KR20050055619A - 접속 유닛, 피측정 디바이스 탑재보드, 프로브 카드 및디바이스 인터페이스부 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (25)
- IC 소켓이 탑재된 피측정 디바이스 탑재보드와 상기 IC 소켓에 지지되는 전자 디바이스를 시험하는 시험장치를 전기적으로 접속하는 접속 유닛에 있어서,상기 피측정 디바이스 탑재 보드와 대향하여 설치되는 지지 기판; 및상기 지지 기판상에 있어서의 위치가 변경 가능하도록 상기 지지 기판상에 설치되며, 상기 피측정 디바이스 탑재보드가 구비하는 퍼포먼스 보드측 커넥터와 접속되는 접속 유닛측 커넥터를 포함하는 접속 유닛.
- 제1항에 있어서,상기 지지 기판은, 상기 피측정 디바이스 탑재보드의 종류에 따라 상기 퍼포먼스 보드측 커넥터가 다른 배치 위치로 되는 경우, 상기 다른 배치 위치에 대응하는 위치에 상기 접속 유닛측 커넥터를 이동하여 지지 가능한 구조를 가지는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 지지 기판은, 상기 접속 유닛측 커넥터를 착탈하는 것이 가능하며,상기 접속 유닛측 커넥터를 상기 지지 기판에서 분리하여, 상기 퍼포먼스 보드측 커넥터의 배치 위치가 다른 타 피측정 디바이스 탑재보드에 대응한 배치 위치 관계가 되는 다른 지지 기판으로 교환 가능한 구조를 가지는 접속 유닛.
- 제1항에 있어서,상기 접속 유닛은 상기 접속 유닛측 커넥터를 복수개 포함하며,상기 지지 기판상에 있어서, 상기 복수의 접속 유닛측 커넥터 사이의 거리가 변경 가능한 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 접속 유닛측 커넥터는, 상기 접속 유닛과 상기 피측정 디바이스 탑재 보드가 접속했을 경우의 상기 IC 소켓의 탑재 위치에 대한 거리가 변경 가능하도록 설치되는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,일단이 상기 접속 유닛측 커넥터에 고정되며, 상기 접속 유닛측 커넥터와 상기 시험장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블을 더욱 포함하며,상기 지지 기판은, 상기 접속 유닛측 커넥터를 지지해야 할 위치에 상기 접속 유닛측 커넥터가 통과 가능한 크기의 관통공을 가지는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,일단이 상기 접속 유닛측 커넥터에 고정되며, 상기 접속 유닛측 커넥터와 상기 시험장치를 전기적으로 접속하는 접속 케이블을 더욱 포함하며,상기 지지 기판은, 상기 접속 유닛측 커넥터가 변경 가능한 복수의 위치 사이에 걸쳐서 형성되며, 상기 접속 케이블이 통과하는 관통공을 가지는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 지지 기판은, 상기 접속 유닛과 상기 피측정 디바이스 탑재보드가 접속된 경우, 상기 IC 소켓의 탑재 위치를 중심으로 직경 방향 및 둘레 방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 위치가 변경 가능하도록 상기 접속 유닛측 커넥터를 지지하는 접속 유닛.
- 제8항에 있어서,상기 지지 기판과 대략 평행한 면에 있어서의 상기 IC 소켓 및 상기 접속 유닛측 커넥터의 단면은 각각 직사각형이며,상기 지지 기판은, 상기 직경 방향에서 상기 접속 유닛측 커넥터를 상기 IC 소켓의 탑재 위치와 가장 가까운 위치에 지지하는 경우, 상기 접속 유닛측 커넥터의 상기 단면의 장변이 상기 IC 소켓의 상기 단면의 가장 가까운 변과 대향하도록 상기 접속 유닛측 커넥터를 지지하는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 지지 기판은, 상기 지지 기판상에 있어서 복수의 소정 위치에 각각 설치되며, 상기 접속 유닛측 커넥터가 변경 가능한 위치를 지정하는 커넥터 위치결정부재를 포함하는 접속 유닛.
- 제9항에 있어서,상기 접속 유닛측 커넥터는 서로 결합하는 홈 및 돌기의 일방을 가지며,상기 지지 기판은 상기 접속 유닛측 커넥터의 상기 홈 또는 돌기의 일방과 상기 커넥터 위치결정부재에 형성된 상기 홈 또는 돌기의 타방을 결합시키는 것에 의해, 상기 접속 유닛측 커넥터를 지지하는 접속 유닛.
- 제1항에 있어서,상기 접속 유닛은, 상기 피측정 디바이스 탑재 보드에 탑재된 복수의 상기 IC 소켓에 대응하여 설치되는 복수의 상기 접속 유닛측 커넥터를 포함하며,상기 지지 기판은 상기 복수의 접속 유닛측 커넥터의 각각을 상기 지지 기판상에 있어서의 위치가 변경 가능하도록 지지하는 접속 유닛.
