KR101491259B1 - 유리 기판 가공 장치 - Google Patents

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Abstract

유리 기판 가공 장치는 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판을 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부와, 이송부의 이송 경로와 인접하도록 배치되어 유리 기판에 대한 가공 공정을 수행하고, 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 유리 기판에 대한 가공이 수행되는 가공 위치와 가공이 완료된 유리 기판을 이송부로 전달하고 가공될 유리 기판을 전달받기 위한 로딩/언로딩 위치 사이를 이동하는 스테이지를 갖는 가공부 및 이송부와 다른 높이에서 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 이송부로부터 스테이지로 전달된 가공될 유리 기판의 위치를 확인하기 위한 카메라부를 포함할 수 있다. 유리 기판 가공 장치는 이송부와 카메라부가 개별적으로 동작할 수 있으므로, 유리 기판의 가공 공정 시간을 단축할 수 있다.

Description

유리 기판 가공 장치{Apparatus for processing glass substrate}
본 발명은 유리 기판 가공 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 디스플레이 장치에 사용되는 유리 기판을 가공하기 위한 유리 기판 가공 장치에 관한 것이다.
일반적으로 유리 기판 가공 장치는 이송부를 이용하여 카세트에 적재된 다수의 유리 기판을 가공부로 이송하고, 상기 가공부에서 순차적으로 가공한 후, 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부가 다시 카세트로 이송한다. 상기 유리 기판이 상기 가공부로 이송될 때, 카메라를 이용하여 상기 유리 기판이 상기 가공부의 스테이지에 안착된 위치를 확인한다. 상기 유리 기판의 위치 데이터를 이용하여 상기 유리 기판에 대한 가공 공정이 수행된다. 일본공개특허 제2004-099424호(공개일자, 2004.04.02)에는 이송부와 카메라를 포함하는 유리의 가공 장치가 개시되어 있다.
종래 기술에 따르면, 상기 이송부와 카메라가 일체로 구비되어 같이 이동한다. 그러므로, 상기 이송부가 상기 유리 기판을 이송하는 동안에는 상기 카메라가 상기 스테이지에 안착된 유리 기판의 위치를 확인하지 못하고, 상기 카메라가 상기 유리 기판의 위치를 확인하는 동안에는 상기 이송부가 상기 유리 기판을 이송할 수 없다. 따라서, 상기 유리 기판의 이송과 상기 유리 기판의 위치 확인에 시간이 더 소요되므로, 상기 유리 기판 가공 장치를 이용한 유리 기판 가공 공정의 효율이 저하될 수 있다.
본 발명은 유리 기판의 가공 공정 효율을 향상시킬 수 있는 유리 기판 가공 장치를 제공한다.
본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판을 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부와, 상기 이송부의 이송 경로와 인접하도록 배치되어 상기 유리 기판에 대한 가공 공정을 수행하고, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 상기 유리 기판에 대한 가공이 수행되는 가공 위치와 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부로 전달하고 상기 가공될 유리 기판을 전달받기 위한 로딩/언로딩 위치 사이를 이동하는 스테이지를 갖는 가공부 및 상기 이송부와 다른 높이에서 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 상기 이송부로부터 상기 스테이지로 전달된 상기 가공될 유리 기판의 위치를 확인하기 위한 카메라부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 이송부는 상기 가공될 유리 기판을 이송하기 위한 제1 이송부와 상기 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 제2 이송부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예들에 따르면, 상기 가공될 유리 기판을 상기 스테이지로 로딩하거나 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 스테이지로부터 언로딩하기 위해 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부는 상하 방향을 따라 승강할 수 있다.
본 발명에 따른 유리 기판 가공 장치는 이송부와 카메라부가 서로 분리되어 개별적으로 동작할 수 있다. 그러므로, 상기 이송부가 상기 유리 기판을 이송하는 동안에도 상기 카메라부가 스테이지에 안착된 유리 기판의 위치를 확인할 수 있고, 상기 카메라가 상기 유리 기판의 위치를 확인하는 동안에도 상기 이송부가 상기 유리 기판을 이송할 수 있다. 또한, 상기 유리 기판 가공 장치에서 상기 이송부는 상기 유리 기판을 상기 스테이지로 공급하고, 상기 스테이지로부터 상기 유리 기판을 배출할 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판 가공 장치를 이용한 유리 기판 가공 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이다.
