KR20030076973A - 레이저 가공장치 - Google Patents

Abstract

본 발명에 의한 레이저 가공장치는, 편향거울에 의해 편향된 레이저광을 피가공물 위에 집광하기 위한 주사렌즈를 사용함으로서 편향영역내의 복수부위에 레이저광을 조사하여 가공을 실시하는 것이며, 상기 편향영역내의 복수의 다른 위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정하는 에너지 측정수단을 구비함으로서, 편향영역내의 복수의 다른 위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정할 수 있으며, 주사렌즈의 오염에 의한 레이저광의 조사되는 위치에 따른 부분적인 에너지 저하의 발생을 알 수 있으며, 그 정보를 기저로 하여 적정한 보수를 행함으로서 가공불량을 발생시키지 않고 장시간에 걸쳐서 안정한 가공을 실시하는 것을 가능하게 한 것이다.

Description

레이저 가공장치{LASER MACHINING APPARATUS}

최근의 휴대용 정보 전자기기등에는, 전자 회로기판에 도전층과 절연층이 복수회적층된 빌드업(buid-up)다층회로기판을 사용함으로서 회로의 고밀도화를 도모하고 기기의 소형화를 실현하고 있다. 그 빌드업 다층회로기판에서는, 절연층을 사이에 낀 도전층의 배선 패턴끼리의 도통을 얻기 위하여 바이어스홀 또는 관통홀로 칭하는 도통공이 절연층에 다수 설치되어 있으며, 이들 도통공의 천공공법으로서 레이저광을 이용하는 가공방법이 사용되고 있다.

이와 같이, 종래의 레이저광을 사용한 회로기판 천공용의 레이저 가공장치는 도 6과 같이 구성되어 있다. 레이저 발진기(1)에서 출사된 레이저광(2)은 한쌍의 편향거울, 일반적으로 검류계식 편향거울(5)(5a,5b)에 의해 반사되어, 주사렌즈(6)에 의해 피조사물, 예로써 피가공물(4)의 표면에 집광된다.

여기서, 검류계식 편향거울(이하, 편이상, '편향거울'이라 기재함)(5)을 사용하여 주사렌즈(6)에 입사하는 레이저광(2)의 각도를 변경시킴으로서 피가공물(4)의 표면상에 유한한 편향영역(7)이 얻어진다. 일반적으로, 편향거울(5)은 한쌍의 편향거울(5a,5b)에 의한 2개축으로 구성됨으로, 그 편향영역(7)은 구형형상으로 된다. 2개축의 편향거울(5a,5b)는 서로 자유자재로 각도를 변경함으로 편향영역(7)내 여러 부위에 자유자재로 레이저광(2)을 조사할 수가 있다. 피가공물(4)은 2개축으로 된 구동 테이블(3)에 고정되어 있으며, 1개의 편향영역(7)의 1변의 길이에 상당하는 거리만큼 이동시킴으로서, 피가공물(4)의 표면에 연속적으로 편광영역을 전개하여 피가공물(4)의 전체면을 가공하게 된다.

그러므로, 레이저 가공에서는 레이저광(20의 에너지에 의해 피가공물(3)의 재료성분을 제거하며 가공을 함으로, 좋은 가공을 행하기 위하여는 적정한 에너지의 레이저광(2)을 조사할 필요가 있다. 그때문에 그와 같은 종류의 레이저 가공장치에는 실제로 피가공물(40)에 조사되는 레이저광(2)의 에너지를 설정하기 위한 에너지 측정수단이 구비되어 있다.

종래의 레이저 가공장치에 구비된 레이저광의 에너지 측정수단의 1예를 도 7에 나타낸다. 에어 실린더(16)의 선단에 에너지 측정부(11)를 설치함으로서, 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면에 대향하는 위치에 에너지 측정부(11)를 출입 가능하게 하여 에너지를 측정하는 경우에만 에너지 측정부(11)를 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면에 대향하는 위치에 이동하여 에너지 측정을 행한다. 또, 에어 실린더(16)자체는, 가공헤드가 고정되어 있는 열(도면생략)에 부착·고정되어 있다.

