KR101331578B1 - Pattern Align Device and Method of Printing Roll, and Pattern Printing Apparatus and Method Having the Same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 개시한다.
본 발명에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치는 갠트리에 장착되며, 상기 인쇄롤에 의해 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴을 측정하기 위한 측정 카메라; 상기 측정 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 기준 패턴의 이미지에 기초하여 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대한 상기 인쇄롤의 보정값을 계산하는 컨트롤러; 및 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 상기 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention discloses a pattern alignment apparatus and method for a printing roll, and a pattern printing apparatus and method having the same.
The pattern alignment apparatus of the printing roll according to the present invention is mounted on the gantry, measuring camera for measuring the initial printing pattern printed on the substrate by the printing roll; A correction value of the printing roll for a subsequent printing pattern to be printed on a subsequent substrate based on an image of the initial printing pattern and an image of a reference pattern which is connected to the measuring camera in a wired or wireless manner. A controller for calculating; And a gantry moving device mounted at a lower portion of the gantry and controlling the alignment of the printing roll when the gantry is moved on the subsequent substrate by moving the gantry using the correction value transmitted from the controller. Characterized in that it comprises a.
Description
본 발명은 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a pattern aligning apparatus and method for a printing roll, and a pattern printing apparatus and method having the same.
좀 더 구체적으로, 본 발명은 패턴 인쇄 장치에 의해 인쇄된 초기 인쇄 패턴을 측정하여 기준 패턴과 비교하여 각각의 패턴에 대해 미스얼라인된 보정값을 계산하고, 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 보정값만큼 갠트리를 이동하여 후속 인쇄 패턴에 대한 인쇄롤의 얼라인을 제어함으로써, 초기 인쇄 패턴의 특정 위치의 미스얼라인된 패턴에 대해 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 신속하고 간편하게 얼라인 보정이 가능해지고, 복수의 패턴 간의 전체 피치(TP: total pitch)의 일치 여부 및 패턴 정밀도(PA: pattern accuracy)의 확인 작업이 용이하게 이루어지며, 얼라인에 소요되는 시간 및 그에 따른 전체 공정 시간(tact time)이 크게 감소되는 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법에 관한 것이다.More specifically, the present invention measures an initial print pattern printed by a pattern printing apparatus, calculates a misaligned correction value for each pattern by comparing with a reference pattern, and corrects the correction value at the printing of a subsequent print pattern. By moving the gantry by so as to control the alignment of the printing roll with respect to the subsequent printing pattern, alignment correction can be performed quickly and easily when printing the subsequent printing pattern with respect to the misaligned pattern at a specific position of the initial printing pattern, It is easy to check whether the total pitch (TP: total pitch) between the plurality of patterns is matched and the pattern accuracy (PA), and the time required for alignment and the total process time accordingly are A pattern aligning apparatus and method for a printing roll that is greatly reduced, and a pattern printing apparatus and method having the same.
일반적으로, 플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정 디스플레이 패널(LCD) 또는 유기 발광 다이오드(OLED)와 같은 평판 디스플레이(Flat Panel Display: FPD)를 제조하기 위해서는 한 장의 대형 글래스 기판(glass substrate) 또는 인쇄회로기판(printed circuit board: PCB)과 같은 유연 기판(flexible substrate)(이하, 통칭하여 "기판"이라 합니다) 상에 전극(electrodes) 또는 도트(dots) 등과 같은 여러 개의 동일 또는 상이한 패턴들(예를 들어, 전극 회로 패턴, 컬러 필터(color filter), 블랙 매트릭스(black matrix) 또는 외장형 전자파 차단(EMI: electromagnetic interference) 필터를 형성하여야 한다. 이러한 패턴들은 예를 들어, 포토레지스트(photoresist: PR)액 또는 구리(Cu), 은(Ag), 알루미늄(Al) 등과 같은 금속 페이스트(paste)(이하, 통칭하여 "도액"이라 합니다)에 의해 형성된다. Generally, in order to manufacture a flat panel display (FPD) such as a plasma display panel (PDP), a liquid crystal display panel (LCD) or an organic light emitting diode (OLED), a single large glass substrate or printed circuit is used. Several identical or different patterns (e.g., electrodes or dots) on a flexible substrate (hereinafter referred to collectively as a "substrate"), such as a printed circuit board (PCB) (e.g., For example, an electrode circuit pattern, a color filter, a black matrix, or an external electromagnetic interference (EMI) filter must be formed, for example, a photoresist (PR) solution. Or metal paste (hereinafter referred to collectively as " plating liquid ") such as copper (Cu), silver (Ag), aluminum (Al) and the like.
상술한 평판 디스플레이(FPD)를 제조하기 위해서는 기판이 스테이지 상에 위치되어야 한다. 그 후, 예를 들어 스테이지 상에 위치된 기판 상에서 코팅 공정 또는 패턴 형성 공정, 노광 공정, 에칭 공정, 또는 접착제 도포 및 본딩 공정 등의 다양한 공정이 수행된다.In order to fabricate the flat panel display (FPD) described above, the substrate must be positioned on the stage. Thereafter, for example, various processes such as a coating process or a pattern forming process, an exposure process, an etching process, or an adhesive application and bonding process are performed on a substrate located on the stage.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.1A is a view showing a pattern printing apparatus of the prior art.
도 1a를 참조하면, 패턴 인쇄 장치(101)는 예를 들어, 그라비아롤(gravure roll: 미도시) 및 인쇄롤(120)을 사용하는 그라비아 오프셋 방식의 패턴 인쇄 장치가 사용된다.Referring to FIG. 1A, for example, a gravure offset pattern printing apparatus using a gravure roll (not shown) and a
좀 더 구체적으로, 도 1a에 도시된 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)는 인쇄 패턴이 구비된 그라비아롤(미도시)로부터 인쇄 패턴에 대응되는 도액을 전사받아 기판(110) 상에 인쇄 패턴을 전사하는 인쇄롤(120); 상기 기판(110)이 장착되는 스테이지(140); 상기 인쇄롤(120)의 회전축(122)을 회전가능하게 지지하며, 상기 스테이지(140) 상에서 왕복 이동하는 갠트리(130); 상기 스테이지(140)의 하부에 장착되며, 상기 스테이지(140)의 얼라인을 제어하는 스테이지 얼라인 장치(150); 및 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되는 메인 프레임(160)을 포함한다.More specifically, the prior art
상술한 종래 기술의 패턴 인쇄 장치(101)에서는 인쇄 패턴용 도액을 전사하기 전에 스테이지(140)에 장착된 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어져야 한다. 이러한 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인을 위해 스테이지(140)의 하부에는 스테이지(140)의 X축, Y축, Z 축 및 θ축의 얼라인을 제어하는데 사용되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다.In the above-described
이하에서는 설명의 편의를 위하여 패턴 인쇄 장치(101)에서 스테이지 얼라인 장치(150) 및 얼라인 동작을 기술하기로 한다.Hereinafter, the
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이고, 도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.1B is a plan view and a side view schematically showing a stage alignment apparatus according to the prior art, and FIG. 1C is a side view schematically showing a pattern printing apparatus according to the prior art.
