KR101367825B1 - 반사 미러용 유리 기판, 이 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 이 유리 기판을 구비하는액정 패널 - Google Patents

반사 미러용 유리 기판, 이 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 이 유리 기판을 구비하는액정 패널 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 정량적인 관리에 의한 표시 품질을 보증하는 동시에, 관리 비용 및 제조 비용을 감소시킬 수 있는 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러용 유리 기판을 제공한다. 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러(3)는, 플롯 제법에 의해 판두께가 3mm로 형성된 플롯 유리판(유리 기판)(1)과, 유리 기판(1)의 한쪽 표면(1a)에, 스퍼터법에 의해 형성된 알루미늄(Al)으로 이루어지는 증반사막(2)을 구비한다. 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 최대 진폭이 0.1㎛ 이하이며, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)의 최대값이 0.02(/m2) 이하이며, 보기 용이한 지표값 γ의 적분값이 2.0(/m3) 이하이다.
리어 프로젝션 TV, 반사 미러, 스퍼터법, 파상도 곡선, 지표값

Description

반사 미러용 유리 기판, 이 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 이 유리 기판을 구비하는 액정 패널{GLASS SUBSTRATE FOR REFLECTING MIRROR, REFLECTING MIRROR HAVING THE GLASS SUBSTRATE, GLASS SUBSTRATE FOR LIQUID CRYSTAL PANEL, AND LIQUID CRYSTAL PANEL HAVING THE GLASS SUBSTRATE}
본 발명은, 반사 미러용 유리 기판, 이 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 이 유리 기판을 구비하는 액정 패널에 관한 것이며, 특히, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러용 유리 기판, 이 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 이 유리 기판을 구비하는 액정 패널에 관한 것이다.
일반적인 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러의 기판으로서, 판두께 3 ~ 5mm의 플롯(float) 유리판이 사용된다. 이 플롯 유리판에는 플롯의 흐름 방향에 대하여 수직인 방향으로 파동(waves)이 있고, 이 파동은 플롯의 흐름 방향으로 연속되어 있다. 보다 구체적으로, 플롯 유리판에는 플롯의 흐름 방향에 대하여 평행한 방향으로 줄무늬형의 패턴(미소한 파형의 불규칙성(irregularities))이 형성되어 있다. 이 미소한 파형의 불규칙성은 표면 반사의 광학적인 균일성에 영향을 주므로, 이것이 플롯 유리판 상에 다수 형성되어 있는 경우, 반사상(reflected image)에 광의 강약에 의한 줄무늬형의 색얼룩(명암 모양)이 형성되는 것이 있었다. 반사상의 일그러짐을 정량적으로 추출하여 평가함으로써 플롯 유리판의 반사상에 줄무늬형의 명암 모양이 형성되어 있는지 여부를 판별하는 MTF법이나, 실제로 투사된 반사상을 육안관찰 판정함으로써 우량품 기준 레벨에 달하고 있는지 여부를 전체 수 판단하는 전체 수 육안관찰 검사가 실시되고 있다. 이들 평가의 결과, 플롯의 흐름 방향과 투영계의 광각 산란 방향을 일치시키는 것이, 육안관찰 검사에 있어서 양호한 결과로 되는 것이 판명되었다.
따라서, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러에 사용되는 플롯 유리판에 대하여, 투영계의 광각 확산 방향, 즉 플롯 유리판의 장변 방향과 플롯의 흐름 방향을 평행하게 하는 드로우 라인 컨트롤(draw line control)을 실시한 후에, 실제로 투사된 반사상의 전체 수 육안관찰 검사를 행함으로써, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 표시 성능을 유지하고 있다.
또한, 배면 투사형 디스플레이 등에 사용되는 반사 미러에 있어서, 적어도 유리 기판의 한쪽 표면을 소정의 표면 거칠기(컷오프값 0.8mm ~ 8mm의 측정 조건으로, 0.05㎛ 이하)로 되도록 연마하는 것이 이미 개시되어 있다(예를 들면, 일본 특허출원 공개번호 2001-235798호 공보 참조).
한편, 액정 패널에 사용되는 유리 기판으로서, 통상, 판두께 0.2 ~ 1.1mm(±0.1mm)의 플롯 유리판이 사용된다. 상기 플롯 유리판을 유리 기판으로서 액정 패널을 제조한 경우, 전술한 파동에 기인하여, 액정 패널에 색얼룩이 생기는 경우 가 있다. 그러므로, 액정 패널이 우량품 기준 레벨에 달하도록, 액정 패널에 사용하는 유리 기판의 품질의 검사가 행해지고 있다.
그러나, 전술한 전체 수 육안관찰 검사는, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 투영계에 반사 미러를 설치하여 백색 표시를 행하고, 스크린 상의 명암 모양을 소정 거리로부터 검사원이 관찰하여 줄무늬형 모양의 유무 판정을 행하는 것이 일반적이므로, 검사원의 시력이나 기억력에 따른 검사이므로, 나날의 상황 변화에 따라 우량품 기준 레벨이 변동될 가능성이 있는 동시에, 플롯 유리판의 품질을 정량화할 수 없으므로, 우량품 기준 레벨을 높게 설정할 필요가 있어, 과잉 품질이 초래되었다.
