KR20020067618A - 분석 시스템 및 분석 방법 - Google Patents

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KR20020067618A
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기쿠치츠토무
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닛폰산소 가부시키가이샤
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Abstract

가스를 상시 감시하는 분석계에서, 이상시에 연속 측정이 불가피해진 경우에도, 연속 감시 상태를 백업하는 동시에, 이상시의 원인 조사도 가능한 시스템 및 방법을 제공한다.
각 샘플링 포인트(10a, 20a, 30a)의 가스를 측정하는 분석계(11, 21, 31)의 시료 도입부에 3방 밸브나 4방 밸브(13, 23, 33) 등의 경로 절환 수단을 설치하여, 이상값 발생이나 고장 등의 이상시에 경로 절환 수단의 개폐를 제어함으로써, 이상이 있는 샘플링 포인트의 가스를 다른 분석계에서 연속 또는 간헐적으로 측정가능하게 한다.

Description

분석 시스템 및 분석 방법{System and process for analysis}
본 발명은 분석 시스템 및 분석 방법에 관한 것으로, 상세하게는 다수 종류의 샘플을 각 샘플에 대응한 다수 대의 분석계에서 각각 상시 연속 감시 분석하도록 형성한 분석 시스템 및 분석 방법에 관한 것이다.
예컨대, 공기 분리 장치나 가스 정제 장치 등의 가스 공급 설비에서는, 공급하는 가스의 순도, 가스 중의 불순물량을 감시하기 위해, 필요한 지점에 적당한 분석계를 설치하여 상기 연속 감시 분석을 행하도록 하고 있고, 반도체 제조 공장 등의 가스 사용 설비에서도 사용하는 가스를 연속 감시 분석하도록 하고 있다.
이 때, 공급하는 가스 또는 사용하는 가스가 다수 종류인 경우에는, 각 가스에 대응하여 각각 분석계를 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터 샘플 가스를 각각 채취하여 대응하는 분석계에 각각 도입하여, 각 분석계에서 소정의 분석 조작을 각각 행하도록 하고 있다.
또, 공기 분리 장치와 같은 가스 공급 설비에서는, 공급하는 가스 중의 불순물량을 다수의 지점에서 연속하여 분석하여, 불순물량이 각 점의 규정값을 넘을 때에는, 공기 분리 장치로부터 공급하는 가스를 차단하여 백업용으로 저류한 가스를 공급하도록 절환하는 인터 록 기능을 구비한 분석계를 이용하는 경우가 많았다. 이 경우, 백업용 가스는 어디까지나 긴급시에 사용하는 것으로, 그 양이 제한되기 때문에, 불순물량이 증가한 원인을 구명하여 대책을 취하여, 가능한 한 빨리 복구시켜 공기 분리 장치로부터의 가스 공급으로 되돌리게 하고 있다.
그러나, 불순물량의 증가가 공기 분리 장치가 원인이 아니라, 분석계의 고장이 원인이 되는 경우도 있으므로, 분석계에서 이상값이 측정된 가스 중에 이상값에상당하는 양의 불순물이 정말로 혼입되어 있는지, 분석계의 오보는 아닌지 여부를 포함하여, 재확인하는 것이 필요하게 된다. 이를 위해서는 대상이 되는 가스를 샘플러로 샘플링하여 분석 지점으로 보내어, 분석 지점에서의 분석 결과를 기다릴 필요가 있다. 그러나, 이 분석 지점에서의 분석에는 분석 지점으로부터의 빈 샘플러의 송부, 가스의 샘플링, 가스를 샘플링한 샘플러의 분석 지점으로의 반송, 분석 지점에서의 분석과 같은 된 순서가 필요하여, 분석 지점으로의 분석 의뢰에서 분석 결과가 나오기까지 서둘러도 수일간을 필요로 한다.
또, 분석계가 고장난 경우는 대체용으로 동일한 종류의 분석계를 긴급히 준비하여, 현지에 반입하여 배치한 후, 고장난 분석계가 수리될 때까지의 사이, 이 러한 대체용의 분석계에서 상시 연속 감시 분석을 행하도록 하고 있다. 그러나, 동일 종류의 분석계를 곧 입수할 수 있다고는 한정되지 않고, 제조 회사로의 수배나 운반, 설치, 조정 등을 고려하면, 수일간은 분석 불가능한 상태가 되어 버린다. 특히, 최근의 반도체 제조 분야에서는 사용하는 가스 중의 불순물 허용값이 ppb 레벨이 되기 때문에, 분석계도 고정밀도, 고감도인 것이 사용되고 있어, 범용의 분석계에 비해 매우 고가이기 때문에, 예비 분석계를 보유해 두는 것은 경제적으로 용이한 것은 아니다.
따라서, 공기 분리 장치의 운전 재개에는 1주간 정도 걸리는 경우도 있어, 통상 1일분 정도의 백업용 가스만으로는 충분하지 않아, 운전 재개까지는 다른 공기 분리 공장으로부터 액화 가스를 로리(lorry)로 1일 수회 정도 운반하여 저장고에 충전하여 계속 공급하지 않으면 안 되는 경우도 있다.
