經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 8594pif.doc/008 五、發明說明（f ) 所屬之技術領域 本發明爲關於分析系統及分析方法，詳言之，即對複 數種類的樣本（sample)，用數台分析計對應各樣本分別常 時連續監視分析之方式，形成的分析系統及分析方法。 習知之技術 例如空氣分離裝置或瓦斯精製裝置等之氣體供給設 備，爲監視氣體的純度、氣體中之不純物量，在必要之適 當處所設置分析計，進行常時連續視分析。半導體製造工 廠之使用氣體設備，亦有使用氣體之連續監視設備。 如供給或使用之氣體有多數種類之場合，需對應各種 氣體分別設置分析計，由各樣本之採樣點，分別採取樣本 導入各別對應之分析計，在各別分析計分別進行規定之分 析操作。 如空氣分離裝置之氣體供給設備，大多設有具聯鎖機 能之分析計，供給氣體中的不純物量，在複數個地點連續 分析，不純物量超過各點之規定値時，可遮斷由空氣分離 裝置供給之氣體，切換成改用備用貯存之氣體供給。此場 合，備用之氣體僅供緊急時使用，因其存量有限，需探究 不純物增加之原因並採取對策，盡早修復恢復由空氣分離 裝置供給氣體。 但是，不純物量之增加，有時不是空氣分離裝置之原 因’亦有可能爲分析計之故障。因之，有必要再確認，在 分析計中測定爲異常値的氣體中，是否真的有相當量的不 純物混入，或爲分析計之誤報。爲此，有必要將對象之氣 4 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ·------- — 訂---------線 ---------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A1規格（210 x 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8 5 9 4pif.doc/ 0 0 8 _1£ 五、發明說明（τ) 體採取樣本，送試驗室分析，等待其分析結果。但，在此 試驗室之分析過程，有試驗室的空氣樣本之寄送，氣體之 採樣，採取氣體樣本之採樣器到試驗室之往返，試驗室之 分析等程序。由向試驗室申請分析到分析結果出來，最快 亦需數曰。 在分析計故障之場合，需緊急準備同種分析計代替用， 在故障之分析計修理之期間，用此代替用分析計進行常時 連續監視分析。但，同種之分析計要立即到手亦有困難， 考慮由製造廠裝配、搬運、安裝、調整等，就有數日間成 不能分析之狀態。特別是近年來在半導體製造界，使用氣 體中的不純物容許量僅在ppb之水準，因之，需使用高精 度，高感度的分析計，與一般泛用之分析計相比，價値極 高，要保有備用之分析計，經濟上不容易。 空氣分離裝置的運轉再開，有時需要一週左右，通常 的一日左右之備用量不夠，所以至運轉再開期間，需用油 罐車由其他空氣分離工廠，搬運液化氣補充貯槽。 欲決解的問題點 如此，分析計之分析結果一旦異常，空氣分離裝置 非停機一週左右不可，且需動用甚多人力，其間之費用極 大。半導體製造工廠等之使用氣體設備，發生氣體純度異 時，確認分析計之有無故障也需要同樣時間，此期間要停 止生產線，亦必須化費上述以上之工夫與費用。 本發明之目的爲提供一種分析系統及分析方法，對如 前述之氣體供給設備或氣體使用設備，不論分析複數個 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁} ϋ in I n ϋ l 一-°JI a^i mm— I ϋ n n in I I ϋ I I ί ϋ n .^1 I —1 i^i ϋ ϋ n ·1 I I n I < 5 496953 λ7 8594pif.doc/008 β7 五、發明說明（A ) (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 點或分析複數種氣體，因分析對象之不純物的種類有甚多 類似之處，在一個分析計的分析値發生異常之場合’能夠 在短時間內判定，其異常發生之原因爲氣體自身的’或爲 分析計發生的。而且，在分析計發生故障之場合’能在短 期間修復氣體供給或使用設備。 解決問穎之手段 爲達成上述之目的，本發明之分析系統之第一構成爲’ 對複數的採樣點個別設置對應之複數的分析計’各採樣點 之樣本由各別對應之分析計分析的分析系統。