KR20220031508A - 액상 수지 공급 장치 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 액상 수지를 쓸데없이 소비하지 않고 액상 수지의 토출량을 일정하게 할 수 있는 액상 수지 공급 장치를 제공하는 것을 과제로 한다.
피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치로서, 액상 수지가 저장되는 탱크와, 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과, 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와, 피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와, 깔때기와 탱크를 연통시키는 연통관을 포함한다. 깔때기가 탱크보다 높은 높이 위치에 배치되고, 연통관의 탱크에 접속된 한쪽 단부가, 연통관의 깔때기에 접속된 다른 쪽 단부보다 낮은 높이 위치에 배치되어 있음으로써, 깔때기에 토출된 액상 수지를 그 자체의 중량으로 탱크로 복귀시킬 수 있다.
피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치로서, 액상 수지가 저장되는 탱크와, 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과, 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와, 피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와, 깔때기와 탱크를 연통시키는 연통관을 포함한다. 깔때기가 탱크보다 높은 높이 위치에 배치되고, 연통관의 탱크에 접속된 한쪽 단부가, 연통관의 깔때기에 접속된 다른 쪽 단부보다 낮은 높이 위치에 배치되어 있음으로써, 깔때기에 토출된 액상 수지를 그 자체의 중량으로 탱크로 복귀시킬 수 있다.
Description
본 발명은 액상 수지 공급 장치에 관한 것이다.
특허문헌 1, 2에 개시된 바와 같이, 반도체 웨이퍼 등의 제조 공정에서는, 원기둥형의 잉곳을 와이어소우에 의해 슬라이스하여 원반형의 웨이퍼를 형성할 때에, 웨이퍼에 휘어짐이나 주름이 형성되는 경우가 있다. 이 휘어짐이나 주름을 제거하기 위해, 휘어짐이나 주름이 형성된 웨이퍼의 편면에 폴리에틸렌 등의 액상 수지를 도포하고, 이것을 경화시킨 후에 상기 편면에 대한 반대면과 상기 편면을 순서대로 연삭하여 웨이퍼를 평탄하게 형성하는 기술이 있다.
이러한 기술을 이용하여 웨이퍼의 편면에 액상 수지를 형성할 때에는, 예컨대, 스테이지 상에 배치된 시트의 위에 미리 정해진 양의 액상 수지를 적하하고, 흡인 유지부에 유지되고 스테이지의 상측에 위치 부여되어 있는 웨이퍼의 하면을 액상 수지에 대하여 위로부터 눌러서 웨이퍼의 중심으로부터 외주측을 향해 액상 수지를 시트와 웨이퍼 하면 사이에서 확장시켜 상기 편면의 전역에 액상 수지를 골고루 퍼지게 한 후, 이 액상 수지를 가열하거나 액상 수지에 자외광을 조사하거나 하는 것에 의해 액상 수지를 경화시키고 있다.
스테이지 상의 시트의 위에 액상 수지를 적하할 때에는, 특허문헌 3에 개시된 바와 같은 디스펜서를 이용하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 노즐에 보내고, 상기 노즐로부터 토출함으로써 시트에 액상 수지를 도포하고 있다. 여기서, 노즐 선단의 토출구와 디스펜서 사이의 배관 내에 공기가 저류해 있으면, 시트의 위에 도포되는 액상 수지의 양이 변화되어 버리는 경우가 있다.
그 대책으로서, 연속적인 보호 부재의 형성을 시작하기 전에, 시트에 액상 수지를 도포하여 디스펜서로부터 노즐 선단의 토출구까지 액상 수지를 채우고 있지만, 이 방법에서는 많은 액상 수지를 쓸데없이 소비한다고 하는 문제가 있다.
따라서, 본 발명의 목적은, 액상 수지를 쓸데없이 소비하지 않고 액상 수지의 토출량을 일정하게 할 수 있는 액상 수지 공급 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 의하면, 피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치로서, 액상 수지가 저장되는 탱크와, 상기 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과, 상기 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와, 피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 상기 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와, 상기 깔때기와 상기 탱크를 연통시키는 연통관을 포함하고, 상기 깔때기가 상기 탱크보다 높은 높이 위치에 배치되고, 상기 연통관의 상기 탱크에 접속된 한쪽 단부가, 상기 연통관의 상기 깔때기에 접속된 다른 쪽 단부보다 낮은 높이 위치에 배치되어 있음으로써, 상기 깔때기에 토출된 액상 수지를 그 자체의 중량으로 상기 탱크로 복귀시킬 수 있는 액상 수지 공급 장치가 제공된다.
