KR102545544B1 - 워크의 절단방법 및 와이어소 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 고정지립와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 와이어열에 대하여 원기둥형상의 워크를 컷팅 이송함으로써, 워크를 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단하는 와이어소에 의한 워크의 절단방법으로서, 워크의 절단종료후, 고정지립와이어를, 워크의 절단종료시의 위치로부터, 워크와 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 워크의 절단종료시까지 송출한 고정지립와이어의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 와이어열로부터 워크를 인발하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법이다. 이에 따라, 워크절단후의 와이어의 발취에 있어서, 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어의 단선이 발생하지 않는 워크의 절단방법 및 와이어소가 제공된다.

Description

워크의 절단방법 및 와이어소
본 발명은, 워크의 절단방법 및 와이어소에 관한 것이다.
종래, 예를 들어 실리콘잉곳이나 화합물 반도체잉곳 등의 워크로부터 웨이퍼를 잘라내는 수단으로서, 와이어소가 알려져 있다. 이 와이어소에서는, 복수의 롤러의 주위에 절단용 와이어가 다수 감겨짐으로써 와이어열이 형성되어 있고, 그 절단용 와이어가 축방향으로 고속구동되고, 또한, 슬러리가 적당히 공급되면서 와이어열에 대하여 워크가 컷팅 이송됨으로써, 이 워크가 각 와이어위치에서 동시에 절단되도록 한 것이다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
여기서, 도 3에, 종래의 일반적인 와이어소의 일례의 개요를 나타낸다. 도 3에 나타낸 바와 같이, 이 와이어소(101)는, 주로, 워크(W)를 절단하기 위한 와이어(102)(고장력강선), 와이어(102)를 복수의 홈부착 롤러(103, 103')에 감음으로써 형성한 와이어열(104), 와이어(102)에 장력을 부여하기 위한 장력부여기구(105, 105'), 절단되는 워크(W)를 하방으로 송출하는 워크이송기구(106), 절단시에 GC(탄화규소)지립 등을 액체에 분산시킨 슬러리를 공급하는 슬러리공급기구(107)로 구성되어 있다.
와이어(102)는, 일방의 와이어릴(108)로부터 조출되고, 장력부여기구(105)를 거쳐, 홈부착 롤러(103)에 들어가고 있다. 와이어(102)는 이 홈부착 롤러(103)에 300~400회 정도 감겨진 후, 다른 일방의 장력부여기구(105')를 거쳐 와이어릴(108')에 권취되어 있다.
또한, 홈부착 롤러(103)는 철강제 원통의 주위에 폴리우레탄수지를 압입하고, 그 표면에 일정한 피치로 홈을 만든 롤러이다. 홈부착 롤러(103)는, 감겨진 와이어(102)가, 구동용 모터(111)에 의해 미리 정해진 주기로 왕복방향으로 구동할 수 있게 되어 있다.
한편, 워크(W)의 절단시에는, 워크이송기구(106)에 의해 워크(W)는 유지되면서 압하되고, 홈부착 롤러(103, 103')에 감겨진 와이어열(104)에 송출된다. 이러한 와이어소(101)를 이용하여, 와이어(102)에 장력부여기구(105)를 이용하여 적당한 장력을 가하여, 구동용 모터(111)에 의해 와이어(102)를 왕복방향으로 주행시키면서, 슬러리공급기구(107)로부터 공급된 슬러리를 노즐(109)을 개재하여 공급하고, 워크이송기구(106)로 워크를 컷팅 이송함으로써 워크를 절단한다.
한편, 지립을 포함하는 슬러리를 사용하지 않고, 대신에 다이아몬드지립 등을 와이어의 표면에 고착한 고정지립와이어를 사용하여, 워크를 절단하는 방법도 알려져 있고, 직경 150mm 정도 이하의 소직경 잉곳의 절단에는 일부에서 실용화되고 있다.
이 고정지립와이어에 의한 절단에서는, 도 3에 나타낸 와이어소의 강선와이어를 대신하여 고정지립와이어를 장착하고, 슬러리를 지립이 포함되지 않은 냉각수 등의 쿨런트로 바꿈으로써, 일반적인 와이어소를 그대로 사용할 수 있다.
일본특허공개 H9-262826호 공보
고정지립와이어에 의한 절단에서는, 유리지립을 사용하지 않으므로, 환경면에서도 산업폐기물이 적다는 이점이 있다. 또한, 가공속도가 빠르다는 이점도 있으며, 유리지립을 이용한 와이어소에 의한 가공에 비해 편리한 점이 많다. 그러나, 와이어소에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 홈부착 롤러(103)에 감겨진 1개의 와이어(102)에 대하여 워크(W)를 눌러 이동시켜 절단하므로, 절단종료시에 워크(W)는 워크(W)를 누른 와이어(102)의 하측에 위치해 있다. 이 때문에, 워크(W)를 취출하기 위해서는, 워크(W)를 상방으로 이동시킴으로써, 와이어(102)가 절단되어 웨이퍼상이 된 워크(W)의 간극을 통과시켜 상대적으로 인발(引拔)할 필요가 있다.
