JP4361973B2 - 基板搬送装置駆動システム - Google Patents
基板搬送装置駆動システム Download PDFInfo
- Publication number
- JP4361973B2 JP4361973B2 JP50240099A JP50240099A JP4361973B2 JP 4361973 B2 JP4361973 B2 JP 4361973B2 JP 50240099 A JP50240099 A JP 50240099A JP 50240099 A JP50240099 A JP 50240099A JP 4361973 B2 JP4361973 B2 JP 4361973B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- frame
- drive assembly
- rotary drive
- transport apparatus
- drive
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J11/00—Manipulators not otherwise provided for
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
- H01L21/67196—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the transfer chamber
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
- B25J18/04—Arms extensible rotatable
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/18—Mechanical movements
- Y10T74/18568—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary
- Y10T74/18576—Reciprocating or oscillating to or from alternating rotary including screw and nut
- Y10T74/18664—Shaft moves through rotary drive means
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T74/00—Machine element or mechanism
- Y10T74/20—Control lever and linkage systems
- Y10T74/20207—Multiple controlling elements for single controlled element
- Y10T74/20305—Robotic arm
- Y10T74/20317—Robotic arm including electric motor
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Specific Conveyance Elements (AREA)
Description
1.技術分野
本発明は、基板処理装置に関し、より詳しくは、基板搬送装置駆動システムに関する。
2.従来技術
米国特許第5,209,699号は、真空中でウェーハを取り扱う磁気駆動装置を開示している。PCT国際公開第WO94/23911号は、同軸駆動シャフトと、ネジによって装着フランジに連結された2基の回転駆動装置とを有する関節構造のアーム搬送装置を開示している。
発明の概要
本発明の一つの実施例は、ハウジングと、該ハウジングに連結された駆動アセンブリと、該駆動アセンブリに操作可能な状態で連結した可動アームアセンブリと、を有する基板搬送装置を提供する。該駆動アセンブリは、フレームと、回転駆動アセンブリと、を含む。該フレームは、固定的に該ハウジングに連結される。該フレームは、開口サイドを有するケージを形成する。該回転駆動アセンブリは、該ケージ内部の該フレームに装着される。該回転駆動アセンブリはモジュールユニットとして、該開口サイドを通して該ケージに配設される。該開口サイドは、該開口サイドにおいて、該駆動アセンブリのコンポーネントへのアクセスを可能にする。
本発明の他の実施例は、フレームと、回転駆動装置と、垂直駆動装置と、を含む、基板処理装置のための基板搬送装置駆動システムを提供する。該回転駆動装置は、該フレームに移動自在に装着される。該垂直駆動装置は、該フレームと該回転駆動装置との間に連結され、該回転駆動装置を該フレームに相対的に移動させる。該垂直駆動装置の一部は、該回転駆動装置内部に移動自在に配設されて、該駆動システムの長さを短縮する。
本発明の他の実施例は、基板処理装置のための基板搬送装置駆動システムを提供する。該駆動システムは、フレームと、該フレームに移動自在に装着されるキャリッジと、回転駆動装置と、直線駆動装置と、を含む。該フレームは、該基板処理装置のハウジングに、固定的に装着される。該回転駆動装置は、該キャリッジに固定的に装着されるハウジングを有し、そこにおいて、該フレーム上に移動自在に装着される。該直線駆動装置は、該フレームと該回転駆動装置との間に連結され、該回転駆動装置を該フレームに対して相対的に直線的に移動する。
