JP2008076308A - 電子部品試験装置用のインタフェース装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】製作が容易なインタフェース装置を提供する。
【解決手段】テストヘッド4の上部に装着されるインタフェース装置5は、ソケットボード66に一端が電気的に接続された電気ケーブル54と、その電気ケーブル54の他端に取り付けられたデバイス側コネクタ541と、テストヘッド4に設けられたテストヘッド側コネクタ41とデバイス側コネクタ541とを電気的に接続する中継コネクタ53と、を備えており、中継コネクタ53は、インタフェース装置5の最下部に設けられたコネクタ本体531と、そのコネクタ本体531に設けられ、デバイス側コネクタ541が着脱可能に接続される嵌合孔532と、コネクタ本体531に設けられ、テストヘッド側コネクタ41が着脱可能に接続される出力端子537と、を有している。
【選択図】図4
【解決手段】テストヘッド4の上部に装着されるインタフェース装置5は、ソケットボード66に一端が電気的に接続された電気ケーブル54と、その電気ケーブル54の他端に取り付けられたデバイス側コネクタ541と、テストヘッド4に設けられたテストヘッド側コネクタ41とデバイス側コネクタ541とを電気的に接続する中継コネクタ53と、を備えており、中継コネクタ53は、インタフェース装置5の最下部に設けられたコネクタ本体531と、そのコネクタ本体531に設けられ、デバイス側コネクタ541が着脱可能に接続される嵌合孔532と、コネクタ本体531に設けられ、テストヘッド側コネクタ41が着脱可能に接続される出力端子537と、を有している。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体集積回路素子等の各種電子部品(以下、代表的にICデバイスとも称する。)のテストを行うためのテストヘッドに装着され、ICデバイスとテストヘッドとの間の電気的な接続を中継するインタフェース装置に関する。
ICデバイス等の電子部品の製造過程においては、ウェハ上に造り込まれた状態やパッケージングされた状態でICデバイスの性能や機能を試験するために電子部品試験装置が用いられている。
この電子部品試験装置は、ハンドラ(Handler)やプローバ(Prober)を用いてICデバイスをテストヘッドに電気的に接続してテスタ(Tester)により試験を実行する。テストヘッドの上部には、ICデバイスとテストヘッドとの間の電気的な接続を中継するためのハイフィックスやウェハマザーボード(インタフェース装置)が設けられている。
従来のハイフィックス5’は、図12に示すように、ICデバイスの入出力端子に電気的に接触するコンタクトピンを多数有するソケット66が実装されたソケットボード65を最上部に備えていると共に、電気ケーブル54を介してこのソケットボード65に電気的に接続された中継基板53’を最下部に備えており、電気ケーブル54の端部は中継基板53’に半田付け等により直接接合されている。ハイフィックス5’は、この中継基板53’を介してテストヘッド4に電気的に接続されている。
テストの効率化を図るために、一つのハイフィックスには多数(例えば、32個、64個或いは128個)のソケットが設けられており、しかも各ソケットからは何本もの電気ケーブルが導出している。そのため、ハイフィックスを製作する際に、何千もの電気ケーブルを中継基板に半田付けしなければならず、多くの工数を費やすと共に熟練を必要し、ハイフィックスのコストアップの一因となっている。
本発明は、製作が容易なインタフェース装置を提供することを目的とする。
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品のテストを行うために用いられるテストヘッドに装着され、前記被試験電子部品と前記テストヘッドとの間の電気的な接続を中継するインタフェース装置であって、前記被試験電子部品に電気的に接触する計測ボードに一端が電気的に接続された電気ケーブルと、前記電気ケーブルの他端に取り付けられたデバイス側コネクタと、前記テストヘッドに設けられたテストヘッド側コネクタと前記デバイス側コネクタとを電気的に接続する中継コネクタと、を備え、前記中継コネクタは、前記インタフェース装置において前記テストヘッドに隣接する位置に設けられたコネクタ本体と、前記コネクタ本体に設けられ、前記デバイス側コネクタが着脱可能に接続される第1の接続部と、前記コネクタ本体に設けられ、前記テストヘッド側コネクタが着脱可能に接続される第2の接続部と、を有するインタフェース装置が提供される(請求項1参照)。
