KR20130066778A - Align and tracking device and method of printing roll, and pattern printing apparatus and method having the same - Google Patents
Align and tracking device and method of printing roll, and pattern printing apparatus and method having the same Download PDFInfo
- Publication number
- KR20130066778A KR20130066778A KR1020110133431A KR20110133431A KR20130066778A KR 20130066778 A KR20130066778 A KR 20130066778A KR 1020110133431 A KR1020110133431 A KR 1020110133431A KR 20110133431 A KR20110133431 A KR 20110133431A KR 20130066778 A KR20130066778 A KR 20130066778A
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- alignment
- gantry
- printing
- substrate
- tracking
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1303—Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41F—PRINTING MACHINES OR PRESSES
- B41F13/00—Common details of rotary presses or machines
- B41F13/08—Cylinders
- B41F13/18—Impression cylinders
- B41F13/187—Impression cylinders for rotogravure
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour
- G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
- G02F1/1313—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells specially adapted for a particular application
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Nonlinear Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Inking, Control Or Cleaning Of Printing Machines (AREA)
Abstract
Description
본 발명은 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to an alignment and tracking apparatus and method for printing rolls, and a pattern printing apparatus and method having the same.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 갠트리의 하부에 제공되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 이용하여 기판 상의 얼라인 마크를 기준으로 인쇄롤을 고정 상태의 기판과 얼라인시키고, 얼라인 시의 X축 및 Y축 모터의 이동량을 이용하여 계산된 패턴의 미스얼라인량으로부터 패턴 인쇄 시작 위치의 트래킹(tracking) 량을 자동으로 계산하여 인쇄롤을 인쇄 시작 위치로 이동한 후 패턴을 인쇄함으로써, 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다. More specifically, the present invention aligns the printing roll with the substrate in a fixed state on the basis of the alignment mark on the substrate by using the alignment and tracking device of the printing roll provided on the lower part of the gantry, and X at the time of alignment. The substrate is printed by automatically calculating the tracking amount of the start position of the pattern printing from the misalignment amount of the pattern calculated using the movement amount of the axial and Y axis motors, moving the printing roll to the start position of the printing, and then printing the pattern. Regardless of the position on the stage, alignment is possible, superimposition printing of patterns on the same substrate is possible, the influence of external vibration on the substrate provided on the stage is minimized, and substrates requiring superimposition printing of the pattern are required. The overall tact time and cost of the substrate are significantly reduced, and the printing quality of the substrate is improved, resulting in a significant reduction in the possibility of substrate defects. An apparatus and method for aligning and tracking a grinding roll, and a pattern printing apparatus and method having the same.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB)과 같은 유연 기재(flexible substrate)(이하, 통칭하여 "기판"이라 합니다) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 회로 패턴, 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix) 또는 외장형 전자파 차단(EMI: electromagnetic interference) 필터를 형성하여야 한다. 이러한 패턴들은 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)(이하, 통칭하여 "도액"이라 합니다)에 의해 형성된다.Generally, in order to manufacture a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display panel (LCD) or an organic light emitting diode (OLED), a single large glass substrate or printed circuit is used. Several identical or different patterns (e.g., electrodes or dots) on a flexible substrate (hereinafter referred to collectively as a "substrate"), such as a printed circuit board (PCB) (e.g., For example, an electrode circuit pattern, a color filter, a black matrix, or an external electromagnetic interference (EMI) filter must be formed, for example, a photoresist (PR) solution. Or metal paste (hereinafter referred to collectively as " plating liquid ") such as copper (Cu), silver (Ag), aluminum (Al) and the like.
상술한 평판 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 기판이 스테이지 상에 위치되어야 한다. 그 후, 예를 들어 스테이지 상에 위치된 기판 상에서 코팅 공정 또는 패턴 형성 공정, 노광 공정, 에칭 공정, 또는 접착제 도포 및 본딩 공정 등의 다양한 공정이 수행된다.In order to fabricate the flat panel display (FPD) described above, the substrate must be positioned on the stage. Thereafter, for example, various processes such as a coating process or a pattern forming process, an exposure process, an etching process, or an adhesive application and bonding process are performed on a substrate located on the stage.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.1A is a view showing a pattern printing apparatus of the prior art.
도 1a를 참조하면, 패턴 인쇄 장치(101)는 예를 들어, 그라비아롤(gravure roll: 미도시) 및 인쇄롤(120)을 사용하는 그라비아 오프셋 방식의 패턴 인쇄 장치가 사용된다.Referring to FIG. 1A, for example, a gravure offset pattern printing apparatus using a gravure roll (not shown) and a
좀 더 구체적으로, 도 1a에 도시된 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)는 인쇄 패턴이 구비된 그라비아롤(미도시)로부터 인쇄 패턴에 대응되는 도액을 전사받아 기판(110) 상에 인쇄 패턴을 전사하는 인쇄롤(120); 상기 기판(110)이 장착되는 스테이지(140); 상기 인쇄롤(120)의 회전축(122)을 회전가능하게 지지하며, 상기 스테이지(140) 상에서 왕복 이동하는 갠트리(130); 상기 스테이지(140)의 하부에 장착되며, 상기 스테이지(140)의 얼라인을 제어하는 스테이지 얼라인 장치(150); 및 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되는 메인 프레임(160)을 포함한다.More specifically, the prior art
상술한 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)에서는 인쇄 패턴용 도액을 전사하기 전에 스테이지(140)에 장착된 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어져야 한다. 이러한 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인을 위해 스테이지(140)의 하부에는 스테이지(140)의 X축, Y축, Z 축 및 θ축의 얼라인을 제어하는데 사용되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다. 이 경우, 기판(150)이 글래스 기판인 경우에는 예를 들어 로봇암과 같은 이송 장치(미도시)에 의해 스테이지(170) 상으로 이송되고, 기판(150)이 PCB와 같은 유연 기재인 경우에는 예를 들어 공급롤 및 회수롤(미도시)에 의해 스테이지(170) 상으로 공급된다.In the above-described
이하에서는 설명의 편의를 위하여 패턴 인쇄 장치(101)에서 스테이지 얼라인 장치(150) 및 얼라인 동작을 기술하기로 한다.Hereinafter, the
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이고, 도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.1B is a plan view and a side view schematically showing a stage alignment apparatus according to the prior art, and FIG. 1C is a side view schematically showing a pattern printing apparatus according to the prior art.
