JPH11295192A - ガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分析方法 - Google Patents
ガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分析方法Info
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- JPH11295192A JPH11295192A JP11790698A JP11790698A JPH11295192A JP H11295192 A JPH11295192 A JP H11295192A JP 11790698 A JP11790698 A JP 11790698A JP 11790698 A JP11790698 A JP 11790698A JP H11295192 A JPH11295192 A JP H11295192A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 配管内のガス滞留部を無くし、短時間で安定
した、サンプルガスを供給し迅速なガス分析を可能とす
ること。 【解決手段】 複数のガスサンプルライン配管を切替弁
を介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置に
おいて、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の２個のポートを、それぞれ隣接する他の三方
弁に連続的に接続すると共に、端部となる三方弁のポー
トに分析計に接続し分析する
した、サンプルガスを供給し迅速なガス分析を可能とす
ること。 【解決手段】 複数のガスサンプルライン配管を切替弁
を介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置に
おいて、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の２個のポートを、それぞれ隣接する他の三方
弁に連続的に接続すると共に、端部となる三方弁のポー
トに分析計に接続し分析する
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、複数のガスサンプ
ルラインのガス分析、特に気体内の稀少ガスの分析に有
益なガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分
析方法に関するものである。
ルラインのガス分析、特に気体内の稀少ガスの分析に有
益なガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分
析方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、ガスのサンプリング分析において
は、図４及び５に示す如く、分析するサンプル１、２、
３、４、・・・・を入側配管１１、１２、１３、１４、
・・のそれぞれ設けている切替弁８１、８２、８３、８
４、・・を介し出力配管３１、３２、３３、３４、・・
に合流させて分析計４に供給していた。この従来のガス
のサンプリング分析手順について述べると、例えばサン
プル１について分析する場合、図４に示す如く、サンプ
ル１の配管１１に接続する切替弁８１を開き、他のガス
ラインの配管１２、１３、１４、・・に接続する切替弁
８２、８３、８４、・・を閉じ、配管３１を介し分析計
４にサンプル１のガスを供給し分析を行う。
は、図４及び５に示す如く、分析するサンプル１、２、
３、４、・・・・を入側配管１１、１２、１３、１４、
・・のそれぞれ設けている切替弁８１、８２、８３、８
４、・・を介し出力配管３１、３２、３３、３４、・・
に合流させて分析計４に供給していた。この従来のガス
のサンプリング分析手順について述べると、例えばサン
プル１について分析する場合、図４に示す如く、サンプ
ル１の配管１１に接続する切替弁８１を開き、他のガス
ラインの配管１２、１３、１４、・・に接続する切替弁
８２、８３、８４、・・を閉じ、配管３１を介し分析計
４にサンプル１のガスを供給し分析を行う。
【０００３】次に、サンプル１に次いで、サンプル３に
ついて分析する時は、サンプル１の配管１１に接続する
切替弁８１を閉じ、サンプル３の配管１３に接続する切
替弁８３を開き、他のガスラインの入側の配管１１、１
２、１４、・・に接続する切替弁８１、８２、８４、・
・の閉状態を維持し、配管３３を介し分析計４にサンプ
