KR102577451B1 - 특히 감소된 피치 적용을 위한, 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드 - Google Patents

Abstract

테스트중인 장치(24)의 작동을 테스트하기 위한 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드(20)가 설명되며, 이러한 테스트 헤드는 복수의 접촉 프로브(21)를 포함하고, 각각의 접촉 프로브(21)는 제1 단부 및 제2 단부(21A, 21B) 사이에서 연장되는 미리 결정된 길이의 로드형 몸체를 갖고, 서로 평행하고 굽힘 영역(29)에 의해 이격되는 하나 이상의 플레이트형 하부 가이드(22) 및 플레이트형 상부 가이드(23)에 형성된 각각의 가이드 구멍(22A, 23A)에 수용된다. 적절하게, 하나 이상의 상기 하부 가이드(22) 및 상부 가이드(23)는 복수의 이들 가이드 구멍(22A, 23A)에서 형성되고 상기 복수의 이들 가이드 구멍(22A, 23A)의 두께를 감소시키는 단차부(26A, 26B)를 구현하는 하나 이상의 함몰부(27)를 구비한다.

Description

특히 감소된 피치 적용을 위한, 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드

본 발명은 특히 감소된 피치 적용을 위한, 복수의 수직형 프로브를 포함하는 테스트 헤드에 관한 것이다.

보다 구체적으로, 본 발명은 테스트중인 장치의 동작을 테스트하기 위한 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드에 관한 것으로, 테스트 헤드는 복수의 접촉 프로브를 포함하고, 각 접촉 프로브는 제1 단부 및 제2 단부 사이에서 연장되는 미리 설정된 길이의 로드형 몸체를 가지며, 서로 평행하며 굽힘 영역에 의해 이격된 하나 이상의 하부 가이드 및 상부 가이드에 형성된 각각의 가이드 구멍 내에 수용된다.

특히, 본 발명은 웨이퍼 상에 집적된 전자 장치를 테스트하기 위한 테스트 헤드를 주목하지만, 이에 한정되는 것은 아니며, 이하의 설명은 그 설명을 단순화하기 위한 목적으로 이 응용 분야를 참조하여 이루어진다.

잘 알려진 바와 같이, 테스트 헤드(프로브 헤드)는 미세 구조의 복수의 접촉 패드를 그 작동 테스트, 특히 전기적 테스트, 또는 일반적 테스트를 수행하는 테스트 기계의 대응하는 채널과 전기적으로 접촉시키기 쉬운 장치이다.

집적 회로에서 수행되는 테스트는 특히 제조 단계에서 결함이 있는 회로를 감지하고 분리하는데 유용하다. 일반적으로, 테스트 헤드는 따라서 칩-수납 패키지 내부에서 절단 및 조립하기 전에 웨이퍼 상의 직접 회로를 전기적으로 테스트하는 데 사용된다.

테스트 헤드는 기본적으로 서로 평행한 적어도 한 쌍의 실질적으로 플레이트형 지지부 또는 가이드에 의해 유지되는 복수의 이동 접촉 부재 또는 접촉 프로브를 포함한다. 이들 플레이트형 지지부에는 적절한 구멍이 마련되어 있으며, 접촉 프로브의 이동 및 가능한 변형을 위한 자유 공간 또는 간격을 남기기 위해 서로 일정한 거리를 두고 배치된다. 특히, 한 쌍의 플레이트형 지지부는 상부 플레이트형 지지부 및 하부 플레이트형 지지부를 포함하고, 둘 모두 접촉 프로브가 축 방향으로 슬라이딩하는 가이드 구멍이 마련되어 있고, 접촉 프로브는 보통 양호한 전기적 및 기계적 특성을 갖는 특수 합금의 와이어로 제조된다.

접촉 프로브와 테스트중인 장치의 접촉 패드 사이의 양호한 연결은 장치 자체 상에 테스트 헤드를 가압함으로써 보장되고, 그 가압 접촉 동안에 상부 및 하부 플레이트형 지지부에 형성된 가이드 구멍 내에서 움직일 수 있는 접촉 프로브는, 2 개의 플레이트형 지지부 사이의 간격 내부에서 구부러지고 이러한 가이드 구멍 내에서 슬라이딩한다. 이러한 유형의 테스트 헤드는 일반적으로 "수직형 프로브 헤드"라고 불린다.

기본적으로, 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드는 접촉 프로브의 구부러짐이 발생하는 간격을 가지며, 설명의 편의를 위해, 테스트 헤드에 일반적으로 포함되는 복수의 프로브 중 단지 하나의 접촉 프로브만이 도시된 도 1에서 개략적으로 도시된 바와 같이, 그 구부러짐은 프로브 자체 또는 그 지지부의 적절한 구성에 의해 보조될 수 있다.

특히, 도 1은 하나 이상의, 일반적으로 "하부 다이" 또는 단순히 하부 가이드(2)로 불리는 하부 플레이트형 지지부, 및 일반적으로 "상부 다이" 또는 단순히 상부 가이드(3)라고 불리는 상부 플레이트형 지지부를 포함하는 테스트 헤드(1)를 개략적으로 도시하며, 지지부들은 하나 이상의 접촉 프로브(4)가 내부에서 슬라이딩하는 각각의 가이드 구멍(2A 및 3A)을 갖는다.

접촉 프로브(4)는 테스트중인 장치(5)와 테스트 헤드(1)가 단자 요소인 테스트 장치(미도시) 사이의 전기적 및 기계적 접촉을 구현하기 위해, 테스트중인 장치(5)의 접촉 패드(5A) 상에 접촉하도록 의도된 접촉 팁(4A)으로 일단에서 종결된다.

본 명세서에서 "접촉 팁"이라는 용어는 테스트중인 장치 또는 테스트 장치와 접촉하도록 의도된 접촉 프로브의 단부 존 또는 영역을 의미하며, 이러한 단부 존 또는 영역은 반드시 날카롭게 될 필요는 없다.

몇몇 경우에는, 접촉 프로브가 상부 가이드(3)에서 헤드 자체에 고정된다: 이들 테스트 헤드는 블록된 프로브 테스트 헤드라고 불린다.

그러나, 비-고정식으로 매이지만, 가능하다면 미세 접촉 보드에 의하여 소위 보드에 접속되는 프로브를 구비한 테스트 헤드를 사용하는 것이 일반적이다: 이들 테스트 헤드는 블록되지 않은 프로브 테스트 헤드라고 불린다. 미세 접촉 보드는 프로브를 접촉하는 것 외에도, 테스트중인 장치에 형성된 접촉 패드에 대해 접촉 패드를 공간적으로 재배치할 수 있으며, 특히 패드 자체의 중심 간의 거리 제한을 완화할 수 있기 때문에 일반적으로 "공간 트랜스포머"라고 불린다.

이 경우, 도 1에 도시된 바와 같이, 접촉 프로브(4)는 공간 트랜스포머(6)의 복수의 접촉 패드 중 패드(6A)를 향하여, 접촉 헤드(4B)로 표시된 다른 접촉 팁을 갖는다. 프로브(4)와 공간 트랜스포머(6) 사이의 양호한 전기적 접촉은 공간 트랜스포머(6)의 접촉 패드(6A)에 대해 접촉 프로브(4)의 접촉 헤드(4B)을 가압함으로써 항상 보장된다.

