KR20020040582A

KR20020040582A - 액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치

Info

Publication number: KR20020040582A
Application number: KR1020010072575A
Authority: KR
Inventors: 구로이와마사히로
Original assignee: 구사마 사부로; 세이코 엡슨 가부시키가이샤
Priority date: 2000-11-22
Filing date: 2001-11-21
Publication date: 2002-05-30
Also published as: CN100380193C; US20020080307A1; TW512223B; JP2002162360A; US6724215B2; CN1354360A

Abstract

본 발명은 종래 방법보다 액정층에 관한 정보를 양호한 정밀도로 획득할 수 있는 새로운 액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치를 제공하는 것으로, 입사 광학계에서 편광판(25)은 소정 방향과 평행한 편광 투과축(25t)을 갖는다. 이 편광판(25)을 투과함으로써 상기 편광 투과축(25t)의 방향을 포함하는 진동면을 갖는 직선 편광 Li가 형성되어, 액정 패널(10)에 입사각 θi로 입사된다. 이에 대하여, 상기한 검출 광학계는 입사각 θi로 입사된 직선 편광 Li의 정반사광을 검출하도록 설정되어 있고, 입사각 θi와 거의 같은 출사각 θo에서 액정 패널(10)로부터 출사되는 정반사광이 편광판(26)에 입사되어, 최종적으로 상기 광검출기(29)로 유도된다. 편광판(26)은 편광판(25)의 편광 투과축(25t)에 대하여 광로를 기준으로 해서 평행한 편광 흡수축(26a)을 갖는다.

Description

액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치{METHOD OF EVALUATING LIQUID CRYSTAL PANEL AND EVALUATING DEVICE}

본 발명은 액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치에 관한 것으로, 특히, 반사형 액정 패널로서 내면에 반사층을 갖는 반사형 액정 패널에 마련된 액정층의 두께나 이물질의 유무를 조사하는데 바람직한 제조 기술에 관한 것이다.

일반적으로, 액정 패널은 2장의 기판을 접합하여, 양 기판 사이에 액정을 주입함으로써 형성된다. 이들 2장의 기판에는 액정층에 전압을 인가하기 위한 전극패턴이 각각 형성되어 있다. 이 액정 패널을 이용하여 액정 표시 장치를 구성하는 경우, 액정층의 두께(셀 갭)가 표시 특성에 크게 영향을 미치기 때문에, 액정층의 두께를 고정밀도로 설정함과 동시에, 액정층을 패널 전체에 걸쳐 균일한 두께로 형성하는 것이 매우 중요하다.

이 때문에, 종래의 액정 표시 장치의 제조 공정에서는, 액정 패널을 구성한 후에 액정층의 두께 및 그 균일성을 평가하기 위한 검사가 행해지고 있다. 또한, 액정층의 내부에 이물질이 혼입되면, 표시 결함을 발생시키기 때문에, 액정층의 내부에 이물질이 있는지 여부에 관해서도 검사가 행해지는 경우가 있다.

여기서, 상기 검사는 단지 제조된 액정 패널의 양호·불량을 파악하여, 불량품을 배제하기 위해서 행해지는 경우도 있고, 또한, 제조된 액정 패널의 액정층 두께 그 밖의 특성값을 획득하여, 액정 패널의 품질의 정도를 특정하여 등급 분류를 실행하기 위해서 행해지거나, 결과를 피드백하여 제조 라인의 제조 조건을 미세 조정하기 위한 관리 데이터를 얻기 위해서 행해지는 경우 등, 액정 패널의 평가를 하기 위한 행위로서 널리 이용되고 있다.

종래의 액정 표시 장치의 제조 공정에서는, 도 7(a)에 도시하는 바와 같이, 액정층(10a)을 구비한 액정 패널(10)을 검사하는 경우에는, 고리 형상의 광원(11)에 의해 띠형 조명(zonal illumination)을 하여, 광원(11)으로부터 방출된 광을 편광판(12)에 의해서 직선 편광으로 변환하고, 이 직선 편광을 액정 패널(10)에 조사하여, 그 반사광을 편광판(13)을 통해서, 최종적으로 색광도계(color photometer)(14)(그 외 CCD 카메라나 광전자 증배관(photomultiplier),분광계(spectrometer)라도 관계없음)에 의해서 반사광을 해석한다는 방법이 채용되는 경우가 있다.

또한, 도 7(b)에 도시하는 바와 같이, 점형상 광원이라고 간주할 수 있는 광원(15)으로부터 방출된 광을, 편광판(16)을 거쳐서 액정 패널(10)에 조사하고, 그 반사광을 편광판(17)을 거쳐서 비스듬히 설치된 색광도계(18)에 의해서 검출한다는 방법도 있다.

상기한 도 7에 나타내는 방법에 있어서는, 광축을 기준으로 한 경우의 광입사 측 편광판(12, 16)의 편광 투과축의 방향과, 광검출 측 편광판(13, 17)의 편광 투과축의 방향이 적절한 관계, 예컨대, 20∼60도의 각도차를 갖는 관계가 되도록 설치함으로써, 검출광의 색상이 액정층의 두께에 따라 변화되기 때문에, 색광도계(14, 18)에 의해서 촬영된 화상의 색상에 근거하여 액정층 두께의 이상이나 이물질의 유무를 검사하도록 하고 있다.

여기서, 액정 패널(10)에 입사된 조명광의 정반사광을 색광도계에 투사하면, 액정 패널(10)을 구성하는 기판(10b, 10c)의 계면에서의 정반사광에 의해서, 액정층(10a)을 투과한 반사광 성분의 광량비가 작게 되어, 검출 정밀도가 저하되기 때문에, 도 7(a) 및 도 7(b)에 도시하는 바와 같이, 정반사광이 색광도계(14, 18)에 들어가지 않도록, 액정 패널(10)에 대한 조명광의 입사각과, 색광도계(14, 18)에 의해서 검출되는 검출광의 사출각 사이에 각도차를 준 상태로, 정반사광 이외의 반사광, 즉 확산광만을 검출함으로써 검사를 행하고 있다.