도 2는 도 1에 도시된 이송부, 카메라부 및 가공부를 설명하기 위한 측면도이다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치에 대해 상세히 설명한다. 본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시 예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명하면서 유사한 참조부호를 유사한 구성요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 확대하여 도시한 것이다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성요소는 제2 구성요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성요소도 제1 구성요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서 상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 유리 기판 가공 장치를 설명하기 위한 평면도이고, 도 2는 도 1에 도시된 이송부, 카메라부 및 가공부를 설명하기 위한 측면도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 유리 기판 가공 장치(100)는 유리 기판(10)을 가공하기 위한 것으로, 로딩 포트부(110), 언로딩 포트부(120), 로더부(130), 언로더부(140), 이송부(150), 가공부(160), 카메라부(170) 및 샘플링부(180)를 포함한다.
로딩 포트부(110)와 언로딩 포트부(120)는 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 배치된다. 예를 들면, 상기 제1 수평 방향은 세로 방향이며, 상기 제2 수평 방향은 가로 방향일 수 있다.
로딩 포트부(110)는 제1 카세트(112)를 지지한다. 제1 카세트(112)는 가공부(160)에서 가공될 유리 기판(10)을 지지한다. 이때, 유리 기판(10)은 제1 카세트(112)에 수직 방향으로 세워지도록 적재된다.
언로딩 포트부(120)는 제2 카세트(122)를 지지한다. 제2 카세트(122)는 가공부(160)에서 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한다. 이때, 유리 기판(10)은 제2 카세트(122)에 수직 방향으로 세워지도록 적재된다.
로더부(130)와 언로더부(140)는 로딩 포트부(110) 및 언로딩 포트부(120)와 인접하게 배치된다.
로더부(130)는 제1 카세트(112)로부터 상기 가공될 유리 기판(10)을 이송부(150)로 전달한다. 로더부(130)는 유리 기판(10)의 이송을 위해 유리 기판(10)을 고정한다. 일 예로, 로더부(130)는 유리 기판(10)을 진공력으로 고정할 수 있다.
로더부(130)는 상기 제2 방향을 따라 이동가능하도록 구비된다. 또한, 로더부(130)는 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 수평한 상태로 회전시킬 수 있다. 따라서, 로더부(130)는 제1 카세트(112)에 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 픽업한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수직 상태의 유리 기판(10)을 수평 상태로 회전시킨 후 이송부(150)로 전달한다.
언로더부(140)는 이송부(150)로부터 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 카세트(122)로 전달한다. 언로더부(140)도 로더부(130)와 마찬가지로 유리 기판(10)의 이송을 위해 유리 기판(10)을 고정한다. 일 예로, 언로더부(140)는 유리 기판(10)을 진공력으로 고정할 수 있다.
언로더부(140)도 로더부(130)와 같이 상기 제2 방향을 따라 이동가능하도록 구비된다. 또한, 언로더부(140)는 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 수평한 상태로 회전시킬 수 있다. 따라서, 언로더부(140)는 이송부(150)에 수평한 상태로 고정된 유리 기판(10)을 고정한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수평 상태의 유리 기판(10)을 수직 상태로 회전시킨 후 제2 카세트(122)로 전달한다.
이송부(150)는 로더부(130) 및 언로더부(140)와 인접하도록 배치된다. 이송부(150)는 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 유리 기판(10)을 이송한다. 이때, 이송부(150)는 유리 기판(10)을 수평 상태로 이송할 수 있다.
이송부(150)는 제1 이송부(152) 및 제2 이송부(154)를 포함한다.
제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)는 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하거나, 개별적으로 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 수 있다.
제1 이송부(152)는 로더부(130)로부터 수평 상태로 배치되며, 가공할 유리 기판(10)을 전달받아 상기 제1 수평 방향을 따라 가공부(160)로 이송한다. 또한, 제1 이송부(152)는 가공할 유리 기판(10)을 가공부(160)의 스테이지로 로딩하기 위해 상하 방향을 따라 승강할 수 있다.
