IT202000017539A1 - Sonda di contatto per testa di misura - Google Patents

Description

DESCRIZIONE

Campo di applicazione

La presente invenzione fa riferimento a una sonda di contatto per una testa di misura.

L'invenzione riguarda in particolare, ma non esclusivamente, una sonda di contatto per una testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici integrati su wafer e la descrizione che segue ? fatta con riferimento a questo campo di applicazione con il solo scopo di semplificarne l'esposizione.

Arte nota

Come ? ben noto, una testa di misura [probe head] ? essenzialmente un dispositivo atto a mettere in collegamento elettrico una pluralit? di piazzole di contatto di una microstruttura, in particolare un dispositivo elettronico integrato su wafer, con corrispondenti canali di una macchina di misura che ne esegue la verifica di funzionalit?, in particolare elettrica, o genericamente il test.

Il test effettuato su dispositivi integrati serve in particolare a rilevare e isolare dispositivi difettosi gi? in fase di produzione. Normalmente, le teste di misura vengono quindi utilizzate per il test elettrico dei dispositivi integrati su wafer prima del taglio e del montaggio degli stessi all'interno di un package di contenimento di chip.

Una testa di misura comprende normalmente un elevato numero di elementi di contatto o sonde di contatto [contact probe] formate da fili di leghe speciali con buone propriet? elettriche e meccaniche e dotate di almeno una porzione di contatto per una corrispondente pluralit? di piazzole [pad] di contatto di un dispositivo da testare.

Una testa di misura del tipo comunemente denominata a sonde verticali e indicata con il termine anglosassone "vertical probe head" comprende essenzialmente una pluralit? di sonde di contatto trattenute da almeno una coppia di piastre o guide sostanzialmente piastriformi e parallele tra loro. Tali guide sono dotate di appositi fori e poste ad una certa distanza fra loro in modo da lasciare una zona libera o zona d'aria per il movimento e l?eventuale deformazione delle sonde di contatto. La coppia di guide comprende in particolare una guida superiore e una guida inferiore, entrambe provviste di rispettivi fori guida entro cui scorrono assialmente le sonde di contatto.

Il buon collegamento fra le sonde di contatto della testa di misura e le piazzole di contatto del dispositivo da testare ? assicurato dalla pressione della testa di misura sul dispositivo stesso, le sonde di contatto, mobili entro i fori guida realizzati nelle guide superiore e inferiore, subendo, in occasione di tale contatto premente, una flessione all'interno della zona d'aria tra le due guide e uno scorrimento all?interno di tali fori guida.

Inoltre, la flessione delle sonde di contatto nella zona d?aria pu? essere aiutata tramite una opportuna configurazione delle sonde stesse o delle loro guide, come illustrato schematicamente in figura 1, dove per semplicit? di illustrazione ? stata rappresentata una sola sonda di contatto della pluralit? di sonde normalmente comprese in una testa di misura, la testa di misura illustrata essendo del tipo cosiddetto a piastre shiftate.

In particolare, la testa di misura 10 illustrata in figura 1 comprende almeno una piastra o guida superiore 12 e una piastra o guida inferiore 13, aventi rispettivi fori guida superiore 12A e inferiore 13A entro i quali scorre almeno una sonda di contatto 1.

La sonda di contatto 1 presenta almeno un?estremit? o punta di contatto 1A. Con i termini estremit? o punta si indica qui e nel seguito una porzione d?estremit?, non necessariamente appuntita. In particolare la punta di contatto 1A va in battuta su una piazzola di contatto 15A di un dispositivo da testare 15 integrato su un wafer semiconduttore 15?, effettuando il contatto meccanico ed elettrico fra il dispositivo da testare e una apparecchiatura di test (non rappresentata) di cui tale testa di misura forma un elemento terminale.

In alcuni casi le sonde di contatto sono vincolate in maniera fissa alla testa di misura in corrispondenza della guida superiore: si parla, in tal caso, di teste di misura a sonde bloccate.

In alternativa, le sonde di contatto possono non essere vincolate in maniera fissa all?interno della testa di misura, ma tenute interfacciate ad una board mediante una microcontattiera: si parla di teste di misura a sonde non bloccate. La microcontattiera ? chiamata usualmente "space transformer" dal momento che, oltre al contatto con le sonde, consente anche di ridistribuire spazialmente le piazzole di contatto su di essa realizzate, rispetto alle piazzole di contatto presenti sul dispositivo da testare, che sono invece legate alla tecnologia d?integrazione, in particolare con un allentamento dei vincoli di distanza tra i centri delle piazzole stesse.

In questo caso, come illustrato in figura 1, la sonda di contatto 1 presenta un'ulteriore punta di contatto 1B, nella pratica indicata come testa di contatto, verso una pluralit? di piazzole di contatto 16A di un tale space transformer 16. Il buon contatto elettrico tra sonde e space transformer viene assicurato in maniera analoga al contatto con il dispositivo da testare mediante la pressione delle teste di contatto 1B delle sonde di contatto 1 sulle piazzole di contatto 16A dello space transformer 16.

Come gi? spiegato, le guide superiore 12 ed inferiore 13 sono opportunamente distanziate da una zona d'aria 17 che consente la deformazione delle sonde di contatto 1 e assicura il contatto di punta e testa di contatto delle sonde di contatto 1 con le piazzole di contatto del dispositivo da testare 15 e dello space transformer 16, rispettivamente. Il materiale che realizza la sonda di contatto 1 ? scelto in modo da conferire alla sonda la necessaria elasticit? e da consentire la deformazione elastica, indicata anche come flessione, durante il testing.

In alcune applicazioni, il testing dei dispositivi integrati non viene effettuato su strutture sostanzialmente planari, quali le piazzole di contatto, ma in corrispondenza di strutture tridimensionali di contatto, nella forma di palline di materiale conduttivo, indicate come bump, o cilindretti metallici, in particolare in rame, indicati come pillar, che aggettano a partire da una superficie del dispositivo da testare.

