KR20070078774A - 시트 반송용 트레이 - Google Patents

Abstract

본 발명은 박판 상의 물품을 1장씩 적재해서 복수 적층한 상태로 보관하는 것이 가능한 시트 반송용 트레이(tray)로서, 적층했을 경우에도 트레이 사이에 송풍이 도달하여 먼지가 머물기 어려운 시트 반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 한다.

이를 위해, 시트 반송용 트레이(1)의 외부 프레임(2)의 상면에 적층되는 트레이를 지지하는 지지부를 간격을 두어 복수 설치했다. 또한, 외부 프레임(2)을 그 상단이 외측을 향하도록 경사지게 했다.

시트 반송용 트레이

Description

시트 반송용 트레이{TRAY FOR TRANSPORTING SHEET}

도 1은 실시예의 시트 반송용 트레이(1)의 개요를 설명하는 사시도이다.

도 2는 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재의 사시도이다.

도 3은 실시예의 외부 프레임(2)을 구성하는 부재 단부의 사시도이다.

도 4는 실시예의 수지 블록(8)의 사시도이다.

도 5는 실시예의 수지 블록(8)이 고정된 긴 변 부재(2a)의 단면도이다.

도 6은 실시예의 긴 변 부재(2a)에 고정된 수지 블록(8)의 측면도이다.

도 7은 실시예의 접합 금구(10)의 사시도이다.

도 8은 실시예의 바(bar)(4)의 일단부의 확대도이다.

도 9는 실시예의 접합 부재(6)의 사시도이다.

도 10은 실시예의 시트 반송용 트레이(1)를 상하 방향으로 복수장 중첩시킨 상태를 모식적으로 도시하는 사시도이다.

도 11은 실시예의 시트 반송용 트레이(1)를 상하 방향으로 복수장 중첩시킨 집적체의 외부 프레임 부분을 단면도적으로 도시하여, 외부 프레임의 간극을 크린 에어가 통과하는 모습을 설명하는 도면이다.

[부호의 설명]

1: 시트 반송용 트레이 2: 외부 프레임

2a: 긴 변 부재 2b: 짧은 변 부재

4: 바 6: 접합 부재

8: 수지 블록 10: 접합 금구

11: 외측 평탄부 12: 내측 평탄부

13: 경사부 14: 플랜지

15a, 15b: 블록 설치 구멍 16, 18: 접합 구멍

17: 바 설치 구멍 19: 공간

20: 본체부 20a: 수지 블록의 흡인 구멍

21: 볼록부 22:오목부

23: 맞물림부 24, 27: 외부 프레임 설치 구멍

25: 설치부 26: 팽출부

28: 적재 핀 29: 위치 결정 핀

30: 유리 기판

본 발명은 박판 상의 물품을 1장씩 적재해서 반송하는 트레이에 관한 것이다. 특히, 먼지의 부착을 방지하기 위한 송풍을 적층된 트레이 사이에 대해서도 할 수 있는 시트 반송용 트레이에 관한 것이다.

예를 들면, 박형 표시 장치의 제조 공정 등에 있어서, 유리 기판으로 대표되 는 박판 상의 물품을 반송하는 기술이 필요해지고 있다. 박판 상의 물품은 비틀어짐이나 구부러짐 등의 변형이 발생하기 쉽고, 반송 중에 변형이 원인으로 주위에 접촉해서 표면에 손상이 가거나, 파손되어버릴 우려가 있다. 이 때문에, 반송에는 박판 상의 물품을 변형시키지 않고 적재할 수 있는 전용의 용기가 이용된다.

박판 상의 물품을 1장씩 개별 용기에 적재해서 반송함으로써 반송 중의 물품의 변형을 방지할 수 있다. 그러나, 이러한 반송 형태에서는 반송 도중에 일시 보관을 행할 경우에 보관 공간을 넓게 차지해버린다는 문제가 있었다. 또한, 다른 장소로 정리해서 이송하고 싶을 경우에도 번거로워진다는 문제가 있었다.

따라서, 박판 상의 물품을 개별적으로 적재 가능하고, 또한 일시 보관이나 다른 장소로의 이송시에는 용기끼리 적층할 수 있는 트레이가 고안되었다.