제2 이송부(154)는 가공부(160)로부터 수평 상태로 배치되며, 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달받아 상기 제1 수평 방향을 따라 언로더부(140)로 이송한다. 또한, 제2 이송부(154)는 가공이 완료된 유리 기판(10)을 가공부(160)의 스테이지로부터 언로딩하기 위해 상하 방향을 따라 승강할 수 있다.
제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 동시에 이루어질 수 있다.
제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)는 개별적으로 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 개별적으로 이루어질 수 있다.
가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로 양측에 각각 구비될 수 있다. 예를 들면, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로를 기준으로 양측에 대칭될 수 있다. 다른 예로, 예를 들면, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로를 기준으로 서로 엇갈리도록 배치될 수 있다.
가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로 양측에 각각 배치되므로, 가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로 일측에만 배치될 때보다 이송부(150)의 이송 경로를 단축할 수 있다. 이송부(150)의 이송 경로가 단축되므로, 이송부(150)가 유리 기판(10)을 이송하는데 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 따라서, 이송부(150)의 이송 효율을 향상시킬 수 있다.
한편, 도시되지는 않았지만, 가공부(160)는 이송 경로의 양측 중 어느 한쪽을 따라 구비될 수 있다. 이때, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로 일측을 따라 서로 밀착하도록 배치될 수 있다.
가공부(160)들이 서로 밀착하여 배치되더라도 가공부(160)들은 이송부(150)의 이송 경로와 마주보는 면과 반대면이 외부에 노출된다. 또한, 가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로의 일측에만 배치되며, 이송부(150)의 이송 경로 타측이 외부에 노출된다. 따라서, 이송부(150), 가공부(160) 및 카메라부(170)에 이상이 발생하더라도 이송부(150)의 이송 경로 및 이송부(150)가 외부로 노출된 부위를 통해 이송부(150), 가공부(160) 및 카메라부(170)를 용이하게 정비할 수 있다.
가공부(160)가 이송부(150)의 이송 경로의 일측에만 배치되므로, 유리 기판 가공 장치(100)의 폭을 줄일 수 있다. 또한, 가공부(160)들 사이에 별도의 정비 공간(164)을 배치할 필요가 없어 가공부(160)들 사이를 밀착할 수 있으므로, 유리 기판 가공 장치(100)의 길이를 줄일 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판 가공 장치(100)의 크기를 최소화할 수 있다.
가공부(160)는 제1 이송부(152)에 의해 이송된 유리 기판(10)을 가공한다. 예를 들면, 가공부(160)는 유리 기판(10)을 절단하거나, 유리 기판(10)을 연마하거나, 유리 기판(10)에 홀을 형성할 수 있다.
가공부(160)는 유리 기판(10)을 지지하기 위한 스테이지(162)를 갖는다. 스테이지(162)는 유리 기판(10)의 로딩과 언로딩을 위해 상기 제2 수평 방향을 따라 이송부(150)의 하부까지 이동할 수 있다. 즉, 스테이지(162)는 유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 이루어지는 가공부(160) 내부의 가공 위치와 유리 기핀(10)의 로딩과 언로딩이 이루어지는 이송부(150) 하부의 로딩/언로딩 위치 사이를 이동할 수 있다.
구체적으로, 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 제1 이송부(152)의 하부의 로딩/언로딩 위치로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받는다. 스테이지(162)의 상면에 유리 기판(10)이 안착되면, 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 가공부(160)의 가공 위치로 이동한다.
또한, 유리 기판(10)의 가공이 완료되면, 스테이지(162)는 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한 상태로 가공부(160)의 가공 위치로부터 상기 제2 수평 방향을 따라 제2 이송부(154)의 하부의 로딩/언로딩 위치까지 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한다.
상기 로딩/언로딩 위치에서 유리 기판(10)의 전달을 위해 제1 이송부(152) 및 제2 이송부(154)가 스테이지(162)를 향해 승강할 수 있다.