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(101)에서는 메인 프레임(160) 상에 스테이지(140)가 위치되고, 스테이지(140) 상에는 기판(110)이 장착되어 있다. 또한, 스테이지(140)의 하부에 장착되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다. 스테이지 얼라인 장치(150)에는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)가 장착되어 있다.1B and 1C, in the
따라서, 인쇄롤(120)이 기판(110) 상으로 이송되면, 스테이지 얼라인 장치(150)에 장착된 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)를 이용하여 스테이지(140)의 X축, Y축, Z축, 및 θ축 방향의 얼라인을 제어함으로써 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어진다.Therefore, when the
상술한 종래 기술에서 사용되는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4) 중 예를 들어 제 1 내지 제 3 구동부재(M1,M2,M3)는 각각 리니어 모터로 구현되고, 제 4 구동부재(M4)는 회전 모터로 구현될 수 있다.Among the first to fourth driving members M1, M2, M3, and M4 used in the above-described prior art, for example, the first to third driving members M1, M2, and M3 are each implemented with a linear motor. 4 drive member (M4) may be implemented as a rotary motor.
또한, 상기 종래 기술에서는, 하나의 기판(110)이 장착된 하나의 스테이지(140) 및 하나의 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 것을 예시적으로 도시하였지만, 당업자라면 2개 이상의 복수의 기판을 사용하는 경우 이에 대응되는 복수의 스테이지 얼라인 장치가 사용되어야 한다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, in the above-described prior art, the use of one
그러나, 상술한 종래 기술에서는 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용하여 스테이지(140) 상의 기판(110)을 얼라인하는 경우 다음과 같은 문제점을 갖는다.However, in the above-described prior art, when the
1. 스테이지(150)의 얼라인을 위해 사용되는 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 경우 진동이 발생한다. 이 경우, 발생한 진동은 스테이지(140)를 통해 스테이지(140) 상에 제공되는 기판(110)에 영향을 미친다. 특히, 스테이지 얼라인 장치(150)에 의해 스테이지(140)의 높이가 높아지는 경우, 스테이지(140) 상에 제공되는 기판(110)에 미치는 진동의 영향이 더 커진다. 그 결과, 기판의 인쇄 품질이 열화되거나 또는 불량 발생 가능성이 높아진다.1. When using the
2. 또한, 동일 기판(110) 상에 2도 이상의 패턴의 중첩 인쇄가 요구되는 경우 1도 인쇄 패턴의 얼라인 상태가 양호한 경우라도 2도 인쇄 패턴의 얼라인 상태가 불량하면 최종 제품의 불량이 발생한다. 따라서, 패턴의 중첩 인쇄의 경우 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 경우 기판의 불량 발생 가능성이 높아진다.2. In addition, when overlapping printing of a pattern of 2 degrees or more is required on the
3. 기판에 불량이 발생하는 경우 고가의 기판 전체가 폐기되어야 하므로 궁극적으로 기판의 제조 비용 및 제조 시간이 증가된다.3. If a defect occurs in the substrate, the entire expensive substrate must be discarded, which ultimately increases the manufacturing cost and manufacturing time of the substrate.
4. 전면 패턴 인쇄가 요구되는 다면취의 대면적 기판의 경우 상술한 종래 기술의 1 내지 3의 문제점이 더욱 현저하게 나타날 수 있다.4. In the case of a multi-faceted large area substrate requiring front pattern printing, the problems of the above-described prior arts 1 to 3 may be more remarkable.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, a new method for solving the above-mentioned problems is required.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 갠트리의 하부에 제공되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 이용하여 기판 상의 얼라인 마크를 기준으로 인쇄롤을 고정 상태의 기판과 얼라인시키고, 얼라인 시의 X축 및 Y축 모터의 이동량을 이용하여 계산된 패턴의 미스얼라인량으로부터 패턴 인쇄 시작 위치의 트래킹(tracking) 량을 자동으로 계산하여 인쇄롤을 인쇄 시작 위치로 이동한 후 패턴을 인쇄함으로써, 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, by using the alignment of the printing roll and the tracking device provided on the lower portion of the gantry based on the alignment mark on the substrate aligned with the substrate in the fixed state After moving the printing roll to the printing start position by automatically calculating the tracking amount of the pattern printing start position from the misalignment amount of the pattern calculated using the movement amount of the X-axis and Y-axis motor during alignment By printing the pattern, alignment is possible irrespective of the state where the substrate is placed on the stage, overlapping printing of the pattern on the same substrate is possible, and the influence of external vibration on the substrate provided on the stage is minimized, The overall tact time and cost of the substrate requiring overlapping printing of the pattern is significantly reduced, and the print quality of the substrate is improved, resulting in poor substrates. It is to provide an alignment and tracking device and method for printing rolls, and a pattern printing device and method having the same, in which the possibility of generation is significantly reduced.
본 발명의 제 1 특징에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치는 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라; 상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 및 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.An alignment and tracking device for a printing roll according to a first aspect of the present invention is mounted on a gantry, the alignment camera for measuring the alignment mark of the pattern to be printed on the substrate; A controller connected to the alignment camera in a wired or wireless manner and calculating an alignment correction value and a tracking amount based on an image of the alignment mark received from the alignment camera and an image of a previously stored reference alignment mark; And mounted at a lower portion of the gantry, aligning the printing roll and the substrate by moving the gantry using the alignment correction value transmitted from the controller, and then using the tracking amount to print the printing roll. And a gantry moving device for tracking to a print start position on the substrate.
본 발명의 제 2 특징에 따른 패턴 인쇄 장치는 기판을 지지하는 스테이지; 상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤; 상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리; 상기 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라; 상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치; 및 상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, a pattern printing apparatus includes: a stage for supporting a substrate; A printing roll for printing a pattern on the substrate; A gantry on which the printing roll is liftably mounted; An alignment camera mounted on the gantry for measuring an alignment mark of a pattern to be printed on a substrate; A controller connected to the alignment camera in a wired or wireless manner and calculating an alignment correction value and a tracking amount based on an image of the alignment mark received from the alignment camera and an image of a previously stored reference alignment mark; The gantry is mounted to the lower portion of the gantry, and the gantry is moved using the alignment correction value transmitted from the controller to align the printing roll and the substrate, and then the printing roll is used to adjust the printing roll to the substrate. A gantry moving device for tracking to a printing start position on the image; And a pair of LM guides mounted on a lower portion of the gantry moving device to linearly move the gantry on the substrate.
