JP2008082983A - 異方導電性コネクターおよびこの異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の異方導電性シート層20Aと検査用回路基板側に配置される第2の異方導電性シート層20Bと、第1、第2の異方導電性シート層20A,20B間に配置される絶縁性のシート状スペーサ20Cと、から構成され、第1の異方導電性シート層20Aと、第2の異方導電性シート層20Bとは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路21が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分21aがシート状スペーサ20Cの貫通孔23内に挿入された状態で、第1の異方導電性シート層20Aと、第2の異方導電性シート層20Bと、シート状スペーサ20Cとが一体的に組み付けされている。
【選択図】図3
Description
らなる微細化、高密度化が進み、これに対応して異方性導電性シートも導電部の形成等の微細化が求められるようになってきた。このような微細化が進むことにより、異方性導電性シートにおいては、弾性体の面積と導通部との面積比が小さくなり、歪みに対しての弾性体が支える面積当たりの荷重負荷が大きくなってしまい、弾力性が低下する。
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第1の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第2の異方導電性シート層と、前記第1の異方導電性シート層および前記第2の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、から構成され、
前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分が前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された状態で、前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層と、前記シート状スペーサとが一体的に組み付けされていることを特徴としている。
また、本発明に係る被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターは、
被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第1の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第2の異方導電性シート層と、前記第1の異方導電性シート層および前記第2の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、前記シート状スペーサの裏面側に固設された導電性接点部材と、から構成され、
前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成されているとともに、前記第1の異方導電性シート層における弾性導電路あるいは前記第2の異方導電性シートにおける弾性導電路のいずれか一
方の弾性導電路の突出部分が、前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された際に、前記第1の異方導電性シート層の前記突出部分と、前記第2の異方導電性シート層の前記突出部分とが、前記導電性接点部材を介して対向配置されていることを特徴としている。
さらに、本発明は、前記シート状スペーサの裏面側に固設された前記導電性接点部材が金属板よりなることが好ましい。
また、本発明は、前記導電性接点部材を支持する前記シート状スペーサの支持領域部分が当該シート状スペーサの厚さ方向に変位可能に形成されていることが好ましい。
ここで、前記シート状スペーサにおける前記支持領域部分に、スリットが形成されることにより、このスリットの周囲が厚さ方向に変位可能に形成されていることが好ましい。
また、本発明では、前記シート状スペーサが、2枚の板材から構成され、この第1の板材と第2の板材との間に前記導電性接点部材が配置されていても良い。
性シート側の弾性導電路とを、2枚の板材の中央位置に配置することができるので、位置決めを正確に行うことができる。
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第1の異方導電性シート層と、
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第2の異方導電性シート層との間に、貫通孔が形成された絶縁性のシート状スペーサを配置するに際し、
前記シート状スペーサの前記貫通孔内に、前記異方導電性シート層から突出された弾性導電路を両側から突き合わせるように挿入し、前記シート状スペーサの厚さおよび前記弾性導電路の長さを適宜調整することにより、前記弾性導電路の変形量が調整されることを特徴としている。
図1は本発明の一実施例に係る異方導電性コネクター20の平面図、図2は図1のA−A線方向の部分拡大断面図である。
この異方導電性シート20Aは、図1に示したように、厚さ方向に延びる複数の円柱状の弾性導電路21と、これらの弾性導電路21を相互に絶縁する絶縁部15と、絶縁部15を支持する板状の支持体17とから構成され、全体として矩形シート状に形成されている。弾性導電路21には、磁性を示す導電性粒子Pが含有され、この弾性導電路21は、厚み方向に加圧されたときに導通性が示される。また図1に示した例では、複数の弾性導電路21のうち、例えば、検査対象となるウエハ、IC基板などの被検査電極に電気的に接続される範囲が有効導電路12とされ、接続対象電極に接続されない部分が無効導電路13とされている。そして、有効導電路12は、接続対象となる被検査電極のパターンに
対応して配置されているとともに、弾性導電路21は、図2に示したように、厚み方向両側にそれぞれ突出部21aが形成されている。
以下に、シート状スペーサ20Cについて説明する。
また、本発明に係る異方導電性シートを用いたIC基板などの被検査体の検査方法では、弾性導電路21の変形量を適宜に設定することができることから正確な検査を行うことができ、しかも耐久性が良好である。
例えば、上記実施例では、シート状スペーサ20Cは、一枚の板材から構成されている
が、これに代え2枚の板材から構成しても良い。また、シート状スペーサとして、板材を2枚用いる場合に、これらの間に、弾性導電路21よりも硬質の材料からなる導電性接点部材を介在させても良い。
