KR20220103240A - 생산라인의 공정가스 검출시스템 및 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 생산라인의 공정가스 검출시스템 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 먼저 생산라인의 공정가스를 일괄 검사하여 유해가스가 검출되는 경우 이후 생산라인을 구획한 구역별로 순서대로 공정가스를 검사한 다음 유해가스가 검출된 구역의 포트에 대해 개별적으로 공정가스를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출시스템은, 다수의 그룹별 구역으로 구획되고 그룹별 구역에 공정가스가 투입되는 하나 이상의 생산설비가 구비된 생산라인과, 상기 각 생산설비에 구비되어 이송경로에 일대 일로 연결되는 포트와, 상기 이송경로에 연결되고 구역당 포트 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 구역 밸브와, 상기 구역 밸브 후단의 이송경로에 연결되고 구역 밸브 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 통합 밸브, 및 상기 통합 밸브 후단에 연결된 통합 이송경로에 구비되어 생산라인과 구역 및 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 검출장치를 포함하여 구성된다.

Description

생산라인의 공정가스 검출시스템 및 방법 {Process Gas Detection System and Method of Production Line}
본 발명은 생산라인의 공정가스 검출시스템 및 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 먼저 생산라인의 공정가스를 일괄 검사하여 유해가스가 검출되는 경우 이후 생산라인을 구획한 구역별로 순서대로 공정가스를 검사한 다음 유해가스가 검출된 구역의 포트에 대해 개별적으로 공정가스를 검사하는 시스템 및 방법에 관한 것이다.
반도체, 디스플레이, LED 및 전자 산업 등의 핵심 공정에는 매우 다양한 공정가스를 필수적으로 사용하고 있으며, 이러한 공정가스로는 불소계, 염소계, 브롬계, 질산계, 황산계와 같은 산성가스와 암모니아, 아민류와 같은 염기성 가스 및 유기성 화합물 등이 있다.
일반적으로 이들의 성질은 유독하고 산화력이 매우 강하여 제품의 패턴 이상이나 표면의 과산화 등을 유발하며 제품의 불량을 일으킨다.
특히, 대기 중의 암모니아는 포토레지스터 변형과 광학 현미경의 백탁 현상 등으로 반도체 생산 수율과 밀접한 관계를 지니고 있어 지속적인 모니터링과 관리가 요구되고 있다.
통상적으로 반도체, 디스플레이, LED 및 전자 산업과 같은 산업현장에서 제품을 생산할 때는 수십 단계의 공정을 거치는 것이 일반적인바, 정밀도 높은 관리를 위해서는 공정마다 오염물질의 농도를 관리해야 하는 문제가 있어 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템을 채용하는 것이 필수적이다.
도 1은 복수 공정의 가스 모니터링 시스템으로 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 1에 도시된 바와 같이 공정마다 포설된 샘플링 튜브들이 샘플링 포트(1)의 도입 경로(2)에 연결되어 가스분석모듈(5)로 샘플링 가스가 유입되고, 가스분석모듈(5)에는 복수의 가스센서가 구비되어 다양한 유해성 가스들의 유무 및 농도가 검출된다.
상기 가스센서로는 PID 센서, 반도체 센서, 전기화학센서, 광학센서, 촉매식 센서, 고체전해질식 센서, 및 핫-와이어 등이 있으며 목적에 따라 적절한 센서가 채택되어 사용될 수 있다.
상기 가스센서 중 PID 센서(photoionization detector)는 유기성 화합물인 TVOC(총휘발성 유기화합물) 등 측정에 사용되며, HF, HCl 등의 검출에는 전기화학적 센서 방식이 많이 활용되고 있다.
한편, 통상 고정식으로 구비되는 가스분석모듈(5)에는 별도의 가스 운송용 펌프(4)가 구비되어 적정한 가스 압력구배를 형성하며 유량조절기(6)도 구비되어 측정에 필요한 유량으로 조절한다.