本発明の他の実施例は、2本の同軸シャフトを持つ駆動アセンブリと、互いに連結され独立に該2本の同軸シャフトを回転させる2基の回転駆動ユニットと、を有する基板搬送装置駆動システムを提供する。その特徴は、互いに実質的に同一で且つ、互いに逆方向に装着された該2基の回転駆動ユニットを含む。
本発明の他の実施例は、基板搬送装置駆動システムの組み立て方法を提供し、該方法は、基板処理装置のハウジングに固定的に連結される頂部を有するフレームを提供する行程と、垂直駆動ユニットを該フレームの底部に装着する行程と、回転駆動装置を該フレームにそった上下運動のために、該フレームに装着する行程と、該ライダーを該回転駆動装置に取り付ける行程と、を含み、該垂直駆動ユニットは該フレームに回転可能なネジシャフトによって固定的に連結される主要部を有し、該シャフトは該主要部及び該ネジシャフト上のライダーから伸びることを特徴としている。該ネジシャフトの回転は、該ライダーを該ネジシャフトに沿って上下移動させて、又、該回転駆動装置を該フレームに沿って上下移動させる。該垂直駆動装置は、該フレームおよび該垂直駆動装置の該主要部分の重量を該基板処理装置の該ハウジングに相対的に移動させるほどのサイズに設定する必要はない。
【図面の簡単な説明】
前述の本発明の態様および他の特徴は、添付の図面に関連して以下の詳細説明において説明される。
図1は、本発明の特徴を組み込んだ基板搬送装置を有する基板処理装置の略上面図である。
図1Aは、図1に示される該装置において、使用される該基板搬送装置駆動アセンブリの斜視図である。
図2は、図1Aに示される該アセンブリの該フレームおよび該垂直駆動装置の斜視図である。
図3は、図2に示される該垂直駆動装置の断面図である。
図4は、図1Aに示される該回転駆動アセンブリの上部、後部、側面部からの斜視図である。
図5は、図4に示される該回転駆動アセンブリの模式的断面図である、
図6は、該垂直駆動装置と該回転駆動装置との接続部の模式的部分断面図である。
好適な実施例の詳細な説明
図1を参照すると、基板処理装置10の模式的平面図が示されている。該装置10は、基板搬送部12と、基板処理モジュール14と、負荷ロック部16と、を含む。類似した基板処理装置は、米国特許第4,715,921号に開示されており、全体的な参照として本願明細書に引用されている。PCT国際公開第WO94/23911号は、関節構造を持つアーム搬送装置を開示しており、全体として又、本願明細書に引用されている。該装置10は、当業者には周知であるように、半導体ウェーハまたはフラットパネルディスプレイのような基板処理に使用されている。
該搬送部12は、ハウジング18と、可動アームアセンブリ20と、駆動アセンブリ22と、を含む。該処理モジュール14および負荷ロック部16は、該ハウジング18の側面に取り付けられる。該ハウジング18は、真空チャンバを形成し、その中で該アームアセンブリ20は該負荷ロック部16と該処理モジュール14の間において、および/または中において、基板を搬送し得る。該アームアセンブリ20は、基板支持エンドエフェクタ24を有する点で第WO94/23911号記載のものに類似している。別の実施例では、ハウジングおよび/または可動アームアセンブリが使用可能である。
図1Aを同様に参照すると、該駆動アセンブリ22が示されている。該駆動アセンブリ22は、フレーム26と、回転駆動アセンブリ28と、垂直駆動装置30と、制御回路部32と、を含む。該駆動アセンブリ22は、該ハウジング18の下側に装着される。図2を同様に参照すると、該フレーム26および垂直駆動装置30が示されている。該フレーム26は、トップフランジ34と、底部フランジ36と、3つの側壁部分38、39、40と、を含む。該フレーム26は、前方開口サイド42を有するケージを形成する。該トップフランジ34は、該ハウジング18の底部に取り付けられている装着フランジ35に固定的に取り付けられている。該装着フランジ35は、該フレーム26の該トップフランジ34に着脱自在に装着される。これによって、製造業者は、異なったタイプの基板搬送ハウジングを有する該駆動アセンブリ22を使用するに際して、該駆動装置を分解せずに、異なったタイプの装着フランジを選択することが可能になる。該後部側壁39は、2本の垂直方向の軌道または、レール44を有する。キャリッジ52が該レール44に移動自在に装着される。該キャリッジ52は、ほぼ正方形のリング形状で中央開口部54を有するフレーム53を有する。該キャリッジフレーム53の頂部及び底部にはレールベアリング56が装着されて、該キャリッジ52を該レール44に装着させ、該キャリッジを移動自在に支持し、該レール44に沿って上下に垂直運動をさせる。該底部フランジ36は、中心部に穴部46を有する。該垂直駆動装置30は該底部フランジ36に装着され、該垂直駆動装置30の一部は、穴部46を通って該ケージの内部領域に突出する。図1Aに最も良く見られるように、該トップフランジ34はまた、穴部48を有する。該回転駆動アセンブリ28の駆動シャフトアセンブリの一部は、該穴部48及び該ハウジング18の底部の穴部を通って、該ハウジングにより形成される真空チャンバ中に突出する。ベローズ50が、該真空チャンバの真空を維持するために提供されているが、該回転駆動アセンブリ28を該ハウジング18に対して相対的に移動可能にさせている。
