KR940003748Y1 - 액티브 매트릭스형 액정표시장치 - Google Patents

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KR940003748Y1
KR940003748Y1 KR2019940003911U KR19940003911U KR940003748Y1 KR 940003748 Y1 KR940003748 Y1 KR 940003748Y1 KR 2019940003911 U KR2019940003911 U KR 2019940003911U KR 19940003911 U KR19940003911 U KR 19940003911U KR 940003748 Y1 KR940003748 Y1 KR 940003748Y1
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display electrode
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히데다까 노리야마
이사오 후꾸이
도끼오 기보시
쇼우 다이 나까야마
마사노리 아베
도미오 가시하라
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가부시끼가이샤 도시바(Toshiba Corporation)
사토 후미오
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Abstract

내용 없음.

Description

액티브 매트릭스형 액정표시장치
제1도는 일반적인 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 나타낸 블록도.
제2도는 종래의 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 나타낸 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제3도는 제2도에 나타낸 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도.
제4도는 본 고안의 한 실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시 장치에서의 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제5도는 제4도에 나타낸 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도.
제6도는 본 고안의 변형실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시 장치에서의 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제7도는 본 고안의 다른 실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시 장치에서의 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제8도는 제7도에서의 Ⅷ-Ⅷ선에 따른 단면도.
제9도 내지 제14도는 각각 제7도에 나타낸 변형실시예에 관한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에서의 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제15도는 본 고안의 또 다른 실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시장치에서의 어레이 기판상의 1화소부분의 평면도.
제16도는 제15도에서의 Ⅵ-Ⅵ선에 따른 단면도이다.
* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명
11 : 주사선 12 : 신호선
13 : 박막트랜지스터(TFT) 21 : 게이트전극
22 : 게이트절연막 23 : 반도체층
24 : 드레인전극 25 : 소스전극
26 : 표시전극 27 : 보조용량선
29 : 공통전극 31 : 도전체
32,33 : 배향막 34,35 : 편광판
40A : 어레이기판 40B : 대향기판
본 고안은 박막트랜지스터등으로 된 화소구동용의 스위칭소자(S)를 어레이 상으로 배열한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 관한 것이다.
근래, 플랫디스플레이의 발전에 의해 디스플레이 탑재기기의 소형화가 신속하게 진전하여 왔지만 칼라화는 물론 고정세화의 요구로부터 액티브 매트릭스형 액정표시장치에의 기대가 높아지고 있다. 특히, 최근 프로젝션과 OA기기용 칼라디스플레이의 액정화가 계속 진전되고 액티브 매트릭스형 액정표시장치의 소형·고정세화, 대형·고정세화가 요구되고 있다.
이와 같은 액티브 매트릭스형 액정표시장치는 화소마다에 설치된 박막 트랜지스터(이하 “TFT”라 부른다) 등에 의한 스위칭소자에 의해서 표시소자 어레이에 화상신호를 선택적으로 인가하고 액정을 준 스태틱적으로 구동함으로서 고정세·고 콘트라스트·고 응답속도에서 크로스토크가 없는 선명한 화상을 표시할 수 있다.
액티브 매트릭스형 액정표시장치의 동작원리를 제1도를 참조하여 설명한다. 제1도에 나타낸 바와 같이 행선택선인 복수의 주사선(11)과, 열선택선인 복수의 신호선(12)과의 각 교점부분에는 스위칭소자인 TFT(13)가 설치되고, 이 TFT(13)의 게이트가 주사선(11)에 접속되고, 이 FTF(13)를 통해서 액정층(14)과 화소용량(15)의 신호선(12)에 접속되어 있다. 그리고, 주사회로(16)에서는 복수의 주사선(11)에 순차적으로 게이트펄스가 인가된다.
또 신호홀드회로(17)에서는 게이트펄스에 동기하고, 이 게이트펄스가 인가된 주사선(11)에 대응하는 라인의 화상신호가 복수의 신호선(12)에서 출력된다.
TFT(13)는 대응하는 주사선(11)에 게이트펄스가 인가되어 있는 사이에 통전되고 그때 신호선(12)에 출력되고 있는 화상신호에 대응해서 화소용량(15)에 전하가 축적되고 액정층(14)이 구동된다. 게이트펄스가 다음의 주사선(11)에 인가되면 앞의 주사선에 접속된 TFT(13)는 비통전상태로 하고, 축적된 전하는 다음 주사를 받을 때까지 유지된다. 이 결과 액정층(14)의 표시상태는 유지된다.
제2도 및 제3도는 이러한 종류의 액티브 매트릭스형 액정표시장치의 1화소구조를 나타내고 제2도는 어레이 기판상에서의 평면도, 제3도는 제2도의 Ⅲ-Ⅲ선에 따른 단면도를 나타내고 있다. TFT(13)는 도시된 아래쪽의 유리기판(20)상에 형성되고, 주사선(11)과 일체의 게이트전극(21), 게이트절연막(22), 반도체층(23), 신호선(12)과 일체의 드레인전극(24), 소스전극(25)으로 이루어지고, 이 소스전극(25)에 표시전극(26)이 접속되어 있다. 또 주사선(11)과의 거의 평행하게 보조용량선(27)이 형성되어 있다.
이 보조용량선(27)은 게이트절연막(22)을 통해서 표시전극(26)과 부분적으로 대향하도록 설치되어 있고, 표시전극(26)과 겹쳐진 부분에 부가적인 보조용량이 형성되어 있다. 이 보조용량은 제1도에서의 화소용량(15)을 증가시켜서 신호를 유지하는 기간동안에 TFT(13)를 통하여 누설전류를 보상하고, 표시전극(26)과 다른 전극과 사이의 용량결합을 기초로 하여 표시전극전위의 변동을 완화하고 있다.
도시된 위쪽의 유리기판(28)에는 공통전극(29)이 형성되고, 액정층(14)을 통해서 도시된 아래쪽 유리기판(20)과 대향되어 있다. 그리고, 이 공통전극(29)과 표시전극(26) 사이의 전계에 의해 이 사이에 위치하는 액정층(14)이 구동되어 소정의 표시를 행한다. 그런데, 상기와 같은 구조의 액티브 매트릭스형 액정표시장치는 그 제조과정에서 성형막과 포토리소그래피에 의한 미세가공을 행하지만 큰 면적에 걸쳐서 결함이 없게 제조하는 것은 곤란하고, 즉 전극배선이 복잡하고, 더구나 다층배선을 이용하고 있기 때문에 전극간의 쇼트가 발생하기 쉽다.