도 1b 및 도 1c를 참조하면, 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치(101)에서는 메인 프레임(160) 상에 스테이지(140)가 위치되고, 스테이지(140) 상에는 기판(110)이 장착되어 있다. 또한, 스테이지(140)의 하부에 장착되는 스테이지 얼라인 장치(150)가 장착되어 있다. 스테이지 얼라인 장치(150)에는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)가 장착되어 있다.1B and 1C, in the
따라서, 인쇄롤(120)이 기판(110) 상으로 이송되면, 스테이지 얼라인 장치(150)에 장착된 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4)를 이용하여 스테이지(140)의 X축, Y축, Z축, 및 θ축 방향의 얼라인을 제어함으로써 기판(110)과 인쇄롤(120) 간의 얼라인이 이루어진다. Therefore, when the
상술한 종래 기술에서 사용되는 제 1 내지 제 4 구동부재(M1,M2,M3,M4) 중 예를 들어 제 1 내지 제 3 구동부재(M1,M2,M3)는 각각 리니어 모터로 구현되고, 제 4 구동부재(M4)는 회전 모터로 구현될 수 있다.Among the first to fourth driving members M1, M2, M3, and M4 used in the above-described prior art, for example, the first to third driving members M1, M2, and M3 are each implemented with a linear motor. 4 drive member (M4) may be implemented as a rotary motor.
또한, 상기 종래 기술에서는, 하나의 기판(110)이 장착된 하나의 스테이지(140) 및 하나의 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하는 것을 예시적으로 도시하였지만, 당업자라면 2개 이상의 복수의 기판을 사용하는 경우 이에 대응되는 복수의 스테이지 얼라인 장치가 사용되어야 한다는 것을 충분히 이해할 수 있을 것이다.In addition, in the above-described prior art, the use of one
그러나, 상술한 종래 기술에서는 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용하여 스테이지(140) 상의 기판(110)을 얼라인하는 경우 다음과 같은 문제점을 갖는다. However, in the above-described prior art, when the
도 1d 및 도 1e는 각각 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄되어야 할 패턴과 실제 인쇄된 패턴을 도시한 도면이다. 이하에서는 인쇄되어야 할 패턴은 "기준 패턴(RP: reference patterns)"으로, 실제 인쇄된 패턴은 "인쇄 패턴(PP: printed patterns)"으로 각각 지칭하기로 한다.1D and 1E are diagrams showing a pattern to be printed on a substrate and an actual printed pattern, respectively, by a pattern printing apparatus according to the prior art. Hereinafter, patterns to be printed will be referred to as "reference patterns (RP)" and actual printed patterns will be referred to as "print patterns (PP)", respectively.
도 1d를 참조하면, 예를 들어 초기 인쇄 패턴(PP)인 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)이 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)과 모두 동일한 오차량만큼 미스얼라인(misalign)된 경우에는, 후속 기판에 대해 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하여 스테이지(140)를 오차량만큼 X축, Y축, 및 θ축 방향으로 보정해줌으로써 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)과 복수의 후속 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b) 간의 얼라인이 이루어질 수 있다.Referring to FIG. 1D, for example, the plurality of print patterns P1b, P2b, P3b, P4b, and P5b, which are initial print patterns PP, are all the same as the plurality of reference patterns P1a, P2a, P3a, P4a, and P5a. In the case of misalignment by the amount of error, the
그러나, 도 1e에 도시된 바와 같이 초기 인쇄 패턴(PP)인 복수의 인쇄 패턴(P1b.P2b.P3b.P4b,P5b)이 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)과 상이한 오차량만큼 미스얼라인된 경우가 발생할 수 있다.However, as illustrated in FIG. 1E, the plurality of print patterns P1b.P2b.P3b.P4b and P5b, which are the initial print patterns PP, differ from the plurality of reference patterns P1a, P2a, P3a, P4a, and P5a. Misalignment can occur as much as a vehicle.
좀 더 구체적으로, 도 1e에 도시된 바와 같이 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b) 중 제 2 인쇄 패턴(P2b)은 제 2 기준 패턴(P2a)에 대해 Y축 방향으로 +y2 만큼 미스얼라인된 상태이고, 제 4 인쇄 패턴(P4b)은 제 4 기준 패턴(P4a)에 대해 Y축 방향으로 -y4 만큼 미스얼라인된 상태이며, 제 5 인쇄 패턴(P5b)은 제 5 기준 패턴(P5a)에 대해 X축 방향으로 +x5만큼 그리고 Y축 방향으로 +y5 만큼 미스얼라인된 상태라고 가정한다. 이 경우, 종래 기술에서는 후속 기판에 대해 제 2 인쇄 패턴(P2b)의 위치에서 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하여 스테이지(140)를 Y축 방향으로 보정값인 +y2 만큼 이동시키면 제 2 인쇄 패턴(P2b)과 제 2 기준 패턴(P2a)의 얼라인이 이루어질 수 있다. 그 후, 제 3 인쇄 패턴(P3b)의 경우 원래는 제 3 기준 패턴(P3a)과 얼라인된 상태이므로 얼라인을 위한 보정이 불필요하지만, 제 2 인쇄 패턴(P2b)과 제 2 기준 패턴(P2a) 간의 얼라인을 위해 스테이지(140)가 Y축 방향으로 +y2 만큼 이동된 상태이므로, 제 3 인쇄 패턴(P3b)의 위치에서는 제 3 기준 패턴(P3a)과의 얼라인을 위해 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하여 스테이지(140)를 Y축 방향으로 -y2 만큼 이동시켜야 한다.More specifically, as shown in FIG. 1E, the second printing pattern P2b of the plurality of printing patterns P1b, P2b, P3b, P4b, and P5b may be + in the Y-axis direction with respect to the second reference pattern P2a. The fourth printed pattern P4b is misaligned by y2, the fourth printed pattern P4b is misaligned by -y4 in the Y-axis direction with respect to the fourth reference pattern P4a, and the fifth printed pattern P5b is fifth It is assumed that the reference pattern P5a is misaligned by + x5 in the X-axis direction and + y5 in the Y-axis direction. In this case, in the prior art, when the
그 후, 제 4 인쇄 패턴(P4b)의 위치에서 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하여 스테이지(140)를 Y축 방향으로 보정값인 -y4 만큼 이동시키면 제 4 인쇄 패턴(P4b)과 제 4 기준 패턴(P4a)의 얼라인이 이루어질 수 있다. 그 후, 제 5 인쇄 패턴(P5b)의 위치에서 제 5 인쇄 패턴(P5b)과 제 5 기준 패턴(P5a) 간의 얼라인을 위해서는 제 4 인쇄 패턴(P4b)의 위치에서 +y4 만큼 이동되었으므로 스테이지 얼라인 장치(150)를 사용하여 스테이지(140)를 Y축 방향으로 (+y4 +y5)만큼 이동시켜야 하고 동시에 X축 방향으로 +x5만큼 이동시켜야 한다.Thereafter, when the
상술한 바와 같이, 종래 기술에서는 기판(110) 상에 인쇄된 복수의 인쇄 패턴(P1b.P2b.P3b.P4b,P5b)으로부터 후속 기판에 대해 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)과의 얼라인을 위해 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용하여 스테이지(140) 자체를 X축 및/또는 Y축 방향으로 이동시켜야 한다. As described above, in the prior art, a plurality of reference patterns P1a, P2a, P3a, P4a, and P5a from the plurality of printed patterns P1b.P2b.P3b.P4b and P5b printed on the