図3を同様に参照すると、該垂直駆動装置30が示されている。該垂直駆動装置30は、主要部分58と、回転可能シャフト60と、ライダー62と、を有する。該主要部分58は、ハウジング64と、電気モーター66と、エンコーダ68と、を有する。該ハウジング64は、固定的に該フレーム26の該底部フランジ36に取り付けられる。該モーター66は該ハウジング64内に配設され、該シャフト60を該ハウジング64に相対的に軸方向に回転させる。該エンコーダ68は、該ハウジング64に連結される第1固定部分70と、該シャフト60の底端部に連結される第2可動部分72と、を含む。該エンコーダ68は、好ましくは光学的エンコーダで、該シャフト60の該ハウジング64に対する相対的な回転と、該シャフト60の該ハウジング64に対する相対的な回転位置とを表す信号を発生する。しかし、どんな適切なタイプのエンコーダまたは位置センサでも使用可能である。該シャフト60の上部は、該ねじ山を有する。該ライダー62は、該ねじ山に装着される。該ライダー62は、以下に後述するように、該回転駆動アセンブリ28に取り付けられる。該駆動シャフト60が軸方向に回転させられると、該ライダー62は該シャフト60に沿って長手方向に移動させられる。該ハウジング64は該フレーム26に装着され、該ライダー62は該回転駆動アセンブリ28に装着されるので、該回転駆動アセンブリ28は該フレーム26に相対的に長手方向に移動可能である。別の実施例において、該回転駆動ユニットが固定的に該ケージに連結されるような垂直駆動装置が提供される必要はない。
図4および5は、該回転駆動アセンブリ28を示す。該回転駆動アセンブリ28は、2基の回転駆動ユニット74、76を含む。該2基のユニット74、76は、実質的に互いに同一で、逆方向に互いに装着される。各ユニット74、76は、フレームあるいはハウジング78と、電磁気コイル80と、位置信号機82と、を有する。該フレーム78は、好適にサイズと形状を設計されて、該前方開口サイド42を通して該ケージ26の中に配設される。該フレーム78の後部サイド84は中央突出部86を有し、後退した周囲の周辺部分88に対して階段形状をなしている。該2基の突出部86は、サイズと形状が、該キャリッジ52の該中央開口部54に受容されるように設定される(図2参照)。該フレーム78は、固定的に互いに連結されモジュールユニットを形成し、片持ち梁式に該キャリッジ52に固着される。したがって、該回転駆動アセンブリ28は該キャリッジ52および該レール44によって、該ケージ26に相対的に垂直に移動可能である。他の実施例では、該レール44は該ケージの向き合った側に位置しても良く、そして、どんな適切な可動な装着も1基以上のキャリッジを含めて、使用され得る。最もよく図5に見られるように、コイル80の後部端80aは該フレーム78の周囲の該周辺部分88をこえて延びる。該フレーム78が該キャリッジ52に取り付けられるとき、該コイル80の該後端部80aは該キャリッジ52の該中央開口部54の中に延びる。したがって、該中央開口部54は該2台の回転駆動電気モータの一部のための取り付け位置を形成する。これによって、該ケージおよび回転駆動アセンブリのサイズと、該回転駆動アセンブリの重量とを減らし得る。該2個のコイル80は互いに隣あって位置するので、これによって該2個の後端部80aの取り付けを、該キャリッジの中の取り付け位置を大きすぎないようにできる。したがって、該キャリッジ52は過度に大きい必要はない。これは、該キャリッジ52の重量を減らせる。
該回転駆動アセンブリ28は、駆動シャフトアセンブリ90の2本の駆動シャフト92、94を独立に軸方向に回転させる。該2本のシャフト92、94は、互いに同軸的に装着されている。該シャフト92、94の上端部は公知技術によって、該可動アームアセンブリ20に連結される(図1参照)。該内側シャフト92の下端は、該底部回転駆動ユニット76に、回転可能に装着される。該外側シャフト94の下端は、該頂部回転駆動ユニット74に、回転可能に装着される。該駆動モーターは、該シャフト92、94の該底端の永久磁石96の組を含む。該コイル80は、電圧を印加されて該磁石96を動かし、従って、該シャフト92、94を回転させる。ディスク98が、又、該シャフト92、94の該底端に固着されている。該ディスク98は、コード化された開ロパターンを含む。該位置信号装置82は、採光窓100と、光学的センサ102とを含む。該採光窓100からの光は、該ディスク98の該開口部を通過して、該センサ102に受容される。該センサ102は該制御部に対して信号を出力し、該フレーム78に相対的な該シャフトの回転位置を示す。他の実施例では、別の種類の位置信号装置が使用可能である。本実施例においては、該位置信号装置82は該ケージ26の該前方開口サイド42の該フレーム78の該正面サイドに配設され、比較的簡単な調整と修理を可能にする。トッププレート110は、該トップユニット74に装着され、該シャフト92、94を突出させる。Oリングシール112が、提供されて該トッププレート110を該頂部ユニットのフレーム78に封止する。該ベローズ50は、該トッププレート110に取り付けられる。底部プレート114は、該底部ユニット76に装着される。Oリングシール116が提供され、該底部プレート114を該底部ユニットのフレーム78に封止する。該底部プレート114は、穴部118を有する。分離カップ106は、該穴部118においてOリングシール120を介して該底部プレート114に装着される。