또한, 전체 수 육안관찰 검사를 하기 위해서는, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 투영계의 수량을 검사 수량의 증가에 따라 늘리지 않으면 안 된다. 그러므로, 설비 투자 및 인적 비용이 증가하여 대량 생산 덕트에 의한 비용 다운을 실시할 수 없어 비용이 높게 되고 있었다.
또한, 드로우 라인 컨트롤은, 플롯 유리판의 흐름 방향과 플롯 유리판의 장변 방향을 일치시킬 필요가 있으므로, 유리 절단의 자유도가 감소한다. 그 결과, 드로우 라인 컨트롤을 실시하지 않는 경우와 비교하여 수율이 저하되어 비용이 높아지고 있었다.
한편, 액정 패널에 있어서, 현재 사용되고 있는 유리 기판의 품질 검사의 지표(예를 들면, 진폭)에서는, 규격 내라고 판별된 유리 기판을 사용한 액정 패널이라도 색얼룩이 생기거나, 또는 규격 외라고 판정된 유리 기판을 사용한 액정 패널이라도 색얼룩이 생기지 않는 경우가 있고, 품질 검사의 지표와 액정 패널의 우량 품 기준 레벨이 대응하고 있지 않았다.
그러므로, 확실하게 우량품 기준 레벨의 액정 패널을 제조하기 위하여, 플롯 유리판에 과잉의 연마를 행할 필요가 생기고, 그 결과, 택트 타임이 길어져, 비용이 높아지고 있었다.
본 발명은, 이상의 같은 문제점을 해결하기 위하여여 행해진 것이다. 그 목적으로 하는 바는, 정량적인 관리에 의한 표시 품질을 보증하는 동시에, 관리 비용 및 제조 비용을 감소시킬 수 있는 반사 미러용 유리 기판, 상기 유리 기판을 구비하는 반사 미러, 액정 패널용 유리 기판, 및 상기 유리 기판을 구비하는 액정 패널을 제공하는 것에 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선(filtered waviness curve)의 최대 진폭이 0.1㎛ 이하이며, 상기 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.02(/m2) 이하이며,
γ = A/D3 ‥‥(1)
(단, A는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 진폭(m)이며, D는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각각의 주기(m)이다) 상기 보기 용이한 지표값 γ의 적분값이 2.0(/m3) 이하인 반사 미러용 유리 기판이 제공된다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 상기 반사 미러용 유리 기판은, 상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.01(/m2) 이하이며, 적분값이 1.0(/m3) 이하인 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 상기 반사 미러용 유리 기판은, 상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.006(/m2) 이하이며, 적분값이 0.6(/m3) 이하인 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 상기 반사 미러용 유리 기판은, 컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 최대 진폭이 0.5㎛ 이하이며, 상기 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.2(/m2) 이하이며,
γ = A/D3 ‥‥(1)
(단, A는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 진폭(m)이며, D는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 주기(m)이다) 상기 보기 용이한 지표값 γ의 적분값이 20.0(/m3) 이하인 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 상기 반사 미러용 유리 기판은, 상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.1(/m2) 이하이며, 적분값이 10.0(/m3) 이하인 것이 바람직하다.
본 발명의 제1 태양에 있어서, 상기 반사 미러용 유리 기판은, 상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.06(/m2) 이하이며, 적분값이 6.0(/m3) 이하인 것이 바람직하다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제2 태양에 의하면, 상기 반사 미러용 유리 기판을 구비한 반사 미러가 제공된다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제3 태양에 의하면, 판두께가 0.2 ~ 1.1mm(±0.1)mm이며, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004)(/m2) 이하, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×(10-9/D3(/m2) 이하인 액정 패널용 유리 기판이 제공된다.
γ = A/D3 ‥‥(1)
(단, A는 상기 유리 기판의 필터링된 파상도 곡선의 진폭(m)이며, D는 상기 유리 기판의 상기 필터링된 파상도 곡선의 주기(m)이다)
본 발명의 제3 태양에 있어서, 상기 액정 패널용 유리 기판은 플롯 프로세스(float process)에 따라 제조되는 것이 바람직하다.
본 발명의 제3 태양에 있어서, 상기 액정 패널용 유리 기판은, 필터링된 파상도 곡선의 주기가 2mm 이상 또한 8mm 미만에서는, 하기 식(2)에 의해 표현되는 다른 지표값 ε이 3.5×10-7 이하인 것이 바람직하다.
ε = A/D ‥‥(2)
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 제4 태양에 의하면, 서로 대향하는 2개의 유리 기판과, 2개의 유리 기판의 사이에 개재된 액정층과, 2개의 유리 기판의 대향하는 면의 각각에 맞닿도록 배치된 스페이서를 구비하는 액정 패널로서, 유리 기판은 상기 액정 패널용 유리 기판인 액정 패널이 제공된다.
도 1은 본 발명의 실시예에 관한 반사 미러의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 2는 도 1에 있어서의 유리 기판의 표면에 있어서의 요철(凹凸)을 근사(近似)시킨 도면이다.
도 3은 도 1에 있어서의 유리 기판에 대한 광선 추적 시뮬레이션의 해석 모델을 나타낸 도면이다.
도 4a 및 도 4b는, 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 진폭이 0.24㎛, 주기가 10mm인 경우에 대한 조도(照度)의 평가 결과를 나타낸 그래프이며, 도 4a는, 조도 파형 데이터를 나타낸 그래프이며, 도 4b는, 도 4a에 나타낸 조도 파형 데이터로부터 트랜드(우측 내려감의 경사)를 제거한 그래프이다.
