KR20060132189A - 부재들간 전달되는 회전력 측정 기구 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 설비에서 자력에 의해 회전력을 전달하는 부재들의 이동거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 기구를 제공한다. 본 발명의 측정 기구는 기저판 상에 설치되며 서로 마주보는 제 1지지대와 제 2지지대를 가진다. 제 1지지대에는 제 1자력부재가 고정설치되고, 제 2지지대에는 제 2자력부재가 구동모터에 의해 회전가능하게 설치된다. 거리 조절부재에 의해 제 2지지대와 제 2지지대간 거리가 조절된다. 제 1자력부재와 제 2자력부재 내에서는 서로 상이한 극성끼리 마주보도록 자석들이 설치되며, 토크 측정부재는 제 2자력부재의 회전력을 측정한다. 제 1지지대와 제 2지지대간 거리에 따라 제 2자력부재의 토크가 측정되며, 작업자는 원하는 회전력을 전달하기 위해 요구되는 지지대들간 거리를 산출할 수 있다.
토크, 자석, 측정, 거리
Description
도 1은 일반적으로 사용되고 있는 평판 표시 패널 제조 장치의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도;
도 2와 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 측정 기구의 일 예를 보여주는 정면도와 평면도;
도 4는 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도; 그리고
도 5는 도 2의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 액정 표시 패널 제조 설비 12 : 약액 처리실
14 : 동력 제공실 16 : 벽
126, 146 : 제 1, 2회전판 126a, 146a : 자석
20 : 측정 기구 220 : 기저판
240, 260 : 제 1, 2 지지대 280 : 분리판
420, 440 : 제 1, 2 자력부재 424, 444 : 자석
500 : 거리 조절부재 600 : 구동 모터
700 : 거리 표시부재 800 : 토크 측정부재
본 발명은 측정 기구에 관한 것으로, 더 상세하게는 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 장치 사용시 자력부재들간의 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
반도체 웨이퍼나 액정 표시 패널을 제조하는 설비에서 설비 내에 파티클의 발생을 줄이는 것은 매우 중요하다. 종래에는 모터의 회전력을 특정 부재로 전달하기 위해 기어와 같이 기계적 접촉에 의한 동력 전달 메커니즘이 주로 사용되었다. 그러나 기계적 접촉 방식은 동력 전달 과정에서 기어의 마모 등으로 인해 많은 파티클을 유발한다. 따라서 최근에는 직접적으로 접촉하지 않고도 회전력을 전달하기 위한 수단으로 자력이 주로 사용되고 있다.
일 예에 의하면, 액정 표시 패널을 제조할 때, 기판은 샤프트들에 의해 지지된 상태에서 샤프트들의 회전에 의해 직선 이동된다. 처리부 내에서 기판이 샤프트들 상에 정지되거나 이동되는 동안 기판 상으로 식각액이나 현상액 등과 같은 약액이 제공된다. 각각의 샤프트들에는 자석들이 내장된 제 1회전판이 결합되고, 벽에 의해 처리부와 구획된 공간에는 모터에 의해 회전되며 자석들이 내장된 제 2회전판이 배치된다.
제 1회전판과 제 2회전판 내에는 자석들이 배치되어 제 2회전판의 회전력은 제 1회전판으로 전달된다. 이 때 제 1회전판과 제 2회전판이 인접하게 배치될수록 제 2회전판의 회전력은 제 1회전판으로 잘 전달된다. 그러나 이 경우 강한 자력으로 인해 자석들을 내장하고 있는 하우징의 피복이 벗겨져, 약액이 하우징 내로 침투하게 되며, 이로 인해 하우징 내 자석들이 손상된다. 이와 달리, 제 1회전판과 제 2회전판간 거리가 너무 멀면 제 1회전판의 회전력이 제 2회전판으로 충분히 전달되지 않는다.