본 발명의 제 3 특징에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법은 a) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; b) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계; c) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계; 및 d) 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a third aspect of the present invention, there is provided a method of aligning and tracking a printing roll by a) measuring an alignment mark for a pattern to be printed on a substrate using an alignment camera mounted to a gantry, and measuring the alignment mark. Transmitting the image of the controller to the controller; b) calculating an alignment correction value and a tracking amount by comparing an image of the alignment mark with an image of a previously stored reference alignment mark; c) aligning the printing roll with respect to the substrate by moving the gantry in the X-axis and Y-axis directions by the alignment correction value using a gantry moving device; And d) moving the gantry by the tracking amount using the gantry moving device while moving the gantry to the printing start position along the X-axis direction using a pair of LM guides so that the printing roll is the substrate. And tracking to maintain alignment with respect to.
본 발명의 제 4 특징에 따른 패턴 인쇄 방법은 a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계; b) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; c) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계; d) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계; e) 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계; 및 f) 상기 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치에서 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.A pattern printing method according to a fourth aspect of the invention comprises the steps of: a) providing a substrate on a stage; b) measuring an alignment mark for a pattern to be printed on the substrate using an alignment camera mounted on the gantry, and transmitting the measured image of the alignment mark to a controller; c) calculating an alignment correction value and tracking amount by comparing the image of the alignment mark with an image of a reference alignment mark previously stored; d) aligning the printing roll with respect to the substrate by moving the gantry in the X-axis and Y-axis directions by the alignment correction value using a gantry moving device; e) while moving the gantry to the printing start position along the X-axis direction using a pair of LM guides, the gantry moving device is used to move the gantry by the tracking amount so that the printing roll is applied to the substrate. Tracking to maintain alignment with respect to the device; And f) compensation tracking of the tracking amount using the gantry moving device while the gantry is moved from the print start position to the print end position along the X axis direction using the pair of LM guides. Tracking the amount to print the pattern on the substrate.
본 발명의 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.The following advantages are achieved by using the alignment and tracking apparatus and method of the printing roll of the present invention, and the pattern printing apparatus and method having the same.
1. 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하다.1. Alignment is possible regardless of the state where the substrate is placed on the stage.
2. 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하다.2. Overlapping printing of patterns on the same substrate is possible.
3. 스테이지 얼라인 장치를 사용하지 않으므로 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화된다.3. Since the stage alignment device is not used, the influence of external vibration on the substrate provided on the stage is minimized.
4. 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소된다.4. The overall tact time and cost of the substrate requiring overlapping printing of the pattern is significantly reduced.
5, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소된다.5, the print quality of the substrate is improved, the possibility of defect occurrence of the substrate is significantly reduced.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 마크의 이미지와 기준 얼라인 마크의 이미지의 미스얼라인 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.
도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤의 트래킹량을 구하기 위해 도 2c에 도시된 얼라인 시의 기판의 중심점 및 인쇄 시작 위치에서의 기판의 중심점을 확대하여 도시한 도면이다.
도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다. 1A is a view showing a pattern printing apparatus of the prior art.
1B is a plan view and a side view schematically showing a stage alignment apparatus according to the prior art.
1C is a side view schematically showing a pattern printing apparatus according to the prior art.
2A is a schematic cross-sectional view of a pattern printing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a detailed cross-sectional view of an alignment and tracking device for a printing roll used in the pattern printing apparatus according to the exemplary embodiment of the present invention shown in FIG. 2A.
2C is a view schematically illustrating a method of aligning and tracking a printing roll during pattern printing by using a pattern printing apparatus having an alignment and tracking device of a printing roll according to an embodiment of the present invention. .
2D is a diagram illustrating a misaligned state of an image of an alignment mark and an image of a reference alignment mark according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2E is an enlarged view showing the center point of the substrate at the alignment and the center point of the substrate at the printing start position shown in FIG. 2C to obtain the tracking amount of the printing roll according to the embodiment of the present invention.
FIG. 2F is a view schematically illustrating an operation of the alignment and tracking device of the printing roll during pattern printing by using the pattern printing apparatus having the alignment and tracking device of the printing roll according to an embodiment of the present invention.
3A is a flowchart illustrating a method of aligning and tracking a printing roll according to an embodiment of the present invention.
