KR20220028516A

KR20220028516A - 검사용 소켓

Info

Publication number: KR20220028516A
Application number: KR1020200109609A
Authority: KR
Inventors: 김규선
Original assignee: 주식회사 스노우
Priority date: 2020-08-28
Filing date: 2020-08-28
Publication date: 2022-03-08
Also published as: WO2022045542A1; KR102388678B1

Abstract

본 발명의 일 실시예는 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트 및 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하는, 검사용 소켓을 제공한다.

Description

검사용 소켓 {TEST SOCKET}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 다층 구조로 이루어지고, 지지 시트를 구비하여 소켓의 높이 향상이 용이하고, 동작성이 향상된 검사용 소켓에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 소자 등의 피검사 디바이스의 제조 공정이 끝나면 피검사 디바이스에 대한 테스트가 필요하다. 즉, 제조가 완료된 반도체 소자 등의 피검사 디바이스는 그 불량여부를 판단하기 위하여 전기적 테스트를 실시하게 된다. 구체적으로는 테스트 장비로부터 소정의 테스트신호를 피검사 디바이스로 전달하여 그 피검사 디바이스의 불량여부를 판정하게 된다.

이러한 검사용 소켓은 개별 피검사 디바이스가 정확한 위치로 이동하여 테스트 보드상에 장착된 소켓과 정확하게 반복 접촉시 안정적인 기계적 접촉 능력과 신호 전달시 전기적 접촉점에서의 신호 왜곡이 최소화될 수 있도록 안정적인 전기적 접촉능력이 요구된다.

이때, 테스트 보드와 피검사 디바이스는 서로 직접 접속되는 것이 아니라, 소위 검사용 소켓이라는 매개장치를 이용하여 간접적으로 접속되게 된다. 이러한 검사용 소켓으로는 포고핀 등 다양한 것이 사용될 수 있으나, 최근에는 반도체 소자의 기술 변화로 이방성을 가지는 탄성시트를 이용한 검사용 소켓이 늘어나고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 단층 구조형 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.

종래 기술에 따른 단층 구조형 검사용 소켓(10)은, 절연성 탄성 물질로 이루어진 절연부(11) 중에 다수의 도전부(12)가 함유되어 있는 형태로 이루어진다. 이러한 도전부(12)가 상기 피검사 디바이스의 리드와 대응되도록 면방향으로 배열되어 있게 된다. 한편, 상기 도전부(12)는 절연부(11)에 의하여 절연지지 된다.

이러한 검사용 소켓(10)은 테스트 보드에 탑재된 상태에서 그 각각의 도전부(12)가 테스트 보드의 패드와 접촉되어 있게 된다. 이후에 피검사 디바이스가 하강하면 그 피검사 디바이스의 리드가 각각의 도전부(12)와 접촉하면서 그 도전부(12)를 가압하게 되며, 이에 따라 도전부(12) 내의 도전성 입자들은 서로 밀착되면서 통전이 가능한 상태를 형성한다. 이후, 테스트 보드로부터 소정의 테스트신호가 인가되면 그 테스트신호가 검사용 소켓(10)를 거쳐 피검사 디바이스로 전달되고, 그 피검사 디바이스에서 오는 반사신호는 반대로 검사용 소켓(10)을 거쳐 테스트 보드로 전달된다.

이러한 검사용 소켓은 두께방향으로 가압되었을 때 그 두께방향으로만 도전성을 나타내는 특성을 가지며, 납땜 또는 스프링과 같은 기계적 수단이 사용되지 않으므로 내구성이 우수하며 간단한 전기적 접속을 달성할 수 있는 장점이 있다.

또한 기계적인 충격이나 변형을 흡수할 수 있기 때문에, 부드러운 접속이 가능한 장점이 있어 각종 전기적 회로장치 등과 테스트 보드와의 전기적 접속을 위하여 널리 사용된다.

