KR20060132189A - Tool for mearsuing rotation force transferred between members - Google Patents

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KR20060132189A
KR20060132189A KR1020050052394A KR20050052394A KR20060132189A KR 20060132189 A KR20060132189 A KR 20060132189A KR 1020050052394 A KR1020050052394 A KR 1020050052394A KR 20050052394 A KR20050052394 A KR 20050052394A KR 20060132189 A KR20060132189 A KR 20060132189A
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이정환
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세메스 주식회사
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Abstract

A tool for measuring a rotational force transferred between members is provided to measure a rotational force transmitted between magnetic members on the basis of a distance between the magnetic members. A tool for measuring a rotational force transferred between members includes a first magnetic member(420), a second magnetic member(440), a distance adjustment member(500), a drive motor(600), and a torque measurement member(800). The first magnetic member is fixedly installed at a first support frame. The second magnetic member is disposed opposite to the first magnetic member and rotatably installed at the second support frame. The distance adjustment member changes a distance between the first magnetic member and the second magnetic member. The drive motor provides a rotational force to the second magnetic member. The torque measurement member measures a torque of the second magnetic member.

Description

부재들간 전달되는 회전력 측정 기구{TOOL FOR MEARSUING ROTATION FORCE TRANSFERRED BETWEEN MEMBERS}TOOL FOR MEARSUING ROTATION FORCE TRANSFERRED BETWEEN MEMBERS}

도 1은 일반적으로 사용되고 있는 평판 표시 패널 제조 장치의 일 예를 개략적으로 보여주는 평면도;1 is a plan view schematically showing an example of a flat panel display panel manufacturing apparatus generally used;

도 2와 도 3은 본 발명의 바람직한 일 실시예에 따른 측정 기구의 일 예를 보여주는 정면도와 평면도;2 and 3 are front and plan views showing an example of a measuring instrument according to a preferred embodiment of the present invention;

도 4는 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도; 그리고4 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 2; And

도 5는 도 2의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다.FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 2.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

10 : 액정 표시 패널 제조 설비 12 : 약액 처리실10 liquid crystal display panel manufacturing equipment 12 chemical processing chamber

14 : 동력 제공실 16 : 벽14 power supply room 16 wall

126, 146 : 제 1, 2회전판 126a, 146a : 자석126, 146: 1st, 2nd rotating plate 126a, 146a: magnet

20 : 측정 기구 220 : 기저판20: measuring instrument 220: base plate

240, 260 : 제 1, 2 지지대 280 : 분리판240, 260: First and second support 280: Separator

420, 440 : 제 1, 2 자력부재 424, 444 : 자석420, 440: first and second magnetic members 424, 444: magnet

500 : 거리 조절부재 600 : 구동 모터500: distance adjusting member 600: drive motor

700 : 거리 표시부재 800 : 토크 측정부재700: distance display member 800: torque measuring member

본 발명은 측정 기구에 관한 것으로, 더 상세하게는 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 장치 사용시 자력부재들간의 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention relates to a measuring mechanism, and more particularly, to provide a mechanism capable of measuring the rotational force transmitted in accordance with the distance between the magnetic members when using the device for transmitting the rotational force by using a magnetic force.

반도체 웨이퍼나 액정 표시 패널을 제조하는 설비에서 설비 내에 파티클의 발생을 줄이는 것은 매우 중요하다. 종래에는 모터의 회전력을 특정 부재로 전달하기 위해 기어와 같이 기계적 접촉에 의한 동력 전달 메커니즘이 주로 사용되었다. 그러나 기계적 접촉 방식은 동력 전달 과정에서 기어의 마모 등으로 인해 많은 파티클을 유발한다. 따라서 최근에는 직접적으로 접촉하지 않고도 회전력을 전달하기 위한 수단으로 자력이 주로 사용되고 있다.In equipment for manufacturing semiconductor wafers or liquid crystal display panels, it is very important to reduce the generation of particles in the equipment. Conventionally, a power transmission mechanism by mechanical contact, such as a gear, is mainly used to transmit the rotational force of a motor to a specific member. However, mechanical contact causes a lot of particles due to the wear of gears during power transmission. Therefore, recently, magnetic force is mainly used as a means for transmitting rotational force without direct contact.

일 예에 의하면, 액정 표시 패널을 제조할 때, 기판은 샤프트들에 의해 지지된 상태에서 샤프트들의 회전에 의해 직선 이동된다. 처리부 내에서 기판이 샤프트들 상에 정지되거나 이동되는 동안 기판 상으로 식각액이나 현상액 등과 같은 약액이 제공된다. 각각의 샤프트들에는 자석들이 내장된 제 1회전판이 결합되고, 벽에 의해 처리부와 구획된 공간에는 모터에 의해 회전되며 자석들이 내장된 제 2회전판이 배치된다. According to one example, when manufacturing the liquid crystal display panel, the substrate is linearly moved by the rotation of the shafts while being supported by the shafts. A chemical liquid such as an etchant or developer is provided on the substrate while the substrate is stopped or moved on the shafts within the processing portion. Each of the shafts is coupled with a first rotating plate in which magnets are embedded, and a second rotating plate in which magnets are embedded is rotated by a motor in a space partitioned from the processing unit by a wall.

