KR19990047650A - 두개 이상의 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

투명한 절연 기판 위에 가로 방향으로 다수의 게이트선과 다수의 게이트선을 하나로 연결하는 세로 방향의 게이트 쇼팅 바가 형성되어 있으며, 게이트선 및 게이트 쇼팅 바의 상부에 전면적으로 게이트 절연막이 형성되어 있다. 게이트선과 교차하도록 게이트 절연막 위에 세로 방향으로 다수의 데이터선이 형성되어 있으며 게이트선과 데이터선이 교차하는 부분이 화소 영역이 된다. 화소 영역 바깥에 데이터선을 하나로 연결하는 가로 방향의 데이터 쇼팅 바가 형성되어 있으며, 게이트 절연막 위에는 제1 보조 쇼팅 바가 게이트 쇼팅 바의 안쪽으로 형성되어 있는데, 홀수번째 게이트선과 전기적으로 연결되어 있으며, 짝수번째 게이트선과 전기적으로 연결되는 제2 보조 쇼팅 바가 제1 보조 쇼팅 바와 나란하게 형성되어 있다.

Description

두 개 이상의 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법
본 발명은 두 개 이상의 쇼팅 바(shorting bar)를 갖는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로서, 특히 화소 불량 및 쇼트(short) 불량에 대한 검출이 용이한 쇼팅 바 구조를 갖는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
일반적으로 쇼팅 바는 액정 표시 장치의 공정 과정에서 발생하는 정전기를 방전시키는 역할을 하며, 공정이 완료된 이후에는 박막 트랜지스터 어레이(array) 검사를 하기 위해 이용되기도 한다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 종래의 기술에 따른 액정 표시 장치에 대하여 상세하게 설명한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 개략도이고, 도 2는 도 1의 A 부분의 확대도이며, 도 3은 도 2의 III-III'선에 대한 단면도이다.
기판(1) 위에 가로 방향으로 게이트선(G1, G2, G3,....)이 형성되어 있고 각각의 게이트선(G1, G2, G3,....)의 끝에는 게이트 패드(10)가 형성되어 있으며, 게이트 패드(10)의 바깥으로는 게이트 쇼팅 바(20)가 게이트선(G1, G2, G3,....)을 하나로 묶고 있다. 게이트선(G1, G2, G3,....) 위에는 게이트 절연막(15)이 덮여 있다. 그 위에는 세로 방향으로는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)이 형성되어 있고, 각각의 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)의 끝에는 데이터 패드(30)가 형성되어 있으며, 패드(30)의 바깥으로는 데이터 쇼팅 바(40)가 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)을 하나로 묶고 있다. 이때, 게이트 쇼팅 바(40)와 데이터 쇼팅 바(20)는 저항(R)으로 서로 연결되어 있다.
액정 표시 장치의 화면 표시 영역 내에는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)과 게이트선(G1, G2, G3,....)이 교차하는 부분에 의해 화소 영역(PX)이 형성되며, 각각의 화소 영역(PX)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 하나씩 형성되어 있어 게이트선(G1, G2, G3,....)으로부터의 주사 신호를 받아 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로부터의 화상 신호를 스위칭(switching)하는 역할을 한다.
도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 게이트선(G1, G2, G3) 및 게이트 패드(10)와 게이트 쇼팅 바(20)를 포함하는 게이트 배선(5)은 기판(1) 위 동일한 면에 형성되고, 그 위에는 게이트 절연막(15)과 보호막(25)으로 덮여 있다. 액정 표시 장치의 제조 공정 중에 기판 내에 생기는 정전기는 게이트 쇼팅 바(20)를 통해 방전되고, 모든 공정 이후 게이트 쇼팅 바(20)를 절단선(L)을 기준으로 하여 절단한다.
이러한 쇼팅 바(20, 40)의 양단에 어레이 검사를 위한 전압(Va)을 인가하면, 게이트선(G1, G2, G3,....)과 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)에 동일한 전압 Va가 인가되면서 화소 영역(PX) 내의 박막 트랜지스터(TFT)가 동시에 각각 온(on) 상태가 된다. 이에 따라, 현재 주로 사용되고 있는 노멀리 화이트(normally white) 방식에서는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로 인가된 전압에 의해 화소 영역(PX)이 어둡게 나타난다. 그러나, 게이트선(G1, G2, G3,....) 또는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)에 단선 불량이 있거나 화소 내의 박막 트랜지스터에 불량이 있는 화소 영역(PX)은 밝게 나타나므로 화소 영역(PX)의 불량을 검출해 낼 수 있다.