분석된 샘플링 가스는 밸브를 거쳐 배기 경로(7)를 통해 외부로 배출되거나 정화 절차(미도시)에 따라 처리된다.
상기 PID 센서(3)에 의해 검출된 측정 데이터들은 가스분석모듈(5)에 추가로 구비되는 컨트롤러(8)에 전달되어 분석되고 필요한 경우 데이터 저장부(9)에 저장되며, 사용자의 요청에 따라 디스플레이부(10)로 가공되어 표시된다.
상기 컨트롤러(8)는 PID 센서(3)에 필요한 전력을 공급하거나 제어하고 펌프(4) 및 유량조절기(6)를 운전 조건으로 적절하게 제어하는 역할도 담당한다.
상기 PID 센서(3)는 다양한 가스 시료를 우수한 감도로 분석할 수 있는 신뢰성 높은 측정 기술로, 대상 가스 시료에 분석하고자 하는 물질에 해당하는 이온화 에너지 이상의 에너지를 보유한 자외선을 조사함으로써 시료를 광이온화 시키고, 이때 생성된 이온들이 전극에 수집되어 발생하는 전류를 측정하여 분석함으로써 시료의 정량 분석이 가능하게 하는 기술이다.
또한, 상기 PID 센서(3)에 이용되는 자외선 램프로는 제논(Xe), 크립톤(Kr), 아르곤(Ar) 등이 있고, 각 램프는 92eV(제논 램프), 108eV(크립톤 램프), 117eV(아르곤 램프) 영역의 일정한 에너지를 방출하는바, 대상 화합물에 따라 자외선 램프를 교체 조사하여 제한적인 분석을 수행할 수 있다.
도 2는 종래 생산라인의 공정가스 검출시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 2에 도시된 바와 같이 생산라인(100)에는 다수의 생산설비(110a,110b,…,110n)가 설치되며, 이 생산설비(110a,110b,…,110n)의 출구측에는 공정가스의 외부 배출을 위한 포트(120a,120b,…,120n)가 구비된다.
이때 각 생산설비(110a,110b,…,110n)에는 반도체의 생산공정에 필요한 공정가스가 필수적으로 투입되어 사용되며, 그 공정가스의 중량에 따라 포트(120a,120b,…,120n)는 생산설비의 하부(바닥 등)나 상부(천정 등)에 구비될 수도 있다.
상기 생산설비(110a,110b,…,110n)에 투입되어 사용된 공정가스는 포트(120a,120b,…,112n)에 각각 연결된 이송경로(130)와 배기경로를 통해 외부로 배출된다.
상기 이송경로(130)와 배기경로를 통해 외부로 배출되기 전에 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 여부를 판단하여야 하는 바, 종래에는 이를 위해 여러 개의 입구(포트 수만큼)에 하나 또는 2개의 출구가 구비된 통합 밸브(200)가 이송경로의 도중에 구비된다.
상기 통합 밸브(200)를 통과한 공정가스는 그 일부가 이송경로를 통해 검출장치(300)에 유입되고 분석되어 공정가스의 오염 정도를 측정하게 된다.
또한, 상기 이송경로(130)에는 공정가스를 이송경로를 통해 배출시키는 펌프(400)가 구비되어 적정한 가스 압력구배를 형성하고, 상기 펌프(300)를 통해 배출되는 공정가스의 유량을 조절하는 유량조절부(미도시)가 더 구비되어 측정에 필요한 유량으로 조절한다.
그리고 분석된 공정가스는 밸브를 거쳐 배기경로를 통해 외부로 배출되거나 정화 절차(미도시)에 따라 처리된다.
이와 같은 종래 생산라인의 공정가스 검출시스템에서 종래의 검출방법은 생산라인의 각 생산설비(110a,110b,…,110n)에 구비된 포트(120a,120b,…,120n)를 순서대로 개폐하여 각 이송경로(130)를 통해 통합 밸브(200)를 통과한 공정가스의 일부에 대해 오염 정도를 측정하여 유해가스를 검출하는 방식이다.