제 1회전판과 제 2회전판 내에는 자석들이 배치되어 제 2회전판의 회전력은 제 1회전판으로 전달된다. 이 때 제 1회전판과 제 2회전판이 인접하게 배치될수록 제 2회전판의 회전력은 제 1회전판으로 잘 전달된다. 그러나 이 경우 강한 자력으로 인해 자석들을 내장하고 있는 하우징의 피복이 벗겨져, 약액이 하우징 내로 침투하게 되며, 이로 인해 하우징 내 자석들이 손상된다. 이와 달리, 제 1회전판과 제 2회전판간 거리가 너무 멀면 제 1회전판의 회전력이 제 2회전판으로 충분히 전달되지 않는다.Magnets are disposed in the first rotating plate and the second rotating plate so that the rotational force of the second rotating plate is transmitted to the first rotating plate. At this time, as the first rotating plate and the second rotating plate are disposed adjacent to each other, the rotational force of the second rotating plate is better transmitted to the first rotating plate. In this case, however, due to the strong magnetic force, the covering of the housing containing the magnets is peeled off, and the chemical liquid penetrates into the housing, thereby damaging the magnets in the housing. On the contrary, if the distance between the first rotating plate and the second rotating plate is too far, the rotational force of the first rotating plate is not sufficiently transmitted to the second rotating plate.

본 발명은 자석들간의 거리에 따라 이들간에 전달되는 회전력의 크기를 측정할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다.An object of the present invention is to provide a mechanism capable of measuring the magnitude of the rotational force transmitted between them according to the distance between the magnets.

또한, 본 발명은 액정 표시 패널 제조시, 원하는 크기의 회전력을 전달하고 이와 동시에 자석을 감싸는 하우징이 손상되는 것을 최소화할 수 있도록 설비에 제공된 자석들간에 최적의 거리를 제공할 수 있는 기구를 제공하는 것을 목적으로 한다. In addition, the present invention provides a mechanism that can provide the optimum distance between the magnets provided in the facility to transmit the rotational force of the desired size in the manufacturing of the liquid crystal display panel and at the same time to minimize the damage to the housing surrounding the magnet For the purpose of

상술한 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 자력을 이용하여 회전력을 전달할 때, 부재들간의 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 기구를 제공한다. 본 발명의 일 특징에 의하면, 측정 기구는 제 1지지대에 고정설치된 제 1자력부재와 상기 제 1자력부재와 대향되도록 배치되며 제 2지지대에 회전가능하도록 설치된 제 2자력부재를 가진다. 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 변화시키기 위해 상기 제 1자력부재 또는 상기 제 2자력부재를 이동시키는 거리 조절부재가 제공된다. 상기 제 2자력부재는 구동모터에 의해 회전가능하며, 상기 제 2자력부재의 토크는 토크 측정부재에 의해 측정된다. 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 사이에는 분리판이 제공될 수 있다. In order to achieve the above object, the present invention provides a mechanism for measuring the rotational force transmitted in accordance with the distance between the members, when transmitting the rotational force by using a magnetic force. According to one feature of the invention, the measuring mechanism has a first magnetic member fixed to the first support and a second magnetic member disposed to face the first magnetic member and rotatably installed on the second support. A distance adjusting member is provided for moving the first magnetic member or the second magnetic member to change the distance between the first magnetic member and the second magnetic member. The second magnetic member is rotatable by a drive motor, the torque of the second magnetic member is measured by a torque measuring member. A separation plate may be provided between the first magnetic member and the second magnetic member.

본 발명의 일 예에 의하면, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은 하우징과 상기 하우징 내에 배치되는 복수의 자석들을 포함하며, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 가지도록 설치된다. According to one embodiment of the invention, each of the first magnetic member and the second magnetic member includes a housing and a plurality of magnets disposed in the housing, the first magnetic member and the second magnetic member facing each other Magnets are installed so that opposite sides have different polarities.

본 발명의 다른 예에 의하면, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은 하우징과 상기 하우징 내에 배치되며 링을 이루도록 배열된 판 형상의 자석들을 포함하며, 상기 제 1자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고 상기 제 2자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 상기 하우징은 원판 형상으로 형성될 수 있다. According to another embodiment of the present invention, each of the first magnetic member and the second magnetic member includes a housing and plate-shaped magnets arranged in the housing and arranged to form a ring, wherein the magnets in the first magnetic member Different magnets are arranged to be adjacent to each other and the magnets in the second magnetic member are arranged to be different from each other, and the magnets opposed to each other in the first and second magnetic members have different polarities. Is placed. The housing may be formed in a disc shape.

일 예에 의하면, 상기 거리 조절 부재는 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되는 이동 로드와 상기 이동 로드를 회전시키는 조절기를 가진다. 또한, 상기 거리 조절 부재는 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 더 포함할 수 있다. According to one example, the distance adjusting member has a moving rod is inserted into the screw hole formed in the first support or the second support and the adjuster for rotating the moving rod. In addition, the distance adjusting member may further include a distance display member for displaying the distance between the first support and the second support.

본 발명의 다른 특징에 의하면, 기판 제조 설비는 벽에 의해 서로 구획된 약액 처리실과 동력 전달실을 가진다. 약액 처리실 내에는 기판을 지지 및 이동시키는 샤프트에 연결되고 내부에 자석이 설치된 제 1회전판이 배치되고, 동력 전달실 에는 모터의 회전력을 자력에 의해 상기 제 1회전판으로 전달하고 내부에 자석이 설치된 제 2회전판이 배치된다. 본 발명의 측정 기구는 상기 제 1회전판과 상기 제 2회전판간 거리에 따라 상기 제 2회전판으로부터 상기 제 1회전판으로 전달되는 회전력을 측정하기 위해 사용된다. According to another feature of the invention, the substrate manufacturing facility has a chemical processing chamber and a power transmission chamber partitioned from each other by a wall. In the chemical processing chamber, a first rotating plate connected to a shaft supporting and moving a substrate and having a magnet disposed therein is disposed, and a power transmitting chamber transfers rotational force of the motor to the first rotating plate by magnetic force and has a magnet installed therein. Two rotating plates are arranged. The measuring mechanism of the present invention is used to measure the rotational force transmitted from the second rotating plate to the first rotating plate according to the distance between the first rotating plate and the second rotating plate.