이들 쇼트가 많음은 게이트절연막(22)을 통해서 배치된 게이트전극(21)과 소스전극(25)과의 사이 및 표시전극(26)과 보조용량선(27)과의 사이에 발생한다. 이와 같은 쇼트가 발생하면 표시전극(26)의 전위가 소정치로 되지 않고 표시화면상에 점결함이 발생한다. 특히 휘점결함은 화질을 크게 손상하기 때문에 생산성 저하의 커다란 요인이 되고 있다. 이와 같은 점결함이 발생될 경우 쇼트부분을 제거하기 위한 보수가 필요하게 된다.
이와 같은 보수법에 대해서는 종래부터 여러가지 제안되어 왔지만 대표적인 예로서 레이저를 이용한 보수법이 있다. 이 보수법에서는 예를 들면 쇼트가 표시전극(26)과 보조용량선(27)과의 사이에서 발생된 경우 제2도 나타낸 바와 같이 보조용량선(27)을 레이저에 의해 파선부분(Da)에서 커팅하고, 쇼트 부분을 제거하고 있다. 그러나 이와 같은 보수법에 의하면 보수를 실시한 화소에는 보조용량이 없어져 버리기 때문에 TFT(13)의 리크전류와 표시전극(26)과 다른 전극과 사이의 용량결함에 의해서 액정표시자의 동작에 악영향을 일으킬 우려가 있다. 즉 표시전극(26)의 전위가 소정의 전위에서 벗어나 버리고 점결함을 완전히 눈에 띄지 않게 할 수 없게 되는 염려가 있다.
또 이와 같은 보수방법은 보수용량선(27)에는 그 한쪽에서만 전하가 급전되지 않는 구조, 혹은 게이트전극(21)과 소스전극(25)과의 사이에 쇼트가 발생했을 경우에는 적용할 수 없는 문제가 있다.
본 고안의 목적은 전극사이의 쇼트로 기인되는 점결함을 레이저보수법등에 의해 거의 완전하게 보수하는 것이 가능하고, 점결함이 거의 없는 높은 표시품위를 가진 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공하는데 있다. 또 본 고안의 목적은 전극사이의 쇼트로 기인되는 화소결함을 레이저보수법등에 의해 거의 완전하게 보수하는 것이 가능하고, 점결함이 거의 없는 높은 표시품위를 가진 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공하는데 있다. 또 본 고안의 목적은 전극사이의 쇼트로 기인되는 화소결함을 레이저보수법등에 의해 거의 완전하게 보수하는 것이 가능하고, 화소결함이 거의 없는 높은 표시품위를 가지고 또 패널이 소형·고정세화, 혹 대형·고정세화에 적당한 화소구조를 가진 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공하는데 있다.
본 고안에 따른 액티브 매트릭스형 액정표시장치는 투명한 기판과, 이 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 기판상에 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 보조용량선과, 기판상에서 이 행선택선에 교차하도록 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 복수개의 제1및 제2표시전극 세그먼트에 있어서, 각 제1및 제2표시전극 세그먼트의 조합이 1화소를 규정하고 복수의 조합이 매트릭스상으로 배치되어 있는 제1및 제2표시전극 세그먼트와, 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대응하는 제1및 제2스위칭소자에 있어서, 제1스위칭소자는 대응하는 제1표시전극을 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하고, 각 제2스위칭소자는 대응하는 제2표시전극을 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 제1및 제2스위칭소자와, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재에 있어서, 그 각각이 서로 대응하는 제1및 제2표시전극 세그먼트 사이에 설치되고, 양자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하게 설치되어 있는 다수의 도전부재와, 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대항하여 설치되어진 공통전극과, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 공통전극과의 사이에 설치된 액정층을 구비하는 액티브 매트릭스형 액정표시 장치가 제공된다.
또 본 고안에 의하면, 투명한 기판과, 이 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 기판상에 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 보조용량선과, 기판상에서 이 행선택선에 교차하도록 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 각각의 1화소를 규정하는 매트릭스상으로 배치된 복수의 표시전극과, 각 표시전극에서 연장된 제1및 제2전극 세그먼트와, 각각 표시전극에 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 스위칭소자와, 제1및 제2전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재에 있어서, 그 각각이 서로 대응하는 하나의 제1및 제2전극 세그먼트와 표시전극과의 사이에 설정되고 매트릭스형 액정표시장치가 제공된다.
또한 본 고안에 의하면 투명한 기판과, 이 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 기판상에 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 보조용량선과, 기판상에 이 행선택선에 교차하도록 배열되고, 이 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 각각이 1화소를 규정하는 매트릭스상으로 배치된 복수의 표시전극과, 각 표시전극에서 나온 제1전극 세그먼트와, 각 표시전극에 대응하여 설치되고, 이 표시전극에 대해서 전기적으로 절연된 제2전극 세그먼트와, 각각 표시전극에 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 스위칭소자와, 제1및 제2전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재에 있어서, 그 각각이 서로 대응하는 제2전극 세그먼트와 표시전극과의 사이에 설치되고, 양자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하게 설치되어 있는 다수의 도전부재와, 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대향하여 설치된 공통전극과, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 공통전극과의 사이에 설치되는 액정층을 구비하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치가 제공된다.
본 고안의 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서 전극사이에 쇼트가 발생했을 경우 이 쇼트부분을 레이저커팅등에 의해 제거하고, 계속하여 도전부재를 각 표시전극과의 겹친부분에서 쇼트시켜서 각 표시전극을 도전체에 의해 전기적으로 접속한다.
또 본 고안의 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서는, 예를 들면 표시전극에 가해져서 세그먼트전극이 형성되고 보조용량에서 쇼트가 발생했을 경우 그 보조용량에 대응하는 전극부분을 레이저등에 의해 절단제거하고, 또는 2개의 보조용량부를 절단하는 동시에 쇼트가 발생하지 않은 보조용량으로 대응하는 세그먼트전극을 표시전극에 도전체에 의해 전기적으로 접속하여 화소의 점결함보수를 행한다. 이에 따라 표시전극은 그대로 남아서 화소 개구율을 크게 할 수 있다. 또 상기 절단, 접속등을 행한후 표시전극에서 복수의 스위칭소자중 일부를 떼어내어 보조용량의 감소에 맞게 스위칭소자의 용량을 감소시킨다. 이에 따라 보수화소의 표시전극 전위변동을 정상화소에 가깝게 하고 보다 완전한 보수를 행할 수 있다. 또 이때에 1화소내의 표시전극에 대응하는 세그먼트전극은 전기적으로 접속되어 있기 때문에 스위칭소자의 설정, 배치, 표시전극의 분할법등에 자유도가 크다.
본 고안에서는 상기와 같은 보수가 가능하다고 하는 동시에 마스크 얼라인먼트 오차가 발생했다 하더라도 2개의 TFT와의 게이트·소스간 용량의 합은 항상 일정하게 되기 때문에 표시얼룩이 발생하기 어렵다. 따라서 화소개구율을 계속 크게 하여 패널의 대형화에 따른 표시화면의 휘도얼룩을 방지할 수 있다.