본 발명은 자석들간의 거리에 따라 이들간에 전달되는 회전력의 크기를 측정할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
또한, 본 발명은 액정 표시 패널 제조시, 원하는 크기의 회전력을 전달하고 이와 동시에 자석을 감싸는 하우징이 손상되는 것을 최소화할 수 있도록 설비에 제공된 자석들간에 최적의 거리를 제공할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 자력을 이용하여 회전력을 전달할 때, 부재들간의 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 기구를 제공한다. 본 발명의 일 특징에 의하면, 측정 기구는 제 1지지대에 고정설치된 제 1자력부재와 상기 제 1자력부재와 대향되도록 배치되며 제 2지지대에 회전가능하도록 설치된 제 2자력부재를 가진다. 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 변화시키기 위해 상기 제 1자력부재 또는 상기 제 2자력부재를 이동시키는 거리 조절부재가 제공된다. 상기 제 2자력부재는 구동모터에 의해 회전가능하며, 상기 제 2자력부재의 토크는 토크 측정부재에 의해 측정된다. 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 사이에는 분리판이 제공될 수 있다.
본 발명의 일 예에 의하면, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은 하우징과 상기 하우징 내에 배치되는 복수의 자석들을 포함하며, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 가지도록 설치된다.
본 발명의 다른 예에 의하면, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은 하우징과 상기 하우징 내에 배치되며 링을 이루도록 배열된 판 형상의 자석들을 포함하며, 상기 제 1자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고 상기 제 2자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 상기 하우징은 원판 형상으로 형성될 수 있다.
일 예에 의하면, 상기 거리 조절 부재는 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되는 이동 로드와 상기 이동 로드를 회전시키는 조절기를 가진다. 또한, 상기 거리 조절 부재는 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 특징에 의하면, 기판 제조 설비는 벽에 의해 서로 구획된 약액 처리실과 동력 전달실을 가진다. 약액 처리실 내에는 기판을 지지 및 이동시키는 샤프트에 연결되고 내부에 자석이 설치된 제 1회전판이 배치되고, 동력 전달실 에는 모터의 회전력을 자력에 의해 상기 제 1회전판으로 전달하고 내부에 자석이 설치된 제 2회전판이 배치된다. 본 발명의 측정 기구는 상기 제 1회전판과 상기 제 2회전판간 거리에 따라 상기 제 2회전판으로부터 상기 제 1회전판으로 전달되는 회전력을 측정하기 위해 사용된다.
상기 측정 기구는 기저판, 상기 기저판 상에 설치되는 제 1지지대, 상기 제 1지지대와 대향되도록 배치되며 상기 기저판 상에 위치되는 제 2지지대, 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리 조절이 가능하도록 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대 중 적어도 어느 하나를 직선 이동시키는 거리 조절 부재, 상기 제 1회전판에 대응되며 상기 제 1지지대에 고정 설치되는 제 1자력부재, 상기 제 2회전판에 대응되며 상기 제 2지지대에 회전 가능하게 설치되며 상기 제 2자력부재와 대향되도록 배치되는 제 2자력부재, 상기 벽에 대응되며 상기 기저판 상에 설치되고 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재를 분리시키도록 이들 사이에 배치되는 분리판, 상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터, 그리고 상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함한다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5를 참조하면서 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.
또한, 본 실시예에서는 액정 표시 패널 제조 설비에서 기판을 이동시키기 위해 설치된 자력부재들간 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 장치를 예를 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 측정 기구는 상술한 설비 외에 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 모든 장치에서 자력부재들간의 적합한 거리를 산출하기 위해 사용가능하다.
도 1은 일반적으로 사용되고 있는 액정 표시 패널 제조 설비(10)의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 액정 표시 패널 제조 설비(10)는 처리실(12)과 동력 제공실(14)을 가진다. 처리실(12)에는 약액을 이용하여 기판(S)을 처리하는 공정이 수행되고, 동력 제공실(14)에는 처리실(12) 내로 제공된 기판(S)을 이동시키기 위해 필요한 동력을 제공하는 구동 메카니즘이 제공된다. 처리실(12)과 동력 제공실(14)은 벽(16)에 의해 서로 구획되어 처리실(12) 내 약액이 동력 제공실(14)로 유입되는 것을 방지된다.
처리실(12) 내에는 복수의 샤프트들(122)이 설치된다. 각각의 샤프트들(122)에는 롤러들(124)이 설치된다. 롤러(124)에는 샤프트(122)가 삽입되는 홀이 형성되며, 롤러(124)는 샤프트(122)와 함께 회전된다. 샤프트들(122)은 기판(S)을 지지하고 기판(S)을 직선이동시킨다. 샤프트들(122)은 서로 평행하게 배치되며, 각각의 샤프트(122)는 기판(S)이 이동되는 방향과 수직하게 배열된다. 기판(S)은 액정 표시 패널 제조에 사용되는 유리 기판(S)일 수 있다.