그러나, 상술한 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용한 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)과 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a) 간의 얼라인 동작은 예를 들어 글래스 기판의 경우처럼 기판(110)이 스테이지(140) 상에 고정 장착되는 경우에는 적용될 수 있지만, 예를 들어 유연 기재의 경우처럼 기판(110)이 스테이지(140) 상에 완전히 고정 장착되는 않는 경우에는 적용될 수 없다는 한계가 있었다.However, the alignment operation between the plurality of print patterns P1b, P2b, P3b, P4b, and P5b and the plurality of reference patterns P1a, P2a, P3a, P4a, and P5a using the
또한, 글래스 기판의 경우에도 인쇄롤(120)이 기판(110)과 접촉하여 인쇄 동작이 이루어지고 있는 도중에 스테이지 얼라인 장치(150)를 이용하여 스테이지(140)를 이동시켜야 한다. 이 경우, 인쇄롤(120)의 외부는 블랭킷(미도시)으로 감싸여 있고, 이러한 블랭킷은 탄성을 가지므로 스테이지(140) 및 그 상부에 위치된 기판(110)을 X축 및/또는 Y축으로 원하는 정확한 보정값만큼 정밀하게 이동시키는 것이 매우 어렵거나 실질적으로 불가능하다.Also, in the case of the glass substrate, the
또한, 도 1e에는 행(row) 방향(X축 방향)의 양단 패턴 간의 피치(px2)와 개별 패턴들 간의 피치(px21,px22,px23,px24), 및 종(column) 방향(Y축 방향)의 양단 패턴 간의 피치(py1)와 개별 패턴들 간의 피치(py11,py21,py31)와 같이 전체 피치의 일부가 도시되어 있다. 즉, 도 1e에서는 설명의 편의상 X축 방향으로는 제 2 행에 위치된 패턴 및 Y축 방향으로는 제 1열에 위치된 패턴에 대한 피치만이 예시적으로 도시하고 있지만, 전체 피치는 제 1행 내지 제 4행에 위치된 패턴 및 제 1열 내지 제 5열에 위치된 패턴 모두에 대한 양단 및 개별 패턴 간의 피치 전체를 포함한다는 점에 유의하여야 한다. 이 경우, 종래 기술에서는 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)에 대한 전체 피치의 일치 여부 및 패턴 정밀도의 확인 작업이 매우 어렵다.In addition, in Fig. 1E, the pitch (px2) between both ends of the pattern in the row direction (X-axis direction), the pitch between the individual patterns (px21, px22, px23, px24), and the column direction (Y-axis direction). A portion of the overall pitch is shown, such as the pitch py1 between the patterns at both ends of and the pitch py11, py21, py31 between the individual patterns. That is, in FIG. 1E, only the pitches of the patterns positioned in the second row in the X-axis direction and the patterns located in the first column in the Y-axis direction are illustrated as examples in FIG. 1E, but the overall pitch is the first row. It should be noted that it encompasses the entire pitch between both ends and the individual patterns for both the pattern located in the fourth to fourth rows and the patterns located in the first to fifth columns. In this case, in the prior art, it is very difficult to confirm whether or not the whole pitches match the plurality of reference patterns P1a, P2a, P3a, P4a, and P5a, and the pattern precision.
따라서, 상술한 문제점을 해결하기 위한 새로운 방안이 요구된다. Therefore, a new method for solving the above-mentioned problems is required.
본 발명은 상술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로, 패턴 인쇄 장치에 의해 인쇄된 초기 인쇄 패턴을 측정하여 기준 패턴과 비교하여 각각의 패턴에 대해 미스얼라인된 보정값을 계산하고, 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 보정값만큼 갠트리를 이동하여 후속 인쇄 패턴에 대한 인쇄롤의 얼라인을 제어함으로써, 초기 인쇄 패턴의 특정 위치의 미스얼라인된 패턴에 대해 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 신속하고 간편하게 얼라인 보정이 가능해지고, 복수의 패턴 간의 전체 피치(TP)의 일치 여부 및 패턴 정밀도(PA)의 확인 작업이 용이하게 이루어지며, 얼라인에 소요되는 시간 및 그에 따른 전체 공정 시간(tact time)이 크게 감소되는 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 제공하기 위한 것이다. The present invention is to solve the above-described problems of the prior art, by measuring the initial printing pattern printed by the pattern printing apparatus to calculate the misaligned correction value for each pattern compared to the reference pattern, and subsequent printing By printing the pattern, the gantry is moved by the correction value to control the alignment of the printing roll with respect to the subsequent printing pattern, thereby quickly and easily printing the subsequent printing pattern with respect to the misaligned pattern at a specific position of the initial printing pattern. Alignment correction is possible, and it is easy to check whether the overall pitch (TP) of the plurality of patterns match or the pattern precision (PA), and the time required for alignment and the total process time accordingly. It is to provide a pattern aligning apparatus and method for a printing roll that is greatly reduced, and a pattern printing apparatus and method having the same.
본 발명의 제 1 특징에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치는 갠트리에 장착되며, 상기 인쇄롤에 의해 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴을 측정하기 위한 측정 카메라; 상기 측정 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 기준 패턴의 이미지에 기초하여 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대한 상기 인쇄롤의 보정값을 계산하는 컨트롤러; 및 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 상기 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치를 포함하는 것을 특징으로 한다.The pattern alignment apparatus of the printing roll according to the first aspect of the present invention is mounted to the gantry, measuring camera for measuring the initial printing pattern printed on the substrate by the printing roll; A correction value of the printing roll for a subsequent printing pattern to be printed on a subsequent substrate based on an image of the initial printing pattern and an image of a reference pattern which is connected to the measuring camera in a wired or wireless manner. A controller for calculating; And a gantry moving device mounted at a lower portion of the gantry and controlling the alignment of the printing roll when the gantry is moved on the subsequent substrate by moving the gantry using the correction value transmitted from the controller. Characterized in that it comprises a.