상부 및 하부 가이드(2 및 3)는 접촉 프로브(4)의 변형을 허용하는 간격(7)에 의해 적절하게 분리된다. 마지막으로, 가이드 구멍들(2A 및 3A)은 접촉 프로브(4)가 그 안에서 슬라이딩 가능하게 하기 위한 크기이다.

소위 "이동된 플레이트 기술"에 의해 만들어진 테스트 헤드의 경우, "좌굴 빔"이라고도 불리는 접촉 프로브(4)는 직선형으로 만들어지며, 가이드의 이동은 프로브의 몸체가 구부러지도록 하고, 그들이 슬라이딩하는 가이드 구멍의 벽과의 마찰로 인해 프로브 자체를 원하는 대로 유지한다. 이 경우, 이들 테스트 헤드는 이동된 플레이트 또는 가이드를 구비한 테스트 헤드라고 불린다.

프로브가 겪는 구부러짐의 형상 및 이 구부러짐을 일으키는 데 필요한 힘은 프로브를 구성하는 합금의 물리적 특성 및 상부 가이드에서의 가이드 구멍 및 하부 가이드에서의 대응하는 가이드 구멍 사이의 오프셋 값과 같은 몇 가지 요인에 의존한다.

테스트 헤드의 올바른 작동은 기본적으로, 접촉 프로브의 수직 이동 또는 과도 이동과 이들 접촉 프로브의 접촉 팁의 수평 이동 또는 스크럽; 두 파라미터에 묶인다. 접촉 패드의 표면을 긁어서, 이러한 방식으로 예를 들어 얇은 산화물 층 또는 필름 형태의 불순물을 제거하여, 테스트 헤드에 의해 수행되는 접촉을 향상시킬 수 있도록 하기 위해 접촉 팁의 스크럽을 보장하는 것이 중요하다는 것이 실제 알려져 있다.

이러한 모든 특성은 테스트 헤드의 제조 단계에서 평가되고 교정되어야 하며, 프로브와 테스트중인 장치 사이, 특히 프로브의 접촉 팁과 테스트중인 장치의 접촉 패드 사이의 양호한 전기적 연결이 항상 보장되어야 한다.

테스트 헤드(1)의 작동 중에 가이드의 가이드 구멍(2A 및 3A) 내에서 프로브(4)의 적절한 슬라이딩을 보장하는 것이 마찬가지로 중요하며, 따라서 이들 프로브(4)가 굽힙 영역으로도 표시되는 간격(7) 내에서 구부러지는 것을 보장하는 것이 중요하다.

실질적으로, 이는 접촉 프로브(4)와, 하부 가이드(2) 및 상부 가이드(3) 각각의 가이드 구멍(2A, 3A)의 횡단 치수 또는 직경 사이에서 항상 간격(낙낙함) 또는 공차가 보장되어야 한다는 것을 의미한다.

그러나, 이러한 필요성은 테스트 헤드 내부에서 접촉 프로브 패킹의 증가하는 요구 사항과 대조를 이루어, 대응하는 접촉 팁을 더 가깝게 만들고 극단적으로 근접한 접촉 패드의 분포를 포함하는 최종 세대 집적 장치의 적절한 테스트와 따라서 소위 피치, 즉 인접한 접촉 패드의 중심 사이의 거리를 매우 작은 값을 갖는 것이 가능하게 하며, 이들 장치는 파인 피치 장치로 불린다.

특히, 파인 피치 장치를 테스트하기 위해, 프로브의 횡단 치수 및 이에 따라 대응하는 가이드 구멍의 횡단 치수를 감소시키는 것 외에도, 프로브와 구멍 사이의 공차를 제한하는 것이 필요하다.

시중에서 판매되는 테스트 헤드에는, 최소 두께 250㎛인 세라믹 가이드가 일반적으로 사용된다. 파인 피치 장치는 시중에서 판매되는 장치에 대해 20~40% 감소된 프로브-구멍 공차를 갖는 가이드 구멍을 이들 세라믹 가이드에서 구현할 것을 요구한다.

그러나 이들 감소된 공차 값이 가이드 구멍 내에서 프로브의 극복할 수 없는 슬라이딩 문제를 일으켜, 그를 포함하는 테스트 헤드의 적절한 작동을 저해한다는 것이 실험적으로 검증되었다.

제2009/0224782 호로 공개된 미국 특허 출원은 복수의 단일 단차부(lowered portion)를 갖춘 2개의 평행한 가이드를 포함하는 테스트 헤드를 개시하고, 각각의 단차부는 접촉 프로브를 수용하는 가이드 구멍에서 구현되어, 이러한 방식으로 접촉 프로브의 슬라이딩 특성을 향상시킨다.

본 발명의 기술적 과제는, 가이드 구멍 내에서 접촉 프로브의 적절한 슬라이딩을 간단한 방식으로 보장하여, 종래 기술에 따라 구현되는 테스트 헤드에 여전히 영향을 미치는 한계 및 단점을 극복하고 그를 포함하는 테스트 헤드의 적절한 작동을 보장하는 동시에, 파인 피치 장치의 테스트에 사용할 수 있는 이러한 기능적 및 구조적 특성을 갖는 테스트 헤드를 제공하는 것이다.

본 발명의 근간을 이루는 해결 아이디어는, 마찰을 줄여서 프로브가 이들 가이드 구멍에 끼이는 문제를 방지함과 동시에, 프로브 자체의 높은 패킹을 보장하고, 따라서 파인 피치 장치를 테스트할 수 있는 가능성을 보장하기 위해, 가이드 구멍이 형성된 가이드의 두께의 국부적인 단차부를 구현하는 함몰부(recessed portion)에 의해 접촉 프로브와 각 가이드 구멍 사이의 마찰을 감소시키는 것이다. 다음에서 명백히 설명되는 것과 같이, 이 해결책은 혼합된 피치 장치를 테스트하는 경우에 특히 유용하다.

이 해결책 아이디어에 기초하여, 기술적인 문제는 테스트중인 장치의 작동을 테스트하기 위한 수직형 프로브를 갖는 테스트 헤드에 의해 해결되며, 테스트 헤드는 복수의 접촉 프로브를 포함하고, 각각의 접촉 프로브는 제1 단부 및 제2 단부 사이에서 연장되고 서로 평행하고 굽힘 영역에 의해 이격되는 하나 이상의 플레이트형 하부 가이드 및 플레이트형 상부 가이드에 형성된 각각의 가이드 구멍에 수용되며, 상기 하부 가이드 및 상부 가이드 중 하나 이상은 복수의 이들 가이드 구멍에서 형성되고 복수의 이들 가이드 구멍의 두께를 줄이기 위한 단차부를 구현하는 하나 이상의 함몰부를 갖추고 있다.

함몰부는 파인 피치 장치의 하나 이상의 영역의 테스트를 위해 감소된 직경을 갖는 접촉 프로브에서만 형성될 수 있다는 것이 강조된다.

특히, 본 발명은 필요에 따라 개별적으로 또는 조합하여 취한 다음의 추가적 및 선택적 특성을 포함한다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 함몰부 및 단차부는 이들 단차부가 형성된 대응하는 가이드의 두께의 20~80%와 동일한 두께를 가질 수 있다.