其特徵爲在 各分析計有由其各別對應之採樣點導入樣本之分析管路’ 及向其他分析計中能夠分析同種分析對象的分析計’送出 前述樣本的送出側之代行分析管路，經各別之管路切換設 備連接。至少有一個分析計’可經管路切換設備連接由其 他他分析計送出樣本的代行分析管路° 在前述構成中，該管路切換設備有三向閥或四向閥。 又前述代行分析管路，有遮斷該代行分析管路的閥’及連 通與遮斷由該代行分析管路連接系統外之排出管路的閥。 前述代行分析管路’即連接對樣本反應性不佳之分析計。 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本發明之分析系統的第二構成爲，對複數的採樣點個 別設置對應之複數分析計’各採樣點之樣本由各別對應之 分析計分析之系統。其特徵爲’在前述之複數的分析計之 外，加設可分析各分析計之分析對象的共通分析計。在上 述各分析計有由其對應之採樣點導入樣本之分析管路，及 連接經管路切換設備以切換以導入樣本至共通分析計的代 6 本紙準(CRSW規格（2. 297公餐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8594pif.doc/008 H7 五、發明說明（（/ ) 行分析管路。該共通分析計之特徵爲具上述代行分析管路 外，尙加設由外部導入樣本之外部樣本導入管路° 本發明之分析方法’在第一構成中’對複數的丨未彳永點 用複數之分析計分別對應設置，各採樣點之樣本’由各對 應之分析計分析的分析方法。其特徵爲如有一個分析旨十發 生異常之場合，將該分析計之全部樣本，導入其他分析計 中之可分析同種分析對象之分析計，由該分析計代行分 析。上述其他分析計將其本身分析全部樣本的分析’與發 生異常之分析計的全部樣本之代行分析交替進行爲其特 本發明之分析方法，在第二構成中，對複數的採樣點 用複數之分析計個別對應設置，各採樣點之樣本，由各對 應之分析計分析之分析方法。其特徵在前述複數的分析計 之外，加設可分析各分析計之分析對象的共通分析計，將 前述各分析計分析之全部樣本，順次切換導入該共通分析 計，在該共分析計一邊切換一邊分析。該共通分析計之特 徵爲，有一個分析計發生異常時，優先分析該分析計之全 部樣本。 圖式之簡單說明 第1圖示本發明分析系統之第一實施例的系統圖。 第2圖，示常時連續監視分析進行之通常狀態下，一 個分析計故障場合之分析方法。 第3圖示一個分析計故障時，進行代行分析管路之淸 理時的狀態。 7 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A·〗規格（21〇 297公釐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) -· ·ϋ ·ϋ ·ϋ 訂----- -----線— ------------------- 496953 Λ7 8594pif.doc/008 \rj 五、發明說明（〔） 第4圖示一個分析計故障時，進行代行分析之狀態 第5圖示本發明之分析系統的第二實施例之系統圖 第6圖示本發明之分析系統的第三實施例之系統圖 第7圖示本發明之分析系統的第四實施例之系統圖 圖式之標記說明： 10 、 20 、 30 、 40 、 50 10a、20a、30a、50a (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 --------訂------- ——線------------------- 11 12a 、 12b 、 22a 、 22b 32a 、 32b 、 42a 、 52a 、 52b 13 、 23 、 33 、 43 13a 、 13b 、 23a 、 23b 、 33a 14 、 24 、 34 15 、 25 ' 35 14a 、 14c 、 15a 、 15c 、 24a ’ 25a 、 25c 、 34a 、 34c ' 35a 14b 、 15b 、 24b 、 25b 、 34b 16 、 26 、 36 、 56 16a 、 16b 、 26a 、 26b 、 36a 17 、 27 、 37 、 57 、 18 、 28 、 38 、 58 21 31 41 氣體管路 