ル１のガスを供給し分析を行う。なお、図において切替
弁の開状態は「△」で表し、閉状態は「▲」で表し、分
析ガス流れている配管の部分は「太線」、分析ガスが流
れていない部分は「細線」で表している。
ついて分析する時は、サンプル１の配管１１に接続する
切替弁８１を閉じ、サンプル３の配管１３に接続する切
替弁８３を開き、他のガスラインの入側の配管１１、１
２、１４、・・に接続する切替弁８１、８２、８４、・
・の閉状態を維持し、配管３３を介し分析計４にサンプ
ル１のガスを供給し分析を行う。なお、図において切替
弁の開状態は「△」で表し、閉状態は「▲」で表し、分
析ガス流れている配管の部分は「太線」、分析ガスが流
れていない部分は「細線」で表している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、従来のガス分
析においては、以下のような問題点があった。即ち、従
来のガス分析においては、例えばサンプル１について分
析する場合、図４に示す如く、分析をしないサンプル
２、３、４、・・の切替弁８２、８３、８４、・・の分
析計側の出力配管３２、３３、３４、・・にガス滞留部
９１、９２が形成される。またサンプル１に次いで、サ
ンプル３について分析した場合、図５に示す如く、分析
をしないサンプル１、２、４、・・の切替弁８１、８
２、８４、・・の分析計側の出力配管３１、３２、３
４、・・に、サンプル１を分析した時に流れ込んでき
た、サンプル１のガスが充満したガス滞留部９３、９４
が形成される。この滞留部９１、９２（サンプル３の分
析の時、滞留部９３、９４）は、それそれのサンプル
２、３、４、・・（サンプル３の分析の時、サンプル
１、２、４、・・）が前回分析した際の残りガスが滞留
しているもので、サンプルを分析するとき、サンプルの
ガスを分析計４に供給しても、このガス滞留部９１、９
２、９３、９４から残留ガスが少しずつ供給され続け
る。このことは、ガス成分の残量元素（例えば、製品Ｎ
2 ガスの場合、微量酸素）の検出等、稀少ガスのガス分
析を行う場合において特に問題となり、分析精度に誤差
を生じることになる。従って、従来の分析に於いては、
前記ガス滞留部９１、９２のガスが抜けきり、サンプル
１のガスのみの安定した状態となるのを待って分析を行
っていた。この安定した定常状態になるまで、配管の長
さにより異なるが、一般的には３．０時間を要すること
もあり、迅速にガス分析を行うことが出来なかった。本
発明は、上述した事情に鑑み提案されたもので、短時間
で安定した、サンプルガスを供給し迅速なガス分析を可
能とすることを目的とする。
析においては、以下のような問題点があった。即ち、従
来のガス分析においては、例えばサンプル１について分
析する場合、図４に示す如く、分析をしないサンプル
２、３、４、・・の切替弁８２、８３、８４、・・の分
析計側の出力配管３２、３３、３４、・・にガス滞留部
９１、９２が形成される。またサンプル１に次いで、サ
ンプル３について分析した場合、図５に示す如く、分析
をしないサンプル１、２、４、・・の切替弁８１、８
２、８４、・・の分析計側の出力配管３１、３２、３
４、・・に、サンプル１を分析した時に流れ込んでき
た、サンプル１のガスが充満したガス滞留部９３、９４
が形成される。この滞留部９１、９２（サンプル３の分
析の時、滞留部９３、９４）は、それそれのサンプル
２、３、４、・・（サンプル３の分析の時、サンプル
１、２、４、・・）が前回分析した際の残りガスが滞留
しているもので、サンプルを分析するとき、サンプルの
ガスを分析計４に供給しても、このガス滞留部９１、９
２、９３、９４から残留ガスが少しずつ供給され続け
る。このことは、ガス成分の残量元素（例えば、製品Ｎ
2 ガスの場合、微量酸素）の検出等、稀少ガスのガス分
析を行う場合において特に問題となり、分析精度に誤差
を生じることになる。従って、従来の分析に於いては、
前記ガス滞留部９１、９２のガスが抜けきり、サンプル
１のガスのみの安定した状態となるのを待って分析を行
っていた。この安定した定常状態になるまで、配管の長
さにより異なるが、一般的には３．０時間を要すること
もあり、迅速にガス分析を行うことが出来なかった。本
発明は、上述した事情に鑑み提案されたもので、短時間
で安定した、サンプルガスを供給し迅速なガス分析を可
能とすることを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上述した目的
を達成するため、以下の特徴点を備えている。請求項１
記載の発明は、複数のガスサンプルライン配管を切替弁