그러나, 두 개 이상의 게이트선, 또는 두 개 이상의 데이터선(D2, D3)이 서로 연결되는 쇼트 불량(S1)이 발생할 경우, 두 데이터선(D2, D3)에 Va의 동일한 전압이 인가되기 때문에 쇼트 불량(S1)에 의한 아무런 변화도 검출되지 않는다. 즉, 하나의 게이트 쇼팅 바(20)와 하나의 데이터 쇼팅 바(40)로 형성되어 있는 구조를 이용해서는 쇼트 불량(S1)을 검출해 낼 수가 없다.
이러한 단점을 보완하기 위해 쇼팅 바(40)를 두 개 이상으로 나누면 검출력은 증가하지만, 공정 진행 중에 정전기로 인한 기판의 손상을 가져올 수 있다.
본 발명은 쇼팅 불량의 검출이 용이하며, 정전기에 대해서도 취약하지 않은 쇼팅 바를 갖는 박막 트랜지스터 기판을 구현하는 것을 그 과제로 한다.
도 1은 종래의 기술에 따른 쇼팅 바(shorting bar) 구조를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 도면이고,
도 2는 도 1의 A 부분을 확대한 평면도이고,
도 3은 도 2의 III-III' 선에 대한 단면도이고,
도 4는 본 발명에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판을 나타낸 도면이고,
도 5a는 도 4의 액정 표시 장치의 어레이(array) 검사를 위한 전압인가 상태를 나타낸 그래프이고,
도 5b는 액정 표시 장치 내에 쇼트(short) 불량이 존재할 때의 전압 변동 상태를 나타낸 그래프이고,
도 6은 도 4의 B 부분을 확대하여 나타낸 평면도이고,
도 7은 도 4의 B 부분을 확대하여 나타낸 또 다른 평면도이고,
도 8은 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도이고,
도 9는 도 4의 C 부분을 확대하여 나타낸 평면도이고,
도 10은 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도이고,
도 11a 내지 도 11f는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 게이트 쇼팅 바를 중심으로 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이고,
도 12a 내지 도 12f는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법을 데이터 쇼팅 바를 중심으로 그 공정 순서에 따라 도시한 단면도이다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명에 따른 액정 표시 기판은 서로 평행하게 다수의 게이트선이 형성되어 있고, 게이트선을 교대로 연결하고 있는 두 개의 테스터용 쇼팅 바가 형성되어 있다. 또한, 쇼팅 바의 바깥으로는 모든 게이트선을 하나로 연결하고 있는 주 쇼팅 바가 형성되어 있다.
이때, 게이트선과 테스터용 쇼팅 바는 각각 도전 연결 패턴에 의해 연결되어 있을 수 있다.
게이트선과 수직으로 다수의 데이터선이 형성되어 있고, 3개의 테스터용 쇼팅 바가 연속적인 세 개의 데이터선에 대해 번갈아 연결되어 있을 수 있는데, 이 데이터선과 쇼팅 바 역시 도전 연결 패턴에 의해 연결되어 있을 수 있다.
또한, 쇼팅 바의 바깥쪽에서 데이트선이 주 쇼팅 바와 연결되어 있어 게이트선과 하나로 연결되는 것이 바람직하다.
이러한 액정 표시 장치의 제조 방법에 있어서, 도전 연결 패턴은 투명 화소 전극을 형성하는 단계에서 형성한다.
투명 도전 연결 패턴이 형성된 이후에 주 쇼팅 바 안쪽의 게이트선 및 데이터선의 일부가 제거될 수 있다.
이러한 액정 표시 기판 및 그 제조 방법에서는 게이트 보조 쇼팅 바 또는 데이터 보조 쇼팅 바를 각각 두 개 이상으로 형성하고 공정이 완료된 이후 게이트 쇼팅 바 및 데이터 쇼팅 바로부터 분리함으로써, 정전기에 취약하지 않을 뿐 아니라 기판 내 쇼트 불량 검출 또한 용이하다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명에 따른 액정 표시 기판 및 그 제조 방법을 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세하게 설명한다.
먼저, 도 4를 참고로 하여 액정 표시 기판 및 그 제조 방법을 개괄적으로 설명한다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 쇼팅 바를 갖는 액정 표시 장치용 박막 트랜지스터 기판 내의 배선을 나타낸 개략도로서, 정전기 방지 패턴 및 기판 불량 검사를 위한 패턴이 제거되지 않은 상태의 액정 표시 장치의 배선을 도시하고 있다.
가로 방향으로 게이트선(G1, G2, G3, G4,...)이 형성되어 있고, 게이트선(G1, G2, G3, G4,...)의 끝에는 각각 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)가 형성되어 있다. 또한, 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)과 절연막(도시하지 않음)을 사이에 두고 세로 방향으로 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)이 형성되어 있고, 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)의 한 쪽 끝에는 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)가 형성되어 있다.
