JP2761438B2 - 搬送装置 - Google Patents

搬送装置

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JP2761438B2
JP2761438B2 JP6523409A JP52340994A JP2761438B2 JP 2761438 B2 JP2761438 B2 JP 2761438B2 JP 6523409 A JP6523409 A JP 6523409A JP 52340994 A JP52340994 A JP 52340994A JP 2761438 B2 JP2761438 B2 JP 2761438B2
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Description

【発明の詳細な説明】 技術分野 本発明の装置は、概して素材の搬送装置に関するもの
である。搬送される素材としては、シリコン及びガリウ
ムヒ素化合物の如き半導体ウェーハ、高密度インタコネ
クタの如き半導体パッケージ基板、マスクあるいはレチ
クルの如き半導体製造工程におけるイメージ板、及び有
効マトリックスLCD基板の如き大型表示パネルが含まれ
るが、これらに限定されるものではない。
背景技術 精巧なシリコンウェーハ等を半導体製造装置内の複数
のワークステーション間で搬送する場合、唯一ハンドリ
ングの問題が存在する。シリコンウェーハは非常に精巧
なものであり、高密度にみがき仕上げられた表面を有し
ている。かかるウェーハが突然移動せしめられると、こ
れらは滑る傾向にある。この滑り動作により、シリコン
ウェーハが擦り減ったり、あるいはそれらが衝突した際
にそれらの縁部が損傷したりする。
シリコンウェーハを搬送する従来の技術としては、多
数の装置が公表されている。例えば、米国特許第3,823,
836号には、シコンウェーハを保持する複数の棚を備え
る供給キャリヤとバキュームチャックを有する回収装置
とを含んだ装置が開示されている。このバキュームチャ
ックは、それを上昇及び下降せしめる昇降機に取り付け
られている。バキュームチャックに連結された水平方向
搬送アームは、シリコンウェーハを供給キャリヤから所
望のワークステーションに搬送するために利用される。
米国特許第3,370,595号には、ウェーハをワークステ
ーションとの間で搬送するための割出し可能なインデッ
クスキャリヤを有したウェーハ搬送ハンドリング装置が
開示されている。ウェーハは、垂直方向に噴出するエア
ジェットを備えるウェーハ出し入れアームの補助のも
と、空気滑走台上をウェーハキャリヤに対して出し入れ
される。ウェーハ出し入れアームは、キャリヤの中にあ
るウェーハを空気滑走台（air slide）上へあるいは空
気滑走台上からキャリアの中へのウェーハの駆動をコン
トロールし、ワークステーションへあるいはワークステ
ーションからウェーハを移動せしめる。
米国特許第4,062,463号、同第3,874,525号、及び同第
4,028,159号には、ウェーハのハンドリングのための空
気式機械部品あるいは把持装置を備えたウェーハ搬送装
置が開示されている。
米国特許第4,666,366号、及び同第4,909,701号には、
関節アームアセンブリを有するウェーハ搬送ハンドリン
グ装置が開示されており、このアセンブリは複数の位置
間においてウェーハのような物体を搬送すべく、カエル
の脚の動作の如く伸びたり縮んだりする。２つの関節ア
ームが連動すべく連結されており、その１つがモータに
よって駆動されると、両アームはカエルの脚の如く伸び
たり縮んだりする。これらアームには、プラットホーム
が結合されており、その上に搬送さるべく物体を有して
いる。
米国特許第4,951,601号には、関節アームアセンブリ
を有したウェーハ搬送ハンドリング装置が開示されてお
り、この装置は同軸回転駆動システムを含んでいる。し
かしながら、かかる駆動システムにおいては、真空室を
汚染しないように回転シールが必要である。米国特許第
4,951,601号において、内側シャフト98はドラム111上に
取り付けられており、このドラムはベルトにて回転させ
られるドライブ115上に取り付けられたケーブル113によ
って回転せしめられる。ドライブ115はバキュームチャ