図6を今、参照すると、該垂直駆動装置30と該回転駆動アセンブリ28との装着部が描かれている。図4に最も良く見られるように、該内側シャフト92の底部は、受容領域104を有する。該受容領域104の中には、該内側シャフト92の該底部に装着される分離カップ106が配設される。該分離カップは、該搬送ハウジング18内の真空環境を維持するために提供される。該垂直駆動装置30の該ライダー62は、該カップの内側において、且つ該内側シャフト92の受容領域104の内側において、該分離カップ106に取り付けられる。該垂直駆動シャフト60の該ねじ部分は、該カップ106の中で且つ該受容領域104の中に位置する。該駆動シャフト60は、該駆動シャフトアセンブリ90と同軸である。該垂直駆動シャフト60が回転させられると、該ライダー62は上下に移動可能であり、順番に、該回転駆動アセンブリ28と該駆動シャフトアセンブリ90を上下移動させる。該垂直駆動装置の一部を該回転駆動アセンブリの中に配設することによって、該駆動アセンブリ22の全長は減少する。これは、該駆動アセンブリ22の重量を減らす。
前述の説明は、本発明の例示にすぎないと理解されるべきである。多様な他の実施例および変化態様は、本発明から逸脱することなく、当業者によって考えられ得る。それ故、本発明は、添付された請求項の範囲内になる全ての他の実施例及び変更態様および自由度を含むものである。
Claims (36)
- ハウジングと、前記ハウジングに連結された駆動アセンブリと、前記駆動アセンブリに操作可能な状態で連結された可動アームアセンブリと、を有する基板搬送装置であって、前記駆動アセンブリが、
前記ハウジングに固定的に連結され、開口サイドを有するケージを形成している剛直なフレームと、
前記ケージ内部の前記フレームに装着された回転駆動アセンブリと、を含み、前記回転駆動アセンブリが前記ケージ内に前記開口サイドを通してモジュラーユニットとして配設され、前記回転駆動アセンブリがその側部で支持されて前記ケージ内に設けられ、前記開口サイドを介して前記回転駆動アセンブリの所定の部品にアクセス可能であることを特徴とする基板搬送装置。 - 前記回転駆動アセンブリは、前記ケージ内部における上下運動のために前記フレームに移動自在に装着されることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記駆動アセンブリが、前記フレームに移動自在に装着され、前記回転駆動アセンブリを前記フレームに連結しているキャリッジを、さらに含むことを特徴とする請求項2記載の搬送装置。
- 前記キャリッジが、前記回転駆動アセンブリの1つの側の一部を中に配設させる中央凹部を有することを特徴とする請求項3記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリは、前記キャリッジの前記中央凹部に位置する部分を有する2基の電磁コイルを有することを特徴とする請求項4記載の搬送装置。
- 前記駆動アセンブリが更に、前記フレームの底部に固定的に連結される主要部を有する垂直駆動装置と、回転可能なネジシャフトと、前記回転駆動アセンブリのフレームに固定的に連結されて、そして、前記ネジシャフトに装着されて前記ネジシャフトが回転させられるにつれて前記ネジシャフトを上下移動するライダーと、を含むことを特徴とする請求項2記載の搬送装置。
- 前記ネジシャフトが前記回転駆動装置の中に延びることを特徴とする請求項6記載の搬送装置。
- 前記ネジシャフトが、前記回転駆動アセンブリの回転可能な駆動シャフトの底端の受容領域に延びることを特徴とする請求項7記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリは、前記駆動シャフトを回転させる2基のユニットから延びる同軸駆動シャフトを含み、前記2基のユニットは、互いに実質的に同一で、且つ、互いに逆方向に取り付けられていることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記搬送装置が、
前記ゲージと前記回転駆動アセンブリとの間に連結されて、前記回転駆動アセンブリを前記フレームに対して相対的に移動させる垂直駆動装置をさらに含み、
前記垂直駆動装置の一部が、前記搬送装置の長さを減ずるために、前記回転駆動アセンブリ内部に移動自在に配設されており、前記回転駆動アセンブリはその底端部に凹部を有する回転駆動シャフトを有し、前記垂直駆動装置の前記一部は前記凹部の中に伸びていることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記垂直駆動装置の前記一部は回転可能なネジシャフトを含むことを特徴とする請求項10記載の搬送装置。
- 前記凹部は、そこに装着される分離カップを有することを特徴とする請求項10記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリが、前記フレームの軌道に移動自在に装着されるキャリッジに装着されていることを特徴とする請求項10記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリが、前記キャリッジの取り付け位置に配設されるモーターを有することを特徴とする請求項13記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリが、互いに鏡像方向に取り付けられる2つの実質的に同一なユニットを含むことを特徴とする請求項10記載の搬送装置。
- 前記垂直駆動装置が、前記回転駆動アセンブリの回転シャフトに同軸的に整列させられていることを特徴とする請求項10記載の搬送装置。
- 前記フレームは、前記ハウジングの底部に固定的に装着される頂端部を有し、
前記回転駆動アセンブリは、前記ケージ内部に移動自在に装着されるキャリッジをさらに含み、