Sono in tal caso preferibilmente utilizzate particolari sonde di contatto, usualmente indicate come pogo pin, illustrate schematicamente in figura 2.

Un pogo pin 20 comprende essenzialmente un corpo 20C nella forma di un cilindro esteso secondo un asse di sviluppo longitudinale del pogo pin 20, corrispondente all?asse z del riferimento locale della figura 2, a partire dalle cui estremit? si estendono due porzioni terminali, indicate, analogamente a prima, come punta di contatto 20A e testa di contatto 20B del pogo pin 20. Come in precedenza, la punta di contatto 20A ? destinata ad andare in battuta su un dispositivo da testare, in particolare in corrispondenza ad un bump o ad un pillar di tale dispositivo, mentre la testa di contatto 20B ? destinata ad andare in battuta su una board che realizza il contatto con una apparecchiatura di test.

Opportunamente, il corpo 20C del pogo pin 20 comprende almeno un alloggiamento 25A per un elemento a molla 25 connesso alla punta di contatto 20A, che ? realizzata in corrispondenza di una apertura 20D del corpo 20C del pogo pin 20 ed ? in grado di muoversi all?interno di tale corpo 20C a seguito della spinta esercitata su di essa dal dispositivo da testare durante il testing, quando la punta di contatto 20A ? in appoggio premente su un bump o un pillar di tale dispositivo da testare.

Per garantire un corretto collegamento elettrico tra i pogo pin e le strutture tridimensionali di contatto dei dispositivi da testare, in particolare bump e pillar, ? noto realizzare una porzione terminale 22 della punta di contatto 20A del pogo pin 20 in modo da presentare uno o pi? elementi aggettanti, quali una pluralit? di spuntoni, come illustrato schematicamente in figura 2. Forme di questo tipo sono usualmente indicate come ?a corona? [crown] e sono utilizzate per assicurare una parziale penetrazione della punta di contatto 20A del pogo pin 20 all?interno del materiale che realizza le strutture tridimensionali di contatto, quali bump o pillar, cos? da migliorare il desiderato contatto elettrico con tali elementi.

Altre forme pi? o meno complesse sono utilizzate per realizzare la porzione terminale 22, sempre nell?ottica di assicurarne una parziale penetrazione all?interno del materiale delle strutture tridimensionali di contatto, quali bump e pillar. E? inoltre possibile utilizzare i pogo pin anche per il contatto con piazzole di contatto di dispositivi da testare, ad esempio nel caso sia opportuno assicurare una penetrazione della punta di contatto 20A in strati di ossidi o comunque sporcizia che possono formarsi superficialmente su tali piazzole e quindi garantire l?effettivo contatto tra la porzione terminale 22 della punta di contatto 20A del pogo pin 20 e la vera e propria piazzola di contatto del dispositivo da testare.

Tali particolari forme delle punte di contatto dei pogo pin nonch? il meccanismo di funzionamento per penetrazione nel materiale che realizza le strutture tridimensionali di contatto oppure lo strato che riveste le piazzole di contatto favoriscono tuttavia il trattenimento di materiale da parte della porzione terminale di tali pogo pin, che necessitano quindi di regolari e frequenti operazioni di pulizia, che ? come ben noto ? sono solitamente effettuate mediante tocco [touch] su panni abrasivi e comportano un consumo parziale dei materiali in contatto con il panno abrasivo, ovvero di tali porzioni terminali della punte di contatto dei pogo pin.

Risulta tuttavia molto limitato il numero di tali operazioni di pulizia a cui un pogo pin pu? essere sottoposto prima di un grave deterioramento delle sue prestazioni. Infatti, le forme particolari utilizzate per la punta di contatto, ovvero la presenza di uno o pi? elementi, quali una pluralit? di spuntoni, in grado di penetrare nel materiale che realizza le strutture tridimensionali di contatto oppure che ricopre le piazzole di contatto, non presentano una sezione costante lungo l?asse di sviluppo longitudinale z del pogo pin e perdono la loro efficacia velocemente quanto il tocco su panno abrasivo pian piano le consuma.

Tali particolari forme della porzione terminale delle punte di contatto dei pogo pin, che presentano una sezione non costante lungo l?asse z, comportano talvolta una disuniformit? di contatto con le strutture tridimensionali di contatto o con le piazzole di contatto, che, fin dal primo funzionamento, pu? inficiare il corretto collegamento elettrico tra pogo pin e dispositivo da testare.

Il problema tecnico della presente invenzione ? quello di escogitare una sonda di contatto avente almeno una porzione terminale in corrispondenza della sua punta di contatto dotata di una forma in grado di garantirne la penetrazione all?interno del materiale che realizza elementi tridimensionali di contatto o strati che rivestono piazzole di contatto di un dispositivo da testare e in grado di sopportare numerose operazioni di pulizia, in costanza di prestazioni, cos? da superare le limitazioni e gli inconvenienti che tuttora affliggono le sonde di contatto realizzate secondo l'arte nota.

Sommario dell'invenzione

L'idea di soluzione che sta alla base della presente invenzione ? quella di realizzare una sonda di contatto avente una punta di contatto dotata di almeno un elemento aggettante perimetralmente rispetto ad una sua porzione di base cos? da definire almeno una parte cava in tale punta di contatto e consentire una agevolata penetrazione di tale punta di contatto in strutture di contatto di un dispositivo da testare, quali strutture tridimensionali tipo bump o pillar, oppure strutture planari quali pad eventualmente ricoperti da strati superficiali di ossidi o sporcizie.

Sulla base di tale idea di soluzione il problema tecnico ? risolto da una sonda di contatto per una testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una porzione di corpo estesa lungo un asse di sviluppo longitudinale tra rispettive porzioni di estremit? atte a realizzare un contatto con opportune strutture di contatto, caratterizzata dal fatto che almeno una porzione di estremit? comprende un elemento aggettante perimetralmente a partire da una porzione di base della porzione di estremit? atto a definire una parte cava che ha una base in corrispondenza di una superficie della porzione di base ed ? circondata dall?elemento aggettante perimetralmente, tale elemento aggettante perimetralmente essendo atto a penetrare nelle strutture di contatto.