본 발명의 제 2 특징에 따른 패턴 인쇄 장치는 기판을 지지하는 스테이지; 상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤; 상기 스테이지의 하부에 장착되며, 상기 기판과 상기 인쇄롤을 얼라인하기 위한 스테이지 얼라인 장치; 상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리; 상기 갠트리에 장착되며, 상기 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴의 이미지를 측정하기 위한 측정 카메라; 상기 측정 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 기준 패턴의 이미지에 기초하여 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대한 상기 인쇄롤의 보정값을 계산하는 컨트롤러; 상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 상기 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치; 및 상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드를 포함하는 것을 특징으로 한다.According to a second aspect of the present invention, a pattern printing apparatus includes: a stage for supporting a substrate; A printing roll for printing a pattern on the substrate; A stage alignment apparatus mounted on a lower portion of the stage, for aligning the substrate and the printing roll; A gantry on which the printing roll is liftably mounted; A measurement camera mounted on the gantry for measuring an image of an initial printing pattern printed on the substrate; A correction value of the printing roll for a subsequent printing pattern to be printed on a subsequent substrate based on an image of the initial printing pattern and an image of a reference pattern which is connected to the measuring camera in a wired or wireless manner. A controller for calculating; A gantry moving device mounted on a lower portion of the gantry and moving the gantry using the correction value transmitted from the controller to control alignment of the printing roll when printing the subsequent printing pattern on the subsequent substrate; And a pair of LM guides mounted on a lower portion of the gantry moving device to linearly move the gantry on the substrate.
본 발명의 제 3 특징에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법은 a) 인쇄롤을 이용하여 기판 상에 초기 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계; b) 갠트리에 장착된 측정 카메라를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; c) 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계; 및 d) 상기 보정값만큼 상기 갠트리를 이동시켜 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.The pattern alignment method of the printing roll according to the third aspect of the present invention comprises the steps of: a) printing an initial printing pattern on a substrate using the printing roll; b) measuring the initial print pattern using a measurement camera mounted on a gantry and transmitting an image of the measured initial print pattern to a controller; c) calculating an error amount and a correction value by comparing an image of the initial print pattern with an image of a pre-stored reference pattern; And d) controlling the alignment of the printing roll with respect to a subsequent print pattern to be printed on a subsequent substrate by moving the gantry by the correction value.
본 발명의 제 4 특징에 따른 패턴 인쇄 방법은 a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계; b) 인쇄롤을 이용하여 상기 기판 상에 초기 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계; c) 갠트리에 장착된 측정 카메라를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계; d) 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계; e) 상기 스테이지 상에 후속 기판을 제공하는 단계; 및 f) 상기 보정값만큼 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하면서 상기 후속 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다. A pattern printing method according to a fourth aspect of the invention comprises the steps of: a) providing a substrate on a stage; b) printing an initial printing pattern on the substrate using a printing roll; c) measuring the initial print pattern using a measurement camera mounted on a gantry, and transmitting an image of the measured initial print pattern to a controller; d) calculating an error amount and a correction value by comparing an image of the initial print pattern with an image of a pre-stored reference pattern; e) providing a subsequent substrate on said stage; And f) printing the subsequent print pattern by moving the gantry by the correction value while controlling the alignment of the print roll with respect to the subsequent print pattern to be printed on the subsequent substrate.
본 발명의 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치 및 방법, 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치 및 방법을 사용하면 다음과 같은 장점이 달성된다.Using the pattern alignment apparatus and method of the printing roll of the present invention, and the pattern printing apparatus and method provided with the same, the following advantages are achieved.
1. 갠트리를 이동하여 후속 인쇄 패턴에 대한 인쇄롤의 얼라인이 이루어지므로 기판의 종류(글래스 기판 또는 유연 기재)에 무관하게 특정 위치의 미스얼라인된 패턴에 대해 신속하고 간편하게 얼라인 보정이 이루어진다.1. The aligning of the printing roll for the subsequent printing pattern is made by moving the gantry, so that the alignment correction is quickly and easily performed on the misaligned pattern at a specific position regardless of the substrate type (glass substrate or flexible substrate). .
2. 복수의 패턴 간의 전체 피치(TP)의 일치 여부 및 패턴 정밀도(PA)의 확인 작업이 용이하게 이루어진다.2. It is easy to confirm whether the overall pitch TP between the plurality of patterns matches and the pattern precision PA.
3. 얼라인에 소요되는 시간 및 그에 따른 전체 공정 시간(tact time)이 크게 감소된다.3. The time spent aligning and thus the overall tact time is greatly reduced.
본 발명의 추가적인 장점은 동일 또는 유사한 참조번호가 동일한 구성요소를 표시하는 첨부 도면을 참조하여 이하의 설명으로부터 명백히 이해될 수 있다. Further advantages of the present invention can be clearly understood from the following description with reference to the accompanying drawings, in which like or similar reference numerals denote like elements.
도 1a는 종래 기술의 패턴 인쇄 장치를 도시한 도면이다.
도 1b는 종래 기술에 따른 스테이지 얼라인 장치를 개략적으로 도시한 평면도 및 측면도이다.
도 1c는 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 1d 및 도 1e는 각각 종래 기술에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄되어야 할 패턴과 실제 인쇄된 패턴을 도시한 도면이다.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이다.
도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이다.
도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴(PP)과 기준 패턴(RP)을 도시한 도면이다.
도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄된 후속 인쇄 패턴(PP)과 기준 패턴(RP)을 도시한 도면이다.
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법을 도시한 플로우차트이다.
도 3b는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다. 1A is a view showing a pattern printing apparatus of the prior art.
1B is a plan view and a side view schematically showing a stage alignment apparatus according to the prior art.
1C is a side view schematically showing a pattern printing apparatus according to the prior art.
1D and 1E are diagrams showing a pattern to be printed on a substrate and an actual printed pattern, respectively, by a pattern printing apparatus according to the prior art.
2A is a schematic cross-sectional view of a pattern printing apparatus according to an exemplary embodiment of the present invention.
FIG. 2B is a detailed cross-sectional view of the pattern alignment apparatus of the printing roll used in the pattern printing apparatus according to the embodiment shown in FIG. 2A.
FIG. 2C is a view schematically illustrating a pattern alignment method of a printing roll when printing a pattern using a pattern printing apparatus having a pattern alignment device of a printing roll according to an embodiment of the present invention.
2D is a diagram illustrating an initial print pattern PP and a reference pattern RP printed on a substrate by a pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
FIG. 2E is a view showing a subsequent print pattern PP and a reference pattern RP printed on a substrate by a pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
3A is a flowchart illustrating a pattern alignment method of a printing roll according to an embodiment of the present invention.
3B is a flowchart illustrating a pattern printing method according to an embodiment of the present invention.
이하에서 본 발명의 실시예 및 도면을 참조하여 본 발명을 설명한다.BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, the present invention will be described with reference to embodiments and drawings of the present invention.