또한 보조용량선과 제1보조용량 전극사이에 단락등이 발생했을 경우에 제1보조용량 전극을 표시전극에서 분리하고, 또 상기 도전체를 통해서 표시전극과 제2보조용량 전극을 전기적으로 접속한다. 이 결과 액티브 매트릭스형 액정표시장치 제조시에 문제가 되는 화소결함을 예를 들면 레이저에 의해 완전히 보수하는 것이 가능하게 하고 있다.
이하 본 고안의 한 실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제4도 및 제5도를 참조하여 설명한다. 또 제1도, 제2도 및 제3도에 나타낸 장치와 대응하는 부분에는 동일부호를 붙여서 설명한다. 제4도는 본 고안의 한 실시예에 관계된 액티브 매트릭스형 액정표시장치에서의 어레이 기판상에 1화소부분을 나타낸 평면도이다. 제4도에 있어서, 행선택선인 복수의 주사선(11)과, 열선택선인 복수의 신호선(12)이 서로 교차하는 것같이 설치되고, 이들의 각 교차점 부분에는 스위칭소자인 TFT(13)가 설치되어 있다.
이 TFT(13)는 주사선(11)과 일체의 게이트전극(21), 반도체층(23), 신호선(12)과 일체의 드레인전극(24), 소스전극(25)을 가지고 이 소스전극(25)에 표시전극(26)이 접속되어 있다. 또 주사선(11)과 거의 평행으로 보조용량선(27)이 형성되어 있다.
그리고 스위칭소자로서의 TFT(13) 및 표시전극(26)은 1화소당 2개씩 설치되어 있고, 이들은 도시된 횡방향의 행선택선으로서의 주사선(11)의 길이방향에 따라서 나란히 배치되어 있다. 즉 표시전극(26)은 1화소당 2개의 세그먼트 전극으로 이루어지고, 이 분할된 각 표시전극(26)에 TFT(13)가 각각 설치되어 있다. 또 1화소당 2개의 표시전극(26)에 대해서는 이들과 각각 일부가 겹치도록 도전체(31)가 설치되어 있다. 단 이 도전체(31)는 제5도에 나타낸 바와 같이 게이트절연막(22)에 의해 2개의 표시전극(26)과의 사이가 절연되어 있다. 또 이들 2개의 표시전극(26)을 횡단하여 주사선(11)과 거의 평행하게 보조용량선(27)이 형성되어 있다.
제5도는 제4도에 나타낸 Ⅴ-Ⅴ선에 따른 단면도이다. 제5도에 나타낸 구조를 제조공정에 따라서 설명한다. 첫번째로 도시된 아래쪽의 어레이기판(40A)을 설명한다. 우선 예를 들면 유리등으로 이루어진 절연성기판(20)의 일주면(도시상면)에 예를 들면 차광성 재료인 크롬(Cr)막을 스퍼터법으로 피복시킨후 소정의 포토에칭함에 따라 게이트전극(21), 보조용량선(27) 및 도전체(31)를 각각 형성한다. 이때 제4도의 행선택선으로의 주사선(11)도 게이트 전극(21)과 일체적으로 같은 공정에서 형성한다. 다음으로 이들을 덮도록, 예를 들면 산화실리콘(SiOx)로 이루어진 게이트절연막(22)을 플라즈마 CVD법에 의해 형성한다. 이 게이트절연막(22)이 제4도에서의 게이트전극(21)과 드레인전극(24), 소스전극(25)과의 사이에 끼우는 절연막이다. 또한, 이 게이트절연막(22)의 게이트전극(21)과 대향하는 부분에는 예를 들면 i형의 수소화 아몰퍼스실리콘(a-Si : H)으로 이루어진 반도체층(23)을 플라즈마 CVD법을 이용하여 형성한다. 이 반도체층(23)상에는 전기적으로 서로 분리된 n형 a-Si : H로 이루어진 드레인영역(24a)과 소스영역(25a)을 같은 플라즈마 CVD법을 이용하여 설치하고 있다.
또 게이트절연막(22)상의 소스영역(25a)측에 인접하는 부분에는 표시전극(26)을 설치한다. 이 표시전극(26)은 예를 들면 ITO(인듐·틴·옥사이드)막을 스퍼터법으로 피복한후 소정형상으로 포토에칭함으로서 형성된다. 또 소스영역(25a)에는 소스전극(25)의 한단부가 접속되고, 이 소스전극(25)의 타단은 표시전극(26)상에 연이어서 접속되어 있다. 한편, 드레인영역(24a)에는 드레인전극(24)의 하단이 접속되어 있다.
여기서 드레인전극(24)과 소스전극(25)과는 예를 들면 몰리브덴(Mo)막과 알루미늄(Al)막을 스퍼터법으로 순차 피막형성한 후 소정형상으로 포토에칭하는 공정에서 형성한다. 또 제1도에 있어서 열선택적으로서의 신호선(12)도 드레인전극(24)과 일체로 같은 공정에서 형성한다. 이에 따라 소정의 어레이기판(10A)이 얻어진다.
다음으로 도시된 위쪽의 대향기판(40B)은 우선, 예를 들면 유리등으로 이루어진 절연성기판(28)의 1주면(主面)(도시된 아래면)에 예를 들면 ITO로 이루어진 공통전극(29)을 형성한다. 여기서 전술한 어레이기판(40A)의 1주면상의 전면에는 예를 들면 저온경화성의 폴리이미드로 이루어진 배향막(33)을 형성한다. 그리고 어레이기판(40A) 및 대향기판(40B)의 1주면에 각각 형성된 배향막(32)(33)을 직물등에 의해 소정방향으로 문지르면 러빙에 의한 배향처리를 각각 실시한다. 또한 어레이기판(40A)과 대향기판(40B)을 전술한 1주면이 서로 대향하고 또 서로의 배향축이 거의 90°를 이루도록 조합된다. 그리고 이에 따라 얻어진 간격내에 액정층(14)을 끼워둔다. 또 어레이기판(40A) 및 대향기판(40B)의 각 다른 주면측에는 각각 편광판(34)(35)이 피착되어 있고, 이를 어레이기판(40A) 및 대향기판(40B)의 어느 것인가 한쪽의 다른 주면측으로부터 조명이 행하여진다.
상기 구성의 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서 표시전극(26)과 보조용량선(27)과의 사이에 예를 들면 제4도에 나타낸 x표시의 포인트(x1)에서 쇼트가 발생될 경우 우선 레이저에 의해 보조용량선(27)의 파선(Da1)으로 나타낸 부분, 즉 도시된 왼쪽의 표지전극(26)의 양측에 상당하는 부분을 절단함에 따라서 쇼트부분을 고립시켜서 이 쇼트부분을 전기적으로 제거한다.