이때 하나의 생산라인에는 수십 또는 수백 개의 생산설비(110a,110b,…,110n)가 구비되어 생산설비별로 순서대로 공정가스를 검출하므로 어느 하나의 생산설비의 공정가스를 검출하고 난 후 다음 검출시까지 대기 시간이 길어질 수밖에 없었다.
그런데 그 길어진 대기 시간에 공정가스가 오염되는 경우 이를 바로 검출할 수 없으므로 반도체 제품의 불량이나 생산 수율에 악영향을 미치며, 특히 해당 공정에 투입된 작업자가 길어진 대기시간 동안 오염된 공정가스(유해가스)에 노출되는 문제점이 있었다.
등록번호 제10-2150880호(공고일자 2020년09월03일)
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 생산라인의 공정가스를 통합 검사하여 유해가스가 검출되는 경우 이후 생산라인을 구획한 구역별로 순서대로 공정가스를 검사한 다음 유해가스가 검출된 구역의 포트에 대해 개별적으로 공정가스를 검사하여 유해가스가 발견된 포트를 신속하게 찾아냄으로써, 생산공정의 수율을 향상시킬 수 있고 이를 통해 안전 환경을 감시하면서 오염된 공정가스(유해가스)에 작업자가 노출되는 것을 방지할 수 있어 안전한 생산라인의 공정가스 검출시스템 및 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출시스템은, 다수의 그룹별 구역으로 구획되고 그룹별 구역에 공정가스가 투입되는 하나 이상의 생산설비가 구비된 생산라인;
상기 각 생산설비에 구비되어 이송경로에 일대 일로 연결되는 포트;
상기 이송경로에 연결되고 구역당 포트 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 구역 밸브;
상기 구역 밸브 후단의 이송경로에 연결되고 구역 밸브 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 통합 밸브; 및
상기 통합 밸브 후단에 연결된 통합 이송경로에 구비되어 생산라인과 구역 및 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 검출장치;
를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 검출장치는 생산라인에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스가 검출된 경우에 구역 밸브를 순서대로 개방하여 그룹별 구역에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 순서대로 검사하고, 유해가스가 검출된 그룹별 구역에 대해 해당 그룹별 구역의 포트를 순서대로 개방하여 해당 그룹별 구역의 각 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 순서대로 검사하여 유해가스가 검출된 포트를 찾아내는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 생산라인에 투입된 공정가스에서 유해가스가 검출되는 경우 알람이 울리는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출방법은, (A) 하나의 생산라인을 하나 이상의 생산설비를 갖춘 다수의 그룹별 구역으로 구획하는 단계;
(B) 상기 각 생산설비에 구비하여 이송경로에 포트를 일대 일로 연결하는 단계;
(C) 상기 이송경로에 그룹별 구역당 포트 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 구역 밸브를 구비하는 단계;
(D) 상기 구역 밸브 후단의 이송경로에 구역 밸브 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 통합 밸브를 구비하는 단계; 및
(E) 상기 통합 밸브와 구역 밸브와 포트를 개폐하면서 통합 밸브 후단에 연결된 검출장치로 생산라인과 그룹별 구역과 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계;
를 포함하여 구성된다.
또한, 상기 (E)단계는 (E-1) 포트와 구역 밸브와 통합 밸브를 모두 개방한 상태에서 검출장치로 생산라인에 투입된 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계와,
(E-2) 상기 유해가스가 검출되지 않은 경우 (E-1)단계를 반복 수행하는 단계와,
(E-3) 상기 유해가스가 검출되는 경우 해당 구역의 포트와 구역 밸브를 차례로 전환(닫힘->개방)하고 구역별 공정가스의 오염 정도를 차례로 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계와,
(E-4) 상기 유해가스가 검출된 그룹별 구역에 대해 포트를 차례로 전환(닫힘->개방)하고 해당 그룹별 구역의 생산설비 공정가스의 오염 정도를 차례로 검사하여 유해가스가 검출된 포트를 찾아내는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 (E-3)단계에서 생산라인에 투입된 공정가스에서 유해가스가 검출되는 경우 생산라인의 작업자가 대피할 수 있도록 알람을 울리는 것을 특징으로 한다.
