CN110346616B - 探针卡装置及探针座 - Google Patents

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Abstract

本发明公开一种探针卡装置及探针座，所述探针座包含第一导板、第二导板及穿设于第一导板与第二导板的多个矩形探针。每个矩形探针具有位于第一导板与第二导板之间的形变段及分别自形变段相反两端延伸的第一定位段与第二定位段。多个第一定位段分别位于第一导板的多个第一矩形孔壁内，多个第二定位段分别位于第二导板的多个第二矩形孔壁内。每个第一矩形孔壁与相对应的第二矩形孔壁具有长度偏移及宽度偏移，以压迫于相对应第一定位段与第二定位段，而使形变段受力而呈弯曲且形变状，长度偏移除以宽度偏移的比值介于1～10。

Description

探针卡装置及探针座
技术领域
本发明涉及一种探针卡，尤其涉及一种探针卡装置及探针座。
背景技术
半导体芯片进行测试时，测试设备是通过一探针卡装置而与待测物电性连接，并通过信号传输及信号分析，以获得待测物的测试结果。现有的探针卡装置设有对应待测物的电性接点而排列的多个探针，以通过上述多个探针同时点接触待测物的相对应电性接点。
更详细地说，现有探针卡装置的探针包含有以微机电***(Microelectromechanical Systems，MEMS)技术所制造矩形探针，其外型可依据设计者需求而成形。然而，当所述矩形探针的部分区段在长度方向与宽度方向承受力量而弯曲或形变时，上述矩形探针的受力曲段易产生应力集中而断裂。
于是，本发明人认为上述缺陷可改善，乃特潜心研究并配合科学原理的运用，终于提出一种设计合理且有效改善上述缺陷的本发明。
发明内容
本发明实施例的目的在于提供一种探针卡装置及探针座，其能有效地改善现有探针卡装置所可能产生的缺陷。
本发明实施例公开一种探针卡装置，包括一探针座及一转接板。探针座定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包含有一第一导板、一第二导板及多个矩形探针，第一导板形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；第二导板与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁；其中，多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；多个矩形探针各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间；多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内，多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧，而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；一转接板，抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。
优选地，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。
优选地，所述长度差值介于5微米～35微米，并且所述宽度差值介于5微米～35微米。
优选地，在每个所述矩形探针及其对应的所述第一矩形孔壁中，所述第一定位段顶抵于所述第一外孔缘与所述第一内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上。
优选地，每个所述第二矩形孔壁在所述第二导板的外板面形成有一第二外孔缘并在所述第二导板的内板面形成有一第二内孔缘；在每个所述第二定位段及相对应所述第二外孔缘的一第二横剖面之中，所述第二定位段呈矩形并包含有一第二长度与一第二宽度，并且所述第二长度等于所述第一长度，所述第二宽度等于所述第一宽度；在每个所述矩形探针及其对应的所述第二矩形孔壁中，所述第二定位段顶抵于所述第二外孔缘与所述第二内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上；在每个所述矩形探针中，所述第一定位段所顶抵的所述第一内孔缘的所述角落部位邻近于所述第二定位段所顶抵的所述第二内孔缘的所述角落部位。
优选地，探针卡装置进一步包括有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，并且所述间隔板形成有一容置孔，多个所述形变段彼此间隔地设置于所述间隔板的所述容置孔内。
优选地，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段包含有一限位部，所述限位部邻近于所述第一定位段，并且所述限位部抵顶于所述第一导板的外板面。