前記回転駆動アセンブリは、前記キャリッジに直接固定的に装着されたハウジングを有して、前記ケージ内部に移動自在に装着され、
前記回転駆動アセンブリは、前記ケージと前記回転駆動アセンブリの間に連結されて前記回転駆動アセンブリを前記ケージに相対的に直線的に移動させる直線駆動装置をさらに含むことを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記キャリッジが可動で前記フレームの軌道に装着されることを特徴とする請求項17記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリが、前記キャリッジの凹部に少なくとも部分的に配設されるモーターを有することを特徴とする請求項18記載の搬送装置。
- 前記軌道が前記フレームの一方のサイドだけに配設されることを特徴とする請求項18記載の搬送装置。
- 前記直線駆動装置が前記フレームの底部に装着されることを特徴とする請求項17記載の搬送装置。
- 前記直線駆動装置の一部が、前記回転駆動アセンブリの一部の内側に、移動自在に配設されることを特徴とする請求項21記載の搬送装置。
- 前記直線駆動装置が、前記回転駆動アセンブリの駆動シャフトと同軸的に整列させられていることを特徴とする請求項21記載の搬送装置。
- 前記フレームが、前記ケージの頂部に着脱自在に装着された装着フランジを含み、前記装着フランジのサイズと形が、前記ケージを基板搬送装置のハウジングに装着すべく設定されてことを特徴とする請求項17記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリは、2本の同軸シャフトを有する駆動シャフトアセンブリと、互いに連結されて前記同軸シャフトを独立に回転させる2基の回転駆動ユニットとを含み、
前記2基の回転駆動ユニットが互いに実質的に同一で、かつ、互いに逆方向に取り付けられており、更に、垂直駆動装置が前記駆動シャフトアセンブリと同軸的に整列させられていることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 各駆動ユニットがフレームと電磁コイルとを有することを特徴とする請求項25記載の搬送装置。
- 前記ユニットのうち第1のユニットの前記コイルが、前記ユニットのフレームの底部に配設されて、前記ユニットのうち第2のユニットの該コイルに隣接して、該コイルはその該ユニットのフレームの頂部に配設されることを特徴とする請求項26記載の搬送装置。
- 各駆動ユニットが、任意に選択し得る位置センサを有して前記各々の駆動ユニットの向かい合う端部に配設されることを特徴とする請求項25記載の搬送装置。
- 前記垂直駆動装置の一部が、前記回転駆動ユニットのうちの1基の内側に移動自在に配設されることを特徴とする請求項25記載の搬送装置。
- 前記垂直駆動装置の前記一部が、前記駆動シャフトアセンブリ内部に移動自在に配設されることを特徴とする請求項29記載の搬送装置。
- 前記搬送装置が、
前記ハウジングに固定的に連結される頂部を有する前記フレームを用意し、
前記フレームの底部に垂直駆動ユニットを装着し、
前記フレームに沿った上下運動のために前記フレームに前記回転駆動アセンブリを装着し、
ライダーを前記回転駆動アセンブリに取り付ける、
ことにより組み立てられ、
前記垂直駆動ユニットの主要部は前記フレームに固定連結され、前記垂直駆動ユニットは前記主要部から延びる回転ネジシャフトと前記回転ネジシャフトに設けられた前記ライダーとを有し、
前記ネジシャフトの回転が、前記ライダーを前記ネジシャフトに沿って上下移動させ、その結果、前記回転駆動アセンブリを前記フレームに沿って上下に移動させ、且つ、前記垂直駆動ユニットのサイズは、前記フレームと前記垂直駆動ユニットの前記主要部の重量を前記ハウジングに対して移動させるほどのサイズにする必要がないことを特徴とする請求項1記載の搬送装置。 - 前記フレームは前記ハウジングの底部に装着するためのトップフランジを有することを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記開口サイドは前記回転駆動アセンブリが通過することのできる唯一の開口部であることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記フレームは、トップフランジと、底部フランジと、前記トップフランジと底部フランジとの間の3つの側壁部と、を有することを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
- 前記フレームは側壁部を有し、該側壁部は前記トップフランジから2つの向き合ったサイドに伸びて前記回転駆動アセンブリを受け入れる領域を形成することを特徴とする請求項32記載の搬送装置。
- 前記回転駆動アセンブリは、2本の同軸シャフトを有する駆動シャフトアセンブリと、互いに連結され独立に前記同軸シャフトを回転させる2基の回転駆動ユニットとを含み、
前記2基の回転駆動ユニットが互いに実質的に同一で互いに逆方向に取り付けられており、各駆動ユニットは前記駆動ユニットの向き合った端部において位置センサを有していることを特徴とする請求項1記載の搬送装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US08/873,693 | 1997-06-12 | ||
US08/873,693 US5894760A (en) | 1997-06-12 | 1997-06-12 | Substrate transport drive system |