그리고 상기 (E-3)단계에서 알람을 주의 알람과 비상 알람으로 분류 설정하고, 주의 알람이나 비상 알람이 발생하는 경우 로그기록상에 주의 알람은 황색으로, 비상 알람은 적색으로 기록하는 것을 특징으로 한다.
상술한 과제의 해결 수단에 의하면, 생산라인의 공정가스를 통합 검사하여 유해가스가 검출되는 경우 이후 생산라인을 구획한 구역별로 순서대로 공정가스를 검사한 다음 유해가스가 검출된 구역의 포트에 대해 개별적으로 공정가스를 검사하여 유해가스가 발견된 포트를 신속하게 찾아냄으로써, 생산공정의 수율을 향상시킬 수 있고 이를 통해 안전 환경을 감시하면서 오염된 공정가스(유해가스)에 작업자가 노출되는 것을 방지할 수 있어 안전하다.
또한, 본 발명에 의하면 하나의 감출장치로 수십대 생산설비의 공정가스(유해가스) 유출을 모니터링할 수 있다.
도 1은 복수 공정의 가스 모니터링 시스템으로 멀티 포트 샘플링 기능을 보유한 모니터링 시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 2는 종래 생산라인의 공정가스 검출시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출방법을 나타내는 순서도이다.
이하 본 발명의 실시예에 대하여 첨부된 도면을 참고로 그 구성 및 작용을 설명하기로 한다.
도면들 중 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 참조번호 및 부호들로 나타내고 있음에 유의해야 한다.
하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략할 것이다.
또한, 어떤 부분이 어떤 구성요소를 "포함"한다고 할 때, 이는 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출시스템을 나타내는 블록 구성도이다.
도 3에 도시된 바와 같이 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출시스템은 하나의 생산라인(10)이 그룹별 다수의 구역(10a,10b,…,10m)으로 구획되고, 그룹별 구역(10a,10b,…,10m)에는 하나 이상의 생산설비(11a,11b,…,11n)가 구비된다.
여기서는 하나의 생산라인이 4개의 그룹별 구역(10a,10b,10c,10d)으로 구획되고, 한 그룹별 구역에는 2개의 생산설비((11a,11b),(11c,11d),…,(11n-1,11n)가 구비된 것을 예를 들어 설명한다.
예를 들어 제1구역(10a)에는 2개의 생산설비(11a,11b)가 구비되고 제2구역(10b)에는 2개의 생산설비(11c,11d)가 구비된다.
또한, 그룹별 구역(10a,10b,…,10m)에는 비상 알람시 외부로 탈출하기 위한 비상구(14)가 구비되고 그 비상구에는 예를 들어 비상 유도램프가 구비된다.
또한, 상기 각 생산설비(11a,11b,…,11n)에는 포트(12a,12b,…,12n)가 구비되어 이송경로(13)에 연결되고 그 이송경로(13)에는 2개의 입구(포트 수만큼)에 하나의 출구가 구비된 구역 밸브(20a,20b,…,20m)가 연결되어 결국 각 구역 밸브를 통과한 후에는 하나의 이송경로를 각각 갖게 된다.
또한, 각각의 구역 밸브(20a,20b,…,20m) 후단의 4개의 이송경로에는 4개의 입구(구역 밸브 수만큼)에 하나의 출구가 구비된 통합 밸브(25)가 연결되어 결국, 통합 밸브(25)를 통과한 후에는 하나의 통합 이송경로를 갖게 된다.