도 2a는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치의 정단면도를 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2b는 도 2a에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 사용되는 인쇄롤의 얼라인 장치의 상세 단면도를 도시한 도면이며, 도 2c는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치를 구비한 패턴 인쇄 장치를 사용하여 패턴 인쇄 시에 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법을 설명하기 위해 개략적으로 도시한 도면이고, 도 2d는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴(PP)과 기준 패턴(RP)을 도시한 도면이다.Figure 2a is a schematic cross-sectional view of the pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 2b is a view of the printing roll used in the pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention shown in Figure 2a FIG. 2C is a detailed cross-sectional view of the alignment apparatus, and FIG. 2C is a pattern alignment method of a printing roll during pattern printing using a pattern printing apparatus having a pattern alignment apparatus of a printing roll according to an embodiment of the present invention. 2D is a view illustrating an initial printing pattern PP and a reference pattern RP printed on a substrate by a pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 패턴 얼라인 장치(200)는 갠트리(230)에 장착되며, 상기 인쇄롤(220)에 의해 기판(210) 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴(PP)을 측정하기 위한 측정 카메라(280); 상기 측정 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라(280)로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지와 기준 패턴(RP)의 이미지에 기초하여 후속 기판(210) 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴(PP)에 대한 상기 인쇄롤(220)의 보정값을 계산하는 컨트롤러(282); 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 후속 기판(210) 상에 상기 후속 인쇄 패턴(PP)의 인쇄 시에 상기 인쇄롤(220)의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치(270)를 포함한다.2A to 2D, the
또한, 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치(201)는 기판(210)을 지지하는 스테이지(240); 상기 기판(210) 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤(220); 상기 스테이지(240)의 하부에 장착되며, 상기 기판(210)과 상기 인쇄롤(220)을 얼라인하기 위한 스테이지 얼라인 장치(250); 상기 인쇄롤(220)이 승강 가능하게 장착되는 갠트리(230); 상기 갠트리(230)에 장착되며, 상기 기판(210) 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지를 측정하기 위한 측정 카메라(280); 상기 측정 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라(280)로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지와 기준 패턴(RP)의 이미지에 기초하여 후속 기판(210) 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴(PP)에 대한 상기 인쇄롤(220)의 보정값을 계산하는 컨트롤러(282); 및 상기 갠트리(230)의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러(282)로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 후속 기판(210) 상에 상기 후속 인쇄 패턴(PP)의 인쇄 시에 상기 인쇄롤(220)의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치(270); 및 상기 갠트리 이동 장치(270)의 하부에 장착되며, 상기 기판(210) 상에서 상기 갠트리(230)를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드(232)를 포함한다. 여기서, 상기 스테이지 얼라인 장치(250) 및 상기 한 쌍의 LM 가이드(232)는 메인 프레임(260) 상에 고정 장착된다.In addition, the
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 패턴 얼라인 장치(200) 및 패턴 인쇄 장치(201)는 각각 컨트롤러(282)와 연결되며, 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지 및 상기 기준 패턴(RP)의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치(284)를 추가로 포함할 수 있다.The
또한, 상술한 측정 카메라(280)는 예를 들어 라인 카메라(line camera) 또는 에어리어 카메라(area camera)로 구현될 수 있고, 상기 컨트롤러(280)는 에를 들어 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 또는 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC: Programmable Logic Controller) 등으로 구현될 수 있다.In addition, the
한편, 도 2b를 참조하면, 갠트리 이동 장치(270)는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)로 구성되며, 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 각각 동일한 구성을 갖는다. 따라서, 이하에서는 제 1 갠트리 이동 장치(270L)에 대해서만 기술하기로 한다.Meanwhile, referring to FIG. 2B, the
다시 도 2b를 참조하면, 제 1 갠트리 이동 장치(270L)는 베이스 부재(B); 상기 베이스 부재(B) 상에 제공되며, 상기 인쇄롤(220)의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치(270a); 및 상기 인쇄롤(220)의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리(230)를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치(270b)를 포함한다.Referring again to FIG. 2B, the first
좀 더 구체적으로, X축 이동 장치(270a)는 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx), 및 상기 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx) 상에 장착되는 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)로 구성되는 X축 LM 가이드(LMGx); 상기 X축 LM 가이드(LMGx) 상에 장착되는 X축 플레이트(272); 및 상기 한 쌍의 X축 이동 가이드(274)를 구동하기 위한 제 1 구동 부재(M1)로 구성된다.More specifically, the
또한, Y축 이동 장치(270b)는 상기 X축 플레이트(272) 상에 제공되는 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry), 및 상기 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry) 상에 장착되는 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)로 구성되는 Y축 LM 가이드(LMGy); 상기 Y축 LM 가이드(LMGy) 상에 장착되는 Y축 플레이트(276); 및 상기 한 쌍의 Y축 이동 가이드(278)를 구동하기 위한 제 2 구동 부재(M2)로 구성된다.In addition, a pair of Y-
상술한 바와 같은 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 패턴 얼라인 장치(200)에 사용되는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치(270L,270R)는 각각 한 쌍의 X축 LM 가이드(LMGx)가 X축 플레이트(272)를 한 쌍의 X축 방향 레일(Rx) 상에서 이동시켜 갠트리(230)에 장착된 인쇄롤(220)의 X축 방향 얼라인 동작이 이루어지며, 한 쌍의 Y축 LM 가이드(LMGy)가 Y축 플레이트(276)를 한 쌍의 Y축 방향 레일(Ry) 상에서 이동시켜 갠트리(230)에 장착된 인쇄롤(220)의 Y축 방향 얼라인 동작이 이루어진다. 이 경우, 제 1 및 제 2 구동 부재(M1,M2)는 각각 리니어 모터로 구현될 수 있다.As described above, the first and second
이하에서는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 패턴 얼라인 장치(200) 및 이를 구비한 패턴 인쇄 장치(201)의 구체적인 구성 및 동작을 상세히 기술한다.Hereinafter, a detailed configuration and operation of the