を介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置に
おいて、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の
三方弁のポートに接続し、三方弁を連続的に接続すると
共に、分析計に近い側の端部となる三方弁の残ったポー
トに分析計を接続したことを特徴とするガスサンプリン
グ分析装置である。
を達成するため、以下の特徴点を備えている。請求項１
記載の発明は、複数のガスサンプルライン配管を切替弁
を介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置に
おいて、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の
三方弁のポートに接続し、三方弁を連続的に接続すると
共に、分析計に近い側の端部となる三方弁の残ったポー
トに分析計を接続したことを特徴とするガスサンプリン
グ分析装置である。
【０００６】請求項２記載の発明は、複数のガスサンプ
ルライン配管を切替弁を介して分析計に接続するガスサ
ンプリング装置において、複数のガスサンプルライン配
管にそれぞれ設けた三方弁の他の２個のポートを、それ
ぞれ隣接する他の三方弁のポートに接続し、三方弁を連
続的に接続すると共に、端部となる三方弁のポートを出
力配管とする分析ブロックを複数群設け、各分析ブロッ
クのそれぞれに設けた三方弁の他の２個のポートを、そ
れぞれ隣接する他の三方弁のポートに接続し、三方弁を
連続的に接続すると共に、端部となる三方弁の残ったポ
ートに分析計を接続したことを特徴とするガスサンプリ
ング分析装置である。
ルライン配管を切替弁を介して分析計に接続するガスサ
ンプリング装置において、複数のガスサンプルライン配
管にそれぞれ設けた三方弁の他の２個のポートを、それ
ぞれ隣接する他の三方弁のポートに接続し、三方弁を連
続的に接続すると共に、端部となる三方弁のポートを出
力配管とする分析ブロックを複数群設け、各分析ブロッ
クのそれぞれに設けた三方弁の他の２個のポートを、そ
れぞれ隣接する他の三方弁のポートに接続し、三方弁を
連続的に接続すると共に、端部となる三方弁の残ったポ
ートに分析計を接続したことを特徴とするガスサンプリ
ング分析装置である。
【０００７】請求項３記載の発明は、複数のガスサンプ
ルライン配管を切替弁を介して分析計に接続し、ガスサ
ンプリングするガスサンプリング分析方法において、分
析するガスサンプルライン配管に設けた三方弁、及び他
の１又は複数のガスサンプルライン配管の三方弁を介し
接続し分析ガスを流すことを特徴とするガスサンプリン
グ分析方法である。
ルライン配管を切替弁を介して分析計に接続し、ガスサ
ンプリングするガスサンプリング分析方法において、分
析するガスサンプルライン配管に設けた三方弁、及び他
の１又は複数のガスサンプルライン配管の三方弁を介し
接続し分析ガスを流すことを特徴とするガスサンプリン
グ分析方法である。
【０００８】（作用）本発明は、上述した構成を備えて
いるため、以下の作用を奏する。請求項１、３記載の発
明では、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の
三方弁のポートに接続し、三方弁を連続的に接続する構
成となっている。このため、分析するガスの三方弁と分
析計の間にある三方弁を開き、ガス流通経路を形成す
る。そして、分析するガスの三方弁では、他のサンプル
ガスからの流入を防ぎ、分析計の間にある三方弁では、
その三方弁に接続している配管からのガスの流入を防止
する。従って、他のガスの流入、混入を防止するように
作用する。また、この状態で分析するガスを流すと析す
るガスの三方弁と分析計の間にある配管に滞留部が無
く、短時間で配管内のガスは分析するガスで充満され
る。このため短時間で分析計を作動させることが出来
る。
いるため、以下の作用を奏する。請求項１、３記載の発
明では、複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設け
た三方弁の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の
三方弁のポートに接続し、三方弁を連続的に接続する構
成となっている。このため、分析するガスの三方弁と分
析計の間にある三方弁を開き、ガス流通経路を形成す
る。そして、分析するガスの三方弁では、他のサンプル
ガスからの流入を防ぎ、分析計の間にある三方弁では、
その三方弁に接続している配管からのガスの流入を防止