샤프트들(122)은 자력을 매개로 하여 구동 메카니즘으로부터 회전력을 전달 받는다. 구체적으로, 구동 메카니즘은 모터(142), 풀리들(144), 그리고 벨트들(148)을 가진다. 풀리들(144) 중 하나는 모터(142)에 의해 회전되며, 인접하는 풀리들(144)은 벨트(148)를 통해 회전력을 전달받는다. 각각의 샤프트(122)의 일측에는 하나의 풀리(144)가 배치된다. 각각의 샤프트(122)에는 제 1회전판(126)이 고정 결합되고, 풀리(144)에는 회전축(145)을 매개로 하여 제 2회전판(146)이 고정 결합된다. 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 서로 대향되도록 배치된다. 제 1회전판(126)은 처리실(12) 내에 배치되고, 제 2회전판(146)은 동력 제공실(14) 내에 배치된다. 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 상술한 벽(16)에 의해 완전히 분리되며, 이들간의 회전력 전달은 비접촉 방식인 자력에 의해 이루어진다.
제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 각각 자석들(126a, 146a)과 하우징(126c, 146c)을 가진다. 하우징(126c, 146c)은 원판 형상을 가지며, 그 중앙을 기준으로 회전된다. 내부에는 자석들(126a, 146a)이 설치되는 공간이 제공된다. 하우징(126c, 146c)은 폴리 염화 비닐(PVC)를 재질로 하여 제조되고, 자석(126a, 146a)은 약 6개가 제공될 수 있다. 각각의 자석(126a, 146a)은 원판 형상을 가지며, 하우징(126c, 146c)의 중앙을 중심으로 링을 이루도록 배열된다. 인접하는 자석들(126a, 146a)은 하우징(126c, 146c)의 외측면에서 바라볼 때 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 또한, 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)에서 서로 마주보는 자석들은 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 상술한 구조로 인하여 모터(142)s에 의해 제 2회전판(146)이 회전되면 자석들(126a, 146a)간의 인력에 의해 제 1회전판(126)이 회전되고, 이로 인해 모터의 회전력은 샤프트들(122)로 전달된다. 자석 (126a, 146a)의 일측에는 자석들(126a, 146a)간 전달되는 자력을 강하게 하기 위해 스테인리스 스틸을 재질로 한 보강판(126b, 146b)이 배치될 수 있다.
동력 제공실(14) 내에서 모터(142)로부터 제 2회전판(146)까지 동력의 전달은 기계적 접촉에 의해 이루어지므로, 동력 제공실(14) 내에서는 파티클(particle)이 발생될 수 있다. 그러나 처리실(12)과 동력 제공실(14)은 벽에 의해 분리되어 있으므로, 동력 제공실(14)에서 발생되는 파티클이 처리실(12) 내로 유입되는 것이 방지된다.
제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)이 가깝게 배치될 수록 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 전달되는 회전력은 커지나, 장시간 사용시 큰 자력으로 인해 자석(126a, 146a)을 감싸고 있는 하우징(126c, 146c)의 피복이 벗겨진다. 이로 인해 처리실(12) 내에 사용되고 있는 약액이 하우징(126c) 내로 유입되고, 자석(126a)이 파손된다. 이와 반대로 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)이 멀리 배치될 수록 자석(126a, 146a)이 파손되는 것을 최소화할 수 있으나, 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 회전력이 충분히 전달되지 않는 문제가 발생된다. 따라서 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 원하는 정도의 회전력을 전달하면서 자력에 의해 하우징(126c)이 파손되는 것을 최소화할 수 있도록, 제 1회전판(126) 내 자석(126a)과 제 2회전판(146) 내 자석(146a)간 거리를 산정하는 것이 중요하다.
본 발명은 상술한 자석들(126a, 146a)간의 적절한 거리를 산출하기 위해, 자석들(126a, 146a)간 거리에 따라 전달되는 회전력의 크기를 측정할 수 있는 측정기 구(20)를 제공한다. 도 2와 도 3은 각각 본 발명의 측정기구(20)의 바람직한 일 예를 보여주는 정면도와 평면도이다.