이와 같이, 분석계에서의 분석 결과에 일단 이상이 발생하면, 공기 분리 장치를 1주간 정도 중지하지 않으면 안 되어, 많은 인원을 번거롭게 하는 경우도 있어, 그 사이의 비용은 매우 큰 것이 된다. 또, 반도체 제조 공장 등의 가스 사용 설비에서도 가스의 순도 등에 이상이 발생했을 때에는, 분석계의 고장의 유무 확인에 동일한 시간을 필요로 하여, 그 사이 제조 라인을 정지하면, 상기 이상의 수고와 비용을 필요로 한다.
따라서, 본 발명은 상술한 바와 같은 가스 공급 설비나 가스 사용 설비에서는 예컨대 다수의 지점을 분석하거나, 다수의 가스 종류를 분석하거나 해도, 분석 대상이 되는 불순물의 종류가 유사한 경우가 많기 때문에, 하나의 분석계의 분석값에 이상이 발생한 경우, 그 이상 발생 원인이 가스 자체에 있는 것인지, 분석계에 있는 것인지를 단시간에 판정할 수 있는 동시에, 분석계에 고장이 발생한 경우에도 가스 공급 또는 사용 설비를 단기에 복원하는 것이 가능한 분석 시스템 및 분석 방법을 제공하는 것을 목적으로 하고 있다.
도 1은 본 발명의 분석 시스템의 제1 형태예를 도시한 계통도,
도 2는 하나의 분석계가 고장난 경우의 분석 방법을 도시한 것으로, 상시 연속 감시 분석을 행한 통상시의 상태를 도시한 설명도,
도 3은 동일하게 퍼지를 행하는 상태를 도시한 설명도,
도 4는 동일하게 대행 분석을 행하는 상태를 도시한 설명도,
도 5는 본 발명의 분석 시스템의 제2 형태예를 도시한 계통도,
도 6은 본 발명의 분석 시스템의 제3 형태예를 도시한 계통도,
도 7은 본 발명의 분석 시스템의 제4 형태예를 도시한 계통도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10, 20, 30, 40, 50 : 가스 경로
10a, 20a, 30a, 50a : 샘플링 포인트
11 : 질소용 분석계
12a, 12b, 22a, 22b, 32a, 32b, 42a, 52a, 52b : 분석 경로
13, 23, 33, 43 : 4방 밸브
13a, 13b, 23a, 23b, 33a, 33b : 내부 유로
14, 24, 34 : 송출측 대행 분석 경로
15, 25, 35 : 수입측 대행 분석 경로
14a, 14c, 15a, 15c, 24a, 24c, 25a, 25c, 34a, 34c, 35a, 35c : 차단 밸브
14b, 15b, 24b, 25b, 34b, 35b : 배출 경로
16, 26, 36, 56 : 2연 3방 밸브
16a, 16b, 26a, 26b, 36a, 36b, 56a, 56b : 밸브
17, 27, 37, 57 : 대행 분석 경로
18, 28, 38, 58 : 외부 가스 도입용 차단 밸브
21 : 수소용 분석계 31 : 아르곤용 분석계
41 : 질소용 분석계 51 : 헬륨용 분석계
61 : 공통 분석계 62 : 순서기
63 : 외부 시료 도입 밸브 100 : 대행 분석 경로
101 : 질소 대행 분석 경로
101a, 102a, 103a, 104a, 105a : 차단 밸브
101b, 102b, 103b, 104b : 배출 밸브
102 : 수소 대행 분석 경로 103 : 아르곤 대행 분석 경로
104 : 산소 대행 분석 경로 105 : 아르곤 송출 경로
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명의 분석 시스템은 제1 구성으로서 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 시스템에서, 각 분석계에는 각 분석계에 대응하는 샘플링 포인트로부터의 샘플을 각 분석계에 각각 도입하는 분석 경로와, 다른 분석계 중에서 동일한 종류의 분석 대상을 분석이 가능한 분석계에 상기 샘플을 송출하는 송출측의 대행 분석 경로가 각각 경로 절환수단을 통해 절환가능하게 접속하고 있고, 적어도 하나의 분석계에는 경로 절환 수단을 통해 다른 분석계로부터 송출된 샘플을 받아들이는 수입측의 대행 분석 경로가 접속되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 상기 구성에서 상기 경로 절환 수단이 3방 밸브 또는 4방 밸브인 것을 특징으로 하고, 또 상기 대행 분석 경로는 이 대행 분석 경로를 차단하는 밸브를 가지는 동시에, 이 대행 분석 경로로부터 시스템 외로 연통하는 배출 경로와 이 배출 경로를 차단하는 밸브를 가지는 것, 상기 대행 분석 경로는 샘플끼리가 반응성을 가지지 않는 분석계 사이에 접속되어 있는 것을 특징으로 하고 있다.
본 발명의 분석 시스템의 제2 구성은 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 시스템에서, 상기 다수의 분석계에 더해, 각 분석계의 분석 대상을 분석할 수 있는 공통 분석계를 설치하고, 상기 각 분석계에는 각 분석계에 대응하는 샘플링 포인트로부터의 샘플을 각 분석계에 각각 도입하는 분석 경로와, 상기 공통 분석계에 샘플을 도입하는 대행 분석 경로가 각각 경로 절환 수단을 통해 절환가능하게 접속되어 있는 것을 특징으로 하고, 상기 공통 분석계는 상기 대행 분석 경로에 더해, 외부로부터 샘플을 도입하는 외부 샘플 도입 경로를 구비하는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 본 발명의 분석 방법은 제1 구성으로서, 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 방법에서, 하나의 분석계에 이상이 발생한경우에 이 분석계에서 분석해야 할 샘플을 다른 분석계 중에서 동일한 종류의 분석 대상을 분석이 가능한 분석계에 도입하여, 이 분석계에서 대행 분석을 행하는 것을 특징으로 하고, 상기 다른 분석계는 이 분석계가 분석해야 할 샘플의 분석과, 상기 이상이 발생한 분석계에서 분석해야 할 샘플의 대행 분석을 교대로 행하는 것을 특징으로 하고 있다.