이러한 트레이는 적층된 상태에서 반송ㆍ대기시키는 것 등이 많지만, 이 적층된 트레이에 대해서는 송풍에 의한 먼지 대책도 강구되어 있다. 즉, 필터 등으로 먼지가 제거된 크린 에어의 송풍을 트레이에 대해서 항시 행하도록 하여 먼지 대책이 이루어져 있다. 예를 들면, 박판 상의 물품을 적재한 트레이가 복수 적층된 상태에서 보관되는 자동 창고에 있어서는, 적층된 트레이가 수납되는 랙(rack)의 배면측으로부터 스택커 크레인의 통로측을 향해 크린 에어를 송풍함으로써 스택커 크레인으로부터 발생하는 먼지가 물품에 부착되는 것을 방지하도록 하고 있다. 이에 따라, 트레이를 크린 에어에 의해 세정할 수 있는 것이다.

단, 트레이가 적층되어 있을 경우, 상하에 끼워진 트레이에는 송풍이 도달하지 않게 되어 크린 에어의 송풍에 의한 먼지 제거가 행해지기 어렵게 되어버린다.

본원 발명은 상기 종래 기술의 문제점을 감안하여 이루어진 것으로서, 박판 상의 물품을 1장씩 적재해서 복수장 적층한 상태로 보관하는 것이 가능한 시트 반송용 트레이이며, 적층된 경우에도 트레이 사이에 송풍이 도달하여 먼지가 머물러 있기 어려운 시트 반송용 트레이를 제공하는 것을 과제로 하고 있다.

청구항 1의 발명은, 복수 적층된 상태로 보관되는 시트 반송용 트레이로서, 외부 프레임의 상면에 적층되는 트레이를 지지하는 지지부를 간격을 두어 복수 설치한 것을 특징으로 한다.

청구항 2의 발명은, 청구항 1기재의 시트 반송용 트레이로서, 외부 프레임을 그 상단이 외측을 향하도록 경사지게 한 것을 특징으로 한다.

청구항 3의 발명은, 청구항 1기재의 시트 반송용 트레이로서, 지지부를 외부 프레임의 다른 부분에 비해 먼지의 발생이 적은 별도의 부재로 구성한 것을 특징으로 한다.

이하에서 발명을 실시하기 위한 최선의 형태를 열거한다. (형태 1) 시트 반송용 트레이는 4개의 판 형상 부재를 거의 직사각형으로 접합함으로써 구성된 외부 프레임 사이에 복수의 바를 가설해 걸침으로써 박판 상 물품의 적재부가 형성되어 있다. (형태 2) 거의 직사각형의 외부 프레임은 외측 평탄부와 외측 평탄부 보다도 낮은 위치에 형성된 내측 평탄부를 구비하고 있고, 외측 평탄부와 내측 평탄부 사이에 경사부가 형성되어 있다. 복수개의 수지 블록이 외측 평탄부의 적어도 4개소 에 설치되어 있다. (형태 3) 수지 블록에는 크린 대책 재료로서 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 뛰어나기 때문에 먼지가 발생하기 어려운 수지인 UPE[초 고분자량(고밀도) 폴리에틸렌], 또는 PEEK(폴리에테르에테르케톤) 등이 사용된다. (형태 4) 수지 블록의 상면은 외부 프레임의 외측 평탄부의 상면 보다도 높은 위치에 있고, 수지 블록의 하면은 외측 평탄부의 하면 보다도 낮은 위치에 있다. 상하 방향으로 시트 반송용 트레이를 다단으로 적층한 상태에서는 각각의 수지 블록의 상면과 하면이 접해 있어, 수지 블록이 시트 반송용 트레이의 중량을 지지한다. (형태 5) 수지 블록의 상면에는 볼록부가 형성되어 있고, 수지 블록의 하면에는 오목부가 형성되어 있다. 하면의 오목부는 상면의 볼록부에 대응한 형상을 가지고 있다. 상하 방향으로 중첩된 시트 반송용 트레이의 수지 블록의 볼록부와 오목부를 맞물리게 함으로써 시트 반송용 트레이의 위치 결정 고정이 이루어진다. (형태 6) 수지 블록은 적층된 트레이의 상하 간격이 송풍로로 이루어질 수 있는 적절한 간격을 형성할 수 있을 만큼의 상하 폭을 가진다. (형태 7) 외부 프레임은 (형태 2)에서 설명한 경사부가 그 상단이 외측을 향하도록 해서 60°경사지게 한 것이며, 이에 따라 경사부끼리의 간극은 송풍로로 이루어질 수 있도록 형성된다.