도 2와 도 3을 참조하면, 측정기구(20)는 제 1지지대(240), 제 2지지대(260), 거리 조절 부재(500), 제 1 자력부재(420), 제 2자력부재(440), 분리판(280), 구동모터, 그리고 토크 측정 부재를 가진다.
정확한 측정을 위해 측정기구(20)에서 자력에 의해 회전력을 전달하는 구조는 설비(10)에서 자력에 의해 회전력을 전달하는 구조와 동일한 것이 바람직하다. 여기서 동일한 구조란 구성요소들간 배치, 구조, 형상, 그리고 재질 등이 동일하다는 것을 의미하며, 구성요소들의 크기나 구성요소들간 거리는 일정 비율로 가감될 수 있다. 그러나 측정 정밀도 등을 감안하여 측정기구(20)는 설비(10)와 다소 상이한 구조로 제공될 수 있다.
본 발명의 측정기구(20)에서 제 1자력부재(420)는 상술한 제 1회전판(도 1의 126)에 대응되고, 제 2자력부재(440)는 상술한 제 2회전판(도 1의 146)에 대응되며, 분리판(280)은 상술한 벽(도 1의 16)에 대응된다. 도 4는 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도이고, 도 5는 도 2의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다. 도 4와 도 5를 참조하면, 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440) 각각은 원판 형상의 하우징(426, 446)과 그 내부에 배치되며 하우징(426, 446)의 중앙을 중심으로 링 형상으로 배열된 자석들(424, 464)을 가진다. 외측에서 바라볼 때 각각의 자력부재(420, 440)들에서 인접하는 자석들(424, 464)은 서로 상이한 극성들을 가지도록 배치된다. 또한, 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440)에서 서로 마주보도록 위치 되는 자석들(424, 464)은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 또한, 하우징(426, 446) 내에는 고정축(422) 또는 회전축(442)을 향하는 방향으로 자석(424, 464)의 일측에 스테인리스 스틸을 재질로 한 보강판(428, 448)이 제공될 수 있다. 보강판은 자력부재들간 전달되는 자력을 더욱 강하게 한다.
제 1지지대(240)는 제 1자력부재(420)를 지지하고, 제 2지지대(260)는 제 2자력부재(440)를 지지한다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)는 직사각의 판 형상을 가지는 기저판(220) 상에 설치된다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)는 직사각의 판 형상으로 동일하게 형성되고, 서로간에 마주보도록 배치된다. 제 1지지대(240) 내에는 제 1자력부재(420)에 고정 결합된 고정축(422)이 삽입되는 홀이 형성되고, 고정축(422)은 제 1지지대(240)에 고정결합된다. 즉, 제 1자력부재(420)는 제 1지지대(240)에 고정되어 회전되지 않는다. 제 2지지대(260) 내에는 제 2자력부재(440)에 고정결합된 회전축(442)이 삽입되는 홀이 형성되고, 회전축(442)은 구동모터(600)에 의해 회전가능하도록 제 2지지대(260)에 결합된다. 상술한 바와 같이 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440)는 서로간에 마주보도록 배치되고, 기저판(220) 상에는 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440) 사이에 위치되는 분리판(280)이 고정된다.
거리 조절 부재(500)는 제 1자력부재(420)에 제공된 자석(424)과 제 2자력부재(440)에 제공된 자석(444)들간의 거리를 조절한다. 일 예에 의하면, 거리 조절 부재(500)는 이동 로드(540)와 그 끝단에 결합된 조절기(520)를 가진다. 이동 로드(540)는 조절기(520)와 인접하게 위치되며 나사산이 형성되지 않은 전단부(542)와 전단부(542)로부터 조절기(520)에서 멀어지는 방향으로 연장되며 외주면에 나사산이 형성된 후단부(544)를 가진다. 이동 로드(540)의 전단부(542)는 제 1지지대(240)에 형성된 홀을 관통하도록 제 1지지대(240)에 삽입되고, 후단부(544)는 제 2지지대(260)에 형성된 나사홀을 관통하도록 제 2지지대(260)에 삽입된다. 작업자가 조절기(520)를 회전시킬 때, 기저판(220)에 고정설치된 제 1지지대(240)는 움직이지 않으나, 제 2지지대(260)는 제 1지지대(240)로부터 멀어지거나 가까워지는 방향으로 직선이동된다. 제 2지지대(260)의 직선이동을 안내하기 위해 기저판(220) 상에는 안내 레일(도시되지 않음)이 설치될 수 있다.