그러나, 상기 종래의 액정 패널의 검사 방법에 있어서는, 광원(11, 15)으로부터 방출된 광을 편광판(12, 16)에 통과시키고 나서 액정 패널(10)에 조사하고, 그 정반사광을 피하여, 확산광만을 색광도계(14, 18)에서 수광하고 있기 때문에, 색광도계(14, 18)에 입사되는 광량이 적어져, 검출 신호의 S/N비(신호 대 잡음비)가 나빠지므로, 정밀도가 높은 검사를 하기 어렵다는 문제점이 있다.

또한, 상기한 색광도계(14, 18)에서 검출되는 반사광은 정반사광이 아니라 확산광이기 때문에, 그 중 액정층(10a)을 통과하여 온 광성분이 반드시 액정층(10a)의 상황을 정확히 반영하고 있는 것은 아니라고 생각되고, 이것으로부터도 정확한 액정층(10a)의 정보를 검출할 수 없다는 문제점이 있다.

그러므로, 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이고, 그 과제는 종래 방법보다도 액정층에 관한 정보를 양호한 정밀도로 획득할 수 있는 신규의 액정 패널 평가 방법 및 평가 장치를 제공하는 것에 있다.

도 1은 본 발명에 따른 평가 장치의 실시예 1의 구조를 모식적으로 나타내는 개략 구성도,

도 2는 실시예 1의 측정 원리를 모식적으로 나타내는 확대 설명도,

도 3은 본 발명에 따른 평가 장치의 실시예 2의 구조를 모식적으로 나타내는 개략 구성도,

도 4는 본 발명의 평가 장치에 의해서 검출된 분광 스펙트럼을 나타내는 그래프,

도 5는 컬러 필터의 유무, 그 밖의 조건이 다른 액정 패널에 대하여, 본 발명의 평가 장치에 의해 검출한 분광 스펙트럼의 예를 나타내는 그래프,

도 6은 본 발명에 따른 평가 장치의 실시예 3의 동작 프로그램의 개요를 나타내는 개략 흐름도,

도 7(a) 및 도 7(b)는 종래의 액정 패널에 대한 평가 장치의 구성예를 나타내는 개략 구성도,

도 8은 컬러 반사형 액정 패널의 구조를 모식적으로 나타내는 개략 단면도이다.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

10 : 액정 패널10a : 액정층

10b, 10c : 기판10e : 반사층

20, 40 : 평가 장치21 : 기대(基臺:base)

22, 41 : 광원23 : 도광기(입사측)

24 : 집광기(입사측)25, 42 : 편광판(입사측)

26, 44 : 편광판(출사측)27 : 집광기(출사측)

28 : 도광기(출사측)29, 45 : 광검출기(분광 유닛)

30, 46 : 평가 처리부(MPU)

상기 과제를 해결하기 위해서 본 발명의 액정 패널의 평가 방법은 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서, 상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하고, 해당 검출광을 바탕으로 패널을 평가하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 액정 패널에 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하고, 이 검출광을 바탕으로 패널을 평가함으로써, 정반사광을 이용하는 것에 의해 검출 광량을 종래의 패널 평가 방법보다도 증대시킬 수 있으므로, 검출 정밀도를 향상시킬 수 있게 된다. 또한, 정반사광 중 액정층을 통과하여 온 편광 성분을 증대시키는 것에 의해, 액정 패널의 기판 표면에서 반사된 광 등과 같이 액정층을 통과하지 않고 출사된 정반사광의 혼입 비율을 감소시킬 수 있기 때문에, 검출 정밀도의 악화를 억제할 수 있게 된다.

여기서, 본원 명세서에 있어서의 「정반사광」이란, 액정 패널에 입사된 편광의 입사각과 거의 같은 출사각을 갖는 반사광을 말한다. 또한, 단지 「반사광」이라고 하는 것은 정반사광과, 이 정반사광 이외의 확산광을 포함하는 것으로 한다.

본 발명의 다른 액정 패널의 평가 방법은 반사형 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서, 상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하고, 해당 검출광을 바탕으로 패널을 평가하는 것을 특징으로 한다. 본 발명의 액정 패널의 평가 방법은 반사형 액정 패널을 평가하는 경우에, 특히 높은 검출 감도를 얻을 수 있다.

본 발명의 또 다른 액정 패널의 평가 방법은 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서, 상기 액정 패널의 액정층의 배면 측에는 반사 수단이 배치되어 있고, 상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하며, 해당 검출광을 바탕으로 패널을 평가하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 반사 수단이란, 액정 패널 내에 내장된 반사층이나 반사판(액정 패널의 배면 측 기판 외면 상에 배치되어 있는 경우도 포함)이어도 좋고, 또는, 액정 패널과는 별도로(예컨대, 장치 측에) 설치된 반사 수단이어도 좋다. 후자의 경우에는, 액정 패널이 투과형 액정 패널 또는 반투과형 액정 패널이어도 높은 검출 감도를 얻을 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 상기 편광은 제 1 진동면을 갖는 편광 성분을 주체로 하는 것이고, 상기 검출광은 상기 정반사광 중 주로 상기 제 1 진동면을 갖는 편광 성분을 삭감하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광은 상기 정반사광으로부터 주로 상기 제 1 진동면과 거의 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 추출하는 것이 더 바람직하다.

또한, 본 발명의 다른 액정 패널의 평가 방법은 액정층을 구비한 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서, 상기 액정 패널에 대하여 제 1 진동면을 갖는 직선 편광을 입사시키고, 그 반사광 중 상기 제 1 진동면과 거의 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 검출광으로 하고, 해당 검출광을 바탕으로 패널을 평가하는 것을 특징으로 한다.

본 발명에 따르면, 제 1 진동면을 갖는 직선 편광을 액정 패널에 입사시키고, 그 반사광 중 제 2 진동면(제 1 진동면과 대략 직교하는 진동면)을 갖는 편광 성분을 검출광으로서 이용함으로써, 액정 패널의 기판 계면에서의 정반사광(직접 반사광)을 감소시켜, 액정층을 통과해 편광 상태가 변화된 광을 주로 검출할 수 있기 때문에, 입사각과 거의 같은 출사각으로 방출되는 정반사광을 검출하여 액정 패널의 액정층을 평가할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광의 분광 스펙트럼의 극치(極値)의 파장 또는 주파수 위치에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 것이 바람직하다. 이 수단에 따르면, 검출광의 분광 스펙트럼의 극치의 파장 위치 및 주파수 위치는 검출광의 색상에는 거의 영향을 받지 않기 때문에, 컬러 필터를 갖는 컬러 액정 패널 등, 액정층의 두께 이외의 색상에 영향을 부여하는 구조를 갖는 액정 패널에 대해서도, 액정층의 두께 측정을 지장 없이 실행할 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광에 근거하여 상기 액정층 내의 이물질을 조사하는 것이 바람직하다. 액정층을 통과하여 온 광성분의 비율이 증대된 검출광을 검출함으로써, 액정층 내의 이물질(액정 패널의 기판 내면 상에 부착된 이물질을 포함함)을 확실히 검지할 수 있다.

다음에, 본 발명의 액정 패널의 평가 장치는 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 장치로서, 소정 상태의 편광을 상기 액정 패널에 대하여 조사하는 편광 조사 수단과, 상기 액정 패널로부터 방출되는 정반사광을 수광하여,해당 정반사광 중 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시킨 검출광을 얻기 위한 검출광 획득 수단(detection light obtaining means)과, 해당 검출광을 검출하는 광검출 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 본 발명의 다른 액정 패널의 평가 장치는 액정층을 갖는 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 장치로서, 제 1 진동면을 구비한 직선 편광을 상기 액정 패널에 대하여 조사하는 편광 조사 수단과, 상기 액정 패널로부터 방출되는 반사광을 수광하여, 해당 반사광 중 상기 제 1 진동면을 구비한 편광 성분을 삭감하여 검출광을 얻기 위한 검출광 획득 수단과, 해당 검출광을 검출하는 광검출 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 한다.

본 발명의 또 다른 액정 패널의 평가 방법은 액정층을 구비한 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서, 상기 액정층의 배면 측에 반사 수단이 마련되어 있고, 상기 액정 패널에 대하여 제 1 진동면을 갖는 직선 편광을 상기 액정층의 전면(前面) 측에서 입사시켜, 그 반사광 중 상기 제 1 진동면과 대략 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 검출광으로 하고, 해당 검출광을 바탕으로 패널을 평가하는 것을 특징으로 한다. 여기서, 반사 수단이란, 액정 패널 내에 내장된 반사층이나 반사판(액정 패널의 배면 측의 기판 외면 상에 배치되어 있는 경우도 포함함)이어도 좋고, 또는, 액정 패널과는 별도로(예컨대, 장치 측에) 설치된 반사 수단이어도 좋다. 후자의 경우에는, 액정 패널이 투과형 액정 패널 또는 반투과형 액정 패널이어도 높은 검출 감도를 얻을 수 있게 된다.

본 발명에 있어서, 상기 편광 조사 수단은 광원과, 해당 광원으로부터 방출되는 광으로부터 상기 편광을 얻기 위한 편광 수단을 갖는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 편광 수단의 편광 투과축과, 상기 검출광 획득 수단의 편광 흡수축이 광축을 기준으로 하여 서로 대략 직교하는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 액정층의 두께를 구하는 수단은 상기 검출광의 분광 스펙트럼의 극치의 파장 또는 주파수 위치에 근거하여 상기 액정층의 두께를 도출하는 것인 것이 바람직하다.

본 발명에 있어서, 상기 검출광에 근거하여 상기 액정층 내의 이물질의 유무를 나타내는 수단을 구비하고 있는 것이 바람직하다.

다음에, 첨부 도면을 참조하여 본 발명에 따른 액정 패널의 평가 방법 및 평가 장치의 실시예에 대하여 상세히 설명한다.

(실시예 1)

도 1은 본 발명에 따른 액정 패널의 평가 방법에 이용하는 평가 장치의 실시예 1의 구성을 모식적으로 나타내는 개략 구성도이다.

본 실시예의 평가 장치(20)는 액정 패널(10)을 탑재하는 기대(基臺)(21)의 위쪽에, 할로겐 램프, LED(발광 다이오드), CFL(냉음극관) 등으로 이루어지는 광원(22)과, 광섬유 등으로 이루어지는 도광기(23)와, 도광기(23)의 선단에 마련된집광 렌즈 등으로 이루어지는 집광기(24)와, 집광기(24)의 앞에 배치된 편광자로 이용되는 편광판(25)을 갖는 입사 광학계가 마련되어 있다.

또한, 기대(21)의 위쪽에는, 상기 입사 광학계와 대향하도록, 편광자로 이용되는 편광판(26)과, 이 편광판(26)의 앞에 배치된 집광 렌즈 등으로 이루어지는 집광기(27)와, 집광기(27)에 접속된 광섬유 등으로 이루어지는 도광기(28)와, 도광기(28)에 접속된 분광계, CCD 카메라 등으로 이루어지는 광검출기(29)를 갖는 검출 광학계가 마련되어 있다.

광검출기(29)에 의해서 얻어진 검출 데이터는 평가 처리부(30)로 보내지게 되어 있다. 평가 처리부(30)는 상기 검출 데이터의 연산 처리 기능을 갖는 것이 바람직하고, 특히, MPU(마이크로 프로세서 유닛) 등과 같이 동작 프로그램에 근거하여 연산 처리하도록 구성된 것이 바람직하다.