する。従って、他のガスの流入、混入を防止するように
作用する。また、この状態で分析するガスを流すと析す
るガスの三方弁と分析計の間にある配管に滞留部が無
く、短時間で配管内のガスは分析するガスで充満され
る。このため短時間で分析計を作動させることが出来
る。
【０００９】請求項２記載の発明では、請求項１記載の
発明の三方弁の配置を複数段に設ける構成で、多数の分
析ガスサンプルラインがある場合、それぞれ三方弁で構
成する分析ガスサンプル群を一つの分析ブロックとして
分け、これを三方弁で分析計に接続する構成である。こ
のように構成することにより、サンプル数が多くなった
ときでも、常に、分析計の直前の三方弁まで、次に分析
するガスを供給出来る状態としておけるため、沢山の三
歩弁を経由する必要が無く、次の迅速に分析が行える。
発明の三方弁の配置を複数段に設ける構成で、多数の分
析ガスサンプルラインがある場合、それぞれ三方弁で構
成する分析ガスサンプル群を一つの分析ブロックとして
分け、これを三方弁で分析計に接続する構成である。こ
のように構成することにより、サンプル数が多くなった
ときでも、常に、分析計の直前の三方弁まで、次に分析
するガスを供給出来る状態としておけるため、沢山の三
歩弁を経由する必要が無く、次の迅速に分析が行える。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明に
係るガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分
析方法の一実施形態を説明する。図１、２は、本発明に
係る第１の発明のガスサンプリング分析装置の構成図を
示すもので、図１は、サンプル１、図２はサンプル３を
分析したときの説明図である。複数のガスサンプルライ
ン１、２、３、４のそれぞれの入側の配管１１、１２、
１３、１４にそれぞれ三方弁２１、２２、２３、２４の
「ポートＡ」に接続している。この三方弁２１の「ポー
トＢ」は、三方弁２２の「ポートＣ」に配管３２を介し
接続し、三方弁２１の「ポートＣ」は、分析計４への供
給するための供給配管を兼ねた出側配管３１に接続して
いる。また、三方弁２２の「ポートＢ」は、三方弁２３
の「ポートＣ」に出側配管３３を介し接続し、三方弁２
３の「ポートＢ」は、三方弁２４の「ポートＣ」に出側
配管３４を介し接続する。以下、同様にサンプルライン
を三方弁を介して接続する。なお、図示はしないが、こ
のようにして接続した、最後のサンプルライン（分析計
から配管上一番遠いサンプルライン）にも同様に三方弁
を設けても良いが、、一つ前のサンプルラインの三方弁
の「ポートＢ」に直接接続し、最後の三方弁を省略する
構成としても良いことはいうまでもない。
係るガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分
析方法の一実施形態を説明する。図１、２は、本発明に
係る第１の発明のガスサンプリング分析装置の構成図を
示すもので、図１は、サンプル１、図２はサンプル３を
分析したときの説明図である。複数のガスサンプルライ
ン１、２、３、４のそれぞれの入側の配管１１、１２、
１３、１４にそれぞれ三方弁２１、２２、２３、２４の
「ポートＡ」に接続している。この三方弁２１の「ポー
トＢ」は、三方弁２２の「ポートＣ」に配管３２を介し
接続し、三方弁２１の「ポートＣ」は、分析計４への供
給するための供給配管を兼ねた出側配管３１に接続して
いる。また、三方弁２２の「ポートＢ」は、三方弁２３
の「ポートＣ」に出側配管３３を介し接続し、三方弁２
３の「ポートＢ」は、三方弁２４の「ポートＣ」に出側
配管３４を介し接続する。以下、同様にサンプルライン
を三方弁を介して接続する。なお、図示はしないが、こ
のようにして接続した、最後のサンプルライン（分析計
から配管上一番遠いサンプルライン）にも同様に三方弁
を設けても良いが、、一つ前のサンプルラインの三方弁
の「ポートＢ」に直接接続し、最後の三方弁を省略する
構成としても良いことはいうまでもない。
【００１１】図中、５、７１、７２、７３、７４、７
５、７６、７７、７８は、それぞれの配管内の余分なガ
スを排出するリリーフ弁であり、６は、分析計の直前の
圧力を図る圧力計である。なお、三方弁の開閉状況は、
従来例の切替弁と同様に開状態は「△」で表し、閉状態
は「▲」で表し、分析ガスが流れている配管の部分は
「太線」、分析ガスが流れていない部分は「細線」で表
している。
５、７６、７７、７８は、それぞれの配管内の余分なガ
スを排出するリリーフ弁であり、６は、分析計の直前の
圧力を図る圧力計である。なお、三方弁の開閉状況は、
