決め搬送を迅速、且つ、
円滑に行ない、被検査体の後戻し等も不要であり、欠陥
検査工程終了後自動的に次工程へ撒出できるので、検査
時間をの短縮化が図ることができる。また、本発明によ
れば、搬入されてくる被検査体に対して、被検査体の搬
入位置にて上チャック片、下チャック片によりその搬送
方向中央部位置の掴み代の部分を速やか把持し、また、
被検査体の搬出位置にて上チャック片、下チャック片に
より把持解除を行うようにしているので、被検査体であ
るガラス基板の大小に応じてその都度ガラス基板を各々
把持する把持体による掴み位置を個別に調整し変更する
必要がなく、如何なるサイズの被検査体であるガラス基
板にも即時に対応でき、掴みクラック（微少な破損で広
がるのでダメージが大きい）等の損傷を防止することも
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態の被検査体の搬送検査装置
の概略構成を示すものである。

【図２】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬入時
の動作説明図である。

【図３】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬送途
中の動作説明図である。

【図４】本実施の形態の搬送検査装置の被検査体搬出直
前の動作説明図である。

【図５】本実施の形態の把持体の平面図である。

【図６】図５のＸ−Ｘ断面図である。

【図７】図５のＹ−Ｙ断面図である。

【図８】図７のＡ−Ａ断面図である。

【図９】図７のＢ−Ｂ断面図である。

【図１０】本実施の形態の把持体の閉状態の断面図であ
る。

【図１１】本実施の形態の把持体のリンク部の平面図で
ある。

【図１２】本実施の形態の把持体のリンク部の断面図で
ある。

【図１３】従来の被検査体の搬送検査装置の構成を示す
概略平面図である。

【符号の説明】

１搬送検査装置２搬送コンベア３光源４ラインＣＣＤ５把持体１０被検査体２３ラック２４連結板２６搬入ローラコンベア２７搬出ローラコンベア３０本体部３１作動体３１ａブラケット３１ｂ軸体３１ｃローラ３２上プレート３３ａ側プレート３３ｂ側プレート３４下プレート３５リニアガイド３６上チャック板３６ａ上チャック片３７下チャック板３７ａ下チャック片３８環状ブッシュ３９操作シャフト４０ボルト４１リンク部４２センター軸４３軸受４４回動体４５ヒンジブラケット４６ヒンジブラケット４７上アーム４８下アーム５１コイルバネ５２抑え板

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2G051 AA90 AB02 CA03 DA01 DA06 2G086 EE10 2H088 FA11 FA16 FA17 FA30 HA01 HA08 HA12 MA20 5F031 CA05 GA15 GA16 GA51 GA53 MA33

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査体を搬送手段により搬送しつつ検査
光学系を用いて前記被検査体を走査することにより被検
査体の欠陥検査を行う被検査体の搬送検査装置であっ
て、前記搬送手段による被検査体の搬送方向中央部位置に、
前記被検査体の搬入位置から搬出位置に至るまで前記被
検査体を位置決め把持し、搬出位置にて把持解除を行う
とともに、搬送手段の外方に具備した駆動機構により駆
動する把持及び解除機構部を設けたことを特徴とする被
検査体の搬送検査装置。
【請求項２】前記把持及び解除機構部は、被検査体の搬
送方向中央部位置に臨ませる上チャック片、下チャック
片を備えた本体部と、本体部の外方に突出配置され、前記被検査体の搬入位
置、搬出位置にて押圧力が作用する作動体と、前記本体部内に上下対向配置に、且つ、各々上下方向に
スライド可能に配置されるとともに前記上チャック片、
下チャック片に各々連結した上チャック板、下チャック
板と、前記作動体に作用する押圧力を上チャック板に伝達する
操作シャフトと、前記上チャック板、下チャック板間に亙って設けられ、
前記上チャック板に伝達される押圧力に連動して、前記
上チャック片、下チャック片間を被検査体の把持及び把
持解除可能な開状態とするリンク部と、前記上チャック片に対して常時前記上チャック片、下チ
ャック片間の閉方向のばね力を付与する弾性体と、を有することを特徴とする請求項１記載の被検査体の搬
送検査装置。