다만, 이러한 종래 기술에 따른 단층 구조형 소켓은 두께가 얇아 피검사 디바이스와의 접촉 공간이 넓거나 접촉하는 도전부가 많을수록 접촉 압력의 불균일에 의해 도전부간 저항 편차가 커지는 문제점이 있다. 또한, 단층 구조형태에서 두께를 증가하는 것도 물성적인 제약으로 인해 제작이 어렵고 도전부간의 균일한 품질확보가 어렵다.

한국 등록특허공보 제10-1782604호 (2017.09.21)

본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 본 발명의 목적은 다층 구조로 이루어지고, 지지 시트를 구비하여 소켓의 높이 향상이 용이하고, 동작성이 향상된 검사용 소켓을 제공하는 것이다.

또한, 피검사 디바이스의 단자가 많아 낮은 접촉 압력을 요구하는 경우, 피검사 디바이스의 접촉 단자들이 많고 그 범위가 넓어 도전부간 저항 편차를 줄여야 할 경우, 도전부간 피치가 작고 도전부가 주로 외곽에 분포하여 물리적 충격에 취약한 경우 안정적인 품질과 수명을 향상시킬 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것이다.

상기와 같은 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 일 측면은 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트 및 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하는, 검사용 소켓을 제공한다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 상기 절연성 지지부의 외부로 돌출되는 부분의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부의 내부에 위치하는 부분의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높은 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 지지 시트의 두께(d)는, 상기 제1 도전부의 하부 돌출부의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부의 상부 돌출부의 높이(h2) 보다 크고, 상기 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)의 높이(h2)의 합 이하로 구성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 상기 지지 시트의 관통공의 직경은, 상기 관통공에 삽입되는 제1 도전부의 하부 돌출부의 직경 및 제2 도전부의 상부 돌출부의 직경 보다 1.1 내지 1.5배 크게 구성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트 및 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고, 상기 지지 시트는 외곽 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 외측 지지부 및 상기 외측 지지부 내측에 형성되는 내측 공간부를 갖는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트 및 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고, 상기 지지 시트는 내부 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 내측 지지부 및 상기 내측 지지부 외측에 형성되는 외측 공간부를 갖는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 실시예에 있어서, 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트, 절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트 및 상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고, 상기 지지 시트는, 외곽 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 외측 지지부; 내부 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 내측 지지부; 및 상기 외측 지지부와 상기 내측 지지부 사이에 형성되는 사이 공간부를 갖는, 검사용 소켓일 수 있다.

본 발명의 일 측면에 따르면, 제1 도전 시트 및 제2 도전 시트 사이에 구비되는 지지 시트로 인해 검사용 소켓의 높이를 안정적으로 향상시킬 수 있다.

또한, 지지 시트에 공간부가 형성됨으로써 다층 구조의 검사용 소켓 중간 층에 공간이 확보될 수 있고, 이로 인해 단층 구조의 검사용 소켓 대비하여 각 도전부에 작용하는 압축 힘(force)이 감소될 수 있다.

그리고, 지지 시트에 공간부가 형성됨으로써 각 도전부 압축 시 각 도전부의 중앙부에서 외측으로의 응력 감소 효과로 인해 각 도전부에 작용하는 데미지(damage)가 감소될 수 있으며, 검사용 소켓의 소프트한 동작을 유도하여 작동성이 향상될 수 있다.

본 발명의 효과는 상기한 효과로 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 상세한 설명 또는 특허청구범위에 기재된 발명의 구성으로부터 추론 가능한 모든 효과를 포함하는 것으로 이해되어야 한다.

도 1은 종래 기술에 따른 단층 구조형 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.
도 2의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.
도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.
도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.
도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.
도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.

이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명을 설명하기로 한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며, 따라서 여기에서 설명하는 실시예로 한정되는 것은 아니다. 그리고 도면에서 본 발명을 명확하게 설명하기 위해서 설명과 관계없는 부분은 생략하였으며, 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 유사한 도면 부호를 붙였다.