도 5는 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 주기가 5 ~ 15mm인 경우에 대한, 콘트라스트와 유리 기판의 요철의 진폭과의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 6은 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 진폭이 0.08㎛인 경우에 대한, 조도의 주기와 유리 기판의 요철의 주기와의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 7은 콘트라스트와 콘트라스트 지표와의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 8은 보기 용이한 유리 기판의 요철의 진폭과의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 9는 보기 용이함과 보기 용이한 지표값과의 관계를 나타낸 그래프이다.
도 10은 본 발명의 실시예 1 ~ 3을 포함하는 평가 결과를 나타낸 도면이다.
도 11은 본 발명의 실시예 1 ~ 3을 포함하는 평가 결과를 나타낸 도면이다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 관한 액정 패널의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 13은 인접하는 스페이서 사이의 유리 기판이 빔이라고 가정했을 때의 역학 모델을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 14는 인간의 명암 인식의 상대 감도를 나타낸 그래프이다.
도 15는 액정 패널에 있어서의 색얼룩의 관측 한계를 나타낸 그래프이다.
도 16은 각 샘플에 있어서의 다른 지표값과 유리 기판에서의 주기와의 관계를 나타낸 그래프이다.
이하, 본 발명의 실시예에 관한 반사 미러용 유리 기판 및 이것을 구비하는 반사 미러를 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
도 1은, 본 발명의 실시예에 관한 반사 미러의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 1에 있어서, 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사 미러(3)는, 플롯 제법에 의 해 판두께가 3mm로 형성된 플롯 유리판(유리 기판)(1)과, 유리 기판(1)의 한쪽의 표면(1a)에, 스퍼터법에 의해 형성된 알루미늄(Al)으로 이루어지는 증반사막(2)을 구비한다.
여기서, 유리 기판(1)이 플롯 제법에 의해 제조될 때, 플롯 유리판의 흐름 방향과 플롯 유리판의 장변 방향을 일치시키는 드로우 라인 컨트롤이 실시되어 있다.
또한, 유리 기판(1)의 표면에 존재하는 미소한 요철은, 도 2에 나타낸 바와 같은 sin 커브로 근사되고, 산과 골의 높이의 차이(진폭 A) 및 1주기의 길이(주기 D)에 의해 표현된다. 상기 반사 미러(3)를 사용한 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 표시(화상 품질)는, 상기 유리 기판(1)의 표면에 있어서의 요철의 진폭 A 및 주기 D의 영향을 받는다. 또한, 주기 D에 의한 반사의 광축은 sin 함수로 근사되고, 그 적분값은 cos 함수로 된다.
또한, 요구되는 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 화상 품질을 고려하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 의해 필터링된 파상도 곡선의 최대 진폭이 0.1㎛ 이하(컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건으로 필터링된 파동 파상도 곡선의 최대 진폭이 0.5㎛ 이하)인 것이 바람직하다. 그리고, 컷오프값은 JIS B 0601로 규정되어 있고, 필터링된 파상도 곡선은 JIS B 0651로 규정되어 있는 것이다.
도 3은 도 1에 있어서의 유리 기판에 대한 광선 추적 시뮬레이션의 해석 모델을 나타낸 도면이다.
도 3에 있어서, 해석 모델(20)은, 반사 미러(3)와, 광원(21)과, 스크린(22a, 22b)으로 이루어지고, 광원(21)으로부터 발해진 광선(광속)은, 반사 미러(3)의 상부(3a)에 의해 반사되어 스크린(22a)에 달하는 동시에, 반사 미러(3)의 하부(3b)에 의해 반사되어 스크린(22b)에 이른다. 여기서, 스크린(22a, 22b)에 이른 광선(광속)의 조도가, 각각 평가된다.
도 4a 및 도 4b는, 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 진폭이 0.24㎛, 주기가 10mm인 경우에 대한 조도의 평가 결과를 나타낸 그래프이며, 도 4a는, 조도 파형 데이터를 나타낸 그래프이며, 도 4b는, 도 4a에 나타낸 조도 파형 데이터로부터 트랜드(우측 내려감의 경사)를 제거한 그래프이다. 또한, 도 4a의 조도 파형 데이터에서의 조도의 평균값(Average)과, 도 4b의 조도 파형 데이터에서의 조도의 최고값(Max) 및 최저값(Min)을 이용하여, 하기 식(3)에 의해 주기 D에 있어서의 명암의 차이를 나타낸 콘트라스트 C(조도 불균일)를 평가했다.
C = ((Max+Average)-(Min+Average))/(Max+Average)+(Min+Average))=(Max-Min)/(Max+Min+2×Average) ‥‥(3)
도 5는 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 둘레가 5 ~ 15mm인 경우에 대한, 콘트라스트와 유리 기판의 요철 진폭과의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 콘트라스트 C(조도 불균일)를 나타내고, 가로축은 유리 기판(1)의 요철 진폭 A(㎛)를 나타낸다. 여기서, ●는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 5mm로서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ■는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 10mm로서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ▲는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 15mm로 서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ○은 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 5mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, □는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 10mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, △는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 15mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이다.
도 5로부터, 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 짧을 수록, 요철의 진폭 A(㎛)에 대한 콘트라스트 C(조도 불균일)의 변화량이 큰 것을 알 수 있다.