특히, 함몰부 및 단차부의 두께는, 접촉 프로브가 슬라이딩하는 복수의 이들 가이드 구멍의 두께를 80㎛ 내지 150㎛ 사이, 바람직하게는 100㎛의 값으로 감소시키기에 적합한 값을 가질 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 하부 및 상부 가이드 모두는 각각의 함몰부로 인해 각각의 단차부가 제공된 가이드 구멍을 포함할 수 있다.

또한, 테스트 헤드는 테스트중인 장치의 제1 신호 영역의 접촉 패드를 테스트하기 위한 제1 복수의 접촉 프로브 및 테스트중인 장치의 제2 전력 영역의 접촉 패드를 테스트하기 위한 제2 복수의 접촉 프로브를 포함할 수 있고, 제1 영역의 접촉 패드는 제2 영역의 접촉 패드의 피치보다 낮은 피치를 갖는다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 제1 영역의 접촉 패드는 제2 영역의 접촉 패드보다 작은 직경을 가질 수 있다.

또한, 본 발명의 또 다른 측면에 따르면, 제1 복수의 접촉 프로브는 제 2 복수의 접촉 프로브의 프로브 직경보다 작은 프로브 직경을 가질 수 있으며, 직경은 접촉 프로브의 단면, 또한 비-원형 단면의 최대 가로 치수를 의미한다.

특히, 제1 복수의 접촉 프로브는 제2 복수의 접촉 프로브에 의해 전달되는 신호, 특히 전력 신호보다 낮은 전류 값을 갖는 신호, 특히 입력/출력 신호를 전달할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 제2 복수의 접촉 프로브는 5000㎛보다 짧은 길이의 몸체를 가질 수 있고, 몸체에 길이 방향으로 형성된 하나 이상의 개구 또는 비-관통 그루브를 포함할 수 있다.

또한, 함몰부에 형성된 복수의 이들 가이드 구멍은 테스트 헤드에 수용된 나머지 접촉 프로브보다 낮은 피치를 갖는 테스트중인 장치 영역의 접촉 패드를 테스트하기 위한 접촉 프로브를 수용할 수 있으며, 그 영역은 파인 피치 영역으로 표시된다.

테스트 헤드는 하부 가이드 또는 상부 가이드와 관련된 하나 이상의 중간 가이드를 더 포함할 수 있다; 특히, 중간 가이드는 이들 가이드 사이의 스페이서 부재 및 연결 부재로서 작용하기 위해, 하부 중간 가이드와 하부 가이드 사이에 배치된 적절한 링크 프레임에 의해 하부 가이드에 연결되는 하부 중간 가이드일 수 있고, 및/또는 이들 가이드 사이의 스페이서 부재 및 연결 부재로서 또한 작용하기 위해, 상부 가이드와 중간 상부 가이드 사이에 배치된 적절한 추가적인 링크 프레임에 의해 상부 가이드에 연결되는 상부 중간 가이드일 수 있다.

이 경우, 중간 가이드는 중간 가이드 자체의 가이드 구멍에 단차부를 구현하는 하나 이상의 함몰부를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 이들 가이드들 중 하나 이상은, 적절하게 서로 일체화되고 그들에 의해 형성된 하나 이상의 이들 가이드의 두께보다 낮은 각각의 두께를 갖는 하나 이상의 제1 및 제2 플레이트형 부재에 의해 형성될 수 있고, 제1 플레이트형 부재는 개구가 제공되고, 제2 플레이트형 부재는 가이드 구멍이 제공되며, 상기 개구는 상기 가이드 구멍에서 단차부를 구현하는 함몰부에 대응한다.

본 발명의 다른 측면에 따르면, 테스트 헤드는 서로 다른 두께를 갖는 복수의 함몰부를 포함할 수 있다.

테스트 헤드는 또한 이들 가이드 구멍을 커버하도록 구성된 가이드의 하나 이상의 코팅층을 더 포함할 수 있다.

특히, 코팅층은 낮은 마찰 계수를 갖는, 예를 들어 테프론(Teflon) 및 파릴렌(Parylene)으로부터 선택된 물질로 제조될 수 있다.

본 발명에 따른 테스트 헤드의 특성 및 이점은 첨부된 도면을 참조하여 비-제한적인 예로서 주어진 실시 예의 다음의 설명으로부터 명백해질 것이다.

첨부의 도면에서:
도 1은 종래 기술에 따라 구현된 테스트 헤드의 개략도이다.
도 2는 적어도 한 쌍의 가이드 및 적절한 가이드 구멍이 제공되고, 각각의 가이드 구멍은 단차부를 포함하는 테스트 헤드의 개략도이다.
도 3a는 본 발명에 따른 테스트 헤드의 일 실시 예의 개략도이다.
도 3b 및 도 4a 내지 4b는 본 발명에 따른 테스트 헤드의 대안적인 실시 예의 개략도이다.
도 5a 및 도 5b는 도 3a의 테스트 헤드의 가이드의 각각의 개략적인 단면도이다.
도 6a 내지 6b 및 도 7a 내지 7b는 본 발명에 따른 테스트 헤드의 또 다른 대안적인 실시 예의 개략도이다.

이들 도면들을 참조하면, 본 발명에 따라 구현된 테스트 헤드가 설명되며, 테스트 헤드는 전체적으로 20으로 표시된다.

도면은 개략도를 나타내며, 도면은 일정한 비율로 그려진 것이 아니라, 본 발명의 중요한 특징을 강조하기 위해 그려져 있음을 유의해야 한다. 또한, 도면들에서, 원하는 형상에 따라 그 형상이 변할 수 있기 때문에, 상이한 부분들은 개략적으로 도시된다.

도 2에 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 일반적으로 복수의 접촉 프로브를 포함하며, 각각의 접촉 프로브는 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 접촉하기 쉬운 하나 이상의 접촉 단부를 갖는다. 설명의 간략화 및 명료성을 위해, 하나의 접촉 프로브(21)만이 도시되어 있으며, 이 프로브는 미리 설정된 길이를 갖는 로드형 몸체(21C)를 포함하고, 용어 길이는 뒤틀림 없는 형상에서 몸체(21C)의 종 방향 치수를 의미한다.

각각의 접촉 프로브(21)는 또한 하나 이상의 제1 및 제2 단부, 특히 몸체(21C)에 인접한 접촉 팁(21A) 및 접촉 헤드(21B)를 포함한다.

도 2의 예에서, 테스트 헤드(20)는 소위 이동된 플레이트 유형이고, 평평하고 서로 평행하며 복수의 접촉 프로브가 그 내부에 슬라이딩 가능하게 수용된 각각의 가이드 구멍(22A 및 23A)이 마련된 하나 이상의 하부 플레이트형 지지부 또는 하부 가이드[하부 다이](22) 및 하나 이상의 상부 플레이트형 지지부 또는 상부 가이드[상부 다이](23)을 포함하며, 간략화를 위해 하나의 프로브만이 도면에 도시된다.

