KR20010013589A - 기판이송장치의 드라이브 장치 - Google Patents

기판이송장치의 드라이브 장치 Download PDF

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KR20010013589A
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Abstract

본 발명은 하우징(18)과, 상기 하우징(18)에 연결된 드라이브 어셈블리(22)와, 상기 드라이브 어셈블리(18)에 작동 가능하도록 연결된 가동 아암 어셈블리(20)를 구비하는 기판이송장치(12)에 관한 것이다. 상기 드라이브 어셈블리(22)는, 하우징(18)에 고정적으로 연결되며, 개방된 측면을 가지는 케이지(26)를 형성하는 프레임을 구비하고 있다. 상기 드라이브 어셈블리(22)는 회전 드라이브(28)와 수직 드라이브(30)를 구비하고 있다. 상기 회전 드라이브(28)는 캐리지(52)에 의해 케이지(26) 내부의 프레임(26)에 움직일 수 있도록 장착된다. 상기 수직 드라이브(30)는, 상기 프레임(26)의 하부에 장착되며, 상기 회전 드라이브(28)에 부착되어 상기 회전 드라이브(28)를 프레임(26) 상에서 상하로 이동시킨다. 상기 회전 드라이브(28)는 두 개의 마주보는 동일한 드라이브 유닛(74, 76)을 구비하고 있다,

Description

기판이송장치의 드라이브 장치{SUBSTRATE TRANSPORT DRIVE SYSTEM}
미국특허 제5,209,699호에는 진공상태에서 웨이퍼를 다루기 위한 자기(magnetic)구동장치가 개시되어 있다. PCT국제특허출원 공개공보 WO 94/23911에는, 동축 구동(드라이브) 샤프트와, 스크류 드라이브에 의해 설치 플랜지에 연결되는 두 개의 회전 드라이브 장치를 구비한 관절아암(articulated arm) 이송장치에 대해서 개시되어 있다.
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 구체적으로는 기판이송장치를 구동하기 위한, 기판이송장치의 드라이브 장치에 관한 것이다.
도 1a는 본 발명의 기판이송장치를 구비한 기판처리장치의 개략적인 평면도이고,
도 1b는 도 1a에 도시된 기판이송 드라이브 어셈블리의 개략적인 사시도이고,
도 2는 도 1b에 도시된 프레임과 어셈블리의 수직구동장치의 개략적인 사시도이고,
도 3은 도 2에 도시된 수직구동장치의 단면도이고;
도 4는 도 1b에 도시된 회전 구동장치 어셈블리의 평면, 배면 및 측면에 대한 사시도이고,
도 5는 도 4에 도시된 회전 구동장치 어셈블리의 단면도이고;
도 6은 수직구동장치에서 회전구동장치까지의 연결부분을 도시한 부분 단면도이다.
*도면의 주요부분에 대한 부호의 설명*
10 기판처리장치 12 기판이송장치
14 기판처리모듈 20 가동 아암 어셈블리
22 드라이브 어셈블리 26 프레임
28 회전 드라이브 어셈블리 30 수직 드라이브
본 발명의 일 실시예에 따르면, 기판이송장치에는 하우징과, 하우징에 연결되어있는 드라이브 어셈블리(drive assembly)와, 상기 드라이브 어셈블리에 작동가능하게 연결되어있는 가동 아암 어셈블리가 구비되어 있다. 드라이브 어셈블리는 프레임과 회전 드라이브 어셈블리로 구성되어 있다. 상기 프레임은 하우징에 고정적으로 연결된다. 상기 프레임은 개방측면과 함께 개방형 케이지를 형성한다. 회전 드라이브 어셈블리는 케이지 내측에서 프레임에 장착된다. 회전 드라이브 어셈블리는, 개방측면을 통하여, 모듈러 유닛으로서 케이지 내에 위치한다. 개방측면에서는 개방측면을 통하여 드라이브 어셈블리의 구성요소에 접근할 수 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 프레임과, 회전 드라이브와, 수직 드라이브를 구비한, 기판처리장치의 구동장치 즉, 기판처리장치의 드라이브 장치가 제공된다. 