ンバ（真空室）の孔内で回転する故に、回転シールが必
要であることが理解される。中空の中間シャフト96がド
ラム101上に取り付けられており、このドラムはベルト
にて回転させられるドライブ100上に取り付けられたケ
ーブル103によって回転せしめられる。
構成要素が真空状態下にあるか否か明確ではないが、
いくつかの回転部材がバキュームチャンバ内の孔の中で
回転する必要があり、従って回転シールが必要となるの
は明らかである。本発明の装置は、このような回転シー
ルを必要としない。本発明の軸受全ては、完全に真空状
態下に置かれ、かつ、回転部材の全ても完全に真空状態
下に置かれている。
発明の概要 本発明は、関節アーム搬送装置のための同軸回転駆動
システムを提供するものであり、この装置は軸方向及び
半径方向の種々の平面内に配分された複数の位置間にお
いて、シリコンウェーハ、カメラレンズ、水晶振動子等
の物体を搬送する際に適用される。かかる駆動システム
においては、関節アームアセンブリ全体が半径方向の平
面内において回転可能である。従来の装置でなされるよ
うな回転動作は、端部イフェクタ（end effector）が伸
びた位置にない状態でなされる。
また、かかる駆動システムによれば、軸方向において
プラットホームアセンブリを配置することが可能とな
る。このアセンブリは、バキュームチャンバ内あるいは
他のコントロールされた環境下での操作を含んだ種々の
環境下での使用に適用され得るものである。このアセン
ブリは、これとこの支持部との間に真空シールを備えた
バキュームチャンバ内での移動のために設けられる。
図面の簡単な説明 図１は、本発明に従って構成されかつヘンドリクソン
（Hendrickson）に付与されそしてインスタント出願の
譲受人に譲渡された米国特許第5,180,276号に開示され
た関節アーム搬送装置を駆動すべく連結された２重シャ
フト装置の中央を通る断面図である。
図２は、図１に示された中央断面の一部詳細図であ
る。
図３は、図２に示された中央断面の一部詳細図であ
る。
図４は、図１に示された装置の平面図である。
図５は、従来の装置を示す斜視図である。
図６は、イーストマン及びデービスにより1992年12月
28日付で出願されかつ本出願の譲受人に譲渡された同時
係属出願第997,773号に開示された関節アーム搬送装置
を駆動するために図１に示された装置を変更したものの
平面ある。
図７は、図６中の線７−７に沿った中央断面図であ
る。
図８は、図１に類似するもので、単一のモータ及び２
つのブレーキを採用した本発明の他の実施例を示す中央
断面図である。
発明の詳細な説明 図１ないし４に示されるように、取付フランジ１がバ
キュームチャンバの底壁２の開孔領域に取り付けられて
おり、そのバキュームチャンバ内には関節アーム搬送装
置３が支持されている。取付フランジはそれ自身中央開
孔を有しており、その開孔を通って２つの同軸出力シュ
フトが延出している。外側のアウターシャフトは符号４
で示され、内側のインナーシャフトは符号５で示されて
いる。バキュームチャンバ内に位置するアウターシャフ
トの先端部において、案内軸受（pilot bearing）６が
両シャフトを分離せしめて、お互いに両シャフトを支持
している。２つのシャフトは独立して回転可能となって
いる。しかしながら、本発明の好適な実施例において
は、両シャフトの相対的な移動は、両シャフトがいっし
ょに回転する場合と、両シャフトがそれぞれ反対の方向
に回転する場合とに限定される。前者の動作は関節アー
ム搬送装置を回転せしめ、後者の動作は関節アーム搬送
装置を伸び縮みせしめる。
インナーシャフトはアウターシャフトよりも長く、バ
キュームチャンバの外側に位置するインナーシャフトの
先端部は対応するアウターシャフトの先端部を越えて延
出しており、その位置における外径はアウターシャフト
の外径に対応して最大となっている。ロータ７がアウタ
ーシャフト４の外表面上に支持されており、これに対応
するスタータ８がロータ８の外側にて支持されている。
同様に、ロータ９がインナーシャフト５の外表面上に支
持されており、これに対応するスタータ10がロータ９の
外側にて支持されている。各々のスタータは、対応する
シャフトを回転させる駆動装置の一部をなすものであ
