KR20090035882A - 기판 가이드 장치 - Google Patents

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Abstract

기판 가이드 장치에서 제1 가이드 모듈 및 제2 가이드 모듈은 서로 대향하며 기판을 가이드 한다. 제1 가이드 모듈의 제1 가이드부 및 제2 가이드 모듈의 제2 가이드부는 이송되는 기판의 제1 측면 및 제2 측면을 각기 가이드 한다. 제1 간격조절 프레임은 제1 가이드부로부터 연장되며 간격조절 모듈의 회전축의 일측에 결합된다. 제2 간격조절 프레임은 제2 가이드부로부터 연장되어 제1 간격조절 프레임과 마주보게 배치되며, 회전축의 타측에 결합된다. 간격조절 모듈의 구동부는 회전축을 회전시켜 제1 가이드부 및 제2 가이드부 사이의 이격 간격을 좁히거나 넓힌다. 따라서, 기판 가이드 장치의 설치공간을 감소시키고, 간격조절 모듈의 개수를 감소시킬 수 있다.

Description

기판 가이드 장치{APPARATUS FOR GUIDING SUBSTRATE}
본 발명은 기판 가이드 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 기판의 사이즈에 대응하여 가이드 모듈들 간의 이격 간격이 변동되는 기판 가이드 장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 기판 또는 액정표시장치의 표시패널에 채용되는 기판의 제조공정은 유리 기판에 박막을 입히는 박막 공정, 상기 박막을 원하는 패턴으로 형성하기 위한 포토리소그래피 공정 및 상기 패턴에 따라 상기 박막을 식각하기 위한 식각공정 등으로 세분화될 수 있다. 상기 공정들이 반복적으로 수행됨으로써 반도체 기판 또는 표시패널에 채용되는 박막트랜지스터 기판 및 컬러필터 기판이 제조될 수 있다.
상기와 같은 기판의 제조 공정에서 기판은 롤러에 의해 공정 장비들 간에 이송될 수 있다. 정지된 기판에 대해 공정이 수행될 수 있으며, 이송되는 기판에 대해서도 현상 공정 또는 세정 공정 등의 공정이 수행될 수 있다.
최근에는 액정표시장치와 같은 평판표시장치가 광범위하게 사용됨에 따라 박막트랜지스터 기판 및 칼라필터 기판의 모기판의 사이즈도 소형에서부터 대형까지 다양하며, 대형 모기판은 제조 공정 중에 여러 사이즈의 기판들로 절단될 수 있다. 이러한 다양한 사이즈의 기판을 공정 간에 또는 공정 중에 이송시키기 위해서 기판 이송장치 또는 기판 가이드 장치가 사용된다.
기판 가이드 장치에서 기판의 하면을 지지하는 롤러가 주로 사용된다. 또한, 기판을 정확한 경로로 이동시키기 위해서 기판의 측면을 가이드 하는 롤러가 사용된다. 종래의 기판 가이드 장치는 기판의 사이즈에 따라 대향하는 롤러들 간의 이격 간격을 변경시킬 수 있는 기구적 구조를 갖는다.
예를 들어, 기판의 서로 대향하는 측면들을 지지하는 가이드 롤러들이 배치된 프레임들의 외측에서 피스톤 장치를 프레임들에 결합시켜 밀고 당김으로써 기판의 사이즈에 상응하게 프레임들 간의 이격 간격을 조절하였다.
이로 인해, 기판의 폭방향으로 기판 가이드 장치의 사이즈가 증가하며 설치공간을 많이 차지하는 문제점이 있었다. 또한, 서로 대향하는 가이드 프레임들을 별도로 각각 구동시켜야 하기 때문에 피스톤 장치와 같은 구동설비가 다수 설치되어야 하는 문제점이 있었다.
이에 본 발명의 기술적 과제는 이러한 종래의 문제점을 해결하는 것으로, 본 발명은 설치공간을 작게 차지하며 간격조절 모듈의 개수를 감소시킨 기판 가이드 장치를 제공한다.