게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)와 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...) 안쪽의 화면 표시 영역(A) 내에는 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)과 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)이 교차하는 부분에 의해 화소 영역(PX)이 형성되어 있으며, 각각의 화소 영역(PX)에는 박막 트랜지스터(TFT)가 하나씩 형성되어 있어 게이트선(G1, G2, G3, G4,....)으로부터 주사 신호를 받아 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)으로부터의 화상 신호를 스위칭(switching)하는 역할을 한다.
이와 같은 배선 형성 과정에서 발생하는 정전기는 화소 영역(PX) 내의 박막 트랜지스터(TFT) 또는 배선(G1, G2,...;D1, D2,...)에 불량을 가져오는데, 이를 막기 위한 게이트 및 데이터 쇼팅 바(200, 400) 패턴이 다음과 같이 형성되어 있다.
게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)의 바깥에 게이트 배선용 금속으로 형성되어 있는 세로 방향의 게이트 쇼팅 바(200)는 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)로부터 연장된 게이트 연장부(101, 102, 103, 104,...)와 연결되어 있다. 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)의 바깥으로는 데이터 배선용 금속으로 데이터 쇼팅 바(400)가 가로 방향으로 형성되어 있는데, 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)로부터 연장된 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...)와 연결되어 있다. 이 게이트 쇼팅 바(200)와 데이터 쇼팅 바(400)는 서로 연결되어 있다. 이와 같은 구조의 쇼팅 바(200, 400)에 의해 기판 내에 발생하는 정전기가 방전된다.
이러한 게이트 및 데이터 쇼팅 바(200, 400)는 기판의 모든 배선 공정을 마친 후에 절단선(L1)을 따라 절단함으로써 정전기 방지 패턴이 제거된다.
그 후, 기판의 화상 표시 영역 내의 어레이(Array) 검사를 실시한다.
이때, 게이트 및 데이터 쇼팅 바(200), 400)의 안쪽에 형성되어 있는 보조선(410, 420; 210, 220, 230)을 이용하여 검사하는데, 그 보조선(410, 420; 210, 220, 230)의 형태는 다음과 같다.
두 개의 보조선(410, 420)이 게이트 쇼팅 바(200)와 게이트 패드(110, 120, 130, 140,...)의 사이에 크롬(Cr), 몰리브덴(Mo)과 같은 데이터 배선용 금속으로 게이트 쇼팅 바(200)와 평행하게 형성되어 있고, 데이터 쇼팅 바(400)와 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...) 사이에는 세 개의 보조선(210, 220, 230)이 알루미늄(Al)과 같은 게이트 배선용 금속으로 데이터 쇼팅 바(400)에 평행하게 형성되어 있다. 이때, 게이트 쇼팅 바(200)와 평행하게 형성되어 있는 두 개의 보조선(410, 420), 즉 제1, 제2 보조선에는 게이트선(G1, G2, G3, G4,...)이 번갈아 연결되어 있고, 데이터 쇼팅 바(400)와 평행하게 형성되어 있는 세 개의 보조선(210, 220, 230), 즉 제3, 제4, 제5 보조선에는 데이터선(D1, D2, D3, D4,...)이 번갈아가며 연결되어 있다.
따라서, 제1 및 제2 보조선(410, 420)을 이용하여 짝수번째 게이트선(G2, G4,...) 및 홀수번째 게이트선(G1, G3,...)에 각각 다른 신호를 인가하고, 데이터선(D1, D2, D3, D4,....)에 대해서는 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)을 이용하여 R, G, B 신호로 나누어 인가함으로써, 기판 내 불량을 좀 더 정확히 검사할 수 있다.
다음의 도 5a 및 도 5b를 참고로 하여 기판 내 불량을 검사하는 원리를 설명한다.
도 5a는 액정 표시 장치의 어레이 검사를 위한 게이트 전압인가 상태를 나타낸 그래프이고, 도 5b는 액정 표시 장치 내에 게이트선 사이에 쇼트(short) 불량이 존재할 때의 게이트 전압의 변동을 보여주는 그래프이다.
도 5a 도시한 바와 같이, 홀수번째 게이트선(G1, G3,...)과 짝수번째 게이트선(G2, G4,...)에 각각 공통 전압 Vcom을 중심으로 그 편차가 같은 Vodd, Veven의 전압을 인가한다.
