JP3638436B2 - ラビング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は液晶セルの配向膜等のラビング処理に用いるラビング装置に関し、特にラビング時の被処理物の位置調整を容易に行うことができ、被処理物の表面を均一にラビングすることのできるラビング装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のラビング装置は、ラビングロールの軸を支持するラビングロール支持体と、ラビング処理される被処理物を載置する被処理物支持体が、1つの基台上に備えられることで構成されている。
図7は、従来のラビング装置の一例を示す概略構成図である。このラビング装置1は、ラビングロール2、ラビングロール軸受け3、被処理物支持体4が基台5上に設けられて概略構成されている。
【0003】
図7に示すように、ラビングロール2の軸は、コの字状のラビングロール軸受け3によってコの字の内側に支持されるとともにモータ6に接続されており、これによりラビングロール2は軸回転可能に構成されている。ラビングロール軸受け3の下部には、下部ユニット7、7およびレール9、9上を走行する台車8、8が設けられている。これによりラビングロール2は、レール9、9に沿って、軸の平行状態を保ったまま移動することができるようになっている。
また、被処理物支持体4上には被処理物11を載置するステージ10が設けられている。
【0004】
図8は、ステージ10の高さを調整する高さ調整機構の従来例を示す概略構成図である。この高さ調整機構15は、被処理物支持体4の下部に垂直方向に設けられたボールねじ16をモータ17で回転させるものであり、ボールネジ16を回転させることで、被処理物支持体4を上下させ、ステージ10の高さ調整を行うことができる。このような方式の高さ調整機構では、モータ17からステージ10までの距離を大きくとらざるを得ず、ステージ10の高さが高くなってしまう。高さの高過ぎるステージ10は不安定であるとともにラビング精度の低下が懸念される。このため、従来は基台5に孔を設け、高さ調整機構15の下部をその孔に埋め込むことで、ラビングロール軸受け3や下部ユニット7、7の高さを抑える方法が採られていた。
【0005】
このようなラビング装置1を用いてラビング処理を行う際、被処理物11の処理面を均一に処理するため、ラビングロール2と被処理物11はラビング開始から終了まで、ラビングロールの一端から他端にわたって均一に接触している必要がある。そのため、ラビングロール軸受け3には、ラビングロール2の高さを調整する高さ調整機構が設けられ、被処理物支持体4にも、ステージ10の高さを調整する高さ調整機構が設けられている。これにより両者の高さを合わせ、均一なラビング処理を行えるようにしている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
基台5は通常鉄製であるが、鉄を精錬して製品とする際に生じる元々の加工歪みや、使用による経時変化に伴い発生する反りや歪みなどのため、基台5の上面平坦度の精度はそれほど高くない。そのため、レール9、9をただ基台5に固定しただけではレール9、9は平坦にならないので、レール9、9にも高さ調整機構を設けておき、高さを調整して平坦度を向上させるようになっている。そして、高さ調整の終了したレール9、9を基準とし、ラビングロール2およびステージ10の高さをそれぞれ調節する。これにより、相対的にラビングロール2とステージ10の高さ合わせを行っていた。このように、従来のラビング装置1においては、ラビング前の装置の調整に大変な手間を要していた。また、ラビングロール2とステージ10を直接比較して高さを合わせることはできなかった。
【0007】
ラビングを行う際、被処理物11に均一に処理を行うため、ラビングロール2と被処理物11との距離を一定に保つ必要がある。このため、ラビングロール軸受け3のラビングロール2に対向する面には、ラビングロール2の軸に平行になるようレール3aが設けられている。このレール3a上にはブロックが移動可能に取り付けられており、このブロックに例えばダイヤルゲージを取り付けて、ラビングロール2と基台5の平行度を測定し、調整することができる。しかし、このレール3aはラビングロール軸受け3のラビングロール2に対向した面に配されているので、平行度調整を行う場合にはラビングロール2をラビング装置1から取り外す必要があった。すなわち、従来の装置においては平行度調整作業が煩雑な作業であり、ラビングロールを取り付けた状態で行うことができなかった。上記の点に鑑み、本発明は、基台の平坦度を向上させることにより、高さ調整を容易に行うことができ、使い易さを向上させたラビング装置を提供することを目的とする。
【0008】
【課題を解決するための手段】
本発明に係るラビング装置は、被処理物の表面をラビング処理するためのラビングロールと、このラビングロールを回転駆動する回転駆動手段と、水平方向に往復運動可能に構成され被処理物を載置するステージと、ラビングロールと回転駆動手段およびステージが設置された石製の基台とを具備してなることを特徴とする。