이와 같이 설치된 종래의 에너지 측정수단(11)에는, 주사렌즈(6)의 중앙부를통과하는 레이저광의 에너지, 즉, 편향영역(7)의 중앙부에 조사되는 레이저광의 에너지만이 측정되도록 구성되어 있다.

그러나, 편광거울과 주사렌즈를 사용한 레이저 가공장치에서는 일반적으로 50㎜ 평방정도 크기의 편향영역내를 가공함으로, 종래의 레이저 가공장치와 같이 주사렌즈의 중앙부를 통과하는 레이저광의 에너지만을 측정하는 것만으로는 불충분한 경우가 있다.

다음, 그 이유에 대하여 상세히 설명한다.

레이저 가공에서는 레이저광의 에너지에 의해 제거된 피가공물의 재료성분이 가공 쓰레기로서 발생하나, 편향거울과 주사렌즈를 사용한 레이저 가공장치에서는, 그 가공 쓰레기가 주사렌즈의 레이저광 출사측 표면에 부착함으로서 레이저 광의 통과가 저해되어, 적정한 에너지가 피가공물에 조사되지 않는 경우가 있다. 그때문에, 도 8에 나타난 것같이, 통상의 편향거울(5)과 주사렌즈(6)를 사용한 레이저 가공장치에서는, 주사렌즈(6)의 근방에 집진덕트(20) 또는 에어커튼(21)등의 오염방지수단을 설치함으로서, 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면에의 가공 쓰레기 (22)의 부착을 방지하고 있다.

그러나, 이와 같은 종류의 레이저 가공장치에 사용되는 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면의 구경은100㎜ 전후로 비교적 큰 면적을 가짐으로 상기의 오염방지수단을 설치하여도 부분적으로 공기의 흐름이 불충분하게 또는 흐름의 정체가 발생함으로 오염방지가 불완전하게 되는 부위가 생긴다. 이와 같은 부위에는 장기간의 사용에 따라 점차로 가공 쓰레기(22)가 부착하여 레이저광(2)의 통과가저해되는 상태로 된다. 이와 같은 가공 쓰레기(2)가 부착하여 주사렌즈(6)의 표면이 오염된 부분을 레이저광(2)이 통과하면, 가공 쓰레기(22)에 의해 레이저광(2)의 흡수 또는 산란이 발생하여, 피가공물(4)에 도달하는 에너지가 감소함으로 편향구역내에서 에너지의 불균일이 생긴다.

특히 도 8에 나타난 것같은 오염방지수단의 경우에는, 집진덕트(20)의 근방의 주사렌즈(6)의 주변에 가까운 부위에서 흐름의 부족 또는 정체가 발생함으로 그 부위에 가공 쓰레기(22)가 부착하기 쉬운 경향이 있다.

주사렌즈(6)의 주변에 가까운 부위에 가공 쓰레기(22)가 부착하여 오염이 발생하여도, 주사렌즈(6)의 중앙부근에는 충분한 흐름이 있어 상기의 오염방지수단이 유효하게 작용함으로 가공 쓰레기(22)의 부착을 방지할 수가 있어, 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면의 오염은 생기지 않는다.

그와 같은 상황하에서, 주사렌즈(6)의 중앙부를 통과하는 레이저광(2)의 에너지만을 측정하여 에너지의 설정을 행하며는, 가공 쓰레기(22)가 부착하여 오염된 부위에 대응한 편향영역내의 위치에서는 에너지 부족으로 되어, 그 위치에서는 우수한 가공이 곤란하게 된다. 경험적으로는, 예로써, 프린트 배선기판의 구성재료인 에폭시수지의 가공 쓰레기가 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면의 일부에 부착하며는, 그 부위에서는 20%이상의 에너지가 저하하여, 그것을 알아채리지 않고 가공을 행하면 편향영역의 일부가 가공불량으로 된다. 그와 같은 경우에는, 알코올등에 의해 주사렌즈(6)의 하면의 세정을 함으로서 오염을 제거하여, 편향영역 전체가 우량하게 가공되게 할 필요가 있다. 그와 같이, 주사렌즈(6)의 레이저광 출사측 표면에의 가공 쓰레기의 부착에 의한 편향영역내에서의 에너지의 불균일이 발생하여도, 세척등의 적정한 보수를 하며는 에너지 상태를 양호하게 되나, 오염의 진전정도는 가공내용에 따라 다르므로, 적정한 보수시기를 정할 수가 있다. 또 보수빈도를 많이 하며는 생산성을 저해하는 문제도 발생한다.