본 발명의 다른 하나의 측면에 의하면, 피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치로서, 액상 수지가 저장되는 탱크와, 상기 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과, 상기 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와, 피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 상기 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와, 상기 깔때기와 상기 탱크를 연통시키는 연통관과, 상기 탱크를 흡인원에 연통시키는 흡인관과, 상기 흡인관을 개폐하는 흡인 밸브를 포함하고, 상기 흡인 밸브를 개방하여 상기 탱크 내부를 부압으로 함으로써, 상기 깔때기에 토출된 액상 수지를 상기 탱크로 복귀시킬 수 있는 액상 수지 공급 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 깔때기를 상기 노즐 바로 아래의 수취 위치 또는 후퇴 위치로 이동시키는 깔때기 이동 기구를 더 구비한다.
또한, 바람직하게는, 상기 연통관의 상기 탱크에 접속된 한쪽 단부측에 메쉬 필터를 더 구비한다.
본 발명의 액상 수지 공급 장치에서는, 토출 노즐에 저류되는 액상 수지를 일단 깔때기에 토출하기 때문에, 토출 노즐로부터의 토출량을 일정하게 할 수 있다. 또한, 깔때기에 토출한 액상 수지를 탱크로 복귀시킬 수 있기 때문에, 액상 수지를 쓸데없이 소비하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 깔때기를 이용하여 탱크와 토출 노즐의 사이에서 액상 수지를 순환시키는 것에 의해 액상 수지를 교반할 수도 있다.
도 1은 보호 부재 형성 장치의 전체를 나타내는 사시도이다.
도 2는 액상 수지 공급 장치의 단면도이다.
도 2는 액상 수지 공급 장치의 단면도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서 본 발명의 실시형태에 관해 설명한다. 도 1에 도시하는 액상 수지 공급 장치(8)는, 스테이지(200)에 유지된 시트(18)의 위에 액상 수지를 공급하는 액상 수지 공급 장치이다. 액상 수지 공급 장치(8)는, 원통형의 축부(810)와, 축부(810)에 지지된 아암(811)을 갖는 토출 노즐(81)을 구비하고 있고, 아암(811)의 선단에는 헤드(813)가 형성되어 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이 토출 노즐(81)의 아암(811) 및 헤드(813)의 내부에는 배관(814)이 형성되어 있고, 배관(814)의 일단에는 탱크(90)가 접속되어 있다. 배관(814)은 헤드(813)의 내부에서 절곡되어 -Z 방향으로 연장되고, 헤드(813)의 하단으로부터 -Z 방향으로 돌출되어 있다. 배관(814)의 타단에는 액상 수지가 토출되는 토출구(812)가 형성되어 있고, 탱크(90)로부터 공급된 액상 수지는, 배관(814)을 통과하여 토출구(812)로부터 토출된다.
토출 노즐(81)의 상부에는 선장착 노즐(89)이 설치되어 있다. 선장착 노즐(89)은 배관(893)을 갖고 있고, 배관(893)의 상단에는 액상 수지의 공급구(890)가 형성되어 있다. 또한, 배관(893)은 탱크(90)에 접속되어 있다. 탱크(90)로부터 공급된 액상 수지는, 배관(893)을 통과하여 공급구(890)로부터 상측에 공급된다.
도 1에 도시한 토출 노즐(81)의 축부(810)는, 예컨대 그 내부에 도시하지 않은 회전 모터나 인코더 등을 구비하고 있고, 토출 노즐(81)을 이동시키는 이동 기구를 구성하고 있다. 상기 회전 모터를 이용하여 축부(810)를 Z축 방향의 축심 둘레에 회전시켜 아암(811)을 선회시키는 것에 의해, 토출 노즐(81)은 토출 위치와 대피 위치의 사이를 이동한다. 여기서, 토출 위치는, 토출 노즐(81)로부터 스테이지(200)의 위에 액상 수지를 공급할 때의 수평 위치이며, 예컨대, 스테이지(200)의 중앙에 토출구(812)가 위치 부여되어 있을 때의 토출 노즐(81)의 수평 위치이다. 또한, 대피 위치는, 토출 노즐(81)로부터 탱크(90)에 액상 수지를 복귀시킬 때의 토출 노즐(81)의 수평 위치이다.
또한, 축부(810)를 회전시키는 것에 의해 선장착 노즐(89)도 이동시킬 수 있다.
액상 수지 공급 장치(8)는 디스펜서(82)를 구비하고 있다. 디스펜서(82)는 도시하지 않은 펌프 기구 등을 갖고 있고, 도 2에 도시한 탱크(90)로부터 토출 노즐(81)에 액상 수지를 보낼 수 있다. 또한, 디스펜서(82)는 선장착 노즐(89)에도 접속되어 있고, 탱크(90)로부터 선장착 노즐(89)에 액상 수지를 보낼 수도 있다.
액상 수지 공급 장치(8)는, 액상 수지를 스테이지(200)의 위에 토출하기 전에 토출 노즐(81)로부터 액상 수지를 수취하는 제1 깔때기(51)를 구비하고 있다.
