KR20040007999A - 반사투과형 액정표시장치 및 그의 제조방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (7)
- 기판 상에 제 1 방향으로 형성되며, 게이트 전극을 가지는 게이트 배선과;상기 게이트 배선과 교차되는 제 2 방향으로 위치하며, 소스 전극을 가지는 데이터 배선 및 상기 소스 전극과 일정간격 이격되게 형성된 드레인 전극과;상기 게이트 및 데이터 배선이 교차되는 영역으로 정의되는 화소 영역에서, 상기 드레인 전극과 연결형성된 화소 전극과;상기 데이터 배선 및 드레인 전극과 동일 공정에서 동일 물질로 이루어지며, 상기 화소 영역에 위치하고, 상기 화소 전극을 일부 노출시키는 투과홀을 가지는 반사층을 포함하며, 상기 투과홀을 통해 노출된 화소 전극과 대응되는 영역을 투과부로 가지고, 상기 반사층과 대응되는 영역을 반사부로 가지며, 상기 드레인 전극 및 데이터 배선과, 상기 반사층을 이루는 금속물질은 적어도 이중층 금속물질이며 최상부층을 이루는 금속물질은 반사특성을 가지는 금속물질에서 선택되는 것을 특징으로 하는 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 반사특성을 가지는 금속물질은 알루미늄(Al)을 포함하는 금속물질에서 선택되는 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 2 항에 있어서,상기 금속물질은 알루미늄네오디뮴(AlNd)인 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 데이터 배선 및 드레인 전극은 상기 반사층과 서로 일정간격 이격되게 위치하며, 이격거리 범위는 5 ㎛ ~ 7 ㎛인 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 제 1 항에 있어서,상기 게이트 배선의 일부로 이루어진 제 1 캐패시터 전극과, 상기 제 1 캐패시터 전극과 절연체가 개재된 상태에서 중첩되게 위치하며, 상기 데이터 배선과 동일물질로 이루어진 제 2 캐패시터 전극과, 상기 제 2 캐패시터 전극과 또 하나의 절연체가 개재된 상태에서 연결되는 화소 전극이 대응되는 영역은 스토리지 캐패시터(CST)를 이루는 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판.
- 증착막 또는 코팅막을 사진식각 공정에 의해 형성된 PR(photo resist)패턴에 의해 식각하는 마스크 공정을 이용하는 어레이 기판의 제조 공정에 있어서,기판 상에 제 1 금속물질을 이용하여 제 1 마스크 공정에 의해 게이트 전극을 포함하며, 제 1 방향으로 위치하는 게이트 배선을 형성하는 단계와;상기 게이트 배선을 덮는 기판 전면에 게이트 절연막을 형성하는 단계와;상기 게이트 전극을 덮는 게이트 절연막 상부에 제 2 마스크 공정에 의해 반도체층을 형성하는 단계와;상기 반도체층이 형성된 기판 상에, 반사특성을 가지는 금속물질을 최상부층으로 하며, 적어도 이중층으로 이루어진 금속물질을 이용하여 제 3 마스크 공정에 의해 소스 전극을 포함하고, 상기 게이트 배선과 교차되는 제 2 방향으로 형성되는 데이터 배선 및 상기 소스 전극과 일정간격 이격되는 드레인 전극 그리고, 상기 게이트 및 데이터 배선이 교차되는 영역으로 정의되는 화소 영역 상에 위치하며, 투과홀을 가지는 반사층을 형성하는 단계와;상기 데이터 배선 및 드레인 전극을 덮는 기판 전면에 제 4 마스크 공정에 의해, 상기 드레인 전극을 일부 노출시키는 드레인 콘택홀을 가지는 보호층을 형성하는 단계와;투명 도전성 물질을 이용하여, 제 5 마스크 공정에 의해 상기 드레인 콘택홀을 통해 드레인 전극과 연결되는 화소 전극을 형성하는 단계를 포함하며, 상기 투과홀과 대응되는 화소 전극과 대응되는 영역을 투과부로 하고, 상기 반사층과 대응되는 영역을 반사부로 하는 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
- 제 6 항에 있어서,상기 어레이 기판의 비액티브 영역에는, 상기 제 1 마스크 공정에서 제 1 얼라인 키를 형성하는 단계와, 상기 제 1 얼라인 키를 덮는 영역에 상기 게이트 절연막을 형성하는 단계와, 상기 제 1 얼라인 키와 대응되는 위치의 게이트 절연막 상부에 제 3 마스크 공정에서 제 2 얼라인 키를 형성하는 단계와, 상기 제 2 얼라인 키를 덮는 영역에 상기 보호층을 형성하는 단계와, 상기 제 4 마스크 공정에서 제 2 얼라인 키를 노출시키는 콘택홀을 형성하는 단계를 포함하는 반사투과형 액정표시장치용 어레이 기판의 제조 방법.
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