이하, 본 발명을 적용한 시트 반송용 트레이(이하, 트레이라고도 함)의 실시예를 도면을 참조하면서 상세히 설명한다. 도 1은 본 발명에 의한 시트 반송용 트레이의 일 실시예의 구성을 도시하는 사시도이다.

본 실시예에 있어서의 시트 반송용 트레이(1)는 외부 프레임(2)과, 외부 프레임(2)의 대향하는 변의 사이에 걸쳐진 복수의 바(4)와, 외부 프레임용 부재의 접 합부 근방에서 이웃하는 부재간에 경사지게 걸쳐지는 접합 부재(6)를 구비하고 있다.

외부 프레임(2)은 2개의 긴 변 부재(2a)와 2개의 짧은 변 부재(2b)로 구성된다. 본 실시예에 있어서의 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)에는 일정한 판 두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금 가공에 의해 동일한 단면 형상이 되도록 가공되어 있다.

도 2와 도 3에서, 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)를 도시한다. 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)는 외측 평탄부(11)와, 외측 평탄부(11) 보다도 낮은 위치에 형성되는 내측 평탄부(12)를 구비하고 있고, 외측 평탄부(11)와 내측 평탄부(12) 사이에 경사부(13)가 형성되어 있다. 경사부(13)는 외부 프레임(2)이 형성되었을 때에 외측을 향해 확대되는 형상으로 되어 있고, 내측 평탄부(12)와 경사부(13)가 이루는 각도가 90°보다 크게 되어 있다.

이 경사부(13)의 높이는 1장의 유리 기판 등의 박판 상의 물품을 안전하게 수용하기 위해 필요한 수용 높이를 초과한 높이 68mm로 되어 있다. 그 높이는 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)가 직사각형의 외부 프레임(2)으로서 조합되었을 경우에 외부 프레임(2)에 요구되는 평면도를 유지하기 위해 필요한 강도를 유지할 수 있는 길이로 설정되어 있고, 외부 프레임(2)의 형상이 대형화되었을 경우에는 외부 프레임(2)을 강화하기 위해 경사부(13)의 높이는 더욱 높아진다.

긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)를 접합시킴으로써 본 실시예의 외부 프레임(2)이 형성된다. 본 실시예의 외부 프레임(2)은 그 단면 형상이, 상기한 바와 같이, 플랜지(14), 이것보다 조금 높은 외측 평탄부(11), 이것에 연속해서 하강하는 경사부(13), 이 경사부(13)의 하방으로 연속하는 내측 평탄부(12)로 형성된다. 형성된 외부 프레임(2) 단일체의 높이는 경사부(13)의 높이로 결정되지만, 복수장의 시트 반송용 트레이(1)를 적층할 경우에는 이 경사부(13)를 이용해서 보다 작은 피치로 적층하는 것이 가능해지므로, 적층 높이를 그다지 높아지지 않도록 할 수 있다.

본 실시예에 있어서의 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)에는 외측 평탄부(11)에 지지부로서의 수지 블록(8)을 설치하기 위한 블록 설치 구멍(15a, 15b)이 1부재에 각각 2개소씩 형성되어 있다. 또한, 각각의 부재의 외측 평탄부(11)의 단부에는 부재끼리를 접합하기 위한 접합 구멍(16)이 3개씩 형성되어 있다. 내측 평탄부(12)에는 바(4)를 접합하기 위한 바 설치 구멍(17)이 형성되어 있다.

도 4에서 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)에 설치되기 전의 수지 블록(8)의 사시도를 도시한다. 수지 블록(8)은 거의 직육면체의 본체부(20)의 상면에 볼록부(21)가 형성되어 있고, 수지 블록의 하면에는 오목부(22)가 형성되어 있다. 또한, 본체부(20)의 높이는 1장의 유리 기판을 안전하게 수용하기 위한 수용 높이와 동등하도록 형성되어 있다.