제1 깔때기(51)는 담뱃대형으로 형성되어 있고, 아암(510)과 아암(510)에 지지된 헤드(511)를 갖고 있다. 헤드(511)는 +Z 방향측으로 개구되어 있고, 토출 노즐(81)로부터 토출된 액상 수지를 수취할 수 있다.
또한, 제1 깔때기(51)는 탱크(90)보다 높은 높이 위치에 배치되어 있다.
아암(510)은, 도 1에 도시하는 바와 같이, 스테이지(200)의 위에 설치된 깔때기 이동 기구(97)에 지지되어 있다. 깔때기 이동 기구(97)는 도시하지 않은 회전 모터 등을 갖고 있고, 제1 깔때기(51)를 선회 이동시킬 수 있다. 깔때기 이동 기구(97)를 이용하여 제1 깔때기(51)를 선회 이동시키는 것에 의해, 헤드(511)를 토출 노즐(81) 바로 아래의 수평 위치인 액상 수지의 수취 위치로 이동시키거나, 토출 노즐(81)로부터 수평 방향으로 멀리 떨어진 위치인 후퇴 위치로 이동시키거나 할 수 있다.
도 2에 도시하는 바와 같이, 제1 깔때기(51)와 탱크(90) 사이에는 양자를 접속시키는 연통관(91)이 설치되어 있다. 연통관(91)의 탱크(90)에 접속된 한쪽 단부(911)의 높이는, 연통관(91)의 제1 깔때기(51)에 접속된 다른 쪽 단부(910)의 높이보다 낮은 높이이다. 그 때문에, 예컨대, 제1 깔때기(51)의 헤드(511)가 액상 수지를 수취하면, 상기 액상 수지가 아암(510) 및 연통관(91)의 내부를 통과하고, 자체의 중량에 의해 탱크(90)에 낙하한다.
연통관(91)의 한쪽 단부(911)에는 메쉬 필터(95)가 설치되어 있다. 탱크(90)에 낙하한 액상 수지에 부착(혼합)되어 있는 부착물(혼합물)이나 액상 수지가 고체화한 것(수지편) 등은 메쉬 필터(95)에 의해 포집된다.
액상 수지 공급 장치(8)는 흡인원(92)을 구비하고 있다. 흡인원(92)과 탱크(90)는 흡인관(93)에 의해 접속되어 있고, 흡인관(93)에는 흡인 밸브(94)가 설치되어 있다. 흡인 밸브(94)를 개폐하는 것에 의해, 흡인원(92)과 탱크(90)가 연통하고 있는 상태와 연통하지 않은 상태를 전환할 수 있다.
예컨대, 흡인원(92)이 작동하고 있는 상태로 흡인 밸브(94)를 개방하여, 흡인원(92)에 의해 만들어진 흡인력을 탱크(90)에 전달시킴으로써, 탱크(90)의 내부의 압력이 부압이 된다. 이것에 의해, 제1 깔때기(51)의 헤드(511)에 토출된 액상 수지가 탱크(90)의 내부에 흡인된다. 헤드(511)에 토출된 액상 수지를, 흡인원(92)을 이용하여 탱크(90)의 내부에 흡인함으로써, 액상 수지를 헤드(511)로부터 자체의 중량에 의해 탱크(90)에 낙하시키는 경우보다 신속하게 액상 수지를 탱크(90)의 내부에 수용할 수 있다.
액상 수지 공급 장치(8)는, 액상 수지를 피가공물(17)에 선장착하기 전에 선장착 노즐(89)로부터 액상 수지를 수취하는 제2 깔때기(52)를 구비하고 있다. 제2 깔때기(52)는, 선장착 노즐(89)에 인접한 위치에 설치되어 있다.
제2 깔때기(52)는 제1 깔때기(51)와 마찬가지로 연통관(91)을 통해 탱크(90)에 접속되어 있고, 탱크(90)는 흡인관(93)을 통해 흡인원(92)에 접속되어 있다. 흡인관(93)에는, 흡인원(92)과 탱크(90)가 연통하고 있는 상태와 연통하지 않은 상태를 전환하는 흡인 밸브(94)가 설치되어 있다.
예컨대, 흡인원(92)이 작동하고 있는 상태로 흡인 밸브(94)를 개방하여, 흡인원(92)에 의해 만들어진 흡인력을 탱크(90)에 전달시킴으로써, 탱크(90)의 내부의 압력이 부압이 된다. 이것에 의해, 연통관(91), 아암(510) 및 헤드(511)의 내부의 공기 등이 탱크(90)에 흡인되고, 제2 깔때기(52)에 토출된 액상 수지가 탱크(90)의 내부에 흡인된다.