PCT/US1998/008220 WO1998056542A1 (en) | 1997-06-12 | 1998-04-24 | Substrate transport drive system |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002503323A JP2002503323A (ja) | 2002-01-29 |
JP4361973B2 true JP4361973B2 (ja) | 2009-11-11 |
Family
ID=25362146
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP50240099A Expired - Lifetime JP4361973B2 (ja) | 1997-06-12 | 1998-04-24 | 基板搬送装置駆動システム |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5894760A (ja) |
EP (1) | EP1011932A1 (ja) |
JP (1) | JP4361973B2 (ja) |
KR (1) | KR100514242B1 (ja) |
AU (1) | AU7153498A (ja) |
TW (1) | TW388744B (ja) |
WO (1) | WO1998056542A1 (ja) |
Families Citing this family (25)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5888822A (en) | 1995-10-04 | 1999-03-30 | Hycor Biomedical Inc. | Erythrocyte sedimentation rate control |
TW349897B (en) * | 1996-02-02 | 1999-01-11 | Komatsu Mfg Co Ltd | Operational robot |
US6350097B1 (en) * | 1999-04-19 | 2002-02-26 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for processing wafers |
US7891935B2 (en) | 2002-05-09 | 2011-02-22 | Brooks Automation, Inc. | Dual arm robot |
US20070183871A1 (en) * | 2002-07-22 | 2007-08-09 | Christopher Hofmeister | Substrate processing apparatus |
US8960099B2 (en) | 2002-07-22 | 2015-02-24 | Brooks Automation, Inc | Substrate processing apparatus |
US7959395B2 (en) | 2002-07-22 | 2011-06-14 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
US7988398B2 (en) * | 2002-07-22 | 2011-08-02 | Brooks Automation, Inc. | Linear substrate transport apparatus |
US10086511B2 (en) | 2003-11-10 | 2018-10-02 | Brooks Automation, Inc. | Semiconductor manufacturing systems |
US7458763B2 (en) | 2003-11-10 | 2008-12-02 | Blueshift Technologies, Inc. | Mid-entry load lock for semiconductor handling system |
US20070269297A1 (en) * | 2003-11-10 | 2007-11-22 | Meulen Peter V D | Semiconductor wafer handling and transport |
SG132670A1 (en) | 2003-11-10 | 2007-06-28 | Blueshift Technologies Inc | Methods and systems for handling workpieces in a vacuum-based semiconductor handling system |
US7117799B2 (en) * | 2004-06-09 | 2006-10-10 | Texas Instruments Incorporated | Overhead material handling system and track block |
US8398355B2 (en) * | 2006-05-26 | 2013-03-19 | Brooks Automation, Inc. | Linearly distributed semiconductor workpiece processing tool |
US8602706B2 (en) * | 2009-08-17 | 2013-12-10 | Brooks Automation, Inc. | Substrate processing apparatus |