採樣點 氮分析計 分析管路 分析管路 四向閥 33b 內部流路 送出側代行分析管路 受入側代行分析管路 24c 遮斷閥 35c 遮斷閥 35b 排出管路 二連三向閥 36b、56a、56b 閥 代行分析管路 外部氣體導入用遮斷閥 氫分析計 氬分析計 氧分析計 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 x 297公釐） 496953 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8594pif.doc/〇〇; 五、發明說明（乙） Λ7 H7 51 氦分析計 61 共通分析計 62 定序器 63 外部試料導入閥 100 代行分析管路 101 氮代行分析管路 101a 、 l〇2a 、 l〇3a 、 104a 、 105a 遮斷閥 101b 、 l〇2b 、 l〇3b 、 i〇4b 排出閥 102 氫代行分析管路 103 氬代行分析管路 104 氧代行分析管路 105 氬送出管路 ΜΜΛΜΜ2ΜΜΜΆ 第1圖示本發明之分析系統的第一實施例之系統圖。 在此分析系統有三支氣體管路10、20、30，流通三種氣體， 如在氣體精製裝置精製之氮氣(N2)，氫氣（H2)氬氣（Ar) ’用 三台分析計（氮分析計11、氫分析計21、分析# 3丨）分 別分析。在各氣體管路1〇、20、30之採樣點10a、20a、30a 與各分析計Π、2l、31之間’分別設置導入試料之分析 管路12a、12b、22a、22b、32a、32b ’經設於各分析計的 試料導入部之管路切換設備的四向閥13、23、33送至各 分析計。 在上述四向閥13、23、33，除前述各析管路外’尙連 接送出樣本至難分猶__倾分析管路14 ' 24、 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A1規恪（2丨0 X 2以Λ度） ϋ ϋ n ϋ ϋ ·ϋ ϋ ϋ· ϋ amMmm ϋ n I · n n ϋ 1 n I 一β，· ϋ B^i ϋ H ϋ 1 線— φ------------- (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496953 Λ7 五 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 8594pif.doc/008 Π7_______ ------------"" " '" ----— 發明說明（1 ) 34，及由其他分析計受入樣本之受入側代行分析管路15、 25、35。該些管路14、24 ' 34、15 ' 25、35 ’又各經過遮 斷閥14a、24a、34a、15a、25a、35a，個別連接共通之代 行分析管路100。又，各管路14、24、34、15、25、35分 別經遮斷閥Me、、3牝、1父、2九、35c，連接通往系 統外之排出管路 14b、24b、34b、15b、25b、35b。 四向閥13、23、33依內部流路13a、13b、23 a、23 b、 3；3a、33b之切換，可形成由採樣點i〇a、20a、30a取入分 析管路12a、22a、32a之樣本氣體，經分析管路12b、22b、 31b導入各分析計11、21、31之管路，及將分析管路i2a、 22a、32a採取之氣體樣本送至送出側代行分析管路14、24、 34之管路；以及由受入側代行分析管路I5、25、35，受 入其他分析計送來之氣體樣本，導入各分析計11、21、31 之管路。且在一方之內部流路13a、23a、33a連通兩支分 析管路之狀態時，另一方之內部流路13b、23b、33b則成 接通送出側代行分析管路14、24、34與受入側代行分析 管路15、25、35之狀態。 分析計11、21、31，可因應分析對象使用任意之分析 機器，例如半導體製造業傾向分析精製之氣體的場合，使 用大氣壓離子化質量分析計，該大氣壓離子化質量分析 計’可局精度、咼感度分析氣體中幾乎所有成份，所以， 分析氮、氫、氬之任一氣體爲分析對象，皆可用同樣的操 作’分析各氣體中之不純物。 其次，用第2圖至第4圖之說明圖說明，此分析系統 10 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) ··____