상기 측정 기구는 기저판, 상기 기저판 상에 설치되는 제 1지지대, 상기 제 1지지대와 대향되도록 배치되며 상기 기저판 상에 위치되는 제 2지지대, 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리 조절이 가능하도록 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대 중 적어도 어느 하나를 직선 이동시키는 거리 조절 부재, 상기 제 1회전판에 대응되며 상기 제 1지지대에 고정 설치되는 제 1자력부재, 상기 제 2회전판에 대응되며 상기 제 2지지대에 회전 가능하게 설치되며 상기 제 2자력부재와 대향되도록 배치되는 제 2자력부재, 상기 벽에 대응되며 상기 기저판 상에 설치되고 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재를 분리시키도록 이들 사이에 배치되는 분리판, 상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터, 그리고 상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함한다. The measuring mechanism is a base plate, the first support is installed on the base plate, the second support is disposed to face the first support and positioned on the base plate, so that the distance between the first support and the second support can be adjusted A distance adjusting member for linearly moving at least one of the first support and the second support, a first magnetic member corresponding to the first rotating plate and fixed to the first support, and corresponding to the second rotating plate; A second magnetic member rotatably installed on the second support and disposed to face the second magnetic member, the second magnetic member corresponding to the wall and installed on the base plate and separating the first magnetic member and the second magnetic member; Separation plate disposed between, the drive motor for providing a rotational force to the second magnetic member, and the torque side for measuring the torque of the second magnetic member And a member.

이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 5를 참조하면서 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석돼서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장된 것이다.Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 5. Embodiment of the present invention may be modified in various forms, the scope of the present invention should not be construed as being limited by the embodiments described below. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a clearer description.

또한, 본 실시예에서는 액정 표시 패널 제조 설비에서 기판을 이동시키기 위해 설치된 자력부재들간 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 장치를 예를 들어 설명한다. 그러나 본 발명의 측정 기구는 상술한 설비 외에 자력을 이용하여 회전력을 전달하는 모든 장치에서 자력부재들간의 적합한 거리를 산출하기 위해 사용가능하다.In addition, in the present embodiment, an apparatus for measuring the rotational force transmitted according to the distance between the magnetic force members provided to move the substrate in the liquid crystal display panel manufacturing facility will be described as an example. However, the measuring device of the present invention can be used to calculate a suitable distance between the magnetic members in all the apparatuses that transmit the rotational force by using the magnetic force in addition to the above-described equipment.

도 1은 일반적으로 사용되고 있는 액정 표시 패널 제조 설비(10)의 일 예를 보여주는 도면이다. 도 1을 참조하면, 액정 표시 패널 제조 설비(10)는 처리실(12)과 동력 제공실(14)을 가진다. 처리실(12)에는 약액을 이용하여 기판(S)을 처리하는 공정이 수행되고, 동력 제공실(14)에는 처리실(12) 내로 제공된 기판(S)을 이동시키기 위해 필요한 동력을 제공하는 구동 메카니즘이 제공된다. 처리실(12)과 동력 제공실(14)은 벽(16)에 의해 서로 구획되어 처리실(12) 내 약액이 동력 제공실(14)로 유입되는 것을 방지된다. 1 illustrates an example of a liquid crystal display panel manufacturing facility 10 that is generally used. Referring to FIG. 1, the liquid crystal display panel manufacturing facility 10 includes a processing chamber 12 and a power providing chamber 14. The process chamber 12 is subjected to a process of treating the substrate S using a chemical liquid, and the power supply chamber 14 has a drive mechanism for providing power required to move the substrate S provided into the process chamber 12. Is provided. The processing chamber 12 and the power providing chamber 14 are partitioned from each other by the wall 16 to prevent the chemical liquid in the processing chamber 12 from entering the power providing chamber 14.

처리실(12) 내에는 복수의 샤프트들(122)이 설치된다. 각각의 샤프트들(122)에는 롤러들(124)이 설치된다. 롤러(124)에는 샤프트(122)가 삽입되는 홀이 형성되며, 롤러(124)는 샤프트(122)와 함께 회전된다. 샤프트들(122)은 기판(S)을 지지하고 기판(S)을 직선이동시킨다. 샤프트들(122)은 서로 평행하게 배치되며, 각각의 샤프트(122)는 기판(S)이 이동되는 방향과 수직하게 배열된다. 기판(S)은 액정 표시 패널 제조에 사용되는 유리 기판(S)일 수 있다. A plurality of shafts 122 are installed in the processing chamber 12. Each shaft 122 is provided with rollers 124. The roller 124 is formed with a hole into which the shaft 122 is inserted, and the roller 124 is rotated together with the shaft 122. The shafts 122 support the substrate S and move the substrate S linearly. The shafts 122 are arranged parallel to each other, each shaft 122 is arranged perpendicular to the direction in which the substrate (S) is moved. The substrate S may be a glass substrate S used for manufacturing a liquid crystal display panel.

샤프트들(122)은 자력을 매개로 하여 구동 메카니즘으로부터 회전력을 전달 받는다. 구체적으로, 구동 메카니즘은 모터(142), 풀리들(144), 그리고 벨트들(148)을 가진다. 풀리들(144) 중 하나는 모터(142)에 의해 회전되며, 인접하는 풀리들(144)은 벨트(148)를 통해 회전력을 전달받는다. 각각의 샤프트(122)의 일측에는 하나의 풀리(144)가 배치된다. 각각의 샤프트(122)에는 제 1회전판(126)이 고정 결합되고, 풀리(144)에는 회전축(145)을 매개로 하여 제 2회전판(146)이 고정 결합된다. 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 서로 대향되도록 배치된다. 제 1회전판(126)은 처리실(12) 내에 배치되고, 제 2회전판(146)은 동력 제공실(14) 내에 배치된다. 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 상술한 벽(16)에 의해 완전히 분리되며, 이들간의 회전력 전달은 비접촉 방식인 자력에 의해 이루어진다. The shafts 122 receive the rotational force from the driving mechanism through the magnetic force. Specifically, the drive mechanism has a motor 142, pulleys 144, and belts 148. One of the pulleys 144 is rotated by the motor 142, and the adjacent pulleys 144 receive rotational force through the belt 148. One pulley 144 is disposed on one side of each shaft 122. The first rotating plate 126 is fixedly coupled to each shaft 122, and the second rotating plate 146 is fixedly coupled to the pulley 144 via the rotating shaft 145. The first rotating plate 126 and the second rotating plate 146 are disposed to face each other. The first rotating plate 126 is disposed in the processing chamber 12, and the second rotating plate 146 is disposed in the power providing chamber 14. The first rotating plate 126 and the second rotating plate 146 are completely separated by the wall 16 described above, and the rotational force transmission therebetween is made by a magnetic force in a non-contact manner.