상기한 기술적 과제를 해결하기 위하여, 본 발명의 실시예에 따른 기판 가이드 장치는 제1 가이드 모듈, 제2 가이드 모듈 및 간격조절 모듈을 포함한다. 제1 가이드 모듈은 제1 가이드부 및 제1 간격조절 프레임을 포함한다. 제1 가이드부는 이송되는 기판의 제1 측면을 가이드 한다. 제1 간격조절 프레임은 제1 가이드부로부터 연장된다. 제2 가이드 모듈은 제2 가이드부 및 제2 간격조절 프레임을 포함한다. 제2 가이드부는 제1 측면과 대향하는 기판의 제2 측면을 가이드 한다. 제2 간격조절 프레임은 제2 가이드부로부터 연장되어 제1 간격조절 프레임과 마주보게 배치된다. 간격조절 모듈은 회전축 및 구동부를 포함한다. 회전축은 제1 간격조절 프레임 및 제2 간격조절 프레임의 사이에서 제1 간격조절 프레임 및 제2 간격조절 프레임과 각각 결합된다. 구동부는 회전축을 회전시켜 제1 가이드부 및 제2 가이드부 사이의 이격 간격을 좁히거나 넓힌다.
실시예에서, 제1 가이드부는 제1 지지 프레임 및 제1 가이드 롤러들을 포함한다. 제1 지지 프레임은 기판의 제1 측면을 따라 연장된다. 제1 가이드 롤러들은 제1 지지 프레임의 상면에 배치되어 기판의 제1 측면을 가이드 한다. 제1 간격조절 프레임은 제1 지지 프레임의 측면에 결합된다. 제2 가이드부는 제2 지지 프레임 및 제2 가이드 롤러들을 포함한다. 제2 지지 프레임은 기판의 제2 측면을 따라 연장된다. 제2 가이드 롤러들은 제2 지지 프레임의 상면에 배치되어 기판의 제2 측면을 가이드 한다. 제2 간격조절 프레임은 제2 지지 프레임의 측면에 결합되며 제1 간격조절 프레임과 마주보게 배치된다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 가이드 장치에 의하면, 간격조절 모듈이 가이드 모듈들 사이에 배치되어 기판 가이드 장치를 콤팩트하게 설치할 수 있고, 간격조절 모듈의 개수를 감소시킬 수 있다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 예시적인 실시예들을 상세히 설명한다.
기판 가이드 장치
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가이드 장치의 사시도이다.
도 1을 참조하면, 기판 가이드 장치(100)는 제1 가이드 모듈(10), 제2 가이드 모듈(30) 및 간격조절 모듈(50)을 포함한다.
제1 가이드 모듈(10) 및 제2 가이드 모듈(30)은 이송되는 기판(5)의 측면들을 각각 지지 및 가이드 한다. 간격조절 모듈(50)은 제1 가이드 모듈(10) 및 제2 가이드 모듈(30) 사이의 이격 간격을 조절한다.
기판 가이드 장치(100)는 이송롤러(71)를 더 포함할 수 있다. 이송롤러(71)는 외부로부터 전달된 회전력에 의해 기판(5)을 이송시킬 수 있다. 이송롤러(71)는 회전축 및 상기 회전축에 결합되어 기판(5)의 하면에 접촉되는 다수의 롤러바퀴들을 포함할 수 있다.
제1 가이드 모듈(10)은 제1 가이드부(11) 및 제1 간격조절 프레임(17)을 포함한다.
제1 가이드부(11)는 제1 지지 프레임(13) 및 제1 가이드 롤러(15)들을 포함한다.
제1 지지 프레임(13)은 이송되는 기판(5)의 제1 측면의 하측에서 제1 측면을 따라 연장된다. 제1 가이드 롤러(15)들은 제1 지지 프레임(13)의 상면에 고정된다. 제1 가이드 롤러(15)는 기판(5)의 제1 측면에 접촉될 수 있으며, 제1 측면에 의해 회전될 수 있다.
제1 간격조절 프레임(17)은 제1 지지 프레임(13)의 측면에 연결되며, 제1 지지 프레임(13)의 길이 방향에 대략 직교하는 방향으로 연장되어 기판(5)의 하면과 마주본다.
제2 가이드 모듈(30)은 제2 가이드부(31) 및 제2 간격조절 프레임(37)을 포함한다.
제2 가이드부(31)는 제2 지지 프레임(33) 및 제2 가이드 롤러(35)들을 포함한다.