여기서, 제2 깔때기(52)에 접속되어 있는 탱크(90)는, 제1 깔때기(51)에 접속되어 있는 탱크(90)와 동일한 것이어도 좋고 다른 것이어도 좋다.
도 1에 도시하는 바와 같이, 액상 수지 공급 장치(8)는, 예컨대, 피가공물(17)에 보호 부재를 형성하는 보호 부재 형성 장치(1)에 구비된다.
보호 부재 형성 장치(1)는, 도 1에 도시하는 바와 같이, 케이스(100)와, 케이스(100)의 내부에서 Y축 방향으로 연장 설치된 베이스(101)와, 베이스(101) 상에서의 +X 방향측으로 세워져 설치된 칼럼(102)을 구비하고 있다.
칼럼(102)의 +Y 방향측에는 카세트 수용 선반(104)이 설치되어 있다. 카세트 수용 선반(104)에는, 보호 부재가 형성되기 전의 피가공물(17)이 수용된 제1 카세트(11)와 보호 부재가 형성된 피가공물(17)이 수용되는 제2 카세트(12)가 설치되어 있다.
카세트 수용 선반(104)의 -Y 방향측에는, 제1 카세트(11)로부터 피가공물(17)을 반출하고, 또한 제2 카세트(12)에 피가공물(17)을 반입하는 반입 반출 로봇(2)이 설치되어 있다.
반입 반출 로봇(2)은, 피가공물(17)을 유지하는 로봇 핸드(26)와, 로봇 핸드(26)를 원하는 위치로 이동시키는 아암(27)과, 아암(27)을 구동시키는 구동부(24)를 구비하고 있다.
로봇 핸드(26)는, 예컨대, 도시하지 않은 흡인원에 접속된 흡인 패드이며, 그 상면에서 피가공물(17)을 흡인 유지할 수 있다.
구동부(24)는 베이스(23)에 의해 지지되어 있고, 베이스(23)는, 그 내부에 설치된 너트가 X축 방향으로 연장되는 볼나사(20)에 나사 결합함과 더불어, 그 하부가 X축 방향으로 연장되는 가이드 레일(21)에 슬라이딩 접촉하고 있다. 또한, 볼나사(20)는 모터(22)에 연결되어 있다. 모터(22)를 이용하여 X축 방향의 축심을 축으로 하여 볼나사(20)를 회전시키면, 베이스(23)가 가이드 레일(21)에 안내되어 X축 방향으로 이동함과 더불어, 베이스(23)에 구동부(24) 및 아암(27)을 통해 지지된 로봇 핸드(26)가 X축 방향으로 수평 이동한다.
제1 카세트(11)로부터 피가공물(17)을 인출하여 로봇 핸드(26)에 피가공물(17)을 유지하고, 로봇 핸드(26)를 X축 방향으로 수평 이동시키면서 구동부(24)를 이용하여 아암(27)을 선회시키는 것에 의해, 피가공물(17)을 적절한 위치로 이동시킬 수 있다.
반입 반출 로봇(2)의 로봇 핸드(26)의 가동 범위에는, 피가공물(17)의 중심 위치를 검출하는 중심 검출 유닛(4)이 설치되어 있다. 중심 검출 유닛(4)은, 칼럼(102)의 +Y 방향측에 설치된 임시 배치 테이블(40)과, 임시 배치 테이블(40)의 위에 설치된 촬상 유닛(41)을 구비하고 있다. 임시 배치 테이블(40)에 피가공물(17)이 배치된 상태로 촬상 유닛(41)을 이용하여 피가공물(17)을 촬상하는 것에 의해, 피가공물(17)의 중심 위치를 인식할 수 있다.
촬상 유닛(41)의 하측에는 커터(42)가 설치되어 있다. 커터(42)를 이용하는 것에 의해, 임시 배치 테이블(40)에 배치된 피가공물(17)에 접착되어 있는 시트(18)를 절단할 수 있다.
칼럼(102)의 -Y 방향측의 측면에는, 피가공물(17)을 유지하는 유지 유닛(6)이 설치되어 있다. 유지 유닛(6)은, 마운트(65)와 마운트(65)의 하단에 설치된 유지부(66)를 구비하고 있다. 유지부(66)의 하면은 피가공물(17)을 유지하는 유지면(660)이며, 유지면(660)에는 도시하지 않은 흡인원이 접속되어 있다. 예컨대, 유지면(660)에 피가공물(17)이 접촉하고 있는 상태에서, 상기 흡인원을 작동시켜 만들어낸 흡인력을 유지면(660)에 전달하는 것에 의해, 유지면(660)으로 피가공물(17)을 흡인 유지할 수 있다.