이때 통합 이송경로를 통해 외부로 배출되기 전에 공정가스의 유해가스 검출 유무를 판단하여야 하는 바, 상기 통합 밸브(25)를 통과한 공정가스는 그 일부가 통합 이송경로를 통해 검출장치(30)에 유입되고 분석되어 공정가스의 오염 정도를 측정하게 된다.
여기서 공정가스의 오염 정도를 측정하기 위한 센서로서는 PID 센서, 반도체 센서, 전기화학 센서, 광학센서, 촉매식 센서, 고체 전해질식 센서, 핫-와이어 센서가 선택적으로 사용될 수 있다.
또한, 상기 통합 이송경로에는 공정가스를 통합 이송경로를 통해 배출시키는 펌프(40)가 구비되어 적정한 가스 압력구배를 형성하고, 상기 펌프(40)를 통해 배출되는 공정가스의 유량을 조절하는 유량조절부(미도시)가 구비되어 측정에 필요한 유량으로 조절한다.
그리고 분석된 공정가스는 밸브를 거쳐 배기경로를 통해 외부로 배출되거나 정화 절차(미도시)에 따라 처리된다.
한편, 유량조절기는 컨트롤러에 전기적으로 연결되어 제어될 수 있으며, 니들 밸브, 오리피스, 볼유량계 등으로 사용할 수도 있다.
이와 같은 공정가스 검출시스템에서 60개의 생산설비를 갖춘 하나의 생산라인을 15개의 생산설비를 갖춘 4개의 그룹별 구역으로 각각 구획한 상태를 예를 들어 설명하면, 첫 번째 60개의 포트를 전부 개방하여 공정가스를 검사해서 유해가스가 검출된 경우 알람을 발생하고, 두 번째 알람 발생시 그룹모드로 전환, 15개 포트 1그룹별 구역 단위로 공정가스를 검사해서 유해가스가 검출된 알람 발생 그룹별 구역을 찾아낸 후, 세 번째 알람 발생 그룹별 그룹에 대해 개별모드로 전환, 15개 포트 1개씩 공정가스를 검사해서 유해가스가 검출된 알람 발생 포트를 찾아 알려준다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 생산라인의 공정가스 검출방법을 나타내는 순서도이다.
먼저, 하나의 생산라인(10)을 하나 이상의 생산설비(11a,11b,…,11n)를 갖춘 다수의 그룹별 구역(10a,10b,…,10m)으로 구획하고(S40)(m < n), 그룹별 구역에는 비상시 탈출을 위한 비상구(14)가 형성된다.
상기 각 생산설비(11a,11b,…,11n)에는 포트(12a,12b,…,12n)가 각각 구비되어 이송경로(13)에 각각 연결되고 그 이송경로에는 2개의 입구(포트 수만큼)에 하나의 출구가 구비된 구역 밸브(20a,20b,…,20m)를 연결하여 결국 각 구역 밸브를 통과한 후에는 하나의 이송경로를 갖게 한다.
여기서 공정가스의 중량에 따라 포트(12a,12b,…,12n)는 생산설비(11a,11b,…,11n)의 하부(바닥 등)나 상부(천정 등)에 구비될 수도 있다.
상기 구역 밸브(20a,20b,…,20m) 후단의 이송경로에는 다수의 입구(구역 밸브 수만큼)에 하나의 출구가 구비된 통합 밸브(25)를 연결하여 결국 통합 밸브(25)를 통과한 후에는 하나의 통합 이송경로를 갖게 한다(S41).
그 하나의 통합 이송경로에는 검출장치(30), 펌프(40), 유량 조절기(미도시)를 구비하고, 검출된 공정가스는 밸브를 거쳐 배기경로를 통해 외부로 배출되거나 정화 절차(미도시)에 따라 처리될 수 있도록 한다.