기대(21)는 구동 기구(31)에 의해서, 예컨대, 도면의 지면과 직교하는 방향으로 이동할 수 있게 구성되어 있다. 한편, 상기 입사 광학계 및 검출 광학계의 적어도 일부(예컨대, 집광기(24), 편광판(25), 편광판(26) 및 집광기(27))는 구동 기구(32)에 의해서, 예컨대, 도면의 좌우 방향으로 이동할 수 있게 구성되어 있다. 따라서, 상기 구동 기구(31, 32)에 의해서, 입사 광학계 및 검출 광학계와, 기대(21) 상에 탑재된 액정 패널(10)을, 액정 패널(10)의 패널면과 평행한 가상 평면상으로 자유롭게 상대 이동시킬 수 있다. 또, 입사 광학계 및 검출 광학계와 기대(21)의 적어도 한쪽을 적절히 이동할 수 있게 구성함으로써, 상기 구동 기구(31, 32)와 기능적으로 등가인 각종의 구동 기구를 구성할 수 있다.

도 2는 본 실시예의 평가 장치(20)에 의해서 액정 패널(10)을 평가하는 경우의 광로를 모식적으로 나타내는 것이다. 여기서, 액정 패널(10)이 기판(10b)과 기판(10c)을 밀봉재(10d)에 의해서 접합하여, 양 기판(10b, 10c) 사이에 액정층(10a)을 유지하고, 기판(10c)의 내면 상에 반사층(10e)을 구비한 반사형 액정 패널인 경우에 대하여 설명한다.

상기한 입사 광학계에서 편광판(25)은 소정 방향(예컨대, 광축과 직교하는 평면과, 입사광 및 출사광의 광축을 포함하는 평면과 교선의 방향 P)과 평행한 편광 투과축(25t)을 갖고, 또한 광축과 직교하는 평면 및 상기한 소정 방향과 직교하는 방향(예컨대, 상기 방향 P 및 광축과 직교하는 방향 S)과 평행한 편광 흡수축(25a)을 갖는다. 이 편광판(25)을 투과함으로써 상기 편광 투과축(25t)의 방향을 포함하는 진동면을 갖는 직선 편광 Li가 형성되어, 액정 패널(10)에 입사각 θi로 입사된다.

이에 대하여, 상기한 검출 광학계는 입사각 θi로 입사된 직선 편광 Li의 정반사광을 검출하도록 설정되어 있고, 입사각 θi와 거의 같은 출사각 θo로 액정 패널(10)로부터 출사되는 정반사광이 편광판(26)에 입사되고, 최종적으로 상기 광검출기(29)로 유도되게 되어 있다. 편광판(26)은 편광판(25)의 편광 투과축(25t)에 대하여 광로를 기준으로 해서 평행한 편광 흡수축(26a)을 갖고, 편광판(25)의 편광 투과축(25t)에 대하여 광로를 기준으로 해서 직교하는 편광 투과축(26t)을 갖는다.

상기한 직선 편광 Li가 액정 패널(10)에 입사될 때, 액정 패널(10) 위쪽의기판(예컨대, 유리, 플라스틱 등으로 이루어지는 것)(10b) 표면에서 반사되는 제 1 반사광 L1이 입사각 θi의 값에 따라 발생한다. 또한, 제 1 반사광 L1 이외의 광은 기판(10b)을 투과하여, 기판(10b)과 액정층(10a)의 경계 부분(예컨대, 기판(10b)과, 이 기판(10b)의 내면 상에 형성된 내면 구조, 예컨대, 도시하지 않는 투명 전극, 경질 보호막, 배향막 등의 경계, 또는, 이 내면 구조와 액정층(10a)의 경계 등)에서 반사되어, 제 2 반사광 L2가 된다. 그리고, 또한 상기 제 1 반사광 L1 및 제 2 반사광 L2 이외의 광은 액정층(10a)을 투과하여, 그 배후에 있는 기판(10c)의 내면 상에 형성된 내면 구조 및 이 내면 구조의 일부인 반사층(10d)에서 반사되어, 제 3 반사광 L3이 된다.

상기 검출 광학계는 상기한 제 1 반사광 L1, 제 2 반사광 L2 및 제 3 반사광 L3이 혼합된 출사 편광 Lr로 되어 상기 편광판(26)에 입사된다. 이 때, 출사 편광 Lr 중 제 1 반사광 L1 및 제 2 반사광 L2는 보통, 액정 패널(10)에 입사된 직선 편광 Li와 거의 같은 편광 상태를 구비하고 있기 때문에, 편광 흡수축(26a)을 갖는 편광판(26)에 의해서 흡수된다. 한편, 액정층(10a)을 통과하여 반사된 제 3 반사광 L3은 액정층(10a)을 통과함으로써, 액정층(10a)의 소정 리타데이션(retardation)(액정층(10a) 내의 액정 분자의 광학 이방성 Δn과, 액정층(10a)의 두께 d의 곱)에 의해서 직선 편광 Li의 편광 상태가 변화되어, 당초의 직선 편광 Li와는 다른 편광(예컨대, 타원 편광)으로 되어 있으므로, 제 3 반사광 L3만이 편광판(26)의 편광 투과축(26t)의 방향으로 진동하는 편광 성분을 갖고 있는 것이 되고, 해당 편광 성분은 편광판(26)을 투과하여, 검출광 Lo로서 상기 광검출기(29)에서 검출된다.

본 실시예에서는, 기판(10b)의 계면 반사 등에 의해서 액정층(10a)을 통과하지 않고서 반사된 제 1 반사광 L1 및 제 2 반사광 L2는 편광판(26)에 의해서 차단되어, 액정층(10a)을 통과하여 온 제 3 반사광 L3의 소정의 편광 성분만을 검출할 수 있기 때문에, 액정층(10a)에 영향을 받지 않은 광성분을 감소시킬 수 있고, 그 검출광 Lo는 액정층(10a)에 의해서 변화된 편광 상태에 강하게 의존하는 특성(광강도, 색상, 분광 스펙트럼 분포 등)을 갖게 된다.