る。後述されるように、各々のロータは真空状態下に配
置され、各々のスタータは真空状態の外側に配置されて
いる。
各々のロータ・スタータ対7,8及び9,10はMFMテクノロ
ジー社（ニューヨーク11779,ロンコンコマ,13番地通り2
00）によって製造されたＭ＆Ｋシリーズの如き在来型の
ブラシレスDCモータの一部を形成するものである。
各々のシャフトへ回動動作を伝えるのは、周知のサー
ボ機構技術及びその中のスタータのコイルに適当な信号
を適用することによってなされる。
各々のシャフトが回転するときのそれらの変位位置
は、適当なコードが付されたコードディスク等との組み
合せで適当な検知機構を用いることにより、検出され
る。例えば、透明ディスク上に設けられた不透明部分か
らなるコードパターンが、光源と光検出器との間を通過
せしめられ得る。このような光学的検知機構に代えて、
磁気式検知機構を採用することができ、その磁気ディス
ク上の磁化されたコードパターンが磁気的に走査され
る。その他に変わり得るものとして、ギヤとスイッチの
組み合せからなる機械的なもの、あるいは、各々のシャ
フトの回転と共に数種のカチカチという音すなわちコー
トクリックを生じる音響的なもの、さらには静電システ
ムが採用され得る。図示されたものは本発明の範囲をそ
れに限定するものではないが、光学式検知機構が示され
ている。
ディスク11が、クランププレート12によってアウター
シャフト４の外端部に固定されている。このディスクは
不透明なコードパターンを有し、このコードパターンが
光放射ダイオードハウジング13と読み取りヘッド14との
間を通過し、そこからフィードスルー15を介して適当な
外部回路に信号が伝達される。この光放射ダイオードハ
ウジング13、読み取りヘッド14、及び信号フィードスル
ー15はドライブハウジング16上に支持されており、この
ドライブハウジング16は固定されて真空筒状ケーシング
17の一部を形成している。ロータ７はアウターシャフト
４に固定され、又、スタータ８はスタータクランプ18に
よってドライブハウジング16上に固定されてスタータ８
がローラ７と協働するように位置付けられている。又、
２つの軸受19,20がアウターシャフト４とこれに対応す
るところの駆動装置が取り付けられるドライブハウジン
グ16との間に設けられている。同様に、ディスク31がク
ランププレート32によってインナーシャフトの外端部に
取り付けられている。このディスクは不透明なコードパ
ターンを有し、このコードパターンが光放射ダイオード
ハウジング33と読み取りヘッド34との間を通過し、そこ
から信号フィードスルー35を介して適当な外部回路に信
号が伝達される。ロータ９はインナーシャフト５に固定
され、又、スタータ10はスタータクランプ37によってド
ライブハウジング36に固定されてスタータ10がローラ９
と協働するように位置付けられている。又、２つの軸受
38,39がインナーシャフトとこれに対応するところの駆
動装置が取り付けられるドライブハウジング36との間に
設けられている。
ドライブハウジング16,36は、特別な形状をなしてお
り、装置の外気領域から装置内の空気を抜いた領域を分
離するバキュームタイト（vaccum-tight）ケーシング17
の重要な部分を提供している。
２つのドライブハウジングは類似した形状をなしてお
り、アダプタ40によってお互いに連結されている。
両シャフトの垂直方向の移動は、ドライブハウジング
を垂直方向に移動することによって行われ、これらドラ
イブハウジングは互いに２つの直線スライド41及び２つ
のリードスクリュー42に支持されている。回転モータを
備えるリードスクリューに代わるものとして、リニアモ
ータ（サーボあるいはステッパ）あるいはボイス−コイ
ル（voice-coil）あるいはソレノイドが挙げられる。垂
直方向に可動なドライブハウジングは、適当なベローズ
43によって取付けフランジから分離せしめられており、
又、ドライブハウジングの最も離れた外端部は、端部キ
ャップ44によって閉塞されている。従って、ベローズ、
ドライブハウジング、及び端部キャップで囲まれる全域
が真空化され得、この真空領域内の摩擦動作は、軸受の
それに制限される。
各々のドライブハウジングは、それぞれのロータとス
タータとの間を通過する部分を有し、そして、ロータと