도 5b에 도시한 바와 같이, 두 게이트선(G2, G3) 사이에 쇼트(S2)가 존재하는 경우, 두 번째 게이트선(G2)에 인가되는 전압 Veven는 증가하는 방향으로 전이하고, 세 번째 게이트선(G3)에 인가되는 전압 Vodd는 감소하는 방향으로 전이하여 Vcom으로 수렴한다.
따라서, 쇼트(S2)가 발생한 두 게이트선(G2, G3) 사이에서는 전위차가 0으로 감지된다.
데이터선의 경우에 있어서도 마찬가지이다. 제3, 제4, 제5 보조선에 번갈아 연결되어 있는 데이터선에 대해 각기 다른 신호를 인가한다. 데이터선(D2, D3, D4) 사이에 쇼트(S3)가 존재하는 경우, 인가 전압이 한 값으로 수렴하여 쇼트(S3)가 발생한 데이터선(D2, D3, D4) 사이에서는 전위차가 감지되지 않는다.
기판의 어레이 검사를 마친 후, 보조선(410, 420; 210, 220, 230) 안쪽의 절단선(L2)을 따라 기판을 절단함으로써, 기판 불량 검사용 패턴이 제거된다.
이로써, 액정 표시 장치용 구동 기판이 완성된다.
그러면, 도 6 내지 도 10을 참고로 하여 게이트 쇼팅 바(200)와 제1 및 제2 보조선(410, 420), 데이터 쇼팅 바(400)와 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)에 대하여 더 자세히 설명한다.
도 6 및 도 7은 도 4의 B 부분 즉, 게이트 쇼팅 바 부분의 제1 및 제2 실시예에 따른 확대도이고, 도 8은 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도로서, 특히 게이트 쇼팅 바와 보조선 사이의 연결 형태를 나타낸 도면이다.
기판(1) 위에 게이트 패드(110, 120, 130,...)가 형성되어 있고, 이로부터 게이트 연장부(101, 102, 103,...)가 세로 방향으로 형성되어 있는 게이트 쇼팅 바(200)까지 연장되어 있다. 그 위에는 게이트 절연막(150)이 형성되어 있으며, 게이트 절연막(150) 위에는 제1 및 제2 보조선(410, 420)이 게이트 쇼팅 바(200)와 평행하게 게이트 패드(100, 110, 120,...)와 게이트 쇼팅 바(200) 사이에 형성되어 있으며, 그 위에는 보호막(250)이 형성되어 있다.
게이트 연장부(101, 103,...)가 제1 보조선(210) 또는 제2 보조선(220)과 이 겹치는 부분의 상부에는 투명 화소 전극(도시하지 않음)과 같은 물질로 형성된 연결 패턴(310, 320)이 형성되어 있다. 이 연결 패턴(310, 320)은 제1 보조선(210) 상부의 보호막(250)에 뚫린 개구부(a)와 게이트 연장부(101) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)에 뚫린 개구부(b)를 통해 각각 제1 보조선(210)과 게이트 연장부(101)에 접촉하고 있으며 제2 보조선(220) 상부의 보호막(250)에 뚫린 개구부(c)와 게이트 연장부(102) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)에 뚫린 개구부(d)를 통해 각각 제2 보조선(220)과 게이트 연장부(102)에 접촉하고 있다. 즉, 각각의 게이트 연장부(101, 102)를 제1 및 제2 보조선(210, 220)과 각각 전기적으로 연결시키고 있다.
앞 서 설명한 바와 같이, 게이트 쇼팅 바(200)는 어레이 검사를 실시하기 이전에 절단선(L1)을 따라 게이트 쇼팅 바(200) 안쪽에서 제거되며, 검사가 끝난 후에는 게이트 패드(110, 120, 130) 바깥쪽에 위치한 절단선(L2)을 잘라냄으로써 기판의 제조가 마무리된다.
도 7에 도시한 제2 실시예는 게이트 쇼팅 바(200)를 제거하는 공정이 필요없는 구조이다.
제2 실시예의 경우, 제1 및 제2 보조선(410, 420)과 게이트 연결부(101, 102, 103,...)와의 연결 형태는 제1 실시예와 마찬가지지만, 게이트 쇼팅 바(200)와 제1 보조선(410) 사이의 일부 게이트 연장부(101, 102, 103,...) 및 게이트 절연막(150) 및 보호막(250)이 제거됨으로써, 각각의 게이트 연장부(101, 102, 103,...)가 게이트 쇼팅 바(200)와 서로 분리되어 있다. 이때, 게이트 연장부(101, 102, 103,...)와 게이트 쇼팅 바(200)는 기판의 제조 공정 중 맨 마지막에 분리되는데, 이에 대해서는 뒤에서 상세히 설명한다.