従来例の切替弁と同様に開状態は「△」で表し、閉状態
は「▲」で表し、分析ガスが流れている配管の部分は
「太線」、分析ガスが流れていない部分は「細線」で表
している。
【００１２】今、サンプル１の分析を行う場合には、図
１に示す如く、三方弁２１の「ポートＡ」と「ポート
Ｃ」を開き、サンプル１の導入配管１１内のサンプルガ
スを分析計４に供給する。ガス供給開始直後にはガスの
分析を行わず、リリーフ弁５より管内の残存ガスを放出
させる。一定時間（例えば１分）を流し続けた後に分析
計４によりガスの分析を行う。このとき三方弁２１の
「ポートＢ」は閉状態、となっておりサンプル２以下の
ラインのガスの流入を防止している。
１に示す如く、三方弁２１の「ポートＡ」と「ポート
Ｃ」を開き、サンプル１の導入配管１１内のサンプルガ
スを分析計４に供給する。ガス供給開始直後にはガスの
分析を行わず、リリーフ弁５より管内の残存ガスを放出
させる。一定時間（例えば１分）を流し続けた後に分析
計４によりガスの分析を行う。このとき三方弁２１の
「ポートＢ」は閉状態、となっておりサンプル２以下の
ラインのガスの流入を防止している。
【００１３】次に、サンプル１に続いて、サンプル２の
分析を行う場合を述べる。図２に示す如く、まず三方弁
２１の「ポートＡ」を閉じ、サンプル１のガスの供給を
停止し、次いで三方弁２１の「ポートＢ」と「ポート
Ｃ」を開く。このとき、三方弁２２の「ポートＢ」と
「ポートＣ」、及び三方弁２３の「ポートＡ」と「ポー
トＣ」を開き、サンプル３の入側配管１３内のサンプル
ガスを分析計４に供給する。前記サンプル１の分析と同
様に、ガス供給開始直後にはガスの分析を行わず、リリ
ーフ弁５より管内の残存ガスを放出させる。一定時間
（例えば１分）を流し続けた後に分析計４によりガスの
分析を行う。なお三方弁２３の「ポートＢ」は閉状態と
なっており、サンプル４以下のラインのガスの流入を防
止すると共に、サンプル１、２は、それぞれ三方弁２
１、２２の「ポートＡ」が閉状態となっている為、ガス
の流入を防止している。
分析を行う場合を述べる。図２に示す如く、まず三方弁
２１の「ポートＡ」を閉じ、サンプル１のガスの供給を
停止し、次いで三方弁２１の「ポートＢ」と「ポート
Ｃ」を開く。このとき、三方弁２２の「ポートＢ」と
「ポートＣ」、及び三方弁２３の「ポートＡ」と「ポー
トＣ」を開き、サンプル３の入側配管１３内のサンプル
ガスを分析計４に供給する。前記サンプル１の分析と同
様に、ガス供給開始直後にはガスの分析を行わず、リリ
ーフ弁５より管内の残存ガスを放出させる。一定時間
（例えば１分）を流し続けた後に分析計４によりガスの
分析を行う。なお三方弁２３の「ポートＢ」は閉状態と
なっており、サンプル４以下のラインのガスの流入を防
止すると共に、サンプル１、２は、それぞれ三方弁２
１、２２の「ポートＡ」が閉状態となっている為、ガス
の流入を防止している。
【００１４】次に、第２の実施の形態を示すもので、前
記した第１の実施の形態で示した、分析計に導入途中の
入側配管３１の途中まで、複数のサンプルラインを一つ
の固まりの分析ブロックａ、ｂ、ｃ、ｄとしてとらえ、
この分析ブロックａ、ｂ、ｃ、ｄを第１の実施の形態で
使用した三方弁２１、２２、２３、２４と同様の配置
で、三方弁２５、２６、２７、２８を介し分析計４に接
続したものである（図３）。即ち、分析ブロックａ、
ｂ、ｃ、ｄよりのそれぞれの出力の配管１５、１６、１
７、１８にそれぞれ三方弁２５、２６、２７、２８の
「ポートＡ」に接続している。この三方弁２５の「ポー
トＢ」は、三方弁２６の「ポートＣ」に配管３６を介し
接続し、三方弁２５の「ポートＣ」は、分析計４への供
給するための供給配管を兼ねた出側の配管３５に接続し
ている。また三方弁２６の「ポートＢ」は、三方弁２７
の「ポートＣ」に出側配管３７を介し接続し、三方弁２
７の「ポートＢ」は、三方弁２８の「ポートＣ」に出側
配管３８を介し接続する。以下、同様にサンプルライン
を三方弁を介して接続する。このように構成することよ
り、サンプル数が多くなったときでも、常に、分析計の
直前の三方弁２５、２６、２７、２８まで、次に分析す
るガスを供給出来る状態としておけるため、沢山の三方
弁を経由する必要が無く、配管内残存ガスが少なく、次
のサンプルの分析が迅速に行える。
記した第１の実施の形態で示した、分析計に導入途中の
入側配管３１の途中まで、複数のサンプルラインを一つ
の固まりの分析ブロックａ、ｂ、ｃ、ｄとしてとらえ、
この分析ブロックａ、ｂ、ｃ、ｄを第１の実施の形態で
使用した三方弁２１、２２、２３、２４と同様の配置