다시 도 2a 내지 도 2d를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(220)의 패턴 얼라인 장치(200)는 갠트리(230)에 장착되는 측정 카메라(280), 및 측정 카메라(280)와 유선 또는 무선 방식으로 연결되는 컨트롤러(282)를 포함한다. 패턴 인쇄 장치(201)의 인쇄롤(220)에 의해 기판(210) 상에 초기 인쇄 패턴(PP)인 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)이 인쇄된 경우, 측정 카메라(280)가 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)의 이미지를 측정하여 컨트롤러(282)로 전송한다. 컨트롤러(282)는 전송받은 복수의 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)의 이미지를 미리 저장된 복수의 기준 패턴(P1a,P2a,P3a,P4a,P5a)의 이미지와 비교하여 초기 인쇄 패턴(PP)과 기준 패턴(RP) 간의 미스얼라인 상태를 확인한다.2A to 2D, the
상술한 바와 같은 비교 결과, 도 2d에 도시된 바와 같이, 제 2 인쇄 패턴(P2b)은 제 2 기준 패턴(P2a)에 비해 Y축 방향으로 +y2만큼 미스얼라인된 상태이고, 제 4 인쇄 패턴(P4b)은 제 4 기준 패턴(P4a)에 대해 Y축 방향으로 -y4 만큼 미스얼라인된 상태이며, 제 5 인쇄 패턴(P5b)은 제 5 기준 패턴(P5a)에 대해 X축 방향으로 +x5만큼 그리고 Y축 방향으로 +y5 만큼 미스얼라인된 상태인 것으로 확인되었다. 그에 따라, 컨트롤러(282)는 제 2 인쇄 패턴(P2b), 제 4 인쇄 패턴(P4b), 및 제 5 인쇄 패턴(P5b)에 대한 (X축,Y축) 오차량으로 각각 (0,+y2), (0,-y4), 및 (+x5,+y5)를 계산한다.As a result of the comparison as described above, as shown in FIG. 2D, the second print pattern P2b is misaligned by + y2 in the Y-axis direction compared to the second reference pattern P2a, and the fourth print pattern P4b is misaligned in the Y-axis direction by -y4 with respect to the fourth reference pattern P4a, and the fifth print pattern P5b is + x5 in the X-axis direction with respect to the fifth reference pattern P5a. And misaligned by + y5 in the Y-axis direction. Accordingly, the
또한, 컨트롤러(282)는 상술한 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지 및 기준 패턴(RP)의 이미지를 도 2a 및 도 2b에 도시된 모니터링 장치(284)로 전송하여 모니터링 장치(284) 상에 디스플레이할 수 있다. 그 결과, 사용자는 초기 인쇄 패턴(PP) 및 기준 패턴(RP) 간의 미스얼라인 상태, 및 컨트롤러(282)에 의해 계산된 오차량을 시각적으로 확인할 수 있다.In addition, the
그 후, 컨트롤러(282)는 계산된 오차량으로부터 인쇄롤(220)의 보정값을 자동으로 계산한다. 이 경우, 후속 인쇄 패턴에 대한 제 1 내지 제 5 인쇄 패턴(P1b,P2b,P3b,P4b,P5b)에 대한 갠트리(230)의 (X축,Y축) 보정값은 각각 (0,0), (0,-y2), (0,+y2), (0,+y4), 및 (-x5,-y4-y5)이다. 이러한 보정값이 인쇄롤(220)에 의해 후속 기판(210) 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴의 얼라인 데이터값이다.Thereafter, the
상술한 오차량 및 보정값의 계산은 각각 예를 들어 컨트롤러(282) 내에 미리 저장된 계산 프로그램에 의해 자동으로 이루어질 수 있다.The calculation of the error amount and the correction value described above may be performed automatically by, for example, a calculation program previously stored in the
그 후, 컨트롤러(282)는 후속 기판(210) 상에 후속 인쇄 패턴을 인쇄할 때, 상술한 보정값을 갠트리 이동 장치(270)의 제 1 및 제 2 구동 부재(M1,M2)로 전송하여 도 2c에 도시된 바와 같이 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 보정값만큼 이동시킨다.Thereafter, when the
도 2e는 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 장치에 의해 기판 상에 인쇄된 후속 인쇄 패턴(PP)과 기준 패턴(RP)을 도시한 도면이다.FIG. 2E is a view showing a subsequent print pattern PP and a reference pattern RP printed on a substrate by a pattern printing apparatus according to an embodiment of the present invention.
도 2e를 참조하면, 도 2a 내지 도 2d를 참조하여 상술한 바와 같이, 컨트롤러(282)에 의해 자동 계산된 보정값(후속 인쇄 패턴(PP)의 얼라인 데이터 값)을 이용하여 갠트리(230)를 X축 및 Y축 방향으로 이동시켜 인쇄롤(220)의 얼라인을 제어함으로써, 후속 기판(210) 상에 후속 인쇄 패턴(PP)이 기준 패턴(RP)과 일치된 상태로 인쇄될 수 있다.Referring to FIG. 2E, as described above with reference to FIGS. 2A through 2D, the
또한, 도 2e에서 알 수 있는 바와 같이, 후속 인쇄 패턴(PP) 이미지와 기준 패턴(RP) 이미지를 모니터링 장치(284) 상에 디스플레이하여, 사용자는 후속 인쇄 패턴(PP)의 전체 피치(TP)의 일치 여부 및 패턴 정밀도(PA)를 용이하게 확인할 수 있다.Also, as can be seen in FIG. 2E, the subsequent print pattern PP image and the reference pattern RP image are displayed on the
상술한 본 발명의 실시예에서는, 인쇄롤(220)의 외부를 감싸는 블랭킷이 탄성을 가지므로 기판(210)과 접촉하여 인쇄롤(220) 상의 패턴을 기판(210) 상에 전사하여 인쇄 패턴을 인쇄하면서 X축 및/또는 Y축 방향으로 원하는 정확한 보정값만큼 정밀하게 이동시키는 것이 가능하다. 그 이유는, 인쇄 패턴의 얼라인 데이터값으로 상술한 X축 및 Y축 방향의 보정값이 각각 대략 ±10㎛ 범위 내의 매우 작은 값을 갖기 때문이다.In the above-described embodiment of the present invention, since the blanket surrounding the outside of the
또한, 본 발명에서는 갠트리(230)를 이용하여 인쇄롤(220)의 X축 및 Y축 방향의 이동에 따른 얼라인 동작이 이루어지므로, 기판(210)이 스테이지(240) 상에 고정 장착되는 글래스 기판은 물론 공급롤과 회수롤(미도시)에 의해 공급되는 유연 기재인 경우에도 인쇄롤(220)의 정밀한 얼라인 동작이 가능하다.In addition, in the present invention, since the alignment operation is performed according to the movement of the
도 3a는 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법을 도시한 플로우차트이다.3A is a flowchart illustrating a pattern alignment method of a printing roll according to an embodiment of the present invention.
도 3a를 도 2a 내지 도 2e와 함께 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 패턴 얼라인 방법(300)은 a) 인쇄롤(220)을 이용하여 기판(210) 상에 초기 인쇄 패턴(PP)을 인쇄하는 단계(310); b) 갠트리(230)에 장착된 측정 카메라(280)를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴(PP)을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(320); c) 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴(RP)의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계(330); 및 d) 상기 보정값만큼 상기 갠트리(230)를 이동시켜 후속 기판(210) 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤(220)의 얼라인을 제어하는 단계(340)를 포함한다.Referring to FIG. 3A together with FIGS. 2A to 2E, the
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 패턴 얼라인 방법(300)의 상기 c) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지 및 상기 기준 패턴(RP)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In the step c) of the
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 인쇄롤(210)의 패턴 얼라인 방법(300)의 상기 d) 단계에서 상기 갠트리(230)의 이동은 상기 갠트리(230)의 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치(270)에 의해 수행된다.In addition, in the step d) of the
도 3b는 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법을 도시한 플로우차트이다.3B is a flowchart showing a pattern printing method according to an embodiment of the present invention.