이상과 같이, 종래의 레이저 가공장치에서는 주사렌즈의 중앙부를 통과하는 레이저광의 에너지만의 측정을 행하지 않음으로, 주사렌즈의 레이저광 출사측 표면의 부분적 오염에 의한 편향영역내의 에너지의 불균일을 파악할 수가 없어, 가공불량을 발생하는 경우가 있다. 특히 이와 같은 종류의 레이저 가공장치에 있어서는 단시간에 대량의 생산이 이루어짐으로, 한번 상기와 같은 가공불량이 발생하며는 막대한 손실로 발전된다. 그때문에, 주사렌즈의 불균일한 오염을 파악하는 것이 과제로 되어 있었다.

본 발명은 상기와 같은 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 편향영역내의 에너지이 불균일을 검출함으로서, 주사렌즈의 표면의 부분적 오염을 판단하여, 주사렌즈 표면의 세정등의 적정한 보수를 실시함으로서, 안정한 가공품질이 얻어지는 레이저 가공장치를 얻는 것을 목적으로 한다.

본 발명은 가공장치 특히 레이저광의 에너지의 측정에 관한 것이다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 개략 구성도이다.

도 2는 본 발명의 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 주사렌즈의 편향영역과 에너지 측정부의 측정위치와의 관계를 설명하는 개략도이다.

도 3은 본 발명의 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 동작 플로차트이다.

도 4는 본 발명의 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 에너지 측정부의 부착위치를 설명하기 위한 개략도이다.

도 5는 본 발명의 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 에너지 측정부의 보호기구를 설명하기 위한 개략도이다.

도 6은 종래의 레이저 가공장치의 구성도이다.

도 7은 종래의 레이저 가공장치의 레이저광의 에너지 측정수단의 설명도이다.

도 8은 주사렌즈에의 가공 쓰레기의 부착을 설명하는 설명도이다.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

3: 구동 테이블, 4 : 피가공물,

5a,5b : 편향거울, 6 : 주사렌즈,

7 : 편향영역, 9 : 되돌림 거울,

11 : 에너지 측정부, 11a : 수광부,

13 : 가공헤드부, 14 : 관찰용 카메라 렌즈,

15 : 보호커버, 16 : 개폐구동기구,

22 : 가공 쓰레기.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)

실시의 형태 1.

본 발명의 실시의 형태 1에 의한 레이저 가공장치를 도 1 ~ 도 5를 사용하여 설명한다.

도 1은 본 발명의 실시의 형태 1에 의한 레이저 가공장치의 개략 구성도이다. 도 1에서, 부호 1 ~ 7은 종래의 것과 동일 또는 상당한 것으로 상세한 설명을 생략한다. 9는 되돌림 거울, 13은 가공헤드부이다.

여기서, 편향거울(5a,5b), 주사렌즈(6) 및 되돌림 거울(9)은 상하방향, 즉구동 테이블(3)의 면에 수직방향으로 이동 가능한 가공헤드부(13)의 중간에 조립되어 있다.

편향거울(5a,5b)을 2개축으로 구성하여 주사렌즈(6)에 입사하는 레이저광(2)의 각도를 변경함으로서 피가공물(4)의 표면상에 유한한 구형형상의 편향영역(7)이 얻어진다. 2개축의 편향거울(5a,5b)은 서로 자유자재로 각도를 변경됨으로 편향영역(7)내에 있는 위치에 자유자재로 레이저광을 조사할 수가 있다. 피가공물(4)은 2개축으로 구동 테이블(7)에 진공흡착에 의해 고정되어 있으며, 하나의 편향영역 (7)의 가공이 종료하며는 구동 테이블(3)에 의해 편향영역(7)의 한변의 길이에 상당하는 거리 만큼 이동함으로서, 피가공물(4)위에 연속적으로 편향영역(7)을 전개하여 피가공물(4)의 가공대상의 면을 전면 가공할 수가 있다.