도 6은 도 1에 있어서의 유리 기판의 요철의 진폭이 0.08㎛인 경우에 대한, 조도의 주기와 유리 기판의 요철의 주기와의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 조도의 주기 λ(mm)를 나타내고, 가로축은 유리 기판(1)의 요철의 주기 D(mm)를 나타낸다. 여기서, ●는 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ○은 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이다.
도 6으로부터, 조도의 주기 λ(mm)가 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D(mm)와 비례하고 있는 것을 알 수 있는 동시에, 스크린(22a)(상부 스크린) 측이 조도의 주기 λ(mm)가 짧은 것을 알 수 있다.
도 7은 콘트라스트와 콘트라스트 지표와의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 콘트라스트 C(조도 불균일)를 나타내고, 가로축은 콘트라스트 지표(A/D2)를 나타낸다. 여기서, ◆는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.08㎛인 경우를 나타내고, ■는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.16㎛인 경우를 나타내고, ▲는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.24㎛인 경우를 나타낸다.
도 7로부터, 콘트라스트 C(조도 불균일)의 증가분이 콘트라스트 지표 (A/D2)에 비례하는 것, 즉 콘트라스트 C(조도 불균일)의 증가분이 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A에 비례하는 동시에, 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D를 2승한 값(D2)에 반비례하는 것을 알 수 있다. 이로써, 콘트라스트 C(조도 불균일)는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A보다 주기 D에 큰 영향을 받는 것을 알았다.
다음에, 공간 주파수가 2 ~ 500개/mm의 범위에 있어서의 명암 모양의 보기 용이함 Φ이 콘트라스트 C(조도 불균일)에 비례하고, 조도의 주기(λ)에 반비례한다. 즉, 보기 용이함 Φ은 C/λ와 비례하는 것은 분명하므로, 보기 용이함 Φ은 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)과 비례하는 것으로 생각된다.
도 8은 보기 용이함과 유리 기판의 요철의 진폭과의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 보기 용이함 Φ(= C/λ)를 나타내고, 가로축은 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A(㎛)를 나타낸다. 여기서, ●는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 5mm로서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ■는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 10mm로서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ▲는 유리 기판(1)에 있 어서의 요철의 주기 D가 15mm로서 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, ○은 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 5mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, □는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 10mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이며, △는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D가 15mm로서 스크린(22b)(하부 스크린)에 비추어진 영상의 평가 결과이다.
도 8로부터, 스크린(22a)(상부 스크린)에 비추어진 영상 쪽이 보기 용이함 Φ(=C/λ)가 커지는 것을 알 수 있고, 또한 스크린(22a)(상부 스크린)과 스크린(22b)(하부 스크린)의 경우에서의 보기 용이함 Φ(=C/λ)의 차이는, 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D(㎛)가 작을 수록 현저하게 되는 경향이 있는 것을 알았다.
도 9는 보기 용이함과 보기 용이한 지표값과의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 보기 용이함 Φ(=C/λ)을 나타내고, 가로축은 보기 용이한 지표값 γ(= A/D3)를 나타낸다. 여기서, ◆는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.08㎛인 경우를 나타내고, ■는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.16㎛인 경우를 나타내고, ▲는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A가 0.24㎛인 경우를 나타낸다.
도 9로부터, 보기 용이함 Φ(=C/λ)은, 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)에 비례하는 것을 알았다. 즉, 보기 용이함 Φ(=C/λ)가 유리 기판(1)에 있어서의 요철 의 진폭 A에 비례하는 동시에 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 주기 D를 3승한 값(D3)에 반비례하는 것을 알 수 있다. 이로써, 보기 용이함 Φ(=C/λ)는 유리 기판(1)에 있어서의 요철의 진폭 A보다 주기 D에 큰 영향을 받는 것을 알았다.
이와 같이, 보기 용이함 Φ(=C/λ)는, 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)에 비례하므로, 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)을 작게 함으로써, 보기 용이함 Φ(=C/λ)를 작게 할 수 있고, 따라서, 명암 모양을 잘 보이지 않도록 할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 도 10 및 도 11을 참조하여 설명한다.
(실시예 1)
컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정에 있어서의 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)의 최대값이 0.02 이하(0.02)이며, 적분값이 2.0 이하(1.93)이며, 플롯 유리판의 한쪽의 표면에 스퍼터법에 의해 알루미늄(Al)으로 이루어지는 증반사막을 형성한 것의 각 파장(450nm, 550nm, 650nm)에 있어서의 반사율, 및 반사상 확인(55인치의 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사상 (백색 표시)을 1.5m 위치로부터 관찰)을 행하였다. 그리고, 플롯 제법에 의해 제조될 때 드로우 라인 컨트롤을 실시한 것과 그렇지 않은 것에 대하여 반사상 확인을 실시하였다.
또한, 도 10에 있어서, ◎는 우량품 기준 레벨을 크게 초과하는 것을 나타내고, ○은 우량품 기준 레벨을 초과하는 것을 나타내고, △는 우량품 기준 레벨과 동등인 것을 나타내고, ×는 우량품 기준 레벨을 밑도는 것을 나타낸다.
그 결과, 각 파장(450nm, 550nm, 650nm)에 있어서의 반사율은 96%, 94%, 91%이며, 반사상 확인은, 드로우 라인 컨트롤을 실시한 것에 대하여는 명암 모양이 확인된 것의 우량품 기준 레벨을 넘고 있었는데 대하여, 드로우 라인 컨트롤을 실시한 것에 대하여는 명암 모양이 확인되어 우량품 기준 레벨에 이르지 않았었다.