이처럼, 제2 실시예에서는 게이트 쇼팅 바(200)와 보조선(410, 420)이 서로 분리되어 있으므로 어레이 검사 이전에 게이트 쇼팅 바(200)를 절단해 내는 과정이 필요하지 않다.
검사가 끝나면, 앞 선 실시예와 마찬가지로 보조선(410, 420)을 절단선(L2)을 따라 절단함으로써 제거해 낸다.
도 9는 도 4의 C 부분 즉, 데이터 쇼팅 바 부분의 확대도이고, 도 10은 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도로서, 데이터 쇼팅 바와 제3, 제4, 제5 보조선과의 연결 형태를 나타낸 도면이다.
기판(1) 위에 가로 방향으로 게이트 배선과 동일한 금속으로 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)이 형성되어 있고, 그 위에 게이트 절연막(150)이 적층되어 있다. 게이트 절연막(150) 위에 데이터선(D1, D2, D3, D4,...), 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...), 데이터 패드(510, 520, 530, 540,...)로부터 연장된 부분인 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...) 및 이와 연결되어 있는 데이터 쇼팅 바(400) 등의 데이터 배선(55)이 형성되어 있다. 그 위에는 보호막(250)이 형성되어 있다.
제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)과 교차하는 데이터 연장부(501, 502, 503,....) 상부의 보호막(250)에 개구부(f, h, j)가 각각 형성되어 있고, 교차부의 바깥으로는 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230,...) 상부의 게이트 절연막(150) 및 보호 절연막(250)에 개구부(g, i, k)가 각각 형성되어 있다. 보호막(250) 위에 형성되어 있는 연결 패턴(301, 302, 303)은 이들 개구부(f, h, j;g, i, k)를 통해 각각 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230) 및 데이터 연장부(501, 502, 503,...)와 번갈아 가며 연결되어 있다.
또한, 게이트 쇼팅 바(200)의 경우와 마찬가지로 데이터 쇼팅 바(400)의 안쪽으로 데이터 연장부(501, 502, 503,...) 및 보호막(250) 일부가 뚫린 개구부(l)가 형성되어 있어서, 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...)가 데이터 쇼팅 바(400)와 분리되어 있을 수 있는데, 이 경우 어레이 검사를 위해 데이터 쇼팅 바(400)를 절단하지 않아도 된다.
이와 같이, 세 개의 보조선(210, 220, 230)에 데이터선(D1, D2, D3,...)과 연결되는 데이터 연장부(501, 502, 503,...)가 각각 번갈아 연결되어 있으므로, 박막 트랜지스터 기판의 화소 결함 및 쇼트 불량을 검사하기 위해 제3, 제4, 제5 보조선(210, 220, 230)에 각기 다른 신호를 인가할 수 있다.
두 개 이상의 데이터선(D2, D3, D4) 내에 쇼트(S3) 불량이 발생했을 때 각 데이터선(D2, D3, D4)에 각기 다른 신호가 인가되면, 쇼트(S3)된 부분에 의한 전압 변동이 쉽게 검출된다.
이 실시예에서는 세 개의 분리된 보조선(210, 220, 230)을 갖고 있으나, 두 개로 형성하거나 세 개 이상의 보조 쇼팅 바를 형성하는 것도 가능하다.
그러면, 도 11a 내지 도 11f, 도 12a 내지 도 12f를 참고로 하여 본 발명의 실시예에 따른 쇼팅 바 구조를 갖는 액정 표시 장치의 제조 방법에 대하여 설명한다.
도 11a 내지 도 11f는 도 7의 VIII-VIII' 선에 대한 단면도로서 공정 순서에 따라 도시한 것이고, 도 12a 내지 도 12f는 도 9의 X-X' 선에 대한 단면도로서 공정 순서에 따라 도시한 것이다.
투명한 절연 기판(1) 위에 게이트 배선을 위한 금속층(50)을 형성하고 게이트선(G1, G2, G3, G4,...), 게이트 패드(100, 110, 120,...), 게이트 쇼팅 바(200), 게이트 연장부(101, 102, 103,...), 그리고 제1, 제2 및 제3 보조선(210, 220, 230) 등을 포함하는 게이트 배선(50)을 패터닝한 후, 게이트 절연막(150)과 비정질 실리콘막(도시하지 않음) 및 n+비정질 실리콘막(도시하지 않음)을 연속하여 적층하고 위의 두 층을 사진 식각하여 화소(PX) 내에 패턴을 형성한다.