ドライブハウジングのこの部分との間には十分なクリア
ランスが設けられなければならない。
従来の装置が図５に示されている。関節アーム搬送装
置の回転動作は、回転プラグの回転によって行われる。
カエルの脚式アームの伸び縮みは、伸縮ドライブシャフ
トの逆回転によって達成される。本発明の構造において
は、特別な方法によって構成された同軸シャフトを使用
することで要求されるシールの数と種類が減少する。従
来の装置においては、１つのシャフトの単一方向の回転
及び２つのシャフトの逆回転によって制御されることが
理解される。本発明の装置においては、上記単一方向の
回転は同軸シャフトがいっしょに回転することで達成さ
れ、又、上記逆回転は同軸シャフトが逆回転することで
達成される。この装置において、回転動作は、根本のメ
カニズムによって制限されることはないが、所望の角度
に達するべくいずれかの方向に続けられる。
３タイプの動き（垂直方向、回転方向、及び伸び縮
み）が同時に行われることで、端部イフェクタをあらゆ
る所望の軌跡で移動せしめることができる。
一方、いくつかの出願に開示された装置においては、
これら３つの動き全ては必ずしも行われず、又、本発明
の範囲には、前述３つの動きの１つのみあるいは２つの
みが行われる場合の装置も含まれるものである。
図１ないし３と共に図４を参照するに、アウターシャ
フト４は関節アーム搬送装置の一方のアッパーアーム51
に連結されており、インナーシャフト５は他方のアッパ
ーアーム52に連結されている。これは前述の米国特許第
5,180,276号に示されるものと同様である。角度θの動
き、すなわち端部イフェクタ53を回転させるためには、
両ロータ7,9が一方向に同時に回転させられる。これら
の動作は、２つのエンコーダからの入力を用いてコンピ
ュータにより制御される。
ロータ7,9が一方向に同時に回転すると、シャフト4,5
もまたその方向に回転する。図４を参照するに、シャフ
ト4,5が時計回りに回転すると、アッパーアーム51,52も
また図４に示される装置の台（端部イフェクタ）と共に
時計回りに回転する。逆に、シャフト4,5が反時計回り
に回転すると、図４に示される装置全体が反時計回りに
回転する。一方、アウターシャフト４が時計回りに回転
しかつインナーシャフト５が反時計回りに回転すると、
アッパーアーム51は時計回りに回転しかつアッパーアー
ム52は反時計回りに回転する。その結果、両端部イフェ
クタ53は共に図４中の下方に向けて移動する。逆に、ア
ウターシャフト４が反時計回りに回転しかつインナーシ
ャフト５が時計回りに回転すると、アッパーアーム51は
反時計回りに回転しかつアッパーアーム52は時計回りに
回転する。その結果、両端部イフェクタ53は共に図４中
の上方に向けて移動する。
図６及び図７を参照するに、アウターシャフト４には
ブロック54が固定されており、このブロックには、前述
の同時係属出願第997,773号に開示されたような関節ア
ーム搬送装置のアッパー従動アーム56が回動自在に支持
されている。関節アーム搬送装置のアッパー駆動アーム
56はインナーシャフトに固定されており、それと共に回
転するようになっている。この場合においては、角度θ
の回転動作を得るために２つのシャフトは同時に回転さ
せられるが、半径方向の動作を得るためにはアウターシ
ャフト４が固定された状態でインナーシャフト５のみが
回転せしめられる。
前述の米国特許第4,666,366号及び第4,909,701号に示
されるタイプの（図５に示されるような）関節アーム搬
送装置が、２つの同軸シャフトすなわちアームを角度θ
回転させるためのアウターシャフト及び伸び縮み動作を
行わせるためのインナーシャフトを用いて形成されると
すれば、１つのモータ（及びエンコーダ）との組み合せ
で２つのブレーキを用いることによってシャフトを回転
させることが可能となる。この２つのブレーキのうち一
方はインナーシャフトをアウターシャフトに対してロッ
クし、他方はアウターシャフトをケーシングに対してロ
ックするものである。
アウターシャフトがケーシングに対してロックされ、
かつ、ショルダアセンブリがアウターシャフト上に取り
付けられていると、このショルダは回転することができ
ない。モータによってインナーシャフトが回転させられ