회전 드라이브는 프레임에 가동적으로 장착된다. 수직 드라이브는 프레임과 회전 드라이브 사이에서 프레임에 대하여 회전 드라이브가 움직일 수 있도록 연결되어 있다. 수직 드라이브의 일부분은 회전 드라이브의 내부에 움직일 수 있도록 위치하게 되어 드라이브 장치의 길이를 줄이게 된다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 기판처리장치를 위한 기판이송장치의 드라이브 장치가 제공된다. 상기 드라이브 장치는 프레임과, 프레임에 움직일 수 있게 장착된 캐리지와, 회전 드라이브와, 선형 드라이브를 구비하고 있다. 프레임은 기판처리장치의 하우징에 고정적으로 장착되어 있다. 회전 드라이브는 캐리지에 고정적으로 장착된 하우징을 구비하고 있으며, 그에 따라 프레임에 움직일 수 있게 장착된다. 선형 드라이브는 프레임과 회전 드라이브 사이에서 연결되어, 상기 회전 드라이브를 프레임에 대해서 선형적으로 움직인다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 두 개의 동축 샤프트를 가지는 드라이브 샤프트 어셈블리와, 서로 연결되어 있으며 상기 두 개의 동축 샤프트를 독립적으로 회전시키는 두 개의 회전 드라이브 유닛을 구비한, 기판이송장치의 드라이브 장치가 제공된다. 상기 두 개의 회전 드라이브 유닛은 실질적으로 서로 동일하며 서로 반대방향으로 부착되어 있다.
본 발명의 또 다른 실시예에 따르면, 기판이송장치의 드라이브 장치를 결합하는 방법으로서, 기판처리장치의 하우징에 고정적으로 연결되기 적합한 상부를 가진 프레임을 제공하고, 주 본체 밖으로 연장되어 있는 회전 스크류 샤프트와 상기 회전 스크류 샤프트에 장착되는 라이더를 구비하여 상기 프레임에 고정적으로 연결되는 주 본체를 구비한 수직 드라이브 유닛을 상기 프레임의 하부에 장착하고, 프레임을 따라 상하로 이동하기 위하여 회전 드라이브를 상기 프레임에 장착하고, 상기 라이더를 회전 드라이브에 부착하는 것을 특징으로 하는 방법이 제공된다. 상기 스크류 샤프트의 회전에 의하여 라이드가 스크류 샤프트를 따라서 상하로 움직이고, 그에 따라 회전 드라이브가 프레임을 따라서 상하로 움직인다. 수직 드라이브는, 프레임과 수직 드라이브의 주 본체를 기판처리장치의 하우징에 대하여 이동시킬 수 있는 크기를 가질 필요가 없다.
도 1a에는, 기판처리장치(10)의 개략적인 평면도가 도시되어 있다. 기판처리장치(10)에는, 기판이송장치(12)와, 기판처리모듈(14)과, 로드잠김장치(load lock)(16)가 구비되어 있다. 배경기술로 언급된 미국특허 제4,715,921호에는 유사한 기판처리장치가 개시되어 있다. 배경기술로 언급된 PCT국제특허출원 공개공보 WO 94/23911에는 관절아암 이송장치가 개시되어 있다. 기판처리장치(10)는 공지의 반도체 웨이퍼 또는 평판 패널 디스플레이와 같은 기판을 처리하는데 적합하다.
기판이송장치(12)는, 하우징(18), 가동 아암 어셈블리(movable arm assembly)(20) 및 드라이브 어셈블리(drive assembly)("구동 어셈블리"라고도 호칭함)(22)를 구비하고 있다. 하우징(18)은, 가동 아암 어셈블리(20)가 로드잠김장치(16)와 기판처리모듈(14) 사이에서 기판을 이송할 수 있도록 하는 진공 챔버를 형성한다. 가동 아암 어셈블리(20)는, PCT국제특허출원 공개공보 WO 94/23911에 개시된, 기판 지지단부 이펙터(effector)(24)를 구비한 어셈블리와 유사하다. 본 발명의 또 다른 실시예에서는, 다른 종류의 하우징 및/또는 가동 아암 어셈블리가 사용될 수 있다.