(실시예 2)
컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정에 있어서의 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)의 최대값이 0.01 이하(0.008)이며, 적분값이 1.0 이하(0.82)이며, 플롯 유리판의 한쪽의 표면에 스퍼터법에 의해 알루미늄(Al)으로 이루어지는 증반사막을 형성한 것의 각 파장(450nm, 550nm, 650nm) 있어서의 반사율, 및 반사상 확인(55인치의 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사상 (백색 표시)을 1.5m 위치로부터 관찰)을 행하였다. 그리고, 플롯 제법에 의해 제조될 때 드로우 라인 컨트롤을 실시한 것과 그렇지 않은 것에 대하여 반사상 확인을 실시하였다.
그 결과, 각 파장(450nm, 550nm, 650nm)에 있어서의 반사율에 대하여는 96%, 94%, 91%이며, 반사상 확인에 대하여는, 드로우 라인 컨트롤의 유무에 관계없이 명암 모양이 확인되지 않아, 완전히 우량품 기준 레벨을 초과하는 것이었다.
(실시예 3)
컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정에 있어서의 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)의 최대값이 0.006 이하(0.006)이며, 적분값이 0.6 이하(0.48)이며, 플롯 유리판의 한쪽의 표면에 스퍼터법에 의해 알루미늄(Al)로 이루어지는 증반사막을 형성한 것의 각 파장(450nm, 550nm, 650nm)에 있어서의 반사율, 및 반사상 확인(55인치의 리어 프로젝션 TV(RPTV)의 반사상 (백색 표시)을 1.5m 위치로부터 관찰)을 행하였다. 그리고, 플롯 제법에 의해 제조될 때 드로우 라인 컨트롤을 실시한 것과 그렇지 않은 것에 대하여 반사상 확인을 실시하였다.
그 결과, 각 파장(450nm, 550nm, 650nm)에 있어서의 반사율에 대하여는 96%, 94%, 91%이며, 반사상 확인에 대하여는, 드로우 라인 컨트롤의 유무에 관계없이 명암 모양이 확인되지 않아, 완전히 우량품 기준 레벨을 초과하는 것이었다.
다음에, 본 발명의 다른 실시예에 관한 액정 패널을 도면을 참조하면서 상세하게 설명한다.
도 12는 본 발명의 다른 실시예에 관한 액정 패널의 구성을 개략적으로 나타낸 단면도이다.
도 12에 있어서, 액정 패널(30)은, 서로 대향하는 유리 기판(31), (32)과, 2개의 유리 기판(31, 32) 사이에 주입된 액정층(34)과, 2개의 유리 기판(31, 32)의 대향하는 면의 각각에 맞닿도록 배치된 구형의 스페이서(33a, 33b)를 구비한다.
이 액정 패널(30)에 있어서, 유리 기판(31)에는, 상기 유리 기판(31)의 제법(플롯 프로세스)으로 기인하여, 산과 골이 생기고 있으므로 유리 기판(31)에 맞닿는 스페이서(33a)와 맞닿지 않는 스페이서(33b)가 존재하게 된다. 즉, 산과 골의 높이의 차이를 진폭 A, 또는 골로부터 인접하는 골까지의 1주기의 길이를 주기 D라고 하면, 주기 D의 양단의 골과 2개의 스페이서(33a)가 맞닿는 경우, 양단의 골 사이에 존재하는 산의 부분에 배치된 스페이서(33b)는, 유리 기판(31)으로부터 진폭 A 만큼 이격된 위치에 배치된다.
그러나, 실제로는, 유리 기판(31, 32) 사이에는 액정층(34)이 주입되어 있고, 액정층(34)은 표면 장력을 가지고 있으므로, 상기 표면 장력에 의해 유리 기판(31)은 액정층(34)에 당겨지고, 진폭 A가 교정되어 스페이서(33b)와 유리 기판(31)의 거리는, 실제로는 △A로 되는 것으로 상정된다.
그래서, 본 발명자 등은, 전술한 현상에 대하여, 인접하는 스페이서(33a) 사이의 유리 기판(31)을 빔이라고 가정하고, 이하의 역학 모델을 적용하였다.
도 13은 인접하는 스페이서 사이의 유리 기판이 빔이라고 가정되었을 때의 역학 모델을 개략적으로 나타낸 도면이다.
도 13에 있어서, 폭 W, 판두께 t의 빔은, 빔 길이가 D로 되도록 삼각기둥으로 지지된다. 이 경우, 빔의 상부로부터 수직으로 하중 F를 걸면, 빔이 δ만큼 휜다. 이 때, 빔의 단면 2차 모멘트 I는 하기 식(4)로 표시되고,
I = t3×W/12 ‥‥(4)
또한, 휨δ은 단면 2차 모멘트 I를 사용하면, 하기 식(5)로 나타낸다.
δ = F×D3/(4×E×I) ‥‥(5) (단, E는 영률(Young's modulus)이다.)
상기 식(4), (5)보다, 휨δ은 하기 식(6)으로 나타낸 바와 같이 된다.
δ = F×D3/(4×E×W×t3) ‥‥(6)
도 13의 역학 모델을 도 12의 액정 패널에 적용하면, 도 13에 있어서의 하중 F가 도 12에 있어서의 표면 장력에 해당한다. 여기서, 표면 장력에 의한 유리 기 판(31)의 당김량(휨δ)이 진폭 A 이상인(A/δ≤1, 이하 "A/δ"를 "파동 교정 지표값"이라고 함) 경우에는, 표면 장력에 의해 유리 기판(13)의 파동은 교정되게 된다.