JP5770498B2 (ja) * | 2011-03-15 | 2015-08-26 | 株式会社アルバック | 回転駆動装置及び搬送装置 |
US20130069450A1 (en) | 2011-09-16 | 2013-03-21 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot Drive With Passive Rotor |
JP5996857B2 (ja) * | 2011-09-30 | 2016-09-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 駆動装置及び基板処理システム |
US9548231B2 (en) * | 2013-06-05 | 2017-01-17 | Persimmon Technologies, Corp. | Robot and adaptive placement system and method |
KR102665385B1 (ko) | 2013-11-13 | 2024-05-13 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 밀봉된 스위치드 릴럭턴스 모터 |
US9948155B2 (en) | 2013-11-13 | 2018-04-17 | Brooks Automation, Inc. | Sealed robot drive |
KR20220000416A (ko) | 2013-11-13 | 2022-01-03 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 브러쉬리스 전기 기계 제어 방법 및 장치 |
TWI695447B (zh) | 2013-11-13 | 2020-06-01 | 布魯克斯自動機械公司 | 運送設備 |
JP6581831B2 (ja) * | 2015-07-28 | 2019-09-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 保持部の姿勢維持機構 |
JP2023110970A (ja) * | 2022-01-31 | 2023-08-10 | シンフォニアテクノロジー株式会社 | 搬送用ロボット |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4645409A (en) * | 1982-02-05 | 1987-02-24 | American Cimflex Corporation | Outer arm assembly for industrial robot |
US4715921A (en) * | 1986-10-24 | 1987-12-29 | General Signal Corporation | Quad processor |
US4787813A (en) * | 1987-08-26 | 1988-11-29 | Watkins-Johnson Company | Industrial robot for use in clean room environment |
US5180276A (en) * | 1991-04-18 | 1993-01-19 | Brooks Automation, Inc. | Articulated arm transfer device |
DE9300410U1 (de) * | 1993-01-14 | 1993-03-11 | Patent-Treuhand-Gesellschaft für elektrische Glühlampen mbH, 8000 München | Elektrischer Antrieb |
JP2761438B2 (ja) * | 1993-04-16 | 1998-06-04 | ブルックス オートメーション インコーポレイテッド | 搬送装置 |
-
1997
- 1997-06-12 US US08/873,693 patent/US5894760A/en not_active Expired - Lifetime
-
1998
- 1998-04-24 AU AU71534/98A patent/AU7153498A/en not_active Abandoned
- 1998-04-24 KR KR10-1999-7011597A patent/KR100514242B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1998-04-24 JP JP50240099A patent/JP4361973B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 1998-04-24 EP EP98918647A patent/EP1011932A1/en not_active Withdrawn
- 1998-04-24 WO PCT/US1998/008220 patent/WO1998056542A1/en active IP Right Grant
- 1998-04-28 TW TW087106504A patent/TW388744B/zh not_active IP Right Cessation