또한, 유지 유닛(6)은, Z축 방향의 축심을 갖는 볼나사(60)와, 볼나사(60)에 평행하게 설치된 한쌍의 가이드 레일(61)과, 볼나사(60)를 회동시키는 모터(62)와, 내부의 너트가 볼나사(60)에 나사 결합하고 측부가 가이드 레일(61)에 슬라이딩 접촉하는 승강판(63)과, 승강판(63)에 연결된 홀더(64)를 구비하고 있고, 홀더(64)는 마운트(65)를 지지하고 있다. 모터(62)를 이용하여 볼나사(60)를 회전시키면, 승강판(63)이 가이드 레일(61)에 안내되면서 Z축 방향으로 승강 이동하고, 이에 따라 승강판(63)에 연결된 홀더(64), 및 홀더(64)에 지지된 마운트(65)가 Z축 방향으로 승강 이동한다.
반입 반출 로봇(2)의 -Y 방향측에는, 보호 부재가 형성되기 전의 피가공물(17)을 임시 배치 테이블(40)로부터 유지 유닛(6)에 반송함과 더불어, 보호 부재가 형성된 피가공물(17)을 유지 유닛(6)으로부터 임시 배치 테이블(40)에 반송하는 반송 기구(3)가 설치되어 있다.
반송 기구(3)는, 피가공물(17)을 유지하는 로봇 핸드(36)와, 로봇 핸드(36)를 원하는 위치로 이동시키는 아암(37)과, 아암(37)을 구동시키는 구동부(34)를 구비하고 있다.
로봇 핸드(36)는, 예컨대, 도시하지 않은 흡인원에 접속된 흡인 패드이며, 그 상면에서 피가공물(17)을 흡인 유지할 수 있다.
구동부(34)는, 베이스(33)에 의해 지지되어 있고, 베이스(33)는, 그 내부에 구비한 너트가 Y축 방향으로 연장되는 볼나사(30)에 나사 결합함과 더불어, 그 하부가 Y축 방향으로 연장되는 가이드 레일(31)에 슬라이딩 접촉하고 있다. 볼나사(30)는, 도시하지 않은 모터에 연결되어 있고, 상기 모터를 이용하여 볼나사(30)를 회전시키면, 베이스(33)가 가이드 레일(31)에 안내되어 Y축 방향으로 이동하고, 구동부(34) 및 아암(37)을 통해 베이스(33)에 지지되어 있는 로봇 핸드(36)가 Y축 방향으로 수평 이동한다.
베이스(101) 상에서의 유지 유닛(6)의 하측에는 스테이지(200)가 설치되어 있다. 액상 수지의 공급시에는 스테이지(200) 상에 시트(18)가 배치되고, 그 위에 토출 노즐(81)로부터 액상 수지가 토출된다.
스테이지(200)의 아래에는 경화 유닛(67)이 설치되어 있다. 경화 유닛(67)은, 스테이지(200)를 향해 소정의 파장의 자외선을 조사하기 위한 도시하지 않은 UV 램프 등을 구비하고 있다.
예컨대, 스테이지(200) 상에 액상 수지가 공급되고 있는 상태에서 경화 유닛(67)을 이용하여 스테이지(200)를 향해 자외선을 조사하는 것에 의해, 액상 수지를 경화시킬 수 있다.
베이스(101) 상에서의 -Y 방향측에는 시트 공급 기구(7)가 설치되어 있다. 시트 공급 기구(7)는, 시트(18)가 감긴 시트 롤(19)을 지지하는 시트 지지부(70)와, 시트 롤(19)로부터 시트(18)를 인출하여 스테이지(200)에 반송하는 시트 유지부(72)와, 시트 유지부(72)를 지지하는 아암(73)과, 아암(73)을 Y축 방향으로 이동시키는 구동 기구(74)를 구비하고 있다. 구동 기구(74)를 이용하여 아암(73)을 Y축 방향으로 이동시키는 것에 의해, 아암(73)에 지지되어 있는 시트 유지부(72)가 Y축 방향으로 이동한다.
예컨대, 시트 롤(19)로부터 시트(18)가 인출되어 시트 유지부(72)에 유지되어 있는 상태에서, 시트 유지부(72)를 +Y 방향으로 이동시키는 것에 의해, 시트(18)를 스테이지(200)의 위에 공급할 수 있다.
피가공물(17)의 하면(171)에 보호 부재를 형성할 때에는, 우선 제1 카세트(11)에 수납되어 있는 피가공물(17)을 반입 반출 로봇(2)의 로봇 핸드(26)로 유지하고, 제1 카세트(11)로부터 인출하여 임시 배치 테이블(40)에 배치하고 나서, 촬상 유닛(41)을 이용하여 피가공물(17)의 중심을 검출한다.