3B is a flowchart illustrating a pattern printing method according to an embodiment of the present invention.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이고, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이며, 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 얼라인 마크의 이미지와 기준 얼라인 마크의 이미지의 미스얼라인 상태를 예시적으로 도시한 도면이다.Figure 2a is a schematic cross-sectional view of the pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2b is a view of the printing roll used in the pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in Figure 2a A detailed cross-sectional view of the alignment and tracking device is shown, and FIG. 2C shows the alignment of the printing roll at the time of pattern printing using the pattern printing device having the alignment and tracking device of the printing roll according to an embodiment of the present invention. FIG. 2D is a diagram schematically illustrating an in and tracking method, and FIG. 2D is a diagram illustrating a misaligned state of an image of an alignment mark and an image of a reference alignment mark according to an embodiment of the present invention. to be.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)는 갠트리(230)에 장착되며, 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정하기 위한 얼라인 카메라(280); 상기 얼라인 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라(280)로부터 전송받은 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러(282); 및 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 인쇄롤(220)과 상기 기판(210)의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤(220)을 상기 기판(210) 상의 인쇄 시작 위치로 이동(트래킹)시키는 갠트리 이동 장치(270)를 포함한다.2A to 2D, the alignment and
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치(201)는 기판(210)을 지지하는 스테이지(240); 상기 기판(210) 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤(220); 상기 인쇄롤(220)이 승강 가능하게 장착되는 갠트리(230); 상기 갠트리(230)에 장착되며, 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정하기 위한 얼라인 카메라(280); 상기 얼라인 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라(280)로부터 전송받은 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러(282); 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 인쇄롤(220)과 상기 기판(210)의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤(220)을 상기 기판(210) 상의 인쇄 시작 위치로 이동(트래킹)시키는 갠트리 이동 장치(270); 및 상기 갠트리 이동 장치(270)의 하부에 장착되며, 상기 기판(210) 상에서 상기 갠트리(230)를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드(232)를 포함한다. 여기서, 상기 스테이지(240) 및 상기 한 쌍의 LM 가이드(232)는 메인 프레임(260) 상에 고정 장착된다.In addition, the
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200) 및 패턴 인쇄 장치(201)는 각각 컨트롤러(282)와 연결되며, 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치(284)를 추가로 포함할 수 있다.The alignment and
또한, 상술한 얼라인 카메라(280)는 예를 들어 라인 카메라(line camera) 또는 에어리어 카메라(area camera)로 구현될 수 있고, 상기 컨트롤러(280)는 에를 들어 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 또는 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC: Programmable Logic Controller) 등으로 구현될 수 있다. In addition, the above-described
한편, 도 2b를 참조하면, 갠트리 이동 장치(270)는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)로 구성되며, 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 각각 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하에서는 제 1 갠트리 이동 장치(270L)에 대해서만 기술하기로 한다.Meanwhile, referring to FIG. 2B, the
다시 도 2b를 참조하면, 제 1 갠트리 이동 장치(270L)는 베이스 부재(B); 상기 베이스 부재(B) 상에 제공되며, 상기 인쇄롤(220)의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치(270a); 및 상기 인쇄롤(220)의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치(270b)를 포함한다.Referring again to FIG. 2B, the first
좀 더 구체적으로, X축 이동 장치(270a)는 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx), 및 상기 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx) 상에 장착되는 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)로 구성되는 X축 LM 가이드(LMGx); 상기 X축 LM 가이드(LMGx) 상에 장착되는 X축 플레이트(272); 및 상기 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)를 구동하기 위한 제 1 구동 부재(M1)로 구성된다.More specifically, the X-axis moving device 270a includes a pair of X-axis rails Rx and a pair of X-axis rail guides 274 mounted on the pair of X-axis rails Rx. X-axis LM guide (LMGx) consisting of; An
또한, Y축 이동 장치(270b)는 상기 X축 플레이트(272) 상에 제공되는 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry), 및 상기 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry) 상에 장착되는 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)로 구성되는 Y축 LM 가이드(LMGy); 상기 Y축 LM 가이드(LMGy) 상에 장착되는 Y축 플레이트(276); 및 상기 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)를 구동하기 위한 제 2 구동 부재(M2)로 구성된다.In addition, a pair of Y-
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200) 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치(201)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, the detailed configuration and operation of the alignment and
다시 도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)는 먼저 스테이지9240) 상에 위치된 기판(210)의 중심점(C)으로 이동한 후, 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 얼라인 마크(AM)를 측정한다. 그 후, 측정된 얼라인 마크(AM)의 이미지는 컨트롤러(282)로 전송한다. 이를 위해, 얼라인 카메라(280)와 컨트롤러(282)는 유선 또는 무선 방식으로 연결되어 있다.Referring again to FIGS. 2A to 2D, the alignment and
그 후, 컨트롤러(282)는 전송받은 얼라인 마크(AM)의 이미지를 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지와 비교하여 인쇄롤(220)과 기판(110)(정확하게는 기판(110) 상에 인쇄될 패턴(P)) 간의 미스얼라인 상태를 확인한다(도 2d 참조). 이 경우, 기준 얼라인 마크(RM)는 컨트롤러(282)에 미리 저장되는 것이 바람직하다.Thereafter, the
좀 더 구체적으로, 도 2d에 도시된 바와 같이, 예를 들어 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2)의 X축 및 Y축 좌표가 각각 (0,-y0) 및 (0,+y0)이고, 얼라인 카메라(280)를 이용하여 측정된 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 X축 및 Y축 좌표가 각각 (-x1,-y1) 및 (+x2,+y2)라고 가정한다. 이 경우, 컨트롤러(282)는 제 1 얼라인 마크(AM1)와 제 1 기준 얼라인 마크(RM1)의 좌표 비교로부터 인쇄롤(220)과 기판(110)이 (-x1,-y1+y0)만큼 미스얼라인 상태이고, 제 2 얼라인 마크(AM2)와 제 2 기준 얼라인 마크(RM2)의 좌표 비교로부터 (+x2,+y2-y0)만큼 미스얼라인 상태임을 확인한다. 그에 따라, 컨트롤러(282)에 의해 계산된 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 얼라인 보정값은 각각 (-x1,-y1+y0) 및 (+x2,+y2-y0)이다.More specifically, as shown in FIG. 2D, for example, the X and Y axis coordinates of the first and second reference alignment marks RM1 and RM2 are respectively (0, -y0) and (0, +). y0) and the X and Y axis coordinates of the first and second alignment marks AM1 and AM2 measured using the
한편, 컨트롤러(282)는 상술한 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 이미지와 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 모니터링 장치(284) 상에 디스플레이할 수 있다. 그 결과, 사용자는 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)와 제 1 및 제 2 기준 얼라인 마크(RM1,RM2) 간의 미스얼라인 상태, 및 컨트롤러(282)에 의해 계산된 얼라인 보정값을 시각적으로 확인할 수 있다.The
그 후, 컨트롤러(282)는 계산된 얼라인 보정값으로부터 인쇄롤(220)의 트래킹량을 자동으로 계산한다.Thereafter, the
좀 더 구체적으로, 상술한 바와 같이 컨트롤러(282)는 계산된 얼라인 보정값으로부터 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 X축 방향 거리(Δx) = x2-(-x1) = (x2+x1), 및 Y축 방향 거리(Δy) = y2-y0-(-y1+y0) = (y2+y1-2y0)을 계산한다. 그 후, tanθ= Δx/Δy의 관계식으로부터 인쇄롤(220)의 tanθ의 값 및 회전 각도값 θ를 계산한다. 그 후, 컨트롤러(282)는 인쇄롤(220)을 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)의 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키면서 인쇄롤(220)이 기판(210)과 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키기 위한 트래킹량을 계산한다.More specifically, as described above, the
도 2e는 본 발명의 실시예에 따른 인쇄롤의 트래킹량을 구하기 위해 도 2c에 도시된 얼라인 시의 기판의 중심점 및 인쇄 시작 위치에서의 기판의 중심점을 확대하여 도시한 도면이다.FIG. 2E is an enlarged view showing the center point of the substrate at the alignment and the center point of the substrate at the printing start position shown in FIG. 2C to obtain the tracking amount of the printing roll according to the embodiment of the present invention.
