KR970072218A - 기판세정장치 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 처리시간이 단축되고, 처리효율이 높은 기판세정장치 및 방법을 제공하는 것을 과제로 한다. 상기의 과제를 해결하기 위해, 세정브러쉬(20)는 회전축(40a)을 중심으로 위치(A1)에서 위치(B1)의 범위에서 회전동작한다. 한편, 초음파세정노즐(30)은 회전축(50a)을 중심으로 위치(A2)에서 위치(B2)의 범위에서 회전동작한다. 세정처리가 실행될 때는, 세정브러쉬(20) 및 초음파 세정노즐(30)이 미리 작업자에 의해 작성된 처리 패턴에 따라서 구동된다. 이때, 세정브러쉬(20)가 위치(O1)와 위치(B1)의 사이를 이동하는 것과, 초음파 세정 노즐(30)이 위치(O2)와 위치(B2)의 사이를 이동하는 것이 동시에 행하여지지 않도록 처리패턴을 작성한다. 또, 이 조건을 만족만 시키면 작업자가 소망하는 임의의 처리패턴을 작성할 수 있다. 그리고, 당해 처리패턴에 따라서, 세정처리를 실행하면, 세정블러쉬(20) 및 초음파 세정노즐(30)을 동시에 사용하여 기판(W)을 세정할 수 있다.

Description

기판세정장치 및 방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명의 일실시형태인 회전식 기판세정장치(스핀 스크러버)를 나타내는 모식도, 제3도는 회전식 기판세정장치를 사용한 세정처리순서를 나타내는 플로우챠트, 제4도는 세정처리의 실행순서를 나타내는 플로우챠트.

Claims (8)

  1. 기판을 회전시키면서 세정처리를 행하는 기판세정장치에 있어서, (a) 상기 기판의 회전중심을 포함하는 피세정면을 세정하는 복수의 세정수단과, (b) 상기 복수의 세정수단의 각각을 독립적으로 구동하는 구동수단과, (c) 상기 복수의 세정수단이 적어도 소정시간은 상기 기판을 동시에 세정하도록 상기 구동수단을 제어하는 구동제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  2. 제1항에 있어서, (d) 상기 복수의 세정수단의 각각의 구동패턴을 입력하는 입력수단과, (e) 입력된 상기 각각의 구동패턴을 기억하는 기억수단을 더 구비하고, 상기 구동제어수단은, 상기 기억수단에 기억된 상기 각각의 구동패턴에 따라서 상기 구동수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 세정수단은, (a-1) 상기 기판의 주면에 마주 접하거나 소정의 간격을 두고 근접하여, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정할 수 있는 세정브러쉬와, (a-2) 상기 기판에 세정액을 토출하고, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정할 수 있는 세정노즐, 중에서 적어도 한쪽을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 복수의 세정수단은, 상기 기판의 주면에 접촉 또는 소정의 간격을 두고 근접하여, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정하는 같은 종류의 복수의 접촉 또는 근접형 세정수단이고, 상기 구동제어수단은 상기 복수의 접촉 또는 근접형 세정수단이 상기 기판의 회전중심 근방에서 서로 간섭하지 않도록 상기 구동수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
  5. 기판을 회전시키면서 세정처리를 행하는 기판세정방법에 있어서, (a) 제1의 세정수단을 구동시켜 상기 기판의 회전중심을 포함하는 피세정면을 세정하는 제1세정공정과, (b) 제2의 세정수단을 구동시켜 상기 기판의 상기 피세정면을 세정하는 제2세정 공정을 구비하고, 상기 제1세정공정과, 상기 제2세정공정을 적어도 소정 시간은 동시에 행하는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  6. 제5항에 있어서, (c) 상기 제1세정수단 및 상기 제2세정수단의 각각의 구동패턴을 입력하는 입력공정과, (d) 입력된 상기 각각의 구동패턴을 기억수단에 기억시키는 기억공정을 더 구비하고, 상기 제1세정수단 및 상기 제2세정수단은 상기 각각의 구동패턴에 따라서 구동하는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  7. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1세정수단은, 상기 기판의 주면에 마주 접하거나 소정의 간격을 두고 근접하여, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정할 수 있는 세정브러쉬이고, 상기 제2의 세정수단은, 상기 기판에 세정액을 토출하고, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정할 수 있는 세정노즐인 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
  8. 제5항 또는 제6항에 있어서, 상기 제1세정수단 및 제2세정수단은, 상기 기판의 주면에 접촉 또는 소정의 간격을 두고 근접하여, 적어도 상기 기판의 회전중심을 세정하는 같은 종류의 접촉 또는 근접형세정수단이고, 상기 제1세정수단 및 상기 제2세정수단은, 상기 기판의 회전중심 근방에서 서로 간섭하지 않도록 제어되는 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개되는 것임.
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