I ί tmm I I I ^ ϋ I .1 ϋ I I I ϋ ϋ ϋ I ϋ ϋ ϋ I I ϋ ϋ I I ϋ ϋ I 1 I I I - 本紙張尺㈣用中國國家標準（CNs)A.丨規士⑽χ 297公爱〉 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8594pif.doc/008 H7 五、發明說明（g ) 中的一個分析計，例如氫分析計21故障時的分析方法， 在各圖中，塗黑之閥表示關閉著，粗線表示管路流通著。 第2圖示進行常時連續監視分析之通常時狀態。在氣 體管路10流動之氮氣，其一部份由採樣點l〇a經分析管 路12a，四向閥13之內部流路13a，及分析管路12b流入 氮分析計Π。同樣地，在氣體管路20流動之氫氣，其一 部份由採樣點20a經分析管路22a，四向閥23之內部流路 23a，及分析管路22b導入氫分析計21。在氣體管路30流 動之氬氣，其一部份由採樣點30a經分析管路32a，四向 閥33之內部流路33a，及分析管路32b導入氫分析計。因 此，在各分析計11、21、31分別進行氮 '氫、氬之分析。 在此狀態，氫分析計發生故障，不能進行氫的分析時， 如第3圖所示。由分析管路22a、22b中間的四向閥23之 流路切換，同時打開送出側代行分析管路24的遮斷閥 24a，及氮分析計11附設之受入側代行析管路I5的遮斷 閥l5a’以及排出管路l5b的遮斷閥15c。則氨氣停止導 入氫分析計21，在氣體管路20之採樣點20a採取之氫氣 樣本，由分析管路22a經四向閥23之內部流路23a，再經 送出側代行分析管路24及代行分析管路1〇〇，導入受入側 代行分析管路I5，在排出管路I5排出。將該些管路，用 分析對象之樣本氫氣淸理乾淨。 此時’氣體管路1 〇流通之题氣，還是照常地，流經分 析管路12a，四向閥13之內部流路13a，分析管路l2b， 導入氮分析計11。氣體管路3 〇之氬氣亦同樣地，經分析 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A.l規格（210 X 297公釐） ----— — — — — — — — — Aw· — — — — — — — ^----!!線 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8594pif.d〇c/008 五、發明說明（θ ) 管路32a，四向閥22之內部流路33a，分析管路32b，流 入氬分析31。 在氫分析計21之送出側代行分析管路24，至氮分析 計11之受入側代行分析管路15間之管路十分洗淨之後。 如第4圖所示，切換氮分析計11之四向閥13，同時打開 排出管路i4b的遮斷閥14c，關閉排出管路l5b的遮斷閥 15c。依此，由代行分析管路1〇〇流入受入側代行分析管 路15之氫氣，通過四向閥13之內部流路13b，經分析管 路12b導入氮分析計11。即成由氣體管路20在分析管路 22a採樣的氫氣之分析，用氮分析計11代行之狀態，氫氣 中不純物之分析用氮分析計進行。 此時，氣體管路10在分析管路採樣之氮氣，通過四向 閥13內部流路13a，通過遮斷閥14c由排出管路14b排出 系統外部。氣體管路30之氫氣，仍然如前述，導入氫分 析計3 1分析。 在第4圖所示之代行分析狀態，因四向閥13之切換， 分析管路12a之氮氣，可流經四向閥13的內部流路13a， 至分析管路12b導入氮分析計11，依然可進行通常之氮的 分析。亦即，依四向閥13切換操作，.氮的分析與氫氣的 代行分析可切換進行，利用適當的時間之間隔，例如30 分鐘的間隔切換四向閥13，可進行氮氣的分析及氫氣的代 行分析。 在這期間，氫氣之供給，一面繼續使用備用之氫氣， 同時進行氫精製置之檢查或分析計之檢查，如爲氣體管 12 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂---------線！ 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Al規格（210 X 297公釐） 496953 Λ7 H7