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 지지 기판상에 설치되며, 직경이 소정 크기 이하인 상기 피측정 디바이스 탑재 보드를 지지하는 위치를 결정하는 소구경 퍼포먼스 보드 위치결정부재; 및상기 지지 기판상에 있어, 상기 소구경 퍼포먼스 보드 위치결정부재보다 상기 IC 소켓의 탑재 위치에서 먼 위치에 설치되며, 직경이 상기 소정 크기보다 큰 상기 피측정 디바이스 탑재보드를 지지하는 위치를 결정하는 대구경 퍼포먼스 보드 위치결정부재를 더욱 포함하는 접속 유닛.
- 전자 디바이스와 상기 전자 디바이스를 시험하는 시험장치를 전기적으로 접속하는 피측정 디바이스 탑재보드에 있어서,상기 전자 디바이스를 지지하는 IC 소켓;상기 IC 소켓을 지지하는 소켓 기판;상기 전자 디바이스에 공급하는 시험 신호를 상기 시험장치에서 수신하여 상기 IC 소켓에 공급하는 고주파 신호용 커넥터; 및상기 고주파 신호용 커넥터보다 상기 IC 소켓으로부터 먼 위치에 설치되며, 상기 고주파 신호용 커넥터가 상기 IC 소켓에 공급하는 상기 시험신호보다 주파수가 낮은 신호를 상기 시험장치로부터 수신하여 상기 IC 소켓에 공급하는 저주파 신호용 커넥터를 포함하는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 제14항에 있어서,상기 소켓 기판은,상기 고주파 신호용 커넥터와 전기적으로 접속하며, 상기 소켓 기판의 상기 고주파 신호용 커넥터가 설치된 하면부터 상기 소켓 기판의 상기 소켓 기판의 표면에 못 미치는 중층 위치까지 형성되는 고주파용 편면홀(片面 hole); 및상기 소켓 기판에 있어서, 상기 고주파용 편면홀보다 상기 소켓 기판의 외주측에 형성되는 것으로서, 상기 저주파 신호용 커넥터와 전기적으로 접속하며, 상기 소켓 기판의 상기 저주파 신호용 커넥터가 설치된 하면에서 상기 소켓 기판의 상기 전자 디바이스를 탑재하는 상면까지 관통하는 저주파용 스루홀(through hole)을 가지는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 제15항에 있어서,상기 소켓 기판은상기 전자 디바이스의 고주파 신호용 핀과 전기적으로 접속하며, 상기 소켓 기판의 상기 상면부터 상기 하면까지 관통하는 고주파용 스루홀; 및상기 소켓 기판에 있어서 상기 고주파용 스루홀보다 상기 소켓 기판의 외주 측에 형성되는 것으로서, 상기 전자 디바이스의 저주파 신호용 핀과 전기적으로 접속하며, 상기 소켓 기판의 상기 상면부터 상기 하면에 못 미치는 중층 위치까지 형성되는 저주파용 편면홀을 가지는 피측정 디바이스 탑재보드.
- 제 16항에 있어서,상기 소켓 기판에는, 깊이 방향에 있어서 복수의 층에 배선이 형성되어 있으며,상기 복수의 층 중 적어도 어느 하나에 형성되며, 상기 저주파용 스루홀과 상기 저주파용 편면홀을 전기적으로 접속하는 저주파 신호용 배선; 및상기 복수의 층 중 적어도 어느 하나에 형성되며, 상기 저주파 신호용 배선이 형성된 층보다 상기 소켓 기판의 하면측의 층에 형성되며, 상기 고주파용 편면홀과 상기 고주파용 스루홀을 전기적으로 접속하는 고주파 신호용 배선을 포함하는 피측정 디바이스 탑재보드.