도 2e를 도 2a 내지 도 2d와 함께 참조하면, 인쇄롤(220)은 기판(210) 상에 패턴(P)을 인쇄하기 위해, 얼라인 시의 기판(210)의 중심점(C)이 인쇄 시작 위치(PS)에서의 기판(210)의 중심점(C2)로 이동하여야 한다. 이 경우, 인쇄 시작 위치(PS)에서의 기판(210)의 중심점(C2)은 기판(210)이 인쇄롤(210)에 대해 틀어지지 않은 경우 점선으로 표시된 원래 인쇄 시작 위치에서의 기판(210)의 중심점(C1)과 이격 거리(Lc)만큼 이격되어 있다.Referring to FIG. 2E together with FIGS. 2A to 2D, in order to print the pattern P on the
도 2c 및 도 2e에서 알 수 있는 바와 같이, 인쇄롤(220)의 인쇄 시작 위치(PS)까지의 이동 거리(Lb)는 La x tanθ로 주어진다. 여기서, La의 값은 미리 알고 있는 값이고, tanθ의 값은 제 1 및 제 2 얼라인 마크(AM1,AM2)의 얼라인 보정값으로부터 이미 계산된 값이므로 인쇄롤(220)의 이동 거리(Lb)도 자동으로 계산될 수 있다. 그 후, 컨트롤러(282)는 이격 거리(Lc) = (La2 - Lb2)1/2로부터 Lc를 계산한다. 인쇄롤(220)이 인쇄 시작 위치(PS)까지 이동 거리(Lb)만큼 이동하는 동안, 인쇄롤(220)의 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)은 각각 Tx = Lc x sinθ, 및 Ty = Lc x cosθ로 주어진다. 따라서, 컨트롤러(282)는 계산된 Lc 및 θ의 값으로부터 Tx 및 Ty 값을 계산한다.As can be seen in FIGS. 2C and 2E, the moving distance Lb to the printing start position PS of the
상술한 바와 같이, 얼라인 보정값 및 트래킹량이 계산되면, 컨트롤러(282)는 제 1 갠트리 이동 장치(270L)의 제 1 및 제 2 구동 부재(M1,M2)를 이용하여 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 각각 -x1 및 (-y1+y0)만큼 이동시키고, 제 2 갠트리 이동 장치(270R)의 제 3 및 제 4 구동 부재(미도시)를 이용하여 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 각각 +x2 및 (+y2-y0)만큼 이동시킨다. 그 결과, 갠트리(230)에 장착된 인쇄롤(230)과 기판(210) 간의 얼라인이 이루어진다.As described above, when the alignment correction value and the tracking amount are calculated, the
그 후, 한 쌍의 LM 가이드(232)가 갠트리(230)를 상술한 바와 같이 La의 값만큼 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키는 동안, 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 갠트리(230)를 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)만큼 이동시켜 인쇄롤(220)이 기판(210)과 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시킨다. Thereafter, while the pair of LM guides 232 move the
도 2f는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치의 동작을 개략적으로 도시한 도면이다.FIG. 2F is a view schematically illustrating an operation of the alignment and tracking device of the printing roll during pattern printing by using the pattern printing apparatus having the alignment and tracking device of the printing roll according to an embodiment of the present invention.
도 2f를 참조하면, 인쇄롤(220)이 장착된 갠트리(230)는 인쇄 시작 위치(PS)에서 한 쌍의 LM 가이드(232)에 의해 기판(210) 상의 제 1 중심점(Ca1)에서 시작하여 기판(210) 상의 중심점C)을 통과하여 인쇄 종료 위치(PE)의 기판(210) 상의 제 2 중심점(Ca2)까지 X축 방향을 따라 이동한다. 이와 동시에, 갠트리(230) 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치(270)를 구성하는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)에 의해 갠트리(230)는 인쇄 시작 위치(PS)에서 기판(210) 상의 제 1 얼라인 중심점(Cb1)에서 시작하여 기판(210) 상의 중심점C) 을 통과하여 인쇄 종료 위치(PE)의 기판(210) 상의 제 2 얼라인 중심점(Cb2)까지 X축 및 Y축 방향으로 트래킹 경로(Cb1 -> C -> Cb2 경로)를 따라 이동(트래킹)한다. 이 경우, 인쇄롤(220)은 제 1 얼라인 중심점(Cb1)에서 중심점C)까지 및 중심점C)에서 제 2 얼라인 중심점(Cb2)까지 각각 상술한 X축 및 Y축 트래킹량(Tx,Ty)에 대응되는 보상 트래킹량(-Tx,-Ty)만큼의 비율로 이동(트래킹)하게 된다.Referring to FIG. 2F, the
상술한 바와 같이 본 발명에 따른 패턴 인쇄 장치(201)는 인쇄롤(220)의 얼라인 및 트래킹 장치(200)를 이용하여 인쇄롤(220)이 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하면서 기판(210) 상에 패턴(P)을 인쇄할 수 있다.As described above, the
또한, 기판(210) 상에 패턴(P)이 인쇄된 후, 하나 이상의 추가 패턴(미도시)을 중첩하여 인쇄하고자 할 경우, 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 추가 얼라인 마크(미도시)에 대해 도 2a 내지 도 2f를 참조하여 상세히 기술한 바와 동일한 방식으로 얼라인 및 트래킹을 행하여 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴을 인쇄할 수 있다.In addition, when the pattern P is printed on the
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법을 도시한 플로우차트이다.3A is a flowchart illustrating a method of aligning and tracking a printing roll according to an embodiment of the present invention.