ることにより、図５に示されるタイプの関節アーム搬送
装置の伸縮モータによって行われるような伸び縮み動作
が生起せしめられる。
逆に、インナーシャフトがアウターシャフトに対して
ロックされると、伸び縮み動作は生じ得ない。それ故、
アウターシャフトをケーシングに対してロックするブレ
ーキが解除されると、モータによるインナーシャフトの
回転は同時にアウターシャフトが回転するのをもたら
し、よって、角度θの回転動作が行われる。
両ブレーキが各々の動作の終端にてロックされ、そし
て所望のブレーキが解除されると、１つのエンコーダ
は、その信号がブレーキ命令と共にコンピュータの中に
取り込まれた際、各々のパラメータの動作を指示するこ
とができる。さらなる精度が要求されるならば、図１に
示されるように２つのエンコーダ11,31が使用され得
る。
適した設計と磁性材料及び非磁性材料の使用によっ
て、ブレーキシュー及びモータロータを含んだ全ての可
動部材をシールされた円筒ケースの内側に設けると共に
マグネットコイルをケースの外側に配置することが可能
である。これにより、気体を除く問題が解消され、又、
真空内に活動電磁石を有するシステムの性能を低下させ
る電気的なフィードスルーを取除くことができる。
この機構により、インスタント出願の譲受人により製
造されたロボットの典型である延出アームアセンブリが
動かされると同時に、図６及び７に示されかつ前述の同
時係属出願第997,773号に開示されたタイプの関節アー
ム搬送装置、この中では１つのドライブシャフトのみが
ショルダの位置にて要求され、回転シャフトの上端にギ
アを付ける必要性が解消されているが、この装置の中で
使用された関節アームを使用することで特有の利点が得
られることになる。
図８を参照すると、取付けフランジ61がバキュームチ
ャンバの底壁の開孔領域に取り付けられており、このバ
キュームチャンバ内には、関節アーム搬送装置62が指示
されている。この関節アーム搬送装置62は、図４及び５
に示されるタイプのものである。取付けフランジはそれ
自身が中央開孔を有しており、その開孔を通って２つの
同軸出力シャフトが延出している。アウターシャフトは
符号63で示され、インナーシャフトは符号64で示されて
いる。バキュームチャンバ内で出力シャフトの端部の位
置において、パイロット軸受65が両シャフトを分離し、
お互いのシャフトに対して両シャフトを支持している。
２つのシャフトは独立して回動可能である。しかしなが
ら、図８に示される装置においては、一方のシャフトの
みがモータによって回動自在に駆動され、他方のシャフ
トの回転は２つのブレーキによって左右される。この２
つのブレーキの一方は両方のシャフトを一体的に回転さ
せるものであり、他方のブレーキは他方のシャフトを固
定保持するものである。前者の動きは関節アーム搬送装
置を回転せしめ、後者の動きは関節アーム搬送装置を伸
び縮みさせるものである。
インナーシャフトはアウターシャフトよりも長く、バ
キュームチャンバの外側に位置するインナシャフトの端
部は、対応するアウターシャフトの端部を越えて延出し
ている。ブレーキ66は、アウターシャフト63の外表面上
に支持された磁気材料からなるディスク67を含み、さら
に、このディスク67は、非磁性材料でかつ耐真空材料か
らなるケーシング69の内部にて滑動可能に支持された磁
性材料からなるディスク68と協働する。磁気コイル70が
励磁されると、ディスク67,68を磁化せしめ、両ディス
クはお互いに押圧し合って、ブレーキとして作用し、ア
ウターシャフト63の回転を防止する。同様に、ブレーキ
71は、アウターシャフト63の外表面上に支持された磁性
材料からなるディスク72を含み、さらに、このディスク
72はインナーシャフト64上に滑動自在に支持された磁性
材料からなるディスク73と協働する。磁性コイル74が励
磁されると、ディスク72,73を磁化せしめ、両ディスク
はお互いに押圧し合って、両シャフトをお互いにロック
するブレーキあるいはカップリングとして作用する。図
１に示されるロータ９及びスタータ10の構成と同様に構
成されたスタータ75により、インナーシャフト64が回転
せしめられる。詳述すると、ロータ76はインナーシャフ
ト64の外表面上に支持されており、これに対応するスタ