11은 구동 테이블(3)의 1단에 피가공물(4)과의 간섭을 피한 위치에 조립된 에너지 측정수단으로서의 에너지 측정부이다. 또한, 구동 테이블(3)은, 본래의 피가공물(4)의 가공범위뿐 아니라, 충분히 큰 가동범위를 이동하는 것이다. 이와 같이 에너지 측정부(11)를 구동 테이블(3)의 1단에 부착하여 구동 테이블(3)과 일체로 이동 가능하게 함으로서, 에너지 측정부(11)만을 이동하는 기구를 별도로 설치하지 않고 편향영역(7)내의 임의의 위치에 조사되는 에너지광의 에너지를 측정할 수가 있다.

도 2는 본 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 주사렌즈의 편향영역과 에너지 측정부의 측정위치와의 관계를 설명하는 개략도이다.

편향영역(7)에 관하여 레이저광(2)의 에너지를 측정하기 위한 위치를 결정하기 위해 편향영역(7)을 직행 좌표계에 의해 격자상으로 분할하는 경우를 나타낸다. 편향영역(7)내를 격자상으로 분할하여 각 측정위치(Pn)(n = 1,2 …9)에 에너지 측정부(11)의 수광부(11a)가 이동하도록 구동 테이블(3)을 이동함으로서, 편향영역 (7)내에 사전 결정한 위치에 조사되는 레이저광(2)의 에너지를 측정할 수가 있다. 이와 같이 사전 결정된 측정위치에서의 에너지를 측정함으로서, 단시간에 주사렌즈 (6)의 많은 부위의 오염의 상태를 파악할 수가 있다.

또, 이경우 격자의 간격의 설정은 주사렌즈(6)의 직경 및 주사렌즈(6)를 통과하는 레이저광(2)의 크기등에 따라 적절히 변경하는 것이 바람직하다.

도 2에서, 가령 편향영역(7)내의 측정위치(P3)점에 레이저가 조사되는 경우에 레이저광이 통과하는 주사렌즈(6)의 해당부위(A)에 가공 쓰레기(22)가 부착하여 있으면, 해당부위(A)를 통과하는 레이저광(2)은 흡수, 산란을 받음으로 다른 측정위치의 에너지 측정위치와 비교하여 측정되는 에너지의 치가 낮음으로 주사렌즈(6)의 해당부위(A)의 오염을 검지할 수가 있다.

또한, 본 예에서는, 편향영역(7)을 격자상으로 분할된 경우를 설명하였으나, 반드시 격자상으로 분할됨 없이 경험적으로 오염이 발생하기 쉬운 주사렌즈(6)의 부위에 대응하는 복수의 측정위치를 사전 결정하면 된다.

또, 본 예에서는, 사전에 측정위치를 결정하여 놓는 경우를 설명하였으나, 각 측정시에 필요에 따라 적절히 측정위치를 변경하여도 되는 것은 말할 필요가 없다.

또한, 상기의 예에서는, 구동 테이블(3)에 설치된 에너지 측정부(11)의 수광부(11a)는 1개이며, 그 수광부(11a)를 가정적으로 격자상으로 분할한 측정위치(Pn)에 대응하여 이동시킨 경우를 나타냈으나, 사전에 복수개의 수광부(11a)를 준비하여 편향거울(5a,5b)의 이동에 의해 레이저광(2)을 복수개의 수광부(11a)에 유도하도록 하는 것도 가능한 것은 물론이다.

도 3은, 본 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 동작 플로차트이며, 다수의 피가공물에 대해서 사전에 결정된 매수가 가공될때마다, 상기의 편향영역내의 복수의 다른 위치에 조사되는 레이저광의 에너지 측정을 자동적으로 실시하는 경우의 1예이다.