Pi? in particolare, l?invenzione comprende le seguenti caratteristiche supplementari e facoltative, prese singolarmente o all?occorrenza in combinazione.

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, l?elemento aggettante perimetralmente pu? estendersi in modo continuo in corrispondenza dell?intera circonferenza della porzione di estremit? della sonda di contatto.

L?elemento aggettante perimetralmente pu? in particolare estendersi in modo discontinuo in corrispondenza di una circonferenza della porzione di estremit? della sonda di contatto e comprendere una pluralit? di singoli elementi aggettanti.

Secondo questo aspetto dell?invenzione, i singoli elementi aggettanti possono essere realizzati in corrispondenza di pareti laterali della porzione di estremit? della sonda di contatto.

In particolare, i singoli elementi aggettanti possono essere realizzati in corrispondenza di spigoli della porzione di estremit? della sonda di contatto.

I singoli elementi aggettanti possono essere a forma di L e realizzati in corrispondenza di spigoli e in modo da estendersi lungo pareti contigue della porzione di estremit? della sonda di contatto.

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, l?elemento aggettante perimetralmente pu? comprendere una pluralit? di singoli elementi aggettanti realizzati in corrispondenza di pareti laterali della porzione di estremit? della sonda di contatto e/o una pluralit? di singoli elementi aggettanti realizzati in corrispondenza di spigoli della porzione di estremit? della sonda di contatto e/o una pluralit? di singoli elementi aggettanti a forma di L e realizzati in corrispondenza di spigoli e in modo da estendersi lungo pareti contigue della porzione di estremit? della sonda di contatto.

Ulteriormente, secondo un altro aspetto dell?invenzione, la porzione di estremit? pu? essere realizzata in un unico materiale, preferibilmente un materiale metallico.

In alternativa, la porzione di estremit? pu? essere realizzata mediante un multistrato composto da una pluralit? di strati conduttivi, di uno stesso materiale metallico o di diversi materiali metallici.

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, gli strati conduttivi della pluralit? di strati conduttivi possono avere altezze diverse in corrispondenza dell?elemento aggettante perimetralmente.

In particolare, gli strati conduttivi possono avere altezze via via crescenti, rispettivamente decrescenti in direzione della parte cava.

Secondo un ulteriore aspetto dell?invenzione, almeno uno strato degli strati conduttivi pu? essere realizzato con un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza di un primo materiale conduttore che forma i rimanenti strati conduttivi della porzione di estremit?.

In particolare, tale almeno uno strato pu? sporgere rispetto ai rimanenti strati conduttivi della porzione di estremit?, ad esempio di una altezza avente valore tra 2 ?m e 50 ?m

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, la base della parte cava della porzione di estremit? pu? avere una forma irregolare, preferibilmente comprendente rilievi.

Inoltre, l?elemento aggettante perimetralmente pu? avere uno spessore che varia tra 5 ?m e 30 ?m.

Secondo un altro aspetto ancora dell?invenzione, l?elemento aggettante perimetralmente pu? avere una dimensione secondo l?asse di sviluppo longitudinale che varia tra 10 ?m e 200 ?m, preferibilmente pari a 15-80% di una dimensione secondo tale asse di sviluppo longitudinale della porzione di estremit?.

Inoltre, la sonda di contatto pu? avere una sezione quadrata avente lato compreso tra 10 ?m e 80 ?m.

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, la porzione di estremit? comprende, in corrispondenza dell?elemento aggettante perimetralmente, almeno un rivestimento di un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza di un primo materiale conduttore che forma la porzione di estremit?.

In particolare, il primo materiale conduttore pu? essere un metallo o una lega metallica scelto tra nickel o una sua lega, rame o una sua lega, palladio o una sua lega, cobalto o una sua lega, pi? preferibilmente palladio-cobalto e il secondo materiale conduttore pu? essere un metallo o una lega metallica scelto tra rodio o una sua lega, platino o una sua lega, iridio o una sua lega metallica, pi? preferibilmente rodio.

Secondo un altro aspetto dell?invenzione, il rivestimento pu? essere disposto in corrispondenza della parte cava definita nella porzione di estremit? dall?elemento aggettante perimetralmente.

Opportunamente, la sonda di contatto pu? essere scelta tra una sonda verticale oppure una sonda pogo pin.

Inoltre, la porzione di estremit? pu? essere una punta di contatto atta a contattare una struttura di contatto di un dispositivo da testare.

Tale struttura di contatto pu? essere una struttura tridimensionale di contatto, preferibilmente un bump o un pillar, oppure una struttura planare di contatto, preferibilmente un pad di contatto eventualmente rivestito da uno strato di ossido o sporcizia.

Il problema tecnico ? altres? risolto da una testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una pluralit? di sonde di contatto realizzate come sopra indicato.

Le caratteristiche ed i vantaggi della sonda di contatto secondo l'invenzione risulteranno dalla descrizione, fatta qui di seguito, di un suo esempio di realizzazione dato a titolo indicativo e non limitativo con riferimento ai disegni allegati.

Breve descrizione dei disegni

In tali disegni:

- la Figura 1 mostra schematicamente una testa di misura a sonde verticali realizzata secondo la tecnica nota;

- la Figura 2 mostra schematicamente una sonda verticale di tipo pogo pin realizzata secondo la tecnica nota;

- la Figure 3 mostra schematicamente una forma di realizzazione di una sonda di contatto secondo la presente invenzione, in una visione parziale in prospettiva;

- le Figure 4A-4D, 5A-5D, 6, 7A-7B, 8A-8B, 9A-9C, 10A10C e 11A-11C mostrano schematicamente in prospettiva varianti di realizzazione di una sonda di contatto secondo la presente invenzione; e

- le Figure 12A-12B e 13A-13B mostrano schematicamente in sezione ulteriore varianti di realizzazione di una sonda di contatto secondo la presente invenzione.