특히, 도 2의 예에서, 테스트 헤드(20)는 또한 고정되지 않은 프로브 유형이고, 접촉 프로브(21)는 테스트중인 장치(24)의 하나 이상의 접촉 패드(24A) 상에 접촉하는 접촉 팁(21A) 및 공간 트랜스포머(25)의 하나 이상의 접촉 패드(25A) 상에 접촉하는 접촉 헤드(21B)를 갖는다.

하부(22) 및 상부(23) 가이드는 실질적으로 평평하고 서로 평행하며, 뿐만 아니라 테스트중인 장치(24)와 공간 트랜스포머(25)에 평행하고, 간격 또는 굽힙 영역(29)을 한정하도록 이격된다.

이들 하부 (22) 및 상부(23) 가이드는 또한 접촉 프로브(21)를 수용하고 테스트 헤드(20)의 작동 중에, 즉 접촉 팁(21A) 및 접촉 헤드(21B)가 테스트중인 장치(24) 및 공간 트랜스포머(25)의 접촉 패드(24A 및 25A) 상에 각각 가압 접촉하는 동안 슬라이딩을 허용하기에 적합한 각각의 가이드 구멍(22A 및 23A)이 제공된다.

도 2를 다시 참조하면, 가이드 중 하나 이상은 가이드 구멍에서 단차부(26A)를 갖는다. 이러한 단차부(26A)는 접촉 프로브(21)와 접촉하는 가이드 구멍의 두께를 감소시키고 따라서 종래 기술과 관련하여 설명된 마찰 문제를 감소시키도록 구성된다.

각각의 가이드 구멍에 대응하는 이들 단차부(26A)의 구현은 정밀하고 복잡한 제조 기술의 사용을 분명히 암시한다.

본 발명에 따라 유리하게는, 도 3a에 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는, 이하에 상세하게 설명되는 바와 같이, 특히 테스트중인 장치의 파인 피치 영역에 사용되는, 각각의 접촉 프로브(21)를 수용하는 복수의 가이드 구멍에서 구현되는 함몰부(27)를 포함한다. 이러한 방식으로, 함몰부(27)는 이들 가이드 구멍의 국부적인 단차부(26A)를 구현한다. 도 3a에서 순전히 예로서 도시된 실시 예에서, 함몰부(27)는 하부 가이드(22)에서 구현된다; 특히 파인 피치 영역에서 사용되는 접촉 프로브(21)를 수용하는 복수의 가이드 구멍을 포함하도록, 상부 가이드(23) 또는 두 가이드 모두에서 함몰부(27)를 구현하는 것이 가능하다.

보다 상세하게는, 각각의 국부적인 단차부(26A)는 함몰부(27)의 존재로 인해 하부 가이드(22)에 형성된 가이드 구멍(22A)에서 구현된다. 또한, 두께(S1)를 갖는 가이드를 고려하면, 단차부(26A)는 접촉 프로브(21)와 접촉하는 가이드 구멍(22A)의 두께(S3)가 가이드의 두께(S1)보다 작게, 특히 그 두께(S1)의 20~80%와 동일하게 하는, 두께(S1)의 20~80%인 두께(S2)를 갖는다.

예를 들면, 150㎛ 내지 500㎛, 바람직하게는 250㎛의 두께(S1)를 갖는 가이드, 및 30㎛ 내지 400㎛, 바람직하게는 150㎛의 두께(S2)를 갖는 단차부(26A)를 고려할 수 있다. 이러한 방식으로, 접촉 프로브(21)와 접촉하는 가이드 구멍(22A)의 두께(S3)는 또한 30㎛ 내지 400㎛, 바람직하게는 100㎛이다.

바람직한 실시 예에서, 함몰부(27)는 단차부(26)의 존재로 인해 접촉 프로브(21)와 접촉하는 가이드 구멍(22A)의 두께(S3)가 80㎛ 내지 150㎛ 사이, 바람직하게는 100㎛와 동일한 값을 갖도록 구현된다. 따라서, 함몰부(27) 및 이에 따라 단차부(26A)의 두께(S2)의 값은 함몰부(27)가 구현되는 가이드의 두께(S1)와 두께(S3)의 바람직한 값들 사이의 차이로서 계산된다.

이러한 방식으로, 각각의 가이드 구멍과의 높은 마찰력으로 인한 테스트 헤드(20)의 기능성 및 그 안에 포함된 접촉 프로브(21)의 슬라이딩에 부정적인 영향을 미치지 않으면서, 20㎛ 내지 50㎛, 바람직하게는 20㎛ 내지 30㎛ 범위의 직경을 갖는 프로브, 즉 소위 파인 피치 장치를 테스트하기 위해 통상적으로 사용되는, 즉, 또한 전체 어레이 구성에서, 즉 매트릭스로 배열된 패드로, 100㎛ 미만, 바람직하게는 40㎛ 내지 100㎛의 피치를 갖는 접촉 패드를 구비하는 프로브에 대해서도, 프로브와 구멍 사이의 공차 값을 6~10㎛로 감소시키는 것이 가능하다는 것을 입증하는 것이 가능하다. 이하에서, 직경이라는 용어는 프로브의, 또한 비-원형인 것의 최대 가로 치수를 의미한다.

이와 관련하여, 다른 한편으로는, 원하는 값으로 감소된 두께를 갖는 전체 가이드, 예를 들어 100㎛에 해당하는 두께(S1)를 갖는 하부 가이드(22)를 사용할 수 없다는 것이 강조된다. 그러한 가이드는 제조되는 동안 파손의 문제를 갖는 것 이외에도, 전체적으로 테스트 헤드(20)에 충분한 기계적 견고성을 실제로 보장할 수 없다.

가이드의 두께는 가이드 구멍에서만 접촉 프로브 (21)의 슬라이딩 마찰을 감소 시키는데 유용한 값 S3까지 낮아지고, 가이드의 전체 두께(S1)는 필요한 기계적 견고성을 보장한다.

가이드는 또한 상이한 두께(S2)를 갖는 복수의 함몰부(27)를 포함할 수 있고, 이에 따라 두께(S3)에 대해 상이한 값을 갖는 가이드 구멍의 각각의 그룹을 구현한다.

양 가이드 모두에 함몰부를 갖는 테스트 헤드(20)를 구현하는 것도 가능하다.

특히, 도 3b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 따라서 상부 가이드(23)에서 구현되는 가이드 구멍(23A)에서도 단차부(26B)를 구현하는 다른 함몰부(27B)를 포함할 수 있다.

이 경우에도, 함몰부(27B) 및 따라서 단차부(26B)는 상부 가이드(23)의 두께(S'1)의 20~80%의 두께(S'2)를 가지며, 접촉 프로브(21)에 접촉하는 가이드 구멍(23A)의 두께 (S'3)가 가이드의 두께(S'1)보다 낮은 값, 특히 그 두께(S'1)의 20~80%와 같도록 유도한다. 상부 가이드(23)의 이들 두께(S'1, S'2 및 S'3) 값의 범위는 하부 가이드(22)의 대응하는 두께(S1, S2 및 S3)에 대해 도시된 것과 같을 수 있으며, 두 개의 가이드의 대응하는 두께는 응용에 따라 동일하거나 상이한 값을 갖는다.