제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)은 각각 자석들(126a, 146a)과 하우징(126c, 146c)을 가진다. 하우징(126c, 146c)은 원판 형상을 가지며, 그 중앙을 기준으로 회전된다. 내부에는 자석들(126a, 146a)이 설치되는 공간이 제공된다. 하우징(126c, 146c)은 폴리 염화 비닐(PVC)를 재질로 하여 제조되고, 자석(126a, 146a)은 약 6개가 제공될 수 있다. 각각의 자석(126a, 146a)은 원판 형상을 가지며, 하우징(126c, 146c)의 중앙을 중심으로 링을 이루도록 배열된다. 인접하는 자석들(126a, 146a)은 하우징(126c, 146c)의 외측면에서 바라볼 때 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 또한, 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)에서 서로 마주보는 자석들은 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 상술한 구조로 인하여 모터(142)s에 의해 제 2회전판(146)이 회전되면 자석들(126a, 146a)간의 인력에 의해 제 1회전판(126)이 회전되고, 이로 인해 모터의 회전력은 샤프트들(122)로 전달된다. 자석 (126a, 146a)의 일측에는 자석들(126a, 146a)간 전달되는 자력을 강하게 하기 위해 스테인리스 스틸을 재질로 한 보강판(126b, 146b)이 배치될 수 있다.The first rotating plate 126 and the second rotating plate 146 have magnets 126a and 146a and housings 126c and 146c, respectively. The housings 126c and 146c have a disk shape and are rotated about the center thereof. There is provided a space in which the magnets 126a and 146a are installed. The housings 126c and 146c are made of polyvinyl chloride (PVC), and about 6 magnets 126a and 146a may be provided. Each of the magnets 126a and 146a has a disc shape and is arranged to form a ring about the center of the housings 126c and 146c. Adjacent magnets 126a and 146a are arranged to have different polarities when viewed from the outer surfaces of the housings 126c and 146c. In addition, the magnets facing each other in the first rotating plate 126 and the second rotating plate 146 are arranged to have different polarities. When the second rotating plate 146 is rotated by the motor 142 s due to the above-described structure, the first rotating plate 126 is rotated by the attraction force between the magnets 126a and 146a, and thus the rotational force of the motor is reduced by the shafts. Is passed to 122. On one side of the magnets 126a and 146a, reinforcing plates 126b and 146b made of stainless steel may be disposed to strengthen the magnetic force transmitted between the magnets 126a and 146a.

동력 제공실(14) 내에서 모터(142)로부터 제 2회전판(146)까지 동력의 전달은 기계적 접촉에 의해 이루어지므로, 동력 제공실(14) 내에서는 파티클(particle)이 발생될 수 있다. 그러나 처리실(12)과 동력 제공실(14)은 벽에 의해 분리되어 있으므로, 동력 제공실(14)에서 발생되는 파티클이 처리실(12) 내로 유입되는 것이 방지된다. Since power is transmitted from the motor 142 to the second rotating plate 146 in the power providing chamber 14 by mechanical contact, particles may be generated in the power providing chamber 14. However, since the processing chamber 12 and the power providing chamber 14 are separated by a wall, particles generated in the power providing chamber 14 are prevented from entering the processing chamber 12.

제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)이 가깝게 배치될 수록 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 전달되는 회전력은 커지나, 장시간 사용시 큰 자력으로 인해 자석(126a, 146a)을 감싸고 있는 하우징(126c, 146c)의 피복이 벗겨진다. 이로 인해 처리실(12) 내에 사용되고 있는 약액이 하우징(126c) 내로 유입되고, 자석(126a)이 파손된다. 이와 반대로 제 1회전판(126)과 제 2회전판(146)이 멀리 배치될 수록 자석(126a, 146a)이 파손되는 것을 최소화할 수 있으나, 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 회전력이 충분히 전달되지 않는 문제가 발생된다. 따라서 제 2회전판(146)으로부터 제 1회전판(126)으로 원하는 정도의 회전력을 전달하면서 자력에 의해 하우징(126c)이 파손되는 것을 최소화할 수 있도록, 제 1회전판(126) 내 자석(126a)과 제 2회전판(146) 내 자석(146a)간 거리를 산정하는 것이 중요하다.As the first rotary plate 126 and the second rotary plate 146 are disposed closer to each other, the rotational force transmitted from the second rotary plate 146 to the first rotary plate 126 increases, but the magnets 126a and 146a due to a large magnetic force when used for a long time. The cover of the housings 126c and 146c surrounding the cover is peeled off. As a result, the chemical liquid used in the processing chamber 12 flows into the housing 126c, and the magnet 126a is broken. On the contrary, as the first rotating plate 126 and the second rotating plate 146 are disposed farther away, the magnets 126a and 146a may be minimized from being damaged, but the rotational force from the second rotating plate 146 to the first rotating plate 126 may be reduced. The problem arises that this is not sufficiently delivered. Accordingly, the magnet 126a in the first rotating plate 126 and the magnet 126a in the first rotating plate 126 may be minimized to transmit the desired rotational force from the second rotating plate 146 to the first rotating plate 126 while minimizing the damage of the housing 126c by the magnetic force. It is important to calculate the distance between the magnets 146a in the second rotating plate 146.