도 1b에는, 드라이브 어셈블리(22)가 도시되어 있다. 드라이브 어셈블리(22)는 프레임(26), 회전 드라이브 어셈블리(28), 수직 드라이브(30) 및 제어회로(32)를 구비하고 있다. 드라이브 어셈블리(22)는 하우징(18)의 하부에 장착된다. 도 2에는, 프레임(26)과 수직 드라이브(30)가 도시되어 있다. 프레임(26)에는 상부 플랜지(34), 하부 플랜지(36) 및 세 개의 측벽부(38, 39, 40)가 구비되어 있다. 프레임(26)은 개방된 정면(42)을 가진 케이지(cage)를 이루고 있다. 상부 플랜지(34)는, 하우징(18)의 하부면에 부착되는 설치 플랜지(35)에 고정적으로 부착된다. 설치 플랜지(35)는 프레임(26)의 상부 플랜지(34)에 대하여 제거 가능하도록 부착된다. 이러한 구성을 통하여, 제조업자는, 드라이브를 해체하지 않고서도, 드라이브 어셈블리(22)를 다른 종류의 기판이송 하우징에 사용할 수 있도록 다른 종류의 설치 플랜지를 선택할 수 있게 된다. 후방 측벽부(39)에는 두 개의 수직한 트랙 또는 레일(44)이 구비되어 있다. 캐리지(carriage)(52)는 레일(44) 위에 이동가능하게 설치된다. 캐리지(52)는 통상의 사각링 형상의 프레임(53)과 중앙구멍(54)을 구비하고 있다. 캐리지 프레임(53)의 상부와 하부에는, 레일(44)에 부착된 캐리지(52)를 유지하며 캐리지(52)가 레일을 따라 상하로 수직하게 이동할 수 있도록 가동적으로 지지하는 레일베어링(56)이 설치되어 있다. 하부 플랜지(36)의 중앙에는 구멍(46)이 형성되어 있다. 수직 드라이브(30)는, 수직 드라이브(30)의 일부분이 상기 구멍(46)을 통하여 케이지의 내부 영역으로 돌출되도록, 하부 플랜지(36)에 부착된다. 도 1b에 잘 도시되어 있는 바와 같이, 상부 플랜지(34)에도 구멍(48)이 형성되어 있다. 회전 드라이브 어셈블리(28)의 드라이브 샤프트 어셈블리의 일부분은, 상기 구멍(48)과 하우징(18)의 하부에 형성된 구멍을 통하여, 하우징에 의하여 형성된 진공 챔버 내로 돌출되어 있다. 벨로즈(bellows)(50)는 진공 챔버 내의 진공을 유지하기 위하여 구비된 것인데, 회전 드라이브 어셈블리(28)가 하우징(18)에 대하여 움직일 수 있도록 한다.
도 3에는 수직 드라이브(30)가 도시되어 있다. 수직 드라이브(30)는 주 본체(58), 회전 샤프트(60) 및 라이더(rider)(62)를 구비하고 있다. 주 본체(58)는 하우징(64), 전기모터(66) 및 엔코더(encoder)(68)를 구비하고 있다. 하우징(64)은 프레임(26)의 하부 플랜지(36)에 고정적으로 부착된다. 모터(66)는 하우징(64) 내에 위치하며, 모터(66)는 샤프트(60)를 하우징(64)에 대하여 축방향으로 회전시키기 위하여 사용된다. 엔코더(68)는, 하우징(64)에 연결되어 있는 제1 고정편(70) 및 샤프트(60)의 하부단부에 연결되어 있는 제2 가동편(72)을 포함하고 있다. 엔코더(68)로는, 하우징(64)에 대한 샤프트(60)의 회전과 하우징(64)에 대한 샤프트(60)의 회전위치를 표시해주는 신호를 발생시키기에 적합한 광학엔코더가 바람직하다. 그러나, 다른 종류의 적당한 엔코더 또는 위치센서도 사용할 수 있다. 샤프트(60)의 상부에는 나사산이 형성되어 있다. 라이더(62)는 상기 나사산에 장착된다. 라이더(62)는, 후술하는 바와 같이, 회전 드라이브 어셈블리(28)에 부착된다. 드라이브 샤프트(60)가 축방향으로 회전할 때, 라이더(62)는 샤프트(60)를 따라 종방향으로 움직인다. 프레임(26)에 하우징(64)이 부착되어 있고 회전 드라이브 어셈블리(28)에 라이더(62)가 부착되어 있기 때문에, 회전 드라이브 어셈블리(28)는 프레임(26)에 대하여 종방향으로 움직일 수 있다. 다른 실시예로서, 회전 드라이브 어셈블리가 케이지에 고정적으로 연결되어 있는 경우라면 수직 드라이브를 구비할 필요는 없다.