本発明では、中継基板に代えて中継コネクタを採用することでケーブル端部の半田付け作業がなくなるので、インタフェース装置を容易に製作することができる。これにより、工数の削減を図ると共に格別熟練を要せずに作業を行うことができるので、インタフェース装置のコストダウンを図ることが可能となる。
上記発明においては特に限定されないが、前記中継コネクタは、複数の前記第1の接続部を有していると共に、複数の前記第2の接続部を有していることが好ましい(請求項2参照)。
上記発明においては特に限定されないが、複数の前記中継コネクタを備えていることが好ましい(請求項3参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記中継コネクタは、前記テストヘッド側コネクタに向かって突出している位置決めピンを有し、前記テストヘッド側コネクタは、前記位置決めピンに対向するように位置決め孔を有していることが好ましい(請求項4参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記被試験電子部品は、パッケージングされた半導体デバイスであり、前記計測ボードは、前記半導体デバイスに電気的に接触するソケットが実装されたソケットボードであることが好ましい(請求項5参照)。
上記発明においては特に限定されないが、前記被試験電子部品は、ウェハ上に形成された半導体デバイスであり、前記計測ボードは、前記半導体デバイスに電気的に接触するプローブ針が実装されたプローブカードであることが好ましい(請求項6参照)。
上記目的を達成するために、本発明によれば、被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、テストに際して前記被試験電子部品に電気的に接続されるテストヘッドと、前記テストヘッドに装着されて、前記被試験電子部品と前記テストヘッドとの間の電気的な接続を中継する上記の何れかのインタフェース装置と、を備えた電子部品試験装置が提供される(請求項7参照)。
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
<第1実施形態>
図1は本実施形態に係る電子部品試験装置の全体を示す斜視図、図2は図1のII-II線に沿った概略断面図、図3は図1に示す電子部品試験装置の背面図である。先ず、これら図1〜図3を参照して本実施形態に係る電子部品試験装置の全体構成を概説する。
図1は本実施形態に係る電子部品試験装置の全体を示す斜視図、図2は図1のII-II線に沿った概略断面図、図3は図1に示す電子部品試験装置の背面図である。先ず、これら図1〜図3を参照して本実施形態に係る電子部品試験装置の全体構成を概説する。
本実施形態に係る電子部品試験装置1は、図1及び図2に示すように、被試験ICデバイスを取り廻すためのハンドラ10と、被試験ICデバイスが電気的に接続されるテストヘッド4と、このテストヘッド4に試験信号を送って被試験ICデバイスのテストを実行するテスタ3と、から構成されている。
ハンドラ10は、被試験ICデバイスに高温又は低温の熱ストレスを印加した状態でICデバイスをテストヘッド4に供給し、試験が完了したらその試験結果に基づいてICデバイスを分類する装置であり、格納部200、ローダ部300、チャンバ部100及びアンローダ部400を備えている。
被試験ICデバイスを多数収容したカスタマトレイが格納部200に格納されている。ローダ部300において、このカスタマトレイからテストトレイ(ハンドラ10内を循環搬送されるトレイ)に試験前のICデバイスが載せ替えられた後、チャンバ部100内に当該テストトレイが搬入される。チャンバ部100で、ICデバイスに所定の熱ストレスを印加した後に、テストトレイに搭載した状態で各ICデバイスをテストヘッド4に押し付け、各ICデバイスをソケット66に電気的に接触させてICデバイスのテストを実施する。試験済みのICデバイスはチャンバ部100からアンローダ部400に搬出されて、試験結果に応じたカスタマトレイに載せ替えられる。
格納部200には、試験前のICデバイスを収容したカスタマトレイを格納する試験前ICストッカ201と、試験結果に応じて分類されたICデバイスを収容したカスタマトレイを格納する試験済みICストッカ202と、が設けられている。