이송부(150)가 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 때, 스테이지(162)도 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 이송부(150)가 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩을 위해 가공부(160)의 내부까지 이동할 필요가 없다. 따라서, 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
또한, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 스테이지(162)가 제2 이송부(154)의 하부로 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한 후, 바로 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받을 수 있다. 스테이지(162)가 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 언로딩하면서 연속하여 제1 이송부(152)로부터 가공할 유리 기판(10)을 로딩할 수 있으므로, 스테이지(162)에서 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 더욱 줄일 수 있다.
도시되지는 않았지만, 가공부(160)는 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162) 이외에 유리 기판(10)을 가공하기 위한 툴을 고정하여 회전시키는 스핀들을 포함할 수 있다. 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향으로 이동 가능하므로, 상기 스핀들은 상기 제1 수평 방향 및 상하 방향을 따라 이동 가능하도록 구비된다. 스테이지(162)와 상기 스핀들이 상대 운동하면서 유리 기판(10)을 가공할 수 있다.
한편, 가공부(160)는 이송부(150)의 이송 경로 양측 또는 일측에 착탈 가능하도록 구비된다. 이송부(150)의 이송 경로가 연장되는 경우, 가공부(160)를 용이하게 이송부(150)의 이송 경로 양측 또는 일측에 구비할 수 있다. 따라서, 필요한 경우 가공부(160)의 개수를 용이하게 증가시킬 수 있으므로, 유리 기판 가공 장치(100)의 처리량을 증가시킬 수 있다.
또한, 이송부(150)의 이송 경로 양측 또는 일측에 부착된 가공부(160)를 용이하게 분리할 수 있다. 따라서, 가공부(160)가 정비가 불가능할 정도로 이상이 발생하는 경우, 상기 이상이 발생한 가공부(160)를 용이하게 교체할 수 있다.
가공부(160)들이 이송부(150)의 이송 경로 양측에 배치되고 가공부(160)들이 밀착되어 구비되는 경우, 이송부(150)의 이송 경로가 외부로 노출되지 않는다. 그러므로, 이송부(150) 및 카메라부(170)에 이상이 발생하는 경우 공간이 협소하여 작업자가 이송부(150) 및 카메라부(170)를 정비하기가 어렵다. 따라서, 가공부(160)들은 인접하는 가공부(160)들과 일정 간격 이격되도록 배치된다. 즉, 가공부(160)들 사이에는 정비 공간(164)이 형성된다. 정비 공간(164)을 통해 작업자가 이송부(150) 및 카메라부(170)를 용이하게 정비할 수 있다.
카메라부(170)는 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 이송부(150)로부터 스테이지(162)로 전달된 상기 가공될 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인한다.
구체적으로, 카메라부(170)는 이송부(150)와 동일한 이동 경로를 갖는다. 카메라부(170)와 이송부(150)의 충돌을 방지하기 위해 카메라부(170)와 이송부(150)는 서로 다른 높이에 배치될 수 있다. 예를 들면, 카메라부(170)가 이송부(150)보다 높게 배치될 수 있다.
제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달할 때, 카메라부(170)는 제1 이송부(152)의 상부에 위치한다.
제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달한 후 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하면, 카메라부(170)는 상기 유리 기판(10)이 안착된 스테이지(162)를 촬영한다. 카메라부(170)에서 촬영된 영상을 이용하여 상기 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인할 수 있다. 상기 유리 기판(10)이 안착된 위치를 기초로 하여 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공이 수행된다. 상기 유리 기판(10)의 안착이 불량인 경우, 알람 등을 통해 작업자에게 알린다.
이송부(150)와 카메라부(170)가 서로 다른 높이에서 개별적으로 동작한다. 그러므로, 이송부(150)가 스테이지(162)로 가공할 유리 기판(10)을 로딩한 후 가공이 완료된 유리 기판(10) 및 새로운 가공할 유리 기판(10)의 이송을 위해 이동하는 동안에 카메라부(170)가 스테이지(162)에 로딩된 유리 기판(10)의 위치를 확인할 수 있다. 따라서, 유리 기판 가공 장치(100)를 이용한 유리 기판 가공 공정의 효율을 향상시킬 수 있다.
샘플링부(180)는 로딩 포트부(110)와 언로딩 포트부(120) 사이에 배치된다. 샘플링부(180)는 가공부(160)에서 가공되는 유리 기판(10)을 샘플링하여 저장한다.
구체적으로, 샘플링부(180)의 지시에 따라 가공부(160)의 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향으로 이동하여 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달하고, 제2 이송부(154)가 상기 제1 수평 방향으로 이동하여 유리 기판(10)을 언로더부(140)로 전달하고, 언로더부(140)는 유리 기판(10)을 샘플링부(180)로 이송한다. 따라서, 샘플링부(180)에서 샘플링된 유리 기판(10)을 확인함으로써 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 정상적으로 이루어지는지를 확인할 수 있다.
한편, 샘플링부(180)는 유리 기판(10)이 샘플링되는 가공부(160)를 선택할 수 있다. 따라서, 각 가공부(160)의 공정 상태를 용이하게 확인할 수 있다.
이하에서는 유리 기판 가공 장치(100)를 이용한 유리 기판(10)의 가공 방법에 대해 간단하게 설명한다.
먼저, 다수의 유리 기판(10)들이 수직 상태로 적재된 제1 카세트(112)를 로딩 포트부(110)에 로딩한다. 또한, 빈 제2 카세트(122)를 언로딩 포트부(120)에 로딩한다.
다음으로, 로더부(130)는 제1 카세트(112)에 수직한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 픽업한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수직 상태의 유리 기판(10)을 수평 상태로 회전시킨 후 제1 이송부(152)로 전달한다.
제1 이송부(152)는 로더부(130)로부터 전달받은 수평 상태의 유리 기판(10)을 상기 제1 수평 방향을 따라 가공부(160)와 인접하도록 이송한다. 이때, 카메라부(170)도 가공부(160)와 인접하도록 상기 제1 수평 방향을 따라 이동한다.
유리 기판(10)이 가공부(160)와 인접하도록 이송되면, 가공부(160)의 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 제1 이송부(152)의 하부로 이동한다. 스테이지(162)가 제1 이송부(152)의 하부에 위치한 상태에서 제1 이송부(152)가 하강하여 상기 가공할 유리 기판(10)을 스테이지(162)로 전달한다.
한편, 제1 이송부(152)가 유리 기판(10)의 이송을 위해 상기 제1 수평 방향을 따라 이동할 때, 스테이지(162)도 유리 기판(10)을 전달받기 위해 상기 제2 수평 방향으로 이동할 수 있다. 즉, 제1 이송부(152)의 이동과 스테이지(162)의 이동이 동시에 이루어질 수 있다.
제1 이송부(152)가 하부에 위치한 스테이지(162)로 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달한 후 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하면, 카메라부(170)는 상기 유리 기판(10)이 안착된 스테이지(162)를 촬영한다. 카메라부(170)에서 촬영된 영상을 이용하여 유리 기판(10)의 안착 상태를 확인한다.
유리 기판(10)의 안착 상태가 정상적인 것으로 확인되면, 유리 기판(10)의 가공을 위해 스테이지(162)가 상기 제2 수평 방향을 따라 가공부(160)로 이동한다. 이후, 가공부(160)에서 유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 수행된다.
유리 기판(10)에 대한 가공 공정이 완료되면, 스테이지(162)는 가공이 완료된 유리 기판(10)을 지지한 상태로 가공부(160)로부터 상기 제2 수평 방향을 따라 제2 이송부(154)의 하부까지 이동한다. 스테이지(162)가 제2 이송부(154)의 하부에 위치한 상태에서 제2 이송부(154)가 하강하여 스테이지(162)로부터 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달받는다.
이후, 제2 이송부(154)는 가공부(160)로부터 전달받은 수평 상태의 가공이 완료된 유리 기판(10)을 상기 제1 수평 방향을 따라 언로더부(140)로 이송한다.
언로더부(140)는 제2 이송부(154)에 수평한 상태로 지지된 유리 기판(10)을 고정한 후, 상기 제2 방향을 따라 이동하면서 상기 수평 상태의 유리 기판(10)을 수직 상태로 회전시킨 후 제2 카세트(122)로 전달한다.
제2 카세트(122)에 유리 기판(10)의 적재가 완료되면, 제2 카세트(122)를 언로딩 포트부(120)로부터 언로딩한다.
한편, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 같이 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 제1 이송부(152)가 로더부(130)로부터 가공할 유리 기판(10)을 전달받는 공정과 제2 이송부(154)가 언로더부(140)로 가공이 완료된 유리 기판(10)을 전달하는 공정이 동시에 이루어질 수 있다.
또한, 제1 이송부(152)와 제2 이송부(154)가 동시에 같이 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하는 경우, 스테이지(162)가 제2 이송부(154)의 하부로 이동하여 상기 가공이 완료된 유리 기판(10)을 제2 이송부(154)로 전달한 후, 바로 제1 이송부(152)의 하부로 이동하여 제1 이송부(152)로부터 상기 가공할 유리 기판(10)을 전달받을 수 있다. 따라서, 이송부(150)와 스테이지(162) 사이에서 유리 기판(10)의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 가공부들을 이송부의 이동 경로 양측에 배치하므로, 상기 이송부의 이동 경로를 단축할 수 있을 뿐만 아니라 배치 가능한 상기 가공부들의 개수도 증가시킬 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판 가공 장치의 공간 효율성을 향상시킬 수 있다.
상기 유리 기판 가공 장치는 이송부 및 가공부의 스테이지를 이용하여 유리 기판을 로딩 및 언로딩하므로, 상기 유리 기판의 로딩 및 언로딩에 소요되는 시간을 줄일 수 있다. 또한, 상기 유리 기판 가공 장치는 이송부와 카메라부가 분리되어 있으므로, 상기 이송부의 유리 기판 이송과 상기 카메라부의 스테이지에 안착된 유리 기판의 촬영이 같이 이루어질 수 있다. 따라서, 상기 유리 기판의 가공 사이클 타임을 줄여 상기 유리 기판 가공 장치의 생산성을 향상시킬 수 있다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예를 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야의 숙련된 당업자는 하기의 특허 청구 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100 : 유리 기판 가공 장치 110 : 로딩 포트부
112 : 제1 카세트 120 : 언로딩 포트부
130 : 로더부 140 : 언로더부
150 : 이송부 152 : 제1 이송부
154 : 제2 이송부 160 : 가공부
162 : 스테이지 164 : 정비 공간
170 : 카메라부 180 : 샘플링부
10 : 유리 기판

Claims (3)

  1. 제1 수평 방향을 따라 이동하며, 가공될 유리 기판을 및 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 이송부;
    상기 이송부의 이송 경로와 인접하도록 배치되어 상기 유리 기판에 대한 가공 공정을 수행하고, 상기 제1 수평 방향과 수직하는 제2 수평 방향을 따라 상기 유리 기판에 대한 가공이 수행되는 가공 위치와 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 이송부로 전달하고 상기 가공될 유리 기판을 전달받기 위한 로딩/언로딩 위치 사이를 이동하는 스테이지를 갖는 가공부; 및
    상기 이송부와 개별적으로 동작하기 위해 상기 이송부와 다른 높이에서 상기 제1 수평 방향을 따라 이동하도록 구비되며, 상기 이송부로부터 상기 스테이지로 전달된 상기 가공될 유리 기판의 위치를 확인하기 위한 카메라부를 포함하고,
    상기 이송부는 상기 가공될 유리 기판을 이송하기 위한 제1 이송부와 상기 가공이 완료된 유리 기판을 이송하는 제2 이송부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리 기판 가공 장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서, 상기 가공될 유리 기판을 상기 스테이지로 로딩하거나 상기 가공이 완료된 유리 기판을 상기 스테이지로부터 언로딩하기 위해 상기 제1 이송부 및 상기 제2 이송부는 상하 방향을 따라 승강 가능하도록 구비되는 것을 특징으로 하는 유리 기판 가공 장치.
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Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007269483A (ja) * 2006-03-31 2007-10-18 Daihatsu Motor Co Ltd パレット搬送装置
JP2008016704A (ja) * 2006-07-07 2008-01-24 Sony Corp 半導体レーザ装置の製造方法および製造装置

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