ータ77はロータ76の外側にて支持されている。スタータ
77はインナーシャフト64を回転せしめる駆動装置の一部
なすものである。ロータ76は真空状態下に位置し、スタ
ータ77は真空状態外に位置する。
ロータ、スタータ対76,77は、MFMテクノロジー社（ニ
ューヨーク11779,ロンコンコマ,13番通り200）によって
製造されたＭ＆Ｋシリーズの如き在来型のブラシレスDC
モータの一部を形成するものである。
インナーシャフト64への回転動作は、周知のサーボ機
構技術によって伝えられ、そこでは、適当な信号がスタ
ータ77のコイルに適用される。
ディスク78が、インナーシャフト64の外端部に取り付
けられている。このディスクは、不透明部分からなるコ
ードパターンを有し、このパターンは適当なエンコーダ
79を通過するものである。（かかるエンコーダは、例え
ば、光放射ダイオードハウジングと読み取りヘッドとに
より構成され、そこから、信号が信号フィードスルーを
経由して適切な外部回路に伝達される。）シャフト63,6
4は、それらの間に位置する軸受65,80、及びアウターシ
ャフト63とケーシング69との間に位置する軸受81,82に
より支持されている。
ケーシング69は特別な形状をなし、装置の空気が抜か
れた領域を大気領域から分離する壁の重要な一部分を成
している。
両シャフトの垂直方向の動きは、図１との関連で前述
された手法によりケーシング69の垂直方向の動きによっ
て伝えられる。
ケーシング69は、ロータ76とスタータ77との間を通過
する部分を有し、ロータ76とケーシング69との間には十
分なクリアランス（間隙）が設けられなければならな
い。
以上本発明の原理をその実施例と共に述べたが、ここ
で用いた特有の言葉は包括的かつ記述的意義において用
いたものであって、何んら限定するものではなく、本発
明の範囲は請求の範囲の通りである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平４−271287（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−146689（ＪＰ，Ａ) 実開 平１−120336（ＪＰ，Ｕ) 実開 平４−89683（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B25J 9/06,18/02

Claims (26)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】真空チャンバ内に位置づけられた可動アー
    ムアセンブリを駆動する駆動機構を備えた搬送装置であ
    って、 前記駆動機構は、上端が開放され、かつ、下端が閉塞さ
    れた駆動チャンバを有した気密ハウジングと、 前記駆動チャンバに対する異なる高さの位置において前
    記気密ハウジングに直接固定された２つの電磁ステータ
    と、 前記駆動チャンバ内に位置し、かつ、前記駆動チャンバ
    の開放端から一部が突出し、前記可動アームアセンブリ
    と連結され互いに独立して回動可能な２つの同軸シャフ
    トを有し、前記２つの同軸シャフトのうち第１シャフト
    は第２シャフトを通り過ぎて同軸に延出し、前記シャフ
    トの各々が前記電磁ステータの１つと整合した１組の永
    久磁石を有してなる駆動シャフトアセンブリと、 前記気密ハウジングを垂直方向に移動せしめるべく、前
    記気密ハウジングの上端部に設けられた垂直移動機構
    と、 前記真空チャンバと駆動チャンバとを気密的に柔軟に連
    結する可撓シール手段と、を有することを特徴とする搬
    送装置。
  2. 【請求項２】前記気密ハウジングは、一方が他方の上端
    部に設けられた２つの駆動ハウジングを有する、ことを
    特徴とする請求の範囲第１項記載の搬送装置。
  3. 【請求項３】前記２つの駆動ハウジングは、両者の間の
    シールを形成するアダプタによって結合されている、こ
    とを特徴とする請求の範囲第２項記載の搬送装置。
  4. 【請求項４】前記電磁ステータの一方は、前記２つの駆
    動ハウジングの一方に直接結合し、前記電磁ステータの
    他方は、前記２つの駆動ハウジングの他方に直接結合さ