도 4a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 상이한 피치를 갖는 영역을 갖는 집적 장치를 테스트하기 위한 테스트 헤드(20)를 구현하기 위해 도시된 수단을 사용할 수 있다.

실제로, 집적 회로를 구현하는 데 사용된 가장 최신의 기술 발전으로 인해 장치 자체의 서로 다른 영역에서 다른 상대 거리 또는 피치를 갖는 접촉 패드의 2차원 어레이를 갖는 장치를 구현할 수 있다는 것이 알려져 있다. 보다 구체적으로, 상이한 피치를 갖는 이들 영역은 상이한 신호를 취급하기 위해 전용 된, 상이한 치수를 갖는 접촉 패드를 보통 포함한다.

이 경우, 테스트중인 장치에서 신호 영역이라 불리는 하나 이상의 제1 영역을 식별하는 것이 가능하며, 여기서 접촉 패드는 최대 횡단 치수 또는 직경 및 전력 영역이라고 불리는 제 2 영역의 패드보다 작은 상대 중심 간의 거리를 갖고, 여기서 패드는 더 크고 서로 더 멀리 떨어져 있다. 일반적으로, 제1 신호 영역에서, 0.5A 부근의 전류 값을 갖는 입력/출력 신호가 처리되고, 반면에 제2 전력 영역에서, 1A 부근의 더 높은 전류 값을 갖는 전원 신호가 처리된다. 특히, 제1 영역은 파인 피치 영역일 수 있다.

도 4a에 도시된 바와 같이, 이 경우 테스트 헤드(20)는 제1 신호 영역을 테스트하기 위한 제1 복수의 접촉 프로브(21) 및 제2 전력 영역을 테스트하기 위한 제2 복수의 접촉 프로브(21')를 포함하고, 제1 신호 영역에 대한 세 개의 접촉 프로브(21)와 제2 전력 영역에 대한 하나의 접촉 프로브(21') 만이 비-제한적인 예로서 도면에 도시된다. 특히, 각각의 신호 접촉 프로브(21)는 전력 접촉 프로브(21') 중 하나보다 작은 횡단면, 특히 횡단 직경을 갖는다.

전술한 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 신호 접촉 프로브(21)를 수납하는 각각의 제1 가이드 구멍(22A, 23A)과, 전력 접촉 프로브(21')를 수용하는 제2 가이드 구멍(22B, 23B)이 제공된, 하부 가이드(22) 및 상부 가이드(23)를 포함한다. 전력 접촉 프로브(21')는 또한 테스트중인 장치(24) 및 공간 트랜스포머(25)의 접촉 패드(24B 및 25B) 상에 각각 접촉하기 쉬운 하나 이상의 접촉 팁(21'A) 및 접촉 헤드(21'B)를 포함한다.

본 발명에 따라 유리하게, 하나 이상의 가이드, 도시된 예에서 하부 가이드(22)는, 더 작고 가장 가까운 접촉 패드를 테스트하도록 의도되고 이런 이유로 접촉 프로브(21)와 가이드 구멍(22A) 사이의 높은 마찰로 인해 끼이기 쉬운, 신호 접촉 프로브(21)의 가이드 구멍(22A)에서만 복수의 단차부(26A)를 구현하는 하나 이상의 함몰부(27)를 갖는다. 함몰부(27)는 불필요한 가이드의 약화를 피하고 가공을 줄이도록, 더 필요한 부위에서만 구현된다. 실제로, 함몰부(27)에 포함된 국부적인 단차부(26A), 및 가이드의 결과적인 두께 감소는 주목할만한 치수, 특히 30mm x 30mm 이상의 치수를 가질 수 있는 가이드 자체의 연장에 대해 제한적으로 연장된 부분에만 영향을 미친다는 것이 강조된다.

또한, 장치의 접촉 패드상에서 신호 접촉 프로브(21)의 직경보다 더 큰 직경을 갖는 전력 접촉 프로브(21')의 접촉 팁의 가압 접촉은 프로브 또는 패드 자체의 파손을 유발할 정도로 높지 않도록 보장되는 것이 또한 중요하다는 점도 강조된다.

이 문제는 소위 짧은 프로브, 즉 제한된 길이를 갖는 로드형 몸체를 가진 프로브 및 특히 치수가 5000㎛ 미만인 프로브의 경우에 특히 중요하다. 이러한 유형의 프로브는, 예를 들어 프로브의 감소된 길이가 관련된 셀프-인덕턴스 현상을 제한하는 고주파 응용에 사용된다. 특히, "고주파 응용"이라는 용어는 100MHz보다 높은 주파수를 갖는 신호를 전달할 수 있는 프로브를 의미한다.

그러나, 이 경우, 프로브 몸체의 감소된 길이는 프로브 자체의 강성을 크게 증가시키고, 예를 들어 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에서 각 접촉 팁에 의해 가해지는 힘을 증가시키게 되며, 이는 피해야 할 상황인 이들 패드의 파손을 초래하고 테스트중인 장치를 돌이킬 수 없게 손상시킬 수 있다. 보다 위험한 방식으로, 몸체 길이의 감소로 인한 접촉 프로브의 강성의 증가는 프로브 자체의 파손 위험을 증가시킨다.

도 4b에 도시된 대안적인 실시 예에 따르면, 각각의 전력 접촉 프로브(21')는 그 몸체를 따라 길이 방향으로, 실질적으로 그 전체 길이에 걸쳐, 접촉 헤드(21'B) 및 접촉 팁(21'A)에 배치된 각각의 단부 사이에서 전력 접촉 프로브(21')의 몸체를 따라 실질적으로 커트 형태로 연장되는 개구(30)를 적절하게 포함한다.

이러한 방식으로, 전력 접촉 프로브(21')의 강성이 상당히 감소되어, 몸체가 고주파 응용에 적합하게 감소된 치수를 갖는 때에도, 그의 몸체를 파손시키는 위험을 감소시키거나 또는 심지어 상쇄시킨다. 또한, 전력 접촉 프로브(21')는 개구(30) 없이 동일한 치수를 갖는 공지된 접촉 프로브에 대해 테스트중인 장치의 접촉 패드 상에 보다 적은 힘을 가하는 것이 확인된다.

적절하게는, 전력 접촉 프로브(21')는 또한 하나 이상의 충진 물질, 특히 폴리머 물질을 포함하며, 이는 개구(30)에서 접촉 프로브(21')의 몸체의 강화 구조를 구현하여 개구(30)의 단부에서 균열 또는 파손의 발생을 감소 또는 방지함으로써, 접촉 프로브(21')의 작동 수명을 현저하게 증가시키고 따라서 이를 포함하는 시험 헤드(20)의 수명을 현저하게 증가시킨다.

대안적으로, 충진 물질은 개구(30)를 채우고 또한 접촉 프로브(21') 전체를 코팅하도록 구현될 수 있다. 전력 접촉 프로브(21')의 대안적인 실시 예에 따르면, 서로 실질적으로 평행한 복수의 개구를 구현하는 것이 가능하다.

다른 실시 예에 따르면, 각각의 전력 접촉 프로브(21')는 개구(30) 대신, 비-관통 그루브를 대안적으로 포함할 수 있고, 그루브는 그러나 프로브 자체의 강성을 감소시켜 파손의 위험을 줄일 수 있다. 또한, 비-관통 그루브는 충진 및 보강 물질, 특히 폴리머 물질로 채워질 수 있으며, 될 수 있는 한 전체 접촉 프로브(21') 또한 코팅하도록 구현된다.