또, 본 발명의 분석 방법의 제2 구성은, 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 방법에서, 상기 다수의 분석계에 더하여, 각 분석계의 분석 대상을 분석할 수 있는 공통 분석계를 설치하는 동시에, 상기 각 분석계에서 분석해야 할 샘플을 상기 공통 분석계에 순차 절환하여 도입하고, 이 공통 분석계에서 다수의 샘플을 절환하면서 분석하는 것을 특징으로 하고, 상기 공통 분석계는 하나의 분석계에 이상이 발생한 경우에, 이 분석계에서 분석해야 할 샘플을 우선적으로 분석하는 것을 특징으로 하고 있다.
(실시 형태)
도 1은 본 발명의 분석 시스템의 제1 형태예를 도시한 계통도이다. 이 분석 시스템은 세 개의 가스 경로(10, 20, 30)를 흐르는 세 종류의 가스, 예컨대 가스 정제 장치에서 제조한 질소(N2), 산소(H2), 아르곤(Ar)을 3대의 분석계(질소용 분석계(11), 수소용 분석계(21), 아르곤용 분석계(31))에서 각각 분석하는 것으로, 각 가스 경로(10, 20, 30)의 샘플링 포인트(10a, 20a, 30a)와 각 분석계(11, 21, 31)의 사이에는 샘플링 포인트(10a, 20a, 30a)에서 샘플링한 샘플을 각 분석계(11,21, 31)에 각각 도입하기 위한 분석 경로(12a, 12b, 22a, 22b, 32a, 32b)가 각 분석계의 시료 도입부에 설치된 경로 절환 수단인 4방 밸브(13, 23, 33)를 통해 각각 설치되어 있다.
상기 4방 밸브(13, 23, 33)에는, 상기 각 분석 경로 외, 다른 분석계에 샘플을 송출하기 위한 송출측 대행 분석 경로(14, 24, 34)와, 다른 분석계로부터 샘플을 받아들이기 위한 수입측 대행 분석 경로(15, 25, 35)가 접속하고 있고, 이들 각 경로(14, 24, 34, 15, 25, 35)는 공통의 대행 분석 경로(100)에, 차단 밸브(14a, 24a, 34a, 15a, 25a, 35a)를 통해 각각 접속되어 있다. 또, 각 경로(14, 24, 34, 15, 25, 35)에는 시스템 외로 연통하는 배출 경로(14b, 24b, 34b, 15b, 25b, 35b)가 차단 밸브(14c, 24c, 34c, 15c, 25c, 35c)를 통해 각각 접속되어 있다.
상기 4방 밸브(13, 23, 33)는, 내부 유로(13a, 13b, 23a, 23b, 33a, 33b)를 절환함으로써, 샘플링 포인트(10a, 20a, 30a)로부터 분석 경로(12a, 22a, 32a)에 샘플링한 샘플 가스를 분석 경로(12b, 22b, 32b)를 통해 각 분석계(11, 21, 31)에 도입하는 경로와, 분석 경로(12a, 22a, 32a)에 샘플링한 샘플 가스를 송출측 대행 분석 경로(14, 24, 34)에 송출하는 경로와, 수입측 대행 분석 경로(15, 25, 35)로부터 다른 분석계로부터의 샘플 가스를 받아들여 각 분석계(11, 21, 31)에 도입하는 경로를 형성할 수 있게 하고 있다. 또, 한 쪽의 내부 유로(13a, 23a, 33a)가 양 분석 경로끼리를 연통시킨 상태일 때, 다른 쪽의 내부 유로(13b, 23b, 33b)는 송출측 대행 분석 경로(14, 24, 34)와 수입측 대행 분석 경로(15, 25, 35)를 연통시킨 상태가 된다.
상기 분석계(11, 21, 31)는 분석 대상에 따라 임의의 분석 기기를 사용할 수 있지만, 예컨대 반도체 제조 장치용으로 정제한 가스를 분석하는 경우에는 대기압 이온화 질량 분석계가 이용된다. 이 대기압 이온화 질량 분석계는 가스 중의 대부분의 성분을 고정밀도, 고감도로 분석할 수 있으므로, 질소, 수소, 아르곤 중의 어떤 가스를 분석 대상으로 해도, 동일한 조작으로 각 가스 중의 불순물을 분석할 수 있다.
다음에, 이 분석 시스템에서, 하나의 분석계, 예컨대 수소용 분석계(21)가 고장난 경우의 분석 방법을 도 2 내지 도 4에 도시한 설명도에 따라 설명한다. 또, 각 도면에서, 검은 칠한 밸브는 닫힌 것을 나타내고, 굵은 선으로 도시한 경로는 가스가 흐르는 것을 도시하고 있다.
