RU2009134480A - Устойчивые к воздействию воздуха распределители щелочных и щелочноземельных металлов - Google Patents

Устойчивые к воздействию воздуха распределители щелочных и щелочноземельных металлов Download PDF

Info

Publication number
RU2009134480A
RU2009134480A RU2009134480/07A RU2009134480A RU2009134480A RU 2009134480 A RU2009134480 A RU 2009134480A RU 2009134480/07 A RU2009134480/07 A RU 2009134480/07A RU 2009134480 A RU2009134480 A RU 2009134480A RU 2009134480 A RU2009134480 A RU 2009134480A
Authority
RU
Russia
Prior art keywords
coating
earth metal
alkaline earth
alkaline
distributor
Prior art date
Application number
RU2009134480/07A
Other languages
English (en)
Inventor
Джорджио ЛОНГОНИ (IT)
Джорджио ЛОНГОНИ
Марко АМИОТТИ (IT)
Марко АМИОТТИ
Original Assignee
Саес Геттерс С.п.А. (IT)
Саес Геттерс С.П.А.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Саес Геттерс С.п.А. (IT), Саес Геттерс С.П.А. filed Critical Саес Геттерс С.п.А. (IT)
Publication of RU2009134480A publication Critical patent/RU2009134480A/ru

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/94—Selection of substances for gas fillings; Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the tube, e.g. by gettering
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/20—Means for producing, introducing, or replenishing gas or vapour during operation of the tube or lamp
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J1/00—Details of electrodes, of magnetic control means, of screens, or of the mounting or spacing thereof, common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J1/02—Main electrodes
    • H01J1/13—Solid thermionic cathodes
    • H01J1/20—Cathodes heated indirectly by an electric current; Cathodes heated by electron or ion bombardment
    • H01J1/28—Dispenser-type cathodes, e.g. L-cathode
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J7/00—Details not provided for in the preceding groups and common to two or more basic types of discharge tubes or lamps
    • H01J7/14—Means for obtaining or maintaining the desired pressure within the vessel
    • H01J7/18—Means for absorbing or adsorbing gas, e.g. by gettering
    • H01J7/183—Composition or manufacture of getters
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/38—Exhausting, degassing, filling, or cleaning vessels
    • H01J9/39—Degassing vessels

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Common Detailed Techniques For Electron Tubes Or Discharge Tubes (AREA)
  • Solid-Sorbent Or Filter-Aiding Compositions (AREA)
  • Treating Waste Gases (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Agricultural Chemicals And Associated Chemicals (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Powder Metallurgy (AREA)
  • Gas Separation By Absorption (AREA)
  • Feeding, Discharge, Calcimining, Fusing, And Gas-Generation Devices (AREA)

Abstract

1. Устойчивый к воздействию окружающих газов распределитель щелочного или щелочноземельного металла (10; 20; 30; 40; 50; 60), характеризуемый тем, что содержит подложку (11), несущую покрытие из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43; 53; 63), и тем, что щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде элементарного металла, механически и химически защищенного от окружающей среды за счет нахождения в контакте с упомянутым покрытием из газопоглощающего материала. ! 2. Распределитель по п.1, в котором упомянутая подложка (11) выполнена из материала, выбранного среди металлов, металлических сплавов, полупроводников, стекол или керамических материалов. ! 3. Распределитель по п.2, в котором упомянутый материал выбран среди ковара, кремния, германия, карбида кремния, сапфира, кварца, стекла, пирекса, фосфида индия и арсенида галлия. ! 4. Распределитель по п.1, в котором упомянутый щелочной или щелочноземельный металл выбран среди лития, натрия, калия, рубидия, цезия, магния, кальция, стронция и бария. ! 5. Распределитель по п.1, в котором упомянутый газопоглощающий материал выбран среди гафния, ниобия, ванадия, титана, циркония и сплавов на основе титана и/или циркония с одним или более элементами, выбранными среди переходных элементов, редкоземельных элементов и алюминия. ! 6. Распределитель по п.1, в котором щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде покрытия (12; 22; 32; 42), полностью покрытого покрытием из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43). ! 7. Распределитель по п.6, дополнительно содержащий барьерный слой (24; 34; 44) между упомянутым покрытием из щелочного или щелочноземельного металла и уп�

Claims (28)

1. Устойчивый к воздействию окружающих газов распределитель щелочного или щелочноземельного металла (10; 20; 30; 40; 50; 60), характеризуемый тем, что содержит подложку (11), несущую покрытие из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43; 53; 63), и тем, что щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде элементарного металла, механически и химически защищенного от окружающей среды за счет нахождения в контакте с упомянутым покрытием из газопоглощающего материала.
2. Распределитель по п.1, в котором упомянутая подложка (11) выполнена из материала, выбранного среди металлов, металлических сплавов, полупроводников, стекол или керамических материалов.
3. Распределитель по п.2, в котором упомянутый материал выбран среди ковара, кремния, германия, карбида кремния, сапфира, кварца, стекла, пирекса, фосфида индия и арсенида галлия.
4. Распределитель по п.1, в котором упомянутый щелочной или щелочноземельный металл выбран среди лития, натрия, калия, рубидия, цезия, магния, кальция, стронция и бария.
5. Распределитель по п.1, в котором упомянутый газопоглощающий материал выбран среди гафния, ниобия, ванадия, титана, циркония и сплавов на основе титана и/или циркония с одним или более элементами, выбранными среди переходных элементов, редкоземельных элементов и алюминия.
6. Распределитель по п.1, в котором щелочной или щелочноземельный металл присутствует в распределителе в виде покрытия (12; 22; 32; 42), полностью покрытого покрытием из газопоглощающего материала (13; 23; 33; 43).
7. Распределитель по п.6, дополнительно содержащий барьерный слой (24; 34; 44) между упомянутым покрытием из щелочного или щелочноземельного металла и упомянутой подложкой.
8. Распределитель по п.7, в котором упомянутый барьерный слой выполнен из тантала, платины, золота, сочетаний этих металлов, нитрида титана, нитрида кремния или газопоглощающего материала.
9. Распределитель по п.6, в котором толщина упомянутого покрытия из щелочного или щелочноземельного металла составляет между 1 и 100 нм.
10. Распределитель по п.9, в котором упомянутая толщина составляет между 10 и 50 нм.
11. Распределитель по п.6, в котором толщина упомянутого покрытия из газопоглощающего материала составляет между 100 нм и 1 мкм.
12. Распределитель по п.7, в котором упомянутый барьерный слой имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
13. Распределитель (20; 40) по п.7, в котором упомянутое покрытие из газопоглощающего материала (23; 43) и упомянутый барьерный слой (24; 44) имеют одинаковые поперечные размеры.
14. Распределитель (30) по п.7, в котором упомянутое покрытие (32) из щелочного или щелочноземельного металла и упомянутый барьерный слой (34) имеют одинаковые поперечные размеры.
15. Распределитель по п.1, в котором щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри по меньшей мере части покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала.
16. Распределитель по п.15, в котором массовое процентное содержание щелочного или щелочноземельного металла составляет между 1 и 20% от общей массы упомянутого покрытия.
17. Распределитель по п.16, в котором упомянутое массовое процентное содержание составляет между 3 и 10%.
18. Распределитель (60) по п.15, дополнительно содержащий барьерный слой (64) между упомянутым покрытием (63) из газопоглощающего материала и упомянутой подложкой.
19. Распределитель по п.18, в котором упомянутый барьерный слой выполнен из тантала, платины, золота, сочетаний этих металлов, нитрида титана, нитрида кремния или газопоглощающего материала.
20. Распределитель по п.15, в котором упомянутое покрытие из газопоглощающего материала имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
21. Распределитель по п.18, в котором упомянутый барьерный слой имеет толщину, составляющую между 100 нм и 1 мкм.
22. Способ изготовления распределителя по п.1, в котором упомянутое газопоглощающее покрытие и упомянутый щелочной или щелочноземельный металл получают посредством ряда последовательных нанесений подлежащих нанесению материалов, ограничивая масками ту область на подложке, на которую происходят нанесения.
23. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают распределители, в которых щелочной или щелочноземельный металл находится в виде покрытия (12; 22; 32; 42) из металла, упомянутое покрытие получают с помощью испарения этого металла и его конденсации на подложке.
24. Способ по п.23, в котором покрытия (13; 23; 33; 43) из газопоглощающего материала, лежащие поверх покрытий из щелочного или щелочноземельного металла, выполняют с помощью распыления, работая с относительно высоким давлением газа в распылительной камере и низкой электрической мощностью, прилагаемой между мишенью и подложкой.
25. Способ по п.24, в котором операцию распыления осуществляют, поддерживая холодной подложку, на которой имеет место нанесение, и с большим расстоянием между мишенью и подложкой.
26. Способ по п.22, в котором барьерные слои изготавливают методом, выбранным среди испарения, распыления и «химического осаждения из паровой фазы».
27. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают распределители, в которых щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала, упомянутое покрытие получают с помощью распыления мишени, содержащей газопоглощающий материал и упомянутый щелочной или щелочноземельный металл.
28. Способ по п.22, в котором, когда изготавливают подложки, в которых щелочной или щелочноземельный металл диспергирован внутри покрытия (53; 63) из газопоглощающего материала, упомянутое покрытие получают с помощью распыления газопоглощающего материала и одновременного испарения щелочного или щелочноземельного металла.
RU2009134480/07A 2007-02-16 2008-02-12 Устойчивые к воздействию воздуха распределители щелочных и щелочноземельных металлов RU2009134480A (ru)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
ITMI2007A000301 2007-02-16
IT000301A ITMI20070301A1 (it) 2007-02-16 2007-02-16 Supporti comprendenti materiali getter e sorgenti di metalli alcalini o alcalino-terrosi per sistemi di termoregolazione basati su effetto tunnel