試験前ICストッカ201及び試験済みICストッカ202は、トレイ支持枠203と、このトレイ支持枠203内を昇降可能なエレベータ204と、を有している。トレイ支持枠203には、図外のカスタマトレイが複数積み重ねられて支持されており、これらカスタマトレイをエレベータ204によって上下動させることが可能となっている。
試験前ICストッカ201は、試験前のICデバイスを収容したカスタマトレイを積層して保持している。これに対し、試験済みICストッカ202は、試験済みのICデバイスを試験結果に応じて収納するカスタマトレイを積層して保持している。
試験前ICストッカ201に格納されているカスタマトレイは、ローダ部300に運び込まれ、このローダ部300においてカスタマトレイからテストトレイに試験前のICデバイスが移し替えられる。
ローダ部300は、カスタマトレイからテストトレイに被試験ICデバイスを積み替えるXY搬送装置304を備えている。このXY搬送装置304は、図1に示すように、メインフレーム105上に架設された2本のレール301と、この2本のレール301によってカスタマトレイとテストトレイとの間を往復移動(この方向をY方向とする)可能な可動アーム302と、この可動アーム302によって支持され、可動アーム302に沿ってX方向に移動可能な可動ヘッド303と、を備えている。
このXY搬送装置304の可動ヘッド303には、被試験ICデバイスを吸着保持することが可能な吸着ヘッドが装着されている。吸着ヘッドは、可動ヘッド303に対して例えば8本程度装着されており、一度に8個の被試験ICデバイスをカスタマトレイからテストトレイに積み替えることが可能となっている。
ローダ部300のメインフレーム105には、当該ローダ部300に運ばれたカスタマトレイがメインフレーム105の上面に臨むように配置される一対の窓部306、306が開設されている。図示は省略するが、各窓部306には、カスタマトレイを保持するために保持用フックが設けられており、カスタマトレイの上面が窓部306を介してメインフレーム105の表面に臨む位置でカスタマトレイが保持されるようになっている。
さらに、それぞれの窓部306の下側には、カスタマトレイを昇降させるための昇降テーブルが設けられている。この昇降テーブルは、試験前のICデバイスが積み替えられて空となったカスタマトレイを下降させて、トレイ移送アーム205に受け渡す。
チャンバ部100は、テストトレイに積み込まれた被試験ICデバイスに目的とする高温又は低温の温度ストレスを印加する恒温槽101と、この恒温槽101で温度ストレスが与えられた状態にある被試験ICデバイスをテストヘッド4に押し付けるテストチャンバ102と、試験後のICデバイスから、印加された温度ストレスを除去する除熱槽103と、から構成されている。
恒温槽101で高温を印加した場合は、除熱槽103において被試験ICデバイスを送風により冷却して室温に戻す。また、恒温槽101で例えば−30℃程度の低温を印加した場合は、除熱槽103において被試験ICデバイスを温風又はヒータ等で加熱して結露を生じない程度の温度まで戻す。そして、この除熱された被試験ICデバイスはアンローダ部400に搬出される。
図2及び図3に示すように、テストチャンバ102の底面を構成するハンドラ10のベース部11の略中央に開口11aが形成されており、当該開口11a内に、テストヘッド4の上部に装着されたハイフィックス5Aが連結されている。
このハイフィックス5のソケット66上にテストトレイが運ばれると、Z軸駆動装置(不図示)がプッシャ(不図示)を介して被試験ICデバイスをハイフィックス5に押し付け、テストトレイ上の多数の被試験ICデバイスの入出力端子を、ソケット66のコンタクトピンに電気的に接触させる。そして、テスタ3がテストヘッド4を介して被試験ICデバイスに試験信号を送り、被試験ICデバイスのテストを実行する。この試験の結果は、例えば、テストトレイに付された識別番号と、テストトレイの内部で割り当てられた被試験ICデバイスの番号で決まるアドレスに記憶される。試験が終了したテストトレイは、除熱槽103においてICデバイスの温度が室温に戻った後に、アンローダ部400に搬出される。