먼저, 도 2는 상시 연속 감시 분석을 행하는 통상시의 상태를 도시하고 있고, 가스 경로(10)를 흐르는 질소 가스는 그 일부가 샘플링 포인트(10a)로부터 분석 경로(12a), 4방 밸브(13)의 내부 경로(13a), 분석 경로(12b)를 흘러 질소용 분석계(11)에 도입된다. 마찬가지로, 가스 경로(20)를 흐르는 수소 가스는 그 일부가 샘플링 포인트(20a)로부터 분석 경로(22a), 4방 밸브(23)의 내부 유로(23a), 분석 경로(22b)를 흘러 수소용 분석계(21)에 도입되고, 가스 경로(30)를 흐르는 아르곤 가스는 그 일부가 샘플링 포인트(30a)로부터 분석 경로(32a), 4방 밸브(33)의 내부 유로(33a), 분석 경로(32b)를 흘러 아르곤용 분석계(31)에 도입된다. 이에 따라, 각 분석계(11, 21, 31)에서, 질소, 수소, 아르곤의 분석이 각각 행해지게 된다.
이 상태에서, 수소를 분석하는 수소용 분석계(21)에 고장이 발생하여 수소의 분석이 행해지지 않게 되었을 때에는, 도 3에 도시한 바와 같이, 분석 경로(22a, 22b)의 도중의 4방 밸브(23)의 유로를 절환하는 동시에, 송출측 대행 분석 경로(24)의 차단 밸브(24a), 질소 분석을 행하는 질소용 분석계(11)에 따르는 수입측 대행 분석 경로(15)의 차단 밸브(15a), 배출 경로(15b)의 차단 발브(15c)를 각각 열어, 수소용 분석계(21)로의 수소 가스의 도입을 정지하고, 가스 경로(20)의 샘플링 포인트(20a)로부터 분석 경로(22a)에 샘플링한 수소 가스를 4방 밸브(23)의 내부 유로(23a)로부터 송출측 대행 분석 경로(24) 및 대행 분석 경로(100)를 통해 수입측 대행 분석 경로(15)로부터 배출 경로(15b)에 배출시켜, 이들의 경로 내를 분석 대상 샘플인 수소 가스로 퍼지한다.
이 때, 가스 경로(10)를 흐르는 질소 가스는 통상대로, 분석 경로(12a), 4방 밸브(13)의 내부 유로(13a), 분석 경로(12b)를 지나, 질소용 분석계(11)에 도입되어 분석되고 있고, 가스 경로(30)를 흐르는 아르곤 가스도 분석 경로(32a), 4방 밸브(33)의 내부 유로(33a), 분석 경로(32b)를 지나, 아르곤용 분석계(31)에 도입되어 분석되고 있다.
수소용 분석계(21)의 송출측 대행 분석 경로(24)로부터 질소용 분석계(11)의 수입측 대행 분석 경로(15)에 이르는 경로의 퍼지를 충분히 행한 후, 도 4에 도시한 바와 같이, 질소용 분석계(11)의 4방 밸브(13)를 절환할 수 있는 동시에, 배출 경로(14b)의 차단 밸브(14c)를 열고, 배출 경로(15b)의 차단 밸브(15c)를 닫는다. 이에 따라, 대행 분석 경로(100)로부터 수입측 대행 분석 경로(15)에 유입한 수소가스는 4방 밸브(13)의 내부 유로(13b)를 지나, 분석 경로(12b)를 거쳐 질소용 분석계(11)에 도입된다. 즉, 가스 경로(20)로부터 분석 경로(22a)에 샘플링한 수소 가스의 분석을 질소용 분석계(11)에서 대행하는 상태가 되어, 수소 가스 중의 불순물의 분석이 질소용 분석계(11)에 의해 행해진다.
이 때, 가스 경로(10)로부터 분석 경로(12a)에 샘플링된 질소 가스는 4방 밸브(13)의 내부 유로(13a)를 지나, 차단 밸브(14c)를 통해 배출 경로(14b)로부터 시트템 외로 배출된다. 또, 가스 경로(30)를 흐르는 아르곤 가스는 상기와 마찬가지로 아르곤용 분석계(31)에 도입되어 분석되고 있다.
그리고, 도 4에 도시한 대행 분석의 상태에서, 4방 밸브(13)를 절환함으로써, 분석 경로(12a)의 질소 가스를 4방 밸브(13)의 내부 유로(13a)로부터 분석 경로(12b)에 흐르게 하여 질소용 분석계(11)에 도입할 수 있어, 통상대로 질소의 분석도 행할 수 있다. 즉, 4방 밸브(13)의 절환 조작에 의해 질소 가스의 분석과, 수소 가스의 대행 분석을 절환하여 행할 수 있으므로, 적당한 시간 간격, 예컨대 30분 간격으로 4방 밸브(13)를 절환함으로써, 질소 가스의 분석과 수소 가스의 대행 분석을 교대로 행할 수 있다.
그 사이, 수소 가스의 공급은 백업용 가스를 사용하는 등으로 하여 계속하면서 수소 정제 장치의 점검이나 분석계의 점검을 행하여, 가스 경로(20)를 흐르던 수소 가스의 순도(불순물량)에 이상이 있는 경우에는, 수소 정제 장치의 이상이므로, 수소 정제 장치의 보상, 정비 등을 행한다. 한편, 수소 가스의 순도에 이상이 확인되지 않는 경우에는, 수소용 분석계의 고장이므로, 수소용 분석계의 보상, 정비를 행한다.