그 다음에 도전체(31)와 2개의 표시전극(26)과의 겹친부분을 레이저로 구멍을 뚫고 게이트절연막(22)을 관통하여 도전체(31)와 2개의 표시전극(26)과의 사이를 쇼트시켜서 2개의 표시전극(26)을 도전체(31)에 의해 전기적으로 접속한다.
이와 같이하면 화소전체에는 당초 보조용량의 1/2이 남게 하고, 제2도를 참조하여 설명한 종래의 방법에 비해서 TFT(13)의 리크전류와 표시전극(26)과 주위전극과의 용량결과에 의한 표시전극전위의 어긋남을 적게 억제할 수 있고 보수를 실시한 화소를 거의 눈에 띄지 않게 할 수 있다.
또 게이트전극(21)과 소스전극(25)이 예를 들면 제4도의 x표시의 포인트(x2)에서 쇼트되었을 경우는 레이저에 의해 소스전극(25)을 파선(Da2)을 따라서 절단하고, 소스전극(25)을 표시전극(26)에서 분리함에 따라 쇼트부분을 고립시켜서 이 쇼트부분을 전기적으로 제거한다. 이 경우도 전술한 바와 같이 2개의 표시전극(26)을 도전체(31)에 의해서 전기적으로 접속함으로서 TFT(13)에서 분리된 표시전극(26)에서도 전하를 공급할 수 있다.
실제로 이와 같은 점결함의 보수를 실시한 액정패널의 표시상태를 백래스터, 흑래스터, 동화(動畵)표시로 각각 관찰했지만 어느쪽의 경우도 보수화소와 그 주변화소와의 휘도차는 대단히 작고 실용상 문제가 없는 수준까지 높일 수 있다는 것이 확인되었다.
제6도는 본 고안의 변형실시예에 관한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에서의 어레이기판상의 1화소부분을 나타낸 평면도이다. 이 변형실시예에서는 제4도의 실시예에 대해서 보조용량선(27)의 위치와 2개의 표시전극(26)의 형상이 다르다. 즉 보조용량선(27)의 2개의 표시전극(26)의 상단부에 배치하고, 또 각 표시전극(26)에는 보조용량선(27)을 따라서 잘록한부(36)를 설치하고 있다.
이와 같은 구성의 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서, 표시전극(26)과 보조용량선(27)과의 사이, 즉 제6도의 x표시의 포인트(x3)에서 쇼트가 발생했을 경우에는 한쪽의 표시전극(26)을 파선(Da3)부분에서 절단함에 따라 쇼트부분을 고립시켜서 전기적으로 쇼트부분이 제거된다.
그후 도전체(31)와 2개의 표시전극(26)과의 겹친부분을 레이저로 구멍을 뚫어서 도전체(31)를 통해서 2개의 표시전극(26)을 전기적으로 접속한다.
여기서 제4도에 나타낸 실시예에서는 보조용량선(27)과 한쪽의 표시전극(26)과 사이의 쇼트에 대한 보조 용량선(27)을 절단하기 위해 보조 용량선(40)이 양측에서 급전되고 있다고 해도 1라인에서 1개소의 보수밖에 할 수 없고 한편 한쪽에서의 급전이 있을 경우에는 보수할 수가 없다. 이것에 대해서 제6도에 나타낸 실시예에서는 표시전극(26)을 절단하기 위해 보조 용량선(27)이 편측에서만 급전되지 않을 경우에도 적용할 수 있다. 레이저보수에 의한 효과는 제4도의 실시예와 완전히 같은 것이다.
또 상기 어느것의 실시예에 있어서도 표시전극(26)은 1화소에 대해 2개 설치되어 있지만 1화소에 대해서 3개 이상의 표시전극(26)이 병설되어도 좋다. 이와 같이 표시전극(26)을 1화소에 대해 복수개로 나눔으로서 고장부분이 확인하기 쉽게 된다. 또 보조용량선(27)은 필요없다면 특히 설치하지 않아도 좋다.
이상과 같이 본 고안에 의하면 전극간의 쇼트로 기인하는 점결함을 레이저 보수법등에 의해 거의 완전하게 보수하는 것이 가능하게 되고, 이때문에 점결함은 거의 없고 높은 표시품위를 가진 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 제공할 수가 있다.
전술한 액티브 매트릭스형 액정표시장치는 점결함이 거의 없고 높은 표시품위를 가지고 있지만 다음과 같은 문제도 있다. 즉 어레이기판은 전극배치가 복잡하고 더구나 다층배선을 이용하고 있기 때문에 표시전극(26)과 그 주위배선과의 사이에 커다란 용량결합이 있고 배선전위의 변동에 의해 TFT(13)가 비통전상태로 있어서 표시전극전위에 변동이 생긴다. 특히 주사선(11)과 소스전극(25) 사이의 용량결합은 크고, 주사선(11)과 소스전극(25) 사이의 중복면적이 다르고, 또 게이트절연막(22)의 막두께가 다른 것을 기초로 하는 용량분산이 직접, 표시 전극전위의 분산을 초래하는 것이 된다.
그래서 일반적으로는 커다란 보조용량을 설치하여 화소용량(15)을 증가시킴으로서 상대적인 용량의 분산을 적게 억제하고 있다.
그러나, 제6도에 나타낸 장치에 있어서는 화소의 결함을 보수한후 보조용량이 감소하는데도 관계없이 게이트전극(21)과 소스전극(25)과 사이의 용량은 변화하지 않기 때문에 표시전극의 전위변동이 주위 정상화소보다 크게 되어 버리고 보수흔적을 완전하게 눈에 보이지 않게 할 수는 없다. 또 제6도에 나타낸 화소에서는 보조용량의 감소도 없는 한쪽의 TFT(13)를 표시전극(26)에서 분리해도 좋지만 분리할 경우에는 2개의 TFT(13)의 사이즈를 같게 하지 않으면 안되고 TFT(13)의 사이즈 설정에 자유도가 없기 때문에 보조용량의 감소와 게이트전극(21)과 소스전극(25)와 사이의 용량감소를 최적화할 수는 없다.
한편, 표시패널사이즈의 대형화에 따라서 다른 문제가 생겨나고 있다.