アンローダ部400にも、ローダ部300に設けられたXY搬送装置304と同一構造のXY搬送装置404、404が設けられている。このXY搬送装置404によって、アンローダ部400に搬出されたテストトレイから、試験済みのICデバイスがカスタマトレイに積み替えられる。
アンローダ部400のメインフレーム105には、当該アンローダ400に運ばれたカスタマトレイがメインフレーム105の上面に臨むように配置される一対の窓部406,406が二対開設されている。図示は省略するが、各窓部406に、カスタマトレイを保持するための保持用フックが設けられており、カスタマトレイの上面が窓部406を介してメインフレーム105の表面に臨む位置でカスタマトレイが保持されるようになっている。
また、それぞれの窓部406の下側には、カスタマトレイを昇降させるための昇降テーブルが設けられている。この昇降テーブルは、試験済みのICデバイスで満杯となったカスタマトレイを下降させて、トレイ移送アーム205に受け渡す。
図1に示すように、格納部200には、ストッカ201、202上を移動可能なトレイ移送アーム205が設けられており、ローダ部300、アンローダ部400及び各ストッカ201、202の間でカスタマトレイを移送することが可能となっている。
図4は本実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す断面図、図5は本実施形態に係るハイフィックスを下側から見た平面図、図6は本実施形態におけるデバイス側コネクタ、中継コネクタ及びテストヘッド側コネクタを示す断面図、図7は本実施形態における中継コネクタを示す上部平面図、図8は本実施形態におけるデバイス側コネクタ、中継コネクタ及びテストヘッド側コネクタの部分斜視図である。
本実施形態に係るハイフィックス5Aは、図4に示すように、最上部のソケットボード66のみを交換することで被試験ICデバイスの品種交換に対応することが可能なSBC(Socket Board Change)タイプのものである。このハイフィックス5Aは、同図に示すように、テストヘッド4の上部に設けられたテストヘッド側コネクタ41、及び、中継コネクタ53を介して、テストヘッド4の上部に装着されている。
ハイフィックス5Aは、図5に示すように、複数(図5に示す例では28本)の中継コネクタ53を有している。これらの中継コネクタ53は、ハイフィックス5Aの最下部に位置しており、ハイフィックス5Aの奥行き方向に沿って実質的に平行に並んだ状態で、枠形状のフレーム52に固定されている。
各中継コネクタ53は、図6及び図7に示すような略角棒形状のハウジング531を有している。各中継コネクタ53のハウジング531の上面には、複数の嵌合孔532が形成されている。これら嵌合孔532には、電気ケーブル54の端部に取り付けられたデバイス側コネクタ541が嵌合することが可能となっている。本実施形態では、ハイフィックス5Aの奥行き方向に沿って複数の嵌合孔532が2列に並んで配置されている。
なお、電気ケーブル54としては、例えば、高速信号を伝達するための同軸ケーブルや、電源供給或いは低速信号を伝達するための単線等を例示することができる。
一つの中継コネクタ53に複数の嵌合孔532を形成することにより、中継コネクタ53をハイフィックス5Aにフレーム52に取り付ける作業の作業性や中継コネクタ53のメンテナンス時の作業性が向上する。
また、中継コネクタ53を複数(図5に示す例では28個)に分割することにより、全ての嵌合孔532を一つの中継コネクタに形成する場合と比較して、中継コネクタ53のメンテナンス作業性が向上する。
なお、本実施形態では、図7に示すように、中継コネクタ53一つ当たりに、複数の嵌合孔532をハイフィックス5Aの奥行き全域に亘って2列並べて配置したが、本発明においては特にこれに限定されない。例えば、複数の嵌合孔532をハイフィックス5Aの奥行き全域に亘って1列或いは3列以上に並べて配置したり、例えばm×n個の嵌合孔532をm行n列で配置しても良い(但し、m及びnは何れも自然数であり、少なくとも一方が2以上である)。
各中継コネクタ53のハウジング531の下面には、テストヘッド側コネクタ41の嵌合孔42に嵌合する複数の出力端子537が下方に向かって突出している。
なお、本実施形態における中継コネクタ53の嵌合孔532が、本発明における第1の接続部に相当し、本実施形態における中継コネクタ53の出力端子537が、本発明における第2の接続部に相当する。