다음으로, 반송 기구(3)의 로봇 핸드(36)로 피가공물(17)을 유지하고, 로봇 핸드(36)를 -Y 방향으로 이동시키면서 아암(37)을 선회시키는 것에 의해, 유지 유닛(6)의 유지면(660)에 피가공물(17)의 상면(170)을 접촉시킨다. 그리고, 유지면(660)에 피가공물(17)의 상면(170)이 접촉하고 있는 상태로 유지면(660)에 접속되어 있는 도시하지 않은 흡인원을 작동시키는 것에 의해, 유지면(660)으로 피가공물(17)을 흡인 유지한다.
또한, 시트 롤(19)을 시트 유지부(72)에 유지하여 시트 유지부(72)를 +Y 방향으로 이동시키는 것에 의해, 시트(18)를 스테이지(200)의 위에 공급한다.
그리고, 액상 수지 공급 장치(8)를 이용하여 스테이지(200)의 위에 공급된 시트(18)의 위에 액상 수지를 공급한다. 구체적으로는, 우선, 토출 노즐(81)의 축부(810)를 회전시켜, 도 2에 도시한 토출 노즐(81)의 토출구(812)를 제1 깔때기(51)의 헤드(511)의 상측(대피 위치)에 위치 부여한다.
이 때, 깔때기 이동 기구(97)를 이용하여 제1 깔때기(51)를 토출구(812)의 하측으로 이동시켜도 좋다.
다음으로, 디스펜서(82)를 작동시켜, 토출구(812)로부터 제1 깔때기(51)에 액상 수지를 토출한다. 또한, 흡인원(92)을 작동시킴과 더불어 흡인 밸브(94)를 개방한다. 이것에 의해, 흡인원(92)에 만들어진 흡인력이 탱크(90)에 전달되어, 탱크(90)의 내부의 압력이 부압이 되고, 연통관(91)의 내부에 저장되어 있는 액상 수지가 제1 깔때기(51)에 빨려 들어가 탱크(90)로 복귀되고, 연통관(91)의 내부에 액상 수지가 저류되지 않은 상태가 된다.
또한, 배관(814)은 토출구(812)까지 액상 수지로 채워진다.
또한 축부(810)를 회전시켜, 선장착 노즐(89)의 공급구(890)를 유지부(66)가 유지하고 있는 피가공물(17)의 하면(171)의 중심 바로 아래에 위치 부여한다. 그 후, 마찬가지로 탱크(90)의 내부의 압력이 부압이 됨으로써 제2 깔때기(52)를 이용하여 선장착 노즐(89)의 공급구(890)로부터 넘쳐나와 저류되어 있는 액상 수지를 빨아 들여 연통관(91)의 내부에 액상 수지가 저장되지 않은 상태로 함과 더불어, 탱크(90)에 액상 수지를 넣는다.
이 때, 액상 수지의 표면장력에 의해, 선장착 노즐(89)의 공급구(890)에서 액상 수지가 부풀어오른 상태가 되었다.
그 후, 볼나사(60)를 회전시켜 유지부(66)를 -Z 방향으로 하강시키는 것에 의해, 유지면(660)에 유지되어 있는 피가공물(17)을 -Z 방향으로 하강시킴과 더불어, 선장착 노즐(89)의 선단에서 부풀어오른 액상 수지에, 유지면(660)에 유지되어 있는 피가공물(17)의 하면(171)의 중심을 접촉시킨다.
그 후, 유지부(66)를 +Z 방향으로 약간 상승시켜, 선장착 노즐(89)의 공급구(890)의 액상 수지로부터 피가공물(17)의 하면(171)을 분리한다. 이것에 의해, 피가공물(17)의 하면(171)의 중심에 액상 수지가 부착된 상태가 된다.
또한, 피가공물(17)의 하면(171)에 액상 수지를 부착시킴과 더불어, 디스펜서(82)로부터 토출 노즐(81)에 액상 수지를 공급하고, 토출 노즐(81)의 토출구(812)로부터 스테이지(200)의 위에 공급되어 있는 시트(18)의 위에 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급한다.
이 때, 액상 수지는 시트(18)의 중앙에 공급된다.
그 후, 축부(810)를 회전시켜, 토출 노즐(81)을 스테이지(200)의 상측의 중앙으로부터 스테이지(200)의 단부로 후퇴시킨다. 그리고, 유지면(660)에 유지되어 있는 피가공물(17)을 -Z 방향으로 하강시켜, 시트(18)의 위에 공급되어 있는 액상 수지와 피가공물(17)의 하면(171)에 부착되어 있는 액상 수지를 접촉시킨다. 시트(18)의 위에 공급되어 있는 액상 수지와 피가공물(17)의 하면(171)에 부착되어 있는 액상 수지가 접촉하고 있는 상태에서, 피가공물(17)을 -Z 방향으로 더 하강시키는 것에 의해, 피가공물(17)의 하면(171)에 액상 수지가 눌려서 퍼져, 피가공물(17)의 하면(171) 전체에 액상 수지가 부착된다.