명백하게, 특히 높은 두께의 가이드의 경우, 전력 접촉 프로브(21')를 수용하는 가이드 구멍에서도 함몰부 및 대응하는 단차부를 제공하는 것이 유용하게 응용되는 것이 가능하다. 이 경우, 전력 접촉 프로브(21')의 가이드 구멍에서의 단차부의 두께보다 큰 두께를 갖는 단차부를 신호 접촉 프로브(21)의 가이드 구멍에 제공하여, 이들 단차부에 의해 가이드 자체가 약화되는 것을 제한할 수 있다.

또한, 예를 들어 신호 접촉 프로브(21)의 일부에만 대응할 수 있는 테스트중인 장치(24)의 파인 피치 영역에만 함몰부를 제공하는 것이 가능하다.

각각의 상부 및 단면도에 따라 도 5a 및 5b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 하부 가이드(22)는, 전술한 바와 같이, 특히 파인 피치 영역에서 사용되는 접촉 프로브(21)를 수용하기 위한 복수의 가이드 구멍(22A)을 차례로 포함하는 함몰부(27)를 포함한다. 이러한 방식으로, 함몰부(27)는 그 안에 포함된 각각의 가이드 구멍(22A)에서 단차부(26A)를 구현한다. 하부 가이드(22)는 또한 함몰부(27) 외부의 다른 가이드 구멍, 예를 들어 파인 피치 영역 외부에서 사용되는 전력 접촉 프로브(21')를 수용하기 위한 가이드 구멍(22B)을 포함할 수 있다.

명백하게, 신호 접촉 프로브(21)를 수용하기에 적합한 다른 가이드 구멍을 갖는 하부 가이드(22)를 구현하는 것이 가능할 것이다.

또한, 하부 가이드(22) 및/또는 상부 가이드(23)를 구현하기 위해 다수의 가이드를 사용하는 것이 공지되어있다. 이 경우, 이 테스트 헤드는 이중 하부 및/또는 이중 상부 가이드를 갖는 테스트 헤드(20)로 지칭되고, 추가 가이드는 중간 또는 가운데 가이드라고 불린다.

특히, 도 6a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 적절한 링크 프레임(28)에 의해 하부 가이드(22)에 링크된, 하부 중간 가이드(220)를 포함할 수 있으며, 프레임은 하부 중간 가이드(220) 및 하부 가이드(22) 사이에 배치되어 가이드 사이의 연결 부재 및 스페이서 부재로서 작용한다.

이 경우, 하부 중간 가이드(220)는 또한 각각의 가이드 구멍(220A)에서 단차부(260A)를 구현하는 함몰부(270)를 포함할 수 있다.

유사하게, 테스트 헤드(20)는 적절한 추가 링크 프레임(28')에 의해 상부 가이드(23)에 연결되는 상부 중간 가이드(230)를 포함하고, 또한 프레임은 상부 가이드(23) 및 상부 중간 가이드(230) 사이에 배치되어 가이드 사이의 연결 부재 및 스페이서 부재로서 작용한다.

유사하게, 상부 중간 가이드(230)는 각각의 가이드 구멍(230A)에서 단차부(260B)를 구현하는 함몰부(270B)를 포함할 수 있다.

도 6b에 개략적으로 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 또한 함몰부(270B)가 제공된 상부 중간 가이드(230) 및 함몰부(270)가 제공된 하부 중간 가이드(220) 모두를 포함할 수 있다.

본 발명의 다른 대안적인 실시 예에 따르면, 이들 가이드를 구현하기 위해 다층 구조를 사용함으로써, 접촉 프로브(21)를 수용하는 가이드(22 및/또는 23)에 함몰부가 제공된 테스트 헤드(20)를 구현하는 것 또한 가능하다.

특히, 도 7a에 개략적으로 도시된 바와 같이, 테스트 헤드(20)는 적절하게 서로 일체화된, 특히 중첩되어 서로 접착되고, 이들에 의해 형성된 하부 가이드(22)의 두께(S1)보다 낮은 각각의 두께(S2 및 S3)를 갖는 하나 이상의 제1 및 제2 플레이트형 부재(31 및 32)에 의해 형성되는 하나 이상의 가이드, 예를 들어 하부 가이드(22)를 포함한다.

또한, 제1 플레이트형 부재(31)는 제2 플레이트형 부재(32)에서 구현되는 가이드 구멍(22A)의 직경보다 큰 크기를 갖는 개구를 포함하고, 이 개구는 제1 및 제2 플레이트형 부재(31 및 32)가 중첩되고 하부 가이드(22)를 형성할 때 함몰부(27)에 대응하고, 따라서 가이드 구멍(22A)은, 전술한 바와 같이, 함몰부(27)로 인한 단차부(26A)가 제공되며, 함몰부(27) 및 단차부(26A)는 하부 가이드(22)의 제1 플레이트형 부재(31)의 두께(S2)와 동일한 치수를 갖는다.

유사하게, 상부 가이드(23)는 적절하게 서로 일체화된, 특히 중첩되어 서로 접착되고, 이들에 의해 형성된 상부 가이드(23)의 두께(S'1)보다 낮은 각각의 두께(S'2 및 S'3)를 갖는 하나 이상의 제1 및 제2 플레이트형 부재(33 및 34)에 의해 차례로 형성될 수 있다.

이 경우에도, 제1 플레이트형 부재(33)는, 제2 플레이트형 부재(34)에서 구현된 가이드 구멍(23A)의 직경보다 큰 크기를 갖는 개구를 포함하고, 이 개구는 제1 및 제2 플레이트형 부재(33 및 34)가 중첩되고 상부 가이드(23)를 형성할 때 함몰부(27B)에 대응하고, 따라서 상부 가이드(23)의 가이드 구멍(23A)은, 전술한 바와 같이, 함몰부(27B)로 인한 단차부(26B)가 제공되고, 함몰부(27B)와 단차부(26B)는 상부 가이드(23)의 제1 플레이트형 부재(33)의 두께(S'2)와 동일한 치수를 갖는다.

도 7a에 도시된 예에서, 하부 가이드(22) 및 상부 가이드(23) 모두는 상술한 바와 같이, 각각의 플레이트형 부재에 의해 형성된다.

하부 중간 가이드(220) 및/또는 상부 중간 가이드(230)를 포함하도록 테스트 헤드(20)를 구현하는 것 또한 가능하며, 하나 또는 둘 모두가 각각의 플레이트형 부재에 의해 형성된다.