본 실시예에 있어서의 수지 블록(8)의 볼록부(21)는 원추대 형상으로 형성되어 있다. 하면의 오목부(22)는 상면의 볼록부(21)에 대응한 형상을 가지고 있다. 본체부(20)의 우측면과 좌측면에는 트레이(1)를 들어올리는 파지 장치에 맞물리는 맞물림부(23)가 연장되어 있다. 맞물림부(23)에는 긴 변 부재(2a) 또는 짧은 변 부 재(2b)에 수지 블록(8)을 고정하기 위한 외부 프레임 설치 구멍(24)이 관통되어 있다.

수지 블록(8)은 상하로 적층되는 시트 반송용 트레이(1)의 접촉부로 되기 때문에, 크린 대책 재료로 형성되는 것이 바람직하다. 따라서, 외부 프레임(2)의 다른 부분에 비해 먼지의 발생이 적은 별도의 부재로 구성된 것이며, 즉, 본 실시예에 있어서의 수지 블록(8)은 내마모성이 높고, 기계적인 강도가 뛰어난 PEEK로 형성되어 있다. 수지 블록(8)은 블록끼리가 접촉하더라도 마모되지 않고 먼지의 발생이 극히 적기 때문에 반송되는 유리 기판을 오염시키지 않는다.

수지 블록(8)은 외부 프레임(2)에 리벳 또는 나사에 의해 고정되어 있다. 도 5와 도 6은 수지 블록(8)이 긴 변 부재(2a)에 리벳 또는 나사에 의해 고정된 상태를 모식적으로 도시하는 도면이다. 도 5는 긴 변 부재(2a)의 길이 방향의 단면도를 도시하고 있고, 도 6은 긴 변 부재(2a)의 측면도를 도시하고 있다. 수지 블록(8)은 맞물림부(23)의 상면이 긴 변 부재(2a)의 외측 평탄부의 하면에 맞닿아 블록 설치 구멍(15a)으로부터 본체부(20)의 상부와 볼록부(21)가 돌출된 상태로 고정되어 있다.

외부 프레임(2)에 고정된 수지 블록(8)은 본체부(20)의 상면이 긴 변 부재(2a)의 외측 평탄부(11) 보다도 높게 되어 있다. 또한, 본체부(20)의 하면은 외측 평탄부(11)에 형성된 플랜지(14)의 하면 보다도 낮게 되어 있다.

또한, 지지부로서의 수지 블록(8)은 그 높이 폭이 상하의 트레이의 내측 평탄부(12, 12)끼리의 간극을 규정하는 것이 되고, 여기에서는 약 30mm의 간극으로 되어 있다. 또한, 외부 프레임은 60°로 경사진 경사부(13)가 68mm의 높이에 형성되어 있다. 이러한 조건으로 형성되면 트레이(1)를 중첩했을 때에는 상하의 경사부(13)끼리는 14mm의 간격이 되지만 이 간격이라면 송풍구로부터 불어 온 크린 에어가 충분히 통과할 수 있다. 이와 같이, 지지부로서의 수지 블록(8)은 트레이(1)의 상하간에 송풍로로 이루어질 수 있는 간극을 형성하도록 지지하는 것이다.

상하의 트레이(1, 1)의 접촉부가 되는 수지 블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 각각 형성한 후 고정하는 구성을 취함으로써 본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)는 접촉부(8)를 용이하게 가공해서 형성할 수 있다. 또한, 외부 프레임(2)의 소재에 크린 대책 재료 이외의 것을 적용하는 것이 가능해져서, 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 확대할 수 있다.

외부 프레임(2)의 구성에 대해서 더 설명한다. 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)는 도 7에 도시한 L자형의 접합 금구(10)를 이용해서 접합되어 있다. 본 실시예에 있어서의 접합 금구(10)에는 L자형의 각각의 변에 3개씩 합계 6개의 접합 구멍(18)이 형성되어 있다. 접합 구멍(18)끼리의 상대 위치는 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)의 접합 구멍(16)의 구멍끼리의 상대 위치 관계와 동일해지도록 배치되어 있다.