- 전자 디바이스와 상기 전자 디바이스를 시험하는 시험장치를 전기적으로 접속하는 피측정 디바이스 탑재보드에 있어서,복수의 층에 배선이 형성된 소켓 기판; 및상기 소켓 기판의 하면에 설치되며, 상기 시험 장치로부터 상기 전자 디바이스에 공급하는 시험 신호를 수신하는 커넥터를 포함하되,상기 소켓 기판은,상기 소켓 기판 내 어느 한 층에 형성되어 상기 시험 신호를 상기 전자 디바이스에 전송하는 신호용 배선;상기 신호용 배선보다 상기 소켓 기판의 상면측의 층에 형성되어 각각 접지 전위에 접속되는 복수의 상층 GND 배선;상기 신호용 배선보다 상기 소켓 기판의 하면측의 층에 형성되어 접지 전위에 접속되는 하층 GND 배선; 및상기 소켓의 하면부터 상기 소켓의 상면을 향해 형성되어 상기 커넥터와 상기 신호용 배선을 전기적으로 접속하는 편면홀을 가지며,상기 복수의 상층 GND 배선 가운데 적어도 일부와 상기 편면홀의 수평 방향에 있어서의 거리는 상기 하층 GND 배선과 상기 편면홀의 수평 방향에 있어서의 거리보다 큰 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 제18항에 있어서,상기 복수의 상층 GND 배선 가운데 전기 신호용 배선에 가장 가까운 상기 상층 GND 배선과 상기 편면홀의 상기 수평 방향에 있어서의 거리는, 상기 하층 GND 배선과 상기 편면홀과의 상기 수평 방향에 있어서의 거리와 대략 동일하고, 다른 상기 상층 GND 배선과 상기 편면홀과의 상기 수평 방향에 있어서의 거리보다 작은 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 제 18항에 있어서,상기 편면홀은 상기 소켓의 하면부터 상기 소켓의 상면에 못 미치는 중층 위치까지 형성되는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 전자 디바이스와 상기 전자 디바이스를 시험하는 시험장치를 전기적으로 접속하는 피측정 디바이스 탑재보드에 있어서,복수의 층에 배선이 형성된 소켓 기판; 및상기 소켓 기판의 하면에 설치되며, 상기 시험 장치로부터 상기 전자 디바이스에 공급하는 시험 신호를 수신하는 커넥터를 포함하되,상기 소켓 기판은,상기 소켓 기판 내 어느 한 층에 형성되어 상기 시험 신호를 상기 전자 디바이스에 전송하는 신호용 배선;상기 소켓의 하면부터 상기 소켓의 상면에 못 미치는 중층 위치까지 형성되어 상기 커넥터와 상기 신호용 배선을 전기적으로 접속하는 편면홀; 및상기 신호용 배선과 다른 복수의 층에서 상기 편면홀을 상기 소켓 기판의 상면까지 연장했을 경우에 상기 편면홀이 형성되는 영역 이외에 형성되며, 각각 접지 전위에 접속되는 복수의 GND 배선을 가지는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 전자 디바이스와 상기 전자 디바이스를 시험하는 시험 장치를 전기적으로 접속하는 프로브 카드에 있어서,상기 전자 디바이스의 단자와 전기적으로 접속하는 프로브 핀;상기 프로브 핀을 지지하는 프로브 기판;상기 전자 디바이스에 공급하는 시험 신호를 전기 시험장치에서 수신하여, 상기 프로브 핀에 공급하는 고주파 신호용 커넥터; 및상기 고주파 신호용 커넥터보다 상기 프로브 핀으로부터 먼 위치에 설치되며, 상기 고주파 신호용 커넥터가 상기 프로브 핀에 공급하는 상기 시험 신호보다 낮은 주파수의 신호를 상기 시험 장치에서 수신하여 상기 프로브 핀에 공급하는 저주파 신호용 커넥터를 포함하는 프로브 카드.
- IC시험 장치에 대하여 피측정 디바이스를 시험하는 전기신호를 인터페이스 하기 위해서 사용되는 다층 프린트 배선판구조를 가지는 피측정 디바이스 탑재 보드에 있어서,일단은 스루홀과 접속되고 타단은 SVH (Surface Buried Via Hole)와 접속되는 내층 배선 패턴의 층을 사이에 두고 상하로 형성되는 접지층을 포함하되,상기 SVH 주변부의 접지층은 당해 SVH의 스터브 부위의 존재에 수반되는 전송 특성의 열화를 줄이도록 해당 스터브 부위와 소정 거리 이격되어 형성되며,상기 접속된 SVH, 내층 배선 패턴 및 스루홀에 의해 표리 양면간의 배선이 형성되는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 제 23항에 있어서,상기 피측정 디바이스 탑재보드는,상기 내층 배선 패턴의 층과 접지층을 포함하는 복수층 구성의 복수층 프린트 기판을 더욱 포함하며,적어도 2매의 상기 복수층 프린트 기판을 맞붙인 후에 상기 내층 배선 패턴의 일단과 접속되는 상기 스루홀을 형성하여 다층 프린트 배선판을 형성하며,상기 복수층 프린트 기판의 단계에서 형성된 소정의 스루홀이 상기 내층 배선 패턴의 타단과 접속되는 상기 SVH로서 적용되며,상기 내선 배선 패턴의 도체폭과 상기 상부 및 하부 접지층의 거리에 근거해, 소정의 특성 임피던스가 형성되는 피측정 디바이스 탑재 보드.
- 테스트 헤드와 피측정 디바이스 사이를 통과하는 전기신호를 인터페이스 하는 IC시험 장치의 디바이스 인터페이스부에 있어서,피측정 디바이스를 시험하는 전기신호를 인터페이스 하기 위해서 사용하는 다층 프린트 배선판구조의 피측정 디바이스 탑재 보드를 포함하되,상기 피측정 디바이스 탑재 보드는,일단은 스루홀과 접속되고 타단은 SVH (Surface Buried Via Hole)와 접속되는 내층 배선 패턴의 층을 사이에 두고 상하로 형성되는 접지층을 포함하되,상기 SVH 주변부의 접지층은 당해 SVH의 스터브 부위의 존재에 수반되는 전송 특성의 열화를 줄이도록 해당 스터브 부위와 소정 거리 이격되어 형성되며,상기 접속된 SVH, 내층 배선 패턴 및 스루홀에 의해 표리 양면간의 배선이 형성되는 디바이스 인터페이스부.
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