    れている、ことを特徴とする請求の範囲第２項記載の搬
    送装置。
  5. 【請求項５】前記２つの同軸シャフト各々と前記気密ハ
    ウジングとの間に２つの軸受を有する、ことを特徴とす
    る請求の範囲第１項記載の搬送装置。
  6. 【請求項６】前記気密ハウジングは、前記垂直移動機構
    を介して取り付けフランジに結合している、ことを特徴
    とする請求の範囲第１項記載の搬送装置。
  7. 【請求項７】前記可撓シール手段は、前記取り付けフラ
    ンジと前記気密ハウジングとの間に位置する前記駆動シ
    ャフトアセンブリを取り囲んでいる、ことを特徴とする
    請求の範囲第６項記載の搬送装置。
  8. 【請求項８】前記２つの同軸シャフト各々の前記気密ハ
    ウジングに対する角度位置を独立して検知する検知手段
    を有する、ことを特徴とする請求の範囲第１項記載の搬
    送装置。
  9. 【請求項９】前記検知手段は、前記駆動シャフトアセン
    ブリに結合し２つの光学式ディスクと、前記駆動チャン
    バ内の離隔した位置において前記気密ハウジングに固定
    された２つのディスク読み取り手段とを有し、前記ディ
    スクの各々は前記同軸シャフトの各々に固定している、
    ことを特徴とする請求の範囲第８項記載の搬送装置。
  10. 【請求項１０】駆動機構に結合した可動アームアセンブ
    リを備えた搬送装置であって、 前記駆動機構は、チャンバを有したハウジングと、 前記チャンバに対する異なる高さの位置において前記ハ
    ウジングに固定され、前記チャンバの外側に位置する電
    磁ステータと、 少なくとも一部が前記チャンバ内に位置し、互いに独立
    して回動可能な２つの同軸シャフトを有し、前記２つの
    同軸シャフトのうち第１シャフトは第２シャフトを通り
    過ぎて同軸に延出し、前記シャフトの１方は前記電磁ス
    テータの一方と整合した１組の永久磁石を更に有してな
    る駆動シャフトアセンブリと、 前記２つの同軸シャフトの各々に別々に結合した２枚の
    ディスクを有し、前記ディスクの一方は前記電磁ステー
    タの他方の近傍に位置し、該他方の電磁ステータが励磁
    されると、該一方のディスクは磁気的に移動して前記他
    方のディスクと接触して前記２つの同軸シャフトを互い
    にロックするようになっている第１のブレーキシステム
    と、を有することを特徴とする搬送装置。
  11. 【請求項１１】前記一方のディスクは、前記一方のシャ
    フト上に摺動可能に支持されている、ことを特徴とする
    請求の範囲第10項記載の搬送装置。
  12. 【請求項１２】前記一方のディスクは、磁性材料からな
    る、ことを特徴とする請求の範囲第10項記載の搬送装
    置。
  13. 【請求項１３】前記一方のシャフトの前記ハウジングに
    対する角度位置を検知する検知手段を有する、ことを特
    徴とする請求の範囲第10項記載の搬送装置。
  14. 【請求項１４】前記検知手段は、前記一方のシャフトに
    結合した光学式ディスクと、前記ハウジングに固定され
    たディスク読み取り手段とを有する、ことを特徴とする
    請求の範囲第13項記載の搬送装置。
  15. 【請求項１５】前記他方のシャフトと前記ハウジングと
    に別々に結合した２枚のディスクを有する第２のブレー
    キシステムを備える、ことを特徴とする請求の範囲第10
    項記載の搬送装置。
  16. 【請求項１６】前記第２のブレーキシステムは、励磁さ
    れると、前記第２のブレーキシステムの前記ディスクを
    互いに接触すべく移動せしめる第３の電磁ステータを有
    することを特徴とする請求の範囲第15項記載の搬送装
    置。
  17. 【請求項１７】前記第２のブレーキシステムの前記２枚
    のディスクは磁性材料からなる、ことを特徴とする請求
    の範囲第15項記載の搬送装置。
  18. 【請求項１８】前記第２のブレーキシステムの前記２枚
    のディスクの一方は前記ハウジング上に摺動可能に支持
    されている、ことを特徴とする請求の範囲第15項記載の
    搬送装置。