도 4 및 도 5에는 회전 드라이브 어셈블리(28)가 도시되어 있다. 회전 드라이브 어셈블리(28)에는, 두 개의 회전 드라이브 유닛(74, 76)이 구비되어 있다. 두 개의 회전 드라이브 유닛(74, 76)은 실질적으로 서로 동일하며, 서로 반대 방향으로 부착되어 있다. 각각의 회전 드라이브 유닛(74, 76)은 프레임 또는 하우징(78)과, 전자기코일(80)과, 위치신호장치(82)를 구비하고 있다. 프레임(78)은, 개방된 정면(42)을 통하여 케이지(26)에 위치할 수 있도록 적절한 크기와 모양을 가진다. 프레임(78)의 배면(84)에는, 오목 주변부(88)로 계단 형태를 가진 중앙 돌출부(86)가 구비되어 있다. 두 개의 돌출부(86)는, 도 2에 도시된 캐리지(52)의 중앙구멍(54)에 수용될 수 있는 크기와 모양으로 구성되어 있다. 프레임(78)은, 외팔보(cantilever) 형식으로 캐리지(52)에 고정적으로 연결되어 있는 모듈러 유닛을 형성하기 위하여 서로에 대하여 고정적으로 연결되어 있다. 따라서, 회전 드라이브 어셈블리(28)는 캐리지(52)와 레일(44)에 의하여 케이지(26)에 대하여 수직하게 움직일 수 있다. 또 다른 실시예에 있어서, 레일(44)은 케이지의 반대측에 위치할 수 있으며, 하나 이상의 캐리지를 포함하여, 어떤 적절한 가동 설치도 구비될 수 있다. 도 5에 도시된 바와 같이, 코일(80)의 후방 단부(80a)는 프레임(78)의 주변부(88)를 지나가며 확장된다. 프레임(78)이 캐리지(52)에 부착되는 경우, 코일(80)의 후방 단부(80a)는 캐리지(52)의 중앙구멍(54)으로 확장된다. 따라서, 중앙구멍(54)은 두 개의 회전 드라이브 전기모터의 일부분을 위한 시이트(seat)를 형성한다. 이러한 구성에 의하면, 회전 드라이브 어셈블리의 중량을 감소시킬 뿐만 아니라, 캐리지와 회전 드라이브의 크기도 줄일 수 있게 된다. 두 개의 코일(80)은 서로 이웃하여 위치하고 있기 때문에, 두 개의 후방 단부(80a)를 과도하게 크기 않은 캐리지의 시이트에 위치시킬 수 있게 된다. 따라서, 캐리지(52)는 과도하게 클 필요가 없다. 그 결과, 캐리지(52)의 중량을 줄일 수 있게 된다.