Descrizione dettagliata

Con riferimento a tali figure, ed in particolare alla Figura 3, viene descritta una sonda di contatto per una testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici integrati su wafer, complessivamente indicata con 30.

E' opportuno notare che le figure rappresentano viste schematiche della sonda di contatto secondo l?invenzione e non sono disegnate in scala, essendo invece disegnate in modo da enfatizzare le caratteristiche importanti dell?invenzione. Nelle figure, i diversi pezzi sono rappresentati in modo schematico, la loro forma potendo variare a seconda dell?applicazione desiderata.

In particolare, come visto in relazione alla tecnica nota, la sonda di contatto 30 ? utilizzata per realizzare un collegamento elettrico tra un dispositivo da testare integrato su wafer ed una apparecchiatura di test, non illustrati in figura, e comprende una porzione di corpo 30C e rispettivamente una prima porzione di estremit? 30A ed una seconda porzione di estremit? 30B che vengono indicate abitualmente come una punta di contatto 30A destinata ad andare in battuta su una struttura di contatto del dispositivo da testare e una testa di contatto 30B, destinata ad interfacciarsi con una board atta a realizzare il contatto con l?apparecchiatura di test.

La sonda di contatto 30 pu? essere una sonda di contatto verticale oppure una sonda di tipo pogo pin; essa si estende sostanzialmente lungo un asse di sviluppo longitudinale HH disposto come l?asse z del riferimento locale della figura 3 e presenta preferibilmente, come nell?esempio illustrato, una sezione rettangolare.

In una forma di realizzazione, la porzione di corpo 30C ha una dimensione longitudinale LC, ovvero secondo l?asse HH, compresa tra 70 ?m e 7000 ?m, la punta di contatto 30A ha una dimensione longitudinale LA compresa tra 12 ?m e 1000 ?m e la testa di contatto 30B ha una dimensione longitudinale LB compresa tra 20 ?m e 2000 ?m.

Secondo un aspetto dell?invenzione, almeno una porzione di estremit? della sonda di contatto 30, in particolare la punta di contatto 30A comprende una porzione di base 31 ed un elemento aggettante perimetralmente 32 a partire da tale porzione di base 31. Risulta cos? definita nella punta di contatto 30A una parte cava 34 avente una base 33 in corrispondenza di una superficie superiore (secondo il riferimento locale della figura) della porzione di base 31 e circondata dall?elemento aggettante perimetralmente 32.

In particolare, l?elemento aggettante perimetralmente 32 si estende a partire dalla base 33, ovvero dalla porzione di base 31, secondo l?asse di sviluppo longitudinale HH della sonda di contatto 30 in direzione opposta rispetto alla porzione di corpo 30C, per una dimensione longitudinale L1 compresa tra 10 ?m e 150 ?m, ovvero pari a 15-85% della dimensione longitudinale LA della punta di contatto 30A. Lungo tale asse HH, ovvero secondo la direzione dell?asse z del riferimento locale della figura, sono quindi disposte in successione e in modo contiguo l?una all?altra la porzione di corpo 30C, la porzione di base 31 e l?elemento aggettante perimetralmente 32. In una forma preferita, come illustrato nelle figure, la sonda di contatto 30 ha una sezione quadrata avente lato D compreso tra 10 ?m e 80 ?m.

Proprio l?elemento aggettante perimetralmente 32 realizza la porzione atta a contattare una struttura di contatto di un dispositivo da testare, non rappresentato. Una tale struttura di contatto pu? essere una piazzola o pad di contatto, ovvero una struttura sostanzialmente planare, oppure una struttura tridimensionale, quale ad esempio un bump o un pillar.

Opportunamente, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? in grado di penetrare, almeno parzialmente una struttura tridimensionale di contatto, nonch? un eventuale strato superficiale di una struttura planare di contatto, quale uno strato di ossido o di sporcizia che ricopre un pad di contatto, in tal modo garantendo il corretto contatto elettrico tra la sonda di contatto 30 e il dispositivo da testare.

Sostanzialmente la punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 comprendente l?elemento aggettante perimetralmente 32 ha la forma di una cannuccia, nell?esempio in figura a sezione quadrata. E? ovviamente possibile realizzare la sonda di contatto 30 e la sua punta di contatto 30A con sezione diversa, quale una sezione circolare o rettangolare a seconda delle esigenze.

Prove effettuate dalla richiedente stessa hanno messo in luce una eccellente capacit? penetrativa della punta di contatto 30A grazie all?elemento aggettante perimetralmente 32, oltre ad un ridotto accumulo di materiale all?interno della parte cava 34 a seguito delle operazioni di testing, in particolare di strutture tridimensionali di contatto.

E? altres? opportuno sottolineare il fatto che l?elemento aggettante perimetralmente 32 che forma la vera e propria porzione di contatto della punta di contatto 30A presenta una sezione costante lungo l?asse longitudinale HH, che viene sostanzialmente mantenuta inalterata nel tempo anche dopo operazioni di pulizia realizzate ad esempio mediante touch su panno abrasivo. La sonda di contatto 30 pu? essere quindi sottoposta a numerose operazioni di pulizia, in costanza di prestazioni, presentando quindi una lunga vita utile.

Opportunamente, secondo la forma di realizzazione illustrata in Figura 3, l?elemento aggettante perimetralmente 32 si estende in corrispondenza dell?intera circonferenza o perimetro della sonda di contatto 30, in particolare della sua punta di contatto 30A, ovvero percorre tutte le sue pareti laterali, in modo continuo nella forma sostanzialmente di un anello, di sezione quadrata secondo l?esempio illustrato in figura.