IE 8594pif〇doc/008 五、發明說明（屮） 路2〇之氫氣純度（不純物量）異常時，即爲氫精製裝寶 常，需整修該精製裝置，另一方面，如確認氫氣骞 常，則爲氫分析計之故障，需修復氫分析計。 义 在異常之原因追查、修復等完了之後，各遮斷閱及四 向閥，恢復如第1圖所示之狀態，再開始規定的常時連較 監視分析。如此的進行代行分析的操作，可用手動方 換開閉各四向閥及遮斷閥，亦可使用氣壓閥或電磁閥^可 在外部操作之設備，依設定之次序自動的進行一連串的代^ 行分析操作。 如此地，依四向閥或遮斷閥之開閉切換操作，可不使 用發生異常的分析計，改用其他分析計代行分析。所以在 一'個分析計（本例用氣分析計21)故障之場合，該分析計分 析之全部樣本，用其他分析計中可分析同種分析對象的分 析計11代行分析氫氣，可連續分析監視氫氣與氮氣，該 些氣體的供給也可繼續。 因分析管路之切換使用四向閥，較使用複數的閥之組 合相比，可使通常分析時之無效空間最小。且因在代行分 析管路设遮斷閥’可防止樣本流入非代彳了分析之分析計。 因設有具備遮斷閥的排出管路，可確實用樣本淸淨管路。 第3圖所示之淸淨操作，在本實施例中，流進受入側代行 分析管路I5之氫氣，經遮斷閥15c通過排出管路15b排 出。但，亦可不設排出管路15b，流入受入側代行分析管 路15之氫氣，通過四向閥13之內部流路13b，再通過遮 斷閥14c，由排出管路14b排出。 13 ------I--I-----------訂---------線--^wi f請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)Al規格（210 X 297公釐） 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 8594pif.doc/008 五、發明說明（丨\) 關於分析計，使用無內藏校正系統之分析計的場合， 在校正該分析計時，例如校正氮分析計時，把四向閥13 之內部流路13b切換成如第4圖所示之狀態，排出管路15b 經四向閥13之內部流路13b與分析管路12b連通，可由 排出管15b順序導引校正氣體進入氮分析計11，就可進行 校正。此場合，順次使用各排出管路25b、35b，一台之校 正系統可順次校正各分析計，故一台高價之校正系統可兼 用於複數之分析計。 代行分析之分析計可任意選定，例如氮氣的代行分析， 使用氫分析計21，氬分析計31之任一個均可以。 第5圖示本發明之分析系統第二實施例的系統圖。以 下之說明中，與前述第一實施例之構成相同的構成要素， 使用同符號，其說明省略。 此分析系統爲，在流通四支氣體管路之四種氣體中 有高反應性之氣體混入時，例如與前實施例同樣地，氣體 管路10、20、30中分別有氮、氫、氬，第四支管路40中 之氣體爲對氫反應性高的氧氣(〇2)之場合。 本實施例中，爲避免進行代行分析時氫與氧混合，氫 之代行分析用氮分析計Π，氧之代行分析用氬分析計31。 良P，在氮分析計11之四向閥13與氫分析計21的四向閥23 之間，設有在分析管路12a採樣之氮氣導入氫分計21的 氮代行分析管路1〇1，及在分析管路22a採取之氫氣導入 氮分析計11的氫代行分析管路102，並且分別設置遮斷閥 101a、l〇2a及排出閥101b、l〇2b。又，在Μ分析計31之 14 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A4規格（210 X 297公釐） I I ϋ I ϋ I ϋ I I ϋ ϋ ϋ I · ϋ ϋ ϋ ·1 H ϋ I ! ϋ I ϋ ϋ I ϋ I I ϋ ϋ I I n I I I H — — — — — ϋ — — — — — — — (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 496953 Λ7