명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 "연결"되어 있다고 할 때, 이는 "직접적으로 연결"되어 있는 경우뿐 아니라, 그 중간에 다른 부재를 사이에 두고 "간접적으로 연결"되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 구비할 수 있다는 것을 의미한다.

이하 첨부된 도면을 참고하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.

도 2의 (a) 및 (b)는 본 발명의 일 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이다.

도 2를 참조하면, 본 발명의 검사용 소켓(1000)은 피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓으로서, 제1 도전시트(100), 제2 도전시트(200) 및 지지 시트(300)를 포함한다.

보다 구체적으로, 검사용 소켓(1000)은 절연성 지지부(120)와 상기 절연성 지지부(120)에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부(110)를 갖는 제1 도전시트(100), 절연성 지지부(220)와 상기 절연성 지지부(220)에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부(210)를 갖는 제2 도전시트(200) 및 상기 제1 도전부(110) 및 상기 제2 도전부(210)가 상하 통전되는 복수의 관통공(320)이 형성되고, 상기 제1 도전시트(100)와 상기 제2 도전시트(200) 사이에 개재되는 지지 시트(300)를 포함하여 구성된다.

검사용 소켓(1000)은 소정의 두께를 가지는 시트 형태로 이루어질 수 있다. 이때, 검사용 소켓(1000)은 면방향으로의 전기적인 흐름은 없고 두께방향으로의 전기적인 흐름만을 가능하도록 구성되어 피검사 디바이스의 리드와 테스트 보드의 패드를 상하방향으로 전기적으로 연결시킨다.

이러한 검사용 소켓(1000)은 피검사 디바이스의 전기적 검사를 수행하기 위하여 사용되며, 이로써 제조된 피검사 디바이스의 불량여부를 판단하게 된다.

이때, 제1 도전 시트(100)는 제1 도전부(110) 및 절연성 지지부(120)를 포함하고, 제2 도전 시트(200)는 제2 도전부(210) 및 절연성 지지부(220)를 포함한다.

절연성 지지부(120, 220)는 검사용 소켓(1000)의 몸체를 이루며, 후술하는 각 도전부(110, 210)가 접촉 하중을 받을 때 상기 도전부(110, 210)를 지지하고, 서로 인접한 도전부(110, 210) 사이의 전기적 접속을 차단하는 역할을 한다.

더욱 구체적으로, 절연성 지지부(120, 220)는 반도체 소자 등의 피검사 디바이스의 리드 또는 테스트 보드의 패드가 접촉될 경우, 접촉력을 흡수하여 각 도전부(110, 210)를 보호하는 역할을 한다.

절연성 지지부(120, 220)는 가교 구조를 갖는 절연성 고분자 물질로 구성되는 것이 바람직하다. 보다 구체적으로, 상기 절연성 고분자 물질로는 폴리부타디엔고무, 천연고무, 폴리이소프렌고무, 스티렌-부타디엔 공중합체 고무, 아크릴로니트릴-부타디엔 공중합체 고무와 같은 공액 디엔계 고무 및 이들의 수소 첨가물, 스티렌-부타디엔-디엔 블럭 공중합체 고무, 스티렌-이소프렌 블럭 공중합체 등의 블럭 공중합체 고무 및 이들의 수소 첨가물, 클로로프렌, 우레탄고무, 폴리에스테르계고무, 에피클로로히드린 고무, 실리콘 고무, 에틸렌-프로필렌 공중합체 고무, 에틸렌-프로필렌-디엔 공중합체 고무 등이 사용될 수 있다. 특히, 이중에서 성형 가공성 및 전기 특성의 관점에서 실리콘 고무를 사용하는 것이 바람직하다.