다음, 데이터 배선을 위한 금속층(55)을 형성하고 데이터선(D1, D2, D3, D4,...) 및 소스-드레인 전극(도시하지 않음), 데이터 패드(500, 510, 520, 530,...), 데이터 쇼팅 바(400), 데이터 연장부(501, 502, 503, 504,...), 그리고 제1 및 제 2 게이트 보조 쇼팅 바(410, 420)를 포함하는 데이터 배선(55)을 패터닝한다. 이어 이 데이터 배선(55)을 마스크로 하여 n+비정질 실리콘막을 식각한다.
그 위에 보호막(250)을 적층한 후, 게이트 절연막(150)과 함께 식각하여 게이트 패드(110, 120,...), 데이터 패드(510, 520, 530,...)를 드러내는 접촉구(e; l) 및 제1 내지 제 5 보조선(410, 410; 210, 220,230), 게이트 및 데이터 연장부(101, 102,...;501, 502, 503,...)를 드러내는 접촉구(a, b, c, d, e, f, g, h, i, j, k)를 형성한다.
그 후, ITO 물질을 적층하고 식각하여 화소 영역(PX) 내에 화소 전극(도시하지 않음)을 형성한다. 이 과정에서, ITO 연결 패턴(310, 320, 301, 302, 303)도 형성한다. ITO 연결 패턴(310, 320)은 접촉구(a, b, c, d)에 의해 제1 보조선(410) 및 제2 보조선(420) 및 게이트 연장부(101, 102,...)와 각각 연결되며 또 다른 연결 패턴(301, 302, 303)은 접촉구(f, g, h, i, j, k)를 통하여 제 3, 4, 5 보조선(210, 220, 230) 및 세 개의 데이터 연장부(501, 504, 502,...)와 번갈아 가며 연결되도록 한다.
마지막으로, 게이트 쇼팅 바(200)와 게이트 연장부(101, 102, 103,...)를 제1 보조선(410)과 게이트 쇼팅 바(200) 사이에서 분리하고, 데이터 쇼팅 바(400)와 데이터 연장부(501, 502, 503,...)를 제3 보조선(210)과 데이터 쇼팅 바(400) 사이에서 분리시킨다.
이러한 분리 과정은 앞 서 설명한 바와 같이 보호막(250) 식각 단계에서 제1 보조선(410)과 게이트 쇼팅 바(200) 사이에 위치한 게이트 연장부(101, 102, 103,...) 및 제3 보조선(210)과 데이터 쇼팅 바(400) 사이에 위치한 데이터 연장부(501, 502, 503,...)를 노출시키고, 연결 패턴(301, 302, 303; 310, 320)을 형성하는 단계 이후에 노출되어 있는 게이트 연장부(101, 102, 103,...)와 데이터 연장부(101, 102, 103,...)를 식각하여 제거함으로써 이루어진다. 또는 연결 패턴(301, 302, 303; 310, 320)을 형성한 후, 기판의 불량 검사가 이루어지기 이전에 절단선(L1)을 따라 게이트 쇼팅 바(200) 및 데이터 쇼팅 바(400)를 절단하여 분리하는 것도 가능하다.
이상에서와 같이, 게이트 보조 쇼팅 바 또는 데이터 보조 쇼팅 바를 각각 두 개 이상으로 형성하고 공정이 완료된 이후 게이트 쇼팅 바 및 데이터 쇼팅 바로부터 분리함으로써, 정전기에 취약하지 않으면서 기판 내 쇼트 불량 검출 또한 용이하다.

Claims (31)

  1. 서로 평행한 다수의 제1 배선,
    상기 제1 배선과 평행하게 형성되어 있는 다수의 제2 배선,
    상기 제1 배선과 연결되어 있는 제1 쇼팅 바,
    상기 제2 배선과 연결되어 있는 제2 쇼팅 바,
    상기 제1 및 제2 쇼팅 바의 바깥에 형성되어 있는 주 쇼팅 바
    를 포함하는 액정 표시 기판.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 배선은 주사 신호가 인가되는 게이트선인 액정 표시 기판.
  3. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 배선은 화상 신호가 인가되는 데이터선인 액정 표시 기판.
  4. 제1항에서,
    상기 주 쇼팅 바는 상기 제1 및 제2 배선과 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  5. 제1항에서,
    상기 제1 및 제2 배선은 교대로 배열되어 있는 액정 표시 기판.