すなわち、ラビング装置の基台を石製とすることで、基台の平坦度を向上させることができる。これにより、ラビングロールまたは被処理物載置用のステージのどちらか一方だけに高さ調整機構を設ければよく、ラビングロールと被処理物の高さ調整が容易になり、調整時間が短縮される。
また、石は鉄と比較して元来有している歪が非常に小さいので加工精度を上げることができ、また、振動の減衰性および外部からの振動の吸収力に優れていることから、ラビング装置の基台として優れている。
【0009】
本発明に係るラビング装置は、水平方向に延びるボールねじと、このボールねじを回転させるモータと、ボールねじの回転運動を上下運動に変換するカムを具備し、ステージを昇降させるステージ昇降機構が設けられることが好ましい。
すなわち、ボールねじの方向を水平方向とし、ボールねじの回転運動をカムにより上下運動に変える構造とすることで、ステージの高さを抑えることができ、従来のように大きな孔を設けてステージの高さ調整機構を埋め込む必要はない。基台に大きな孔を設けないので、前述のような石の基台の利点を活かすことができる。
【0010】
本発明に係るラビング装置は、ラビングロールがロール架台の内部に収容され、ラビングロールとステージとが互いに平行になるように調整するための測定器を取り付けるスライド機構がロール架台の外面に設けられることが好ましい。
すなわち、ラビングロールとステージを平行に調整する測定器を取り付けるスライド機構を、ラビングロールが収容されているロール架台の外面に設けることで、ラビングロールを取り外すことなく測定器を使用することができる。これにより、ラビングロールと、被処理物を載置するステージ等とを同時に調整することができる。また、ラビング装置稼働時の計測も行うことが可能となる。
【0011】
本発明に係るラビング装置は、石製の基台に厚み方向に貫通する孔部を設け、この孔部の内壁面の少なくとも一部に導電性を有する部品取り付け用ブッシュを取り付け、石製の基台の下側に設けられた導電性の架台とブッシュとを電気的に接続することが好ましい。
例えば、種々のセンサ等の精密電子部品をラビング装置に取り付けた場合、モータのノイズでセンサの測定精度が低下する恐れがあり、アースを取る必要があったが、石製の基台は絶縁性であり、電気部品のアースを取ることができない。基台の下に設けられた架台が導電性である場合にはアースを取ることができるが、それには部材と架台を導線で直接接続することが必要となり、手間がかかるとともに配線をとり回す必要があるのであまり好ましくない。そこで、基台の下側に設けられた導電性の架台とラビング装置の部品を、基台に埋め込んだブッシュを介して電気的に接続し、架台をアースする。これにより、各部材から架台に直接導線を配することなくアースを取ることができる。
【0012】
本発明に係るラビング装置は、石製の基台を厚み方向に貫通する孔部と、石製の基台の上部空間を囲むカバーと、上部空間内に上方から下方へ向かう気流を発生させる気流発生源とを有し、上部空間内の塵埃を孔部から装置外部に排出する塵埃排出手段が設けられることが好ましい。
すなわち、ラビング時に装置内に発生する塵埃を強制的にラビング装置外部に排出して、装置内を常にきれいな状態に保つことができ、欠陥の少ないラビング処理を行うことができる。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、図面により本発明について詳細に説明するが、本発明はこれらの実施形態例のみに限定されるものではない。
図1は本実施の形態のラビング装置を示す上面図、図2は正面図である。
図1および図2に示すように、このラビング装置21は、3本のラビングロール22a、22b、22c、それぞれのラビングロールを収容するロール架台23a、23b、23c、ラビングロールを回転させるモータ24a、24b、24c(回転駆動手段)、ロール架台を支持するグラナイト(石)製の定盤25a、25b、被処理物を載置するステージ26、ステージ26を昇降させるステージ昇降機構27、定盤25a、25bおよびステージ高さ調整機構27を載置するグラナイト製の基台28、基台28を支持する架台29、装置全体を覆うクリーンベンチ30、クリーンベンチ30の上面に設置されたクリーンモジュール31、31、ステージ26およびステージ昇降機構27を水平方向に移動させるためのガイド32、32から概略構成されている。また、ラビングロール22、ロール架台23、モータ24は一体化されており、ラビングロールユニットを構成している。
【0014】
図1および図2に示すように、架台29上にはグラナイト製の基台28が設けられている。基台28上にはアーチ状の定盤25a、25bが備えられ、3つのロール架台23a、23b、23cが定盤25a、25b上に互いに平行に設けられている。基台28上にはガイド32、32が平行に設けられ、その間に、ステージ昇降機構27に接続されたボールネジ33がガイド32、32と平行に設けられている。ボールネジ33の一端にはモータ34が接続されており、モータ34がボールネジ33を回転させるとステージ昇降機構27が水平方向に移動するように構成されている。