접합 금구(10)의 한쪽 변은 긴 변 부재(2a)의 단부에 중첩된다. 긴 변 부재(2a)의 접합 구멍(16)과 접합 금구(10)의 접합 구멍(18)의 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 결합되어, 긴 변 부재(2a)와 접합 금구(10)가 리벳 접합된다. 접합 금구(10)의 다른쪽 변은 짧은 변 부재(2b)의 단부에 중첩된다. 짧은 변 부재(2b)의 접합 구멍(16)과 접합 금구(10)의 접합 구멍(18)의 양쪽을 관통하도록 블라인드 리벳이 결합되어, 짧은 변 부재(2b)와 접합 금구(10)가 블라인드 리벳 접합된다. 2개의 긴 변 부재(2a)와 2개의 짧은 변 부재(2b)가 4개의 접합 금구(10)를 이용해서 블라인드 리벳 접합되어, 거의 직사각형의 외부 프레임(2)이 형성된다.

본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)는 외부 프레임(2)의 대향하는 짧은 변 부재(2b) 사이에 복수의 바(4)가 걸쳐져서 유리 기판의 적재부가 형성되어 있다. 바(4)에는 일정한 판 두께의 SUS304가 사용되고 있고, 판금 가공에 의해 소정의 단면 형상을 취하도록 가공되어 있다.

바(4)의 일단부의 확대도를 도 8에서 도시한다. 바(4)는 양측에 외부 프레임(2)으로의 평탄한 설치부(25)가 형성되어 있고, 평탄부 사이에 상방으로 돌출하는 팽출부(26)가 형성되어 있다. 설치부(25)의 단부에는 외부 프레임(2)에 접합하기 위한 외부 프레임 설치 구멍(27)이 형성되어 있다. 팽출부(26)에는 유리 기판을 지지하기 위한 복수의 적재 핀(28)이 고정되어 있다.

적재 핀(28)은 내마모성이 높은 PEEK로 형성되어 있어 유리 기판을 반복해서 탑재하더라도 마모에 의한 먼지의 발생이 극히 적고, 유리 기판을 오염시키지 않는다.

바(4)의 외부 프레임 설치 구멍(27)과 외부 프레임(2)의 바 설치 구멍(17)을 관통하도록 리벳이 결합되어 외부 프레임(2)과 바(4)가 리벳 접합되어 있다. 바(4)가 팽출부(26)를 구비하고 있기 때문에, 바(4)는 외부 프레임(2)에 대해 양단에 개구부를 가진 상태로 접합되어 있다. 이것 때문에, 외부 프레임(2)과 바(4)의 접합 부에 먼지가 축적되기 어렵고, 또한 시트 반송용 트레이(1)를 세정할 때에 바(4) 부분의 세정과 건조를 용이하게 행할 수 있다.

또한, 바(4)는 팽출부(26)가 형성되어 있기 때문에 평판 부재를 이용했을 경우 보다도 빔 강도가 향상되어 있다. 이것 때문에, 바(4)에는 더욱 판 두께가 얇은 소재를 이용하는 것이 가능해져서 바(4)의 경량화가 도모되어 진다.

접합 부재(6)는 시트 반송용 트레이(1)에 탑재되는 유리 기판의 위치 결정과 외부 프레임(2)의 코너부의 보강을 위해 외부 프레임(2)의 코너부 근방의 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b) 사이에 경사지게 걸쳐져 있다. 접합 부재(6)의 사시도를 도 9에서 도시한다. 접합 부재(6)는 바(4)와 마찬가지로 팽출부(26)가 형성되어 있고, 팽출부 상에 유리 기판을 지지하기 위한 적재 핀(28)과, 유리 기판의 코너부를 맞대어서 적재 위치의 위치 결정을 행하기 위한 2개의 위치 결정 핀(29)이 고정되어 있다.

접합 부재(6)의 위치 결정 핀(29)은 유리 기판의 코너 위치를 결정하기 위해 설치되어 있고, 실제 유리 기판의 치수에 대해 편측에서 2mm로부터 3mm의 클리어런스를 확보할 수 있도록 배치되어 있다. 위치 결정 핀(29)은 내마모성이 높은 PEEK로 형성되어 있고, 유리 기판이 위치 결정 때문에 반복해서 접촉하더라도 마모에 의한 먼지의 발생이 극히 적어, 유리 기판을 오염시키지 않는다.

