KR19990014121A - 기판세정장치 및 기판세정방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (23)
- 기판을 유지하여 회전시키는 스핀척과,이 스핀척상의 기판의 피세정면에 세정처리액을 공급함과 동시에, 이 피세정면에 존재하는 이물질(contaminants)에 물리적인 힘을 작용시켜서 이 피세정면에서 이물질을 떼어내는 세정수단과,이 세정수단을 지지하는 지지아암과,상기 세정수단이 상기 피세정면을 따라 기판의 중앙부에서 둘레가장자리부까지의 사이를 이동할 수 있도록 상기 지지아암을 구동하는 아암구동기구와,상기 피세정면에 존재하는 이물질의 상태에 따라 이물질에 작용시키는 물리적인 힘을 조정하기 위하여, 상기 세정수단, 상기 스핀척 및 상기 아암구동기구중 적어도 하나의 동작을 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 세정처리전의 기판의 피세정면에 존재하는 이물질의 상태를 검출하는 센서를 가지며, 이 센서로 검출한 결과에 기초하여 상기 제어수단은 상기 세정수단, 상기 스핀척, 상기 아암구동기구 가운데 적어도 하나의 동작을 제어하는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 세정처리전의 기판의 피세정면에 존재하는 이물질의 상태의 경향을 파악하는 수단과, 이 수단으로 파악한 이물질의 상태의 경향을 초기 설정데이터로 하여 상기 제어수단에 설정입력하는 수단을 가지며,상기 제어수단은, 이 초기 설정데이터를 불러내고, 이 초기 설정데이터에 기초하여 상기 세정수단, 상기 스핀척, 상기 아암구동기구 가운데 적어도 하나의 동작을 제어하는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은 기판의 피세정면을 스크러브하는 회전구동 브러시를 가지고 있으며, 이 회전구동 브러시의 회전방향을 정방향과 역방향으로 전환시키는 수단을 가지는 기판세정장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 회전구동 브러시를 기판의 피세정면으로 누르는 브러시가압조정기구를 가지며,상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 제어수단은 이 브러시가압조정기구에 상기 회전구동 브러시의 접촉압력을 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정장치.
- 제 4 항에 있어서, 상기 회전구동 브러시의 회전속도를 증감시키는 브러시회전가변기구를 가지며,상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 제어수단은 이 브러시회전가변기구에 상기 회전구동 브러시의 회전속도를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 수직 지지축 주위로 자유롭게 회전할 수 있는 브러시를 가지는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 지지축 주위로 자유롭게 회전할 수 없는 브러시를 가지는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 아암구동기구는, 상기 세정수단이 피세정면을 따라 기판의 반경방향으로 이동하도록 상기 지지아암을 요동시키는 아암요동기구를 가지며,상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 제어수단은 이 아암요동기구에 상기 세정수단의 이동속도를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 스핀척의 회전속도를 증감시키는 스핀척 회전가변기구를 가지며,상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 제어수단은 이 스핀척 회전가변기구에 상기 스핀척의 회전속도를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 세정처리액으로 덮힌 기판의 피세정면에 초음파를 인가하는 초음파세정기구를 가지는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 기판의 피세정면에 고압의 물을 분사하는 고압수 제트세정기구를 가지는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 상기 세정수단은, 기판의 패턴형성면을 스크러브세정하기 위한 제 1 브러시기구와, 기판의 비패턴형성면을 스크러브세정하기 위한 제 2 브러시기구를 가지는 기판세정장치.
- 제 1 항에 있어서, 린스액을 기판의 피세정면에 공급하는 린스노즐을 가지는 기판세정장치.
- (a) 기판의 피세정면에 존재하는 이물질의 상태를 파악하는 공정과,(b) 기판을 스핀척에 의해 유지하는 공정과,(c) 아암구동기구에 가동하도록 지지된 아암에 부착된 세정수단을, 스핀척상의 기판의 피세정면에 대하여 위치맞춤하는 공정과,(d) 스핀척과 함께 기판을 회전시키는 공정과,(e) 회전중의 기판의 피세정면에, 처리액을 공급함과 동시에, 상기 공정(a)에서 파악한 이물질의 상태에 따라 상기 세정수단, 상기 스핀척, 상기 아암구동기구 가운데 적어도 하나의 동작을 제어하고, 피세정면에 존재하는 이물질에 물리적인 힘을 작용시켜 피세정면에서 이물질을 떼어내는 공정을 구비한 것을 특징으로 하는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 공정(a)에서는 세정처리전의 기판의 피세정면에 존재하는 이물질의 상태를 검출하고, 이 검출결과에 기초하여 상기 공정(e)에서는 상기 세정수단, 상기 스핀척, 상기 아암구동기구 가운데 적어도 하나의 동작을 제어하는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 공정(a)에서는, 세정처리전의 기판의 피세정면에 존재하는 이물질의 상태의 경향을 파악하여, 이것을 초기 설정데이터로 하여 기억해 두고,상기 공정(e)에서는, 이 초기 설정데이터를 불러내고, 이 초기 설정데이터에 기초하여 상기 세정수단, 상기 스핀척, 상기 아암구동기구 가운데의 적어도 하나의 동작을 제어하는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 세정수단은 기판의 피세정면을 스크러브하는 회전구동 브러시를 가지며,상기 공정(e)에서는, 상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 회전구동 브러시의 회전속도를 점차 증가 또는 감소 시키는 기판세정방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 공정(e)에서는, 상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 기판에 대한 상기 회전구동 브러시의 접촉압력을 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정방법.
- 제 18 항에 있어서, 상기 공정(e)에서는, 상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 회전구동 브러시의 회전속도를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 공정(e)에서는, 상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 상기 스핀척의 회전속도를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 세정수단은 기판의 피세정면에 초음파를 인가하기 위한 수단을 가지며,상기 공정(e)에서는, 상기 아암구동기구가 상기 세정수단을 기판의 중앙부로부터 둘레가장자리부를 향하여 이동시키는 사이에, 피세정면에 대하여 인가하는 초음파를 점차 증가 또는 감소시키는 기판세정방법.
- 제 15 항에 있어서, 상기 공정(e)에서는, 기판의 양면을 동시에 세정하는 기판세정방법.
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