【0015】
図3は、ロール架台23aを示す構成図である。ロール架台23aの側面部外側にはラビングロール22aと平行にレール35(スライド機構)が設けられており、レール35上にはブロック36が取り付けられ、レール35に沿って自在に動くことができるようになっている。
このブロック36に、例えばダイヤルゲージを取り付けてレール35に沿って動かすことで、ラビングロール22aと、ステージ26や基台28等との平行度を測定することができる。あるいは、ブロック36にレーザ光源を取り付け、これを使用して平行度を測定してもよい。
【0016】
図4は、ステージ26およびステージ26を昇降させるステージ昇降機構27を示す模式図である。ステージ昇降機構27は、自らが昇降するステージ昇降機構上部27aと、土台となるステージ昇降機構下部27bから構成されている。ステージ昇降機構下部27bには、矩形のステージの四隅にあたる位置に4本のボールスプライン27c、27c…が設けられ、ステージ昇降機構上部27aを昇降可能に支持している。ステージ昇降機構上部27aの最下部には円柱状のコロ41が設けられ、ステージ昇降機構下部27bにはコロ41を載せる三角柱状の部材42が設けられており、コロ41と部材42でカム43を形成している。部材42はステッピングモータ40に取り付けられたボールネジ39により水平方向に動くように構成されている。
【0017】
図4において、部材42を左方向に動かすと、コロ41は部材42によって押し上げられる。この力によりステージ昇降機構上部27aは上昇する。逆に、部材42を右方向に動かすと、コロ41は部材42上を降りてくるので、ステージ昇降機構上部27aは下降する。これによりステージ26を昇降させる。
また、ステージ26は、その下側に設けられたθモータ44により回転可能に構成されている。
【0018】
図5は、基台28と架台29の部分断面図である。基台28と架台29の間にはゴム45、45が配置され、防振構造となっている。本実施の形態においては、図5に示すような、拡径部を有する円柱状の部品取付用ブッシュ46を用いて基台28上に固定する任意の部品の取り付けを行っている。ブッシュ46の拡径部側の端面には部品取付用のネジ孔46aが設けられ、他端にはネジ山46bが形成されている。また、ブッシュ46は鉄などの導電性の材料で構成されている。
【0019】
図5に示すように、基台28のブッシュ46取り付け箇所に貫通孔28aが、架台29のブッシュ46取り付け箇所にネジ孔29aが設けられている。基台28の上面からブッシュ46が挿入され、ネジ山46bがネジ孔29aにねじ込まれ、基台28と架台29がブッシュ46によって固定されている。
【0020】
図6は、本実施の形態のラビング装置21の塵埃排出手段を示す概略構成図である。基台28および架台29には、貫通孔50、50…が設けられ、各貫通孔50はダクト51を介して床52に設けられた排出口53に接続されている。ラビング装置21の全体はクリーンベンチ30(カバー)で覆われており、クリーンベンチ30の上面には清浄な気流を発生するクリーンモジュール31、31(気流発生源)が備えられている。
【0021】
この塵埃排出手段によりラビング装置21の清浄を行うには、まず、クリーンモジュール31、31を作動させ、クリーンベンチ30内を上方から下方へ向かう気流を発生させる。クリーンベンチ30内の塵埃はこの気流によってクリーンベンチ30内下部に運ばれる。そして塵埃は貫通孔50、50…、ダクト51、51…、排出口53、53…を通ってラビング装置21外部に排出される。これにより、ラビング装置21で発生した塵埃は速やかに装置外部に排出される。
【0022】
次に、本実施の形態のラビング装置21の動作について図1を用いて説明する。
初期状態において、ステージ26は図中左側にある。このステージ26上にラビング処理を行う基板を導入し、真空吸着等の手段を用いて保持する。ステージ26がラビング処理を行うための所定位置まで上昇するとともに、各ラビングロールが回転を開始する。そして、ステージ26は図中右方向へ動いていき、ステージ26上に載置された基板の表面を各ラビングロールがラビングする。ラビング処理終了後の基板は、図中右側から導出される。
【0023】
本実施の形態のラビング装置においては、以下のような効果を奏することができる。
本実施の形態のラビング装置21においては、ラビングロール22が3本備えられている。もし、3本のラビングロールのうち1本にトラブルが生じたとしても、他の2本が正常であれば、そのトラブルを緩和し、全体としてラビング状態を均一にすることができる。ラビングロール22に付加する荷重は、ラビングロールを1本だけ備えた場合の3分の1で済む。これによりラビング時に発生する静電気を3分の1以下とすることが可能である。また、ラビングロール22、ロール架台23、モータ24は一体化されており、ラビングロールユニットを構成しているので、ラビングロール22とロール架台23の軸心がずれることはない。ラビングロール22に何らかのトラブルが発生したとしても、ラビングロールをユニットごと交換すればよく、取り扱いが容易である。