  19. 【請求項１９】駆動機構と結合した可動アームアセンブ
    リを備えた搬送装置であって、前記駆動機構は、チャン
    バを有したハウジングと、 少なくとも一部が前記チャンバ内に位置し、互いに独立
    して回動可能な２つの同軸シャフトを有し、前記２つの
    同軸シャフトのうち第１のシャフトは第２シャフトを通
    り過ぎて同軸に延出する駆動シャフトアセンブリと、 前記２つの同軸シャフトの少なくとも一方を前記ハウジ
    ングに対して移動せしめるべく、前記ハウジングに固定
    される第１の電磁コイルを有する駆動システムと、 ２枚のディスクを有し、前記ディスクの一方は前記ハウ
    ジングに結合し、前記ディスクの他方は前記２つの同軸
    シャフトの一方に結合するブレーキシステムと、 前記第１の電磁コイルから間隔をおいて位置しかつ前記
    ハウジングに結合した第２の電磁コイルと、を有し、 前記２枚のディスクは前記第２の電磁コイルの近傍に位
    置し、前記第２の電磁コイルが励磁されると、前記ハウ
    ジングに対する前記第１シャフトの回転を妨げるべく、
    前記２枚のディスクは移動し互いに接触する、ことを特
    徴とする搬送装置。
  20. 【請求項２０】前記ディスクの一方は前記ハウジングに
    摺動可能に支持される、ことを特徴とする請求の範囲第
    19項記載の搬送装置。
  21. 【請求項２１】前記ディスクの一方は磁性材料からな
    る、ことを特徴とする請求の範囲第19項記載の搬送装
    置。
  22. 【請求項２２】前記第１シャフトの前記ハウジングに対
    する角度位置を検知する検知手段を有する、ことを特徴
    とする請求の範囲第19項記載の搬送装置。
  23. 【請求項２３】前記検知手段は、前記第１シャフトに結
    合する光学式ディスクと、前記ハウジングに固定された
    ディスク読み取り手段とを有する、ことを特徴とする請
    求の範囲第22項記載の搬送装置。
  24. 【請求項２４】前記角度位置を検知する検知手段は、前
    記第１の同軸シャフトに結合する光学式ディスクと、前
    記ハウジングに設けられた発光体と、前記ハウジングに
    設けられた受光ヘッドとを有し、前記光学式ディスクは
    前記発光体及び前記受光ヘッドの間に位置し、かつ、符
    号化パターンとなる不透明部分を有し、前記受光ヘッド
    は、前記受光ヘッドの前部における前記符号化パターン
    の通過光に基づき、前記ハウジングに対する前記第１シ
    ャフトの角度位置を示す信号を出力すべく構成されてい
    る、ことを特徴とする請求の範囲第22項記載の搬送装
    置。
  25. 【請求項２５】前記２つの同軸シャフトに結合する２枚
    の付加ディスクと、各々前記ハウジングに設けられた第
    ３の電磁コイルとを有する別のブレーキシステムを有
    し、励磁されたときに、前記別のブレーキシステムの前
    記２枚の付加ディスクが互いに接触すべく移動する、こ
    とを特徴とする請求の範囲第19項記載の搬送装置。
  26. 【請求項２６】駆動機構と結合する可動アームアセンブ
    リを備えた搬送装置であって、 前記駆動機構は、チャンバを有したハウジングと、 少なくとも一部が前記チャンバ内に位置し、互いに独立
    して回動可能な２つの同軸シャフトを有し、前記２つの
    同軸シャフトのうち第１シャフトは第２シャフトを通り
    過ぎて同軸に延出する駆動シャフトアセンブリと、 前記第１シャフトに結合したディスクと、 前記ハウジングに設けられた発光体と、 前記ハウジングに設けられた受光ヘッドとを有し、前記
    ディスクは、前記発光体と前記受光ヘッドとの間に位置
    し、かつ、符号化パターンとなる不透明部分を有し、前
    記受光ヘッドは、前記受光ヘッドの前部における前記符
    号化パターンの通過光に基づき、前記ハウジングに対す
    る前記第１シャフトの角度位置を示す信号を出力すべく
    構成されている位置信号出力システムと、からなる、こ
    とを特徴とする搬送装置。
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