이러한 실리콘 고무로는 액상 실리콘 고무를 가교 또는 축합한 것이 바람직하다. 액상 실리콘 고무는 그 점도가 전단 속도 10^-1초에서 10⁵ 포어즈 이하인 것이 바람직하고, 축합형인 것, 부가형인 것, 비닐기 및 히드록실기를 함유하는 것 중의 어느 하나일 수 있다. 구체적으로는, 디메틸실리콘 생고무, 메틸비닐실리콘 생고무, 메틸페닐비닐실리콘 생고무 등을 들 수 있다.

제1, 2 도전부(110, 210)는 두께방향으로 연장되어 있어서 두께방향으로 가압되었을 때 압축되면서 두께방향으로 전기적 흐름이 가능하게 하고, 각각의 제1, 2 도전부(110)는 서로 면방향으로 이격되어 배치되어 있다. 상기 제1, 2 도전부(110, 210) 사이에는 절연성을 가지는 절연성 지지부(120, 220)가 배치되어 있어서 제1, 2 도전부(110, 210)들 사이의 전기적 흐름이 차단되게 된다.

제1 도전부(110)는 그 상단이 상기 피검사 디바이스의 리드와 접촉 가능하도록 구성되고, 제2 도전부(210)는 그 하단은 상기 테스트 보드의 패드와 접촉 가능하도록 구성된다. 상기 제1, 2 도전부(110, 210)는 다수의 도전성 입자가 탄성 절연물질 내에 상하방향으로 배향되어 있도록 형성된다. 이러한 다수의 도전성 입자들은 제1, 2 도전부(110, 210)가 피검사 디바이스에 의하여 가압되는 경우 서로 접촉하면서 전기적인 접속을 가능하게 하는 역할을 수행한다.

즉, 피검사 디바이스에 의하여 가압되기 전에는 도전성 입자들이 미세하게 이격되거나 약하게 접촉되어 있으며, 제1, 2 도전부(110, 210)가 가압되어 압축되면 도전성 입자들이 서로 확실하게 접촉됨으로써 전기적 접속을 가능하게 하는 것이다.

구체적으로 제1, 2 도전부(110, 210)는 탄성 절연물질 내에 다수의 도전성 입자가 상하방향으로 밀집되어 배열된 형태를 가지게 되며, 각각의 도전부(110, 210)는 대략적으로 피검사 디바이스의 리드와 대응되는 위치에 배열되어 있게 된다.

이때, 제1, 2 도전부(110, 210)에 자기력선이 작용하면, 각각의 도전성 입자는 자기장에 의하여 탄성 절연물질 내에 정렬되고, 수직방향으로 길게 연장되는 도전 컬럼(column)을 형성하게 된다. 즉, 제1, 2 도전부(110, 210)는 다수의 도전 컬럼들이 병렬 배치되는 구조로 구성된다.

한편, 도전성 입자로는 니켈, 철, 코발트 등의 자성을 나타내는 금속으로 이루어지는 입자 또는 이들 합금으로 이루어지는 입자 또는 이들 금속을 함유하는 입자, 또는 이들 입자를 코어 입자로 하여 해당 코어 입자의 표면에 금, 은, 팔라듐, 로듐과 같이 산화되기 어려운 도전성 금속의 도금을 실시한 것이 사용될 수 있다.

지지 시트(300)는 검사용 소켓(1000)의 두께 방향 높이(height) 향상을 위해 제1 도전 시트(100) 및 제2 도전 시트(200) 사이에 배치된다.

지지 시트(300)는 지지부(310) 및 복수의 관통공(320)을 포함한다. 즉, 지지 시트(300)는 제1 도전 시트(100) 제2 도전 시트(200) 사이에서 복수의 제1, 2 도전부(110, 210)를 지지하는 지지부(310)를 포함하고, 상기 지지부(310)에는 제1, 2 도전부(110, 210)의 도전로에 대응하는 위치에 복수의 관통공(320)이 형성된다.