이상 원인의 추급(追及), 보상 등이 종료하면, 각 4방 밸브 및 차단 밸브를 도 1에 도시한 상태로 되돌림으로써, 소정의 상시 연속 감시 분석을 재개할 수 있다. 이와 같은 대행 분석을 행하기 위한 조작은 각 4방 밸브 및 차단 밸브를 수동으로 절환 개폐함으로써도 행할 수 있는데, 각 밸브를 공압 밸브나 전자 밸브 등의 외부로부터의 제어가 가능한 것으로 해 둠으로써, 소정의 시퀀서로 일련의 대행 분석 조작을 자동적으로 행할 수 있다.
이와 같이, 4방 밸브나 차단 밸브를 절환 개폐하는 조작만에 의해 이상이 발생한 분석계를 이용하지 않고, 다른 분석계에서 대행 분석을 행할 수 있으므로, 분석계의 하나, 본 형태예에서는 수소용 분석계(21)가 고장난 경우, 이 분석계에서 분석해야 할 샘플, 본 형태예에서는 수소 가스를 다른 분석계 중에서 동일한 종류의 분석 대상을 분석할 수 있는 분석계, 본 형태예에서는 질소용 분석계(11)에 도입하여, 이 질소용 분석계(11)에서 수소 가스의 대행 분석을 행함으로써, 수소 가스 및 질소 가스를 연속적으로 감시 분석할 수 있어, 이들의 공급을 계속할 수 있다.
또, 분석 경로의 절환을 4방 밸브로 행하게 함으로써, 다수의 밸브를 조합시킨 경우에 비해, 통상의 분석시의 데드 스페이스를 최소한으로 할 수 있다. 또, 대행 분석 경로에 차단 밸브를 설치해 둠으로써, 대행 분석을 행하지 않은 분석계에 샘플이 흐르는 것을 방지할 수 있고, 차단 밸브를 구비한 배출 경로를 설치해 둠으로써, 샘플에 의한 경로 내의 퍼지를 확실하게 행할 수 있다. 또, 도 3에 도시한 퍼지 조작에서, 본 형태예에서는 수입측 대행 분석 경로(15)에 유입한 수소 가스를 차단 밸브(15c)로부터 배출 경로(15b)를 지나 배출하고 있지만, 배출 경로(15b)를 두지 않고, 수입측 대행 분석 경로(15)에 유입한 수소 가스를 4방 밸브(13)의 내부 유로(13b)로부터 차단 밸브(14c)를 지나 배출 경로(14b)로부터 배출할 수도 있다.
또, 분석계로서, 내부에 교정 시스템을 내장하지 않은 분석계를 사용한 경우, 이 분석계를 교정할 때에는, 예컨대 질소용 분석계(11)의 교정은 4방 밸브(13)의 내부 유로(13b)를 도 4에 도시한 상태로 절환하여, 배출 경로(15b)와 분석 경로(12b)를 4방 밸브(14)의 내부 유로(13b)를 통해 연통시킨 상태로 하여, 배출 경로(15b)로부터 질소용 분석계(11)에 교정 가스를 순차 도입함으로써 행할 수 있다. 이 경우, 각 배출 경로(25b, 35b)를 순차로 이용함으로써, 한 대의 교정 시스템을 각 분석계의 교정에 순차 사용할 수 있으므로, 고가인 교정 시스템을 다수의 분석계로 겸용할 수 있다.
또, 대행 분석을 행하는 분석계는 임의로 선정할 수 있어, 예컨대 질소 가스의 대행 분석은 수소용 분석계(21), 아르곤용 분석계(31) 중 어느 하나를 이용하여 행해도 좋다.
도 5는 본 발명의 분석 시스템의 제2 형태예를 도시한 계통도이다. 또, 이하의 설명에서, 상기 제1 형태예의 구성 요소와 동일한 구성 요소에는 동일한 부호를 붙여 상세한 설명은 생략한다.
이 분석 시스템은 네 개의 가스 경로를 흐르는 네 종류의 가스 중에 반응성이 높은 가스가 혼재하고 있을 때, 에컨대 상기와 마찬가지로, 가스 경로(10, 20, 30)가 각각 질소, 수소, 아르곤이고, 네 개째의 가스 경로(40)의 가스가 수소에 대해 반응성이 높은 산소(O2)인 경우의 예를 도시하고 있다.
본 형태예에서는 대행 분석을 행할 때에 수소와 산소가 혼합하지 않도록, 수소의 대행 분석은 질소용 분석계(11)에서, 산소의 대행 분석은 아르곤용 분석계(31)에서 행하도록 하고 있다. 즉, 질소용 분석계(11)의 4방 밸브(13)와 수소용 분석계(21)의 4방 밸브(23)의 사이에는 분석 경로(12a)에 샘플링한 질소 가스를 수소용 분석계(21)에 도입하기 위한 질소 대행 분석 경로(101)와, 분석 경로(22a)에 샘플링한 수소 가스를 질소용 분석계(11)에 도입하기 위한 수소 대행 분석 경로(102)가 설치되고, 각각에 차단 밸브(101a, 102a) 및 배출 밸브(101b, 102b)가 설치되어 있다. 또, 아르곤용 분석계(31)의 4방 밸브(33)와 산소용 분석계(41)의 4방 밸브(43)의 사이에는, 분석 경로(32a)에 샘플링한 아르곤 가스를 산소용 분석계(41)에 도입하기 위한 아르곤 대행 분석 경로(103)와, 분석 경로(42a)에 샘플링한 산소 가스를 아르곤용 분석계(31)에 도입하기 위한 산소 대행 분석 경로(104)가 설치되고, 각각에 차단 밸브(103a, 104a) 및 배출 밸브(103b, 104b)가 설치되어 있다.