또한, 상기 식(6)에서, 휨δ은 주기 D의 3승에 비례하므로, 전술한 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)과 파동 교정 지표값 A/δ의 관계는 하기 식(7)로 표현되고,
A/δ∝ A/D3= γ ‥‥(7)
파동 교정 지표값 A/δ는 보기 용이한 지표값 γ에 비례한다. 즉, 파동 교정 지표값 A/δ를 보기 용이한 지표값 γ를 사용하여 대용적으로 나타내는 것이 가능한 것으로 생각된다.
그런데, 일반적으로, 유리 기판(31)의 파동은, 표면 장력에 의한 유리 기판(31)의 당김량(휨δ)이 클수록, 또는 진폭 A가 작을 수록 교정되기 쉽다. 이것을 파동 교정 지표값 A/δ에 적용시키면, 파동 교정 지표값 A/δ가 작을 수록 유리 기판(31)의 파동은 교정되기 쉬운 것으로 된다. 한편, 파동 교정 지표값 A/δ는 보기 용이한 지표값 γ에 비례하므로, 보기 용이한 지표값 γ가 작을 수록 유리 기판(31)의 파동은 교정되고 쉽고, 그 결과, 파동에 기인하는 색얼룩이 억제된다.
여기서, 본 발명자 등은, 드로우 라인 컨트롤을 따른 플롯 프로세스에 따라 산과 골을 가지고(파동이 있음), 또한 진폭 A가 서로 상이한 복수개의 유리 기판을 제조했다. 그리고, 상기 복수개의 유리 기판(31)을 사용하여 복수개의 액정 패널을 제조하고, 각 액정 패널의 색얼룩을 관측하였다. 이 때 판두께가 0.2 ~ 1.1mm(±0.1mm)이며, 진폭 A가 9.8×10-9m이며, 주기 D가 2.93×10-2m의 유리 기판(31)을 사용한 액정 패널에 있어서, 색얼룩이 관측되지 않는 것을 알았다. 이것은, 액정층(34)의 표면 장력에 의해, 유리 기판(31)의 파동이 교정되었기 때문인 것으로 생각되었다. 이 때의 진폭 A 및 주기 D를 상기 식(1)에 대입하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의, 보기 용이한 지표값 γ는 하기 식(8)로 나타내는 값으로 된다.
γ = A/D3= 9.8×10-9/(2.93×10-2)≒ 0.0004 ‥‥(8)
이상으로부터, 적어도 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004 이하이면, 유리 기판(31)의 파동은 액정층(34)의 표면 장력에 의해 교정되어 색얼룩이 억제되고, 상기 색얼룩이 관측되지 않는 것을 알았다.
또한, 보기 용이한 지표값 γ는 주기 D의 3승에 반비례하므로, 주기 D가 클수록 유리 기판(31)의 파동은 교정되기 쉽다. 여기서, 전술한 색얼룩이 관측되지 않는 조건에서는, 주기 D가 2.93×10-2m였으므로, 적어도 주기 D가 3.0×10-2m 이상이면 색얼룩이 억제되는 것도 추측되었다.
또한, 본 발명자 등은 각 액정 패널의 색얼룩의 관측으로부터, 유리 기판(31)에 있어서 진폭 A가 5.0×10-9m 이하이면, 대략 주기 D에 관계없이, 액정 패널에 있어서 색얼룩이 관측되지 않는다는 지견을 얻었다.
전술한 역학 모델에 근거한 고찰에서는, 주기 D가 작아질 수록 보기 쉬움 지표값 γ는 커져서, 유리 기판(31)의 파동은 교정되기 어렵고, 색얼룩이 관측되기 쉬워진다. 따라서, 상기 지견을 역학 모델에 따라 설명하는 것은 곤란하므로 본 발명자 등은, 인간의 명암(콘트라스트) 인식이 공간 주파수에 의존하는 것에 착안하여 이하의 가설을 유추했다.
즉, 도 14의 그래프에 나타낸 바와 같이, 인간의 명암 인식의 상대 감도(최대 감도를 1로서 표준화한 감도)는, 어느 특정한 공간 주파수(도 14에서는 3사이클/deg)에 있어서 극값(상대 감도로 1.0)을 나타내고, 상기 특정한 공간 주파수 보다 작은 또는 큰 공간 주파수에 있어서 저하된다. 주목해야 할 것은 특정한 공간 주파수보다 작게 되어도 상대 감도는 저하한다는 것이다. 여기서, 공간 주파수는 주기 D에 상당하기 때문에, 도 14의 그래프로부터 주기 D가 작아지면 상대 감도는 저하되는 것을 알 수 있다. 그리고, 상대 감도가 저하되는 것은, 관찰자(인간)가 액정 패널에 발생하는 색얼룩의 발생에 둔감, 즉 색얼룩을 관측하기 어렵게 되는 것과 다름없다. 따라서, 주기 D가 작아질 수록 색얼룩을 관측하기 어려워진다.
또한, 진폭 A가 5.0×10-9m 이하인 것을 상기 식(1)을 사용하여 나타내면, 하기 식(9)에서 나타내는 보기 용이한 지표값 γ의 범위와 등가로 된다.