經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 五、發明說明（（T) 四向閥33與氧分析計41之四向閥43之間，設有在分析 管路32a採樣之氬氣導入氧分析§十41的氬代行刀析^路 103，及在分析管路42a採樣之氧氣導入氬分析# 31的氧 代行分析管路HM，而且，各別設置遮斷閥103a、1〇4a及 排出閥 l〇3b、104b。 如第5圖所示，氮分析計11之四向閥13的內部流路 13a，切換成連通分析管路12a與氮代行分析管路101 ’則 在氮扮析計11分析之全部氮氣可通過氮代行分析管路 101，流向氫分析計21之四向閥23，在經排出閥l〇lb排 出氮氣之淸潔操作完後，關閉排出閥l〇lb並打開遮斷閥 101a，再切換氫分析計21之四向閥23，氮氣就可導入氫 分析計21分析。 同樣地操作各四向閥，各遮斷閥，各排出閥，就可進 ί了氫氣在氣分析§十11，蠤氣在氧分析計41，氧氣在氬分 析計31之代行分析。如此，有互相反應性如氧與氫之樣 本混合之場合’要避免其混合選擇代行分析計，選定使用 分析與氫氧無反應性之樣本的氮分析計U或氬分析計 31，免除安全上之問題，亦可防止分析精度之惡化。 第6圖示本發明之分析系統的第三實施例之系統圖。 示氬分析計31不做其他樣本的代行分析，或不能代行分 析之場合之例。即，從氬分析計31之四向閥33，只設置 氬送出管路1〇5，經遮斷閥1〇5a連接氫分析計21 /之°四向 閥23。 在氮分析計11之四向閥13與氫分析計21之四向閥 -------------·------- — 訂---------線 I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁)
本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)ATiu各（210 x 297公餐"T 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8594pif. doc/008 \γ/ 五、發明說明（h ) 23，與第5圖所示之第二實施例相同，設有氮代行分析管 路101包括遮斷閥101a與排出閥101b，及氫代行分析管 路102包括遮斷閥102a與排出閥102b。氮代行分析路101 與即述鐘^迭出管路105接合後連接四向閥23。 因此，在分析管路12a採自氣體管路10之氮氣樣本， 可依四向閥13、遮斷閥101a、排出閥101b及四向閥23 之操作，導入氫分析計21代行分析。在分析管路22a採 自氣體管路20之氫氣樣本，可依四向閥23、遮斷閥102a、 排出閥l〇2b及四向閥13之操作，在氮分析計11代行分 析。在分析管路32a採自氣體管路30之氬氣樣本，經四 向閥33、遮斷閥105a與四向閥23之操作，可在氫分析計 21代行分析。 又，四向閥13、23、33之各內部路形成第6圖所示之 狀態，則在分析管路32a採自氣體管路30之氧氣樣本， 可通過四向閥33之內部流路33a，經送出側代行分析管 105、遮斷閥105a、四向閥23之內部流路23b、氫代行分 析管路102、遮斷閥102a、四向閥13之內部流路13b，再 經分析管路12b導入氮分析計11。 第7圖示本發明之分析系統的第四實施例之系統圖。 本系統爲氣體管路10、20、30、50分別流通之氮、氫、 氬、氦(He)，用氮分析計11、氫分析計21、氬分析計31、 氦分析計51之四台分析計分別進行常時連續監視分析之 形態，加設可分析各分析計之分析對象的共通分析計61 之例。 16 ---— — — — — — — — — — — — — — — — — ^ ---------I (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 本纸張尺度適用中國國家標準（CNS)A·丨規格（21〇χ 297公釐） 496953 五 g594pif.doc/008 B7 _.^---- 、發明說明（W) 進行常時連續監視分析之各分析計11、21、3 1、5 1爲 測定各氣體中之微量氧氣濃度的微量氧分析計’共通分析 計61爲至少能測定微量氧濃度的分析計，如大氣壓離子 化質量分析計。 在由各氣體管路10、20、30、50採取樣本之分析管路 12a、22a、32、52a，分別設置二連三向閥 16、26、36、56 做爲管路切換設備。各二連三向閥之一側的閥16a、26a、 36a、56a、經分析管路12b、22b、32b、52b連接各分析 計 11、21、31、51。另一側之閥 16b、26b、3 6b、56b ’ 經代行分析管路17、27、37、57連接共通分析計61。又， 二連三向閥的連接共通分析計側的閥16b、26b、36b、56b 爲由定序器（sequencer)62控制開閉之自動閥，設定成任何 時間，只能開一個閥。 