따라서, 도 5에 도시한 바와 같이, 산소용 분석계(11)의 4방 밸브(13)의 내부 유로(13a)를 분석 경로(12a)와 질소 대행 분석 경로(101)가 연통하도록 절환함으로써, 질소용 분석계(11)에서 분석해야 할 질소 가스를 질소 대행 분석 경로(101)를 통해 수소용 분석계(21)의 4방 밸브(23)를 향해 흐르게 할 수 있어,배출 밸브(101b)로부터 질소 가스를 배출하는 퍼지 조작을 종료한 후, 배출 밸브(101b)를 닫고 차단 밸브(101a)를 여는 동시에, 수소용 분석계(21)의 4방 밸브(23)를 절환함으로써, 질소 가스를 수소용 분석계(21)에 도입하여 분석할 수 있다.
마찬가지로, 각 4방 밸브, 각 차단 밸브, 각 배출 밸브를 조작함으로써, 수소 가스를 질소용 분석계(11)에서, 아르곤 가스를 산소용 분석계(41)에서, 산소 가스를 아르곤용 분석계(31)에서, 각각 대행 분석할 수 있다. 이와 같이, 서로 반응성을 가지는 산소와 수소와 같은 샘플이 혼재하는 경우는, 이들이 혼합하지 않도록 대행 분석을 행하는 분석계로서, 이들과의 반응성을 가지지 않는 샘플을 분석하는 질소용 분석계(11)나 아르곤용 분석계(31)를 선정함으로써, 보안상의 문제도 없어지고, 분석 정밀도의 악화도 방지할 수 있다.
도 6은 본 발명의 분석 시스템의 제3 형태예를 도시한 계통도이고, 아르곤용 분석계(31)는 다른 샘플의 대행 분석을 행하지 않거나, 또는 행할 수 없는 경우의 예를 도시하고 있다. 즉, 아르곤용 분석계(31)의 4방 밸브(33)에서는 아르곤 송출 경로(105)만이 설치되어 있어, 차단 밸브(105a)를 통해 수소용 분석계(21)의 4방 밸브(23)에 접속되어 있다.
또, 질소용 분석계(11)의 4방 밸브(13)와 수소용 분석계(21)의 4방 밸브(23)에는 상기 도 5에 도시한 제2 형태예와 마찬가지로, 차단 밸브(101a) 및 배출 밸브(101b)를 구비한 질소 대행 분석 경로(101)와, 차단 밸브(102a) 및 배출 밸브(102b)를 구비한 수소 대행 분석 경로(102)가 설치되어 있고, 질소 대행 분석경로(101)는 상기 아르곤 송출 경로(105)와 합류하여 4방 밸브(23)에 접속되어 있다.
따라서, 가스 경로(10)로부터 분석 경로(12a)에 샘플링한 질소 가스는 4방 밸브(13), 차단 밸브(101a), 배출 밸브(101b)와 4방 밸브(23)를 조작함으로써 수소용 분석계(21)에서 대행 분석할 수 있고, 가스 경로(20)로부터 분석 경로(22a)에 샘플링한 수소 가스는 4방 밸브(23), 차단 밸브(102a), 배출 밸브(102b)와 4방 밸브(13)를 조작함으로써 질소용 분석계(11)에서 대행 분석할 수 있고, 가스 경로(30)로부터 분석 경로(32a)에 샘플링한 아르곤 가스는 4방 밸브(33), 차단 밸브(105a)와 사방 밸브(23)를 조작함으로써 수소용 분석계(21)에서 대행 분석할 수 있다.
또, 사방 밸브(13, 23, 33)의 각 내부 유로를 도 6에 도시한 상태로 함으로써, 가스 경로(30)로부터 분석 경로(32a)에 샘플링한 아르곤 가스를 4방 밸브(33)의 내부 유로(33a)로부터 송출측 대행 분석 경로(105), 차단 밸브(105a), 사방 밸브(23)의 내부 유로(23b), 수소 대행 분석 경로(102), 차단 밸브(102a), 4방 밸브(13)의 내부 유로(13b)를 통해 분석 경로(12b)로부터 질소용 분석계(11)에 도입하는 것도 가능하다.
도 7은 본 발명의 분석 시스템의 제4 형태예를 도시한 계통도이고, 가스 경로(10, 20, 30, 50)를 각각 흐르는 질소, 수소, 아르곤, 헬륨(He)을 질소용 분석계(11), 수소용 분석계(21), 아르곤용 분석계(31), 헬륨용 분석계(51)의 4대의 분석계에서 각각 상시 연속 감시 분석을 행하도록 형성하는 동시에, 각 분석계의분석 대상을 분석 가능한 공통 분석계(61)를 설치한 예를 도시하고 있다.
상기 연속 감시 분석을 행하는 각 분석계(11, 21, 31, 51)는, 예컨대 각 가스 중의 미량 산소 농도를 측정하는 미량 산소계에서, 공통 분석계(61)는 적어도 미량 산소 농도를 측정할 수 있는 분석계, 예컨대 대기압 이온화 질량 분석계이다.