회전 드라이브 어셈블리(28)는 드라이브 샤프트 어셈블리(90)의 드라이브 샤프트(92, 94)를 독립적으로 축회전시키는데 사용된다. 두 개의 샤프트(92, 94)는 서로 동축으로 설치되어 있다. 샤프트(92, 94)의 상부 단부는, 당업계에 알려진 바와 같이, 가동 아암 어셈블리(20)에 연결되어 있다(도 1a 참조). 내부 샤프트(92)의 하부 단부는, 하부 회전 드라이브 유닛(76)에 회전 가능하게 설치된다. 외부 샤프트(94)의 하부 단부는 상부 회전 드라이브 유닛(74)에 회전 가능하게 설치된다. 드라이브 모터는, 샤프트(92, 94)의 하부 단부에 부착된 영구자석(96) 세트를 구비하고 있다. 코일(80)은 전력을 공급받아 자석(96)을 움직이고, 그에 따라 샤프트(92, 94)가 회전한다. 또한, 디스크(98)도 샤프트(92, 94)의 하부 단부에 부착되어 있다. 디스크(98)는, 부호화된 천공 패턴을 구비하고 있다. 위치신호장치(82)는 광원(100)과 광센서(102)를 구비하고 있다. 광원(100)으로부터 발생한 빛은 디스크(98)에 있는 구멍을 통과하여 광센서(102)에 의해서 수신된다. 광센서(102)는 프레임(78)에 대한 샤프트의 회전위치를 표시하는 제어부로 신호를 출력한다. 다른 실시예에서는, 다른 종류의 위치신호장치가 사용될 수 있다. 본 실시예에 있어서는, 비교적 조절하기 쉽고 고치기 쉽게 하기 위하여, 위치신호장치(82)가 케이지(26)의 개방된 정면(42)에서 프레임(78)의 전방측에 위치한다. 상부판(110)은, 상부판(110)을 관통하여 돌출되어 있는 샤프트(92, 94)와 함께 상부 회전 드라이브 유닛(74)에 장착되어 있다. 상부판(110)을 상부 회전 드라이브 유닛(74)에 대하여 밀봉시키기 위하여 O-링밀봉수단(112)이 구비된다. 벨로즈(50)는 상부판(110)에 부착되어 있다. 하부판(114)은 하부 회전 드라이브 유닛(76)에 장착되어 있다. 하부판(114)을 하부 회전 드라이브 유닛의 프레임(78)에 대하여 밀봉시키기 위하여 O-링밀봉수단(116)이 구비된다. O-링밀봉수단(120)과 함께, 구멍(118)에서 하부판(114)으로는 그 사이에 절연컵(106)이 설치된다.
도 6을 참조하여, 회전 드라이브 어셈블리(28)에 부착된 수직 드라이브(30)에 대해서 설명한다. 도 4에 도시된 바와 같이, 내부 샤프트(92)의 하부에는 수용구역(104)이 구비되어 있다. 내부 샤프트(92)의 하부에 부착되어 있는 절연컵(106)은 상기 수용구역(104)에 위치한다. 상기 절연컵은 기판이송장치의 하우징(18)을 진공상태로 유지할 수 있도록 돕기 위해 구비된 것이다. 수직 드라이브(30)의 라이더(62)는, 절연컵(106)의 내부와 내부 샤프트(92)의 수용구역(104) 내부에서 절연컵(106)에 부착되어 있다. 또한, 수직 드라이브 샤프트(60)의 나사산 부분은 상기 절연컵(106)과 수용구역(104)에 위치한다. 드라이브 샤프트(60)는 드라이브 샤프트 어셈블리(90)와 동축관계에 있다. 수직 드라이브 샤프트(60)가 회전하면, 라이더(62)는 상하로 움직일 수 있고, 차례로, 회전 드라이브 어셈블리(28)와 드라이브 샤프트 어셈블리(90)를 상하로 움직인다. 수직 드라이브의 일부분을 회전 드라이브 어셈블리 내에 위치시키므로써, 드라이브 어셈블리(22)의 전체길이가 줄어든다. 그에 따라, 드라이브 어셈블리(22)의 중량이 감소된다.
본 발명은 기판처리장치의 기판이송장치를 구동하기 위한 구동장치 즉, 드라이브 장치로 사용된다.
상기의 기재 내용은 단지 본 발명을 설명하기 위한 것이다. 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 당업자가 다양한 선택과 변경을 가할 수 있다. 따라서, 본 발명은 특허청구범위내에 포함되는 모든 선택, 변경 및 변형을 포함하는 것이다.