优选地，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值进一步限定为介于1～3。
本发明实施例也公开一种探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包括一第一导板、一第二导板及多个矩形探针。第一导板形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；第二导板与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁，并且多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；多个矩形探针各具有一形变段及分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间，多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内；其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10。
优选地，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。
综上所述，本发明实施例所公开的探针卡装置及探针座，通过调整上述长度偏移与宽度偏移，以使矩形探针的形变段能够处于较合适的形变范围内而不易断裂，进而提升探针座(或探针卡装置)的信赖度与使用寿命。进一步地说，当所述探针座(或探针卡装置)的多个第二接触段以一压力抵接于待测物时，本实施例矩形探针的形变段能够通过调整长度偏移与宽度偏移，借以使得承受上述压力的形变段不易产生断裂的情况。
为能更进一步了解本发明的特征及技术内容，请参阅以下有关本发明的详细说明与附图，但是此等说明与附图仅用来说明本发明，而非对本发明的保护范围作任何的限制。
附图说明
图1为本发明探针座的俯视示意图。
图2为图1沿剖线II-II的剖视示意图。
图3为本发明探针卡装置的剖视示意图。
图4为本发明矩形探针与第一导板的的立体剖视示意图(一)。
图5为本发明矩形探针与第一导板的的立体剖视示意图(二)。
图6为本发明矩形探针与第二导板的的立体剖视示意图(一)。
图7为本发明矩形探针与第二导板的的立体剖视示意图(二)。
图8为本发明矩形探针未被第一导板与第二导板压迫时的立体示意图。
图9为本发明矩形探针受到第一导板与第二导板压迫时的立体示意图。
具体实施方式
请参阅图1至图9，其为本发明的实施例，需先说明的是，本实施例对应附图所提及的相关数量与外型，仅用来具体地说明本发明的实施方式，以便于了解本发明的内容，而非用来局限本发明的保护范围。
如图1至图3所示，本实施例公开一种探针卡装置1000，包含有一探针座100以及抵接于上述探针座100一侧(如：图3中的探针座100顶侧)的一转接板200，并且所述探针座100的另一侧(如：图3中的探针座100底侧)能用来测试一待测物(图未示出，如：半导体晶片)。其中，本实施例的探针座100虽是以搭配于所述转接板200作一说明，但所述探针座100的实际应用并不受限于此。
需先说明的是，为了便于理解本实施例，所以附图仅呈现探针卡装置1000的局部构造，以便于清楚地呈现探针卡装置1000的各个组件构造与连接关系。以下将分别介绍所述探针座100的各个组件构造及其连接关系。
为便于说明本实施例，所述探针座100定义有相互垂直的一长度方向L、一宽度方向W及一高度方向H。如图1至图3所示，所述探针座100包含有一第一导板1(upper die)、一第二导板2(lower die)、夹持于上述第一导板1与第二导板2之间的一间隔板3及多个矩形探针4。也就是说，所述第二导板2大致平行于第一导板1，并且本实施例的第二导板2与第一导板1能通过上述间隔板3而在所述高度方向H上呈间隔设置，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述第二导板2与第一导板1也可以通过其他方式而在高度方向H上呈间隔设置。
所述第一导板1形成有呈矩阵状排列的多个第一矩形孔壁11，并且上述每个第一矩形孔壁11包围形成有一贯孔。所述第二导板2形成有呈矩阵状排列的多个第二矩形孔壁21，并且上述每个第二矩形孔壁21也包围形成有一贯孔。其中，上述多个第二矩形孔壁21的位置分别一对一地对应于多个第一矩形孔壁11的位置，并且每个第二矩形孔壁21所形成的贯孔小于上述任一个第一矩形孔壁11所形成的贯孔。
进一步地说，所述每个第一矩形孔壁11的一长壁面以及每个第二矩形孔壁21的一长壁面皆平行于上述长度方向L(如：图1)，并且每个第一矩形孔壁11的一短壁面及每个第二矩形孔壁21的一短壁面皆平行于所述宽度方向W(如：图1)。再者，如图2所示，每个第一矩形孔壁11在上述第一导板1的外板面12形成有一第一外孔缘111并在所述第一导板1的内板面13形成有一第一内孔缘112。而每个第二矩形孔壁21在所述第二导板2的外板面22形成有一第二外孔缘211并在所述第二导板2的内板面23形成有一第二内孔缘212。