Sono possibili diverse varianti di realizzazione per l?elemento aggettante perimetralmente 32, come ad esempio illustrato nelle Figure 4A-4D che mostrano solamente la punta di contatto 30A della sonda di contatto 30.

In particolare, secondo una prima forma di realizzazione illustrata in Figura 4A, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? nella forma di un anello continuo, che si aggetta a partire dalla porzione di base 31 percorrendone l?intera circonferenza e definisce al suo interno una parte cava 34 della punta di contatto 30A, in maniera sostanzialmente corrispondente a quanto illustrato in Figura 3.

Secondo una variante di realizzazione, schematicamente illustrata in Figura 4B, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? interrotto, in particolare in corrispondenza delle porzioni d?angolo. In tal modo, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? composto da una pluralit? di singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza delle pareti della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 ed estendentesi solo per un tratto di tali pareti, non comprendenti le porzioni d?angolo. In una forma preferita, come illustrato in Figura 4B, i singoli elementi aggettanti 32a-32d si estendono in corrispondenza di una porzione centrale delle pareti laterali della punta di contatto 30A e hanno dimensioni trasversali Lt sostanzialmente uguali tra loro, realizzando un elemento aggettante perimetralmente 32 sostanzialmente simmetrico. E? ovviamente possibile realizzare i singoli elementi aggettanti 32a-32d con dimensioni trasversali diverse e posizionati in maniera qualsivoglia lungo le pareti laterali della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30. E? altres? possibile prevedere un elemento aggettante perimetralmente 32 che comprenda singoli elementi aggettanti in corrispondenza solamente di alcune ma non tutte le pareti laterali della punta di contatto 30A, eventualmente anche in corrispondenza di due sole pareti, contigue o opposte tra loro.

Secondo un?ulteriore variante, schematicamente illustrata in Figura 4C, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? parimenti interrotto, in particolare in corrispondenza di porzioni centrali delle pareti laterali della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30. In tal modo, l?elemento aggettante perimetralmente 32 ? composto da una pluralit? di singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza degli spigoli della punta di contatto 30A. In una forma preferita, come illustrato in Figura 4C, i singoli elementi aggettanti 32a-32d hanno sezione quadrata di pari area. E? altres? possibile, realizzare i singoli elementi aggettanti 32a-32d con sezioni diverse per forma o dimensioni, ad esempio rettangolari, oppure prevedere un elemento aggettante perimetralmente 32 che comprenda singoli elementi aggettanti in corrispondenza solamente di alcuni ma non tutti gli spigoli della punta di contatto 30A, eventualmente anche in corrispondenza di due soli spigoli, contigui o opposti tra loro.

In alternativa, come schematicamente illustrato in Figura 4D, l?elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto comprende singoli elementi aggettanti 32a-32b nella forma di L posizionate in corrispondenza di spigoli della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30. Nell?esempio di figura, i singoli elementi aggettanti 32a e 32b sono nella forma di L aventi due bracci della stessa lunghezza ed estendentesi oltre la met? di due contigue pareti laterali della punta di contatto 30A, tali elementi essendo in numero di due e disposti in corrispondenza di contrapposti spigoli. E? altres? possibile realizzare i singoli elementi aggettanti 32a-32b nella forma di L con due bracci di lunghezze diverse o prevedere un numero di singoli elementi aggettanti a forma di L maggiore di due, ad esempio quattro singoli elementi aggettanti a forma di L in corrispondenza dei quattro spigoli della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30.

Inoltre, ? possibile prevedere una combinazione delle diverse varianti dell?elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto illustrate nelle Figure 4B-4D, ad esempio formato da singoli elementi aggettanti disposti sia in corrispondenza delle pareti laterali dalla punta di contatto 30A sia in corrispondenza dei suoi spigoli, combinando le varianti di realizzazione illustrate nelle Figure 4B e 4C, nella forma di merli di un castello. E? altres? possibile realizzare l?elemento aggettante perimetralmente 32 in modo da comprendere singoli elementi aggettanti sia in corrispondenza delle pareti laterali della punta di contatto 30A sia come elementi a L in corrispondenza dei suoi spigoli combinando le varianti di realizzazione illustrate nelle Figure 4B e 4D.

Possono essere previste altre varianti di realizzazione con un numero diverso di singoli elementi aggettanti, di forma o disposizione simmetrica o asimmetrica, comunque realizzati in corrispondenza di una porzione perimetrale della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30, a formare l?elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto.

Si sottolinea che l?elemento aggettante perimetralmente 32 nelle diverse varianti di realizzazione illustrate, anche quando interrotto, ? in grado di definire al suo interno una parte cava 34 della punta di contatto 30A che si estende fino ad una base 33 corrispondente ad una superficie superiore della porzione di base 31 della punta di contatto 30A.

La punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 illustrata nelle Figure 4A-4B ? realizzata secondo un unico materiale. In particolare, la punta di contatto 30A viene realizzata in un primo materiale conduttore che ? un metallo o una lega metallica e pu? essere ad esempio nickel o una sua lega, quali le leghe nickel-manganese, nickel-cobalto o nickel-tungsteno, rame o una sua lega, palladio o una sua lega, cobalto o una sua lega. In una forma preferita dell?invenzione, il primo materiale conduttore ? palladio-cobalto.

In una forma preferita, la punta di contatto 30A viene realizzata di pezzo e nello stesso materiale della porzione di corpo 30C della sonda di contatto 30. E? altres? possibile prevedere un materiale di rivestimento della punta di contatto 30A, quale ad esempio uno strato di copertura realizzato in una lega conduttiva a basso stress interno, quale una lega di nickel, in grado di migliorare le prestazioni meccaniche della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30.