어레이기판은 전술한 바와 같이 그 제조과정에 있어서, 반도체 직접회로의 제조와 같은 양상의 포토리소그래픽에 의해서 미세가공 된다. 즉, 일반적으로 6-8매 정도의 포토마스크를 이용하여 성막, 노광, 에칭을 반복함에 따라 패턴을 적층형성하고 있다. 그런데 패턴사이의 위치맞춤에는 반드시 어긋남이 생긴다. 특히 회전모드의 마스크 얼라인먼트 어긋남과 제조공정 중에서의 기판변형은 기판면내의 패턴위치맞춤 정도에 어떤 분포를 발생하고, 게이트전극(21)과 소스전극(25)과 사이의 용량의 분포를 발생하기 때문에 표시장치에서 표시의 얼룩이 되어 나타난다. 이와 같은 분포는 패널사이즈가 큰만큼 현저하게 된다. 또 종래 4인치급 정도의 소형패널에서는 1패널분의 패턴을 포토레지스터상에 형성할때에 한장의 포토마스크에 대해서 1회의 노광으로 충분하다고 한다. 그러나, 최근의 급속한 패널사이즈의 확대애 대해서 노광장치, 포토마스크등의 대응이 아직 불충분하기 때문에 대형패널을 노광할 때에는 분할노광법을 이용하는 것이 많다. 이 분할노광법은 1패널분의 패턴을 복수개로 분할하여 포토마스크상에 받아서 노광시에 기판상의 소정위치에 개개의 패턴을 순차노광하고 패턴을 연결함으로서 전체패턴을 재현하는 방법이다. 이 방법을 이용할 경우 패널의 표시영역을 복수회로 나누어 노광하게 되지만 노광기의 위치결정정도에 의존하여 각 노광 쇼트간의 패턴 중합정도에서 분산이 발생하기 때문에 게이트전극(21)과 소스전극(25)과 사이의 용량에서 각 쇼트간의 분산이 발생하게 된다. 이것은 표시상 표시영역의 분할양식 즉 분할상태에 따른 휘도얼룩이 되어 나타난다.
그리고 제6도에 나타낸 구성에서는 이와 같은 문제에 대해서 대책은 곤란하다는 것이 예상된다.
또 표시장치의 고정세화가 진행됨에 대해서 1화소의 사이즈가 보다 적게 되어 있지만 제6도에 나타낸 구조에서는 표시전극(26)을 그 중간부에서 크게 2개로 분할하고 있기 때문에 광학적인 유효이용영역이 적게 되어 버리고 화소개구율이 감소한다고 하는 문제가 있다. 이와 같이 제6도에 나타낸 바와 같은 액티브 매트릭스형 액정표시장치에서는 보조용량부의 쇼트보수 흔적을 완전히 눈에 띄지 않게 할 수 없다는 염려가 있다. 또 대형패널에서 노광시의 마스크 얼라인먼트 오차에 의한 표시얼룩이 발생하기 쉽고 화소 사이즈가 적을 경우 화소개구율이 적게 되는 등의 문제가 있다.
이와 같은 제6도에 나타낸 표시장치에 고유의 여러가지 문제를 해결할 수 있는 본 고안의 다른 실시예에 관한 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 대해서 제7도에서 제14도를 참조하여 설명한다. 제7도에 나타낸 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서는 표시전극(26)은 본체부(26a)를 구비하고, 이 본체부(26a)의 도시상부에 각각 가는 폭의 접속부(26b)를 통해 2개의 보조용량부(26c)가 형성되고, 이 한쪽의 보조용량부(26c)의 내단부에서 본체부(26a)측으로의 연출(延出)부(26d)가 형성되어 있다. 즉 각 1화소당 표시전극(26)은 전기적인 접속을 유지하기 위한 일부분을 제거하여 본체부(26a)와 2개의 보조용량부(26c)로 형상적으로 분할형성되어 있다. 또 표시전극(26)의 2개 보조용량부(26c)를 횡으로 잘라서 주사선(11)과 거의 평행하고 보조용량선(27)이 형성되어 있다. 또 표시전극(26)의 본체부(26a)와 한쪽의 보조용량부(26c)의 연출부(26d)에 대해서는 이들과 각각 일부가 겹쳐지도록 도전체(31)가 설치되어 있다. 단 이 도전체(31)는 제8도에 나타낸 바와 같이 게이트절연막(22)에 의해 표시전극(26)과의 사이가 절연되어 있다.
이와 같은 구성의 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 있어서 표시전극(26)의 한쪽 보조용량부(26c)와 보조용량부(27)과 사이의 예를 들면 제1도에 나타낸 x표시의 포인트 x에서 쇼트가 발생되었을 경우 우선 파선(Da1)을 따라서 도시된 우측의 접속부(26b)를 레이저에 의해 절단하고, 다른쪽의 보조용량부(26c)를 본체부(26a)에서 잘라낸다. 이 절단에서 화소는 쇼트상태에서 복귀하지 않기 때문에 쇼트가 도시된 좌측의 보조용량부(26c)에서 발생하고 있다는 것을 판별할수 있다. 다음으로 파선(Da2)을 따라서 즉 도시된 좌측의 접속부(26b)를 레이저에 의해 절단하고 쇼트부인 한쪽의 보조용량부(26c)를 본체부(26a)에서 잘라낸다. 계속하여 도전체(31)와 표시전극(26)의 본체부(26a) 및 다른쪽의 보조용량부(26c)에서의 연출부(26d)와의 겹친 부분을 레이저로 구멍을 뚫어서 게이트절연막(22)을 관통해서 도전체(31)에 의해 쇼트가 생기지 않는 보조용량부(26c)를 본체부(26a)와 전기적으로 접속하여 화소의 보수를 완료한다.
또 파선(Da1)을 따라서 절단한 시점에서 화소가 쇼트상태에서 복귀되었을 경우는 도시된 좌측의 보조용량부(26c)에서 쇼트가 발생하게 되고, 거기서 화소의 보수가 완료되는 것이 된다. 본 실시예에서는 보수화소가 눈으로 인식되는 것이라는 점에서는 제6도에 나타낸 장치와 거의 동등하지만 제6도에 나타낸 장치에 비해서 화소개구율을 크게 할 수 있다. 그리고 화소사이즈가 대단히 적을 경우 보수화소와 정상화소와의 휘도차는 인식되기 어렵게 되기 때문에 고정세한 직시(直視)형 패널에서 화소개구율을 증시할 경우에 특히 유효하다.
다음으로 제9도 내지 제14도는 각각 다른 실시예에 대해서 어레이 기판상의 1화소부분을 나타낸 평면도이다. 제9도 및 제10도에 나타낸 장치에 있어서는 화소의 구성은 기본적으로 제7도 및 제8도에 나타낸 구조와 대략 같지만 1화소당 표시전극(26)에 2개의 TFT(13A)(13B)는 각각 게이트전극(21)을 동일주사선(11)에 접속하는 동시에 각 드레인전극(24)을 동일 신호선(12)에 접속하고, 또 각 소스전극(25)을 표시전극(26)의 본체부(26a)에 접속하고 있고 동일주사선(11)과 신호선(12)을 공유하고 있다.