다음 구역 밸브(20a,20b,…,20m)와 통합 밸브(25)를 모두 개방하고(S42) 검출장치(30)에 전 생산라인에 투입된 공정가스의 일부를 유입시켜 공정가스의 오염 정도를 검사하고, 그 오염 정도를 기준치와 비교하여 유해가스가 검출되는지 판단한다(S43).
상기 유해가스가 검출된 경우 알람을 울려 생산라인의 작업자를 안전하게 대피시킨다(S44).
이때 알람을 주의 알람과 비상 알람으로 분류 설정할 수 있으며 주의 알람이나 비상 알람이 발생하는 경우 로그기록상에 주의 알람은 황색으로, 비상 알람은 적색으로 기록할 수 있다.
상기 유해가스가 검출되지 않은 경우 전 생산라인이 유해가스로부터 안전하므로 S43단계를 반복 수행한다.
상기 유해가스가 검출된 경우 다수의 그룹별 구역 검사를 위해 다수의 밸브(20a,20b,…,20m) 중 첫 번째 구역의 포트와 밸브(제1구역에 연결된 밸브)(20a)를 개방하고 나머지 구역의 포트와 밸브(20b,…,20m)를 폐쇄한 상태에서(S45) 제1구역(10a)의 공정가스에 대한 오염 정도를 검사하고, 그 오염정도를 기준치와 비교하여 유해가스가 검출되는지 판단한다(S46).
제1구역(10a)에 유해가스가 검출되지 않은 경우 제1구역(10a)은 유해가스로부터 안전하므로 비상구에 구비된 비상유도 램프를 점등하거나 점멸시켜 제1구역(10a)의 비상구(14)를 통해 대피된 작업자를 탈출시킨다.
제1구역의 검사가 끝난 후에는 2번째 구역의 포트와 밸브(제2구역에 연결된 밸브)(20b)를 개방하고 나머지 구역의 포트와 밸브(20a,…,20m)를 폐쇄한 상태에서(S47) 제2구역(10b)의 공정가스에 대한 오염 정도를 검사하고, 그 오염정도를 기준치와 비교하여 유해가스가 검출되는지 판단한다(S46).
제2구역(10b)에 유해가스가 검출되지 않은 경우 제2구역(10b)은 유해가스로부터 안전하므로 제2구역(10b)의 비상구(14)를 통해 대피된 작업자를 탈출시킨다.
이와 같은 방식으로 구역별 포트와 구역 밸브(20a,20b,…,20m)를 순서대로 개방하여 각 구역(10a,10b,…,10m)에 투입된 공정가스의 오염정도를 검사하고 유해가스의 검출 유무를 판단하며, 유해가스가 검출되지 않은 구역을 통해 작업자를 탈출시킨다.
그리고 유해가스가 발견된 구역에서는 개별모드로 전환해서 해당 유해가스 발견 구역의 각각의 포트를 차례로 전환해가면서 유해가스가 검출된 해당 포트를 찾아내어 알람을 발생하고 이를 알려준다.
예를 들어 60개의 생산설비를 갖춘 하나의 생산라인을 15개의 생산설비를 갖춘 4개의 그룹별 구역으로 각각 구획한 상태에서, 먼저 다량의 포트(60개)를 동시에 개방하여 통합 밸브를 통해 유해가스를 감시하고 있다가 유해가스가 검출되면, 다음 각 그룹의 구역별로 15개의 포트와 그 15개의 포트에 연결된 구역 밸브를 차례로 전환(닫힘->개방)하여 유해가스가 검출된 해당 그룹의 구역을 찾아내고, 유해가스가 검출된 해당 그룹의 구역을 찾아내고 나면, 마지막으로 그룹의 개별모드로 해당 그룹의 구역 내에 있는 각각의 포트를 차례로 전환(닫힘->개방)해가면서 15개의 포트 중 유해가스가 검출된 해당 포트를 찾아내어 이를 알려준다.
이상에서 본 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다.