비 한정적인 예로서 도 7b에 도시된 예에서, 테스트 헤드(20)는 서로 접착되고 함몰부(27)에 대응하는 개구, 및 각각의 가이드 구멍(22A)이 제공되는, 플레이트형 부재(31 및 32)에 의해 형성되는 하부 가이드(22)를 포함하며, 하부 가이드(22)는 서로 접착되고 함몰부(270)에 대응하는 개구, 및 각각의 가이드 구멍(220A)이 제공되는, 플레이트형 부재(310 및 320)에 의해 차례로 형성된 하부 중간 가이드(220)에 연결되고, 테스트 헤드(20)는 뿐만 아니라 서로 접착되고 함몰부(27B)에 대응하는 개구, 및 각각의 가이드 구멍(23A)이 제공되는, 플레이트형 부재(33 및 34)에 의해 형성되는 상부 가이드(23)를 포함하며, 상부 가이드(23)는 서로 접착되고 함몰부(270B)에 대응하는 개구, 및 각각의 가이드 구멍(230A)이 제공되는, 플레이트형 부재(330 및 340)에 의해 차례로 형성된 상부 중간 가이드(230)에 연결되고, 따라서 함몰부(27,27B, 270, 270B)는 이들 가이드 구멍(22A, 23A, 220A, 230A)에서 단차부(26A, 26B, 260A, 260B)를 각각 구현한다.

도면에 도시되지 않은 일 실시 예에서, 테스트 헤드(20)는 또한 그 안에 구현되는 가이드 구멍을 코팅하기에 적합한 가이드의 하나 이상의 코팅층을 더 포함한다.

특히, 마찰 계수가 낮고 두께가 0.5㎛ 내지 3㎛인 물질로 만들어진 코팅층을 고려할 수 있다. 바람직하게는, 그 물질은 자체-윤활 물질, 즉 윤활 없는 낮은 마찰 계수를 갖는 물질로 알려진 테프론 및 파릴렌으로부터 선택된다.

결론적으로, 본 발명에 따라 구현된 테스트 헤드는 특히 파인 피치 또는 혼합 피치 응용에서의 사용에 적합한 성능 및 동작 특성을 갖는 것으로 입증되었다.

치수가 작고 서로 근접한 프로브의 가이드 구멍에서 단차부를 구현하는 함몰부를 이용함으로써, 가이드 구멍에서 프로브의 너무 큰 마찰로 인한 슬라이딩 문제를 감소시킬 수 있다. 프로브와 가이드 구멍 사이의 마찰의 이러한 감소는 프로브와 각각의 가이드 구멍 사이의 접촉이 발생함에 따라 감소된 두께에 필수적으로 연관된다.

적합하게는, 멀티-피치 장치를 테스트하기 위한 테스트 헤드는, 예를 들어 보다 큰 치수 및 피치를 갖는 접촉 패드가 있는 전력 영역에 대해 더 큰 치수를 갖는 접촉 프로브, 및 보다 작은 치수 및 피치를 갖는 접촉 패드가 있는 장치의 신호 영역에서, 함몰부로 인해 국부적인 단차부가 제공된 가이드 구멍에 수용되고 보다 작은 치수를 갖는 접촉 프로브를 포함하며, 모든 프로브가 동일한 길이를 갖는다.

국부적인 단차부는 그들이 내부에 구현된 가이드의 견고성에 크게 부정적인 영향을 미치지 않는다.

국부적으로 하강된 구멍을 갖는 가이드의 사용은 또한 경제적 측면에서 바람직하다. 그러나, 대안적으로, 함몰부에 대응하여 단차부가 제공되는 가이드 구멍을 구현하기 위해, 감소된 두께를 갖는 적어도 한 쌍의 플레이트형 부재를 사용할 수 있고, 감소된 두께를 갖는 이들 플레이트형 부재는 불행히도 비용을 증가시키는 가공 중 파손 문제를 가지며, 초기 비용이 이미 더 높은 두께의 가이드보다 높다.

가이드 구멍에 국부적인 단차부를 제공하는 가이드의 함몰부는 어떤 가이드 레벨(상부 다이, 하부 다이, 중간 것)을 위해서도 사용될 수 있음이 또한 강조된다.

또한, 개구 또는 비-관통 그루브가 제공된 프로브를 사용하여, 이들 프로브의 몸체 크기가 5000㎛보다 작은 길이로 감소되므로, 그들을 포함하는 테스트 헤드가 고주파 응용, 특히 100 MHz 이상의 주파수에 적합하게 만들 수 있다.

특히, 접촉 프로브의 몸체에 커트형 개구의 존재는 이들 프로브의 강성을 감소시키고, 프로브 자체가 파손될 가능성을 대폭 감소시키며, 동시에 각각의 접촉 팁에 의해 가해지는 압력의 적절한 감소를 보장하여, 테스트중인 장치의 접촉 패드의 파손 가능성을 방지할 수 있다.

테스트 헤드 내부의 마찰력의 감소는, 개별 부품의 연장된 작동 수명뿐만 아니라, 그 작동의 향상을 야기하며, 결과적으로 비용 절감을 가져온다는 것이 강조되어야 한다.

또한, 본 발명에 따라 유리하게, 함몰부의 구현이 단일 단차부의 구현보다 간단하기 때문에, 테스트 헤드의 제조 공정이 크게 단순화된다.

상기 고려 사항은 본원에서 설명되지 않았지만 본 발명의 목적인 다른 실시 예, 예를 들어 함몰부 또는 하부 가이드 및/또는 상부 가이드와 관련되지 않은 중간 가이드가 제공되는, 함몰부가 제공되는 경우에도, 상부 가이드만 포함하는 테스트 헤드에 대해서도 적용된다. 또한, 일 실시 예에서 채택된 수단은 다른 실시 예에서도 채택될 수 있고 2 이상이 서로 자유롭게 결합될 수 있다.

명백하게, 상술한 테스트 헤드에 대해, 특정하고 구체적인 요구를 충족시키기 위해, 당업자는 다음의 청구 범위에 의해 한정된 본 발명의 보호 범위에 포함되는 몇 가지 변경 및 변형을 할 수 있을 것이다.

Claims (18)