피가공물 1매식 구동 테이블 위에 반입되어 가공이 이루어지며, 가공이 완료하며는 반출된다. 여기서, 가공매수의 카운트(n), 에너지 측정을 행하기 위한 매수(m) 및 결정된 허용치(△)를 각각 사전에 설정하고(s1a,s1b,s1c), 가공할때마다 n을 가산하도록 한다(S5).

연산 n/m의 나머지가 0이 된 시점(S3)에서 에너지 측정을 실시하도록 한다 (S7).

다음, 편향영역내의 다른 측정위치에서 측정된 에너지의 측정치 또는 측정치의 연산결과와 사전에 결정된 허용치와의 비교를 함으로서 조사되는 에너지의 저하를 검지할 수가 있다. 도 3에 나타난 예에서는, 100매의 가공을 행할때마다 편향영역내의 각 측정위치에서의 레이저광의 에너지를 측정하고, 그 측정치에 관하여 최소치/평균치를 구하고, 사전에 설정된 허용치(△)를 초과한 경우를 검출하는 예이다. 예를 들면 △ = 0.8로 하여 최소치/평균치 < 0.8를 판단하는 것으로(S8),편향영역 전체의 에너지 측정치의 평균치에 대해서 20%이상의 에너지 저하가 생기는 측정위치가 발생한 경우에는, 레이저 가공장치의 제어장치(도면생략)를 통하여 알람출력, 예로써 경고등의 점등 또는 경고음의 발생등을 행하여 주사렌즈의 세정등의 실시를 촉진하는 처리를 한다(S9).

이상과 같이, 편향영역이 다른 측정위치에서의 측정치를 연산하고, 에너지의 저하량을 비율로 구하여 허용치와 비교하는 방법을 사용함으로서, 가공조건에서 설정되는 레이저광의 에너지의 절대치의 대소에 좌우됨 없이, 편향영역내의 특정위치에서의 의미 있는 에너지의 저하를 정확하게 검출, 파악할 수가 있다.

또한, 매회의 편향영역내의 각 측정위치의 에너지 측정치는 레이저 가공장치의 제어장치내의 기록장치에 보존하도록 하며(S71), 또, 필요에 따라 제어장치내의 조작 화면상에 측정 에너지의 그래프 표시를 행하게 하다(S72). 이와 같은 데이터 보존 및 그래프 표시를 행하는 수단을 설치함으로서 주사렌즈의 어느 부위가 오염되어 있는가를 파악할 수 있음과 동시에 각 부위에서의 에너지의 시간적 변화를 파악할 수가 있어 주사렌즈의 세정을 행하는 적정한 시간을 알 수가 있다.

이상과 같은 동작 플로차트에 의거하여 가공을 실시함으로서, 주사렌즈의 가공 쓰레기의 부착으로 에너지 저하에 의한 가공불량을 발생시킴 없이, 적정한 보수를 실시하면서 가공이 실시됨으로 장시간에 걸쳐서 안정한 대량가공이 가능하게 된다. 또, 보존되는 데이터에서 적정한 보수시기등의 정보의 획득이 가능하게 되어, 필요 최소한의 보수를 행함으로 생산성에의 영향을 억제할 수 있다.

또한, 제3에는 사전에 결정되는 스케줄을 가공 매수에 의거하여 결정하고 있으나, 예로써 그외에 피가공물을 가공한 적산시간에 의거하여 실행하여도 된다.

도 4는, 본 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 에너지 측정부(11)의 부착위치를 설명하기 위한 개략도이다. 상기와 같이, 에너지 측정부(11)는 구동 테이블(3)에 부착되어 있으나, 그와 같이 구동 테이블(3)에 부착시키는 경우, 구동 테이블(3)을 이동했을때 가공헤드(13)에 부착된 관찰용 카메라 렌즈(14)등의 부재와 에너지 측정부(11)와의 간섭을 고려할 필요가 있다. 따라서, 에너지 측정부 (11)는 구동 테이블(3)에 오목부를 설차하여 구동 테이블(3)의 표면 즉 피가공물(도면생략)의 배치면 보다도 낮은 위치에 부착도록 한다. 이와 같이 에너지 측정부(11)를 구동 테이블(3)의 표면보다도 낮은 위치에 부착함으로서 가공헤드부(13)의 둘레에 부착된 관찰용 카메라 렌즈(14)등의 간섭을 피할 수가 있다.