그리고 제9도의 경우는 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈는 같다고 하고 있다. 이 제9도의 화소에서 표시전극(26) 한쪽의 보조용량부(26c)에서의 x표시의 포인트 x에서 쇼트가 생길 경우의 보수법도 기본적으로는 제7도의 실시예와 같지만 본 실시예에서는 파선(Da1)(Da2)에 따라서 접속부(26b)를 절단하고 도전체(31)에 의해서 보조용량부(26c)를 본체부(26a)와 전기적으로 접속한 후 파선(Da3)에 따라 한쪽의 TFT(13B)에서의 소스전극(25)을 레이저에 의해 절단하고 표시전극(26)에서 한쪽의 TFT(13B)를 잘라내어 보조용량의 감소에 맞추어서 게이트·소스간 용량을 감소시키고 있다. 이에 따라 게이트·소스간 용량에 의해 보수화소의 표시전극의 전위변동은, 정상화소에서 발생하는 전위변동에 가깝게 되고 보수화소는 제7도에 나타낸 표시장치에 비해서 한층 눈으로 인식되기 어렵게 된다. 또 제9도에 나타낸 화소는 제6도에 나타낸 화소에 비해서 보수화소의 인식성이라고 하는 점에서는 모두 동등하지만 화소개구율에서는 우수하다.
다음으로 제10도에 나타낸 실시예는 제9도의 실시예가 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈를 같게 하고 있는데 대해서 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈를 다르게 하고 있다. 보수시에 잘라낸 한쪽의 TFT(13B)의 사이즈는 이 TFT(13B)의 절단에 의한 게이트소스간의 용량감소가 보수시의 보수용량의 감소와 적합하도록 설정되어 있다. 따라서 보수화소의 표시전극 전위변동은 정상화소와 거의 같게 되고 보수화소는 완전히 인식되지 않게 된다.
다음으로 제11도 및 제12도에 나타낸 실시예에서는 제8도 및 제9도의 실시예에 대해서 2개의 TFT(13A)(13B)의 구성을 변형한 것이다. 즉, 이 TFT(13A)(13B)는 게이트전극(21), 반도체층(23), 드레인전극(24)을 공유하고 이 드레인전극(24)을 표시전극(26)의 본체부(26a)를 향하여 돌출형성하는 동시에 이 드레인전극(24)을 끼워서 그 양측에 2개의 TFT(13A)(13B)를 대칭적으로 배치형성하고 있다.
그리고 제11도에 나타낸 장치에서는 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈는 동일하게 하고 있다. 제11도의 화소에서 표시전극(26)의 한쪽 보조용량부(26c)에서의 x표시의 포인트 x에서 쇼트가 발생되었을 경우 보수법은 제9도의 실시예와 같은 양상이다. 그리고 본 실시예에서는 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈와 같게 함으로써 마스크 얼라인먼트 오차가 발생한다 하더라도 2개의 TFT(13A)(13B)의 게이트·소스간 용량의 합은 항상 일정하게 되기 때문에 표시얼룩이 발생하기 어렵게 구성되어 있다. 단 보수화소의 인식성은 제9도의 실시예와 동등하다.
이것에 대해서 제12도에 나타낸 실시예는 제11도에 나타낸 실시예에 대해서 제10도에 나타낸 실시예와 같은 양상으로 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈를 다르게 한다. 본 실시예에서는 보조용량의 감소와 게이트·소스간 용량의 감소와의 접합을 고려하고 있다. 즉 2개의 TFT(13A)(13B)의 사이즈가 다르기 때문에 마스크 얼라인먼트 오차가 발생할 경우 게이트·소스간 용량의 면내 분포가 발생하기 쉽다. 그러나 이 분포는 제7도 내지 제10도 실시예에 비해서 훨씬 작기 때문에 표시얼룩을 거의 인식할 수 없는 수준까지 높이는 것이 가능하고 보수화소의 인식성을 향상시킬 수 있다.
다음으로 제13도에 나타낸 실시예는 전술한 각 실시예에 대해서 표시전극(26)의 본체부(26a)를 전기적으로 접속을 유지하기 위해 일부 접속부(26e)를 제거하고 신호선(12)과 평행적으로 크게 2로 분할하고, 이 각 본체부(26a)의 도시된 상부에 접속부(26b)를 통해서 보조용량선(27)상의 보조용량부(26c)를 형성하고 있다. 즉 표시전극(26)은 2개의 본체부(26a)와 2개의 보조용량부(26c)에서 형상적으로 분할하고, 또한 좌우 2개의 본체부(26a)의 중앙부에 대해서 도전체(31)를 설치하고 있다. 또 2개의 본체부(26a)에 대해서 제12도에 나타낸 실시예와 같은 양상의 TFT(13A)(13B)를 각각 설치하고 있다.
이 실시예에 있어서는 보조용량부(26c)의 x표시의 포인트 x에서 쇼트가 발생할 경우 최초로 파선(Da1)을 따라서 표시전극(26) 2개인 본체부(26a)의 접속부(26e)를 레이저에 의해 절단한다. 이 시점에서 쇼트의 발생이 없는 화소우측절반은 정상동작으로 돌아가기 위해 화소의 좌측에서 쇼트가 발생한다는 것을 판별할 수 있다. 다음으로 파선(Da2)을 따라서 한쪽 TFT(13B)의 소스전극(25)을 절단하고 그 TFT(13B)를 표시전극(26)에서 잘라낸다. 최후에 도전체(31)에 의해서 표시전극(26)이 2개인 본체부(26a)를 전기적으로 접속하고 보수를 완료한다.
본 실시예에 의하면 파선(Da1)을 따라서 절단을 행하였을 때에 어느쪽의 반화소부분의 쇼트가 발생하고 있는가를 시각적으로 명료하게 판별할 수 있다. 또 TFT(13A)(13B)의 게이트전극(21)과 소스전극(25)과 사이의 쇼트도 어느정도 보수할 수 있다. 즉 파선(Da2)을 따라서 보조용량부(26c)를 잘라낸 시점에서 화소좌측부분이 쇼트상태에서 복귀하지 않는다면 TFT(13B)부에서 쇼트가 발생하고 있다는 것을 판별할 수 있고 소스전극(25)부에서 TFT(13B)와 표시전극(26)을 잘라냄으로서 보수가 가능하게 된다.