La sonda di contatto 30 pu? anche essere realizzata mediante un multistrato composto da una pluralit? di strati conduttivi, dello stesso o di diversi materiali. In tal caso, anche la punta di contatto 30A ? realizzata da un multistrato, come schematicamente illustrato nelle Figure 5A-5D, corrispondenti alle diverse varianti di realizzazione della punta di contatto 30A delle Figure 4A-4D ed in particolare comprendente un elemento aggettante perimetralmente 32 continuo (Figura 5A) oppure un elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto, del tipo comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza delle pareti laterali della punta di contatto 30A (Figura 5B), oppure comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza degli spigoli della punta di contatto 30A (Figura 5C), oppure comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32b a forma di L (Figura 5D), Si sottolinea che, in tal caso, anche la base 33 comprende una pluralit? di strati, come illustrato nelle Figure 5A-5D, tale base 33 essendo sostanzialmente planare.

E? altres? possibile realizzare la base 33 con una forma irregolare, ad esempio comprendente rilievi, come schematicamente illustrato in Figura 6. Sebbene in tale Figura 6, la punta di contatto 30A, e quindi anche la base 33, sia realizzata a partire da un multistrato, ? altres? possibile ottenere l?andamento irregolare con rilievi della base 33 anche quando la punta di contatto 30A ? realizzata in un unico materiale.

Vantaggiosamente secondo la presente invenzione, ? inoltre possibile realizzare l?elemento aggettante perimetralmente 32, continuo o interrotto, con diversi spessori S1, S2 come illustrato nelle Figure 7A-7B per un elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza delle pareti laterali della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 e nelle Figure 8A-8B per un elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza di spigoli della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30. Negli esempi illustrati nelle Figure, le punte di contatto 30A sono preferibilmente realizzate mediante un multistrato, uno o pi? strati formando anche i singoli elementi aggettanti 32a-32d.

Pi? in particolare, l?elemento aggettante perimetralmente 32 e in particolare i suoi singoli elementi aggettanti 32a-32d possono avere uno spessore che varia tra 5 ?m e 30 ?m.

Ulteriormente vantaggiosamente, ? possibile realizzare l?elemento aggettante perimetralmente 32, continuo o interrotto, con altezze diverse H1-H3 a partire dalla porzione di base 31, come illustrato nelle Figure 9A-9C per un elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza delle pareti laterali della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 e nelle Figure 10A-10C per un elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza di spigoli della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30.

Come visto in precedenza per l?elemento aggettante perimetralmente 32 continuo, anche l?elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto e in particolare i suoi singoli elementi aggettanti 32a-32d possono avere altezze che variano tra 10 ?m e 200 ?m.

Si sottolinea come la possibilit? di realizzare una punta di contatto 30A con un elemento aggettante perimetralmente 32 di altezza considerevole, come illustrato ad esempio nelle Figure 9C e 10C, consente di garantire che tale punta di contatto 30A possa essere sottoposta ad un elevato numero di operazioni di pulizia, in particolare mediante touch su panno abrasivo, prima di rischiare di modificare la sua sezione in corrispondenza dell?area a contatto con la struttura di contatto tridimensionale o planare del dispositivo da testare, assicurando cos? alla sonda di contatto 30 una prolungata vita utile.

Infine, secondo una forma di realizzazione preferita dell?invenzione, la punta di contatto 30A comprende, in corrispondenza dell?elemento aggettante perimetralmente 32, almeno un rivestimento 35 di un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza del primo materiale conduttore che forma la sonda di contatto 30 e quindi la punta di contatto 30A, come schematicamente illustrato nella Figure 11A-11C, per le varianti con elemento aggettante perimetralmente 32 continuo (Figura 11A) o elemento aggettante perimetralmente 32 interrotto, in particolare comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza della pareti laterali della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 (Figura 11B) e comprendente singoli elementi aggettanti 32a-32d disposti in corrispondenza di spigoli della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 (Figura 11C).

Pi? in particolare, il secondo materiale conduttore ? un metallo o una lega metallica e pu? essere rodio o una sua lega, platino o una sua lega, iridio o una sua lega, ad esempio una lega palladiocobalto, una lega palladio-nickel o una lega nickel-fosforo. In una forma preferita dell?invenzione, il secondo materiale conduttore ? rodio.

Opportunamente, tale rivestimento 35 ? disposto in corrispondente dalla parte cava 34 definita nella punta di contatto 30A dall?elemento aggettante perimetralmente 32 continuo o interrotto.

In tal modo, il rivestimento 35 di materiale ad elevata durezza ? in grado, oltre a ritardare il consumo dell?elemento aggettante perimetralmente 32 e quindi allungare la vita utile della sonda di contatto 30, di ridurre l?accumulo di materiale all?interno della parte cava 34 in occasione della penetrazione della punta di contatto 30A in strutture di contatto tridimensionali oppure planari, in particolare in strati superficiali di pad di contatto.

Secondo una variante di realizzazione, la sonda di contatto 30, e in particolare la punta di contatto 30A, realizzata mediante un multistrato composto da una pluralit? di strati conduttivi 36, dello stesso o di diversi materiali, pu? presentare strati di altezze diverse in corrispondenza dell?elemento aggettante perimetralmente 32, con valori crescenti o decrescenti in direzione della parte cava 34.

Pi? in particolare, nelle sezioni illustrate nelle Figure 12A e 12B, corrispondente a una sezione in corrispondenza di un piano ? disposto lungo l?asse di sviluppo longitudinale HH della sonda 30 e passante per il centro di due singoli elementi aggettanti disposti su pareti contrapposte della punta di contatto 30A, come indicato ad esempio in Figura 11B, ciascun singolo elemento aggettante comprende una pluralit?, nell?esempio tre strati conduttivi 36 di differenti altezze, rispettivamente H61, H62 e H63, che possono avere valore via via decrescente a partire dal perimetro esterno verso la parte cava 34, come illustrato in Figura 12A, oppure valore via via crescente, come illustrato in Figura 12B.