도 3a를 도 2a 내지 도 2f와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)은 a) 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)에 대한 얼라인 마크(AM)를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(310); b) 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계(320); c) 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판(210)에 대해 상기 인쇄롤(230)을 얼라인하는 단계(330); 및 d) 한 쌍의 LM 가이드(232)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤(210)이 상기 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계(340)를 포함한다.Referring to FIG. 3A together with FIGS. 2A to 2F, the alignment and
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)의 상기 b) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In the step b) of the alignment and
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 얼라인 및 트래킹 방법(300)은 상기 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 d) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.The alignment and
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다.3B is a flowchart showing a pattern printing method according to an embodiment of the present invention.
도 3b를 도 2a 내지 도 2f와 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)은 a) 스테이지(240) 상에 기판(210)을 제공하는 단계(310); b) 갠트리(230)에 장착된 얼라인 카메라(280)를 이용하여 상기 기판(210) 상에 인쇄될 패턴(P)에 대한 얼라인 마크(AM)를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(320); c) 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계(330); d) 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판(210)에 대해 상기 인쇄롤(230)을 얼라인하는 단계(340); e) 한 쌍의 LM 가이드(232)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치(PS)로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤(210)이 상기 기판(210)에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계(350); 및 f) 상기 한 쌍의 LM 가이드(232)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치(PS)에서 인쇄 종료 위치(PE)까지 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치(270)를 이용하여 상기 갠트리(230)를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판(210) 상에 상기 패턴(P)을 인쇄하는 단계(360)를 포함한다.Referring to FIG. 3B in conjunction with FIGS. 2A-2F, a
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)의 상기 d) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 얼라인 마크(AM)의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크(RM)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In step d) of the
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)은 상기 기판(210) 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In addition, the
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 기판이 스테이지 상에 위치된 상태에 관계없이 얼라인이 가능하고, 동일 기판 상에 패턴의 중첩 인쇄가 가능하며, 스테이지 얼라인 장치를 사용하지 않으므로 스테이지 상에 제공되는 기판에 미치는 외부 진동의 영향이 최소화되고, 패턴의 중첩 인쇄가 필요한 기판의 전체 제조 시간(tact time) 및 비용이 현저하게 감소되며, 기판의 인쇄 품질이 향상되어 기판의 불량 발생 가능성이 현저하게 감소된다는 장점이 달성된다. As described above, in the present invention, alignment is possible regardless of the state in which the substrate is positioned on the stage, overlapping printing of the pattern on the same substrate is possible, and because the stage alignment apparatus is not used, it is provided on the stage. The influence of external vibration on the substrate is minimized, the overall tact time and cost of the substrate requiring pattern overlay printing is significantly reduced, and the print quality of the substrate is improved, which significantly reduces the possibility of substrate defects. The advantage is that it is achieved.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
101,201: 패턴 인쇄 장치 110,210: 기판 120,220: 인쇄롤
122,222: 회전축 130,230: 갠트리 140,240: 스테이지
150: 스테이지 얼라인 장치 160,260: 메인 프레임
200: 패턴 얼라인 및 트래킹 장치 232,LMGx,LMGy: LM 가이드
270,270L,270R: 갠트리 이동 장치 270a,270b: 이동 장치
272,276: 플레이트 274,278: 이동 가이드 280: 얼라인 카메라
282: 컨트롤러 284: 모니터링 장치 AM,AM1,AM2: 얼라인 마크
B: 베이스 부재 M1,M2,M3,M4: 구동부재 P: 패턴
PE: 인쇄 종료 위치 PS: 인쇄 시작 위치
RM,RM1,RM2: 기준 얼라인 마크 Rx,Ry: 레일 Tx,Ty: 트래킹량101,201: pattern printing apparatus 110,210: substrate 120,220: printing roll
122,222: rotation axis 130,230: gantry 140,240: stage
150:
200: Pattern alignment and
270,270L, 270R:
272,276 plate 274,278
282: controller 284: monitoring device AM, AM1, AM2: alignment mark
B: Base member M1, M2, M3, M4: Drive member P: Pattern
PE: Print End Position PS: Print Start Position
RM, RM1, RM2: Reference alignment mark Rx, Ry: Rail Tx, Ty: Tracking amount
Claims (16)
갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라;
상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러; 및
상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치
를 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.In the alignment and tracking device of the printing roll,
An alignment camera mounted on the gantry, for measuring an alignment mark of a pattern to be printed on a substrate;
A controller connected to the alignment camera in a wired or wireless manner and calculating an alignment correction value and a tracking amount based on an image of the alignment mark received from the alignment camera and an image of a previously stored reference alignment mark; And
The gantry is mounted to the lower portion of the gantry, and the gantry is moved using the alignment correction value transmitted from the controller to align the printing roll and the substrate, and then the printing roll is used to adjust the printing roll to the substrate. Gantry shifter for tracking to the print start position on the top
Alignment and tracking device of the printing roll comprising a.
상기 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 얼라인 마크의 이미지와 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.The method of claim 1,
The alignment and tracking device of the printing roll is connected to the controller, and further comprising a monitoring device for displaying the image of the alignment mark and the image of the reference alignment mark alignment and tracking device of the printing roll.
상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
베이스 부재;
상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
를 포함하는
인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.The method of claim 1,
The gantry moving device is composed of a first and a second gantry moving device,
The first and second gantry moving devices are respectively
A base member;
An X-axis moving device provided on the base member to move the gantry in the X-axis direction for X-axis alignment of the printing roll; And
Y-axis moving device for moving the gantry in the Y-axis direction to align the Y-axis direction of the printing roll
Containing
Alignment and tracking device for printing rolls.
상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치의 하부에 제공되는 한 쌍의 LM 가이드가 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.The method of claim 3,
While the pair of LM guides provided below the first and second gantry moving devices move the gantry to the printing start position along the X-axis direction, the first and second gantry moving devices move the gantry. And tracking device to move the tracking amount by the tracking amount to keep the printing roll aligned with respect to the substrate.
상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
The measuring camera is implemented as a line camera or an area camera,
The controller is implemented by any one of a personal computer (PC), a microprocessor, and a programmable logic control device (PLC).
Alignment and tracking device for printing rolls.