Publications (1)

Publication Number Publication Date
RU2009134480A true RU2009134480A (ru) 2011-03-27

Family

ID=39531312

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
RU2009134480/07A RU2009134480A (ru) 2007-02-16 2008-02-12 Устойчивые к воздействию воздуха распределители щелочных и щелочноземельных металлов

Country Status (11)

Country Link
US (1) US10109446B2 (ru)
EP (1) EP2115762B1 (ru)
JP (1) JP5345953B2 (ru)
KR (1) KR101430060B1 (ru)
CN (1) CN101611465B (ru)
AT (1) ATE512453T1 (ru)
IL (1) IL200326A0 (ru)
IT (1) ITMI20070301A1 (ru)
RU (1) RU2009134480A (ru)
TW (1) TWI445620B (ru)
WO (1) WO2008099256A1 (ru)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
ITMI20070301A1 (it) 2007-02-16 2008-08-17 Getters Spa Supporti comprendenti materiali getter e sorgenti di metalli alcalini o alcalino-terrosi per sistemi di termoregolazione basati su effetto tunnel
ITMI20112051A1 (it) 2011-11-11 2013-05-12 Getters Spa Composizione organico-inorganica per il rilascio in fase vapore di metalli alcalini ed alcalino-terrosi
US9491802B2 (en) * 2012-02-17 2016-11-08 Honeywell International Inc. On-chip alkali dispenser
JP6572528B2 (ja) * 2014-10-14 2019-09-11 セイコーエプソン株式会社 原子セルの製造方法
CN104307461B (zh) * 2014-10-24 2016-06-29 武汉钢铁(集团)公司 氪、氙气纯化用吸气剂及其制备方法
JP2016207695A (ja) * 2015-04-15 2016-12-08 セイコーエプソン株式会社 原子セル、原子セルの製造方法、量子干渉装置、原子発振器、電子機器および移動体
EP3619736A4 (en) 2017-05-02 2021-01-27 Spark Thermionics, Inc. SYSTEM AND METHOD OF WORK FUNCTION REDUCTION AND THERMO-IONIC ENERGY CONVERSION
EP3878003A4 (en) 2018-11-06 2022-07-27 Spark Thermionics, Inc. SYSTEM AND PROCESS FOR THERMIONIC ENERGY CONVERSION
CN110967962B (zh) * 2019-11-26 2021-04-06 北京无线电计量测试研究所 一种铯炉的电击穿***和方法
EP4147265A1 (en) 2020-05-06 2023-03-15 Spark Thermionics, Inc. System and method for thermionic energy conversion