본 발명은 상술한 자석들(126a, 146a)간의 적절한 거리를 산출하기 위해, 자석들(126a, 146a)간 거리에 따라 전달되는 회전력의 크기를 측정할 수 있는 측정기 구(20)를 제공한다. 도 2와 도 3은 각각 본 발명의 측정기구(20)의 바람직한 일 예를 보여주는 정면도와 평면도이다.The present invention provides a measuring instrument 20 capable of measuring the magnitude of the rotational force transmitted according to the distance between the magnets 126a and 146a in order to calculate the proper distance between the magnets 126a and 146a described above. 2 and 3 are respectively a front view and a plan view showing a preferred example of the measuring device 20 of the present invention.

도 2와 도 3을 참조하면, 측정기구(20)는 제 1지지대(240), 제 2지지대(260), 거리 조절 부재(500), 제 1 자력부재(420), 제 2자력부재(440), 분리판(280), 구동모터, 그리고 토크 측정 부재를 가진다. 2 and 3, the measuring device 20 includes a first support 240, a second support 260, a distance adjusting member 500, a first magnetic force member 420, and a second magnetic force member 440. ), A separator 280, a drive motor, and a torque measuring member.

정확한 측정을 위해 측정기구(20)에서 자력에 의해 회전력을 전달하는 구조는 설비(10)에서 자력에 의해 회전력을 전달하는 구조와 동일한 것이 바람직하다. 여기서 동일한 구조란 구성요소들간 배치, 구조, 형상, 그리고 재질 등이 동일하다는 것을 의미하며, 구성요소들의 크기나 구성요소들간 거리는 일정 비율로 가감될 수 있다. 그러나 측정 정밀도 등을 감안하여 측정기구(20)는 설비(10)와 다소 상이한 구조로 제공될 수 있다.For accurate measurement, the structure that transmits the rotational force by the magnetic force in the measuring device 20 is preferably the same as the structure that transmits the rotational force by the magnetic force in the installation (10). Here, the same structure means that the arrangement, structure, shape, and material of the components are the same, and the size or distance between the components may be added or decreased at a predetermined ratio. However, in view of measurement accuracy and the like, the measuring device 20 may be provided in a somewhat different structure from the installation 10.

본 발명의 측정기구(20)에서 제 1자력부재(420)는 상술한 제 1회전판(도 1의 126)에 대응되고, 제 2자력부재(440)는 상술한 제 2회전판(도 1의 146)에 대응되며, 분리판(280)은 상술한 벽(도 1의 16)에 대응된다. 도 4는 도 2의 선 Ⅰ-Ⅰ을 따라 절단한 단면도이고, 도 5는 도 2의 선 Ⅱ-Ⅱ를 따라 절단한 단면도이다. 도 4와 도 5를 참조하면, 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440) 각각은 원판 형상의 하우징(426, 446)과 그 내부에 배치되며 하우징(426, 446)의 중앙을 중심으로 링 형상으로 배열된 자석들(424, 464)을 가진다. 외측에서 바라볼 때 각각의 자력부재(420, 440)들에서 인접하는 자석들(424, 464)은 서로 상이한 극성들을 가지도록 배치된다. 또한, 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440)에서 서로 마주보도록 위치 되는 자석들(424, 464)은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치된다. 또한, 하우징(426, 446) 내에는 고정축(422) 또는 회전축(442)을 향하는 방향으로 자석(424, 464)의 일측에 스테인리스 스틸을 재질로 한 보강판(428, 448)이 제공될 수 있다. 보강판은 자력부재들간 전달되는 자력을 더욱 강하게 한다.In the measuring device 20 of the present invention, the first magnetic member 420 corresponds to the first rotating plate 126 of FIG. 1, and the second magnetic member 440 is the second rotating plate 146 of FIG. 1. ) Corresponds to the wall (16 in FIG. 1). 4 is a cross-sectional view taken along the line II of FIG. 2, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line II-II of FIG. 2. 4 and 5, each of the first magnetic member 420 and the second magnetic member 440 is disposed in the disk-shaped housings 426 and 446 and the inside thereof, and the center of the housings 426 and 446 is disposed. It has magnets 424 and 464 arranged in a ring shape at the center. When viewed from the outside, adjacent magnets 424 and 464 in the respective magnetic members 420 and 440 are arranged to have different polarities from each other. In addition, the magnets 424 and 464 positioned to face each other in the first magnetic member 420 and the second magnetic member 440 are arranged to have different polarities. In addition, the housings 426 and 446 may be provided with reinforcing plates 428 and 448 made of stainless steel on one side of the magnets 424 and 464 in the direction toward the fixed shaft 422 or the rotating shaft 442. have. The reinforcement plate makes the magnetic force transmitted between the magnetic force members stronger.