如图1和图2所示，上述多个矩形探针4大致呈矩阵状排列，并且多个矩形探针4的一端分别穿出第一导板1的多个第一矩形孔壁11，而多个矩形探针4的另一端分别穿出第二导板2的多个第二矩形孔壁21。也就是说，所述每个矩形探针4是依序穿设于上述第一导板1的相对应第一矩形孔壁11、间隔板3及第二导板2的相对应第二矩形孔壁21。其中，由于所述间隔板3与本发明的改良重点的相关性较低，所以下述不详加说明间隔板3的构造。
所述矩形探针4于本实施例中为可导电且具有可挠性的长条状构造。本实施例探针卡装置1000是限定使用例如是以微机电***(MEMS)技术所制造矩形探针4，所以本实施例是排除制造工序截然不同的圆形探针。换句话说，本实施例的矩形探针4相较于圆形探针来说，由于两个的制造工序截然不同，所以并未有彼此参考的动机存在。
由于本实施例探针座100的多个矩形探针4构造皆大致相同，所以为便于说明，下述先是以单个矩形探针4来介绍其具体构造，但本发明不受限于此。举例来说，在本发明未示出的其他实施例中，所述探针座100的多个矩形探针4也可以是具有彼此相异的构造。
如图1和图2所示，所述矩形探针4具有一形变段41、分别自所述形变段41相反两端(如：图2中的形变段41顶端与底端)延伸的一第一定位段42与一第二定位段43、自所述第一定位段42朝着远离所述形变段41方向(如：朝上)延伸的一第一接触段44及自所述第二定位段43朝着远离所述形变段41方向(如：朝上)延伸的一第二接触段45。
其中，所述形变段41的任一部位具有相同的截面积，也就是说，所述形变段41的外缘未形成有任何凸块或是凹槽，所以在形变段形成有凸块或凹槽的任何矩形探针则非为本实施例所指的矩形探针4。再者，所述第一接触段44包含有一限位部441，所述限位部441邻近于上述第一定位段42，并且所述限位部441抵顶于所述第一导板1的外板面12(如：图1)；所述第一接触段44与第一定位段42于本实施例中共同形成一个十字状结构(如：图9)，但本发明不以此为限。所述第二接触段45的末端构造则是可以依据设计者的需求而加以调整变化(如：平面状、尖锥状、或凹槽状)。
如图1和图2所示，上述探针座100的多个形变段41大致位于所述第一导板1与第二导板2之间，也就是说，本实施例的多个形变段41是彼此间隔地设置于所述间隔板3形成的一容置孔31内。上述多个第一定位段42分别位于所述第一导板1的多个第一矩形孔壁11内，多个第二定位段43分别位于所述第二导板2的多个第二矩形孔壁21内。多个第一接触段44分别位于多个第一矩形孔壁11的外侧，并且所述转接板200抵接固定于多个矩形探针4的第一接触段44，而多个第二接触段45分别位于所述多个第二矩形孔壁21的外侧，并且上述多个矩形探针4的第二接触段45是用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物。
进一步地说，所述第一导板1的多个第一矩形孔壁11分别与第二导板2的多个第二矩形孔壁21呈相对错位设置。其中，每个第一矩形孔壁11与相对应的第二矩形孔壁21在所述长度方向L上具有一长度偏移SL并在所述宽度方向W上具有一宽度偏移SW(也就是，所述第一导板1相对于第二导板2产生上述长度偏移SL与宽度偏移SW)，以通过上述第一矩形孔壁11与第二矩形孔壁21来分别压迫于相对应所述矩形探针4的第一定位段42与第二定位段43，而使所述形变段41受力而呈弯曲且形变状(所述矩形探针4在受力变形前后的结构大致如图8和图9所示)。
其中，所述长度偏移SL除以所述宽度偏移SW的比值介于1～10，上述比值较佳是限定于1～3。而于本实施例中，所述长度偏移SL是介于30微米(μm)～1500微米，并且所述宽度偏移SW是介于5微米～1500微米，但本发明不以此为限。
如图1、图2及图4所示，在上述每个第一定位段42及相对应第一外孔缘111的一第一横剖面之中，所述第一定位段42呈矩形并包含有一第一长度L42与一第一宽度W42，并且上述第一长度L42小于所述第一外孔缘111的长度L111，而上述第一长度L42与第一外孔缘111长度L111的一长度差值DL较佳是小于所述长度偏移SL，上述第一宽度W42小于所述第一外孔缘111的宽度W111，而上述第一宽度W42与第一外孔缘111宽度W111的一宽度差值DW较佳是小于所述宽度偏移SW。
进一步地说，如图1及图4所示，在所述第一导板1相对于第二导板2产生上述长度偏移SL的过程中，所述第一定位段42先被第一矩形孔壁11推移上述长度差值DL的距离之后，第一定位段42将受到第一矩形孔壁11的压迫，而所述长度偏移SL与所述长度差值DL之间的一差值，则是大致为第一定位段42在长度方向L上被第一矩形孔壁11所压迫的距离。据此，于本实施例中，所述长度差值DL较佳是介于5微米(μm)～35微米，但本发明不受限于此。