다음으로 제14도에 나타낸 실시예는 제13도의 실시예에 대해서 표시전극(26)의 본체부(26a)를 접속부에 설치하는 것 없이 22개로 분할형성하고, 또 제14도와 같은 양상으로 드레인전극(24)을 끼워서 대칭적으로 배치되어 있는 2개의 TFT(13A)(13B)에 덧붙여서 이들과 게이트전극(21), 반도체층(23), 드레인전극(24)을 공유한 제3의 TFT(13C)를 또한 설치하고 있다.
이 제3의 TFT(13C)는 그 소스전극(25c)을 2개의 본체부(26a)에 접속하고 있고, 2개의 본체부(26a)는 제3의 TFT(13C)의 소스전극(25c)를 통해서 전기적으로 접속하고 있다. 또 좌우 2개의 TFT(13A)(13B)는 동규격으로 되어 있다.
본 실시예에 있어서도 좌우 2개의 TFT(13A)(13B)가 드레인전극(24)을 끼워서 대칭적으로 배치되어 있고 마스크 얼라인먼트 오차에 의한 표시얼룩 대책이 실시되고 있다. 화소결함보수에 대해서는 예를 들면 표시전극(26)과 보조용량선(27)과 사이의 x표시의 포인트 x에서 쇼트가 발생되었을 경우, 우선 파선(Da1, Da2)을 따라서 제3의 TFT(13C)의 소스전극(25c)을 레이저에 의해서 절단하고, 표시전극(26)이 2개인 본체부(26a)를 전기적으로 잘라내는 동시에 제3의 TFT(13C)를 표시전극(26)에서 잘라낸다. 그후 제7도의 실시예와 같은 양상으로 파선(Da3)을 따라서 쇼트된 보조용량부(26c)를 잘라내고 도전체(31)를 통해서 표시전극(26)이 2개인 본체부(26a)를 접속한다.
제13도의 실시예에서는 화소보수 실시후, TFT가 대칭배치되지 않기 때문에 패턴맞춤 정도가 나쁠 경우 보수화소와 정상화소와 표시전극 전위차가 크게 되어 버린다. 이것에 대해서 제14도에 나타낸 실시예에서는 화소보수후에 남는 TFT가 대칭배치되어 있기 때문에 보수화소와 정상화소와의 표시전극 전위의 차가 크게 되어버리는 문제를 피할 수가 있다.
제15도 및 제16도를 참조하여 본 고안의 또다른 실시예에 관계되는 액티브 매트릭스형 액정표시장치에 대해서 설명한다. 제15도는 어레이 기판상의 평면도, 제16도는 제15도에 나타낸 Ⅳ-Ⅳ선을 따르는 단면도를 나타내고 있다. 제15도에서 TFT(13)는 행선택선(11)과 일체인 게이트전극(23), 게이트절연막(22), 열선택선(12)과 일체인 드레인전극(24), 표시전극(26)에 접속된 소스전극(25) 및 반도체층(22)으로 구성되어 있다. 또 보조용량은 표시전극(26)에 일체로 형성된 제2보조용량전극(26b)과 표시전극(26)에 접속되지 않는 제1보조용량전극(26a)으로 분할되고, 표시전극(26)과 제1보조용량전극(26a)의 사이에는 전기적으로 부유(浮遊)된 도전체(31)가 각 전극에 중복하도록 형성되어 있다. 또한 제1및 제2보조용량전극(26a)(26b)을 횡으로 절단하여 개략 평행인 방향으로 보조용량선(27)이 형성되어 있다.
본 실시예에서는 보조용량부의 x표시에 표시전극(26), 보조용량선(27) 사이에 쇼트가 발생되었을 경우 우선 파선(Da1)을 따라서 레이저커팅을 행하고 결함이 발생된 제2보조용량전극(26b)을 표시전극(26)에서 잘라낸다.
이 시점에서는 표시전극(26)은 화소결함이 되지는 않지만 전술한 바와 같이 주변정상화소의 화소전극전위차가 발생하고 표시품위를 하락시킨다.
그리고 다음으로 표시전극(26) 및 제1보조용량전극(26a) 사이에 형성되어 전기적으로 부유되어 있던 도전체(31)와 각각의 전극과의 레이저본딩을 행하고 소스전극(25)에 접속된 표시전극(26)과 이 표시전극(26)에서 부유되고 있던 제1보조용량전극(26a)을 전기적으로 접속한다. 이때 레이저커팅에 의해 잘라낸 제2보조용량전극(26b)에서 형성된 보조용량과 레이저본딩으로 접속된 제1보조용량전극(26a)으로 형성되는 보조용량을 동등하게 함으로서, 보수를 행해도 주변정상화소와의 화소전극전위차가 없고, 즉 보수후에 주변정상 화소와의 시각차가 없고 표시품위가 없는 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 얻을 수 있다.
이상과 같이 본 고안에 의하면 전극간의 쇼트로 기인하는 화소결함을 레이저 보수법등에 의해 화소개구율을 계속 크게 하여 거의 완전하게 보수하는 것이 가능하게 된다. 또 본 고안에 의하면 분할부분의 절단, 도전체에 의해 접속등과 함께 표시전극에서 복수의 스위칭소자중의 일부를 잘라내어 보조용량의 감소에 합당하게 스위칭소자의 용량을 감소시킴으로서 보수화소의 표시전극전위변동을 정상화소에 가깝게 하여 보다 완전한 보수를 행할 수 있다. 또, 이때 1화소내의 표시전극의 각 분할부는 전기적으로 접속되어 있기 때문에 스위칭소자의 설정, 배치, 표시전극의 분할법 등에서 자유도를 크게 할 수 있다. 또한 본 고안에 의하면 상기와 같은 보수를 가능하게 하는 동시에 노광시의 패턴맞춤얼룩에 의한 표시얼룩을 방지하는 것이 가능하고 화소결함이 거의 없는 고표시품위를 가진 액티브 매트릭스형 액정표시장치를 얻을 수가 있다.