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE338051A (ru) * 1925-11-27
DE1079746B (de) 1952-09-27 1960-04-14 E S Societa Apparacchi Elettri Getterbehaelter
US2943181A (en) * 1957-09-30 1960-06-28 Vac Hyd Proc Corp Brazing process and apparatus
US3203901A (en) 1962-02-15 1965-08-31 Porta Paolo Della Method of manufacturing zirconiumaluminum alloy getters
US3443915A (en) * 1965-03-26 1969-05-13 Westinghouse Electric Corp High resolution patterns for optical masks and methods for their fabrication
US3579459A (en) 1966-12-13 1971-05-18 Getters Spa Metal vapor generating compositions
US3672987A (en) * 1969-12-23 1972-06-27 Westinghouse Electric Corp Masked photocathode and method of making same
US4049443A (en) * 1973-07-31 1977-09-20 Commissariat A L'energie Atomique Method of fabrication of an alloy containing an alkali metal and/or an alkaline-earth metal
US3840766A (en) * 1973-12-13 1974-10-08 Gte Sylvania Inc Flash tube with reduced rf noise
IT1037196B (it) 1975-04-10 1979-11-10 Getters Spa Elemento di combustibile per reattore nucleare impiegante zr2ni come metallo getterante
IT1110271B (it) 1979-02-05 1985-12-23 Getters Spa Lega ternaria getterante non evaporabile e metodo di suo impiego per l'assorbimento di acqua,vapore d'acqua,di altri gas
IT1115156B (it) 1979-04-06 1986-02-03 Getters Spa Leghe zr-fe per l'assorbimento di idrogeno a basse temperature
US4642516A (en) 1983-10-07 1987-02-10 Union Carbide Corporation Getter assembly providing increased getter yield
IT1206459B (it) 1984-07-05 1989-04-27 Getters Spa Dispositivo getter atto a ridurre il metano nei gas residui in un tubo a vuoto.
US4668424A (en) 1986-03-19 1987-05-26 Ergenics, Inc. Low temperature reusable hydrogen getter
JPS6347928A (ja) * 1986-08-18 1988-02-29 Fujitsu Ltd 光電子転写用マスク
NL8802171A (nl) * 1988-09-02 1990-04-02 Philips Nv Alkalimetaaldamp-dispenser.
TW287117B (ru) * 1994-12-02 1996-10-01 Getters Spa
FR2750248B1 (fr) 1996-06-19 1998-08-28 Org Europeene De Rech Dispositif de pompage par getter non evaporable et procede de mise en oeuvre de ce getter
CN1146936A (zh) 1996-07-17 1997-04-09 杨吉 新型热拉丝技术
JP3758253B2 (ja) * 1996-09-18 2006-03-22 スズキ株式会社 リチウム用蒸着源
IT1290451B1 (it) 1997-04-03 1998-12-03 Getters Spa Leghe getter non evaporabili
IT1312511B1 (it) 1999-06-24 2002-04-17 Getters Spa Dispositivi getter per l'evaporazione del calcio
EP1173049B1 (en) * 2000-02-02 2015-05-27 Mitsubishi Chemical Corporation Organic electroluminescent element
CN1146936C (zh) * 2000-07-26 2004-04-21 有色金属技术经济研究院 复合碱金属释放剂及其释放装置
JP3955744B2 (ja) * 2001-05-14 2007-08-08 淳二 城戸 有機薄膜素子の製造方法
ITMI20010995A1 (it) * 2001-05-15 2002-11-15 Getters Spa Dispensatori di cesio e processo per il loro uso
ITMI20011092A1 (it) * 2001-05-23 2002-11-24 Getters Spa Sistema precursore di dispositivi assorbitori di acqua per schermi org anici elettroluminescenti, processo per la sua produzione e metodo d'u so