또, 피가공물(4)을 가공할때, 레이저광(2)은 구동 테이블(3)의 표면 근방에 집광됨으로 그대로의 상태에서 에너지 측정수단(11)에 의해 에너지 측정을 행하며는 에너지 밀도가 너무 높기 때문에 에너지 측정부(11)의 수광부(11a)를 손상시킬 염려가 있다.

따라서 에너지 측정시는 가공헤드부(13)를 구동 테이블(3)의 표면에 대해서 상하방향으로 이동시킴으로서 주사렌즈(6)의 높이위치를 변경하여, 수광부(11a)에 대해서 레이저광(2)이 촛점이탈 상태에서 조사되게 된다. 이와 같이 가공시와 측정시에 주사렌즈(6)의 높이위치를 조정하는 수단(도면생략)을 구비함으로서 에너지 측정부(11)의 수광부(11a)에 손상을 주지않고 장기간에 걸쳐서 안정한 에너지 측정이 가능하게 된다. 또한, 본 실시의 형태의 것에서는 측정시에 주사렌즈(6)를 내림으로서 촛점이탈 상태를 얻고 있으나, 올림으로서 촛점이탈 상태를 얻도록 하는 것도 말할 필요가 없다.

도 5는 본 실시의 형태에 의한 레이저 가공장치의 에너지 측정부(11)의 보호기구를 설명하기 위한 개략도이다, 도 5에서, 15는 에너지 측정부(11)를 보호하기 위한 보호커버이며, 16은 에어실린더로 된 보호커버(15)의 개폐구동기구이다. 이와 같이 에너지 측정부(11)에 대해서 가동식의 보호커버(15)를 설치하고, 도 5(a)에 나타난 것같이, 피가공물(도면생략)의 가공시등, 통상적으로 보호커버(15)에 의해 에너지 측정부(11)의 상면을 덮어 에너지 측정부(11)를 보호한다. 그리고 도 5(b)에 나타난 것같이, 에너지 측정시에만 개폐구동기구(16)에 의해 보호커버(15)를 열음으로서 에너지 측정부(11)의 수광부(11a)에 대해서 가공 쓰레기등이 부착하는 것이 방지되어 장기간에 걸쳐서 안정한 에너지 측정이 가능하게 된다.

본 발명은, 편향거울에 의해 편향된 레이저광을 피가공물 위에 집광하기 위한 주사렌즈를 구비하며, 상기 편향거울과 상기 주사거울을 사용함으로서 편향영역내의 복수의 위치에 레이저광을 조사하여 가공을 하는 레이저 가공장치이며, 상기편향영역내의 복수의 다른 측정위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정하는 에너지 측정수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

그러므로, 편향영역내의 복수의 다른 위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정할 수 있으며, 주사렌즈의 오염에 의한, 레이저광의 조사되는 위치에 의한 부분적인 에너지 저하의 발생을 알 수가 있으며, 그 정보를 기저로 적정한 보수를 행함으로서 가공불량을 발생시킴 없이 장기간에 걸쳐서 안정한 가공을 행하는 것을 가능하게 한 것이다.