피가공물(17)의 하면(171) 전체에 액상 수지가 부착되어 있는 상태로, 경화 유닛(67)이 구비하는 도시하지 않은 UV 램프로부터 스테이지(200)를 향해 소정의 파장의 자외선을 조사함으로써, 피가공물(17)에 부착된 액상 수지를 경화시킨다. 이것에 의해, 피가공물(17)의 하면(171)에 보호 부재가 형성된다.
다음으로, 유지면(660)에 작용하고 있는 흡인력을 해제하고, 반송 기구(3)를 이용하여 스테이지(200)에 배치되어 있는 피가공물(17)을 임시 배치 테이블(40)에 반송한다. 그리고 촬상 유닛(41)을 이용하여 임시 배치 테이블(40)에 배치된 피가공물(17)을 촬상하는 것에 의해, 피가공물(17)의 중심을 검출한다.
계속해서, 커터(42)를 이용하여 피가공물(17)의 외주 부분으로부터 비어져 나온 불필요한 시트(18)를 커팅한다. 그 때에는, 예컨대, 피가공물(17)의 외주 가장자리에 커터(42)를 위치 부여하고 나서, 커터(42)에 접속된 도시하지 않은 선회기구 등을 이용하여 피가공물(17)의 중심을 선회궤도의 중심으로 하여 커터(42)를 선회시킨다. 예컨대, 피가공물(17)의 원의 외주 가장자리에 대하여 1 바퀴분만큼 커터(42)를 이동시키는 것에 의해, 피가공물(17)의 외주 부분으로부터 비어져 나온 불필요한 시트(18)가 커팅된다.
그리고, 반입 반출 로봇(2)을 이용하여 임시 배치 테이블(40)에 배치된 피가공물(17)을 제2 카세트(12)에 수납한다.
종래는, 스테이지(200)에 공급된 시트(18)의 위에 연속적으로 액상 수지를 공급하지 않을 때에, 배관의 팽창이나 배관의 수축, 액상 수지의 건조 등에 의해, 노즐의 토출구에 액상 수지가 존재하지 않게 되는 경우가 있었다. 그 때문에, 토출 노즐(81)로부터 시트(18)의 위에 액상 수지를 토출했을 때에, 토출된 액상 수지의 양이 예정되어 있던 토출량과 달라져 버린다고 하는 문제가 있었다.
이것에 대하여, 액상 수지 공급 장치(8)에서는, 토출 노즐(81)에 저장되어 있던 액상 수지를 일단 제1 깔때기(51)에 토출하기 때문에, 토출 노즐(81)로부터의 토출량을 일정하게 할 수 있다. 또한, 제1 깔때기(51)에 토출한 액상 수지를 탱크(90)로 복귀시키기 때문에, 액상 수지를 쓸데없이 소비하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 제1 깔때기(51)를 이용하여 탱크(90)와 토출 노즐(81)의 사이에서 액상 수지를 순환시키는 것에 의해, 액상 수지를 교반할 수도 있다.
게다가, 탱크(90)의 내부에서의 연통관(91)의 한쪽 단부(911)에는 메쉬 필터(95)가 설치되어 있기 때문에, 탱크(90)로 액상 수지를 복귀시켰을 때에 액상 수지에 부착되어 있는 오염 등을 메쉬 필터(95)로 포집할 수 있다.
또, 액상 수지 공급 장치(8)에서는 상기와 같이 토출 노즐(81)의 헤드(813)의 상부에 선장착 노즐(89)이 배치되는 구성 대신에, 예컨대, 도 1에 도시한 스테이지(200)의 -Y 방향측에 설치되는 구성이어도 좋다. 이 구성에서도, 제2 깔때기(52)는 선장착 노즐(89)에 인접한 위치에 설치된다.
또한, 액상 수지를 자체의 중량에 의해 탱크(90)로 복귀시키는 구성을 채용한 경우에는, 흡인원(92)에 의한 흡인에 의해 액상 수지를 탱크(90) 내에 흡인하는 구성은 필수가 아니며, 액상 수지를 흡인원(92)에 의한 흡인에 의해 탱크(90) 내에 흡인하는 구성을 채용한 경우에는, 액상 수지를 자체의 중량에 의해 탱크(90)로 복귀시키는 구성은 필수가 아니다.