  6. 투명한 절연 기판,
    상기 기판 위에 가로 방향으로 형성되어 있는 다수의 게이트선,
    상기 게이트선을 덮고 있으며, 상기 게이트선을 드러내는 제1 개구부를 가지고 있는 게이트 절연막,
    상기 게이트선과 교차하도록 상기 게이트 절연막 위에 세로 방향으로 형성되어 있는 다수의 데이터선,
    상기 게이트 절연막의 상부에 세로 방향으로 형성되어 있는 제1 보조 쇼팅 바,
    상기 게이트 절연막의 상부에 상기 제1 보조 쇼팅 바와 나란하게 형성되어 있는 제2 보조 쇼팅 바,
    상기 데이터선 및 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 개구부 위에 제2 개구부를 가지며 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바 상부에 각각 제3 및 제4 개구부를 가지는 보호막,
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제2 개구부와 상기 제3 개구부를 통해 상기 게이트선과 상기 제1 보조 쇼팅 바와 각각 연결되어 있는 제1 연결 패턴,
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제2 개구부와 상기 제4 개구부를 통해 상기 제1 연결 패턴과 연결되지 않은 상기 게이트선 및 상기 제2 보조 쇼팅 바와 연결되어 있는 제2 연결 패턴
    을 포함하는 액정 표시 기판.
  7. 제6항에서,
    상기 기판 위에 가로 방향으로 서로 평행하게 형성되어 있는 제3, 제4, 그리고 제5 보조 쇼팅 바 및 상기 보호막 위에 형성되어 있는 제3, 제4, 제5 연결 패턴을 더 포함하며, 상기 제3, 제4, 제5 연결 패턴은 상기 데이터선과 각각 상기 제3, 제4, 제5 보조 쇼팅 바를 전기적으로 연결하고 있는 액정 표시 기판.
  8. 제7항에서,
    상기 보호막은 데이터선을 드러내는 제5개구부와 상기 게이트 절연막 및 상기 보호막은 상기 제3, 제4, 제5 보조 쇼팅 바를 각각 드러내는 제6, 제7, 제8 개구부를 가지고 있으며, 상기 제3, 제4, 제5 패턴은 상기 제5 개구부를 통하여 서로 다른 데이터선에 연결되어 있고, 상기 제6, 제7, 제8 개구부를 통하여 각각 상기 제3, 제4, 제5 보조 쇼팅 바와 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  9. 제6항에서,
    상기 기판 위에 형성되어 있고 상기 게이트선과 연결되어 있는 게이트 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  10. 제9항에서,
    상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있고 상기 데이터선과 연결되어 있는 데이터 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  11. 제10항에서,
    상기 데이터 쇼팅 바는 상기 게이트 쇼팅 바와 전기적으로 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  12. 제6항에서,
    상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바의 바깥에 위치하고 상기 기판 위에 세로 방향으로 형성되어 있으며 상기 게이트선과는 분리되어 있는 게이트 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  13. 제12항에서,
    상기 제3, 제4, 제5 보조 쇼팅 바의 바깥에 위치하고 상기 게이트 절연막 위에 가로 방향으로 형성되어 있으며 데이터선과는 분리되어 있는 데이터 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  14. 제13항에서,
    상기 데이터 쇼팅 바는 상기 게이트 쇼팅 바와 전기적으로 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  15. 투명한 절연 기판,
    상기 기판 위에 가로 방향으로 형성되어 있는 다수의 게이트선,
    상기 기판 위에 가로 방향으로 형성되어 있는 제1 보조 쇼팅 바,
    상기 기판 위에 상기 제1 보조 쇼팅 바와 나란하게 형성되어 있는 제2 보조 쇼팅 바,
    상기 게이트선 및 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바를 덮고 있으며 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바를 각각 드러내는 제1 및 제2 개구부를 가지고 있는 게이트 절연막,
    상기 게이트선과 교차하도록 상기 게이트 절연막 위에 세로 방향으로 형성되어 있는 다수의 데이터선,
    상기 데이터선 및 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제2 개구부 위에 각각 제3 및 제4 개구부를 가지며 상기 데이터선 상부에 제5 개구부를 가지는 보호막,
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며, 상기 제1 및 제3 개구부와 상기 제5 개구부를 통해 상기 데이터선 및 상기 제1 보조 쇼팅 바와 연결되어 있는 제1 연결 패턴,
    상기 보호막 위에 형성되어 있으며, 상기 제2 및 제4 개구부와 상기 제5 개구부를 통해 상기 제1 연결 패턴과 연결되지 않은 상기 데이터선 및 상기 제2 보조 쇼팅 바와 연결되어 있는 제2 연결 패턴
    을 포함하는 액정 표시 기판.