도 10에서 시트 반송용 트레이(1)를 상하 방향으로 복수장 중첩시킨 상태를 모식적으로 도시한다. 시트 반송용 트레이(1)는 외부 프레임(2)의 경사부(13)를 이용함으로써 1장의 유리 기판을 안전하게 수용하기 위해 필요한 수용 높이를 상하의 피치로서 적층되어 있어, 작은 공간에서 많은 트레이를 보관하는 것이 가능하게 되어 있다.

시트 반송용 트레이(1)는 모든 수지 블록(8)의 볼록부(21)와 오목부(22)를 맞물리게 해서 적층되어 있다. 볼록부(21)가 원추대 형상이기 때문에 상측에 적층되는 시트 반송용 트레이(1)가 다소 어긋나서 강하되었을 경우라도 볼록부(21)와 오목부(22)의 정확한 맞물림이 가능하다.

이와 같이, 시트 반송용 트레이(1)는 볼록부(21)와 오목부(22)를 맞물리게 함으로써 위치 결정되어 정확하게 적층된다. 적층된 상태에서는 다소의 충격이 가해졌을 경우라도 적층된 시트 반송용 트레이(1)가 어긋나거나 떨어질 우려가 없어, 안정하게 적층된다.

본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)가 상하 방향으로 적층되어 있을 때, 상하의 시트 반송용 트레이(1) 사이에서는 수지 블록(8)만이 접촉되어 있고, 외부 프레임(2)과 바(4)는 다른 시트 반송용 트레이(1)와 전혀 접촉되지 않는다. 수지 블록(8)은 PEEK로 형성되어 있기 때문에, 접촉에 의해서도 먼지의 발생이 극히 적다. 또한, 외부 프레임(2)과 바(4)는 다른 시트 반송용 트레이(1)와 접촉하지 않기 때문에 먼지를 발생시키지 않는다. 이와 같이, 본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)는 적층하더라도 먼지의 발생이 극히 적어, 유리 기판을 오염시키지 않는다.

이어서, 본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)에 유리 기판을 적재하고, 이러한 트레이를 적층된 트레이의 집적체에 대해 깨끗한 공기가 송풍되었을 경우에 대해서 언급한다.

통상, 트레이가 수납되는 랙의 배면측으로부터 스택커 크레인 통로측을 향해 크린 에어가 송풍되도록 되어 있고, 트레이에는 거의 수평 방향을 따라 크린 에어가 송풍된다.

도 11은 이 집적체(100)의 단면이며, 외부 프레임(2)에 가설해 걸친 바가 송풍과 동(同) 방향(도면 중의 좌우 방향)으로 가설되어 있는 경우를 도시하고 있다. 또한, 도면은 바와 바 사이의 단면을 도시하고 있으며, 따라서 바에 적재된 유리 기판(30)이 상하로 간격을 늘리도록 해서 배치된 모양으로 되어 있다. 또한, 적층된 트레이(1)의 집적체(100)의 외주는 외부 프레임(2)이 겹쳐진 부분이 된다. 그리고, 이 외부 프레임(2)이 겹쳐진 부분은 상하의 플랜지(14, 14)가 약 30mm의 간극을 두고, 또한 경사부(13, 13)끼리가 14mm의 간극(W)으로 되어 있다. 이 때문에, 송풍은 이들 간극을 통해 집적체(100)의 반대측으로 빠질 수 있는 것이다. 즉, 벽면측의 외부 프레임의 간극으로부터 유입된 송풍은 트레이 내, 즉 유리 기판 상에 먼지가 침입하는 것을 방지하는 것이다.

이 때, 유리 기판(30)은 간극을 두고 상하로 겹쳐지므로 상단의 유리 기판이 정류판과 같은 역할을 수행하고, 유리 기판 상의 크린 에어의 진입을 촉진하도록 작용한다. 단, 제일 상부의 트레이는 이러한 정류판의 효과를 얻을 수 없으므로, 그 위에 트레이와 동 형상의 덮개 부재를 배치해도 좋다. 또는, 빈 트레이를 최상위에 두어 외부 프레임에 의한 정류 효과를 얻도록 해도 좋다.

또한, 외부 프레임(2)의 경사부(13)에는 외부 프레임(2)의 강도 등이 허용되는 범위이면 이것에 통풍을 위한 구멍을 내어도 좋다. 이러한 구멍을 냄으로써 외 부 프레임(2)으로부터 집적체의 내부로의 송풍이 더욱 용이해져 크린 에어가 유리 기판에 보다 충분히 도달되도록 되기 때문이다.