図6に示すように、各中継コネクタ53のハウジング531の下側両端部には、下方に向かって突出しているガイドピン535が設けられている。また、テストヘッド4の上部に設けられたテストヘッド側コネクタ41の上側両端部にも、ガイドピン535に対向するようにガイド孔43が形成されている。ハイフィックス5Aをテストヘッド4に装着する際に、ガイドピン535がガイド孔43に案内されることにより、テストヘッド4に対してハイフィックス5Aを容易に位置決めすることが可能となっている。なお、ガイド孔を中継コネクタ53に設け、ガイドピンをテストヘッド側コネクタ41に設けても良い。
さらに、同図に示すように、各中継コネクタ53のハウジング531の下側両端部には、下側側面から上側側面に向かって貫通している貫通孔536が形成されており、フレーム52においてこの貫通孔536に対応する位置にも固定孔52bが形成されている。そして、貫通孔536を介してボルト538を固定孔52bに締結することにより、それぞれの中継コネクタ53をフレーム52に固定することが可能となっている。
図4に戻り、複数の中継コネクタ53を固定しているフレーム52の上部には、Z軸方向に沿って若干の上下動が可能なスペース柱52aを介して、スペーシングフレーム60が設けられている。
このスペーシングフレーム60の上部には、サブソケットボードスペーサ62を介してサブソケットボード63が設けられている。さらに、そのサブソケットボード63の上部には、ソケットボードスペーサ64を介してソケットボード65が設けられている。
そして、中継コネクタ53とサブソケットボード63との間は、複数の電気ケーブル54によって接続されている。電気ケーブル54の下側の端部には、デバイス側コネクタ541が取り付けられている。このデバイス側コネクタ541は、中継コネクタ53の嵌合孔532に着脱可能に接続することが可能となっている。一方、電気ケーブル54の上側の端部は、サブソケットボード63に半田付け等により直接接続されている。
図8に示すように、デバイス側コネクタ541が嵌合孔532に嵌合すると、デバイス側コネクタ541の各端子が中継コネクタ53の出力端子537に電気的に接続され、さらに、中継コネクタ53の出力端子537がテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔42に嵌合すると、ハイフィックス5Aとテストヘッド4とが電気的に接続される。なお、テストヘッド側コネクタ41は、特に図示しないが、テストヘッド4内に収容されているピンエレクトロニクスに電気的に接続されている。
本実施形態では、従来の中継基板53’に代えて中継コネクタ53を採用しているので、電気ケーブル54の端部の半田付け作業がなくなり、ハイフィックス5Aを容易に製作することが可能となる。
サブソケットボード63上には、中継ターミナル631が設けられており、この中継ターミナル631によりサブソケットボード63とソケットボード65との間が電気的に接続されている。
なお、説明の便宜のため、図4には2組のソケットボード65のみを図示しているが、実際には、例えば64個のソケットボード65が4行16列の配列で配置されている。
各ソケットボード65の上部には、複数のコンタクトピン(不図示)を有するソケット66が設けられており、そのソケット66の周囲にソケットガイド67が設けられている。なお、ソケットガイド67は、被試験ICデバイスをソケット66のコンタクトピンに電気的に接触させる際に、当該ICデバイスを位置決めするためのガイド手段であり、場合によっては省略することができる。
以上の第1実施形態では、SBCタイプのハイフィックスに本発明を適用した例について説明したが、特にこれに限定されず、以下のような様々なタイプのハイフィックスにも本発明を適用することができる。
<第2実施形態>
図9は本発明の第2実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す断面図である。
図9は本発明の第2実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す断面図である。
本実施形態に係るハイフィックス5Bは、図9に示すように、最上部のDSA(Device Specific Adapter)57を交換することで被試験ICデバイスの品種交換に対応することが可能なCLS(Cable Less)タイプのハイフィックスである。このハイフィックス5Bは、同図に示すように、テストヘッド4の上部に装着されたマザーボード51と、このマザーボード51に装着されたDSA57と、から構成されている。
本実施形態に係るハイフィックス5Bは、ソケット66からスペーシングフレーム60までがDSA57として一体で構成されており、DSA57がコネクタ59によりマザーボード51から着脱可能となっている点で、第1実施形態に係るハイフィックス5Aと相違している。
DSA57は、パフォーマンスボード58の上部にスペーシングフレーム60が設けられ、さらにその上部にソケットボードスペーサ64を介してソケットボード65が設けられて構成されている。ソケットボード65上にはソケット66が実装されている。
パフォーマンスボード58とソケットボード65との間はコネクトボード61により接続されている。また、パフォーマンスボード58には、マザーボード51に着脱分離するために対のコネクタ59が複数設けられている。このコネクタ59の片方は、電気ケーブル54の一方の端部に取り付けられている。
第1実施形態と同様に、電気ケーブル54の他方の端部にデバイス側コネクタ541が取り付けられている。本実施形態に係るハイフィックス5Bの最下部には、第1実施形態で詳説した複数の中継コネクタ53が、ハイフィックス5Bの奥行き方向に沿って実質的に平行に並んだ状態で設けられている。各中継コネクタ53の嵌合孔532には、デバイス側コネクタ541が着脱可能に接続することが可能となっている。
中継コネクタ53の嵌合孔532にデバイス側コネクタ541が嵌合すると、デバイス側コネクタ541の各端子が中継コネクタ53の出力端子537に電気的に接続され、さらに中継コネクタ53の出力端子537がテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔42に嵌合すると、ハイフィックス5Bとテストヘッド4とが電気的に接続される。
<第3実施形態>
図10は本発明の第3実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す断面図である。
図10は本発明の第3実施形態に係るハイフィックス及びテストヘッドを示す断面図である。
本実施形態に係るハイフィックス5Cは、図10に示すように、被試験ICデバイスの品種交換の度にハイフィックス5C全体を交換するCCN(Cable Connection)タイプのハイフィックスである。このハイフィックス5Cは、当該ハイフィックス5Cにおいて分離可能な箇所が一切ない点で、第1実施形態や第2実施形態に係るハイフィックス5A、5Bと相違している。
このハイフィックス5Cの最下部には、第1実施形態で詳説した複数の中継コネクタ53が、ハイフィックス5Cの奥行き方向に沿って実質的に平行に並んだ状態で設けられている。各中継コネクタ53の嵌合孔532には、電気ケーブル54の端部に取り付けられたデバイス側コネクタ541を着脱可能に接続することが可能となっている。
電気ケーブル541の他方の端部は、半田付けによりソケットボード65に直接接続されている。ソケットボード65上にはソケット66が実装されている。本実施形態では、中継コネクタ53とソケットボード65とを直接接続しているので、高品質な試験性能を確保することができる。
中継コネクタ53の嵌合孔532にデバイス側コネクタ541が嵌合すると、デバイス側コネクタ541の各端子が中継コネクタ53の出力端子537に電気的に接続され、さらに中継コネクタ53の出力端子537がテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔42に嵌合すると、ハイフィックス5Cとテストヘッド4とが電気的に接続される。
以上に説明した第1〜第3実施形態では、従来の中継基板53’に代えて中継コネクタ53を採用することで、電気ケーブル54の端部の半田付け作業がなくなるので、ハイフィックス5A〜5Cを容易に製作することが可能となる。
また、従来の中継基板53’を採用する場合には、事前に回路配線を設計して専用の基板を製作する必要がある。これに対し、本実施形態では、中継コネクタ53に対してデバイス側コネクタ541を選択的に接続することにより任意の回路配線を組むことができる。
また、従来の中継基板53’を修理や交換する場合、半田付けした箇所を外さなければならず作業性が悪くなる。これに対し、本実施形態では、中継コネクタ53からデバイス側コネクタ541を着脱するだけで、中継コネクタ53の修理や交換を行うことができるので、メンテナンス性に優れている。