상기 검출광 Lo는 직선 편광 Li가 액정층(10a) 내를 왕복 투과하여 그 편광 상태가 액정층(10a)의 리타데이션에 따라 선광(旋光:optical refraction)되거나 복굴절되어 이루어진 제 3 반사광 L3 중, 액정층(10a)을 투과하지 않은 제 1 반사광 L1 및 제 2 반사광 L2와 같은 편광 상태의 성분을 제거한 나머지의 편광 성분으로 구성되어 있다. 그 결과, 이 검출광 Lo는 액정층(10a)의 리타데이션 Δn·d에 따른 광강도, 또는, 리타데이션 Δn·d의 색 분산 특성에 따른 색상이나 분산 스펙트럼을 구비하고 있다. 따라서, 검출광 Lo의 광강도, 색상 또는 분산 스펙트럼과, 액정층(10a)의 리타데이션 사이에는 상관이 있게 되므로, 이 상관을 이론적으로 정하거나, 또는 실험 또는 시뮬레이션 등에 의해서 정함으로써, 검출광 Lo의 광강도, 색상 또는 분산 스펙트럼에 근거하여 액정층(10a)의 리타데이션 Δn·d, 또는, 액정의 Δn이 기지(旣知)이면, 액정층(10a)의 두께 d를 구할 수 있게 된다.

예컨대, 검출광 Lo의 광강도는 상기 제 3 반사광의 위상차에 따라 증감한다.

또한, 검출광 Lo의 색상은 상기 제 3 반사광의 편광 상태의 변화량에 따라색도도(色度圖:degree of color diagram) 상을 이동한다. 또한, 분산 스펙트럼의 극치(최소값 또는 최대값)도 또한 상기 제 3 반사광의 편광 상태의 변화량에 따라 주파수가 변화된다.

여기서, 상기한 입사각 θi=출사각 θo는 0도 이상 90도 미만의 적절한 각도로 하여도 상관없지만, 그 직선 편광 Li에서의 기판(10b)의 표면에 대한 경계각(전반사각) θth를 초과하면, 직선 편광 Li가 기판(10b)의 표면에서 전반사(全反射)되어, 액정층(10a)에 광이 입사되지 않게 되므로, 실제로는 θi=θo가 0도 이상이고 θth 미만인 각도 범위에서 실행된다. 이 각도 범위 내에서도, 되도록 이면 각도를 크게 하는 것이 액정층(10a) 내의 광로 길이를 크게 할 수 있고, 그 결과, 액정층(10a)에 대한 검출 감도를 높일 수 있는 점에서 바람직하지만, 액정 패널(10) 내의 광로 길이가 길게 되는 만큼, 검출광 Lo의 광강도 그 자체는 저하한다.

본 실시예에서는, 정반사광을 이용함으로써 종래의 장치보다도 검출광 Lo의 광강도 및 감도를 높일 수 있다. 또한, 이것에 의해서, 광원의 광량을 저하시켜도 지장 없이 검출할 수 있으므로, 상기한 바와 같이, 광섬유 등을 이용한 광학계를 구성하는 등 광학계 설계의 자유도가 증대한다.

(실시예 2)

다음에, 도 3을 참조하여 본 발명에 따른 실시예 2에 대하여 설명한다. 여기서, 평가하는 액정 패널(10)은 도 2에 나타내는 것과 같은 것이기 때문에, 그 설명은 생략한다.

본 실시예의 평가 장치(40)는 광원(41)과, 이 광원(41)으로부터 방출되는 광을 직선 편광으로 변환하는 편광판(42)과, 편광판(42)으로부터 조사되는 직선 편광을 액정 패널(10)에 조사하고, 또한 그 반사광을 수직으로 굴절시키는 빔 스플리터(43)와, 빔 스플리터(43)에 의해서 굴절된 반사광을 수광하는 편광판(44)과, 편광판(44)을 투과한 광을 검출하는 광검출기(45)와, 광검출기(45)에 의해서 얻어진 검출 데이터를 처리하는 평가 처리부(46)를 구비하고 있다.

본 실시예에 있어서, 편광판(42)의 편광 투과축(42t)은 도면의 지면에 직교하는 방향으로 설정되고, 편광판(44)의 편광 흡수축(44a)도 도면의 지면과 직교하는 방향으로 설정되어 있다. 또한, 빔 스플리터(43)는 프리즘(43a, 43b)을 겹친 것이고, 편광판(44)과 반대측 단면에 차광층(43c)이 형성되어 있다.

본 실시예에 있어서, 광원(41)으로부터 방출된 광은 편광판(42)을 통과하여 편광 투과축(42t)과 평행한 진동면을 갖는 직선 편광으로 되고, 빔 스플리터(43)의 프리즘(43a)과 프리즘(43b)의 계면을 투과한 광 Li가 액정 패널(10)에 입사된다. 이 입사광 Li는 액정층(10a)을 통과한 후에 반사되어 반사광 Lr로서 다시 빔 스플리터(43)로 되돌아가고, 빔 스플리터(43)에서의 프리즘(43a)과 프리즘(43b)의 계면에서 반사된 광이 편광판(44)에 입사되고, 여기서, 편광판(44)의 편광 흡수축(44a)과 평행한 진동면을 갖는 편광 성분을 흡수하여, 그 나머지 성분이 검출광 Lo로서 광검출기(45)에서 검출된다.