또한, 경사부의 각도는 60°로 한정되는 것은 아니고, 경사부의 높이, 지지부에 의한 트레이끼리의 상하 간격 등에 의해 50°∼ 70°, 그 외 크린 에어를 통과시키는 것이 가능한 간극을 형성할 수 있는 것이라면 어떤 모양으로 실현되어도 좋다.

또한, 수지 블록(8)은 PEEK로 형성되어 있고, 즉 외부 프레임의 다른 부분에 비해 먼지의 발생이 적은 별도의 부재로 구성되어 있으므로 트레이를 쌓아 올리거나 내리는 등의 시에 지지부끼리의 접촉에 의해 발생하기 쉬운 먼지도 발생이 억제되어, 이 점에서도 유리 기판을 오염시키지 않는다.

또한, 상하의 시트 반송용 트레이(1)의 접촉부가 되는 수지 블록(8)과 외부 프레임(2)을 다른 소재로 각각 형성한 후 고정하는 구성을 취함으로써 본 실시예의 시트 반송용 트레이(1)는 접촉부(8)를 용이하게 가공하여 형성할 수 있다. 또한, 외부 프레임(2)의 소재에 크린 대책 재료 이외의 것을 적용하는 것이 가능해져서 외부 프레임(2)의 소재를 선택하는 자유도를 확장할 수 있다.

이상, 실시예에 있어서 본 발명의 구체예를 상세히 설명했지만, 이것들은 예시에 지나지 않고, 특허 청구 범위를 한정하는 것이 아니다. 특허 청구 범위에 기재된 기술에는 이상에 예시한 구체예를 다양하게 변형, 변경한 것이 포함된다. 예를 들면, 실시예에 있어서의 외부 프레임(2)의 긴 변 부재(2a)와 짧은 변 부재(2b)의 접합 방법이나 접합 개소, 외부 프레임(2)과 바(4)의 접합 방법이나 접합 개소, 각 부재의 단면 형상 등은 탑재되는 박판 상의 물품의 크기나 중량에 맞춰 적당히 변경이 가능하다. 또한, 수지 블록(8)의 형상이나 배치도 작용 효과를 손상시키지 않는 범위에 있어서 변경이 가능하다.

본원 청구항 1기재의 발명의 시트 반송용 트레이에 의하면, 상하로 적층하더라도 트레이의 상하간에 지지부의 높이 폭에 대응한 간극을 형성할 수 있어 이 간극이 송풍로가 될 수 있으므로, 크린 에어의 송풍이 각 트레이에 도달할 수 있게 되고, 따라서 트레이 및 이것에 적재되는 유리 기판 등의 물품으로의 먼지의 부착을 방지할 수 있다.

또한, 본원 청구항 2기재의 발명의 시트 반송용 트레이에 의하면, 트레이의 외부 프레임이 그 상단을 외측을 향하도록 경사시켰으므로, 상하의 외부 프레임 사이에도 간극을 확보할 수 있다. 즉, 상하의 트레이에 간극이 형성되어 있어도 그 외부 프레임이 수직에 가까운 상태로 일어서 있다면, 상하의 트레이의 간극은 수직에 가까워질수록 좁혀져서 크린 에어가 통과하기 어려워진다. 이 점에 관해, 본 청구항에 있어서는 외부 프레임을 외측으로 경사지게 한 것이며, 이것에 의해 간극이 얻어지고, 따라서 송풍을 통과시킬 수 있다.

또한, 본원 청구항 3기재의 발명의 시트 반송용 트레이에 의하면, 트레이의 지지부로부터의 먼지의 발생 자체를 억제할 수 있다.

Claims (3)

1. 복수 적층된 상태로 보관되는 시트 반송용 트레이로서; 외부 프레임의 상면에 적층되는 트레이를 지지하는 지지부를 간격을 두어 복수 설치한 것을 특징으로 하는 시트 반송용 트레이.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 외부 프레임을 그 상단이 외측을 향하도록 경사지게 한 것을 특징으로 하는 시트 반송용 트레이.
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 지지부를 상기 외부 프레임의 다른 부분에 비해 먼지의 발생이 적은 별도의 부재로 구성한 것을 특징으로 하는 시트 반송용 트레이.

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