또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
10: 생산라인 10a,10b,…,10m: 구역
11a,11b,…,11n: 생산설비
12a,12b,…,12n: 포트 13: 이송경로
14: 비상구 20a,20b,…,20m: 구역 밸브
25: 통합 밸브 30: 검출장치
40: 펌프

Claims (7)

  1. 다수의 그룹별 구역으로 구획되고 그룹별 구역에 공정가스가 투입되는 하나 이상의 생산설비가 구비된 생산라인;
    상기 각 생산설비에 구비되어 이송경로에 일대 일로 연결되는 포트;
    상기 이송경로에 연결되고 구역당 포트 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 구역 밸브;
    상기 구역 밸브 후단의 이송경로에 연결되고 구역 밸브 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 통합 밸브; 및
    상기 통합 밸브 후단에 연결된 통합 이송경로에 구비되어 생산라인과 구역 및 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 검출장치;
    를 포함하는 생산라인의 공정가스 검출시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 검출장치는 생산라인에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스가 검출된 경우에 구역 밸브를 순서대로 개방하여 그룹별 구역에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 순서대로 검사하고, 유해가스가 검출된 그룹별 구역에 대해 해당 그룹별 구역의 포트를 순서대로 개방하여 해당 그룹별 구역의 각 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 순서대로 검사하여 유해가스가 검출된 포트를 찾아내는 것을 특징으로 하는 생산라인의 공정가스 검출시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 생산라인에 투입된 공정가스에서 유해가스가 검출되는 경우 알람이 울리는 것을 특징으로 하는 생산라인의 공정가스 검출시스템.
  4. (A) 하나의 생산라인을 하나 이상의 생산설비를 갖춘 다수의 그룹별 구역으로 구획하는 단계;
    (B) 상기 각 생산설비에 구비하여 이송경로에 포트를 일대 일로 연결하는 단계;
    (C) 상기 이송경로에 그룹별 구역당 포트 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 구역 밸브를 구비하는 단계;
    (D) 상기 구역 밸브 후단의 이송경로에 구역 밸브 수만큼의 입구와 하나의 출구를 구비한 통합 밸브를 구비하는 단계; 및
    (E) 상기 통합 밸브와 구역 밸브와 포트를 개폐하면서 통합 밸브 후단에 연결된 검출장치로 생산라인과 그룹별 구역과 생산설비에 투입되는 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계;
    를 포함하는 생산라인의 공정가스 검출방법.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 (E)단계는 (E-1) 포트와 구역 밸브와 통합 밸브를 모두 개방한 상태에서 검출장치로 생산라인에 투입된 공정가스의 오염 정도를 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계와,
    (E-2) 상기 유해가스가 검출되지 않은 경우 (E-1)단계를 반복 수행하는 단계와,
    (E-3) 상기 유해가스가 검출되는 경우 해당 구역의 포트와 구역 밸브를 차례로 전환(닫힘->개방)하고 구역별 공정가스의 오염 정도를 차례로 검사하여 유해가스 검출 여부를 판단하는 단계와,
    (E-4) 상기 유해가스가 검출된 그룹별 구역에 대해 포트를 차례로 전환(닫힘->개방)하고 해당 그룹별 구역의 생산설비 공정가스의 오염 정도를 차례로 검사하여 유해가스가 검출된 포트를 찾아내는 단계로 이루어지는 것을 특징으로 하는 생산라인의 공정가스 검출방법.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 (E-3)단계에서 생산라인에 투입된 공정가스에서 유해가스가 검출되는 경우 생산라인의 작업자가 대피할 수 있도록 알람을 울리는 것을 특징으로 하는 생산라인의 공정가스 검출방법.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 (E-3)단계에서 알람을 주의 알람과 비상 알람으로 분류 설정하고, 주의 알람이나 비상 알람이 발생하는 경우 로그기록상에 주의 알람은 황색으로, 비상 알람은 적색으로 기록하는 것을 특징으로 하는 생산라인의 공정가스 검출방법.
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