Claims (33)

  1. 하우징, 상기 하우징에 연결된 드라이브 어셈블리 및 상기 드라이브 어셈블리에 작동가능하게 연결된 가동 아암 어셈블리를 구비한 기판이송장치로서,
    상기 하우징에 고정적으로 연결되며, 개방된 측면과 함께 케이지를 구성하는 프레임과;
    상기 케이지 내부의 프레임에 장착되며, 상기 케이지의 개방된 측면을 통하여 상기 케이지 내에 모듈러 유닛으로서 위치하고 상기 개방된 측면을 통하여 회전 드라이브 어셈블리의 구성요소에 접근할 수 있는, 회전 드라이브 어셈블리를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 회전 드라이브 어셈블리는, 상기 케이지 내측에서의 상하 이동을 위하여, 상기 프레임에 가동적으로 장착되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 드라이브 어셈블리는, 상기 프레임에 가동적으로 장착되며 상기 회전 드라이브를 프레임에 연결시키는 캐리지를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  4. 제3항에 있어서, 상기 캐리지에는, 회전 드라이브의 일측의 일부분이 위치하게 되는 중앙 오목부가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  5. 제4항에 있어서, 상기 회전 드라이브에는, 일부분이 상기 캐리지의 중앙 오목부에 위치하는 두 개의 전자기 코일이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  6. 제2항에 있어서, 상기 드라이브 어셈블리에는, 상기 프레임의 하부에 고정적으로 연결되는 주 본체를 구비한 수직 드라이브와, 회전 스크류 샤프트와, 상기 회전 드라이브의 프레임에 고정적으로 연결되어 있으며 상기 회전 스크류 샤프트에 장착되어 상기 회전 스크류 샤프트가 회전함에 따라 상하로 이동하는 라이더가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  7. 제6항에 있어서, 상기 스크류 샤프트는 회전 드라이브로 연장되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 스크류 샤프트는 상기 회전 드라이브 어셈블리의 회전 드라이브 샤프트의 하부 단부의 수용구역으로 연장되는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  9. 제1항에 있어서, 상기 회전 드라이브 어셈블리에는, 서로 동일하며 서로에 대하여 반대방향으로 부착되어 있는 두 개의 드라이브 샤프트 회전용 유닛으로부터 연장되어 있는 동축 드라이브 샤프트들이 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치.
  10. 기판처리장치를 위한 기판이송장치의 드라이브 장치로서,
    프레임과, 상기 프레임에 이동가능하도록 장착된 부착된 회전 드라이브와, 상기 프레임과 상기 회전 드라이브 사이에 연결되어 상기 회전 드라이브를 상기 프레임에 대하여 회전시키는 수직 드라이브를 구비하고 있으며,
    상기 수직 드라이브의 일부는 상기 회전 드라이브의 내측에 위치하여 드라이브 장치의 길이를 감소시키는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 드라이브 장치.
  11. 제10항에 있어서, 상기 회전 드라이브는 그 하부 단부에 오목부를 가진 회전 드라이브 샤프트를 구비하고 있으며, 상기 수직 드라이브의 일부는 상기 오목부로 연장되는 것을 특징으로 하는 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 수직 드라이브의 일부분은 회전 스크류 샤프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  13. 제11항에 있어서, 상기 오목부는, 그 곳에 장착되는 절연컵을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  14. 제10항에 있어서, 상기 회전 드라이브는, 상기 프레임의 트랙에 이동가능하게 장착되는 캐리지에 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
  15. 제14항에 있어서, 상기 회전 드라이브에는, 상기 캐리지의 시이트에 위치하는 모터가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  16. 제10항에 있어서, 상기 회전 드라이브에는, 서로 대칭되는 위치로 부착되어 있는 두 개의 동일한 유닛을 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  17. 제10항에 있어서, 상기 수직 드라이브는, 상기 회전 드라이브의 회전 샤프트에 동축으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 장치.
  18. 기판처리장치를 위한 기판이송장치의 드라이브 장치로서,
    기판처리장치의 하우징에 고정적으로 장착되기에 적합한 프레임과;
    상기 프레임에 가동적으로 장착되어 있는 캐리지와;
    상기 캐리지에 직접 고정적으로 장착되는 하우징을 구비하여 상기 프레임에 가동적으로 장착되는 회전 드라이브와;
    상기 프레임과 상기 회전 드라이브 사이에 연결되어, 상기 회전 드라이브를 상기 프레임에 대하여 선형적으로 움직이는 선형 드라이브를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 드라이브 장치.