또, 본 발명은, 에너지 측정수단이 피가공물을 배열하고 이동하는 구동 테이블에 설치되어 있는 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 에너지 측정수단만을 이동하는 기구를 별도로 설치함 없이 편향영역내의 임의의 위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 각 측정위치에서의 측정치를 사전에 설정된 허용치와 비교하는 비교수단을 구비하는 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 가공조건에서 설정되는 레이저광의 에너지의 절대치의 대소에 좌우됨 없이, 편향영역내의 특정위치에서의 부분적인 에너지의 저하를 정확하게 검출, 파악할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 측정치와 사전에 설정된 허용치를 기저로 하여 알람 출력을 하는 알람 발생수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 작업자가 주사렌즈의 표면의 오염을 인식하고, 주사렌즈의 표면의 세정등 적절한 보수를 행할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 에너지 측정을 사전에 결정한 스케줄로 실시하는 스케줄 수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 에너지 측정의 망각을 방지할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 측정치를 기억하는 기억수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 조사되는 에너지의 시간적 변화등을 파악할 수가 있으며, 또 기억된 측정치의 데이터를 기저로 하여, 적절한 보수 시기등을 유도하여 낼 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 측정된 레이저광의 에너지의 측정치를 그래프 표시하는 표시수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 조사되는 에너지의 시간적 변화 및 조사되는 위치에 의한 상위등을 파악할 수가 있으며, 또, 표시된 측정치의 데이터를 기저로 하여, 적절한 보수요령등을 유도하여 낼 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 에너지 측정수단이 구동 테이블의 피가공물을 배치한 배치면에 오목부를 설치하여 그 오목부내에 설치되는 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 에너지 측정수단이 가공헤드부의 둘레에 부착된 부재등과 간섭되는 것을 피할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 에너지 측정수단에는 촛점이탈된 상태에서 레이저광이 조사되도록 주사렌즈의 높이위치를 조정하는 촛점이탈 조정수단을 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 에너지 측정수단에 대하여, 적절한 강도의 레이저광의 입사가 가능하게 되어, 강도가 너무 높은 레이저광의 입사에 의한 에너지 측정수단의 손상을 방지할 수가 있는 것이다.

또, 본 발명은, 에너지 측정수단이 레이저광 수광부에 대해서 가동식의 보호커버를 구비한 레이저 가공장치를 제공하는 것이다.

따라서, 레이저광 수광부에 대하서 가공 쓰레기등이 부착하는 것을 방지할 수가 있어, 장기간에 걸쳐서 안정한 에너지 측정이 가능한 것이다.

이상과 같이, 본 발명에 의한 레이저 가공장치는, 예로써 휴대용 정보전자기기등에 사용되는 다층회로기판의 가공에 사용되는데 적합하다.

Claims (10)

1. 편향거울에 의해 편향된 레이저광을 피가공물상에 집광하기 위한 주사렌즈를 구비하고, 상기 편향거울과 상기 주사렌즈를 사용함으로서 편향영역내의 복수의 위치에 레이저광을 조사하여 가공을 행하는 레이저 가공장치에 있어서, 상기 편향영역내의 복수의 다른 측정위치에 조사되는 레이저광의 에너지를 측정하는 에너지 측정수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
2. 제1항에 있어서, 에너지 측정수단은, 피가공물을 배치하고 이동하는 구동 테이블에 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
3. 제1항에 있어서, 각 측정위치에서의 측정치를 사전에 설정된 허용치와 비교하는 비교수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
4. 제3항에 있어서, 측정치와 사전에 설정된 허용치를 기저로 하여 알람출력을 인출하는 알람 발생수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
5. 제1항에 있어서, 에너지 측정을 사전에 결정된 스케줄에서 실시하는 스케줄수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
6. 제1항에 있어서, 측정치를 기억하는 기억수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
7. 제1항에 있어서, 측정된 레이저광의 에너지 측정치를 그래프로 표시하는 표시수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
8. 제2항에 있어서, 에너지 측정수단은, 구동 테이블의 피가공물을 배치하는 배치면에 오목부를 설치하고 그 오목부내에 내설되는 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.
9. 제1항에 있어서, 에너지 측정수단에는 촛점이탈 상태에서 레이저광이 조사되도록 주사렌즈의 높이위치를 조정하는 수단을 구비한 것을 특징으로 하는 레이저가공장치.
10. 제1항에 있어서, 에너지 측정수단은, 레이저광 수광부에 대해서 가동식의 보호커버를 구비한 것을 특징으로 하는 레이저 가공장치.