기판을 지지하는 스테이지;
상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤;
상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리;
상기 갠트리에 장착되며, 기판 상에 인쇄될 패턴의 얼라인 마크를 측정하기 위한 얼라인 카메라;
상기 얼라인 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 얼라인 카메라로부터 전송받은 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지에 기초하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 컨트롤러;
상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 얼라인 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 인쇄롤과 상기 기판의 얼라인을 행한 후 상기 트래킹량을 이용하여 상기 인쇄롤을 상기 기판 상의 인쇄 시작 위치로 트래킹시키는 갠트리 이동 장치; 및
상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드
를 포함하는 패턴 인쇄 장치.In the pattern printing apparatus,
A stage for supporting the substrate;
A printing roll for printing a pattern on the substrate;
A gantry on which the printing roll is liftably mounted;
An alignment camera mounted on the gantry for measuring an alignment mark of a pattern to be printed on a substrate;
A controller connected to the alignment camera in a wired or wireless manner and calculating an alignment correction value and a tracking amount based on an image of the alignment mark received from the alignment camera and an image of a previously stored reference alignment mark;
The gantry is mounted to the lower portion of the gantry, and the gantry is moved using the alignment correction value transmitted from the controller to align the printing roll and the substrate, and then the printing roll is used to adjust the printing roll to the substrate. A gantry moving device for tracking to a printing start position on the image; And
A pair of LM guides mounted on the lower portion of the gantry moving device for linearly moving the gantry on the substrate.
Pattern printing apparatus comprising a.
상기 패턴 인쇄 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 얼라인 마크의 이미지와 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 장치.The method according to claim 6,
The pattern printing apparatus is connected to the controller, the pattern printing apparatus further comprises a monitoring device for displaying an image of the alignment mark and the image of the reference alignment mark.
상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
베이스 부재;
상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
를 포함하는
패턴 인쇄 장치.The method according to claim 6,
The gantry moving device is composed of a first and a second gantry moving device,
The first and second gantry moving devices are respectively
A base member;
An X-axis moving device provided on the base member to move the gantry in the X-axis direction for X-axis alignment of the printing roll; And
Y-axis moving device for moving the gantry in the Y-axis direction to align the Y-axis direction of the printing roll
Containing
Pattern printing device.
상기 한 쌍의 LM 가이드가 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 패턴 인쇄 장치.The method of claim 8,
While the pair of LM guides move the gantry to the printing start position along the X-axis direction, the first and second gantry moving devices move the gantry by the tracking amount so that the printing roll is the substrate. A pattern printing apparatus for tracking to maintain alignment with respect to the apparatus.
상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
패턴 인쇄 장치.10. The method according to any one of claims 6 to 9,
The measuring camera is implemented as a line camera or an area camera,
The controller is implemented by any one of a personal computer (PC), a microprocessor, and a programmable logic control device (PLC).
Pattern printing device.
a) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
b) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계;
c) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계; 및
d) 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계
를 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.In the alignment and tracking method of the printing roll,
a) measuring an alignment mark for a pattern to be printed on a substrate using an alignment camera mounted on the gantry, and transmitting an image of the measured alignment mark to a controller;
b) calculating an alignment correction value and a tracking amount by comparing an image of the alignment mark with an image of a previously stored reference alignment mark;
c) aligning the printing roll with respect to the substrate by moving the gantry in the X-axis and Y-axis directions by the alignment correction value using a gantry moving device; And
d) While moving the gantry to the printing start position along the X-axis direction using a pair of LM guides, the gantry moving device is used to move the gantry by the tracking amount so that the printing roll is applied to the substrate. Tracking to stay aligned to
Alignment and tracking method of the printing roll comprising a.
상기 b) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 얼라인 마크의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.12. The method of claim 11,
And b) transmitting the image of the alignment mark and the image of the reference alignment mark to the monitoring apparatus and displaying the alignment mark.
상기 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법은 상기 기판 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 d) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함하는 인쇄롤의 얼라인 및 트래킹 방법.13. The method according to claim 11 or 12,
The printing roll aligning and tracking method may include the steps a) to d) for one or more additional alignment marks corresponding to the one or more additional patterns when printing of one or more additional patterns is required on the substrate. Alignment and tracking method of the printing roll further comprising the step of performing repeatedly.
a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계;
b) 갠트리에 장착된 얼라인 카메라를 이용하여 상기 기판 상에 인쇄될 패턴에 대한 얼라인 마크를 측정하고, 측정된 상기 얼라인 마크의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
c) 상기 얼라인 마크의 이미지와 미리 저장된 기준 얼라인 마크의 이미지를 비교하여 얼라인 보정값 및 트래킹량을 계산하는 단계;
d) 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 얼라인 보정값만큼 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 상기 기판에 대해 상기 인쇄롤을 얼라인하는 단계;
e) 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 인쇄 시작 위치로 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량만큼 이동시켜 상기 인쇄롤이 상기 기판에 대해 얼라인 상태를 유지하도록 트래킹시키는 단계; 및
f) 상기 한 쌍의 LM 가이드를 이용하여 상기 갠트리를 상기 X축 방향을 따라 상기 인쇄 시작 위치에서 인쇄 종료 위치까지 이동시키는 동안, 상기 갠트리 이동 장치를 이용하여 상기 갠트리를 상기 트래킹량의 보상 트래킹량만큼 트래킹시켜 상기 기판 상에 상기 패턴을 인쇄하는 단계
를 포함하는 패턴 인쇄 방법. In the pattern printing method,
a) providing a substrate on a stage;
b) measuring an alignment mark for a pattern to be printed on the substrate using an alignment camera mounted on the gantry, and transmitting the measured image of the alignment mark to a controller;
c) calculating an alignment correction value and tracking amount by comparing the image of the alignment mark with an image of a reference alignment mark previously stored;
d) aligning the printing roll with respect to the substrate by moving the gantry in the X-axis and Y-axis directions by the alignment correction value using a gantry moving device;
e) while moving the gantry to the printing start position along the X-axis direction using a pair of LM guides, the gantry moving device is used to move the gantry by the tracking amount so that the printing roll is applied to the substrate. Tracking to maintain alignment with respect to the device; And
f) Compensating tracking amount of the tracking amount by using the gantry moving device while moving the gantry from the print start position to the print end position along the X axis direction using the pair of LM guides. Tracking the pattern to print the pattern on the substrate
Pattern printing method comprising a.