  19. 제18항에 있어서, 상기 캐리지는 상기 프레임의 트랙에 이동가능하게 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
  20. 제19항에 있어서, 상기 회전 드라이브에는, 상기 캐리지의 오목부에 부분적으로 위치하는 모터가 구비되어 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  21. 제19항에 있어서, 상기 트랙은, 상기 프레임의 일측면에만 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  22. 제18항에 있어서, 상기 선형 드라이브는 상기 프레임의 하부에 장착되는 것을 특징으로 하는 장치.
  23. 제22항에 있어서, 상기 선형 드라이브의 일부분은 상기 회전 드라이브의 일부분 내에 가동적으로 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  24. 제22항에 있어서, 상기 선형 드라이브는, 상기 회전 드라이브의 드라이브 샤프트에 동축으로 정렬되는 것을 특징으로 하는 장치.
  25. 제18항에 있어서, 상기 프레임은, 상기 케이지와, 상기 케이지의 상부에 제거 가능하도록 장착되는 설치 플랜지를 구비하고 있으며, 상기 설치 플랜지는 상기 케이지를 기판이송장치의 하우징에 장착할 수 있는 크기와 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 장치.
  26. 두 개의 동축샤프트를 가지는 드라이브 샤프트 어셈블리와, 서로 연결되어 있으며 상기 동축 샤프트를 독립적으로 회전시키는 두 개의 회전 드라이브 유닛을 구비한 기판이송장치의 드라이브 장치로서, 상기 두 개의 회전 드라이브 유닛은 서로 동일하며, 서로에 대하여 반대 방향으로 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판이송장치의 드라이브 장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기 각각의 회전 드라이브 유닛은 프레임과 전자기코일을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  28. 제27항에 있어서, 상기 회전 드라이브 유닛 중의 하나의 유닛에 구비된 코일은 해당 프레임의 하부에 위치하며, 상기 회전 드라이브 유닛 중의 다른 하나의 유닛에 구비된 코일은 해당 프레임의 상부에 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  29. 제26항에 있어서, 상기 각각의 드라이브 유닛은, 각각의 드라이브 유닛의 마주하는 단부에 광학 위치센서를 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 장치.
  30. 제26항에 있어서, 드라이브 샤프트 어셈블리에 동축으로 정렬된 수직 드라이브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 장치.
  31. 제30항에 있어서, 상기 수직 드라이브의 일부분은 회전 드라이브 유닛 중의 어느 하나의 내부에 가동적으로 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  32. 제31항에 있어서, 상기 수직 드라이브의 일부분은 드라이브 샤프트 어셈블리 내부에 가동적으로 위치하는 것을 특징으로 하는 장치.
  33. 기판이송장치의 드라이브 장치를 결합하는 방법으로서,
    기판처리장치의 하우징에 고정적으로 연결되기 적합한 상부를 가진 프레임을 제공하고;
    주 본체 밖으로 연장되어 있는 회전 스크류 샤프트와 상기 회전 스크류 샤프트에 장착되는 라이더를 구비하여 상기 프레임에 고정적으로 연결되는 주 본체를 구비한 수직 드라이브 유닛을 상기 프레임의 하부에 장착하고;
    프레임을 따라 상하로 이동하기 위하여 회전 드라이브를 상기 프레임에 장착하고;
    상기 라이더를 회전 드라이브에 부착하고;
    상기 스크류 샤프트의 회전에 의하여 라이드가 스크류 샤프트를 따라서 상하로 움직이고, 그에 따라 회전 드라이브가 프레임을 따라서 상하로 움직이고, 수직 드라이브는, 프레임과 수직 드라이브의 주 본체를 기판처리장치의 하우징에 대하여 이동시킬 수 있는 크기를 가질 필요가 없는 것을 특징으로 하는 방법.
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