도 3b를 도 2a 내지 도 2e와 함께 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)은 a) 스테이지(240) 상에 기판(210)을 제공하는 단계(310); b) 인쇄롤(220)을 이용하여 상기 기판(210) 상에 초기 인쇄 패턴(PP)을 인쇄하는 단계(320); c) 갠트리(230)에 장착된 측정 카메라(280)를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴(PP)을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지를 컨트롤러(282)로 전송하는 단계(330); d) 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴(RP)의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계(340); e) 상기 스테이지(240) 상에 후속 기판(210)을 제공하는 단계(350); 및 f) 상기 보정값만큼 상기 갠트리(230)를 이동시켜 상기 후속 기판(210) 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤(220)의 얼라인을 제어하면서 상기 후속 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계(360)를 포함한다.Referring to FIG. 3B in conjunction with FIGS. 2A-2E, a
상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)의 상기 d) 단계에서 상기 컨트롤러(282)는 상기 초기 인쇄 패턴(PP)의 이미지 및 상기 기준 패턴(RP)의 이미지를 모니터링 장치(284)로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함할 수 있다.In step d) of the
또한, 상술한 본 발명의 일 실시예에 따른 패턴 인쇄 방법(301)의 상기 f) 단계에서 상기 갠트리(230)의 이동은 상기 갠트리(230)의 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치(270)에 의해 수행된다.In addition, the movement of the
상술한 바와 같이, 본 발명에서는 갠트리를 이동하여 후속 인쇄 패턴에 대한 인쇄롤의 얼라인이 이루어지므로 기판의 종류에 무관하게 특정 위치의 미스얼라인된 패턴에 대해 신속하고 간편하게 얼라인 보정이 이루어지고, 복수의 패턴 간의 전체 피치(TP)의 일치 여부 및 패턴 정밀도(PA)의 확인 작업이 용이하게 이루어지며, 얼라인에 소요되는 시간 및 그에 따른 전체 공정 시간(tact time)이 크게 감소된다는 장점이 달성된다. As described above, in the present invention, since the aligning of the printing roll is performed for the subsequent printing pattern by moving the gantry, alignment correction is quickly and easily performed on the misaligned pattern at a specific position regardless of the type of substrate. In addition, it is easy to check whether the overall pitch (TP) between the plurality of patterns match and the pattern precision (PA), and the time required for alignment and the corresponding process time (tact time) are greatly reduced. Is achieved.
다양한 변형예가 본 발명의 범위를 벗어남이 없이 본 명세서에 기술되고 예시된 구성 및 방법으로 만들어질 수 있으므로, 상기 상세한 설명에 포함되거나 첨부 도면에 도시된 모든 사항은 예시적인 것으로 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다. 따라서, 본 발명의 범위는 상술한 예시적인 실시예에 의해 제한되지 않으며, 이하의 청구범위 및 그 균등물에 따라서만 정해져야 한다.Various modifications may be made by those skilled in the art without departing from the spirit and scope of the invention as defined by the following claims. It is not. Accordingly, the scope of the present invention should not be limited by the above-described exemplary embodiments, but should be determined only in accordance with the following claims and their equivalents.
101,201: 패턴 인쇄 장치 110,210: 기판
120,220: 인쇄롤 122,222: 회전축
130,230: 갠트리 140,240: 스테이지
150,250: 스테이지 얼라인 장치 160,260: 메인 프레임
200: 패턴 얼라인 장치 232,LMGx,LMGy: LM 가이드
270,270L,270R: 갠트리 이동 장치 270a,270b: 이동 장치
272,276: 플레이트 274,278: 이동 가이드 280: 측정 카메라
282: 컨트롤러 284: 모니터링 장치
B: 베이스 부재 M1,M2,M3,M4: 구동부재
Rx,Ry: 레일101,201: pattern printing apparatus 110,210: substrate
120,220: printing roll 122,222: rotating shaft
130,230: Gantry 140,240: Stage
150,250: Stage alignment device 160,260: Main frame
200:
270,270L, 270R:
272,276 plate 274,278
282: controller 284: monitoring device
B: base member M1, M2, M3, M4: drive member
Rx, Ry: Rail
Claims (14)
갠트리에 장착되며, 상기 인쇄롤에 의해 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴을 측정하기 위한 측정 카메라;
상기 측정 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 기준 패턴의 이미지에 기초하여 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대한 상기 인쇄롤의 보정값을 계산하는 컨트롤러; 및
상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 상기 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치
를 포함하되,
상기 후속 인쇄 패턴은 상기 초기 인쇄 패턴 및 상기 기준 패턴 간의 미스얼라인된 인쇄 패턴에 대해서만 상기 갠트리를 상기 보정값만큼 이동하여 얻어지는
인쇄롤의 패턴 얼라인 장치.In the pattern alignment apparatus of a printing roll,
A measurement camera mounted on the gantry for measuring an initial printing pattern printed on the substrate by the printing roll;
A correction value of the printing roll for a subsequent printing pattern to be printed on a subsequent substrate based on an image of the initial printing pattern and an image of a reference pattern which is connected to the measuring camera in a wired or wireless manner. A controller for calculating; And
A gantry moving device mounted on the lower part of the gantry and moving the gantry using the correction value transmitted from the controller to control the alignment of the printing roll when the subsequent printing pattern is printed on the subsequent substrate.
Including,
The subsequent print pattern is obtained by moving the gantry by the correction value only for the misaligned print pattern between the initial print pattern and the reference pattern.
Pattern alignment device for printing rolls.
상기 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지 및 상기 기준 패턴의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 인쇄롤의 패턴 얼라인 장치.The method of claim 1,
The pattern aligning apparatus of the printing roll is connected to the controller, the pattern aligning apparatus of the printing roll further comprises a monitoring device for displaying the image of the initial printing pattern and the image of the reference pattern.
상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
베이스 부재;
상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
를 포함하는
인쇄롤의 패턴 얼라인 장치.The method of claim 1,
The gantry moving device is composed of a first and a second gantry moving device,
The first and second gantry moving devices are respectively
A base member;
An X-axis moving device provided on the base member to move the gantry in the X-axis direction for X-axis alignment of the printing roll; And
Y-axis moving device for moving the gantry in the Y-axis direction to align the Y-axis direction of the printing roll
Containing
Pattern alignment device for printing rolls.
상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
인쇄롤의 패턴 얼라인 장치.4. The method according to any one of claims 1 to 3,
The measuring camera is implemented as a line camera or an area camera,
The controller is implemented by any one of a personal computer (PC), a microprocessor, and a programmable logic control device (PLC).
Pattern alignment device for printing rolls.
기판을 지지하는 스테이지;
상기 기판 상에 패턴을 인쇄하기 위한 인쇄롤;
상기 스테이지의 하부에 장착되며, 상기 기판과 상기 인쇄롤을 얼라인하기 위한 스테이지 얼라인 장치;
상기 인쇄롤이 승강 가능하게 장착되는 갠트리;
상기 갠트리에 장착되며, 상기 기판 상에 인쇄된 초기 인쇄 패턴의 이미지를 측정하기 위한 측정 카메라;
상기 측정 카메라와 유선 또는 무선 방식으로 연결되며, 상기 측정 카메라로부터 전송받은 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 기준 패턴의 이미지에 기초하여 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대한 상기 인쇄롤의 보정값을 계산하는 컨트롤러;
상기 갠트리의 하부에 장착되며, 상기 컨트롤러로부터 전송되는 상기 보정값을 이용하여 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 상기 후속 인쇄 패턴의 인쇄 시에 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 갠트리 이동 장치; 및
상기 갠트리 이동 장치의 하부에 장착되며, 상기 기판 상에서 상기 갠트리를 직선 이동시키는 한 쌍의 LM 가이드
를 포함하되,
상기 후속 인쇄 패턴은 상기 초기 인쇄 패턴 및 상기 기준 패턴 간의 미스얼라인된 인쇄 패턴에 대해서만 상기 갠트리를 상기 보정값만큼 이동하여 얻어지는
패턴 인쇄 장치.In the pattern printing apparatus,
A stage for supporting the substrate;
A printing roll for printing a pattern on the substrate;
A stage alignment apparatus mounted on a lower portion of the stage, for aligning the substrate and the printing roll;
A gantry on which the printing roll is liftably mounted;
A measurement camera mounted on the gantry for measuring an image of an initial printing pattern printed on the substrate;
A correction value of the printing roll for a subsequent printing pattern to be printed on a subsequent substrate based on an image of the initial printing pattern and an image of a reference pattern which is connected to the measuring camera in a wired or wireless manner. A controller for calculating;
A gantry moving device mounted on a lower portion of the gantry and moving the gantry using the correction value transmitted from the controller to control alignment of the printing roll when the subsequent printing pattern is printed on the subsequent substrate; And
A pair of LM guides mounted on the lower portion of the gantry moving device for linearly moving the gantry on the substrate.