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR100514242B1 (ko) | 2005-09-13 |
AU7153498A (en) | 1998-12-30 |
KR20010013589A (ko) | 2001-02-26 |
TW388744B (en) | 2000-05-01 |
US5894760A (en) | 1999-04-20 |
WO1998056542A1 (en) | 1998-12-17 |
JP2002503323A (ja) | 2002-01-29 |
EP1011932A1 (en) | 2000-06-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4361973B2 (ja) | 基板搬送装置駆動システム | |
US4829840A (en) | Industrial robot with replaceable module | |
US7019610B2 (en) | Magnetic navigation system | |
US7503708B2 (en) | Pan and tilt apparatus usable with a camera | |
EP0696242B1 (en) | Articulated arm transfer device | |
US6485250B2 (en) | Substrate transport apparatus with multiple arms on a common axis of rotation | |
US4728839A (en) | Motorized pan/tilt head for remote control | |
EP0295306B1 (en) | First arm structure of horizontally articulated robot | |
JPH0582998A (ja) | 部品取付装置 | |
JPH06132380A (ja) | 搬送装置 | |
US20040027541A1 (en) | Device for rotating a body about two axes | |
WO2021178348A1 (en) | Compact traversing robot | |
CN111481153A (zh) | 一种胶囊内窥镜控制***及其控制方法 | |
US20010045991A1 (en) | Drive mechanism for surveillance camera pan and tilt | |
JPS63114887A (ja) | ワ−ク搬送ロボツト | |
JP2579815Y2 (ja) | 溶接治具装置 | |
CN111692466B (zh) | 一种云台装置以及摄像设备 | |
CN212630722U (zh) | 一种胶囊内窥镜控制*** | |
JP3483685B2 (ja) | 基板搬送装置 | |
JP2003163493A (ja) | 電子部品実装装置の装着ヘッド | |
KR100304451B1 (ko) | 정밀 로봇의 직동 및 회전 운동 장치 | |
JP2644914B2 (ja) | 電子部品装着装置 | |
CN114454960A (zh) | 一种六轮巡检机器人 | |
CN117031681A (zh) | 一种光学器件自动对焦装置 | |
JP2000317867A (ja) | 回転駆動装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050404 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071225 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20080317 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20080428 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080625 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081021 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090114 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090223 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090421 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090721 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090814 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120821 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120821 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130821 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |