TWM431163U - Glass substrate transportation device - Google Patents
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Description
M431163 101年.04月18日梭正替k頁 五、新型說明: 【新型所屬之技術領域】 [〇〇〇1]本新型係有關一種搬運裝置,尤指一種玻璃基板搬運裝 置。 【先前技術】
[0002]隨著平面顯示器的快速發展,各種面板薄型化設計以及 大型面板的技術逐漸成熟,並且平板電腦以及中小尺寸 產品的興起,帶起對於面板要求輕、薄的需求。促使研 發製造廠投入玻璃薄化以及強化的製程發展。而面板製 作過程中,需要對玻璃基板進行濾光片以及電晶體的製 作,過程中需要對該玻璃基板進行加工,因而必須多次 進行玻璃基板的移載運送,如何在不破壞玻璃基板的狀 況下進行運送,並進行精準的取放就顯得相當重要。 [0003]請參閱「圖1」所示,通常是使用基板移載裝置丨進行玻 璃基板2的運送,該基板移載裝置丨藉由真空吸盤( Vacuum Chuck)或靜電吸盤(Electr〇static Chuck )的方式進行固持,藉此避免在運送過程中使玻璃基板2 發生移位或掉落,造成定位不精準或損壞玻璃基板2的狀 況發生。且可藉由升降機構3進行垂直升降而將玻璃基板 2提高或置放於該基板移載裝置1的平台上固定,並利用 一機械手臂4對該玻璃基板2進行取放。請配合參閱「圖2 」所示,其係為「圖1」A-A割面線之結構示意圖,由於 升降機構3支撐於該玻璃基板2重心之區域以進行支撐, 隨著玻璃基板2的薄型化設計,該玻璃基板2容易發生翹 曲(Bending)的現象,造成機械手臂4的取放困難,且 ΗΗ20Π5户單编號A_ 第4頁/共17頁 1013144454-0 M431163 [ΐί年.04月18日修正替換頁 魅曲的玻璃基板2在作業過程中容易因為些微的振動而晃 動,増大玻璃基板2龜裂或破損的可能。 【新型内容】 [〇〇〇4]本新型之主要目的,在於縣_基板在垂直升降時之 受力不均而造成的起曲現象。 _]為達上述目的,本新型提供—種玻縣板搬運裝置其 係配合-取放機構騎—玻縣㈣取用與置放,該玻 璃基板搬《置包括有—移動基座、—第—編撐持模 組與-第二輔助_模組。該移動基座具有承載該玻璃 基板的-置放平台…設於該置放平台的㈣組件以 及一驅動該頂撐組件相對該置放平台垂直位移的第一動 力升降單it。該第-輔助撑持模組與該第二輔助標持模 組为別设置於該移動基座的―第—端緣以及_遠離該第 端緣的第一端緣,以輔助支撐該玻璃基板的一邊緣區 域。該第一輔助撐持模組以及該第二輔助撐持模組各包 含有至J 一輔助支撐件以及至少—驅動該輔助支撐件相 對該置放平台垂直位移的第二動力升降單元。 _6] *上錢日料知,本新型藉由該第—獅料模組以及 該第二辅助撐持模組輔助支撐該坡螭基板的邊緣區域, 避免該坡螭基板於垂直位移時,因該頂撐組件之頂撐受 力不均造成該玻螭基板翹曲的現象,而使得該取放機構 無法正確的取放該玻璃基板。除此之外,亦避免該玻璃 基板因組曲而發生龜裂或破損的可能。 【實施方式】 現就配合圖式說明 1013144454-0 [0007]有關本新型之詳細說明及技術内容, 10120175#單編號A〇101 第5頁/共17頁 M431163 _______ 101年.04月18日隹正替&頁 如下: 請參閱「圖3」及「圖4」所示’本新型係為一種玻璃基 板搬運裝置,其係配合一取放機構10進行一玻璃基板2〇 的取用與置放,該玻璃基板搬運裝置包括有一移動基座 30、一第一輔助撐持模組40與一第二輔助撐持模組5〇。 該移動基座30具有承載該玻璃基板20的一置放平台31、 一設於該置放平台31的頂撐組件32,以及一驅動該頂撑 組件32相對該置放平台31垂直位移的第一動力升降單元 33。該置放平台31中可具有至少一通孔311,該頂樓組件 32則設置於該通孔311内,並可完整的縮入該通孔311内 · ’以避免造成該玻璃基板20置放於該置放平台31上的干 擾。除此之外,一升降驅動模組60與該第一動力升降單 元33電性連接,提供一升降訊號61予該第一動力升降單 元33以控制該第一動力升降單元33相對該置放平台31垂 直位移。而該第一動力升降單元33可為馬達 '氣壓升降 設備或液壓升降設備等,而可供該頂撐組件32進行垂直 升降。並且,於本實施例中,該頂撐組件32具有四個並 以對應該玻璃基板2〇之重心為中心各間隔9〇度而相互對 β
稱。又置。s亥取放機構丨〇具有兩取放臂1丨,該兩取放臂U 之間距係配合該破璃基板20之寬度,而可穩定的對該玻 璃基板20進行取放β έ亥第—輔助撐持模組4〇與該第二輔助撐持模組50分別設 置於。亥移動基座3〇的一第一端緣34以及一遠離該第一端 緣34的第二端緣35,以輔助支撐該玻璃基板20的一邊緣 區域21。|玄第-輔助料模組4〇以及該第二輔助稽持模 組50各包含有至少-辅助支撑件41、51以及至少一驅動 10120175#單織删1 第6頁/共17頁 1013144454-0 M431163 該輔助支撐件4i、 動力升降單元42、5卩
51相對該置放平台31垂直位移的第二 52 ^該第二動力升降單元42、52可為 馬達a壓升降設備或液壓升降設備等,藉此供該輔助 支撲件41 51進行垂直位移。為了使該頂擇組件、該 第輔助揮持振組40及該第二輔助樓持模組5〇同步進行 垂直位移’避免該玻填基板20受力不均的問題,本新型 更具有訊號擷取模組9〇 ’其與該升降驅動模組60以及 該第二動力升降單元42、52電性連接,擷取該升降堪動 模組6G傳送至該第—動力升降單元33之—料訊號61, 並知:供至s亥第二動力升降單元42、52,進而使該第一輔 助撐持模組40與該第二輔助撐持模組5〇可同步於該頂撐 組件32之垂直位移。 於本實施例中’該第一輔助撐持模組4〇與該第二輔助撐 持模組50各具有兩個該輔助支撐件41、51以及兩個該第 二動力升降單元42、52,兩個該輔助支撐件41、51之間 具有一間隔距離,該間隔距離小於該玻璃基板2〇之寬度 。為了避免該輔助支撐件41、51干擾該取放機構10進行 該玻璃基板20的取放,該兩輔助支撐件41、51之間隔距 離係小於該兩取放臂11之間的距離,亦即,該輔助支撐 件41、51係位於該兩取放臂11之間’而可避免取放臂11 與該輔助支撐件41、51之間的干擾。 為了增加該取放機構10的取放變化性’本新型亦可透過 不同方向進行該玻璃基板20的取放,該移動基座30更具 有一垂直該第一端緣34的第三端緣36以及一遠離該第三 端緣36的第四端緣37,一第三輔助撐持模組70與一第四 輔助撐持模組80分別設置於該第三端緣36以及該第四端 1013144454-0 10120175#單編號 A0101 M431163 梭正 101年04月18日 緣37以輔助切該玻璃基板2G的該邊緣區域2卜該第三 輔助撐持模組7〇與該第四輔料持模細之結構相同於 該第-輔助撐制組40以及該第二辅㈣持模組5〇而具 2辅助支撐件71、8UX及第4力料單元72 82。另
需說明的是,該玻璃基板20係為長方形,因而由該第一 端緣34進人該移動基座30㈣行置放時,該玻璃基板2〇 僅可藉由該第一輔助標持模組40以及該第二輔助撐持模 組50進行輔助支推,而不會接觸職第三輔助標持模組 70以及該第四辅祕持模刚。而由該第三端緣36或該 第四端緣37進入該移動基座3〇時,該玻璃基板2〇僅可藉 由該第三輔助撐持模組7〇及第四輔助撐持模組8〇進行輔 助支撐》 綜上所述’本新型具有下列特點: 一、藉由該第一輔助撐持模組、該第二輔助撐持模組、 該第二輔助撐持模組以及該第四輔助撐持模組辅助支撐 該玻璃基板的邊緣區域,避免該玻璃基板於垂直位移時 ,因該頂撐組件之頂撐受力不均造成該玻璃基板翹曲的 現象’而使得該取放機構無法正確的取放該玻璃基板。 一、避免該玻璃基板因魅曲而發生龜裂或破損的可能。 三、利用該訊號擷取模組擷取該升降訊號,而可同步該 第一動力升降單元以及該第二動力升降單元之升降位移 ’以避免該玻璃基板於升降過程中受力不均。 因此本新型極具進步性及符合申請新型專利之要件,爰 依法提出申請,祈鈞局早日賜准專利,實感德便。 以上已將本新型做一詳細說明,惟以上所述者,僅爲本 新型之一較佳實施例而已,當不能限定本新型實施之範 1013144454-0 10120175产單编號删1 第8頁/共17頁 M431163 101年.04月18日修正替換頁 圍。即凡依本新型申請範圍所作之均等變化與修飾等, 皆應仍屬本新型之專利涵蓋範圍内。 【圖式簡單說明】 [0008] 圖1,為習知技術的立體結構示意圖。 [0009] 圖2,為習知技術的側面撐持示意圖。 [0010] 圖3,為本新型一較佳實施例之立體結構示意圖。 [0011] 圖4,為本新型一較佳實施例之方塊配置示意圖。
【主要元件符號說明】 [0012] 習知技術 [0013] 1 :基板移載裝置 [0014] 2 :玻璃基板 [0015] 3 :升降機構 [0016] 4 :機械手臂
[0017] 本新型 [0018] 10 :取放機構 [0019] 11 :取放臂 [0020 ] 20 :玻璃基板 [0021] 21 :邊緣區域 [0022] 30 :移動基座 [0023] 31 :置放平台 仙腦卢單编號A0101 第9頁/共17頁 1013144454-0 M431163 [0024] 311 :通孔 [0025] 32 :頂撐組件 [0026] 33 :第一動力升降單元 [0027] 34 :第一端緣 [0028] 35 :第二端緣 [0029] 36 :第三端緣 [0030] 37 :第四端緣 [0031] 40 :第一輔助撐持模組 [0032] 41 :輔助支撐件 [0033] 42 :第二動力升降單元 [0034] 50 :第二輔助撐持模組 [0035] 51 :輔助支撐件 [0036] 52 :第二動力升降單元 [0037] 60 :升降驅動模組 [0038] 61 :升降訊號 [0039] 70 :第三輔助撐持模組 [0040] 71 :輔助支撐件 [0041] 72 :第二動力升降單元 [0042] 80 :第四輔助撐持模組 [0043] 表單编號 81 :輔助支撐件 A0101 第 10 頁 101年.04月18日修正替^頁
1013144454-0 M431163 101:年04月18日修正替換頁 [0044] 82 :第二動力升降單元 [0045] 90 :訊號擷取模組 • 1012017#單編號 A〇101 第11頁/共17頁 1013144454-0
Claims (1)
- M431163 101年04月18日梭正替换頁 Γ、申請專利範圍: 1 . 一種玻璃基板搬運裝置,其係配合一取放機構進行一玻璃 基板的取用與置放,該玻璃基板搬運裝置包括有: 一移動基座,具有承載該玻璃基板的一置放平台、一設於 該置放平台的頂撐組件,以及一驅動該頂撐組件相對該置 放平台垂直位移的第一動力升降單元;及 一第一輔助撐持模組與一第二輔助撐持模組,分別設置於 該移動基座的一第一端緣以及一遠離該第一端緣的第二端 緣以輔助支撐該玻璃基板的一邊緣區域,該第一輔助撐持 模組以及該第二輔助撐持模組各包含有至少一輔助支撐件 < 以及至少一驅動該輔助支撐件相對該置放平台垂直位移的 第二動力升降單元。 2 .如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中更 具有一與該第一動力升降單元電性連接以控制該第一動力 升降單元之垂直位移的升降驅動模組。 3. 如申請專利範圍第2項所述之玻璃基板搬運裝置,其中更 具有一與該升降驅動模組以及該第二動力升降單元電性連 | 接的訊號擷取模組,其擷取該升降驅動模組傳送至該第一 動力升降單元之一升降訊號,並提供至該第二動力升降單 元。 4. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中該 第一動力升降單元以及該第二動力升降單元為選自於由馬 達、氣壓升降設備及液壓升降設備之任一。 5. 如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中該 頂撐組件具有四個並以對應該玻璃基板之重心為中心各間 隔90度而相互對稱設置。 1〇1麗5产單编號A0101 第12頁/共17頁 1013144454-0 M431163 101年.04月18日修正替換頁 6.如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中該 第一輔助撐持模組與該第二輔助撐持模組各具有兩彳固該輔 助支撐件以及兩個該第二動力升降單元,兩個該輔助支撐 件之間具有一間隔距離,該間隔距離小於該玻璃基板之寬 度。 7.如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中該 移動基座更具有一垂直該第一端緣的第三端緣以及一遠離 該第三端緣的第四端緣,一第三輔助撐持模組與一第四輔 助撐持模組分別設置於該第三端緣以及該第四端緣以輔助 • 支撐該玻璃基板的該邊緣區域。 。 8 .如申請專利範圍第1項所述之玻璃基板搬運裝置,其中該 置放平台具有至少一通孔,該頂撐組件係設置於該通孔内 10120175#單編號繼01 第13頁/共17頁 1013144454-0
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101201753U TWM431163U (en) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | Glass substrate transportation device |
KR2020120007714U KR200469263Y1 (ko) | 2012-01-31 | 2012-08-30 | 유리 기판 운송 장치 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW101201753U TWM431163U (en) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | Glass substrate transportation device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
TWM431163U true TWM431163U (en) | 2012-06-11 |
Family
ID=46722982
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
TW101201753U TWM431163U (en) | 2012-01-31 | 2012-01-31 | Glass substrate transportation device |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR200469263Y1 (zh) |
TW (1) | TWM431163U (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
2012
- 2012-01-31 TW TW101201753U patent/TWM431163U/zh not_active IP Right Cessation
- 2012-08-30 KR KR2020120007714U patent/KR200469263Y1/ko not_active IP Right Cessation
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20130004797U (ko) | 2013-08-08 |
KR200469263Y1 (ko) | 2013-10-01 |
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