이때, 지지 시트(300)의 복수의 관통공(320)에는 대응하는 제1 도전 시트(100)의 하부 돌출부(112) 및 제2 도전 시트(200)의 상부 돌출부(212)가 양 방향에서 삽입된다. 이때, 제1 도전 시트(100)와 지지 시트(300) 사이 및 제2 도전 시트(200)와 지지 시트(300) 사이는 절연성 지지부(120, 220)의 상면 또는 하면에서 접착제에 의해 일체적으로 고정될 수 있다.

지지 시트(300)는 절연성 재질로 이루어질 수 있으며, 보다 구체적으로 유리 섬유 보강형 에폭시 수지, 폴리이미드 수지 등의 열경화성 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트 수지, 염화비닐 수지, 폴리스티렌 수지, 폴리아크릴로니트릴 수지, 폴리에틸렌 수지, 아크릴 수지, 폴리부타디엔 수지 등의 열가소성 수지, 기타 각종 절연성 수지로 이루어질 수 있다.

제1 도전부(110) 및 제2 도전부(210)는, 상기 절연성 지지부(120, 220)의 외부로 돌출되는 부분(112, 113, 212, 213)의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부(120, 220)의 내부에 위치하는 부분(111, 211)의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높게 구성될 수 있다.

즉, 제1, 2 도전부(110, 120) 중 절연성 지지부(120, 220)에 의해 둘러싸여 지지되는 부분이 아닌 상측 또는 하측으로 돌출되는 부분(112, 113, 212, 213)은 외부 장치 또는 다른 부분과 접촉되는 부분으로서 외부 작용에 의해 내구성이 취약할 수 있다. 따라서, 절연성 지지부(120, 220)의 외부로 돌출되는 부분(112, 113, 212, 213)을 구성하는 도전성 입자의 밀도를 보다 높게 함으로써 제1, 2 도전부(110, 120)의 내구성을 보강하고, 수명을 향상시킬 수 있다.

지지 시트(300)의 두께(d)는, 상기 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)의 높이(h2) 보다 크도록 구성될 수 있다. 또한 지지 시트(300)의 두께(d)는, 상기 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)의 높이(h2)의 합 이하로 구성될 수 있다.

이처럼, 지지 시트(300)의 두께(d), 하부 돌출부(112)의 높이(h1) 및 상부 돌출부(212)의 높이(h2)를 제어함으로써 피검사 디바이스에 의한 가압 시, 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)와 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)가 적절한 힘으로 접촉되어 제1 도전 시트(100)와 제2 도전시트(200) 간 전기적인 접속이 보다 확실하게 보장될 수 있다.

지지 시트(300)의 관통공(320)의 직경은, 상기 관통공(320)에 삽입되는 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)의 직경 및 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)의 직경 보다 1.1 내지 1.5배 크도록 구성될 수 있다. 즉, 지지 시트(300)의 관통공(320) 및 각 도전부(110, 120)의 돌출부(112, 212)의 직경을 제어함에 따라 돌출부(112, 212)는 상기 지지 시트(300)의 관통공(320)에 용이하게 삽입될 수 있는 동시에, 피검사 디바이스에 의한 가압 시 측방향 일부 변형을 적절하게 수용하여 작동성이 개선될 수 있다.

도 3의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제2 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.

이하에서는 도 3 및 도 4를 참조하여 본 발명의 제1 실시예와의 다른 점을 위주로 설명하기로 한다.

지지 시트(400)는 검사용 소켓(1000)의 두께 방향 높이(height) 향상을 위해 제1 도전 시트(100) 및 제2 도전 시트(200) 사이에 배치된다.

지지 시트(400)는 외측 지지부(410) 및 복수의 관통공(420)을 포함한다. 즉, 지지 시트(400)는 제1 도전 시트(100) 제2 도전 시트(200) 사이에서 외측에 위치하는 복수의 제1, 2 도전부(110, 210)를 지지하는 외측 지지부(410)를 포함하고, 상기 외측 지지부(410)에는 제1, 2 도전부(110, 210)의 도전로에 대응하는 위치에 복수의 관통공(420)이 형성된다.