제 1지지대(240)는 제 1자력부재(420)를 지지하고, 제 2지지대(260)는 제 2자력부재(440)를 지지한다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)는 직사각의 판 형상을 가지는 기저판(220) 상에 설치된다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)는 직사각의 판 형상으로 동일하게 형성되고, 서로간에 마주보도록 배치된다. 제 1지지대(240) 내에는 제 1자력부재(420)에 고정 결합된 고정축(422)이 삽입되는 홀이 형성되고, 고정축(422)은 제 1지지대(240)에 고정결합된다. 즉, 제 1자력부재(420)는 제 1지지대(240)에 고정되어 회전되지 않는다. 제 2지지대(260) 내에는 제 2자력부재(440)에 고정결합된 회전축(442)이 삽입되는 홀이 형성되고, 회전축(442)은 구동모터(600)에 의해 회전가능하도록 제 2지지대(260)에 결합된다. 상술한 바와 같이 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440)는 서로간에 마주보도록 배치되고, 기저판(220) 상에는 제 1자력부재(420)와 제 2자력부재(440) 사이에 위치되는 분리판(280)이 고정된다.The first support 240 supports the first magnetic force member 420, and the second support 260 supports the second magnetic force member 440. The first support 240 and the second support 260 are installed on the base plate 220 having a rectangular plate shape. The first support 240 and the second support 260 are formed in the same rectangular plate shape, and are disposed to face each other. A hole into which the fixed shaft 422 fixedly coupled to the first magnetic force member 420 is inserted is formed in the first support 240, and the fixed shaft 422 is fixedly coupled to the first support 240. That is, the first magnetic member 420 is fixed to the first support 240 does not rotate. In the second support 260 is formed a hole into which the rotation shaft 442 fixedly coupled to the second magnetic member 440 is inserted, and the rotation shaft 442 is rotatable by the driving motor 600. 260). As described above, the first magnetic member 420 and the second magnetic member 440 are disposed to face each other, and are positioned between the first magnetic member 420 and the second magnetic member 440 on the base plate 220. Being separated plate 280 is fixed.

거리 조절 부재(500)는 제 1자력부재(420)에 제공된 자석(424)과 제 2자력부재(440)에 제공된 자석(444)들간의 거리를 조절한다. 일 예에 의하면, 거리 조절 부재(500)는 이동 로드(540)와 그 끝단에 결합된 조절기(520)를 가진다. 이동 로드(540)는 조절기(520)와 인접하게 위치되며 나사산이 형성되지 않은 전단부(542)와 전단부(542)로부터 조절기(520)에서 멀어지는 방향으로 연장되며 외주면에 나사산이 형성된 후단부(544)를 가진다. 이동 로드(540)의 전단부(542)는 제 1지지대(240)에 형성된 홀을 관통하도록 제 1지지대(240)에 삽입되고, 후단부(544)는 제 2지지대(260)에 형성된 나사홀을 관통하도록 제 2지지대(260)에 삽입된다. 작업자가 조절기(520)를 회전시킬 때, 기저판(220)에 고정설치된 제 1지지대(240)는 움직이지 않으나, 제 2지지대(260)는 제 1지지대(240)로부터 멀어지거나 가까워지는 방향으로 직선이동된다. 제 2지지대(260)의 직선이동을 안내하기 위해 기저판(220) 상에는 안내 레일(도시되지 않음)이 설치될 수 있다.The distance adjusting member 500 adjusts the distance between the magnet 424 provided to the first magnetic member 420 and the magnets 444 provided to the second magnetic member 440. According to one example, the distance adjusting member 500 has a moving rod 540 and an adjuster 520 coupled to the end thereof. The moving rod 540 is positioned adjacent to the adjuster 520 and extends in a direction away from the adjuster 520 from the front end 542 and the front end 542 where the thread is not formed, and the rear end formed with the thread on the outer circumferential surface ( 544). The front end portion 542 of the moving rod 540 is inserted into the first support 240 to pass through the hole formed in the first support 240, the rear end portion 544 is a screw hole formed in the second support 260 It is inserted into the second support 260 to pass through. When the operator rotates the regulator 520, the first support 240 fixed to the base plate 220 does not move, but the second support 260 is straight in a direction away from or near to the first support 240. Is moved. A guide rail (not shown) may be installed on the base plate 220 to guide the linear movement of the second support 260.

상술한 예에서 제 1지지대(240)는 고정되고 제 2지지대(260)만이 직선이동되는 것을 예로 들어 설명하였으나, 이와 달리 제 1지지대(240)가 직선이동되고 제 2지지대(260)가 고정되거나, 제 1지지대(240) 및 제 2지지대(260)가 서로를 향해 가까워지거나 멀어지는 방향으로 직선이동될 수 있다.In the above-described example, the first support 240 is fixed and only the second support 260 is moved as an example. However, the first support 240 is linearly moved and the second support 260 is fixed. The first support 240 and the second support 260 may be linearly moved in a direction toward or away from each other.

또한, 기저판(220) 상에는 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간의 거리가 조절된 상태에서 제 1자력부재(420)에 제공된 자석(424)과 제 2자력부재(440)에 제공된 자석(444)들간의 거리를 보여주는 거리 표시부재(700)가 제공된다. 거리 표시부재(700)는 얇은 판으로 기저판(220) 상에 부착되며 그 상부에 자석들(424, 444)간의 거리를 나타내는 눈금(720)이 제공된다. In addition, the base plate 220 is provided to the magnet 424 and the second magnetic member 440 provided to the first magnetic member 420 in a state where the distance between the first support 240 and the second support 260 is adjusted. A distance indicating member 700 is provided which shows the distance between the magnets 444. The distance indicating member 700 is attached to the base plate 220 in a thin plate, and a scale 720 is provided on the top thereof to indicate the distance between the magnets 424 and 444.

본 실시예에서는 거리 표시부재(700)가 자석들(424, 444)간의 거리를 직접 보여주는 것을 예로 들어 설명하였다. 그러나 이와 달리 거리 표시부재(700)는 자석들(424, 444)간의 거리를 산출할 수 있는 다른 구성물들간의 거리를 나타낼 수 있다. 예컨대 거리 표시부재(700)는 하우징들(426, 446)간의 거리 또는 지지대들(420, 440)간의 거리를 나타낼 수 있다. 또한, 거리 표시부재(700)는 눈금(720) 대신 자석들(424, 444)간의 거리를 디지털로 수치화하여 보여줄 수 있다. 또한, 상술한 예에서는 거리 표시부재(700)가 기저판(220)과는 별도로 제공되어 기저판(220) 상에 부착되는 것으로 예를 들어 설명하였으나, 이와 달리 거리 표시부재(700)는 기저판(220) 상에 직접 눈금(720)으로 제공될 수 있다.In the present exemplary embodiment, the distance display member 700 directly shows the distance between the magnets 424 and 444. In contrast, the distance display member 700 may represent the distance between other components that can calculate the distance between the magnets 424 and 444. For example, the distance display member 700 may indicate a distance between the housings 426 and 446 or a distance between the supports 420 and 440. In addition, the distance display member 700 may digitally show the distance between the magnets 424 and 444 instead of the scale 720. In addition, in the above-described example, the distance display member 700 is provided separately from the base plate 220 to be attached to the base plate 220. For example, the distance display member 700 is different from the base plate 220. It can be provided directly on the scale 720.