で、三方弁２５、２６、２７、２８を介し分析計４に接
続したものである（図３）。即ち、分析ブロックａ、
ｂ、ｃ、ｄよりのそれぞれの出力の配管１５、１６、１
７、１８にそれぞれ三方弁２５、２６、２７、２８の
「ポートＡ」に接続している。この三方弁２５の「ポー
トＢ」は、三方弁２６の「ポートＣ」に配管３６を介し
接続し、三方弁２５の「ポートＣ」は、分析計４への供
給するための供給配管を兼ねた出側の配管３５に接続し
ている。また三方弁２６の「ポートＢ」は、三方弁２７
の「ポートＣ」に出側配管３７を介し接続し、三方弁２
７の「ポートＢ」は、三方弁２８の「ポートＣ」に出側
配管３８を介し接続する。以下、同様にサンプルライン
を三方弁を介して接続する。このように構成することよ
り、サンプル数が多くなったときでも、常に、分析計の
直前の三方弁２５、２６、２７、２８まで、次に分析す
るガスを供給出来る状態としておけるため、沢山の三方
弁を経由する必要が無く、配管内残存ガスが少なく、次
のサンプルの分析が迅速に行える。
【００１５】
【実施例】液体窒素タンク（３基）の窒素中の微量酸素
分析の実施例について述べる。サンプル数３を三方弁で
接続した。それぞれのサンプルの圧力は、３ｋｇ／ｍ2
で、流量は１リットル／ｍｉｎとして、分析計へ供給し
た。分析計は、残存ガスが無くなった定常状態となるの
に７０秒であった。なお、従来の構成で、同様のサンプ
ル圧力、流量では、定常状態となるのに約９０分かかっ
た。
分析の実施例について述べる。サンプル数３を三方弁で
接続した。それぞれのサンプルの圧力は、３ｋｇ／ｍ2
で、流量は１リットル／ｍｉｎとして、分析計へ供給し
た。分析計は、残存ガスが無くなった定常状態となるの
に７０秒であった。なお、従来の構成で、同様のサンプ
ル圧力、流量では、定常状態となるのに約９０分かかっ
た。
【００１６】
【発明の効果】本発明は、上述した構成することによ
り、配管内にガス分析時に滞留部が生じることが無く、
サンプルを切り替えたときでも短時間で定常状態となる
ため短時間で正確なガス分析を行うことが出来、製品ガ
スの場合、品質の信頼性を向上させることが出来る。ま
た製造プロセスに利用した場合、分析計の信頼性が向上
し、操業の監視が適切に行える。また、短時間に分析が
行えることより、分析周期の短縮を図れ、分析の信頼性
の向上、分析機器の削減、及び人員の削減を図ることが
できる等優れた効果を奏することができる。
り、配管内にガス分析時に滞留部が生じることが無く、
サンプルを切り替えたときでも短時間で定常状態となる
ため短時間で正確なガス分析を行うことが出来、製品ガ
スの場合、品質の信頼性を向上させることが出来る。ま
た製造プロセスに利用した場合、分析計の信頼性が向上
し、操業の監視が適切に行える。また、短時間に分析が
行えることより、分析周期の短縮を図れ、分析の信頼性
の向上、分析機器の削減、及び人員の削減を図ることが
できる等優れた効果を奏することができる。
【図１】本発明に係る第１の実施の形態を示すもので、
サンプル１を分析するときの分析装置の構成の説明図で
ある。
サンプル１を分析するときの分析装置の構成の説明図で
ある。
【図２】本発明に係る第１の実施の形態を示すもので、
サンプル３を分析するときの分析装置の構成の説明図で
ある。
サンプル３を分析するときの分析装置の構成の説明図で
ある。
【図３】本発明に係る第２の実施の形態を示す分析装置
の構成の説明図である。
の構成の説明図である。
【図４】従来の分析装置を示すもので、サンプル１を分
析するときの説明図である。
析するときの説明図である。
【図５】従来の分析装置を示すもので、サンプル３を分
析するときの説明図である。
析するときの説明図である。
１１、１２、１３、１４ 入側配管 １５、１６、１７、１８ 分析ブロック出側配管 ２１、２２、２３、２４、２５、２６、２７、２８
三方弁 ３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８
出側配管 ４ 分析計 ５、７１、７２、７３、７４ リリーフ弁 ６ 圧力計 ８１、８２、８３、８４ 切替弁 ９１、９２、９３、９４ 滞留部 ａ、ｂ、ｃ、ｄ 分析ブロック
三方弁 ３１、３２、３３、３４、３５、３６、３７、３８
出側配管 ４ 分析計 ５、７１、７２、７３、７４ リリーフ弁 ６ 圧力計 ８１、８２、８３、８４ 切替弁 ９１、９２、９３、９４ 滞留部 ａ、ｂ、ｃ、ｄ 分析ブロック
Claims (3)
- 【請求項１】複数のガスサンプルライン配管を切替弁を
介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置にお
