JP2010519017A - 空気中で安定なアルカリまたはアルカリ土類金属供給装置 - Google Patents
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Abstract
Description
いる。
(release)のためにも製造され得る。ベリリウムは高蒸発温度と毒性のために、フランシウムおよびラジウムは放射能のために、あまり好ましくはないが、これらの金属の供給装置が本発明により製造されることを排除するものではない。通常の産業用途での使用のために最も好適な金属は、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムおよびバリウムである。以下の説明において、簡潔にするために、アルカリおよびアルカリ土類金属は単に蒸発しやすい(evaporable)金属として呼ぶことがある;さらに、以下の説明の部分において、たとえばセシウムの使用について言及がなされるが、いかなる教示も他の蒸発しやすい金属に同様に適用され得る。
セシウム堆積物を完全に囲んでいる。
、連続プロセスの間に行われるのが最良であり、最初に純ゲッター材料の層64を堆積し、層64が所望の所望の厚さに到達すると、所望の蒸発しやすい金属と同一のゲッター材料の共堆積を開始する。
Claims (28)
- 雰囲気ガスに安定なアルカリまたはアルカリ土類金属の供給装置(10;20;30;40;50;60)であり、ゲッター材料(13;23;33;43;53;63)の堆積物を備える支持体(11)を含み、アルカリまたはアルカリ土類金属がそのゲッター材料の堆積物により雰囲気から保護される元素金属の形態で供給装置内に存在する供給装置。
- 支持体(11)が、金属、合金、半導体、ガラスまたはセラミック材料から選ばれる材料で実現される請求項1に記載の供給装置。
- 材料がコバール、ケイ素、ゲルマニウム、炭化ケイ素、サファイア、石英、ガラス、パイレックス(商標)、リン化インジウムおよびヒ化ガリウムから選ばれる請求項2に記載の供給装置。
- アルカリまたはアルカリ土類金属が、リチウム、ナトリウム、カリウム、ルビジウム、セシウム、マグネシウム、カルシウム、ストロンチウムおよびバリウムから選ばれる請求項1に記載の供給装置。
- ゲッター材料が、ハフニウム、ニオブ、バナジウム、チタン、ジルコニウム、およびチタンおよび/またはジルコニウムに基づき、遷移元素、希土類およびアルミニウムから選ばれた少なくとももう一つの元素との合金、から選ばれる請求項1に記載の供給装置。
- アルカリまたはアルカリ土類金属が、ゲッター材料(13;23;33;43)の堆積物により完全に被覆された堆積物(12;22;32;42)の形態で供給装置に存在する請求項1に記載の供給装置。
- アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物と支持体の間に、さらにバリア層(24;34;44)を含む請求項6に記載の供給装置。
- バリア層がタンタル、白金、金、それらの金属の組み合わせ、窒化タンタル、窒化ケイ素またはゲッター材料で実現される請求項7に記載の供給装置。
- アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物の厚さが1〜100nmである請求項6に記載の供給装置。
- 厚さが10〜50nmである請求項9に記載の供給装置。
- ゲッター材料の堆積物の厚さが100nm〜1μmである請求項6に記載の供給装置。
- バリア層が100nm〜1μmの厚さを有する請求項7に記載の供給装置。
- ゲッター材料の堆積物(23;43)およびバリア層(24;44)が同一の横方向寸法を有する請求項7に記載の供給装置(20;40)。
- アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物(32)およびバリア層(34)が同一の横方向寸法を有する請求項7に記載の供給装置(30)。
- アルカリまたはアルカリ土類金属がゲッター材料の堆積物(53;63)の少なくとも一部の内側に分散されている請求項1に記載の供給装置。
- アルカリまたはアルカリ土類金属堆積物の質量%が該堆積物の全質量の1〜20質量%である請求項15に記載の供給装置。
- 該質量%が3〜10質量%である請求項16に記載の供給装置。
- ゲッター材料の該堆積物(63)と該支持体の間に、さらにバリア層(64)を含む請求項15に記載の供給装置(60)。
- 該バリア層がタンタル、白金、金、それらの金属の組み合わせ、窒化タンタル、窒化ケイ素またはゲッター材料で実現される請求項18に記載の供給装置。
- ゲッター材料の該堆積物が100nm〜1μmの厚さを有する請求項15に記載の供給装置。
- 該バリア層が100nm〜1μmの厚さを有する請求項18に記載の供給装置。
- 堆積がその上に生じる支持体の領域をマスキングで限定して、堆積されるべき材料の連続した堆積を行う、請求項1に記載の供給装置の製造方法。
- アルカリまたはアルカリ土類金属が金属の堆積物(12;22;32;42)の形態であるように、供給装置が製造され、該堆積物は金属の蒸発と支持体上での凝縮により得られる請求項22に記載の方法。
- アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物の上方にあるゲッター材料堆積物(13;23;33;43)がスパッタで実現され、チャンバー内で比較的高いガス圧力、およびターゲットと支持体の間に印加される低い電力で作動する請求項23に記載の方法。
- スパッタ操作が、その上に堆積が生じる支持体を冷却し、ターゲットと支持体間を大きな距離として実行される請求項24に記載の方法。
- バリア層は、蒸発、スパッタおよび「化学蒸着」から選ばれる方法で製造される請求項22に記載の方法。
- 供給装置は、アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物がゲッター材料堆積物(53;63)の内側に分散されるように製造され、該堆積物はゲッター材料および該アルカリまたはアルカリ土類金属からなるターゲットのスパッタにより得られる請求項22に記載の方法。
- 供給装置は、アルカリまたはアルカリ土類金属の堆積物がゲッター材料堆積物(53;63)の内側に分散されるように製造され、該堆積物は、ゲッター材料のスパッタと蒸発しやすい金属の同時蒸発とにより得られる請求項22に記載の方法。
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