  16. 제15항에서,
    상기 기판 위에 형성되어 있으며 상기 게이트선과 연결되어 있는 게이트 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  17. 제16항에서,
    상기 게이트 절연막 위에 형성되어 있고 상기 데이터선과 연결되어 있는 데이터 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  18. 제17항에서,
    상기 데이터 쇼팅 바는 상기 게이트 쇼팅 바와 전기적으로 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  19. 제15항에서,
    상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바의 바깥에 위치하고 상기 게이트 절연막 위에 가로 방향으로 형성되어 있으며 상기 데이터선과는 분리되어 있는 데이터 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  20. 제19항에서,
    상기 기판 위에 세로 방향으로 형성되어 있고 상기 게이트선과는 분리되어 있는 게이트 쇼팅 바를 더 포함하는 액정 표시 기판.
  21. 제20항에서,
    상기 게이트 쇼팅 바는 상기 데이터 쇼팅 바와 전기적으로 연결되어 있는 액정 표시 기판.
  22. 금속층을 적층하는 단계,
    상기 금속층을 패터닝하여 게이트선을 형성하는 단계,
    상기 게이트선 위에 게이트 절연막을 형성하는 단계,
    상기 게이트 절연막 위에 상기 게이트선을 테스트하기 위한 제1 및 제2 보조 쇼팅 바와 데이터선을 형성하는 단계,
    보호막을 적층하는 단계,
    상기 보호막 및 상기 게이트 절연막을 식각하여 상기 게이트선과 상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바를 각각 드러내는 제1 개구부와 제2 및 제3 개구부를 형성하는 단계,
    투명 도전 층을 증착하는 단계,
    상기 투명 도전층을 패터닝하여 상기 제1 및 제2 개구부를 통해 상기 게이트선 및 상기 제1 쇼팅 바와 연결되는 제1 연결 패턴, 제1 및 제3 개구부를 통해 상기 게이트 선 및 상기 제2 쇼팅 바와 연결되는 제2 연결 패턴, 그리고 화소 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  23. 제22항에서,
    상기 금속층을 패터닝하여 상기 게이트선과 연결되는 정전기 방지용 쇼팅 바를 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  24. 제23항에서,
    상기 연결 패턴을 형성한 후, 상기 정전기 방지용 쇼팅 바와 상기 게이트선의 연결을 제거하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  25. 기판 위에 게이트선, 그리고 데이터선을 테스트하기 위한 제1, 제2, 제3 보조 쇼팅 바를 형성하는 단계,
    게이트 절연막을 형성하는 단계,
    상기 게이트 절연막 위에 금속층을 적층하는 단계,
    상기 금속층을 패터닝하여 데이터선을 형성하는 단계,
    보호막을 적층하는 단계,
    상기 보호막 및 상기 게이트 절연막을 식각하여 상기 데이터선과 상기 제1, 제2 및 제3 보조 쇼팅 바를 드러내는 제1 개구부와 제2, 제3 및 제4 개구부를 형성하는 단계,
    투명 도전층을 증착하는 단계,
    상기 투명 도전층을 패터닝하여 상기 제1 및 제2 내지 제4 개구부를 통해 상기 데이터선과 상기 제1 내지 제3 보조 쇼팅 바와 각각 연결되는 연결 패턴 및 화소 전극을 형성하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  26. 제25항에서,
    상기 금속층을 패터닝하여 상기 데이터선과 연결되는 정전기 방지용 쇼팅 바를 형성하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  27. 제26항에서,
    상기 연결 패턴을 형성하는 단계 이후에 상기 정전기 방지용 쇼팅 바와 상기 데이터선의 연결을 제거하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  28. 기판 위에 다수의 게이트선 및 데이터선, 상기 게이트선 및 데이터선과 연결되어 있는 정전기 방지용 주 쇼팅 바, 상기 게이트선과 각각 번갈아 연결되어 있는 게이트 테스트용 제1 및 제2 보조 쇼팅 바, 상기 데이터선과 각각 번갈아 연결되어 있는 데이터 테스트용 제3 및 제4 보조 쇼팅 바 등의 배선을 형성하는 단계,
    상기 주 쇼팅 바를 상기 게이트 및 데이터선으로부터 분리하는 단계,
    상기 제1 및 제2 보조 쇼팅 바와 상기 제3 및 제4 보조 쇼팅 바에 전압을 인가하여 상기 데이터선과 상기 게이트선의 불량을 검출하는 단계
    를 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법
  29. 제28항에서,
    상기 제1 보조 쇼팅 바와 상기 제2 보조 쇼팅 바에는 각기 다른 전압을 인가하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  30. 제28항에서,
    상기 제3 보조 쇼팅 바와 상기 제4 보조 쇼팅 바에는 각기 다른 전압을 인가하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
  31. 제28항에서,
    상기 불량 검출 단계 이후, 상기 제1, 제2, 제3 및 제4 보조 쇼팅 바를 제거하는 단계를 더 포함하는 액정 표시 기판의 제조 방법.
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