再者，如图1及图4所示，在所述第一导板1相对于第二导板2产生上述宽度偏移SW的过程中，所述第一定位段42先被第一矩形孔壁11推移上述宽度差值DW的距离之后，第一定位段42将受到第一矩形孔壁11的压迫，而所述宽度偏移SW与所述宽度差值DW之间的一差值，则是大致为第一定位段42在宽度方向W上被第一矩形孔壁11所压迫的距离。据此，于本实施例中，所述宽度差值DW较佳是介于5微米～35微米，但本发明不受限于此。
再者，如图7所示，在上述每个第二定位段43及相对应第二外孔缘211的一第二横剖面之中，所述第二定位段43呈矩形并包含有一第二长度L43与一第二宽度W43，并且所述第二长度L43等于上述第一长度L42，所述第二宽度W43等于上述第一宽度W42，但本发明不受限于此。
需额外说明的是，在本发明未示出的其他实施例中，所述第一长度L42与第一外孔缘111长度L111可以是大致相同，而所述第一宽度W42与第一外孔缘111宽度W111也可以是大致相同，所以第一定位段42在长度方向L上被第一矩形孔壁11所压迫的距离可以相当于长度偏移SL，而第一定位段42在宽度方向W上被第一矩形孔壁11所压迫的距离可以相当于宽度偏移SW。
据此，本实施例的探针座100通过调整上述长度偏移SL与宽度偏移SW，以使所述矩形探针4的形变段41能够处于较合适的形变范围内而不易断裂，进而有效地提升探针座100(或探针卡装置1000)的信赖度与使用寿命。进一步地说，当所述探针座100(或探针卡装置1000)的多个第二接触段45以一压力抵接于待测物时，本实施例矩形探针4的形变段41能够通过调整长度偏移SL与宽度偏移SW，借以使得承受上述压力的形变段41不易产生断裂的情况。
换个角度来看，请参阅图2、图4、和图5所示，在每个矩形探针4及其对应的第一矩形孔壁11中，所述第一定位段42顶抵于所述第一外孔缘111与第一内孔缘112彼此斜对向的两个角落部位(如：图4中的右上角落与图5中的左下角落)上。请参阅图2、图6、和图7所示，在每个矩形探针4及其对应的第二矩形孔壁21中，所述第二定位段43顶抵于所述第二外孔缘211与第二内孔缘212彼此斜对向的两个角落部位(如：图7中的左下角落与图6中的右上角落)上。在本实施例的每个矩形探针4中，所述第一定位段42所顶抵的第一内孔缘112的角落(如：图5中的左下角落)部位邻近于第二定位段43所顶抵的第二内孔缘212的角落(如：图6中的右上角落)部位。
据此，本实施例矩形探针4的第一定位段42能以上述第一导板1的第一矩形孔壁11来支撑，而第二定位段43能以第二导板2的第二矩形孔壁21来支撑，以使矩形探针4的形变段41的相反两端处能够具备有较佳的支撑效果。
[本发明实施例的技术效果]
综上所述，本发明实施例所公开的探针卡装置1000及探针座100，通过调整上述长度偏移SL与宽度偏移SW，以使矩形探针4的形变段41能够处于较合适的形变范围内而不易断裂，进而提升探针座100(或探针卡装置1000)的信赖度与使用寿命。进一步地说，当所述探针座100(或探针卡装置1000)的多个第二接触段45以一压力抵接于待测物时，本实施例矩形探针4的形变段41能够通过调整长度偏移SL与宽度偏移SW，借以使得承受上述压力的形变段41不易产生断裂的情况。
再者，本发明实施例所公开的探针卡装置1000及探针座100，其矩形探针4的第一定位段42能以上述第一导板1的第一矩形孔壁11来支撑，而第二定位段43能以第二导板2的第二矩形孔壁21来支撑，以使矩形探针4的形变段41的相反两端处能够具备有较佳的支撑效果。
以上所述仅为本发明的优选可行实施例，并非用来局限本发明的保护范围，凡依本发明专利范围所做的均等变化与修饰，皆应属本发明的权利要求书的保护范围。

Claims (9)

1.一种探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置包括：
一探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，所述探针座包含有：
一第一导板，形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；
一第二导板，与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁；其中，多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；及
多个矩形探针，各具有一形变段、分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段、自所述第一定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第一接触段及自所述第二定位段朝着远离所述形变段方向延伸的一第二接触段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间；多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内，多个所述第一接触段分别位于多个所述第一矩形孔壁的外侧，而多个所述第二接触段分别位于多个所述第二矩形孔壁的外侧；