1 : 보호 부재 형성 장치
11 : 제1 카세트
12 : 제2 카세트 17 : 피가공물
170 : 상면 171 : 하면
18 : 시트 19 : 시트 롤
100 : 케이스 101 : 베이스
102 : 칼럼 104 : 카세트 수용 선반
2 : 반입 반출 로봇 20 : 볼나사
21 : 가이드 레일 22 : 모터
23 : 베이스 24 : 구동부
26 : 로봇 핸드 27 : 아암
3 : 반송 기구 30 : 볼나사
31 : 가이드 레일 33 : 베이스
34 : 구동부 36 : 로봇 핸드
37 : 아암 4 : 중심 검출 유닛
40 : 임시 배치 테이블 41 : 촬상 유닛
42 : 커터 6 : 유지 유닛
60 : 볼나사 61 : 가이드 레일
62 : 모터 63 : 승강판
64 : 홀더 65 : 마운트
66 : 유지부 660 : 유지면
67 : 경화 유닛 7 : 시트 공급 기구
70 : 시트 지지부 72 : 시트 유지부
73 : 아암 74 : 구동 기구
8 : 액상 수지 공급 장치 81 : 토출 노즐
82 : 디스펜서 89 : 선장착 노즐
810 : 축부 811 : 아암
812 : 토출구 813 : 헤드
814 : 배관 890 : 공급구
893 : 배관 51 : 제1 깔때기
52 : 제2 깔때기 510 : 아암
511 : 헤드 90 : 탱크
91 : 연통관 910 : 단부
911 : 단부 92 : 흡인원
93 : 흡인관 94 : 흡인 밸브
95 : 메쉬 필터 97 : 깔때기 이동 기구
200 : 스테이지
12 : 제2 카세트 17 : 피가공물
170 : 상면 171 : 하면
18 : 시트 19 : 시트 롤
100 : 케이스 101 : 베이스
102 : 칼럼 104 : 카세트 수용 선반
2 : 반입 반출 로봇 20 : 볼나사
21 : 가이드 레일 22 : 모터
23 : 베이스 24 : 구동부
26 : 로봇 핸드 27 : 아암
3 : 반송 기구 30 : 볼나사
31 : 가이드 레일 33 : 베이스
34 : 구동부 36 : 로봇 핸드
37 : 아암 4 : 중심 검출 유닛
40 : 임시 배치 테이블 41 : 촬상 유닛
42 : 커터 6 : 유지 유닛
60 : 볼나사 61 : 가이드 레일
62 : 모터 63 : 승강판
64 : 홀더 65 : 마운트
66 : 유지부 660 : 유지면
67 : 경화 유닛 7 : 시트 공급 기구
70 : 시트 지지부 72 : 시트 유지부
73 : 아암 74 : 구동 기구
8 : 액상 수지 공급 장치 81 : 토출 노즐
82 : 디스펜서 89 : 선장착 노즐
810 : 축부 811 : 아암
812 : 토출구 813 : 헤드
814 : 배관 890 : 공급구
893 : 배관 51 : 제1 깔때기
52 : 제2 깔때기 510 : 아암
511 : 헤드 90 : 탱크
91 : 연통관 910 : 단부
911 : 단부 92 : 흡인원
93 : 흡인관 94 : 흡인 밸브
95 : 메쉬 필터 97 : 깔때기 이동 기구
200 : 스테이지
Claims (4)
- 피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치에 있어서,
액상 수지가 저장되는 탱크와,
상기 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과,
상기 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와,
피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 상기 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와,
상기 깔때기와 상기 탱크를 연통시키는 연통관
을 포함하고,
상기 깔때기가 상기 탱크보다 높은 높이 위치에 배치되고, 상기 연통관의 상기 탱크에 접속된 한쪽 단부가, 상기 연통관의 상기 깔때기에 접속된 다른 쪽 단부보다 낮은 높이 위치에 배치되어 있음으로써, 상기 깔때기에 토출된 액상 수지를 그 자체의 중량으로 상기 탱크로 복귀시킬 수 있는, 액상 수지 공급 장치. - 피가공물에 대하여 미리 정해진 양의 액상 수지를 공급할 때에 이용되는 액상 수지 공급 장치에 있어서,
액상 수지가 저장되는 탱크와,
상기 탱크로부터 공급되는 액상 수지를 토출하는 토출구를 갖는 노즐과,
상기 노즐을 토출 위치 또는 대피 위치로 이동시키는 이동 기구와,
피가공물에 액상 수지를 토출하기 전에 상기 노즐이 토출하는 액상 수지를 수취하는 깔때기와,
상기 깔때기와 상기 탱크를 연통시키는 연통관과,
상기 탱크를 흡인원에 연통시키는 흡인관과,
상기 흡인관을 개폐하는 흡인 밸브
를 포함하고,
상기 흡인 밸브를 개방하여 상기 탱크 내부를 부압으로 함으로써, 상기 깔때기에 토출된 액상 수지를 상기 탱크로 복귀시킬 수 있는, 액상 수지 공급 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 깔때기를 상기 노즐 바로 아래의 수취 위치 또는 후퇴 위치로 이동시키는 깔때기 이동 기구를 더 구비하는, 액상 수지 공급 장치. - 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연통관의 상기 탱크에 접속된 한쪽 단부측에 메쉬 필터를 더 구비하는, 액상 수지 공급 장치.
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