JP3804822B2 (ja) * 2001-06-26 2006-08-02 ソニー株式会社 表示素子及びその製造方法
US20050184603A1 (en) 2001-08-28 2005-08-25 Martsinovsky Artemi M. Thermotunnel converter with spacers between the electrodes
US6876123B2 (en) 2001-08-28 2005-04-05 Borealis Technical Limited Thermotunnel converter with spacers between the electrodes
JP3815690B2 (ja) * 2001-11-22 2006-08-30 キヤノン株式会社 発光素子及びその製造方法及び発光装置
CN100433404C (zh) * 2001-11-22 2008-11-12 佳能株式会社 发光元件、其制作方法以及发光设备
ITMI20021201A1 (it) 2002-06-03 2003-12-03 Getters Spa Assemblato comprendente almeno un supporto con deposito di materiale getter per l'uso in schermi organi elettroluminescenti
ITMI20021904A1 (it) * 2002-09-06 2004-03-07 Getters Spa Elemento accessorio per dispensatori di metalli alcalini
US7772771B2 (en) 2003-01-17 2010-08-10 Hamamatsu Photonics K.K. Alkali metal generating agent, alkali metal generator, photoelectric surface, secondary electron emission surface, electron tube, method for manufacturing photoelectric surface, method for manufacturing secondary electron emission surface, and method for manufacturing electron tube
ITMI20030069A1 (it) 2003-01-17 2004-07-18 Getters Spa Dispositivi micromeccanici o microoptoelettronici con deposito di materiale getter e riscaldatore integrato.
JP2005011535A (ja) * 2003-04-25 2005-01-13 Victor Co Of Japan Ltd 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子
EP1670031B1 (en) * 2003-09-10 2015-10-21 Hamamatsu Photonics K.K. Electron tube
ITMI20041736A1 (it) 2004-09-10 2004-12-10 Getters Spa Miscele per l'evaporazione del litio e dispensatori di litio
ITMI20042279A1 (it) 2004-11-24 2005-02-24 Getters Spa Sistema dispensatore di metalli alcalini in grado di dispensare quantita' elevate di metalli
US7317184B2 (en) 2005-02-01 2008-01-08 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Kinematic sensors employing atom interferometer phases
ITMI20050616A1 (it) 2005-04-12 2006-10-13 Getters Spa Processo per la formazione di depositi getter miniaturizzati e depositi getrter cosi'ottenuti
US20060257296A1 (en) * 2005-05-13 2006-11-16 Sarnoff Corporation Alkali metal dispensers and uses for same
US7242900B2 (en) * 2005-06-02 2007-07-10 Xerox Corporation Oil-less fuser member
US7666485B2 (en) 2005-06-06 2010-02-23 Cornell University Alkali metal-wax micropackets for alkali metal handling
US20070170846A1 (en) * 2006-01-23 2007-07-26 Choi Dong-Soo Organic light emitting display and method of fabricating the same
US7359059B2 (en) 2006-05-18 2008-04-15 Honeywell International Inc. Chip scale atomic gyroscope
ITMI20070301A1 (it) 2007-02-16 2008-08-17 Getters Spa Supporti comprendenti materiali getter e sorgenti di metalli alcalini o alcalino-terrosi per sistemi di termoregolazione basati su effetto tunnel
US7534635B1 (en) * 2008-03-24 2009-05-19 General Electric Company Getter precursors for hermetically sealed packaging