γ = A/D3≤5.0×10-9/D3 ‥‥(9)
(단, D는 m이다)
이상으로부터, 진폭 A가 5.0×10-9m 이하, 즉 보기 용이한 지표값 γ가 5. 0 ×10-9/D3(/m2) 이하인 경우, 원래 진폭이 작아 색얼룩이 관측하기 어려운 것, 및 또는 특정한 공간 주파수 이외에서는 인간의 명암 인식의 상대 감도가 저하되는 것과의 상승 효과로부터, 어떠한 주기 D라도 액정 패널에 있어서 색얼룩이 관측되지 않는 것으로 추측되었다.
이상으로부터, 판두께가 0.2 ~ 1.1mm(±0.1mm)의 유리 기판(31)을 구비하는 액정 패널에서는, 적어도, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004 이하인지, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×10-9/D3(/m2) 이하이면, 액정 패널에 있어서 색얼룩이 관측되지 않는 것이 추측되었다. 이들 관계를 그래프로 나타내면, 도 15의 그래프로 된다.
도 15는 액정 패널에 있어서의 색얼룩의 관측 한계를 나타낸 그래프이다.
그리고, 세로축은 보기 용이한 지표값 γ(=A/D3)을 나타내고, 가로축은 유리 기판(31)에 있어서의 주기 D를 나타낸다.
도 15의 그래프에 있어서, 기준선(1)은 보기 용이한 지표값 γ= 0.0004에 대응하는 선이며, 기준선(2)은 보기 용이한 지표값 γ= 5.0×10-9/D3(/m2)에 대응하는 선이다. 또 "△"으로 플롯한 꺾인 선 및 "○"으로 플롯한 꺾인 선은, 각각 종래의 플롯 프로세스에 의해 제조된 유리 기판(샘플 1)의 상면의 데이터와 하면의 데이터를 나타내고, "●"으로 플롯한 꺾인 선은 본 실시예에 관한 액정 패널용 유리 기판(샘플 2)의 데이터를 나타낸다. 그리고, 샘플 2도 플롯 프로세스에 따라 제조되지만, 드로우 라인 컨트롤에 있어서의 제(諸) 제어값이 샘플 1과 다르다.
여기서, 각 샘플을 사용하여 액정 패널을 제조하고, 상기 액정 패널에 있어서 색얼룩을 관측한 바, 샘플 1에서는 색얼룩이 관측되고, 샘플 2에서는 색얼룩이 관측되지 않았었다. 그리고, 도 15의 그래프에 있어서, 샘플 1에서는 기준선(1)보다 위에 위치하고, 또한 기준선(2)보다 위에 위치하는 데이터가 존재하지만, 샘플 2에서는 기준선(1)이나 기준선(2)보다 위에 위치하는 데이터가 존재하지 않는다. 즉, 도 15의 그래프에 있어서의 기준선(1)이나 기준선(2)가 색얼룩의 관측 한계를 나타내고 있는 것을 알았다.
샘플 1, 2의 색얼룩의 관측 결과 및 데이터(주기 D, 보기 용이한 지표값 γ)로부터, 도 15의 그래프를 통해서, 판두께가 0.2 ~ 1.1mm(±0.1mm)의 유리 기판(31)을 구비하는 액정 패널에서는, 적어도 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004 이하인지, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×10-9/D3(/m2) 이하이면 색얼룩이 관측되지 않는 것을 알았다.
그리고, 전술한 샘플 2는 플롯 프로세스에 따라 제조되었지만, 본 실시예에 관한 액정 패널용 유리 기판으로서는, 전술한 조건(컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004 이하인지, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×10-9/D3(/m2) 이하인 것)을 만족시키는 것이면, 플롯 프로세스로 제조된 유리 기판에 다소의 연마를 행한 것이라도 되고, 상기 연마의 양으로서는 5㎛ 이하인 것이 생산성(제조 공정수 삭감, 품질 관리 공정수 삭감)의 면으로부터 타당하다.
또한, 본 발명자 등은, 색얼룩의 관측 한계에 관한 다른 지표값으로서 A/D로 정의되는 다른 지표값 ε에 대하여 검토했다.
도 16은 각 샘플에 있어서의 다른 지표값과 유리 기판에서의 주기와의 관계를 나타낸 그래프이다. 그리고, 세로축은 다른 지표값 ε을 나타내고, 가로축은 유리 기판(31)에 있어서의 주기 D(mm)를 나타낸다.
도 16의 그래프에 있어서 "△", "○", "●"로 나타내는 각 데이터는 도 15의 그래프에 있어서의 샘플 1, 2의 각 데이터에 대응한다. 여기서, 전술한 바와 같이, "△"이나 "○"에 대응하는 샘플 1에서는 색얼룩이 관측되고, 또한 "●"에 대응하는 샘플 2에서는 색얼룩이 관측되지 않었다. 한편, 샘플 1에 있어서의 다른 지표값 ε은, 주기 D가 8 ~ 20mm의 범위에 있어서, 3.5×10-7(도면 중 파선으로 나타냄)보다 크고, 또한 샘플 2에 있어서의 다른 지표값 ε은, 주기 D가 8 ~ 20mm의 범위에 있어서 3.5×10-7 이하이다.