상기 c) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 얼라인 마크의 이미지 및 상기 기준 얼라인 마크의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 방법. The method of claim 14,
And transmitting the image of the alignment mark and the image of the reference alignment mark to the monitoring device in step c).
상기 패턴 인쇄 방법은 상기 기판 상에 하나 이상의 추가 패턴의 인쇄가 요구되는 경우 상기 하나 이상의 추가 패턴에 대응되는 하나 이상의 추가 얼라인 마크에 대해 상기 a) 단계 내지 상기 f) 단계를 반복하여 수행하는 단계를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 방법. 16. The method according to claim 14 or 15,
The pattern printing method may be performed by repeating steps a) to f) for one or more additional alignment marks corresponding to the one or more additional patterns when printing of one or more additional patterns is required on the substrate. Pattern printing method further comprising.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110133431A KR101331580B1 (en) | 2011-12-13 | 2011-12-13 | Align and Tracking Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020110133431A KR101331580B1 (en) | 2011-12-13 | 2011-12-13 | Align and Tracking Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20130066778A true KR20130066778A (en) | 2013-06-21 |
KR101331580B1 KR101331580B1 (en) | 2013-11-21 |
Family
ID=48862833
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020110133431A KR101331580B1 (en) | 2011-12-13 | 2011-12-13 | Align and Tracking Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR101331580B1 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101430970B1 (en) * | 2013-07-05 | 2014-08-19 | 주식회사 트레이스 | Alligning method of display panel |
WO2015174649A1 (en) * | 2014-05-12 | 2015-11-19 | 동우화인켐 주식회사 | Printing method and printing apparatus |
WO2016117971A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 성안기계 주식회사 | Method for controlling roll-to-roll process |
KR20220034279A (en) * | 2020-09-10 | 2022-03-18 | 세메스 주식회사 | Apparatus for treating substrate, inkjet apparatus and maintenance method |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101477651B1 (en) * | 2014-06-23 | 2014-12-30 | 주식회사 엠에스프린텍 | Printing system with easy displacement of printer |
KR20170004210U (en) * | 2016-06-08 | 2017-12-18 | 주식회사 엔지티 | Gravure printing device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0970947A (en) * | 1995-09-04 | 1997-03-18 | Toshiba Electron Eng Corp | Table device and printer |
KR100890757B1 (en) * | 2007-12-05 | 2009-03-26 | 주식회사 나래나노텍 | Device and method for correcting nozzle off-sets of nozzle dispenser |
KR101045370B1 (en) * | 2009-08-21 | 2011-06-30 | 주식회사 나래나노텍 | Apparatus and Method of Checking Alignment in Real-Time between Roll and Printing Object, and A Roll Printing Apparatus for Forming Patterns Having the Same |
KR20110058566A (en) * | 2009-11-26 | 2011-06-01 | 세메스 주식회사 | Apparatus and method of dispensing liquid crystal |
-
2011
- 2011-12-13 KR KR1020110133431A patent/KR101331580B1/en active IP Right Grant
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101430970B1 (en) * | 2013-07-05 | 2014-08-19 | 주식회사 트레이스 | Alligning method of display panel |
WO2015174649A1 (en) * | 2014-05-12 | 2015-11-19 | 동우화인켐 주식회사 | Printing method and printing apparatus |
KR20150129405A (en) * | 2014-05-12 | 2015-11-20 | 동우 화인켐 주식회사 | Printing method and printer |
WO2016117971A1 (en) * | 2015-01-22 | 2016-07-28 | 성안기계 주식회사 | Method for controlling roll-to-roll process |
KR20220034279A (en) * | 2020-09-10 | 2022-03-18 | 세메스 주식회사 | Apparatus for treating substrate, inkjet apparatus and maintenance method |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR101331580B1 (en) | 2013-11-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101331580B1 (en) | Align and Tracking Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same | |
JP5884015B2 (en) | Electronic component mounting system | |
US10165719B2 (en) | Electronic component mounting system and electronic component mounting method | |
JP5895131B2 (en) | Electronic component mounting system and electronic component mounting method | |
KR101045370B1 (en) | Apparatus and Method of Checking Alignment in Real-Time between Roll and Printing Object, and A Roll Printing Apparatus for Forming Patterns Having the Same | |
JP2007090788A (en) | Screen printing equipment | |
WO2014076967A1 (en) | Electronic-component-mounting system and electronic-component mounting method | |
WO2007023692A1 (en) | Electronic component mounting device and method | |
CN114222664A (en) | Display panel side terminal printing system | |
WO2014076969A1 (en) | Electronic-component-mounting system and electronic-component mounting method | |
KR101331578B1 (en) | Pattern Align Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same | |
JP4685066B2 (en) | Printing device | |
JP4324805B2 (en) | Pattern forming device | |
KR20120005354A (en) | Roll-to-roll align system and method, and printing apparatus and method having the same | |
KR101221006B1 (en) | Align System and Method of Printing Roll, and Pattern Forming Apparatus and Method Having the Same | |
JP2011064792A (en) | Electronic component mounting device | |
JP2006205004A (en) | Pattern forming apparatus, head unit and head positioning method | |
KR101120060B1 (en) | Align System and Method of Stage, and A Pattern Forming Apparatus Having the Same | |
KR20130031481A (en) | Improved stage align device and method, and coating apparatus and printing apparatus having the same | |
KR101334405B1 (en) | Improved Apparatus and Method of Aligning Film, and Film Printing Apparatus and Method Having the Same | |
JP2014041892A (en) | Screen printing system and screen printing method | |
WO2014076970A1 (en) | Electronic-component-mounting system and electronic-component mounting method | |
JP6010766B2 (en) | Screen printing device | |
WO2022064625A1 (en) | Computing device and computation method | |
JP2023170361A (en) | Work device and camera check method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
AMND | Amendment | ||
E601 | Decision to refuse application | ||
AMND | Amendment | ||
X701 | Decision to grant (after re-examination) | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161114 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20171107 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191107 Year of fee payment: 7 |