상술한 구조로 인해, 구동 모터(600)로부터 제 2자력부재(440)로 동력이 전달되면, 제 2자력부재(440)는 회전된다. 그러나 서로 대향되는 제 1자력부재(420)의 자석(424)과 제 2자력부재(440)의 자석(444)들간의 인력에 의해 제 2자력부재(440)의 회전이 제한된다. 토크 측정부재(800)는 회전축(442)에 결합가능하며, 회전축(442)(즉, 제 2자력부재(440))의 토크를 측정한다. 회전축(442)의 토크를 측정하기 위한 기구는 당업계에 널리 알려져 있으므로 구조에 대한 상세한 설명은 생략한다. 측정된 토크로부터 제 2자력부재(440)로부터 제 1자력부재(420)로 전달되는 회전력을 산출할 수 있다. 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간 거리에 따라 측정되는 토크의 크기는 상이하다. Due to the structure described above, when power is transmitted from the drive motor 600 to the second magnetic member 440, the second magnetic member 440 is rotated. However, the rotation of the second magnetic member 440 is limited by the attractive force between the magnet 424 of the first magnetic member 420 and the magnets 444 of the second magnetic member 440 facing each other. The torque measuring member 800 may be coupled to the rotating shaft 442 and measures the torque of the rotating shaft 442 (that is, the second magnetic member 440). Mechanisms for measuring the torque of the rotating shaft 442 are well known in the art, and thus detailed description of the structure is omitted. The rotational force transmitted from the second magnetic member 440 to the first magnetic member 420 may be calculated from the measured torque. The magnitude of the torque measured according to the distance between the first support 240 and the second support 260 is different.

처음에 제 1자력부재(420)로부터 제 2자력부재(440)로 전달을 요하는 회전력(또는 토크)의 범위를 설정한다. 작업자는 제 1지지대(240)와 제 2지지대(260)간 거리를 변화하면서 각각의 거리에서 자력부재들(420, 440)간 전달되는 회전력(토크)를 측정한다. 이후, 작업자는 요구되는 회전력을 전달할 수 있는 거리 범위 내에서 어느 하나를 선택하여 이를 실제 설비(10)에 적용한다. 자력에 의해 하우징 (422)이 손상되는 것을 방지하기 위해 자력부재들(420, 440)간 거리는 긴 것이 바람직하다.Initially, the range of rotational force (or torque) required for transmission from the first magnetic member 420 to the second magnetic member 440 is set. The operator measures the rotational force (torque) transmitted between the magnetic force members 420 and 440 at each distance while varying the distance between the first support 240 and the second support 260. Thereafter, the operator selects any one within a distance range that can transmit the required rotational force and applies it to the actual installation 10. In order to prevent the housing 422 from being damaged by the magnetic force, the distance between the magnetic members 420 and 440 is preferably long.

산출된 거리를 장비에 적용시 측정기구(20)에 제공된 구성물들의 크기, 형상, 및 거리 등을 고려하여, 실제 설비(10)에 적용시 선택된 거리를 실제 장비에 적용될 실제 거리로 환산할 수 있다. 실제 설비(10)에서 거리를 조절할 때에는 회전판들(126, 146)간 거리를 변화시키거나, 회전판(126, 146) 내에서 자석(126a, 146a)의 설치 위치를 변화시킬 수 있다. In consideration of the size, shape, and distance of the components provided to the measuring device 20 when the calculated distance is applied to the equipment, the distance selected when the actual equipment 10 is applied to the actual equipment 10 may be converted into the actual distance to be applied to the actual equipment. . When the distance is adjusted in the actual installation 10, the distance between the rotating plates 126 and 146 may be changed or the installation positions of the magnets 126a and 146a may be changed in the rotating plates 126 and 146.

본 발명에 의하면, 자력부재들간의 거리에 따라 이들간에 전달되는 회전력을 측정할 수 있으므로, 설비에서 요구되는 회전력을 전달함과 동시에 하우징이 자력에 의해 손상되는 것을 최소화할 수 있는 회전판들간의 거리를 최적으로 제공할 수 있다.According to the present invention, it is possible to measure the rotational force transmitted between them in accordance with the distance between the magnetic force member, while transmitting the rotational force required in the facility and at the same time the distance between the rotating plate to minimize the damage to the housing by the magnetic force It can provide optimally.