상술한 예에서 제 1지지대(240)는 고정되고 제 2지지대(260)만이 직선이동되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이와 달리 제 1지지대(240)가 직선이동되고 제 2지지대(260)가 고정되거나, 제 1지지대(240) 및 제 2지지대(260)가 서로를 향해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 직선이동될 수 있다.
또한, 기저판(220) 상에는 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간의 거리가 조절된 상태에서 제 1자력부재(420)에 제공된 자석(424)과 제 2자력부재(440)에 제공된 자석(444)들간의 거리를 보여주는 거리 표시부재(700)가 제공된다. 거리 표시부재(700)는 얇은 판으로 기저판(220) 상에 부착되며 그 상부에 자석들(424, 444)간의 거리를 나타내는 눈금(720)이 제공된다.
본 실시예에서는 거리 표시부재(700)가 자석들(424, 444)간의 거리를 직접 보여주는 것을 예로 들어 설명하였다. 그러나 이와 달리 거리 표시부재(700)는 자석들(424, 444)간의 거리를 산출할 수 있는 다른 구성물들간의 거리를 나타낼 수 있다. 예컨대 거리 표시부재(700)는 하우징들(426, 446)간의 거리 또는 지지대들(420, 440)간의 거리를 나타낼 수 있다. 또한, 거리 표시부재(700)는 눈금(720) 대신 자석들(424, 444)간의 거리를 디지털로 수치화하여 보여줄 수 있다. 또한, 상술한 예에서는 거리 표시부재(700)가 기저판(220)과는 별도로 제공되어 기저판(220) 상에 부착되는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 이와 달리 거리 표시부재(700)는 기저판(220) 상에 직접 눈금(720)으로 제공될 수 있다.
상술한 구조로 인해, 구동 모터(600)로부터 제 2자력부재(440)로 동력이 전달되면, 제 2자력부재(440)는 회전된다. 그러나 서로 대향되는 제 1자력부재(420)의 자석(424)과 제 2자력부재(440)의 자석(444)들간의 인력에 의해 제 2자력부재(440)의 회전이 제한된다. 토크 측정부재(800)는 회전축(442)에 결합가능하며, 회전축(442)(즉, 제 2자력부재(440))의 토크를 측정한다. 회전축(442)의 토크를 측정하기 위한 기구는 당업계에 널리 알려져 있으므로 구조에 대한 상세한 설명은 생략한다. 측정된 토크로부터 제 2자력부재(440)로부터 제 1자력부재(420)로 전달되는 회전력을 산출할 수 있다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간 거리에 따라 측정되는 토크의 크기는 상이하다.
처음에 제 1자력부재(420)로부터 제 2자력부재(440)로 전달을 요하는 회전력(또는 토크)의 범위를 설정한다. 작업자는 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간 거리를 변화하면서 각각의 거리에서 자력부재들(420, 440)간 전달되는 회전력(토크)를 측정한다. 이후, 작업자는 요구되는 회전력을 전달할 수 있는 거리 범위 내에서 어느 하나를 선택하여 이를 실제 설비(10)에 적용한다. 자력에 의해 하우징 (422)이 손상되는 것을 방지하기 위해 자력부재들(420, 440)간 거리는 긴 것이 바람직하다.
산출된 거리를 장비에 적용시 측정기구(20)에 제공된 구성물들의 크기, 형상, 및 거리 등을 고려하여, 실제 설비(10)에 적용시 선택된 거리를 실제 장비에 적용될 실제 거리로 환산할 수 있다. 실제 설비(10)에서 거리를 조절할 때에는 회전판들(126, 146)간 거리를 변화시키거나, 회전판(126, 146) 내에서 자석(126a, 146a)의 설치 위치를 변화시킬 수 있다.
본 발명에 의하면, 자력부재들간의 거리에 따라 이들간에 전달되는 회전력을 측정할 수 있으므로, 설비에서 요구되는 회전력을 전달함과 동시에 하우징이 자력에 의해 손상되는 것을 최소화할 수 있는 회전판들간의 거리를 최적으로 제공할 수 있다.