さらに、従来の中継基板53’を採用する場合には、スルーホール等でインピーダンスの不整合が生じて、高周波信号の伝達特性が悪くなる。これに対し、本実施形態では、回路基板を用いないのでインピーダンスの不整合を抑えることができる。
以上の第1〜第3実施形態では、パッケージングされた状態のICデバイスを試験に用いられるハイフィックスに本発明を適用した例について説明したが、特にこれに限定されず、以下のようなウェハ上に造り込まれたICデバイスを試験対象とした試験に用いられるウェハマザーボードに本発明を適用しても良い。
<第4実施形態>
図11は本発明の第4実施形態に係るウェハマザーボード及びテストヘッドを示す断面図である。
図11は本発明の第4実施形態に係るウェハマザーボード及びテストヘッドを示す断面図である。
本発明における電子部品試験装置は、ウェハW上に形成されたICデバイスをテストするための装置であり、テスタ(不図示)にケーブル(不図示)を介して電気的に接続されたテストヘッド4と、ウェハW上の被試験ICデバイスに電気的に接触するプローブカード8と、ウェハWをプローブカード8に押し付けるプローバ9と、を備えている。
プローブカード8は、図11に示すように、ウェハマザーボード(インタフェース装置)7を介してテストヘッド4に電気的に接続されている。このプローブカード8は、ウェハW上のICデバイスの入出力端子に電気的に接触する多数のプローブ針81と、このプローブ針81が実装されたプリント基板82と、プローブカード8をウェハマザーボード7と電気的に接続するためのZIF(Zero Insertion Force)コネクタ83と、プローブカード8を補強するためのスティフナ84と、から構成されている。
このプローブカード8は、図11に示すように、プローブ針81が中央開口を介して下方を臨むように、環状のカードホルダ85に保持されており、さらに、このカードホルダ85は環状のアダプタ95にクランプされている。
テストヘッド4の下部には、ウェハマザーボード7が装着されており、このウェハマザーボード7の最下部にZIFコネクタ72が設けられている。ZIFコネクタ72からは複数の電気ケーブル71が導出しており、各電気ケーブル71の上側の端部には、第1実施形態と同様に、デバイス側コネクタ73が取り付けられている。なお、電気ケーブル71としては、例えば、高速信号を伝達するための同軸ケーブルや、電源供給或いは低速信号を伝達するための単線等を例示することができる。
ウェハマザーボード7の最上部には、第1実施形態で詳説した中継コネクタ53と同様の複数の中継コネクタ74が、ウェハマザーボード7の奥行き方向に沿って実質的に平行に並んだ状態で設けられている。各中継コネクタ74の嵌合孔には、電気ケーブル71の端部に取り付けられたデバイス側コネクタ73を着脱可能に接続することが可能となっている。
本実施形態では、第1〜第3実施形態と異なり、各中継コネクタ74の出力端子747は、テストヘッド4の最下部に設けられたテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔に嵌合可能なように、上方に向かって突出している。
デバイス側コネクタ73が中継コネクタ74に嵌合すると、デバイス側コネクタ73の各端子が中継コネクタ74の出力端子に電気的に接続され、さらに中継コネクタ74の出力端子747がテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔に嵌合すると、ウェハマザーボード7とテストヘッド4とが電気的に接続される。
以上に説明した第4実施形態では、中継コネクタ74を採用することで、電気ケーブル71の端部の半田付け作業がなくなるので、ウェハマザーボード7を容易に製作することが可能となる。また、中継コネクタ74に対してデバイス側コネクタ74を選択的に接続することにより、任意の回路配線を組むことができる。また、中継コネクタ74からデバイス側コネクタ73を着脱するだけで、中継コネクタ74の修理や交換を行うことができるので、メンテナンス性に優れている。さらに、本実施形態では、回路基板を用いないのでインピーダンスの不整合を抑えることができる。
なお、以上説明した実施形態は、本発明の理解を容易にするために記載されたものであって、本発明を限定するために記載されたものではない。したがって、上記の実施形態に開示された各要素は、本発明の技術的範囲に属する全ての設計変更や均等物をも含む趣旨である。