【0024】
本実施の形態のラビング装置においては、水平方向に延ばしたボールねじ39の回転運動をカム43により上下運動に変えてステージ10を昇降させる構造とすることで、ステージ10の高さを抑えることができる。
本実施の形態のラビング装置においては、レール35およびブロック36がロール架台23aの外側に取り付けられているので、平行度の測定は、ラビングロール22aがラビング装置21に取り付けられたまま、すなわち実際に装置を稼働させるのと同じ状態で行うことも可能である。
【0025】
本実施の形態のラビング装置においては、グラナイト製の基台28に貫通孔28aを、導電性を有する架台29にネジ孔29aを設け、そこに導電性を有する部品取付用ブッシュ46を埋め込む。架台29をアースしておけば、ブッシュ46に取り付けられた部品は架台29と電気的に接続され、アースすることができる。
本実施の形態のラビング装置においては、ラビング時に装置内に発生する塵埃を強制的にラビング装置外部に排出して、装置内を常にきれいな状態に保つことができ、欠陥の少ないラビング処理を行うことができる。排出口53、53…にバキュームポンプ等を接続し、クリーンベンチ30内の空気を吸引すれば、クリーンベンチ30内の塵埃の排出効率を更に向上させることができる。
なお、本発明の技術範囲は上記実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
【0026】
【発明の効果】
以上詳細に説明した通り、本発明のラビング装置は、石製の基台を用いているので、基台の平坦度を向上させることができる。これにより、ラビングロールと被処理物の位置合わせを容易に行うことができ、ラビング装置の調整時間が短縮され使い易くなる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本実施の形態のラビング装置を示す上面図である。
【図2】 本実施の形態のラビング装置を示す正面図である。
【図3】 ロール架台23aを示す構成図である。
【図4】 ステージ26およびステージ26を昇降させるステージ昇降機構27を示す模式図である。
【図5】 基台28と架台29の部分断面図である。
【図6】 本実施の形態のラビング装置21の塵埃排出手段を示す概略構成図である。
【図7】 従来のラビング装置の一例を示す概略構成図である。
【図8】 高さ調整機構の従来例を示す概略構成図である。
【符号の説明】
21……ラビング装置
22a、22b、22c……ラビングロール
23a、23b、23c……ロール架台
24a、24b、24c……モータ(回転駆動手段)
25a、25b……定盤
26……ステージ
27……ステージ昇降機構
28……基台
29……架台
30……クリーンベンチ
31……クリーンモジュール
32……ガイド
35……レール(スライド機構)
36……ブロック
39……ボールネジ
40……モータ
41……コロ
42……部材
43……カム
44……θモータ
45……ゴム
46……ブッシュ
50……貫通孔
51……ダクト
52……床
53……排出口
Claims (5)
- 被処理物の表面をラビング処理するためのラビングロールと、該ラビングロールを回転駆動する回転駆動手段と、水平方向に往復運動可能に構成され前記被処理物を載置するステージと、前記ラビングロールと前記回転駆動手段および前記ステージが設置された石製の基台とを具備してなることを特徴とするラビング装置。
- 水平方向に延びるボールねじと、該ボールねじを回転させるモータと、前記ボールねじの回転運動を上下運動に変換するカムを具備し、前記ステージを昇降させるステージ昇降機構が設けられたことを特徴とする請求項1記載のラビング装置。
- 前記ラビングロールがロール架台の内部に収容され、ラビングロールとステージとが互いに平行になるように調整するための測定器を取り付けるスライド機構が前記ロール架台の外面に設けられたことを特徴とする請求項1記載のラビング装置。
- 前記石製の基台に厚み方向に貫通する孔部を設け、該孔部の内壁面の少なくとも一部に導電性を有する部品取り付け用ブッシュを取り付け、前記石製の基台の下側に設けられた導電性の架台と前記ブッシュとを電気的に接続することを特徴とする請求項1記載のラビング装置。
- 前記石製の基台を厚み方向に貫通する孔部と、前記石製の基台の上部空間を囲むカバーと、前記上部空間内に上方から下方へ向かう気流を発生させる気流発生源とを有し、前記上部空間内の塵埃を前記孔部から装置外部に排出する塵埃排出手段が設けられたことを特徴とする請求項1記載のラビング装置。
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