본 실시예는 액정 패널(10)에 대한 광의 입사각 θi 및 출사각 θo가 모두 0도인 경우를 나타내고 있다. 여기서, 반사광 Lr에는, 액정 패널(10)의 기판(10b)의 표면 반사 등, 액정층(10a)을 통과하지 않고서 출사되는 반사광 성분과, 액정층(10a)을 통과하여 온 반사광 성분이 모두 포함되어 있다. 액정층(10a)을 통과하지 않고서 출사되는 반사광 성분은 기본적으로 입사광 Li와 마찬가지로 도면의 지면에 직교하는 진동면을 갖는 편광 성분이며, 편광판(44)에 의해서 흡수된다. 액정층(10a)을 통과하여 온 반사광 성분은 액정층(10a)의 리타데이션에 따라 입사광 Li의 직선 편광에 대하여 편광 상태가 변화되기 때문에, 도면의 지면과 평행한 진동면을 갖는 편광 성분을 구비하고 있는 경우가 있고, 이 편광 성분은 편광판(44)을 투과하여 광검출기(45)에서 검출된다.

본 실시예에서는, 편광판(42)의 편광 투과축(42t)과 편광판(44)의 편광 흡수축(44a)이 광축을 기준으로 한 경우에 광축에 대하여 동일 방향으로 설정되어 있기 때문에, 액정 패널(10)에 조사된 입사광 Li의 정반사광을 검출 광학계에 그대로 취입하여도 액정층(10a)을 통과하여 온 광성분을 추출하여 검출할 수 있다. 따라서, 검출광 Lo의 광강도를 향상시킬 수 있기 때문에, 검출 정밀도를 향상시킬 수 있다. 또한, 검출광 Lo는 액정층(10a)을 통과하여 온 광성분을 주체로 한 것이기 때문에, 검출 신호의 S/N 비를 높일 수 있게 된다.

(실시예 3)

다음에, 도 8에 나타내는 컬러 반사형 액정 패널에 대하여 상기 각 실시예와 같은 물리적 구성을 갖는 평가 장치를 이용하여 검출광 Lo에서 액정층(10a)의 두께 d를 구하는 평가 순서를 채용한 본 발명의 실시예 3에 대하여, 도 4 내지 도 6을참조하여 설명한다. 본 실시예의 평가 장치의 개략 구성은 실시예 1 또는 실시예 2와 마찬가지이므로, 그 설명은 생략한다.

우선, 도 8을 참조하여, 본 실시예의 평가 장치의 측정 대상인 컬러 반사형 액정 패널(100)의 구조에 대하여 설명한다. 이 액정 패널(100)은 기판(101, 102)을 밀봉재(103)에 의해서 접합하여, 기판 사이에 액정층(104)을 배치한 것이다. 기판(101)의 내면 상에는, ITO 등의 투명 도전체로 이루어지는 투명 전극(111)이 형성되어 있다. 이 투명 전극(111)의 표면 상에는 SiO₂등으로 이루어지는 경질 보호막(112)이 형성되어 있다. 또한, 경질 보호막(112)의 표면 상에 배향막(113)이 형성되고, 이 배향막(113)의 표면에는 러빙 처리가 실시되어 있다.

한편, 기판(102)의 내면 상에는, Al 등의 금속막으로 이루어지는 반사층(114)이 형성되고, 이 반사층(114) 상에는 절연층(115)이 형성되어 있다. 절연층(115) 상에는 투명 전극(116)이 형성되어 있다. 이 투명 전극(116) 상에는 착색층(117)이 형성되고, 이 착색층(117)을, 표면을 평탄화하기 위한 보호막(118)이 피복하고 있다. 착색층(117)은 적절한 패턴으로 다른 색조(예컨대, 적색, 녹색, 청색)가 배열되도록 구성되어 있다. 착색층(117)과 보호막(118)은 컬러 필터를 구성하고 있다. 보호막(118) 상에는 배향막(119)이 형성되어, 그 표면에 러빙 처리가 실시되어 있다.

이와 같이 구성된 컬러 반사형 액정 패널(100)에서는, 착색층(117)을 구비한 컬러 필터가 형성됨으로써, 액정층(104)을 통과한 광은 컬러 필터를 통과하게 되어, 소정의 색조를 나타내게 된다.

착색층(117)은 인접하는 화소 사이에서 다른 색상을 가짐과 동시에, 색상의 격차나 그 재현성의 낮음이 존재하기 때문에, 상술한 검출광 Lo의 색상을 이용한 액정층의 두께를 구하는 방법을 이용하기는 어렵다. 그 때문에, 본 실시예에서는, 이하에 상술하는 방법에 의해서 액정층(104)의 두께를 구하도록 구성하고 있다.

본 실시예에 있어서는, 상기 광검출기(29, 45)로서 분광 유닛을 이용한다. 이 분광 유닛은 상기 검출광 Lo의 적어도 가시 광선 영역에서의 분광 스펙트럼 또는 그것에 대응하는 검출 데이터를 얻을 수 있는 것으로, 예컨대, 분광 소자를 이용한 분광계, 멀티채널 분광법을 이용한 분광 장치, 멀티 채널 분광계 등 어느 것이어도 좋다.

분광 유닛에 있어서는, 상기한 광로를 따라 도달한 광의 가시 광선 영역의 분광 스펙트럼 자체 또는 이 분광 스펙트럼과 등가인, 즉 소정의 수학적 연산에 의해서 분광 스펙트럼을 도출할 수 있는, 여러 가지의 광학적 파라미터(복소 유전율 등)가 검출된다.

상기 검출광 Lo의 분광 스펙트럼의 일례를 도 4에 나타낸다. 이 분광 스펙트럼에 있어서는, 가시 광선 영역 중에 최소값 Mb, 최대값 Mp가 존재한다. 이들 최소값 Mb가 얻어지는 파장 λb, 최대값 Mp가 얻어지는 파장 λp는 액정 표시 패널(10)의 액정층(10a)의 두께 d와의 사이에 소정의 상관을 갖고 있다.