Claims (10)
- 자력을 사용하여 부재들간 회전력을 전달하는 구동 메카니즘이 제공된 설비에서 부재들간 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 측정 기구에 있어서,제 1지지대에 고정설치된 제 1자력부재와;상기 제 1자력부재와 대향되도록 배치되며, 제 2지지대에 회전가능하도록 설치된 제 2자력부재와;상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 변화시키는 거리 조절 부재와;상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터와;상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,하우징과;상기 하우징 내에 배치되는 복수의 자석들을 포함하되,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 가지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 1항에 있어서,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,하우징과;상기 하우징 내에 배치되며, 링을 이루도록 배열된 판 형상의 자석들을 포함하되,상기 제 1자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 2자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 2항 또는 제 3항에 있어서,상기 하우징은 원판 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 사이에는 분리판이 설치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,상기 거리 조절 부재는,상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되는 이동 로 드와;상기 이동 로드를 회전시키는 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 6항에 있어서,상기 거리 조절 부재는,상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 약액 처리실 내에 배치되며 기판을 지지 및 이동시키는 샤프트에 연결되고 내부에 자석이 설치된 제 1회전판과 상기 약액 처리실과 벽에 의해 구획되는 동력 전달실에 배치되며 모터의 회전력을 자력에 의해 상기 제 1회전판으로 전달하고 내부에 자석이 설치된 제 2회전판을 구비하는 기판 제조 설비에서, 상기 제 1회전판과 상기 제 2회전판간 거리에 따라 상기 제 2회전판으로부터 상기 제 1회전판으로 전달되는 회전력을 측정하기 위해 사용되는 측정 기구에 있어서,기저판과;상기 기저판 상에 설치되는 제 1지지대와;상기 제 1지지대와 대향되도록 배치되며, 상기 기저판 상에 설치되는 제 2지지대와;상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리 조절이 가능하도록 상기 제 1지 지대 또는 상기 제 2지지대 중 적어도 어느 하나를 직선 이동시키는 거리 조절 부재와;상기 제 1회전판에 대응되며, 상기 제 1지지대에 고정 설치되는 제 1자력부재와;상기 제 2회전판에 대응되며, 상기 제 2지지대에 회전 가능하게 설치되며 상기 제 2자력부재와 대향되도록 배치되는 제 2자력부재와;상기 벽에 대응되며, 상기 기저판 상에 설치되며 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재를 분리시키도록 이들 사이에 배치되는 분리판과;상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터와; 그리고상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 8항에 있어서,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,하우징과;상기 하우징 내에 배치되는 판 형상의 자석들을 포함하되,상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
- 제 8항 또는 제 9항에 있어서,상기 거리 조절 부재는,상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되며 외주면에 나사산이 형성된 이동 로드와;상기 이동 로드로부터 연장되며 상기 이동 로드를 회전시키기 위한 조절기와; 그리고상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR1020050052394A KR20060132189A (ko) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 부재들간 전달되는 회전력 측정 기구 |
Applications Claiming Priority (1)
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Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020080050688A Division KR20080064098A (ko) | 2008-05-30 | 2008-05-30 | 부재들간 전달되는 회전력 측정 기구 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| KR20060132189A true KR20060132189A (ko) | 2006-12-21 |
Family
ID=37811796
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| KR1020050052394A KR20060132189A (ko) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | 부재들간 전달되는 회전력 측정 기구 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| KR (1) | KR20060132189A (ko) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR20190040521A (ko) * | 2017-10-11 | 2019-04-19 | 주식회사 뷰웍스 | 맘모그래피 장치 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4836826A (en) * | 1987-12-18 | 1989-06-06 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The National Aeronautics And Space Administration | Magnetic drive coupling |
| JPH08141864A (ja) * | 1994-11-10 | 1996-06-04 | Fuji Photo Film Co Ltd | スピンドルへの回転駆動力伝達方法および装置 |
| US5880548A (en) * | 1993-05-21 | 1999-03-09 | Magna Force, Inc. | Adjustable magnetic coupler |
-
2005
- 2005-06-17 KR KR1020050052394A patent/KR20060132189A/ko active Search and Examination
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