이때, 지지 시트(400)는 상기 외측 지지부(410)로 둘러싸인 내측 공간부(430)를 더 포함할 수 있다.

지지 시트(400)에 내측 공간부(430)가 형성됨으로써 다층 구조의 검사용 소켓(1000) 중간 층에 공간이 확보될 수 있고, 이로 인해 단층 구조의 검사용 소켓 대비하여 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 압축 힘(force)이 감소될 수 있다. 즉, 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용되는 응력 감소로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 향상될 수 있다.

또한, 지지 시트(400)에 내측 공간부(430)가 형성됨으로써 제1, 2 도전부(110, 210) 압축 시 각 도전부(110, 210)의 중앙부에서 외측으로의 응력 감소 효과로 인해 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 데미지(damage)가 감소될 수 있으며, 검사용 소켓(1000)의 소프트한 동작을 유도하여 작동성이 향상될 수 있다.

도 5의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제3 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이고, 도 6은 본 발명의 제3 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.

제 3 실시예는 피검사 디바이스의 단자가 패키지 외곽에 주로 위치하고 단자간 피치가 조밀할 때 외곽 도전부의 물리적인 동작성과 저항 편차 개선에 유용하다.

이하에서는 도 5 및 도 6을 참조하여 본 발명의 제1 실시예와의 다른 점을 위주로 설명하기로 한다.

지지 시트(500)는 검사용 소켓(1000)의 두께 방향 높이(height) 향상을 위해 제1 도전 시트(100) 및 제2 도전 시트(200) 사이에 배치된다.

지지 시트(500)는 내측 지지부(510) 및 복수의 관통공(520)을 포함한다. 즉, 지지 시트(500)는 제1 도전 시트(100) 제2 도전 시트(200) 사이에서 내측에 위치하는 복수의 제1, 2 도전부(110, 210)를 지지하는 내측 지지부(510)를 포함하고, 상기 내측 지지부(510)에는 제1, 2 도전부(110, 210)의 도전로에 대응하는 위치에 복수의 관통공(520)이 형성된다.

이때, 지지 시트(500)는 상기 내측 지지부(510)의 외곽에 형성되는 외측 공간부(530)를 더 포함할 수 있다.

지지 시트(500)에 외측 공간부(530)가 형성됨으로써 다층 구조의 검사용 소켓(1000) 중간 층에 공간이 확보될 수 있고, 이로 인해 단층 구조의 검사용 소켓 대비하여 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 압축 힘(force)이 감소될 수 있다. 즉, 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용되는 응력 감소로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 향상될 수 있다.

또한, 지지 시트(500)에 외측 공간부(530)가 형성됨으로써 제1, 2 도전부(110, 210) 압축 시 각 도전부(110, 210)의 중앙부에서 외측으로의 응력 감소 효과로 인해 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 데미지(damage)가 감소될 수 있으며, 검사용 소켓(1000)의 소프트한 동작을 유도하여 작동성이 향상될 수 있다.

도 7의 (a) 및 (b)는 본 발명의 제4 실시예에 따른 검사용 소켓을 나타내는 도면이고, 도 8은 본 발명의 제4 실시예에 따른 지지 시트가 적용된 검사용 소켓의 평면도이다.

제 4 실시예는 피검사 디바이스의 단자가 많고 그 면적이 넓을 때 접촉 압력을 낮추고 도전부의 물리적인 동작성과 저항 편차 개선에 유용하다.

이하에서는 도 7 및 도 8을 참조하여 본 발명의 제1 실시예와의 다른 점을 위주로 설명하기로 한다.

지지 시트(600)는 검사용 소켓(1000)의 두께 방향 높이(height) 향상을 위해 제1 도전 시트(100) 및 제2 도전 시트(200) 사이에 배치된다.