일반적으로, 액정의 광학 특성, 즉 광학 이방성 Δn, 트위스트각 θ, 액정층(10a)의 두께 d, 편광판(25, 42)의 투과 편광축과 편광판(26, 44)의 투과 편광축 사이의 광축 주위의 각도 φ(본 실시예의 경우에는 90도), 광원의 발광 스펙트럼, 제 1 기판 및 제 2 기판의 광학 특성에 근거하여, 존 벡터법(Jones vector method)이나, 4×4 매트릭스법을 이용함으로써, 상기 분광 스펙트럼을 도출할 수 있다. 그리고, 이 분광 스펙트럼에서의 상기 최소값 Mb 및 최대값 Mp의 위치, 즉 파장 λb, λp를 상기 파라미터로써 나타낼 수 있다. 따라서, 광원, 입사측 광학계 및 출사측 광학계의 광학적 조건이 일정하면, 소정의 Δn, θ, φ일 때의 액정층(10a) 두께 d를, 상기 파장 λb 또는 λp의 함수 F(λ)로 나타낼 수 있다. 이 두께를 나타내는 함수 d=F(λ)는 실용적으로는 파장 λb 또는 λp의 1차에서 4차의 함수로 나타낼 수 있다.

도 4에는, 액정층(10a)의 두께 d를 변화시켰을 때(d=d0, d=d0-Δd)의 두 가지의 분광 스펙트럼을 나타내고 있다. 통상, 가시 광선 영역의 상기 파장 λb, λp는, 액정층(10a)의 두께 d가 증가하면, 상기 함수 F(λ)에 따라서 단조롭게 증대한다. 또, 상기 함수 F(λ)는 미리 실험을 반복하여 얻은 데이터로부터 구해진 실험식이어도 상관없다.

도 5는 액정 표시 패널(10)로서 도 2에 나타내는 바와 같은 컬러 필터를 구비하지 않은 흑백 패널 A와, 도 8에 나타내는 바와 같은 컬러 필터를 구비한 컬러 패널 B 및 C를 이용한 경우에 대하여, 각각 상기한 분광 스펙트럼을 나타낸 것이다. 여기서, 컬러 패널 B와 컬러 패널 C는 서로 다른 색상의 착색층을 구비한 컬러 필터를 갖는 것이다. 이 경우, 측정 편차를 감소시키기 위해서, 상기 분광 유닛에서 분광되는 광의 범위는 각각 액정 표시 영역 중 복수의 화소를 포함하는 영역을 통과한 범위로 설정되어 있다.

도 5에 도시하는 바와 같이, 컬러 필터의 유무, 컬러 필터의 종류 등에 의해서 분광 스펙트럼은 크게 변화되지만, 상기 최소값 Mb 및 최대값 Mp의 위치는 거의 변화되지 않고, 상기 파장 λb, λp는 거의 일정하다. 따라서, 상기한 함수 F(λ)를 이용하여 액정층의 두께 d를 구하는 경우에는, 컬러 필터의 유무나 필터 색조의 변화에 의해서 검출값은 거의 영향을 받지 않는다.

도 6은 상기한 평가 처리부(30, 46)를 동작시키기 위한 동작 프로그램의 개략 흐름도를 나타내는 것이다. 우선, 평가 장치에 액정 표시 패널(10)이 설정되고, 또한, 조작자 등에 의해 키보드 등의 입력 장치(도시하지 않음)로부터 소정의 데이터가 입력되면, 그 입력 데이터를 평가 처리부(30, 46) 내의 메모리에 보존한다. 이 입력 데이터는 셀 조건, 즉 액정의 광학 이방성 Δn 및 트위스트각 θ, 편광판(25, 42) 및 편광판(26, 44)의 투과 편광축의 각도 φ, 패널 기판의 두께나 재질 또는 광학 특성 등이다. 또한, 평가 처리부는 액정층(10a)의 두께 d의 목표값 d0도 받아 기록한다.

상기한 입력된 셀 조건이나 목표값에 근거하여 평가 처리부(30, 46)는 상기 함수 F(λ)를 구한다. 이 함수 F(λ)는 액정층(10a)의 두께 d와, 상기 파장 λb 또는 λp의 관계를 나타내는 것이다. 본 실시예에서는 분광 스펙트럼의 최소값 Mb에 대응하는 파장 λb를 이용하고 있다.

다음에, 외부로부터 입력되는 개시 지령을 기다려, 개시 지령이 입력되면, 측정 위치를 적절한 개소에 설정하여, 분광 계측을 개시한다. 그리고, 분광 유닛으로부터 분광 데이터가 평가 처리부(30, 46)로 송출되고, 평가 처리부는 분광 데이터에 근거하여 상기 파장 λb를 구한다.

그리고, 상기 파장 λb에서 상기 함수 F(λ)를 이용하여 액정층(10a)의 두께 d를 산출하고, 이 산출된 두께 d와 목표값 d0의 차이 Δd=｜d-d0｜(d와 d0의 차이의 절대값) 등을 외부(예컨대, 표시 수단이나 기록 수단 등)로 출력한다.

그 후, 미리 정해진 계측 패턴에 따라 계측 개소를 변경하는 경우, 예컨대 액정 패널(10)의 복수의 개소에서 계측을 하는 경우에는, 구동 기구에 의해 액정 패널(10)과 광학계의 상대적 위치 관계를 변화시켜, 별도의 개소에서 상술한 바와 마찬가지로 반복하여 계측을 행한다.

이상 설명한 본 실시예에 있어서는, 정밀도가 양호하고, 또한, 컬러 필터의 유무나 색상의 격차 등에 거의 영향을 받지 않고, 액정 패널의 액정층 두께를 검출할 수 있다.

상기 실시예에 있어서, 액정층의 두께를 구하기 위해서 분광 스펙트럼의 파장 λb를 이용하고 있지만, λp를 이용하여도 좋고, 또한, 해당 파장에 상당하는 주파수나, 이들에 관련된 여러 가지 대응값을 이용하여도 상관없다.