いて、 複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設けた三方弁
の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の三方弁の
ポートに接続し、三方弁を連続的に接続すると共に、分
析計に近い側の端部となる三方弁の残ったポートに分析
計を接続したことを特徴とするガスサンプリング分析装
置。 - 【請求項２】複数のガスサンプルライン配管を切替弁を
介して分析計に接続するガスサンプリング分析装置にお
いて、 複数のガスサンプルライン配管にそれぞれ設けた三方弁
の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の三方弁の
ポートに接続し、三方弁を連続的に接続すると共に、端
部となる三方弁のポートを出力配管とする分析ブロック
を複数群設け、各分析ブロックのそれぞれに設けた三方
弁の他の２個のポートを、それぞれ隣接する他の三方弁
のポートに接続し、三方弁を連続的に接続すると共に、
端部となる三方弁の残ったポートに分析計を接続したこ
とを特徴とするガスサンプリング分析装置。 - 【請求項３】複数のガスサンプルライン配管を切替弁を
介して分析計に接続し、ガスサンプリングするガスサン
プリング分析方法において、 分析するガスサンプルライン配管に設けた三方弁、及び
他の１又は複数のガスサンプルライン配管の三方弁を介
し接続し分析ガスを流すことを特徴とするガスサンプリ
ング分析方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11790698A JPH11295192A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | ガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分析方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11790698A JPH11295192A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | ガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分析方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH11295192A true JPH11295192A (ja) | 1999-10-29 |
Family
ID=14723128
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11790698A Withdrawn JPH11295192A (ja) | 1998-04-14 | 1998-04-14 | ガスサンプリング分析装置及びガスサンプリング分析方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH11295192A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007248114A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ガス分析装置 |
| JP2017506346A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | モコン・インコーポレーテッド | センサーへの供給流路調整システムを搭載した対象分析物の透過試験器 |
-
1998
- 1998-04-14 JP JP11790698A patent/JPH11295192A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007248114A (ja) * | 2006-03-14 | 2007-09-27 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ガス分析装置 |
| JP2017506346A (ja) * | 2014-02-24 | 2017-03-02 | モコン・インコーポレーテッド | センサーへの供給流路調整システムを搭載した対象分析物の透過試験器 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20050705 |