지지 시트(600)는 외측 지지부(610a), 내측 지지부(610b) 및 복수의 관통공(620)을 포함한다. 즉, 지지 시트(600)는 제1 도전 시트(100) 제2 도전 시트(200) 사이에서 외곽 영역에 위치하는 복수의 제1, 2 도전부(110, 210)를 지지하는 외측 지지부(610a) 및 제1 도전 시트(100) 제2 도전 시트(200) 사이에서 내부 영역에 위치하는 복수의 제1, 2 도전부(110, 210)를 지지하는 내측 지지부(610b)를 포함하고, 상기 외측 지지부(610a) 및 내측 지지부(610b)에는 제1, 2 도전부(110, 210)의 도전로에 대응하는 위치에 복수의 관통공(620)이 형성된다.

이때, 지지 시트(600)는 상기 외측 지지부(610a)와 상기 내측 지지부(610b) 사이에 형성되는 사이 공간부(630)를 더 포함할 수 있다.

지지 시트(600)에 사이 공간부(630)가 형성됨으로써 다층 구조의 검사용 소켓(1000) 중간 층에 공간이 확보될 수 있고, 이로 인해 단층 구조의 검사용 소켓 대비하여 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 압축 힘(force)이 감소될 수 있다. 즉, 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용되는 응력 감소로 인해 검사용 소켓(1000)의 수명이 향상될 수 있다.

또한, 지지 시트(600)에 사이 공간부(630)가 형성됨으로써 제1, 2 도전부(110, 210) 압축 시 각 도전부(110, 210)의 중앙부에서 외측으로의 응력 감소 효과로 인해 제1, 2 도전부(110, 210)에 작용하는 데미지(damage)가 감소될 수 있으며, 검사용 소켓(1000)의 소프트한 동작을 유도하여 작동성이 향상될 수 있다.

이는 도 3을 확장한 형태로 디바이스의 단자들의 위치 공간이 넓을 경우 시트의 구역을 나누어 줌으로써 도전부의 동작 균일성을 향상시킬 수 있다.

본 발명에 따르면, 다층 구조의 검사용 소켓은 단일 구조의 검사용 소켓 대비 낮은 접촉압력에서 저항 안정성이 확보되는 효과를 기대할 수 있다.

또한, 지지 시트에 공간부가 구비된 경우는 공간부가 구비되지 않은 경우에 비해 압축길이 증가에 따른 접촉압력 증가 비율이 감소할 수 있다. 즉, 지지 시트에 공간부가 구비된 경우는 공간부가 구비되지 않은 경우에 비해 동일 압축길이에 대한 수명 평가 시 수명 향상 효과를 기대할 수 있다.

전술한 본 발명의 설명은 예시를 위한 것이며, 본 발명이 속하는 기술분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 쉽게 변형이 가능하다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 예를 들어, 단일형으로 설명되어 있는 각 구성 요소는 분산되어 실시될 수도 있으며, 마찬가지로 분산된 것으로 설명되어 있는 구성 요소들도 결합된 형태로 실시될 수 있다.

본 발명의 범위는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.

1000 검사용 소켓
100 제1 도전 시트
110 제1 도전부
120 절연성 지지부
200 제2 도전 시트
210 제2 도전부
220 절연성 지지부
300 지지 시트
310 지지부
320 관통공
400 지지 시트
410 외측 지지부
420 관통공
430 내측 공간부
500 지지 시트
510 내측 지지부
520 관통공
530 외측 공간부
600 지지 시트
610a 외측 지지부
610b 내측 지지부
620 관통공
630 사이 공간부