제2 지지 프레임(33)은 이송되는 기판(5)의 제2 측면의 하측에서 제2 측면을 따라 연장된다. 제2 측면은 제1 측면과 대향한다. 제2 가이드 롤러(35)들은 제2 지지 프레임(33)의 상면에 고정된다. 제2 가이드 롤러(35)는 기판(5)의 제2 측면에 접촉될 수 있으며, 제2 측면에 의해 회전될 수 있다.
제2 간격조절 프레임(37)은 제2 지지 프레임(33)의 측면에 연결되며, 제2 지지 프레임(33)의 길이 방향에 대략 직교하는 방향으로 연장되어 기판(5)의 하면과 마주본다. 제2 지지 프레임(33)의 단부는 제1 지지 프레임(13)의 단부와 마주보게 배치된다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 가이드 장치를 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 기판 가이드 장치(100)는, 예를 들어, 세정공정에서 사용될 수 있다. 세정공정은 작업 공간을 외부로부터 차폐시키는 격벽(7), 예를 들어, 베스(bath)에서 수행되며, 기판 가이드 장치(100)는 베스를 관통하게 설치될 수 있다. 격벽(7)은 기판(5)의 상측, 하측, 제1 측면 및 제2 측면 방향을 각각 차폐시킨다.
간격조절 모듈(50)은 제1 가이드 모듈(10) 및 제2 가이드 모듈(30)의 사이에 배치된다. 간격조절 모듈(50)은 회전축(51) 및 구동부(55)를 포함한다.
회전축(51)은 이송되는 기판(5)의 하면에 대하여 대략 직교하는 방향으로 배치된다. 본 실시예에서, 회전축(51)은 격벽(7)의 내측에 배치되며, 구동부(55), 예를 들어, 모터는 격벽(7)의 외부에서 회전축(51)과 마주보게 배치된다.
회전축(51)은 제1 간격조절 프레임(17)과 제2 간격조절 프레임(37)의 사이에 배치되며, 제1 간격조절 프레임(17) 및 제2 간격조절 프레임(37)에 각각 결합된다. 회전축(51)의 측면에는 제1 나사산들이 형성될 수 있다. 회전축(51)의 측면에 각각 접촉되는 제1 간격조절 프레임(17) 및 제2 간격조절 프레임(37)에는 상기 제1 나사산들과 맞물림 되는 제2 나사산들이 각각 형성될 수 있다.
간격조절 모듈(50)은 제1 마그네틱 디스크(52) 및 제2 마그네틱 디스크(54)를 더 포함할 수 있다. 제1 마그네틱 디스크(52)는 회전축(51)의 하단에 결합되며 격벽(7)과 마주보게 배치된다. 제2 마그네틱 디스크(54)는 구동부(55)의 구동축에 결합되며, 격벽(7)의 외부에서 제1 마그네틱 디스크(52)와 마주보게 배치된다.
제1 마그네틱 디스크(52) 및 제2 마그네틱 디스크(54)는 각기 원판 형상의 디스크 및 복수의 자석들을 포함할 수 있다.
원판 형상의 디스크에는 복수의 수용홈들이 형성되며, 자석들은 상기 수용홈들에 각기 삽입되어 고정된다. 자석들은 N 극과 S 극이 번갈아 나타나도록 교호적으로 배열될 수 있다. 즉 디스크 상에서 시계방향을 따라 이동하면 N 극 및 S 극이 번갈아 배열되어 있다. 제1 마그네틱 디스크(52) 및 제2 마그네틱 디스크(54)들 간에도 N 극과 S 극이 대응하도록 교호적으로 배열될 수 있다.
전원이 공급되어 구동부(55)에 의해 제1 마그네틱 디스크(52)가 회전하면 자기력에 의해 제2 마그네틱 디스크(54)가 회전된다. 즉, 회전축(51)은 구동부(55)에 의해 비접촉 방식으로 구동된다.
제2 마그네틱 디스크(54)가 제1 방향으로 회전하는 경우 제1 간격조절 프레임(17)과 제2 간격조절 프레임(37)은 회전축(51)에 의해 서로 마주보는 부분이 증 가하도록 이동된다. 그 결과, 제1지지 프레임 및 제2 지지 프레임(33) 사이의 이격 간격이 좁아진다. 이와 반대로 제2 마그네틱 디스크(54)가 상기 제1 방향과 역으로 제2 방향으로 회전하면 제1 지지 프레임(13)과 제2 지지 프레임(33) 사이의 이격 간격이 넓어진다.