Claims (16)

  1. 투명한 기판과, 상기 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 상기 기판상에 배열되고 상기 행선택선으로부터 전기적으로 절연된 복수보조용량선과, 상기 기판상에 상기 행선택선과 교차하도록 배열되고, 상기 행선택선과 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 복수개의 제1및 제2표시전극 세그먼트로서, 각 제1및 제2표시전극 세그먼트의 조합이 1화소를 규정하고, 상기 복수의 조합이 매트릭스상으로 배치되어 있는 제1및 제2표시전극 세그먼트와, 상기 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대응하는 제1및 제2스위칭소자로서, 각 제1스위칭소자는 대응하는 제1표시전극을 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하고, 각 제2스위칭소자는 대응하는 제2표시전극을 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 제1및 제2스위칭소자와, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재로서, 그 각각이 서로 대응하는 제1및 제2표시전극 세그먼트 사이에 설치되고, 양자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하게 설치되어 있는 다수의 도전부재와, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 공통전극과의 사이에 설치된 액정층을 구비하고, 상기 기판 및 상기 기판상에 형성된 행선택선, 보조용량선 및 도전부재 위에 형성된 투명 절연층이 있고, 상기 절연기판상에 열선택선 및 제1및 제2표시전극 세그먼트가 형성되고, 상기 제1및 제2스위칭소자 각각은 행선택선에 접속되고, 상기 기판상에 형성된 게이트전극과 소스영역 및 드레인영역을 가지고, 게이트전극상의 절연층상에 형성된 반도체층과 대응하는 제1및 제2표시전극 세그먼트의 1개에 접속되고, 반도체층상에 연출된 소스전극 및 열선택선에 접속되고, 반도체층 상에 연출된 드레인전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 보조용량선은 제1및 제2표시전극 세그먼트의 한쪽과 이 한쪽에 보조용량선이 전기적으로 접속된 쇼트부를 가지며, 상기 도전부재는 제1및 제2표시전극 세그먼트에 전기적으로 접속되는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 보조용량선은 또한 쇼트부를 보조용량선에서 전기적으로 분리하는 잘라낸 부분을 가진 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 제1및 제2 스위칭전극의 한쪽이 대응하는 제1및 제2표시 전극 세그먼트의 한쪽으로부터 전기적으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 제1및 제2표시전극 세그먼트는 각각 화소를 규정하는 주된 영역부와, 보조용량선에 대향되는 용량부 및 이 용량부를 주영역부에 접속하는 절단용이한 협소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  6. 투명한 기판과, 상기 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 상기 기판상에 배열되고 상기 행선택선으로부터 전기적으로 절연된 복수의 보조용량선과, 상기 기판상에 상기 행선택선과 교차하도록 배열되고, 상기 행선택선과 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 각각이 1화소를 규정하는 매트릭스형으로 배치된 다수의 표시전극과, 각 표시전극에서 연출된 제1및 제2전극 세그먼트와, 각각 표시전극에 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 스위칭소자와, 제1및 제2전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재로서, 그 각각이 서로 대응하는 1개의 제1및 제2전극 세그먼트와 표시전극과의 사이에 설치되고 양자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하게 설치되어 있는 다수의 도전부재와, 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대향하여 설치된 공통전극과, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 공통전극과의 사이에 설치된 액정층을 구비하고, 상기 기판, 상기 기판상에 형성된 행선택선, 보조용량선 및 도전부재 위에 형성된 투명절연층이 있고, 상기 절연기판상에 열선택선, 표시전극 및 제1및 제2전극 세그먼트가 형성되고 상기 스위칭소자는 행선택선에 접속되고, 상기 기판상에 형성된 게이트 전극과 소스영역 및 드레인영역을 가지고, 게이트 전극상의 절연층상에 형성된 반도체층과, 대응하는 제1및 제2표시전극 세그먼트의 1개에 접속되고, 상기 반도체층상에 연출된 소스전극 및 행선택선에 접속되고, 반도체층상에 연출된 드레인 전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 보조용량선은 제1및 제2표시전극 세그먼트의 한쪽과, 이 한쪽에 보조용량선이 전기적으로 접속된 쇼트부를 가지고, 상기 도전부재는 제1및 제2표시전극 세그먼트의 한쪽과 표시전극에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  8. 제6항에 있어서, 각각 표시전극에 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 제2스위칭소자를 구비한 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  9. 제8항에 있어서, 상기 제1및 제2스위칭소자의 한쌍이 대응하는 표시전극으로부터 전기적으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  10. 제8항에 있어서, 상기 제1및 제2스위칭소자는 서로 다른 용량을 가진 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  11. 제6항에 있어서, 상기 제1및 제2표시전극 세그먼트는, 보조용량선에 대향되는 용량부 및 상기 이용량부를 표시전극에 접속하는 절단용이한 협소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  12. 제6항에 있어서, 상기 표시전극은 2개의 세그먼트영역과, 이것을 연결하는 절단용이한 협소영역을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  13. 투명기판과, 상기 기판상에 배열된 복수의 행선택선과, 상기 기판상에 배열되고, 상기 행선택선에서부터 전기적으로 절연된 복수의 보조용량선과, 상기 기판상에 상기 행선택선과 교차하도록 배열되고, 상기 행선택선으로부터 전기적으로 절연된 복수의 열선택선과, 각각이 1화소를 규정하는 매트릭상으로 배치된 복수의 표시전극과, 각 표시전극에 연출된 제1전극 세그먼트와, 각 표시전극에 대응하여 설치되고, 상기 표시전극에 대해서 전기적으로 절연된 제2전극 세그먼트와, 각각 표시전극에 대응하는 열선택선 및 행선택선에 접속하는 스위칭소자와, 제1및 제2전극 세그먼트와 보조용량선과의 사이에 설치된 제1및 제2보조용량과, 다수의 도전부재로서, 그 각각이 서로 대응하는 제2전극 세그먼트와 표시전극과의 사이에 설치되고, 양자를 전기적으로 접속하는 것이 가능하게 설치되어 있는 다수의 도전부재와, 제1및 제2표시전극 세그먼트에 대향하여 설치된 공통 전극과, 제1및 제2표시전극 세그먼트와 공통전극과의 사이에 설치된 액정층을 구비하고, 상기 기판 및 상기 기판상에 형성된 행선택선, 보조용량선 및 도전부재 위에 형성되는 투명절연층이 있고, 상기 절연기판상에 열선택선, 표시전극 및 제1및 전극 세그먼트가 형성되어 있고, 상기 스위칭소자는 행선택선에 접속되고, 기판상에 형성된 게이트전극과 소스영역 및 드레인영역을 가지고, 게이트전극 상의 절연층 상에 형성된 반도체층과, 대응하는 제1및 제2표시전극 세그먼트의 1개에 접속되고, 반도체층상에 연출된 드레인전극을 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  14. 제13항에 있어서, 상기 보조용량선은 제1표시전극 세그먼트와 이 세그먼트에 보조용량선이 전기적으로 접속된 쇼트부를 가지고, 상기 도전부재는 제2표시전극 세그먼트와 표시전극에 전기적으로 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  15. 제13항에 있어서, 상기 보조용량선은 제2표시전극 세그먼트와 이 세그먼트에 보조용량선이 전기적으로 접속된 쇼트부를 가지며, 도전부재는 제2표시전극 세그먼트와 표시전극에 전기적으로 분리되어 있는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
  16. 제13항에 있어서, 상기 제1표시전극 세그먼트는 보조용량선에 대향되는 용량부 및 이 용량부를 표시전극에 접속하는 절단용이한 협소부를 포함하는 것을 특징으로 하는 액티브 매트릭스형 액정표시장치.
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