각 가스 경로(10, 20, 30, 50)로부터 샘플을 채취하는 분석 경로(12a, 22a, 32a, 52a)에는 경로 절환 수단으로서 2연 3방 밸브(16, 26, 36, 56)가 각각 설치되어 있고, 각 2연 3방 밸브(16a, 26a, 36a, 56a)가 분석 경로(12b, 22b, 32b, 52b)를 통해 각 분석계(11, 21, 31, 51)에 접속되어 있고, 다른 쪽의 밸브(16b, 26b, 36b, 56b)는 대행 분석 경로(17, 27, 37, 57)를 통해 상기 공통 분석계(61)에 접속되어 있다. 또, 2연 3방 밸브의 공통 분석계측의 밸브(16b, 26b, 36b, 56b)는 시퀀서(62)에 의해 개폐가 제어되는 자동 밸브로, 어느 하나만이 열리도록 설정되어 있다.
통상의 상태에서는 밸브(16a, 26a, 36a, 56a)가 항상 열려 있어, 각 샘플링 포인트(10a, 20a, 30a, 50a)로부터 분석 경로(12a, 22a, 32a, 52a)에 샘플링된 질소, 수소, 아르곤, 헬륨은 밸브(16a, 26a, 36a, 56a) 및 분석 경로(12b, 22b, 32b, 52b)를 통해 각 분석계(11, 21, 31, 51)에 도입되어, 불순물 산소의 상시 연속 감시 분석이 행해진다.
또, 2연 3방 밸브의 공통 분석계측의 밸브(16b, 26b, 36b, 56b)는 일정한 시간 간격으로 어느 하나의 밸브가 소정의 순서로 열려 있게 되고, 열린 상태의 밸브로부터 대행 분석 경로를 통해 샘플의 일부가 공통 분석계(61)에 순차 도입되어,산소를 포함하는 각종 불순물, 예컨대 헬륨에서는 산소, 일산화탄소, 이산화탄소, 메탄, 질소, 수소 등의 불순물이 분석되고, 다른 가스에서도 주성분을 제외하고 동일하게 분석이 행해진다. 따라서, 공통 분석계(61)에서는 항상 어느 하나의 가스의 분석을 행하고 있는 상태로 되어 있다.
상시 연속 감시 분석에서, 어느 하나의 분석계, 예컨대 질소용 분석계(11)가 이상값을 출력한 경우는, 먼저, 가스 경로(10)로부터 공급하는 질소 가스가 백업용 질소 가스로 절환되는 동시에, 2연 3방 밸브의 공통 분석계측의 밸브(16b)가 다른 밸브(26b, 36b, 56b)보다도 우선적으로 열려, 질소 가스를 공통 분석계(61)에서 우선적으로 분석하는 상태가 된다.
또, 이상값이 출력된 질소 가스를 다른 경로를 통해 외부 시료 도입 밸브(63)로부터 공통 분석계(61)로 도입하여, 가스 경로(10)의 백업용 질소 가스로 절환하면서 분석함으로써, 원인 조사를 위한 분석을 행할 수 있다. 이에 따라, 질소 가스 중에 실제로 산소가 혼입되어 있는가를 크로스 체크할 수 있고, 또 다른 성분도 확인함으로써, 공기의 스며듦 등의 원인 조사에도 활용할 수 있다.
여기에서 질소 가스로의 산소 혼입 원인이 판명된 경우는 그 원인을 제거한 후에 다시 동일한 방법으로 하여 분석을 행하여, 문제가 없으면 백업용 질소 가스의 공급으로부터 정규 질소 가스 공급으로 절환할 수 있다.
또, 질소용 분석계(11)가 고장난 경우도, 밸브(16b)를 열어 공통 분석계(61)에서 질소 가스의 대행 분석을 행함으로써, 이 공통 분석계(61)에서 상시 연속 감시 분석을 계속할 수 있으므로, 질소 가스의 공급을 통상대로 연속하여 행할 수 있다. 그 사이, 밸브(16a)를 닫아 둠으로써, 수리를 위한 질소용 분석계(11)의 제거나, 수리 후의 질소용 분석계(11)의 부착, 또는 분석계 자체의 교환도 문제없이 행할 수 있다.
이와 같이, 각 샘플의 분석을 절환하면서 순차 행하는 공통 분석계(61)를 설치함으로써, 상시 연속 감시 분석용의 각 분석계의 크로스 체크용으로서 사용할 수 있을 뿐 아니라, 고장이나 이상시의 신속 대응을 위한 백업용 분석계로서도 사용할 수 있다. 또, 각 분석계의 입구부에 외부 가스 도입용 차단 밸브(18, 28, 38, 58)를 각각 설치해 둠으로써, 이 차단 밸브로부터 각 분석계에 교정 가스를 도입하여 교정을 행할 때에도, 2연 3방 밸브를 조작함으로써, 분석계의 교정을 행하면서 공통 분석계(61)에서 분석을 행할 수 있으므로, 가스 공급 및 상시 연속 감시 분석이 도중에서 중단되는 경우가 없어진다.
또, 각 형태예에서, 샘플링 포인트 및 분석계의 수, 샘플링의 종류나 성질과 형상은 임의이고, 동일 가스가 다수의 경로를 흐르는 경우에도 동일하다. 또, 각 분석계도 임의의 분석계를 사용할 수 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면, 상시 연속 감시 분석계의 이상값 발생이나 고장시 등의 이상시의 일시적인 백업을 신속하게 가능하게 하여, 현장에서 신속하게 원인 판단이 가능하게 된다. 또, 고장난 분석계의 샘플링 포인트에서의 감시할 수 없는 시간을 단축함으로써, 가스 감시의 사각을 최대한 줄일 수 있다. 또, 분석계의 이상값 발생시의 신속 대응에 의한 원인 추구의 조기 해결이 가능하게 될 뿐 아니라, 샘플링 포인트의 샘플의 감시 분석을 할 수 없는 시간을 최대한 단축할 수 있다. 또, 교정 장치를 공유화할 수 있어, 분석계마다 교정 장치를 설치할 필요가 없어진다.