Claims (10)

자력을 사용하여 부재들간 회전력을 전달하는 구동 메카니즘이 제공된 설비에서 부재들간 거리에 따라 전달되는 회전력을 측정하는 측정 기구에 있어서,A measuring mechanism for measuring a rotational force transmitted according to a distance between members in a facility provided with a driving mechanism for transmitting rotational force between members using magnetic force, 제 1지지대에 고정설치된 제 1자력부재와;A first magnetic member fixed to the first support; 상기 제 1자력부재와 대향되도록 배치되며, 제 2지지대에 회전가능하도록 설치된 제 2자력부재와;A second magnetic member disposed to face the first magnetic member and rotatably installed on a second support; 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 변화시키는 거리 조절 부재와;A distance adjusting member for changing a distance between the first magnetic member and the second magnetic member; 상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터와;A driving motor providing a rotational force to the second magnetic member; 상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And a torque measuring member for measuring the torque of the second magnetic member. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,Each of the first magnetic member and the second magnetic member, 하우징과;A housing; 상기 하우징 내에 배치되는 복수의 자석들을 포함하되,A plurality of magnets disposed in the housing, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 자석들은 마주보는 면이 서로 다른 극성을 가지도록 설치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.The magnets opposed to each other in the first magnetic member and the second magnetic member are installed so that the opposite surfaces have different polarities. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,Each of the first magnetic member and the second magnetic member, 하우징과;A housing; 상기 하우징 내에 배치되며, 링을 이루도록 배열된 판 형상의 자석들을 포함하되,A plate-shaped magnet disposed in the housing and arranged to form a ring, 상기 제 1자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 2자력부재에서 상기 자석들은 서로 상이한 극성끼리 인접하도록 배치되고, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.In the first magnetic member, the magnets are arranged to be adjacent to each other with different polarities, and in the second magnetic member, the magnets are arranged to be adjacent to each other with different polarities, and are opposed to each other in the first magnetic member and the second magnetic member. Measuring magnets are arranged to have different polarities from each other. 제 2항 또는 제 3항에 있어서,The method of claim 2 or 3, 상기 하우징은 원판 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And the housing has a disc shape. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 사이에는 분리판이 설치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.The measuring device, characterized in that the separating plate is provided between the first magnetic member and the second magnetic member. 제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1 to 3, 상기 거리 조절 부재는,The distance adjusting member, 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되는 이동 로 드와;A movement rod inserted into a screw hole formed in the first support or the second support; 상기 이동 로드를 회전시키는 조절기를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And a regulator for rotating said moving rod. 제 6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 거리 조절 부재는,The distance adjusting member, 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And a distance display member for displaying a distance between the first support and the second support. 약액 처리실 내에 배치되며 기판을 지지 및 이동시키는 샤프트에 연결되고 내부에 자석이 설치된 제 1회전판과 상기 약액 처리실과 벽에 의해 구획되는 동력 전달실에 배치되며 모터의 회전력을 자력에 의해 상기 제 1회전판으로 전달하고 내부에 자석이 설치된 제 2회전판을 구비하는 기판 제조 설비에서, 상기 제 1회전판과 상기 제 2회전판간 거리에 따라 상기 제 2회전판으로부터 상기 제 1회전판으로 전달되는 회전력을 측정하기 위해 사용되는 측정 기구에 있어서,The first rotary plate is disposed in the chemical processing chamber and connected to the shaft for supporting and moving the substrate, and is disposed in the first transmission plate and a power transmission chamber partitioned by the chemical processing chamber and the wall. In a substrate manufacturing facility having a second rotating plate and a magnet is installed therein, for measuring the rotational force transmitted from the second rotating plate to the first rotating plate according to the distance between the first rotating plate and the second rotating plate In the measuring instrument which becomes, 기저판과;Base plate; 상기 기저판 상에 설치되는 제 1지지대와;A first support installed on the base plate; 상기 제 1지지대와 대향되도록 배치되며, 상기 기저판 상에 설치되는 제 2지지대와;A second support disposed to face the first support and installed on the base plate; 상기 제 1지지대와 상기 제 2지지대간 거리 조절이 가능하도록 상기 제 1지 지대 또는 상기 제 2지지대 중 적어도 어느 하나를 직선 이동시키는 거리 조절 부재와;A distance adjusting member for linearly moving at least one of the first support and the second support to adjust the distance between the first support and the second support; 상기 제 1회전판에 대응되며, 상기 제 1지지대에 고정 설치되는 제 1자력부재와;A first magnetic member corresponding to the first rotating plate and fixed to the first support; 상기 제 2회전판에 대응되며, 상기 제 2지지대에 회전 가능하게 설치되며 상기 제 2자력부재와 대향되도록 배치되는 제 2자력부재와;A second magnetic member corresponding to the second rotating plate and rotatably installed on the second support and disposed to face the second magnetic member; 상기 벽에 대응되며, 상기 기저판 상에 설치되며 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재를 분리시키도록 이들 사이에 배치되는 분리판과;A separating plate corresponding to the wall and disposed on the base plate and disposed therebetween to separate the first magnetic member and the second magnetic member; 상기 제 2자력부재에 회전력을 제공하는 구동모터와; 그리고A driving motor providing a rotational force to the second magnetic member; And 상기 제 2자력부재의 토크를 측정하는 토크 측정부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And a torque measuring member for measuring the torque of the second magnetic member. 제 8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재 각각은,Each of the first magnetic member and the second magnetic member, 하우징과;A housing; 상기 하우징 내에 배치되는 판 형상의 자석들을 포함하되,Includes plate-shaped magnets disposed in the housing, 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재에서 서로 대향되는 상기 자석들은 서로 상이한 극성을 가지도록 배치되는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And the magnets opposed to each other in the first magnetic member and the second magnetic member are arranged to have different polarities. 제 8항 또는 제 9항에 있어서,The method according to claim 8 or 9, 상기 거리 조절 부재는,The distance adjusting member, 상기 제 1지지대 또는 상기 제 2지지대에 형성된 나사홀에 삽입되며 외주면에 나사산이 형성된 이동 로드와;A moving rod inserted into a screw hole formed in the first support or the second support and having a screw thread formed on an outer circumferential surface thereof; 상기 이동 로드로부터 연장되며 상기 이동 로드를 회전시키기 위한 조절기와; 그리고An adjuster extending from said moving rod for rotating said moving rod; And 상기 제 1자력부재와 상기 제 2자력부재간 거리를 표시하는 거리 표시부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 측정 기구.And a distance display member for displaying a distance between the first magnetic member and the second magnetic member.
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