Claims

피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서,
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트;
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트; 및
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하는, 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제2항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 상기 절연성 지지부의 외부로 돌출되는 부분의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부의 내부에 위치하는 부분의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높은 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제3항에 있어서,
상기 지지 시트의 두께(d)는, 상기 제1 도전부의 하부 돌출부의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부의 상부 돌출부의 높이(h2) 보다 크고, 상기 제1 도전부(110)의 하부 돌출부(112)의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부(210)의 상부 돌출부(212)의 높이(h2)의 합 이하로 구성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제1항에 있어서,
상기 지지 시트의 관통공의 직경은, 상기 관통공에 삽입되는 제1 도전부의 하부 돌출부의 직경 및 제2 도전부의 상부 돌출부의 직경 보다 1.1 내지 1.5배 크게 구성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서,
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트;
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트; 및
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고,
상기 지지 시트는 외곽 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 외측 지지부 및 상기 외측 지지부 내측에 형성되는 내측 공간부를 갖는, 검사용 소켓.
제6항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제7항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 상기 절연성 지지부의 외부로 돌출되는 부분의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부의 내부에 위치하는 부분의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높은 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제8항에 있어서,
상기 지지 시트의 두께(d)는, 상기 제1 도전부의 하부 돌출부의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부의 상부 돌출부의 높이(h2) 보다 큰 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제6항에 있어서,
상기 지지 시트의 관통공의 직경(L)은, 상기 관통공에 삽입되는 제1 도전부의 하부 돌출부의 직경(L1) 및 제2 도전부의 상부 돌출부의 직경(L2) 보다 1.1 내지 1.5배인 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서,
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트;
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트; 및
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고,
상기 지지 시트는 내부 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 내측 지지부 및 상기 내측 지지부 외측에 형성되는 외측 공간부를 갖는, 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제12항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 상기 절연성 지지부의 외부로 돌출되는 부분의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부의 내부에 위치하는 부분의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높은 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제13항에 있어서,
상기 지지 시트의 두께(d)는, 상기 제1 도전부의 하부 돌출부의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부의 상부 돌출부의 높이(h2) 보다 큰 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제11항에 있어서,
상기 지지 시트의 관통공의 직경(L)은, 상기 관통공에 삽입되는 제1 도전부의 하부 돌출부의 직경(L1) 및 제2 도전부의 상부 돌출부의 직경(L2) 보다 1.1 내지 1.5배인 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
피검사 디바이스의 단자와 테스트 장치의 패드를 서로 전기적으로 연결시키는 검사용 소켓에 있어서,
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 피검사 디바이스의 단자와 접촉하는 복수의 제1 도전부를 갖는 제1 도전시트;
절연성 지지부와 상기 절연성 지지부에 의해 전기적으로 단절되며 상기 테스트 장치의 패드와 접촉하는 복수의 제2 도전부를 갖는 제2 도전시트; 및
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부가 상하 통전되는 복수의 관통공이 형성되고, 상기 제1 도전시트와 상기 제2 도전시트 사이에 개재되는 지지 시트를 포함하고,
상기 지지 시트는, 외곽 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 외측 지지부; 내부 영역에 위치하는 상기 제1 도전부와 상기 제2 도전부를 지지하는 내측 지지부; 및 상기 외측 지지부와 상기 내측 지지부 사이에 형성되는 사이 공간부를 갖는, 검사용 소켓.
제16항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 다수의 도전성 입자가 두께 방향으로 배열되어 형성되는 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제17항에 있어서,
상기 제1 도전부 및 상기 제2 도전부는, 상기 절연성 지지부의 외부로 돌출되는 부분의 도전성 입자 밀도(D1)가 상기 절연성 지지부의 내부에 위치하는 부분의 도전성 입자 밀도(D2) 보다 높은 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제18항에 있어서,
상기 지지 시트의 두께(d)는, 상기 제1 도전부의 하부 돌출부의 높이(h1) 및 상기 제2 도전부의 상부 돌출부의 높이(h2) 보다 큰 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.
제16항에 있어서,
상기 지지 시트의 관통공의 직경(L)은, 상기 관통공에 삽입되는 제1 도전부의 하부 돌출부의 직경(L1) 및 제2 도전부의 상부 돌출부의 직경(L2) 보다 1.1 내지 1.5배인 것을 특징으로 하는, 검사용 소켓.