Si sottolinea che tale variante di realizzazione della punta di contatto 30A della sonda di contatto 30 secondo la presente invenzione aumenta la capacit? penetrativa del suo elemento aggettante perimetralmente 32, in particolare dei singoli elementi aggettanti 32a-32d e diminuisce la quantit? di materiale residuo indesiderato che si accumula su tale punta di contatto 30A in occasione delle operazioni di testing, in particolare su strutture tridimensionali di contatto.

E? possibile ulteriormente migliorare la capacit? penetrativa della punta di contatto 30A e ridurre eventuale materiale accumulato realizzando almeno lo strato di altezza maggiore del suo elemento aggettante perimetralmente 32, in particolare dei singoli elementi aggettanti 32a-32d, mediante il secondo materiale conduttivo di elevata durezza, in particolare rodio, formando il rivestimento 35 disposto in corrispondenza della parte cava 34, ovvero nel caso di strati conduttivi di altezze via via crescenti, come illustrato nelle Figure 13A e 13B.

Pi? in particolare, lo strato di rivestimento 35 pu? svilupparsi lungo tutta la punta di contatto 30A, come illustrato in Figura 13A (ed eventualmente proseguire anche nel resto della sonda di contatto 30) oppure essere realizzato solo in corrispondenza della parte cava 34, come illustrato in Figura 13B.

Preferibilmente, lo strato di rivestimento 35 ? in questo caso realizzato in modo da sporgere rispetto agli altri strati che formano l?elemento aggettante perimetralmente 32, ovvero i singoli elementi aggettanti 32a-32d, per un valore di altezza H6 che varia da 2 ?m a 50 ?m.

Opportunamente, la punta di contatto 30A pu? essere utilizzata per realizzare una porzione di estremit? di una sonda di contatto verticale oppure di una sonda di tipo pogo pin.

In sostanza, la sonda di contatto avente una punta di contatto dotata di un elemento aggettante perimetralmente assicura un corretto contatto con strutture di contatto di un dispositivo da testare, in particolare strutture tridimensionali di contatto quali bump o pillar ma anche strutture planari di contatto quali pad, in particolare quando ricoperte di strati di ossido o sporcizia che la punta di contatto deve opportunamente penetrare.

Vantaggiosamente, le forme delle punte di contatto comprendenti un tale elemento aggettante perimetralmente hanno sezione costante lungo un asse di sviluppo longitudinale della sonda di contatto stessa e ne garantiscono una costanza di prestazioni anche a seguito di numerose operazioni di testing e pulitura. Opportunamente, tali elementi aggettanti perimetralmente possono avere dimensioni adatte a realizzare una punta ?a consumo? e risultano particolarmente vantaggiosi per realizzare punte di contatto di sonde cosiddette pogo pin.

Si sottolinea inoltre che le punte di contatto comprendenti l?elemento aggettante perimetralmente continuo o discontinuo possono essere inoltre realizzate mediante multistrati di materiali adatti a massimizzare la capacit? di penetrazione della punta stessa nonch? garantire una minimizzazione del trattenimento di materiale, in particolare a seguito della penetrazione nelle strutture tridimensionali di contatto oppure in eventuali strati di ossido presenti strutture planari di contatto, quali i pad del dispositivo da testare. Opportunamente, tali punte di contatto possono altres? essere dotate, in corrispondenza dell?elemento aggettante perimetralmente di un rivestimento di un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza del primo materiale conduttore che forma la sonda di contatto e quindi la punta di contatto, preferibilmente disposto in corrispondente dalla parte cava definita nella punta di contatto, un tale rivestimento ritardando il consumo dell?elemento aggettante perimetralmente e quindi allungando la vita utile della sonda di contatto e consentendo al contempo di ulteriormente ridurre l?accumulo di materiale all?interno della parte cava della punta di contatto in occasione della sua penetrazione in strutture di contatto del dispositivo da testare.

Opportunamente, l?elemento aggettante perimetralmente ovvero i suoi singoli elementi aggettanti possono essere realizzati mediante una pluralit? di strati conduttivi di diverse altezze, lo strato di altezza maggiore essendo preferibilmente realizzato nel secondo materiale conduttore ed essendo disposto in corrispondenza della parte cava cos? da aumentare la capacit? penetrativa di tale elemento aggettante perimetralmente o dei singoli elementi aggettanti che lo compongono, pur limitandone il consumo nel tempo e riducendo l?accumulo di materiale all?interno della parte cava della punta di contatto cos? ottenuta.

Ovviamente alla sonda di contatto sopra descritta un tecnico del ramo, allo scopo di soddisfare esigenze contingenti e specifiche, potr? apportare numerose modifiche e varianti, tutte comprese nell'ambito di protezione dell'invenzione quale definito dalle seguenti rivendicazioni.

Ad esempio, ? possibile combinare diverse delle forme di realizzazione illustrate per avvicinarsi sempre pi? ad una forma tipo corona delle largamente utilizzate punte pogo pin, pur garantendo una sezione costante anche a seguito di touch su panni abrasivi nonch? una riduzione di eventuale materiale trattenuto all?interno della punta di contatto a seguito del testing del dispositivo da testare. In particolare, sarebbe possibile realizzare una punta di contatto dotata di un elemento aggettante perimetralmente comprendente singoli elementi aggettanti posizionati sia in corrispondenza di pareti laterali della sonda di contatto sia in corrispondenza di suoi spigoli, nonch? una base dotata di rilievi.

Ulteriormente, ? possibile realizzare la sonda di contatto mediante un multistrato e realizzare la punta di contatto in un unico materiale o viceversa.

Infine, ? possibile utilizzare una delle forme di realizzazione sopra illustrate per realizzare la testa di contatto della sonda, ovvero la porzione di estremit? atta ad andare in contatto con uno space transformer o genericamente una board per il collegamento con un?apparecchiatura di test.