또한, 본 발명의 평가 방법 및 평가 장치는 상술한 실시예에만 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에서 여러 가지 변경을 가하여 얻을 수 있는 것은 물론이다.

예컨대, 상기 각 실시예에서는 반사형 또는 반투과형 액정 패널에 대하여 평가하는 방법에 대하여 설명하고 있지만, 반사형이나 반투과형 액정 패널이 아니고,투과형 액정 패널이어도, 액정층을 통과한 후에 생기는 계면 반사광이 존재하기 때문에, 이 계면 반사광에 근거하여 상기와 같이 액정층에 관한 평가를 할 수 있다. 이 경우, 외부에 반사경, 반사판 등의 반사 수단을 이용하여도 좋다. 투과형 액정 패널의 배면 측에 반사 수단을 배치하는 것에 의해, 투과형 액정 패널로도 상술한 평가 장치에 의해서 평가를 할 수 있다. 또한, 반투과형 액정 패널을 평가하는 경우에는, 상기와 같이 반사 수단을 마련함으로써, 반사 광강도를 높일 수 있고, 보다 높은 검출 감도를 얻을 수 있다.

또한, 상기 실시예에서는 액정층의 두께를 구하는 방법에 대하여 상술하고 있지만, 액정층의 두께에 한정되지 않고, 액정층의 리타데이션 Δn·d를 구하거나, 액정층 중 이물질의 유무를 확인하는 경우 등에도 마찬가지로 이용할 수 있다. 예컨대, 액정층 중의 이물질 유무에 관해서는, 광의 조사 위치를 패널면을 따라 주사하여, 복수 개소에서 상기 검출광 Lo를 검출하여 구성한 화상에 근거하여 직접 눈으로 확인하는 방법, 또는 상기한 함수 F(λ)를 복수 개소에서 산출하여, 이물질이 존재하면 함수 F(λ)가 목표값 do보다도 크게 변화되는 것을 이용하는 등의 방법에 의해서 이물질의 존재를 확인하는 방법 등을 이용할 수 있다.

이상, 설명한 바와 같이 본 발명에 따르면, 액정 패널의 액정층에 관한 정보를 높은 S/N 비로 출력할 수 있어, 고정밀도로 액정 패널을 평가할 수 있다.

Claims

액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서,

상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정(正)반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하여, 해당 검출광을 바탕으로 패널 평가를 행하는 것

을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
반사형의 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서,

상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하여, 해당 검출광을 바탕으로 패널 평가를 행하는 것

을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서,

상기 액정 패널의 액정층의 배면 측에는 반사 수단이 배치되며, 상기 액정 패널에 대하여 소정 상태의 편광을 입사시키고, 그 정반사광에서의 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시켜 검출광으로 하여, 해당 검출광을 바탕으로 패널 평가를 행하는 것

을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 편광은 제 1 진동면을 갖는 편광 성분을 주체로 하는 것이고, 상기 검출광은 상기 정반사광 중 주로 상기 제 1 진동면을 갖는 편광 성분을 삭감한 것인 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
제 4 항에 있어서,

상기 검출광은 상기 정반사광으로부터 주로 상기 제 1 진동면과 거의 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 추출한 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
액정층을 구비한 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서,

상기 액정 패널에 대하여 제 1 진동면을 갖는 직선 편광을 입사시키고, 그반사광 중 상기 제 1 진동면과 대략 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 검출광으로 하여, 해당 검출광을 바탕으로 패널 평가를 하는 것

을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
액정층을 구비한 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 방법으로서,

상기 액정층의 배면 측에 반사 수단이 마련되며, 상기 액정 패널에 대하여 제 1 진동면을 갖는 직선 편광을 상기 액정층의 전면 측으로부터 입사시키고, 그 반사광 중 상기 제 1 진동면과 대략 직교하는 제 2 진동면을 갖는 편광 성분을 검출광으로 하여, 해당 검출광을 바탕으로 패널 평가를 하는 것

을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 검출광에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
제 8 항에 있어서,

상기 검출광의 분광 스펙트럼의 극치(極値)의 파장 또는 주파수 위치에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 검출광에 근거하여 상기 액정층 내의 이물질을 조사하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 방법.
액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 장치로서,

소정 상태의 편광을 상기 액정 패널에 대하여 조사하는 편광 조사 수단과,

상기 액정 패널로부터 방출되는 정반사광을 받아, 해당 정반사광 중 상기 액정 패널에 마련된 액정층을 통과하여 온 편광 성분의 비율을 증대시킨 검출광을 얻기 위한 검광 수단과,

해당 검출광을 검출하는 광 검출 수단

을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
액정층을 갖는 액정 패널을 광학적으로 평가하기 위한 액정 패널의 평가 장치로서,

제 1 진동면을 구비한 직선 편광을 상기 액정 패널에 대하여 조사하는 편광 조사 수단과,

상기 액정 패널로부터 방출되는 반사광을 받아, 해당 반사광 중 상기 제 1 진동면을 구비한 편광 성분을 삭감하여 검출광을 얻기 위한 검광 수단과,

해당 검출광을 검출하는 광 검출 수단

을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,

상기 편광 조사 수단은 광원과, 해당 광원으로부터 방출되는 광으로부터 상기 편광을 얻기 위한 편광 수단을 갖는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
제 13 항에 있어서,

상기 편광 수단의 편광 투과축과, 상기 검광 수단의 편광 흡수축이 광축을 기준으로 하여 서로 대략 직교하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,

상기 검출광에 근거하여 상기 액정층의 두께를 구하는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
제 15 항에 있어서,

상기 액정층의 두께를 구하는 수단은 상기 검출광의 분광 스펙트럼의 극치의 파장 또는 주파수 위치에 근거하여 상기 액정층의 두께를 도출하는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.
제 11 항 또는 제 12 항에 있어서,

상기 검출광에 근거하여 상기 액정층 내의 이물질의 유무를 나타내는 수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 액정 패널의 평가 장치.