本発明では、直接的或いは間接的を問わず、ソケットボード65と電気ケーブル54とが電気的に接続されていれば良い。例えば、第1実施形態のSBCタイプや第2実施形態のCLSタイプのように、ソケットボード65と電気ケーブル54との間に中継ターミナル545やコネクタ59が介在して、ソケットボード65と電気ケーブル54とが間接的に接続されていても本発明を適用することができる。また、第3実施形態のCCNタイプのように、ソケットボード65と電気ケーブル54とが直接的に接続されている場合にも本発明を適用することができる。
また、上述した実施形態では、デバイス側コネクタ541が中継コネクタ53の嵌合孔532に挿入されるように説明したが、本発明においては特にこれに限定されない。例えば、デバイス側コネクタ541に嵌合孔を設けると共に中継コネクタ53の上面に突出部を設けて、中継コネクタ53をデバイス側コネクタ541に挿入するように構成しても良い。
同様に、上述した実施形態では、中継コネクタ53の突出した出力端子537がテストヘッド側コネクタ41の嵌合孔42に挿入されるように説明したが、本発明においては特にこれに限定されない。例えば、中継コネクタ53の下面に嵌合孔を設けると共にテストヘッド側コネクタ41に突出部を設けて、テストヘッド側コネクタ41を中継コネクタ53に挿入するように構成しても良い。
1…電子部品試験装置
4…テストヘッド
41…テストヘッド側コネクタ
5A〜5C…ハイフィックス
52…フレーム
53…中継コネクタ
532…嵌合孔
535…ガイドピン
537…出力端子
54…電気ケーブル
541…デバイス側コネクタ
65…ソケットボード
10…ハンドラ
4…テストヘッド
41…テストヘッド側コネクタ
5A〜5C…ハイフィックス
52…フレーム
53…中継コネクタ
532…嵌合孔
535…ガイドピン
537…出力端子
54…電気ケーブル
541…デバイス側コネクタ
65…ソケットボード
10…ハンドラ
Claims (7)
- 被試験電子部品のテストを行うために用いられるテストヘッドに装着され、前記被試験電子部品と前記テストヘッドとの間の電気的な接続を中継するインタフェース装置であって、
前記被試験電子部品に電気的に接触する計測ボードに一端が電気的に接続された電気ケーブルと、
前記電気ケーブルの他端に取り付けられたデバイス側コネクタと、
前記テストヘッドに設けられたテストヘッド側コネクタと前記デバイス側コネクタとを電気的に接続する中継コネクタと、を備え、
前記中継コネクタは、
前記インタフェース装置において前記テストヘッドに隣接する位置に設けられたコネクタ本体と、
前記コネクタ本体に設けられ、前記デバイス側コネクタが着脱可能に接続される第1の接続部と、
前記コネクタ本体に設けられ、前記テストヘッド側コネクタが着脱可能に接続される第2の接続部と、を有するインタフェース装置。 - 前記中継コネクタは、複数の前記第1の接続部を有していると共に、複数の前記第2の接続部を有している請求項1記載のインタフェース装置。
- 複数の前記中継コネクタを備えている請求項2記載のインタフェース装置。
- 前記中継コネクタは、前記テストヘッド側コネクタに向かって突出している位置決めピンを有し、
前記テストヘッド側コネクタは、前記位置決めピンに対向するように位置決め孔を有している請求項1〜3の何れかに記載のインタフェース装置。 - 前記被試験電子部品は、パッケージングされた半導体デバイスであり、
前記計測ボードは、前記半導体デバイスに電気的に接触するソケットが実装されたソケットボードである請求項1〜4の何れかに記載のインタフェース装置。 - 前記被試験電子部品は、ウェハ上に形成された半導体デバイスであり、
前記計測ボードは、前記半導体デバイスに電気的に接触するプローブ針が実装されたプローブカードである請求項1〜4の何れかに記載のインタフェース装置。 - 被試験電子部品のテストを行うための電子部品試験装置であって、
テストに際して前記被試験電子部品に電気的に接続されるテストヘッドと、
前記テストヘッドに装着されて、前記被試験電子部品と前記テストヘッドとの間の電気的な接続を中継する請求項1〜6の何れかに記載のインタフェース装置と、を備えた電子部品試験装置。
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