Claims (25)

RIVENDICAZIONI

1. Sonda di contatto (30) per una testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici comprendente una porzione di corpo (30C) estesa lungo un asse di sviluppo longitudinale (HH) tra rispettive porzioni di estremit? atte a realizzare un contatto con opportune strutture di contatto, caratterizzata dal fatto che almeno una porzione di estremit? (30A) comprende un elemento aggettante perimetralmente (32) a partire da una porzione di base (31) di detta porzione di estremit? (30A) atto a definire una parte cava (34) che ha una base (33) in corrispondenza di una superficie di detta porzione di base (31) ed ? circondata da detto elemento aggettante perimetralmente (32), detto elemento aggettante perimetralmente (32) essendo atto a penetrare in dette strutture di contatto.

2. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento aggettante perimetralmente (32) si estende in modo continuo in corrispondenza dell?intera circonferenza di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30).

3. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 1, caratterizzata dal fatto che detto elemento aggettante perimetralmente (32) si estende in modo discontinuo in corrispondenza di una circonferenza di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30) e comprende una pluralit? di singoli elementi aggettanti (32a-32d).

4. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 3, caratterizzata dal fatto che detti singoli elementi aggettanti (32a-32d) sono realizzati in corrispondenza di pareti laterali di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30).

5. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 3, caratterizzata dal fatto che detti singoli elementi aggettanti (32a-32d) sono realizzati in corrispondenza di spigoli di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30).

6. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 3, caratterizzata dal fatto che detti singoli elementi aggettanti (32a-32b) sono a forma di L e realizzati in corrispondenza di spigoli e in modo da estendersi lungo pareti contigue di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30).

7. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 3, caratterizzata dal fatto che detto elemento aggettante perimetralmente (32) comprende una pluralit? di singoli elementi aggettanti (32a-32d) realizzati in corrispondenza di pareti laterali di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30) e/o una pluralit? di singoli elementi aggettanti (32a-32d) realizzati in corrispondenza di spigoli di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30) e/o una pluralit? di singoli elementi aggettanti (32a-32b) a forma di L e realizzati in corrispondenza di spigoli e in modo da estendersi lungo pareti contigue di detta porzione di estremit? (30A) di detta sonda di contatto (30).

8. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta porzione di estremit? (30A) ? realizzata in un unico materiale, preferibilmente un materiale metallico.

9. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni da 1 a 7, caratterizzata dal fatto che detta porzione di estremit? (30A) ? realizzata mediante un multistrato composto da una pluralit? di strati conduttivi, di uno stesso materiale metallico o di diversi materiali metallici.

10. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 9, caratterizzata dal fatto che detti strati conduttivi (36) di detta pluralit? di strati conduttivi hanno altezze diverse in corrispondenza di detto elemento aggettante perimetralmente (32).

11. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 10, caratterizzata dal fatto che detti strati conduttivi (36) hanno altezze (H61, H62, H63) via via crescenti, rispettivamente decrescenti in direzione di detta parte cava (34).

12. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 10, caratterizzata dal fatto che almeno uno strato (35) di detti strati conduttivi (36) ? realizzato con un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza di un primo materiale conduttore che forma i rimanenti strati conduttivi (36) di detta porzione di estremit? (30A).

13. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 12, caratterizzata dal fatto che detto almeno uno strato (35) sporge rispetto ai rimanenti strati conduttivi (36) di detta porzione di estremit? (30A).

14. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 13, caratterizzata dal fatto che detto almeno uno strato (35) sporge di una altezza (H5) avente valore tra 2 ?m e 50 ?m.

15. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta base (33) di detta parte cava (34) di detta porzione di estremit? (30A) ha una forma irregolare, preferibilmente comprendente rilievi.

16. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto elemento aggettante perimetralmente (32) ha uno spessore che varia tra 5 ?m e 30 ?m.

17. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detto elemento aggettante perimetralmente (32) ha una dimensione (L1) secondo detto asse di sviluppo longitudinale (HH) che varia tra 10 ?m e 200 ?m, preferibilmente pari a 15-80% di una dimensione (LA) secondo detto asse di sviluppo longitudinale (HH) di detta porzione di estremit? (30A).

18. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di avere una sezione quadrata avente lato (D) compreso tra 10 ?m e 80 ?m.

19. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 8, caratterizzata dal fatto che detta porzione di estremit? (30A) comprende, in corrispondenza di detto elemento aggettante perimetralmente (32), almeno un rivestimento (35) di un secondo materiale conduttore avente durezza maggiore di una durezza di un primo materiale conduttore che forma detta porzione di estremit? (30A).

20. Sonda di contatto secondo le rivendicazioni 12 o 19, caratterizzata dal fatto che detto primo materiale conduttore ? un metallo o una lega metallica scelto tra nickel o una sua lega, rame o una sua lega, palladio o una sua lega, cobalto o una sua lega, pi? preferibilmente palladio-cobalto e dal fatto che detto secondo materiale conduttore ? un metallo o una lega metallica scelto tra rodio o una sua lega, platino o una sua lega, iridio o una sua lega metallica, pi? preferibilmente rodio.

21. Sonda di contatto secondo la rivendicazione 19, caratterizzata dal fatto che detto rivestimento (35) ? disposto in corrispondenza di detta parte cava (34) definita in detta porzione di estremit? (30A) da detto elemento aggettante perimetralmente (32).

22. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto di essere scelta tra una sonda verticale oppure una sonda pogo pin.

23. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta porzione di estremit? (30A) ? una punta di contatto (30A) atta a contattare una struttura di contatto di un dispositivo da testare.

24. Sonda di contatto secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti, caratterizzata dal fatto che detta struttura di contatto ? una struttura tridimensionale di contatto, preferibilmente un bump o un pillar, oppure una struttura planare di contatto, preferibilmente un pad di contatto eventualmente rivestito da uno strato di ossido o sporcizia.

25. Testa di misura per un?apparecchiatura di test di dispositivi elettronici caratterizzata dal fatto di comprendere una pluralit? di sonde di contatto (30) realizzate secondo una qualsiasi delle rivendicazioni precedenti.