在通常之狀態，閥16a、26a、36a、56a經常開著，由 各採樣點l〇a、20a、30a、50a採取流入分析管路12a、22a、 32a、52a 之氮、氫、氬、氦，通過閥 16a、26a、36a、56a 及分析管路l2b、22b、32b、52b導入各分析計11、21、31、 51，以進行不純物氧的常時連續監視分析。 二連三向閥之共通分析計側的閥16b、26b、36b、56b 爲依一定之時間間隔，順序打開任一規定的閥，各樣本順 次由打開之閥通過代行分析管路導入共通分析計61 ’分析 含氧之各種不純，例如在氦氣中之氧、一氧化碳、二氧化 碳、甲烷、氮、氫等不純物。對其他的氣體，也可以除了 主成份，做同樣之分析。因此，共通分析計61，成經常在 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 -I · ϋ 1 ϋ I n I ϋ^OJI I 1 eMmmm I I I n I ·1 ϋ ϋ «ϋ I 1 1 ϋ ϋ ϋ H ϋ n H ϋ H ϋ ϋ I - 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A‘l規格（210 X !297公釐) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 496953 Λ7 8594pif.doc/〇〇8 B7 五、發明說明（K) 分析任一種氣體之狀態。 在常時連續監視分析狀態時，任一分析計譬如氮分析 計π輸出異常値之場合，首先將由管路10供應之氮氣切 換改用備用氮氣供給，同時，二連三向閥之共通分析計側 的閥l6b，較其他的閥26b、36b、56b優先打開，成共通 分析計61優先分析氮氣之狀態。 再將輸出異常値之氮氣，經別的管路由外部試料導入 閥63導入共通分析計61，與氣體管路10之備用氮氣切換 交替分析，做爲調查原因之分析。由此，可再確認氮氣中 是否確實有氧混入，而且，其他成份也可確認，亦可活用 於空氣漏入等原因之調查。 氮氣中氧氣混入之原因查明之場合，其原因消除之後 再做同樣分析，如己沒問題，即可將備用氮氧之供給切換 回正常的氮氣供給。 氮分析計11故障之場合，亦可開閥16b利用共通分析 計61進行氮氣之代行分析，該共通分析計61可繼續做常 時連繪藍視分析，所以，也可如平常時繼續供給氣熟。此 期間’可關閉閥16a進行氮分析計之卸下修理，修理後之 $裝’或分析計之交換皆無困難。 如此，設共通分析計61順序切換分析各樣本，不僅可 使用爲常時連續監視分析之各分析計的交叉校對（cross check)，亦可做爲故障或異常時的迅速對應之備用分析計 使用。更在各分析計之入口部各別設置外部氣體導入用遮 斷閥、28、38、58，由此遮斷閥引導校正氣體入各分析 18 本紙A尺度適用中關家標準（CNS)A4規格⑵Q χ 297公餐） (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 訂------- ——線— ----------------------- 496953 8594pif,doc/〇〇8 Λ7 H7 五、發明說明（iU 計進行校正之際，亦可用二連三向閥之操作，一面做分析 計之校正，同時利用共通分析計61代行分析’氣體之供 給及常時連續監視分析不致中斷。 以上各實施例中，採樣點及分析計的數量，樣本的種 類或性狀爲任意者，同一氣體通過複數管路之場合也相 同。又，各分析計亦可使用任意之分析計。 發明的效果 如上所述，依本發明，常時連續監視分析計發生異常 値或故障時等之非常時，可迅速做暫時之支援’可在現場 迅速判斷其發生原因。更因縮短故障時分析計不能在採樣 點監視的時間，可極力減少氣體監視之死角。又，分析計 之異常時，可迅速追究原因早期決解對策，亦可極力縮短 不能在採樣點的樣本分析之期間’而且，因校正裝置之可 共有化，不需要每一分析計設校正裝置。 (請先閱讀背面之注意事項再填寫本頁) 經濟部智慧財產局員工消費合作社印製 19 -I Aw ill — — — — ------- άι#----------------------- 本紙張尺度適用中國國家標準（CNS)A丨規格（210 X 297公爱）