この異方導電性コネクター30は、第1の異方導電性シート20Aと、第2の異方導電性シート20Bと、2枚の板材からなるシート状スペーサ20Cとを備えている。
図6は,第1の板材25の一部を示す平面図である。第1の板材25においては、IC基板などの被検査体の突起電極(図10における被検査体3の突起電極3aに相当)の各々の位置に対応して貫通孔23が縦横に並んで格子状に配列された状態で形成されている。そして、各々の貫通孔23を取り囲む領域に、コ字状に伸びるスリット22aが連続して形成されている。また、コ字状スリット22aのコの開いた部分に、それぞれ直線状のスリット22bが形成されている。これにより、貫通孔23の周辺領域は、図6の紙面のおいて、前後方向すなわちシート状スペーサ20Cの厚さ方向に変位可能に形成されている。
領域部分28は、厚さ方向に変位することができればよく、その形状は特に限定されるものではない。例えば、直線状のスリット22bは、支持領域部分28の変位に対する抵抗を減ずるものであり、必須のものではない。このように、変形を容易にするスリットの形状は、実施例に何ら限定されない。なお、図6において、符合19は、位置決めピンを挿通するための孔19を示したものである(図1参照)。
本実施例では、第1の異方導電性シート層20Aの弾性導電路21に形成された突出部分21aを、第1の板材25の貫通孔23内に挿入した場合に、この突出部分21aの先端部が導電性接点部材29に近接する程度に若干離反して配置されるように、予め、第1の板材25と第2の板材27と突出部分21aの高さが各々調整されている。これと同様に、第2の異方導電性シート層20Bの弾性導電路21の突出部分21aも、導電性接点部材29に近接する程度に若干離反して配置される。したがって、電気的検査を行うために被検査体1側から押圧された場合に、比較的柔軟な弾性導電路21がそれぞれ比較的硬質な導電性接点部材29に当接することにより、接触状態を得ることができ、図9と同様の使用状態において、小さい加圧力で検査が行われたとしても、電気的検査を行うことが可能である。
さらに、本発明は、種々の変形が可能である。
電性接点部材29を介在させているが、この導電性接点部材29は、2枚の板材25,27の間ではなく、図8に示した場合のように、一枚の板材からなるシート状スペーサ20Cに設置することもできる。その場合には、例えば、導電性接点部材29に対応する第2の異方導電性シート20B’の一方の突出部分21aを無くし、この端面全体を略平坦に形成すれば良い。
20A 第1の異方導電性シート層
20B 第2の異方導電性シート層
20B’ 第2の異方導電性シート層
20C シート状スペーサ
21 弾性導電路
22a、22b スリット
21a 突出部分
23 貫通孔
25 第1の板材
27 第2の板材
28 支持領域部分
30 異方導電性コネクター
50 異方導電性コネクター
Claims (7)
- 被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第1の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第2の異方導電性シート層と、前記第1の異方導電性シート層および前記第2の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、から構成され、
前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成され、これらの各弾性導電路の突出部分が前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された状態で、前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層と、前記シート状スペーサとが一体的に組み付けされていることを特徴とする異方導電性コネクター。 - 被検査体の電気的特性を検査するための異方導電性コネクターであって、
検査対象となる被検査体側に配置される第1の異方導電性シート層と、検査用回路基板側に配置される第2の異方導電性シート層と、前記第1の異方導電性シート層および前記第2の異方導電性シート層間に配置される絶縁性のシート状スペーサと、前記シート状スペーサの裏面側に固設された導電性接点部材と、から構成され、
前記第1の異方導電性シート層と、前記第2の異方導電性シート層とは、それぞれ厚さ方向に弾性導電路が突出して形成されているとともに、前記第1の異方導電性シート層における弾性導電路あるいは前記第2の異方導電性シートにおける弾性導電路のいずれか一
方の弾性導電路の突出部分が、前記シート状スペーサの貫通孔内に挿入された際に、前記第1の異方導電性シート層の前記突出部分と、前記第2の異方導電性シート層の前記突出部分とが、前記導電性接点部材を介して対向配置されていることを特徴とする異方導電性コネクター。 - 前記シート状スペーサの裏面側に固設された前記導電性接点部材が金属板よりなることを特徴とする請求項2に記載の異方導電性コネクター。
- 前記導電性接点部材を支持する前記シート状スペーサの支持領域部分が当該シート状スペーサの厚さ方向に変位可能に形成されていることを特徴とする請求項3に記載の異方導電性コネクター。
- 前記シート状スペーサにおける前記支持領域部分に、スリットが形成されることにより、このスリットの周囲が厚さ方向に変位可能に形成されていることを特徴とする請求項4に記載の異方導電性コネクター。
- 前記シート状スペーサが、2枚の板材から構成され、この第1の板材と第2の板材との間に前記導電性接点部材が配置されていることを特徴とする請求項2〜5のいずれか1項に記載の異方導電性コネクター。
- 被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第1の異方導電性シート層と、
被検査体側に配置され弾性導電路が厚み方向に突出して形成された第2の異方導電性シート層との間に、貫通孔が形成された絶縁性のシート状スペーサを配置するに際し、
前記シート状スペーサの前記貫通孔内に、前記異方導電性シート層から突出された弾性導電路を両側から突き合わせるように挿入し、前記シート状スペーサの厚さおよび前記弾性導電路の長さを適宜調整することにより、前記弾性導電路の変形量が調整されることを特徴とする異方導電性コネクターを用いた被検査体の検査方法。
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