KR20220101723A - 전기화학 전지 및 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층 분석 방법 - Google Patents

전기화학 전지 및 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층 분석 방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층(10)을 분석하기 위한 방법 및 장치에 관한 것이며, 이 방법은 다음 단계들을 포함한다: i) 미리 정해진 양의 테스트 가스를 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반하는 단계; 및 ii) 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11) 반대편에 있는 기능층(10)의 제 2 표면(12)에 배치된 검출 유닛(3)에 의해 기능층(10)을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하는 단계.

Description

전기화학 전지 및 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층 분석 방법
본 발명은 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층의 결함을 분석하는 방법에 관한 것이다.
전기화학 전지의 멤브레인, 촉매층 또는 촉매 코팅된 멤브레인의 품질 관리에서, 예를 들어 멤브레인 또는 촉매층의 결함을 찾기 위해 육안 검사가 수행된다. 육안 검사의 단점은 종종 층의 가시 표면에서만 결함들이 발견될 수 있고 예를 들어 층 내부의 결함들, 예를 들어 가스 투과성이 증가된 결함들이 감지되지 않고 남아 있다는 것이다.
본 발명의 과제는 전체 기능층의 결함을 확실하게 검출하며, 빠르고 쉽게 적용할 수 있고 기술적인 노력을 거의 필요로 하지 않는, 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층을 분석하기 위한 방법을 제공하는 것이다. 또한, 본 발명의 과제는 구조가 간단하여 취급이 복잡하지 않은 것을 특징으로 하는, 상기 방법을 수행하기 위한 장치를 제공하는 것이다.
상기 과제는 독립 청구항들에 정의된 방법 및 장치에 의해 해결된다. 종속 청구항들은 바람직한 실시예들 및 개선예들을 제시한다.
따라서, 상기 과제는 다음 단계들을 포함하는 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층을 분석하는 방법에 의해 해결된다:
i) 미리 정해진 양의 테스트 가스를 기능층의 제 1 표면으로 운반하는 단계; 및
ii) 기능층의 상기 제 1 표면 반대편에 있는 기능층의 제 2 표면 상에 배치된 검출 유닛에 의해 기능층을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하는 단계.
본 발명에 따른 방법은 특히 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층에서 발생할 수 있는 구멍, 밀도 차이, 천공 또는 균열과 같은 결함들의 분석을 다룬다. 기능층은 예를 들어 촉매층, 멤브레인, 촉매 코팅된 멤브레인, 또는 폴리머 필름 및 가스 확산층과 조합된 촉매 코팅된 멤브레인일 수 있으며, 기능층은 특히 연료 전지 애플리케이션, 전기분해 전지 애플리케이션 또는 전기화학 센서 애플리케이션에 사용된다. 전기화학 센서 애플리케이션은 예를 들어 전기화학적 반응을 사용하는 일산화탄소 검출기 또는 수소 검출기를 의미하는 것으로 이해된다.
기능층은 하부면이라고도 할 수 있는 제 1 표면, 및 상부면이라고도 할 수 있는 제 2 표면을 갖는다. 제 1 표면과 제 2 표면은 평평하고 층 두께 방향으로 서로 마주보고 있다. 따라서, 제 1 및 제 2 표면은 기능층의 외부면을 형성한다.
제 1 방법 단계에서 미리 정해진 양의 테스트 가스가 기능층의 제 1 표면으로 운반된다. 테스트 가스는 확산에 의해 기능층을 통과하고 기능층의 제 2 표면에서 기능층을 빠져 나온다.
그 다음에, 기능층을 통과한 테스트 가스의 양은 특히 기능층의 제 1 표면 반대편에 있는 기능층의 제 2 표면에 배치된 검출 유닛에 의해 정량적으로 결정된다. 검출 유닛은 구체적으로 제한되지 않으며 테스트 가스의 정량적 결정을 가능하게 하는 임의의 검출 유닛을 포함할 수 있다. 바람직하게는, 검출 유닛은 제 1 표면으로 운반되는 테스트 가스 흐름 반대편에 있는 제 2 표면에 국부적으로 부착된다. 따라서, 확산으로 인한 테스트 가스 손실이 최소화될 수 있다. 그러나, 검출 유닛은 바람직하게는 제 2 표면에 영구적으로 연결되지 않고 제 2 표면과 단지 접촉한다.
기능층을 통한 테스트 가스의 확산, 즉 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층 단면을 통한 테스트 가스의 확산은 기능층의 균질성에 대한 특징이다. 예를 들어, 테스트 가스는 결함이 없는 기능층을 통과하는 것보다 더 빠르고 완전하게 기능층의 구멍 또는 감소된 밀도 또는 감소된 두께의 위치를 통과한다. 따라서 기능층의 제 1 표면으로 운반되는 미리 정해진 양의 테스트 가스와 관련하여, 정량적으로 결정된 테스트 가스의 양은 기능층에 결함의 존재에 대한 신뢰할 수 있는 증거이다. 필요한 경우, 미리 정해진 양의 테스트 가스가 기능층을 통과하는데 사용되는 시간도 분석에 포함될 수 있다.
바람직하게는, 미리 정해진 양의 테스트 가스가 먼저 기능층의 무결함 영역을 통과할 수 있고, 그 다음에 검출 유닛은 테스트 가스가 기능층을 통과하고 기능층의 제 2 표면에서 기능층으로부터 배출된 시간과 양을 정량적으로 결정할 수 있다. 이 값들은 교정값들 또는 비교값들로 사용될 수 있다. 한 경우에 비교값에 의해 지정된 것보다 적은 테스트 가스(단위 시간당)가 기능층을 통과하면 이는 기능층의 검사 영역에서 밀도가 증가하거나 가스 불투과성 이물질이 있음을 나타낸다. 다른 경우에 비교값에 의해 지정된 것보다 더 많은 테스트 가스(시간 단위당)가 기능층을 통과하면 이는 결함, 예를 들어 감소된 밀도, 감소된 단면적, 구멍 또는 균열을 갖는 지점이 있음을 나타낸다.
기능층을 통과한, 미리 정해진 양의 테스트 가스를 정량적으로 결정함으로써, 큰 기술적 노력 없이 빠르고 쉽게 적용될 수 있어 기능층의 결함을 신뢰성 있게 검출할 수 있는 기능층 분석 방법이 제공된다. 검출 유닛에 의해 결정된, 기능층을 통과한 테스트 가스의 양은 예를 들어 디스플레이 장치를 통해 표시될 수 있다.
바람직한 개선예에 따르면, 기능층의 제 1 표면으로 운반되는 테스트 가스는 기능층의 제 1 표면 상에 배치된 테스트 가스 챔버에 제공된다. 테스트 가스 챔버는 테스트 가스 챔버로의 테스트 가스 공급을 제외하고 방법이 수행되는 동안 기능층의 제 1 표면에만 열려 있는 닫힌 영역이다. 테스트 가스 챔버는 테스트 가스가 기능층의 제 1 표면으로 직접 운반되고 기능층을 통과하기 전에 확산되지 않도록 한다. 이것은 또한 테스트 가스 이외의 가스의 공급을 방지한다.
테스트 가스 챔버는 미리 정의된 부피, 및 기능층의 길이 방향으로 정의된 길이를 갖는 개구를 갖는다. 기능층의 길이 방향은 직교 좌표계에 따라 X-방향으로 연장되고 층 두께 방향에 수직으로 연장되는 기능층의 연장을 의미하는 것으로 이해된다. 또한, 테스트 가스 챔버의 개구는 기능층의 가로 방향으로 연장되는 가변적으로 조절 가능한 폭을 갖는다. 기능층의 가로 방향은 직교 좌표계에 따라 Z-방향으로 연장되고 층 두께 방향에 수직으로 그리고 길이 방향에 수직으로 연장되는 기능층의 연장을 의미하는 것으로 이해된다. 따라서, 미리 정해진 양의 테스트 가스는 테스트 가스 챔버로부터 테스트 가스 챔버의 개구를 통해 기능층의 제 1 표면으로 특히 양호하게 조절 가능한 방식으로 운반될 수 있다.
기능층은 바람직하게는 운송 장치 상에 제공된다. 특히, 기능층을 수평으로 이동시키는 컨베이어 벨트가 운송 장치로서 바람직하게 고려될 수 있다. 운송 장치가 검출 유닛과 테스트 가스 챔버 사이, 보다 정확하게는 기능층과 테스트 가스 챔버 사이 또는 기능층과 검출 유닛 사이에 배치되므로, 기능층은 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에서 이동 또는 이송될 수 있다. 테스트 가스가 의도한 대로 기능층을 통과할 수 있도록 운송 장치에는 테스트 가스 챔버의 길이 방향의 길이 및 가로 방향의 폭으로 정의되는, 제 1 표면을 향한 테스트 가스 챔버의 개구와 동일한 치수를 갖는 오목부가 있다.
추가의 바람직한 실시예에 따르면, 기능층은 운송 장치에 의해 특히 0.2 m/min 내지 50 m/min의 속도로 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에서 연속적으로 운송된다. 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에서 기능층의 연속적인 운송은 특히 기능층이 긴 웨브 형태일 때 기능층의 연속적인 분석을 가능하게 한다. 0.2 m/min 내지 50 m/min의 운송 속도는 기능층의 전체 길이에 걸쳐 빠르고 신뢰할 수 있는 분석을 가능하게 한다.
기능층을 통과한 테스트 가스의 양을 결정할 때 에러를 피하기 위해, 기능층은 바람직하게는 진공에 의해 운송 장치로 흡입된다. 따라서, 테스트 가스가 기능층을 통과하기 전에 테스트 가스의 확산을 촉진할 수 있는, 기능층과 운송 장치 사이의 에어 갭들이 피해질 수 있다. 이를 위해, 운송 장치는 특히 다공성, 즉 진공 장치가 연결되거나 배치될 수 있는 개구들을 갖는다.
다른 실시예에 따르면, 기능층은 고정된 롤러 코어 위로 안내되고, 상기 롤러 코어 상에 이동 가능한 다공성 케이싱이 배치되며, 상기 케이싱을 통해 기능층이 진공에 의해 흡입될 수 있다. 테스트 가스 챔버는 특히 테스트 가스 챔버의 개구가 다공성 케이싱 상의 기능층이 그 위를 지나는 롤러 코어의 표면과 정렬되는 방식으로 고정된 롤러 코어 상에 배치된다. 따라서, 이 실시예에서도, 테스트 가스 챔버의 개구는 미리 정해진 양의 테스트 가스가 운반되는 기능층의 제 1 표면과 직접 접촉한다.
기능층의 특정 프리스트레싱을 가능하게 하기 위해, 기능층은 바람직하게는 적어도 하나의 추가 가이드 롤러 위로 안내되고, 그 결과 측정 부정확성이 방지될 수 있다.
바람직하게, 기능층은 분석이 수행되기 전에 제 1 공급 롤러로부터 풀릴 수 있고 분석이 수행된 후에 제 2 공급 롤러로 롤업될 수 있으며, 이는 공정이 연속적으로 수행될 수 있게 한다.
기능층은 바람직하게는 예를 들어 제한 밴드에 의해 길이 방향으로 측면 안내되어 미리 정해진 양의 테스트 가스가 기능층의 지정된 지점을 통과할 수 있으므로 부정확한 측정 값이 감소된다.
공정 속도를 높이려면 기능층을 통과한 테스트 가스가 검출 유닛으로 능동적으로 운반되는 것이 바람직하다. 이것은 예를 들어 기능층의 제 2 표면을 지나 검출 유닛으로 운반되는 불활성 가스 흐름에 의해 수행될 수 있다. 기능층을 통과하고 기능층의 제 2 표면에 존재하는 테스트 가스를 흡입하고 이를 검출 유닛으로 운반하는 진공 장치가 검출 유닛의 측면에 제공될 수도 있다.
기능층의 제 1 표면으로 운반될 미리 정해진 양의 테스트 가스를 더 쉽게 조절할 수 있도록 하기 위해, 테스트 가스는 바람직하게는 일정하거나 제어 가능한 압력으로 기능층의 제 1 표면으로 운반된다.
방법의 속도를 더욱 높이고 테스트 가스가 기능층을 통과하는 것을 보장하기 위해, 바람직하게는 테스트 가스가 적어도 0.1 bar의 과압, 특히 적어도 0.5 bar의 과압으로 기능층의 제 1 표면으로 운반된다.
측정 부정확성을 최소화하기 위해, 바람직하게는 테스트 가스가 0.1 L/min 내지 100 L/min의 체적 유량으로 기능층의 제 1 표면으로 운반될 수 있다. 이로 인해, 정량적으로 매우 양호하게 결정될 수 있는 상당한 양의 테스트 가스가 제공된다.
또한 본 발명에 따르면, 상기 개시된 방법을 수행하기 위한 장치가 기술된다. 이 장치는 미리 정해진 양의 테스트 가스를 기능층의 제 1 표면으로 운반하기 위한 테스트 가스 챔버, 및 기능층을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하기 위한 검출 유닛을 포함한다.
본 발명에 따른 장치가 상기 개시된 본 발명에 따른 방법을 수행하기 위해 제공되기 때문에, 장치 관련 특징 및 기술적 세부사항의 정의와 관련하여 본 발명에 따른 방법에 대한 해당 설명이 추가로 참조된다.
따라서, 테스트 가스 챔버는 기능층의 제 1 표면에 배치되고 검출 유닛은 기능층의 제 1 표면 반대편에 있는 기능층의 제 2 표면에 배치된다. 따라서 기능층은 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에 있다. 또한, 테스트 가스 챔버는 기능층의 제 1 표면을 향해 열려 있고 이를 위해 기능층의 길이 방향으로 정의된 길이 및 가로 방향으로 가변적으로 조절 가능한 폭을 갖는 개구를 갖는다. 따라서 테스트 가스는 미리 정의할 수 있는 큰 개구를 통해 기능층의 제 1 표면으로 운반될 수 있다.
본 발명에 따른 장치는 복잡하지 않고 공간 절약적인 구조를 특징으로 하며 전기화학 전지 및 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층에 대한 신뢰성 있고 신속한 분석을 가능하게 한다.
바람직한 실시예에 따르면, 개구의 길이는 1 mm 내지 500 mm이다. 이 경우 길이는 직교 좌표계를 가정하여 X-방향에서 측정된다.
헬륨 및 헬륨을 갖는 가스 혼합물은 매우 우수한 확산 특성을 특징으로 하기 때문에, 헬륨 또는 헬륨 농도가 1 ~ 100 부피% 미만인 가스 혼합물이 테스트 가스로서 적합하다.
검출 유닛은 바람직하게는 질량 분석기(mass spectrometer)를 포함하므로, 정량적 분석뿐만 아니라 정성적 분석도 수행될 수 있고 분석에 대한 외부 가스의 영향이 배제될 수 있거나 결정될 수 있다.
장치는 바람직하게는 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에서 길이 방향으로 기능층의 측면 안내를 위한 적어도 하나의 측면 가이드, 특히 적어도 하나의 가이드 벨트를 포함한다. 이는 분석 대상 기능층이 미끄러지는 것을 방지할 수 있고 기능층 상에서 테스트 영역의 위치 찾기를 용이하게 할 수 있다. 또한 가이드 벨트는 테스트 가스가 바이패스의 의미로 측면으로 빠져나갈 수 없도록 한다.
제 1 표면으로 운반될 미리 정해진 양의 테스트 가스의 설정을 용이하게 하기 위해, 장치는 바람직하게는 테스트 가스의 압력을 설정 및 제어하기 위한 압력 제어 장치 및/또는 테스트 가스의 체적 흐름을 설정하기 위한 도우징 장치를 포함할 수 있다.
또한 바람직하게는 기능층을 통과한 테스트 가스를 검출할 때 에러를 최소화한다는 관점에서, 기능층을 통과한 테스트 가스를 검출 유닛으로 능동적으로 운반하기 위한 흡입 장치가 제공된다.
또한, 장치는 바람직하게는 기능층을 통과한 테스트 가스를 검출 유닛으로 능동적으로 운반하기 위한 캐리어 가스를 도입하기 위한 장치를 포함할 수 있다. 이 실시예는 캐리어 가스의 영향이 별도로 결정될 수 있기 때문에 검출 유닛이 질량 분석기를 포함하는 실시예에 비추어 특히 바람직하다.
또한, 장치는 바람직하게는 테스트 가스 챔버와 검출 유닛 사이에서 운송 장치에 의해 기능층을 연속적으로 안내하기 위한 운송 장치를 포함할 수 있다. 결과적으로, 이 방법은 상기 장치를 사용하여 연속적이고 빠르게 수행될 수 있다. 또한, 기능층은 어느 지점에서든 쉽고 안정적으로 분석될 수 있다.
이전 실시예에서, 운송 장치로 기능층을 흡입하기 위한 진공을 생성하기 위해 진공 장치가 제공되는 경우 특히 바람직하다. 이는 분석 결과에 대한 외부 가스의 영향을 최소화하고 따라서 장치에 의해 수행되는 방법의 신뢰성과 정확성을 개선한다.
장치는 또한 바람직하게는 이동 가능한 다공성 케이싱이 배치된 고정된 롤러 코어를 포함할 수 있으며, 테스트 가스 챔버는 고정된 롤러 코어에 배치되고 기능층은 다공성 케이싱 상에서 안내된다. 다공성 케이싱은 예를 들어 롤러 코어 주위에서 이동할 수 있는 별도의 층일 수 있다.
또한, 적어도 하나의 추가 가이드 롤러가 제공될 수 있으며, 이 가이드 롤러는 기능층의 운송 및 제공을 개선하고, 불균일하게 놓여 있는 기능층으로 인한 측정 에러를 방지하기 위해 기능층의 신장을 가능하게 한다.
본 발명의 추가 세부사항들, 이점들 및 특징들은 도면을 참조하여 실시예에 대한 하기 설명에 나타난다.
도 1은 제 1 실시예에 따른 장치의 개략적인 측면도를 도시한다.
도 2는 제 2 실시예에 따른 장치의 개략적인 측면도를 도시한다.
도면에는 본 발명의 중요한 특징들만 도시되어 있다. 다른 모든 특징들은 명확성을 위해 생략되어 있다. 또한, 동일한 도면 부호들은 동일한 요소 또는 부품을 나타낸다.
구체적으로, 도 1은 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층(10)을 분석하기 위한 방법을 수행하기 위한 장치(1)를 개략적인 측면도로 도시한다. 장치는 미리 정해진 양의 테스트 가스를 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반하기 위한 테스트 가스 챔버(2), 및 기능층(10)을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하기 위한 검출 유닛(3)을 포함한다.
이 경우, 테스트 가스 챔버(2)는 도 1에 도시된 실시예에서 기능층(10)의 하부면을 나타내며 XZ-방향으로 연장된 기능층(10)의 제 1 표면(11) 상에 배치된다.
검출 유닛(3)은 기능층(10)의 제 2 표면(12) 상에 배치된다. 제 2 표면(12)은 기능층(10)의 제 1 표면(11) 반대편에 있으며, 도 1에 도시된 실시예에서 마찬가지로 XZ-방향으로 연장된 기능층(10)의 상부면을 형성한다.
테스트 가스 챔버(2)는 기능층(10)의 제 1 표면(11)에 대해 개방된다. 이것은 기능층(10)의 길이 방향(X)으로, 즉 여기에 도시된 실시예에서 장치 통과 방향으로, 정의된 길이 및 Z-방향으로 연장하는 가변적으로 조절 가능한 폭을 갖는 개구(2a)를 갖는다. 따라서 테스트 가스 챔버(2)는 개구(2a)에 의해 기능층(10)의 제 1 표면(11)과 접촉한다. 개구의 길이는 예를 들어 1 mm 내지 500 mm일 수 있다.
테스트 가스 챔버(2)는 예를 들어 외부로부터 테스트 가스 챔버(2)에 공급될 수 있는 테스트 가스를 포함한다. 테스트 가스는 바람직하게는 헬륨 또는 헬륨 농도가 1 내지 100 부피% 미만인 가스 혼합물이다.
미리 정해진 양의 테스트 가스는 방법을 수행하기 위해 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반된다. 이를 위해, 테스트 가스는 예를 들어 적어도 0.1 bar의 압력을 받을 수 있으며, 장치(1)는 바람직하게는 테스트 가스의 압력을 설정 및 제어하기 위한 압력 제어 장치 및/또는 테스트 가스의 체적 흐름을 설정하기 위한 도우징(dosing) 장치를 포함한다.
테스트 가스는 테스트 가스 챔버(2)를 떠나서 층 두께 방향(Y)으로 기능층(10)을 통해 확산한다. 기능층(10)을 통과한 테스트 가스를 검출 유닛(3)으로 수송하는 속도를 높이기 위해, 장치(1)는 기능층(10)을 통과한 테스트 가스를 검출 유닛(3)으로 능동적으로 운반하기 위한 흡입 장치(7)를 포함할 수 있다. 테스트 가스는 기능층(10)의 제 2 표면(12)에 도달한다. 거기서, 검출 유닛(3)은 기능층(10)을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정한다. 이를 위해, 검출 유닛(3)은 테스트 가스의 성분를 결정하여 테스트 가스 및 외부 가스(foreign gas)의 조성을 결정할 수 있는 질량 분석기(4; mass spectrometer)를 포함할 수 있다. 검출 유닛(3)에 의해 결정된 결과는 디스플레이 장치에 표시될 수도 있다.
기능층(10)의 분석 대상 지점에 예를 들어 구멍, 천공 또는 균열 등의 결함이 있는 경우, 테스트 가스는 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로부터 제 2 표면(12)으로 더 빠르게 이동한다. 즉, 기능층(10)의 결함이 없는 위치보다 기능층(10)을 통해 단위 시간당 더 많은 테스트 가스를 확산한다. 이것은 정량적으로 결정될 수 있고 기능층에 결함의 존재와 관련될 수 있다.
장치(1)는 콤팩트한 디자인을 특징으로 하며 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층(10)을 빠르고 안정적으로 분석할 수 있다. 특히, 멤브레인, 촉매층, 촉매 코팅된 멤브레인, 및 폴리머 필름과 가스 확산층과 조합된 촉매 코팅된 멤브레인이 기능층(10)으로 고려된다.
도 1에 도시된 바와 같이, 기능층(10)은 운송 장치(5) 상에서 안내될 수 있다. 운송 장치(5)는 테스트 가스 챔버(2)와 검출 유닛(3) 사이에서 기능층(10)을 연속적으로 안내하는 역할을 한다. 측면 가이드(6)는 특히 가이드 벨트의 형태로 운송 장치(5) 상에 제공될 수 있어, 기능층(10)은 길이 방향(X)으로 측면 안내되고 미끄러짐이 방지된다. 운송 장치(5)에 대한 기능층(10)의 고정을 개선하기 위해, 운송 장치(5)로 기능층(10)을 흡입하기 위한 진공을 생성하기 위한 진공 장치가 제공될 수 있다.
테스트 가스 챔버(2)의 영역에서 운송 장치(5)는 테스트 가스가 테스트 가스 챔버(2)로부터 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 방해받지 않고 확산될 수 있도록 대응 리세스를 갖는다.
장치(1)는 고기능성으로 콤팩트하게 설계되고 결함에 대한 기능층(10)의 신뢰성 있고 신속한 분석을 가능하게 한다.
도 2는 장치(1)의 제 2 실시예를 도시한다. 제 2 실시예에서, 장치(1)는 운송 장치(5) 대신에, 이동 가능한 다공성 케이싱(9)이 배치되는 고정된 롤러 코어(8)를 포함한다. 테스트 가스 챔버(2)는 고정된 롤러 코어(8) 상에 배치된다.
이 실시예에서, 기능층(10)은 고정된 롤러 코어(8)의 다공성 케이싱(9) 상에서 안내된다. 또한, 기능층은 2개의 추가 가이드 롤러(8a 및 8b) 상에서 안내되며, 그 결과 기능층(10)이 신장될 수 있다.
결함에 대해 기능층(10)을 분석하는 방법은 도 1의 장치(1)에 도시된 것과 유사하게 수행될 수 있다. 기능층(10)은 가이드 롤러(8a 및 8b)와 다공성 케이싱(9)을 통해 테스트 가스 챔버(2)와 검출 유닛(3) 사이에서 안내된다. 이 영역에서, 테스트 가스는 테스트 가스 챔버(2)로부터 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반되어, 층 두께 방향(Y)으로 기능층을 통과하고 제 2 표면(12)에 도달하며, 상기 제 2 표면의 바로 주변에 검출 유닛(3)이 배치된다. 기능층(10)을 통과한 테스트 가스는 검출 유닛(3)에 의해 정량적으로 결정되어, 이 실시예에서도 기능층(10)을 통과한 결정된 테스트 가스의 양을 기초로 기능층에 결함의 존재가 추정될 수 있다.
교정을 위해, 두 실시예에서, 장치(1)는 먼저 이 방법을 사용하여 검사할 기능층(10)의 무결함 영역을 분석할 수 있으므로 통과한 테스트 가스의 양에 대한 비교 값과 필요한 경우 이에 필요한 시간이 결정될 수 있다.
제 2 실시예의 장치는 또한 콤팩트하지만 고기능 설계를 특징으로 한다.
본 발명의 상기 설명에 더하여, 보충 설명에는 도 1 및 도 2의 본 발명의 도시가 참조된다.
1: 장치
2: 테스트 가스 챔버
2a: 개구
3: 검출 유닛
4: 질량 분석기
5: 운송 장치
6; 측면 가이드
7: 흡입 장치
8: 고정된 롤러 코어
8a: 가이드 롤러
8b: 가이드 롤러
9: 다공성 케이싱
10: 기능층
11: 기능층의 제 1 표면
12: 기능층의 제 2 표면
X: 길이 방향
Y: 층 두께 방향
Z: 가로 방향

Claims (11)

  1. 전기화학 전지 또는 전기화학 센서 애플리케이션의 기능층(10)을 분석하는 방법으로서,
    미리 정해진 양의 테스트 가스를 상기 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반하는 단계, 및
    상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11) 반대편에 있는 상기 기능층(10)의 제 2 표면(12)에 배치된 검출 유닛(3)에 의해 상기 기능층(10)을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하는 단계를 포함하는, 기능층 분석 방법.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 운반된 상기 테스트 가스는 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11) 상에 배치된 테스트 가스 챔버(2)에 제공되고, 상기 테스트 가스 챔버(2)는 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 개방되며, 상기 기능층(10)의 길이 방향(X)으로 정의된 길이(2a) 및 가로 방향(Z)으로 가변적으로 조절 가능한 폭을 갖는 개구(2a)를 갖는, 기능층 분석 방법.
  3. 제 2 항에 있어서, 상기 기능층(10)은 상기 검출 유닛(3)과 상기 테스트 가스 챔버(2) 사이에 배치된 운송 장치(5) 상에 제공되고, 상기 운송 장치(5)는 상기 테스트 가스 챔버(2)의 상기 개구(2a)와 동일한 치수를 갖는 오목부를 갖는, 기능층 분석 방법.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 기능층(10)은 상기 운송 장치(5)에 의해 특히 0.2 m/min 내지 50 m/min의 속도로 상기 테스트 가스 챔버(2)와 상기 검출 유닛(3) 사이에서 연속적으로 운송되는, 기능층 분석 방법.
  5. 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서, 상기 기능층(10)은 진공에 의해 상기 운송 장치(5)로 흡입되는, 기능층 분석 방법.
  6. 제 2 항에 있어서, 상기 기능층(10)은 이동 가능한 다공성 케이싱(9)이 배치된 고정된 롤러 코어(8) 위로 안내되고, 상기 테스트 가스 챔버(2)는 상기 고정된 롤러 코어(8) 상에 배치되고, 상기 기능층(10)은 특히 적어도 하나의 추가 가이드 롤러(8a, 8b) 위로 안내되는, 기능층 분석 방법.
  7. 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 기능층(10)은 길이 방향(X)으로 측면 안내되고 및/또는
    상기 기능층(10)을 통과한 상기 테스트 가스는 상기 검출 유닛(3)으로 능동적으로 운반되고 및/또는
    상기 테스트 가스는 일정하거나 제어 가능한 압력으로 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 운반되고 및/또는
    상기 테스트 가스는 적어도 0.1 bar, 특히 적어도 0.5 bar의 과압으로 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 운반되고 및/또는
    상기 테스트 가스는 0.1 L/min 내지 100 L/min의 체적 유량으로 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 운반되는, 기능층 분석 방법.
  8. 제 1 항 내지 제 7 항 중 어느 한 항에 따른 방법을 수행하기 위한 장치(1)로서,
    미리 정해진 양의 테스트 가스를 기능층(10)의 제 1 표면(11)으로 운반하기 위한 테스트 가스 챔버(2), 및
    상기 기능층(10)을 통과한 테스트 가스의 양을 정량적으로 결정하기 위한 검출 유닛(3)을 포함하고,
    상기 테스트 가스 챔버(2)는 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11) 상에 배치되며, 상기 검출 유닛(3)은 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11) 반대편에 있는 상기 기능층(10)의 제 2 표면(12) 상에 배치되고,
    상기 테스트 가스 챔버(2)는 상기 기능층(10)의 상기 제 1 표면(11)으로 개방되며, 상기 기능층(10)의 길이 방향(X)으로 정의된 길이 및 가로 방향(Z)으로 가변적으로 조절 가능한 폭을 갖는 개구(2a)를 갖는, 장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 개구(2a)는 1 mm 내지 500 mm의 길이를 갖고 및/또는
    상기 테스트 가스는 헬륨 또는 헬륨 농도가 1 내지 100 부피% 미만인 가스 혼합물이고 및/또는
    상기 검출 유닛(3)은 질량 분석기(4)를 포함하고 및/또는
    길이 방향(X)으로 상기 기능층(10)을 측면 안내하기 위한 적어도 하나의 측면 가이드(6), 특히 적어도 하나의 가이드 벨트를 더 포함하고 및/또는
    상기 테스트 가스의 압력을 설정 및 제어하기 위한 압력 제어 장치 및/또는 상기 테스트 가스의 체적 흐름을 설정하기 위한 도우징 장치를 더 포함하고 및/또는
    상기 기능층(10)을 통과한 상기 테스트 가스를 상기 검출 유닛(3)으로 능동적으로 운반하기 위한 흡입 장치(7)를 더 포함하고 및/또는
    상기 기능층(10)을 통과한 상기 테스트 가스를 상기 검출 유닛(3)으로 능동적으로 운반하기 위한 캐리어 가스를 도입하기 위한 장치를 더 포함하는, 장치.
  10. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 상기 테스트 가스 챔버(2)와 상기 검출 유닛(3) 사이에서 운송 장치(5)에 의해 상기 기능층(10)을 연속적으로 안내하기 위한 운송 장치(5)를 더 포함하고, 상기 장치는 특히 상기 기능층(10)을 상기 운송 장치(5)로 흡입하기 위한 진공을 생성하기 위한 진공 장치를 포함하는, 장치.
  11. 제 8 항 또는 제 9 항에 있어서, 이동 가능한 다공성 케이싱(9)이 배치되는 고정된 롤러 코어(8)를 더 포함하고, 상기 테스트 가스 챔버(2)는 상기 고정된 롤러 코어(8) 상에 배치되며 상기 기능층(10)은 상기 다공성 케이싱(9) 상에서 안내되고, 상기 장치는 특히 적어도 하나의 추가 가이드 롤러(8a, 8b)를 더 포함하는, 장치.
