KR20020035758A - 액처리방법 및 액처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (32)
- 수납용기내에 있어서 기판에 처리액을 공급하여 상기 기판을 처리하는 액처리장치에서,상기 수납용기를 탑재하는 프레임을 갖추고,상기 수납용기는 상기 프레임에서 소정방향으로 인출이 자유롭게 구성되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 처리액은 기판을 현상처리 하기 위하여 사용하는 현상액인 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 프레임에는 레일이 상기 소정방향을 따라서 설치되어 있고,상기 수납용기는 상기 레일을 따라서 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 프레임에는 상기 수납용기내에 기체를 공급하기 위한 공급닥트가 부착되어 있고,상기 공급닥트는 상기 수납용기내에 상기 기체를 공급하는 기체공급부에 접속되어 있고,상기 기체공급부는 상기 프레임에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 4 에 있어서,상기 공급닥트는 상기 프레임에 있어서 상기 소정방향 이외의 측면에 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 5 에 있어서,상기 수납용기는 상기 프레임에 수직방향으로 다단으로 복수탑재되어 있고,상기 각 수납용기에 접속된 각 공급닥트는 집약되어 상기 프레임의 측면을 따라서 수직방향으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 수납용기에 접속되고,상기 수납용기내의 환경을 배기하는 배기관과,상기 프레임외에 상기 환경을 배기하는 배기닥트를 갖추고,상기 배기닥트의 접속단부는 상기 배기관의 접속단부와 접속, 분리가 자유로운 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 7 에 있어서,상기 소정방향은 수평방향이고,상기 배기닥트의 접속단부는 상기 프레임에 있어서 상기 소정방향에 대해서 직각방향의 측부에 설치되어 있고,상기 배기닥트의 접속단부는 평면에서 볼 때 상기 소정방향과 역방향측이 상기 배기관의 접속단부측에 돌출하도록 형성되어 있고,상기 배기관의 접속단부는 상기 배기닥트의 접속단부와 적합하도록 평면에서 볼 때 상기 소정방향측이 상기 배기닥트의 접속단부측으로 돌출하도록 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 8 에 있어서,상기 배기닥트의 접속단부와 상기 배기관의 접속단부는 평면에서 볼때 경사지게 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 7 에 있어서,상기 소정방향은 수평방향이고,상기 배기닥트의 접속단부는 상기 소정방향에 대해서 직각방향의 프레임의 측부에 설치되어 있고,상기 배기닥트의 접속단부는 평면에서 볼때 상기 소정방향측으로 개구한 삽입구이고,상기 배기관의 접속단부는 상기 배기닥트의 삽입구에 삽입가능한 평면에서 볼때 상기 소정방향과는 반대로 돌출한 형태를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 10 에 있어서,상기 배기관의 접속단부는 끝이 날카로운 테이퍼형태를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 10 에 있어서,상기 삽입구는 그 내벽 표면에 기밀성을 확보하는 씰재를 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 10 에 있어서,상기 삽입구는 그 내벽표면에 스폰지재를 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 7 에 있어서,상기 수납용기가 상기 프레임에 수직방향으로 다단계로 탑재되어 있고,상기 수납용기의 각 배기관에 접속되는 각 배기닥트는 집약되어 상기 소정방향 이외의 상기 프레임의 측면을 따라서 수직방향으로 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 수납용기내에는 기판을 승강하는 승강핀이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 수납용기내에 위치하여 기판의 외주를 포위하는 처리용기와,상기 처리용기를 승강하는 승강기구를 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 1 에 있어서,상기 처리액은 기판을 현상처리하기 위하여 사용하는 현상액에서,상기 기판에 현상액을 공급하는 복수의 현상액 공급노즐과,상기 현상액공급노즐을 세정하는 세정조를 갖추고,상기 수납용기는 평면에서 볼때 사각형태로 형성되어 있고,상기 복수의 현상액 공급노즐은 상기 수납용기의 사각형태에 따른 한 방향으로 신장하는 동일 레일상에서 이동이 가능하고,상기 세정조는 상기 수납용기에 있어서의 상기 한 방향의 양측부에 설치되어있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 17 에 있어서,상기 한 방향은 상기 소정방향에 대해서 직각방향인 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 17 에 있어서,기판에 세정액을 공급하는 세정액공급장치를 갖추고,상기 세정액공급장치는 상기 한방향과 직각방향을 이루는 다른 방향으로 이동이 가능한 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 케이싱내에 위치하는 용기내에서, 기판에 대해서 처리액을 공급하여 액처리하는 액처리방법에서,상기 케이싱내에 있어서 상기 용기의 상측에서 기체를 공급하는 공정과,상기 공급된 기체 가운데 용기내에 유입하는 기체의 제 1 유량과,상기 용기외에 흐르는 기체의 제 2 유량을 조절하는 공정과,상기 용기내에 유입한 기체와 상기 용기외로 흐른 기체를 케이싱외에 배기하는 공정을 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 20 에 있어서,상기 액처리는 현상처리인 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 20 에 있어서,기판상에 처리액이 공급되어 상기 기판을 처리하는 동안은 상기 제 1 유량이 상기 제 2 유량보다 소량이 되도록 조절하는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 22에 있어서,상기 기판을 처리할 때 상기 기판을 상기 용기의 상단부보다 낮은 위치에 위치시키는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 22 에 있어서,상기 기판의 액처리가 종료한 후, 상기 기판을 회전시킬 때 상기 제 1 유량이 상기 제 2 유량보다 다량이 되도록 조절되는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 22 에 있어서,상기 기판상에 처리액이 공급될 때에 상기 제 1 유량이 상기 제 2 유량보다 다량이 되도록 조절되는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 청구항 20 에 있어서,상기 제 1 유량과 상기 제 2 유량의 조절은 상기 용기를 상하 이동시키는 것에 의해 실행되는 것을 특징으로 하는 액처리방법.
- 케이싱내에서 기판을 액처리하는 액처리장치에서,상기 케이싱내에 설치되고, 상기 기판의 외주위를 둘러싸는 용기와,상기 케이싱내에 기체를 공급하는 기체공급부와,상기 용기내에 유입하는 환경과 상기 용기외에 흐르는 환경을 일괄하여 케이싱외에 배기하는 배기부와,상기 용기내에 유입하는 기체의 유량과 상기 용기외에 흐르는 기체의 유량을 조절하는 조절장치를 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 27 에 있어서,상기 배기구의 배기구는 상기 용기의 내측에 설치되어 있고,상기 용기에는 상기 용기외에 흐르던 기체를 상기 용기내에 유입시키기 위한 유입구가 설치되어 있고,상기 조절장치는 상기 용기를 상하이동시키는 것으로 상기 유입구의 개폐정도를 조절가능한 용기구동장치인 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 27 에 있어서,상기 용기의 외주위 외측에는 상기 용기외에 누수된 현상액을 회수하는 회수판이 설치되어 있고,상기 회수판에는 상기 용기외로 흐르는 기체가 통과하는 복수의 통기구가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 29 에 있어서,상기 회수판은 상기 용기측이 낮아지도록 경사를 이루는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 27 에 있어서,상기 기판을 상하 이동시키는 승강기구를 갖추는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
- 청구항 31 에 있어서,상기 용기내에는 상기 승강기구에 의해 끌어올려진 기판의 이면에 접근시켜 기판표면에서 기판주변부를 거쳐 기판이면에 누수되려는 처리액을 트랩하는 방지부재가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 액처리장치.
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