이상으로부터, 주기 D가 8 ~ 20mm의 범위에 있어서 다른 지표값 ε이 3.5×10-7 이하이면, 색얼룩이 관측되지 않는 것을 알았다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.02(/m2) 이하이며, 적분값이 2.0(/m3) 이하이므로, 명암 모양에 대한 표시 품위를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.01(/m2) 이하이며, 적분값이 1.0(/m3) 이하이므로, 반사 미러의 불균일한 우량품 기준 레벨을 넘어, 육안관찰에 의한 전체 수 검사를 불필요하게 할 수 있다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.006(/m2) 이하이며, 적분값이 0.6(/m3) 이하이므로, 반사 미러의 불균일한 우량품 기준 레벨을 크게 넘어, 절단 가공의 자유도 업에 의해 비용을 저감할 수 있다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.2(/m2) 이하이며, 적분값이 20.0(/m3) 이하이므로, 명암 모양에 대한 표시 품위를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.1(/m2) 이하이며, 적분값이 10.0(/m3) 이하이므로, 반사 미러의 불균일한 우량품 기준 레벨을 넘어, 육안관찰에 의한 전체 수 검사를 불필요하게 할 수 있다.
본 발명의 제1 태양에 의하면, 컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건에 있어서, 각 공간 주파수의 스펙트럼마다의 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.06(/m2) 이하이며, 적분값이 6.0(/m3) 이하이므로, 반사 미러의 불균일한 우량품 기준 레벨을 크게 넘어, 절단 가공의 자유도 업에 의해 비용을 저감할 수 있다.
본 발명의 제3 태양에 의하면, 액정 패널용 유리 기판은, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004(/m2) 이하, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×10-9/D3(/m2) 이하이므로, 색얼룩에 대한 표시 품위를 향상시킬 수 있다.
본 발명의 제3 태양에 의하면, 액정 패널용 유리 기판은 플롯 프로세스에 따라 제조되므로, 제조 공정수 및 품질 관리 공정수를 삭감할 수 있고, 따라서, 비용을 저감할 수 있다.
본 발명의 제3 태양에 의하면, 액정 패널용 유리 기판의 필터링된 파상도 곡선의 주기가 2mm 이상 또한 8mm 미만에서는 다른 지표값 ε이 3.5×10-7 이하이므로, 확실하게 색얼룩에 대한 표시 품위를 향상시킬 수 있다.

Claims (12)

  1. 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선(filtered waviness curve)의 최대 진폭이 0.1㎛ 이하이며, 상기 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.02(/m2) 이하이며,
    γ = A/D3 ‥‥(1)
    (단, A는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 진폭(m)이며, D는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 주기(m)이다)
    상기 보기 용이한 지표값 γ의 적분값이 2.0(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.01(/m2) 이하이며, 적분값이 1.0(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.006(/m2) 이하이며, 적분값이 0.6(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  4. 컷오프값 0.8 ~ 25mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 최대 진폭이 0.5㎛ 이하이며, 상기 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ의 최대값이 0.2(/m2) 이하이며,
    γ = A/D3 ‥‥(1)
    (단, A는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 진폭(m)이며, D는 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 각 주기(m)이다)
    상기 보기 용이한 지표값 γ의 적분값이 20.0(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.1(/m2) 이하이며, 적분값이 10.0(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 보기 용이한 지표값 γ는, 최대값이 0.06(/m2) 이하이며, 적분값이 6.0(/m3) 이하인, 반사 미러용 유리 기판.
  7. 제1항 내지 제6항 중 어느 한 항에 기재된 반사 미러용 유리 기판을 구비하는, 반사 미러.
  8. 판두께가 0.2 ~ 1.1mm(±0.1mm)이며, 컷오프값 0.8 ~ 8mm의 측정 조건에 있어서, 필터링된 파상도 곡선의 스펙트럼 해석에 의한 공간 주파수 2 ~ 500개/mm 간의 하기 식(1)에 의해 표현되는 보기 용이한 지표값 γ가 0.0004(/m2) 이하, 또는 보기 용이한 지표값 γ가 5.0×10-9/D3(/m2) 이하인, 액정 패널용 유리 기판.
    γ = A/D3 ‥‥(1)
    (단, A는 상기 유리 기판의 필터링된 파상도 곡선의 진폭(m)이며, D는 상기 유리 기판의 상기 필터링된 파상도 곡선의 주기(m)이다)
  9. 제8항에 있어서,
    필터링된 파상도 곡선의 주기가 2mm 이상 8mm 미만에서는, 하기 식(2)에 의해 표현되는 다른 지표값 e가 3.5×10-7 이하인, 액정 패널용 유리 기판.
    e = A/D ‥‥(2)
  10. 제8항에 있어서,
    플롯 프로세스(float process)에 따라 제조되는, 액정 패널용 유리 기판.
  11. 제10항에 있어서,
    필터링된 파상도 곡선의 주기가 2mm 이상 8mm 미만에서는, 하기 식(2)에 의해 표현되는 다른 지표값 ε이 3.5×10-7 이하인, 액정 패널용 유리 기판.
    ε = A/D ‥‥(2)
  12. 서로 대향하는 2개의 유리 기판과, 상기 2개의 유리 기판의 사이에 개재된 액정층과, 상기 2개의 유리 기판의 대향하는 면의 각각에 맞닿도록 배치된 스페이서를 구비하는 액정 패널로서,
    상기 유리 기판은 제8항 내지 제11항 중 어느 한 항에 기재된 액정 패널용 유리 기판인, 액정 패널.
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