Claims (10)

  1. 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 시스템에서, 각 분석계에는 각 분석계에 대응하는 샘플링 포인트로부터의 샘플을 각 분석계에 각각 도입하는 분석 경로와, 다른 분석계 중에서 동일한 종류의 분석 대상을 분석할 수 있는 분석계에 상기 샘플을 송출하는 송출측의 대행 분석 경로가 각각 경로 절환 수단을 통해 절환 가능하게 접속되어 있고, 적어도 하나의 분석계에는 경로 절환 수단을 통해 다른 분석계로부터 송출된 샘플을 받아들이는 수입측의 대행 분석 경로가 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 경로 절환 수단은 3방 밸브 또는 4방 밸브인 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 대행 분석 경로는 이 대행 분석 경로를 차단하는 밸브를 가지는 동시에, 이 대행 분석 경로로부터 시스템 외에 연통하는 배출 경로와 이 배출 경로를 차단하는 밸브를 가지는 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 대행 분석 경로는 샘플끼리가 반응성을 가지지 않는 분석계 사이에 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  5. 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 시스템에서, 상기 다수의 분석계에 더해, 각 분석계의 분석 대상을 분석할 수 있는 공통 분석계로 설치하고, 상기 각 분석계에는 각 분석계에 대응하는 샘플링 포인트로부터의 샘플을 각 분석계에 각각 도입하는 분석 경로와, 상기 공통 분석계에 샘플을 도입하는 대행 분석 경로가 각각 경로 절환 수단을 통해 절환가능하게 접속되어 있는 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 공통 분석계는 상기 대행 분석 경로에 더해, 외부로부터 샘플을 도입하는 외부 샘플 도입 경로를 구비한 것을 특징으로 하는 분석 시스템.
  7. 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 방법에서, 하나의 분석계에 이상이 발생한 경우에, 이 분석계에서 분석해야 할 샘플을 다른 분석계 중에서 동일한 종류의 분석 대상을 분석할 수 있는 분석계로 도입하여,이 분석계에서 대행 분석을 행하는 것을 특징으로 하는 분석 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 다른 분석계는 이 분석계가 분석해야 할 샘플의 분석과, 상기 이상이 발생한 분석계에서 분석해야 할 샘플의 대행 분석을 교대로 행하는 것을 특징으로 하는 분석 방법.
  9. 다수의 샘플링 포인트에 대해 다수의 분석계를 각각 대응시켜 설치하고, 각 샘플링 포인트로부터의 샘플을 대응하는 각 분석계에서 각각 분석하는 분석 방법에서, 상기 다수의 분석계에 더하여, 각 분석계의 분석 대상을 분석할 수 있는 공통 분석계를 설치하는 동시에, 상기 각 분석계에서 분석해야 할 샘플을 상기 공통 분석계에 순차 절환하여 도입하여, 이 공통 분석계에서 다수의 샘플을 절환하면서 분석하는 것을 특징으로 하는 분석 방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 공통 분석계는 하나의 분석계에 이상이 발생한 경우에, 이 분석계에서 분석해야 할 샘플을 우선적으로 분석하는 것을 특징으로 하는 분석 방법.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100866916B1 (ko) * 2006-12-14 2008-11-06 (주) 메크로시스템엔지니어링 센서 자동절환 제어장치 및 그 제어방법

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8978652B2 (en) * 2007-11-14 2015-03-17 Maquet Critical Care Ab Anesthetic breathing apparatus having improved monitoring of anesthetic agent
CN102135529A (zh) * 2010-12-20 2011-07-27 苏州竞立制氢设备有限公司 水电解制氢分析仪多功能预处理装置
CN107532976A (zh) * 2015-02-17 2018-01-02 爱克斯崔里斯环球公司 采样点组件
CN113834864B (zh) * 2020-06-23 2024-04-05 宝山钢铁股份有限公司 一种延长痕量氧分析仪用电化学氧传感器使用寿命的方法

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4855110A (en) * 1987-05-06 1989-08-08 Abbott Laboratories Sample ring for clinical analyzer network
US5087423A (en) * 1988-10-20 1992-02-11 Olympus Optical Co., Ltd. Automatic analyzing apparatus comprising a plurality of analyzing modules
US5623415A (en) * 1995-02-16 1997-04-22 Smithkline Beecham Corporation Automated sampling and testing of biological materials
JP2988362B2 (ja) * 1996-03-11 1999-12-13 株式会社日立製作所 多検体分析システム
US6261521B1 (en) * 1997-04-09 2001-07-17 Hitachi, Ltd. Sample analysis system and a method for operating the same
JP4119003B2 (ja) * 1998-04-09 2008-07-16 大陽日酸株式会社 ガス分析装置及び方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100866916B1 (ko) * 2006-12-14 2008-11-06 (주) 메크로시스템엔지니어링 센서 자동절환 제어장치 및 그 제어방법

Also Published As

Publication number Publication date
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