Including,
The subsequent print pattern is obtained by moving the gantry by the correction value only for the misaligned print pattern between the initial print pattern and the reference pattern.
Pattern printing device.
상기 패턴 인쇄 장치는 상기 컨트롤러와 연결되며, 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지 및 상기 기준 패턴의 이미지를 디스플레이하는 모니터링 장치를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 장치.6. The method of claim 5,
The pattern printing apparatus is connected to the controller, the pattern printing apparatus further comprises a monitoring device for displaying an image of the initial printing pattern and the image of the reference pattern.
상기 갠트리 이동 장치는 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치로 구성되고,
상기 제 1 및 제 2 갠트리 이동 장치는 각각
베이스 부재;
상기 베이스 부재 상에 제공되며, 상기 인쇄롤의 X축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 X축 방향으로 이동시키는 X축 이동 장치; 및
상기 인쇄롤의 Y축 방향 얼라인을 위해 상기 갠트리를 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 이동 장치
를 포함하는
패턴 인쇄 장치.6. The method of claim 5,
The gantry moving device is composed of a first and a second gantry moving device,
The first and second gantry moving devices are respectively
A base member;
An X-axis moving device provided on the base member to move the gantry in the X-axis direction for X-axis alignment of the printing roll; And
Y-axis moving device for moving the gantry in the Y-axis direction to align the Y-axis direction of the printing roll
Containing
Pattern printing device.
상기 측정 카메라는 라인 카메라 또는 에어리어 카메라로 구현되고,
상기 컨트롤러는 개인용 컴퓨터(PC), 마이크로프로세서, 및 프로그램가능 논리 제어 장치(PLC) 중 어느 하나로 구현되는
패턴 인쇄 장치.8. The method according to any one of claims 5 to 7,
The measuring camera is implemented as a line camera or an area camera,
The controller is implemented by any one of a personal computer (PC), a microprocessor, and a programmable logic control device (PLC).
Pattern printing device.
a) 인쇄롤을 이용하여 기판 상에 초기 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계;
b) 갠트리에 장착된 측정 카메라를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
c) 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계; 및
d) 상기 보정값만큼 상기 갠트리를 이동시켜 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하는 단계
를 포함하고,
상기 후속 인쇄 패턴은 상기 초기 인쇄 패턴 및 상기 기준 패턴 간의 미스얼라인된 인쇄 패턴에 대해서만 상기 갠트리를 상기 보정값만큼 이동하여 얻어지는
인쇄롤의 패턴 얼라인 방법. In the pattern alignment method of the printing roll,
a) printing an initial printing pattern on a substrate using a printing roll;
b) measuring the initial print pattern using a measurement camera mounted on a gantry and transmitting an image of the measured initial print pattern to a controller;
c) calculating an error amount and a correction value by comparing an image of the initial print pattern with an image of a pre-stored reference pattern; And
d) controlling the alignment of the printing roll with respect to a subsequent print pattern to be printed on a subsequent substrate by moving the gantry by the correction value
Lt; / RTI >
The subsequent print pattern is obtained by moving the gantry by the correction value only for the misaligned print pattern between the initial print pattern and the reference pattern.
Pattern alignment method of printing roll.
상기 c) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지 및 상기 기준 패턴의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법. The method of claim 9,
And c) transmitting the image of the initial print pattern and the image of the reference pattern to a monitoring device.
상기 d) 단계에서 상기 갠트리의 이동은 상기 갠트리의 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치에 의해 수행되는 인쇄롤의 패턴 얼라인 방법. 11. The method according to claim 9 or 10,
The pattern alignment method of the printing roll is performed by the gantry moving device provided in the lower portion of the gantry in the step d).
a) 스테이지 상에 기판을 제공하는 단계;
b) 인쇄롤을 이용하여 상기 기판 상에 초기 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계;
c) 갠트리에 장착된 측정 카메라를 이용하여 상기 초기 인쇄 패턴을 측정하고, 측정된 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지를 컨트롤러로 전송하는 단계;
d) 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지와 미리 저장된 기준 패턴의 이미지를 비교하여 오차량 및 보정값을 계산하는 단계;
e) 상기 스테이지 상에 후속 기판을 제공하는 단계; 및
f) 상기 보정값만큼 상기 갠트리를 이동시켜 상기 후속 기판 상에 인쇄될 후속 인쇄 패턴에 대해 상기 인쇄롤의 얼라인을 제어하면서 상기 후속 인쇄 패턴을 인쇄하는 단계
를 포함하고,
상기 후속 인쇄 패턴은 상기 초기 인쇄 패턴 및 상기 기준 패턴 간의 미스얼라인된 인쇄 패턴에 대해서만 상기 갠트리를 상기 보정값만큼 이동하여 얻어지는
패턴 인쇄 방법. In the pattern printing method,
a) providing a substrate on a stage;
b) printing an initial printing pattern on the substrate using a printing roll;
c) measuring the initial print pattern using a measurement camera mounted on a gantry, and transmitting an image of the measured initial print pattern to a controller;
d) calculating an error amount and a correction value by comparing an image of the initial print pattern with an image of a pre-stored reference pattern;
e) providing a subsequent substrate on said stage; And
f) printing the subsequent print pattern by moving the gantry by the correction value while controlling the alignment of the print roll with respect to the subsequent print pattern to be printed on the subsequent substrate
Lt; / RTI >
The subsequent print pattern is obtained by moving the gantry by the correction value only for the misaligned print pattern between the initial print pattern and the reference pattern.
Pattern printing method.
상기 d) 단계에서 상기 컨트롤러는 상기 초기 인쇄 패턴의 이미지 및 상기 기준 패턴의 이미지를 모니터링 장치로 전송하여 디스플레이하는 단계를 추가로 포함하는 패턴 인쇄 방법.13. The method of claim 12,
And in step d), the controller further comprises transmitting and displaying the image of the initial printing pattern and the image of the reference pattern to a monitoring device.
상기 f) 단계에서 상기 갠트리의 이동은 상기 갠트리의 하부에 제공되는 갠트리 이동 장치에 의해 수행되는 패턴 인쇄 방법. The method according to claim 12 or 13,
The moving of the gantry in the step f) is a pattern printing method performed by the gantry moving device provided in the lower portion of the gantry.
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