Also Published As

Publication number Publication date
CN101611465A (zh) 2009-12-23
ITMI20070301A1 (it) 2008-08-17
US10109446B2 (en) 2018-10-23
TWI445620B (zh) 2014-07-21
JP2010519017A (ja) 2010-06-03
WO2008099256A1 (en) 2008-08-21
KR101430060B1 (ko) 2014-08-13
IL200326A0 (en) 2010-04-29
EP2115762A1 (en) 2009-11-11
KR20090112759A (ko) 2009-10-28
ATE512453T1 (de) 2011-06-15
EP2115762B1 (en) 2011-06-08
CN101611465B (zh) 2015-04-29
JP5345953B2 (ja) 2013-11-20
TW200900238A (en) 2009-01-01
US20100104450A1 (en) 2010-04-29

Similar Documents

Publication Publication Date Title
RU2009134480A (ru) Устойчивые к воздействию воздуха распределители щелочных и щелочноземельных металлов
RU2007105817A (ru) Химическое осаждение из паровой фазы при атмосферном давлении
US20120132953A1 (en) Thin-Layer Encapsulation for an Optoelectronic Component, Method for the Production Thereof, and Optoelectronic Component
JP2008506849A (ja) クリーン・ルーム対応コーティング・システム
RU2009126460A (ru) Защищенная от коррозии деталь из композитного материала с керамической матрицей, содержащей кремний
WO2001043965A8 (en) Thermal barrier coatings and electron-beam, physical vapor deposition for making same
JP2007189201A5 (ja) 窒化物半導体発光素子および窒化物半導体発光素子の製造方法
KR20080036530A (ko) 플라즈마 보호층의 저온 에어로졸 증착
SG151324A1 (en) Plasma enhanced chemical vapor deposition of metal oxide
WO2008140313A1 (en) Method for applying a thin-film encapsulation layer assembly to an organic device, and an organic device provided with a thin-film encapsulation layer assembly preferably applied with such a method
TW200622013A (en) Arrangement for coating substrate
TW201417168A (zh) 用於等離子處理腔室的氣體噴淋頭及其塗層形成方法
JP2007258634A5 (ru)
US20090155554A1 (en) Environmental barrier coating and related articles and methods
WO2008027086A8 (en) Method of making a low-resistivity, doped zinc oxide coated glass article and the coated glass article made thereby
WO2017062355A3 (en) Methods for depositing dielectric barrier layers and aluminum containing etch stop layers
KR101480113B1 (ko) 유기 발광 소자 제조용 마스크 및 그 제조 방법
CL2004001060A1 (es) Proceso para preparar un material compuesto, que comprende un sustrato y una capa, donde sobre dicho sustrato se deposita un compuesto de triazina mediante el paso de deposicion por vapor, de modo que la temperatura del sustrato es entre -15 y +125 g
WO2008013665A3 (en) Methods and apparatus for the vaporization and delivery of solution precursors for atomic layer deposition
JP6613467B2 (ja) シリコン酸化膜の成膜方法
CN112053929A (zh) 用于等离子体腔室内部的部件及其制作方法
WO2006100056A3 (de) Beschichtetes substrat mit einer temporären schutzschicht sowie verfahren zu seiner herstellung
EP1535302A2 (en) Accessory member for dispensers of alkali metals
WO2009096250A1 (ja) 有機発光ダイオード、有機発光ダイオードの製造方法、有機発光ダイオードを製造する製造装置およびプラズマ処理装置
EP2768998B1 (en) Organic-inorganic composition for the vapour release of alkali or alkali-earth metals

Legal Events

Date Code Title Description
FA93 Acknowledgement of application withdrawn (no request for examination)

Effective date: 20110321