따라서, 하나의 간격조절 모듈로 제1 가이드 모듈(10) 및 제2 가이드 모듈(30)을 작동시켜 기판(5)의 사이즈에 따라 유연하게 적응시킬 수 있고, 간격조절 모듈이 제1 가이드 모듈(10) 및 제2 가이드 모듈(30)의 사이에 배치되어 기판 가이드 장치(100)가 설치되는 공간을 최소화할 수 있다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 가이드 장치의 단면도이다.
도 3을 참조하면, 기판 가이드 장치(300)는 간격조절 모듈(350)을 제외하고는 도 1 및 도 2에서 설명된 기판 가이드 장치(100)와 실질적으로 동일할 수 있다.
본 실시예에서, 간격조절 모듈(350)은 회전축(351) 및 구동부(355)를 포함한다. 구동부(355)는 격벽(307)의 외부에 배치되며, 회전축(351)은 구동부(355)의 구동축에 연결되어 격벽(307)을 관통하게 배치된다. 회전축(351)의 단부는 제1 간격조절 프레임(317) 및 제2 간격조절 프레임(337)의 사이에 배치 및 결합된다.
본 실시예에서, 격벽(307)에는 회전축(351)이 관통하는 홀이 형성되며, 상기 홀을 통해 공정액이 누출되거나, 외부 이물질이 격벽(307)의 내측으로 유입되는 것을 방지하기 위해 회전축(351)을 감싸며 상기 홀을 커버하는 차폐부재가 설치될 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 기판 이송 장치는 반도체 웨이퍼 또는 평판 표시장치의 표시패널에 채용되는 기판의 모기판을 제조 공정들 간에 또는 공정 중에 이송시키는 기판 이송 장치 또는 기판 가이드 장치에 적용할 수 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 가이드 장치의 사시도이다.
도 2는 도 1에 도시된 기판 가이드 장치를 I-I' 선을 따라 절단한 단면도이다.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 기판 가이드 장치의 단면도이다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
5 : 기판 7 : 격벽
10 : 제1 가이드 모듈 11 : 제1 가이드부
13 : 제1 지지 프레임 15 : 제1 가이드 롤러
17 : 제1 간격조절 프레임 30 : 제2 가이드 모듈
31 : 제2 가이드부 33 : 제2 지지 프레임
35 : 제2 가이드 롤러 37 : 제2 간격조절 프레임
50 : 간격조절 모듈 51 : 회전축
55 : 구동부 52, 54 : 마그네틱 디스크
71 : 이송롤러 100 : 기판 가이드 장치

Claims (2)

  1. 이송되는 기판의 제1 측면을 가이드 하는 제1 가이드부와, 상기 제1 가이드부로부터 연장되고, (어떠한 역할을 하는) 제1 간격조절 프레임을 포함하는 제1 가이드 모듈;
    상기 제1 측면과 대향하는 상기 기판의 제2 측면을 가이드 하는 제2 가이드부와, 상기 제2 가이드부로부터 연장되어 상기 제1 간격조절 프레임과 마주보는 제2 간격조절 프레임을 포함하는 제2 가이드 모듈; 및
    상기 제1 간격조절 프레임 및 제2 간격조절 프레임의 사이에서 상기 제1 간격조절 프레임 및 제2 간격조절 프레임과 각각 결합된 회전축과, 상기 회전축을 회전시켜 상기 제1 가이드부 및 제2 가이드부 사이의 이격 간격을 변경시키는 구동부를 포함하는 간격조절 모듈을 포함하는 기판 가이드 장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 제1 가이드부 및 제2 가이드부는 각기
    상기 제1 측면 또는 제2 측면을 따라 연장되며, 상기 제1 간격조절 프레임 또는 제2 간격조절 프레임과 결합된 지지 프레임; 및
    상기 지지 프레임에 결합되며, 상기 제1 측면 또는 제2 측면을 가이드 하는 가이드 롤러들을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 가이드 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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