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Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102021119843B3 (de) 2021-07-30 2022-10-20 Institut für Luft- und Kältetechnik gemeinnützige Gesellschaft mbH Prüfvorrichtung und Prüfverfahren zur zerstörungsfreien Prüfung durchströmbarer, mehrlagiger Textilverbunde

Family Cites Families (28)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE795830A (fr) * 1972-03-06 1973-06-18 Baxter Laboratories Inc Procede pour verifier des dispositifs membraneux quant a la presence de fuites
JPH0643938B2 (ja) * 1985-10-23 1994-06-08 宇部興産株式会社 中空長尺体のピンホール位置検知方法
DE3537896A1 (de) * 1985-10-24 1987-04-30 Gessner & Co Gmbh Verfahren und vorrichtung zur kontinuierlichen messung der porositaet
JP2000214069A (ja) * 1999-01-25 2000-08-04 Sony Corp 気体透過評価装置
ES2202081T3 (es) * 1999-02-26 2004-04-01 United States Filter Corporation Metodo y aparato para evaluar una membrana.
DE19954581A1 (de) * 1999-11-12 2001-06-07 Gore W L & Ass Gmbh Zerstörungsfreie Prüfung von Flächengebilden und Textilen Laminaten
US6766682B2 (en) * 2001-10-19 2004-07-27 Desert Cryogenics Llc Precise measurement system for barrier materials
JP2004033497A (ja) * 2002-07-03 2004-02-05 Toto Ltd 炭酸ガス徐放装置
DE10259975B3 (de) * 2002-12-19 2004-06-17 Daimlerchrysler Ag Verfahren und Vorrichtung zur Dichtheitsprüfung
JP2005098920A (ja) * 2003-09-26 2005-04-14 Shimadzu Corp 漏れ試験装置
JP4628193B2 (ja) * 2005-06-13 2011-02-09 旭化成ホームズ株式会社 トレーサーガスの放散方法及び放散容器
SG131861A1 (en) * 2005-10-11 2007-05-28 Millipore Corp Methods and systems for integrity testing of porous materials
JP2007237073A (ja) * 2006-03-08 2007-09-20 Ngk Insulators Ltd 分離膜の欠陥検出方法
WO2007140714A1 (en) * 2006-06-01 2007-12-13 Accelergy Shanghai R & D Center Co., Ltd. High throughput method and device for characterizing membrane
DE102007026073B4 (de) * 2007-05-25 2009-10-01 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Vorrichtung und Verfahren zur Bestimmung der Permeationsrate mindestens eines Permeaten, durch ein eine Diffusionssperre bildendes Element
US7972515B1 (en) * 2008-10-10 2011-07-05 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy In situ membrane integrity test
JP2011072958A (ja) * 2009-10-01 2011-04-14 Mitsubishi Heavy Ind Ltd 水素分離膜の検査方法および検査装置、並びに水素分離膜モジュールの製造方法および製造装置
CN102906561B (zh) * 2010-05-25 2015-10-07 东丽株式会社 膜缺陷检查装置、缺陷检查方法和脱模膜
CN202942816U (zh) * 2012-10-23 2013-05-22 森泰环保（湖南）科技有限公司 一种反渗透膜的性能测试设备
DE102013002724B3 (de) * 2013-02-12 2014-07-03 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Permeationsrate von Barrierematerialien
WO2014133184A1 (ja) * 2013-03-01 2014-09-04 三菱レイヨン株式会社 多孔質膜の欠陥検出方法および欠陥検査装置
CN103920397B (zh) * 2014-04-15 2016-01-20 江苏大学 一种适用于通用平板膜元件的复合场膜分离实验装置
KR101646337B1 (ko) * 2014-08-19 2016-08-05 현대자동차주식회사 수소센서를 이용한 연료전지용 멤브레인 결함 검사 장치
CN104359923B (zh) * 2014-12-04 2017-09-22 合肥鑫晟光电科技有限公司 检测装置和检测方法
KR102438194B1 (ko) * 2016-01-27 2022-08-31 주식회사 디비하이텍 반도체 가스 센서 및 이의 제조 방법
US10611994B2 (en) * 2016-08-30 2020-04-07 International Business Machines Corporation Electrochemical sensors for cell culture monitoring
WO2018156223A1 (en) * 2017-02-22 2018-08-30 Emd Millipore Corporation Mixed gas integrity testing of porous materials without permeate side access
CN109540905B (zh) * 2018-12-14 2023-12-22 中天光伏材料有限公司 一种可调节薄膜缺陷检查装置

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