1. 테스트중인 장치(24)의 작동을 테스트하기 위한 수직형 프로브를 구비한 테스트 헤드(20)로서,
   상기 테스트 헤드는 복수의 접촉 프로브(21)를 포함하고,
   각각의 접촉 프로브(21)는 제1 단부 및 제2 단부(21A, 21B) 사이에서 연장되는 미리 결정된 길이의 로드형 몸체를 갖고, 하나 이상의 플레이트형 하부 가이드(22)에 형성된 하부 가이드 구멍(22A) 및 하나 이상의 플레이트형 상부 가이드(23)에 형성된 상부 가이드 구멍(23A) 각각에 수용되며, 상기 하부 가이드(22) 및 상기 상부 가이드(23)는 서로 평행하며 굽힘 영역(29)에 의해 이격되고,
   상기 하부 가이드(22) 및 상부 가이드(23) 사이의 적어도 하나에는 하나 이상의 대응하는 함몰부(27, 27B)가 구비되고,
   상기 하부 가이드(22)가 제1 복수의 상기 하부 가이드 구멍(22A)을 포함하고 상기 제1 복수의 상기 하부 가이드 구멍(22A)의 두께를 감소시키는 대응하는 단차부(26A)를 구현하는 하나 이상의 함몰부(27)를 구비하되, 제2 복수의 상기 하부 가이드 구멍(22B)은 상기 하부 가이드(22)의 상기 함몰부(27) 외측에 구현되거나,
   상기 상부 가이드(23)가 제1 복수의 상기 상부 가이드 구멍(23A)을 포함하고 상기 제1 복수의 상기 상부 가이드 구멍(23A)의 두께를 감소시키는 대응하는 단차부(26B)를 구현하는 하나 이상의 함몰부(27B)를 구비하되, 제2 복수의 상기 상부 가이드 구멍(23B)은 상기 상부 가이드(23)의 상기 함몰부(27B) 외측에 구현되며,
   상기 함몰부(27, 27B)에서 형성된 상기 제1 복수의 상기 가이드 구멍(22A, 23A)은 상기 제2 복수의 가이드 구멍(22B, 23B)에 수용된 접촉 프로브(21') 보다 낮은 피치를 갖는 테스트 중인 상기 장치(24)의 영역의 접촉 패드(24A)를 테스트 하기 위한 접촉 프로브(21)를 수용하고, 상기 영역은 파인 피치 영역으로 표시되는, 테스트 헤드(20).
2. 청구항 1에 있어서,
   상기 함몰부(27, 27B) 및 상기 단차부(26A, 26B)는 상기 단차부(26A, 26B)가 형성되는 대응하는 가이드(22, 23)의 두께(S1, S'1)의 20~80%와 동일한 두께(S2, S'2)를 갖는, 테스트 헤드(20).
3. 청구항 2에 있어서,
   상기 함몰부(27, 27B) 및 상기 단차부(26A, 26B)의 상기 두께(S2, S'2)는 상기 접촉 프로브(21)가 슬라이딩하는, 상기 복수의 가이드 구멍(22A, 23A)의 두께(S3, S'3)를 80㎛ 내지 150㎛ 사이로 감소시키는 값을 갖는, 테스트 헤드(20).
4. 청구항 1에 있어서,
   상기 하부 및 상부 가이드(22,23) 모두는 각각의 단차부(26A, 26B)가 제공된 복수의 가이드 구멍(22A, 23A) 각각을 포함하는 각각의 함몰부(27, 27B)를 구비하는, 테스트 헤드(20).
5. 청구항 1에 있어서,
   상기 테스트중인 장치(24)의 제1 신호 영역의 접촉 패드(24A)를 테스트하기 위한 제1 복수의 접촉 프로브(21) 및 상기 테스트중인 장치(24)의 제2 전력 영역의 접촉 패드(24B)를 테스트하기 위한 제2 복수의 접촉 프로브(21')를 포함하고,
   상기 제1 신호 영역의 상기 접촉 패드(24A)는 상기 제2 전력 영역의 상기 접촉 패드(24B)의 피치보다 낮은 피치를 갖는, 테스트 헤드(20).
6. 청구항 5에 있어서,
   상기 제1 신호 영역의 상기 접촉 패드(24A)는 상기 제2 전력 영역의 상기 접촉 패드(24B)보다 작은 직경을 갖는, 테스트 헤드(20).
7. 청구항 5에 있어서,
   상기 제1 복수의 상기 접촉 프로브(21)는 상기 제2 복수의 상기 접촉 프로브(21')의 직경보다 작은 직경을 갖고,
   직경은 상기 접촉 프로브(21)의 단면, 또한 비-원형 단면의 최대 횡단 치수를 의미하는, 테스트 헤드(20).
8. 청구항 5에 있어서,
   상기 제1 복수의 상기 접촉 프로브(21)는 상기 제2 복수의 상기 접촉 프로브(21')에 의해 전달되는 신호보다 낮은 전류 값을 갖는 신호를 전달하는, 테스트 헤드(20).
9. 청구항 8에 있어서,
   상기 제1 복수의 상기 접촉 프로브(21)는 입력/출력 신호를 전달하고, 상기 제2 복수의 상기 접촉 프로브(21')는 전력 신호를 전달하는, 테스트 헤드(20).
10. 청구항 5에 있어서,
    상기 제2 복수의 상기 접촉 프로브(21')는 5000㎛보다 짧은 길이의 몸체를 갖고, 하나 이상의 개구(30) 또는 상기 몸체에서 종 방향으로 형성된 비-관통 그루브를 포함하는, 테스트 헤드(20).
11. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부 가이드(22) 또는 상기 상부 가이드(23)과 연결되는 하나 이상의 중간 가이드(220, 230)를 포함하는, 테스트 헤드(20).
12. 청구항 11에 있어서,
    상기 중간 가이드는,
    하부 중간 가이드(220)와 상기 하부 가이드(22) 사이에 배치되어 상기 가이드들(220, 22) 사이에서 연결 부재 및 스페이서 부재로서 작용하는, 링크 프레임(28)에 의해 상기 하부 가이드(22)에 연결되는 상기 하부 중간 가이드(220) 및
    상기 상부 가이드(23)와 상부 중간 가이드(230) 사이에 배치되어 상기 가이드들(23, 230) 사이에서 연결 부재 및 스페이서 부재로서 작용하는, 추가 링크 프레임(28')에 의해 상기 상부 가이드(23)에 연결되는 상기 상부 중간 가이드(230) 중 적어도 어느 하나인, 테스트 헤드(20).
13. 청구항 11에 있어서,
    상기 중간 가이드(220, 230)는 상기 중간 가이드(220, 230)의 복수의 가이드 구멍(220A, 230A)을 포함하고 대응하는 단차부(260A, 260B)를 구현하는 하나 이상의 함몰부(270, 270B)를 포함하는, 테스트 헤드(20).
14. 청구항 11에 있어서,
    하나 이상의 상기 가이드들(22, 23, 220, 230)은, 서로 일체화되고 그들에 의해 형성된 상기 하나 이상의 상기 가이드들(22, 23, 220, 230)의 두께(S1, S'1)보다 낮은 각각의 두께(S2, S'2, S3, S'3)을 갖는 하나 이상의 제1 및 제2 플레이트형 부재(31,32; 33,34; 310,320; 330,340)에 의해 형성되며,
    상기 제1 플레이트형 부재(31; 33; 310; 330)은 개구(27, 27B, 270, 270B)가 제공되고,
    상기 제 2 플레이트형 부재(32, 34; 320; 340)는 가이드 구멍(22A, 23A, 220A, 230A)이 제공되고,
    상기 개구(27, 27B, 270, 270B)는 상기 가이드 구멍(22A, 23A, 220A, 230A)에서 단차부(26A, 26B, 260A, 260B)를 구현하는 함몰부에 대응하는, 테스트 헤드(20).
15. 청구항 11에 있어서,
    하나 이상의 상기 가이드들(22, 23, 220, 230)은 서로 다른 두께를 갖는 복수의 함몰부(27, 27B)를 포함하는, 테스트 헤드(20).
16. 청구항 14에 있어서,
    상기 가이드 구멍(22A, 23A, 220A, 230A)을 커버하는 상기 가이드들(22, 23, 220, 230)의 하나 이상의 코팅층을 더 포함하는, 테스트 헤드(20).
17. 청구항 16에 있어서,
    상기 코팅층은 테프론 및 파릴렌으로부터 선택되는 물질로 제조되는, 테스트 헤드(20).
18. 청구항 1에 있어서,
    상기 하부 가이드(22) 및 상부 가이드(23)는 적어도 하나의 상기 함몰부(27, 27B)를 구비하는, 테스트 헤드(20).