其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；以及
一转接板，抵接固定于多个所述矩形探针的所述第一接触段，而多个所述矩形探针的所述第二接触段用来弹性地且可分离地顶抵于一待测物；
其中，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述矩形探针及其对应的所述第一矩形孔壁中，所述第一定位段顶抵于所述第一外孔缘与所述第一内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上。
2.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。
3.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，所述长度差值介于5微米～35微米，并且所述宽度差值介于5微米～35微米。
4.依据权利要求2所述的探针卡装置，其特征在于，每个所述第二矩形孔壁在所述第二导板的外板面形成有一第二外孔缘并在所述第二导板的内板面形成有一第二内孔缘；在每个所述第二定位段及相对应所述第二外孔缘的一第二横剖面之中，所述第二定位段呈矩形并包含有一第二长度与一第二宽度，并且所述第二长度等于所述第一长度，所述第二宽度等于所述第一宽度；在每个所述矩形探针及其对应的所述第二矩形孔壁中，所述第二定位段顶抵于所述第二外孔缘与所述第二内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上；在每个所述矩形探针中，所述第一定位段所顶抵的所述第一内孔缘的所述角落部位邻近于所述第二定位段所顶抵的所述第二内孔缘的所述角落部位。
5.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述探针卡装置进一步包括有夹持于所述第一导板与所述第二导板之间的一间隔板，并且所述间隔板形成有一容置孔，多个所述形变段彼此间隔地设置于所述间隔板的所述容置孔内。
6.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，于每个所述矩形探针中，所述第一接触段包含有一限位部，所述限位部邻近于所述第一定位段，并且所述限位部抵顶于所述第一导板的外板面。
7.依据权利要求1所述的探针卡装置，其特征在于，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值进一步限定为介于1～3。
8.一种探针座，定义有相互垂直的一长度方向、一宽度方向及一高度方向，其特征在于，所述探针座包括：
一第一导板，形成有多个第一矩形孔壁；其中，每个所述第一矩形孔壁的一长壁面平行于所述长度方向，并且每个所述第一矩形孔壁的一短壁面平行于所述宽度方向；
一第二导板，与所述第一导板在所述高度方向上呈间隔设置，并且所述第二导板形成有多个第二矩形孔壁，并且多个所述第二矩形孔壁的位置分别对应于多个所述第一矩形孔壁的位置；及
多个矩形探针，各具有一形变段及分别自所述形变段相反两端延伸的一第一定位段与一第二定位段；其中，每个所述形变段的任一部位具有相同的截面积，多个所述形变段大致位于所述第一导板与所述第二导板之间，多个所述第一定位段分别位于所述第一导板的多个所述第一矩形孔壁内，多个所述第二定位段分别位于所述第二导板的多个所述第二矩形孔壁内；
其中，每个所述第一矩形孔壁与相对应的所述第二矩形孔壁在所述长度方向上具有一长度偏移并在所述宽度方向上具有一宽度偏移，以压迫于相对应所述矩形探针的所述第一定位段与所述第二定位段，而使所述形变段受力而呈弯曲且形变状；其中，所述长度偏移除以所述宽度偏移的比值介于1～10；
其中，每个所述第一矩形孔壁在所述第一导板的外板面形成有一第一外孔缘并在所述第一导板的内板面形成有一第一内孔缘；在每个所述矩形探针及其对应的所述第一矩形孔壁中，所述第一定位段顶抵于所述第一外孔缘与所述第一内孔缘彼此斜对向的两个角落部位上。
9.依据权利要求8所述的探针座，其特征在于，在每个所述第一定位段及相对应所述第一外孔缘的一第一横剖面之中，所述第一定位段呈矩形并包含有一第一长度与一第一宽度，所述第一长度小于所述第一外孔缘的长度且所述第一长度与所述第一外孔缘的长度具有小于所述长度偏移的一长度差值，所述第一宽度小于所述第一外孔缘的宽度且所述第一宽度与所述第一外孔缘的宽度具有小于所述宽度偏移的一宽度差值。
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