와이어를 인발할 때, 유리지립을 이용한 와이어소의 경우는, 도 4(a)에 나타낸 바와 같이, 유리지립(G)의 폭만큼 와이어(102)와 워크(W)의 사이에 간극(클리어런스)이 생기기 때문에, 와이어(102)의 발취는 비교적 용이하였다. 그러나, 도 4(b)에 나타낸 바와 같이, 고정지립을 이용한 와이어소의 경우, 고정지립와이어(402)와 워크(W)의 사이에는 간극이 발생하지 않으므로, 고정지립와이어(402)를 빼기 어렵다. 따라서, 워크(W)에 걸려 고정지립와이어(402)가 부상하고, 이 상태로 고정지립와이어(402)를 빼려고 하면, 워크절단면이 데미지를 입어 해당 절단면에, 소위, 소마크(saw mark)가 생기고, 이로 인해 Warp가 악화되어 품질이 손상된다. 고정지립와이어(402)의 부상이 더욱 커진 경우에는, 와이어단선에 이르기도 한다. 와이어단선이 발생한 경우에는, 고정지립와이어를 홈부착 롤러에 다시 감는 수고가 필요해지고, 또한 다시 감는 만큼의 고정지립와이어가 여분으로 필요하게 되는 등 손실이 크다.
본 발명은 상기 서술한 바와 같은 문제를 감안하여 이루어진 것으로, 워크절단후에 와이어의 인발에 있어서, 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어의 단선이 발생하는 경우가 없는 워크의 절단방법 및 와이어소를 제공하는 것을 목적으로 한다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 상기 와이어열에 대하여 원기둥형상의 워크를 컷팅 이송함으로써, 이 워크를 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단하는 와이어소에 의한 워크의 절단방법으로서, 상기 워크의 절단종료후, 상기 고정지립와이어를, 상기 워크의 절단종료시의 위치로부터, 상기 워크와 상기 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 상기 워크의 절단종료시까지 송출한 상기 고정지립와이어의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 상기 와이어열로부터 상기 워크를 인발하는 것을 특징으로 하는 워크의 절단방법을 제공한다.
원기둥형상의 워크를 절단하는 경우, 절단길이의 차이로부터 워크중앙부에서, 와이어표면에 고착된 지립의 마모가 가장 크고, 그 이외의 장소에서는 지립마모가 적어진다. 워크의 절단종료후에, 상기의 범위의 길이로 고정지립와이어를 되감음으로써, 고정지립와이어의 표면 중, 고착된 지립의 마모량이 많은 표면을 워크에 인접시킨 상태로 할 수 있고, 워크를 와이어에 걸지 않고 인발할 수 있다. 이로 인해, 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어의 단선이 발생하는 것을 피할 수 있다.
이때, 상기 원기둥형상의 워크로서, 직경 300mm 이상인 것을 절단할 수 있다.
본 발명의 워크의 절단방법은, 대직경의 원기둥형상워크를 절단하는 경우에 특히 유효하다.
또한, 상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은, 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어가 복수의 홈부착 롤러에 감겨짐으로써 형성된 와이어열과, 원기둥형상의 워크를 유지하면서 상기 와이어열에 맞대는 워크이송기구를 구비하고, 상기 고정지립와이어를 축방향으로 왕복주행시키면서, 상기 와이어열에 대하여 상기 워크를 컷팅 이송함으로써, 이 워크를 축방향으로 나열한 복수의 개소에서 동시에 절단하는 와이어소로서, 상기 워크의 절단종료후, 상기 고정지립와이어를, 상기 워크의 절단종료시의 위치로부터, 상기 워크와 상기 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 상기 워크의 절단종료시까지 송출한 상기 고정지립와이어의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 상기 와이어열로부터 상기 워크를 인발하도록 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 와이어소를 제공한다.
본 발명의 와이어소는, 워크의 절단종료후에, 상기의 범위의 길이로 고정지립와이어를 되감도록 제어할 수 있으므로, 고정지립와이어의 표면 중, 고착된 지립의 마모량이 많은 표면을 워크에 인접시킨 상태로 하고 나서, 워크를 인발할 수 있다. 이에 따라, 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어의 단선이 발생하는 것을 방지할 수 있는 것이 된다.
본 발명의 워크의 절단방법 및 와이어소이면, 워크절단후의 와이어의 발취에 있어서, 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어의 단선이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
도 1은 본 발명의 와이어소의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 2의 (a)는 워크의 절단종료시의 워크와 고정지립와이어의 위치관계를 나타낸 도면이다. (b)는 와이어의 걸림발생시의 워크와 고정지립와이어의 상태를 나타낸 도면이다. (c)는 워크의 인발종료시의 워크와 고정지립와이어의 위치관계를 나타낸 도면이다.
도 3은 종래의 일반적인 와이어소의 일례를 나타낸 개략도이다.
도 4의 (a)는 유리지립방식에 있어서의 워크의 간극에 있어서의 와이어의 상태를 나타낸 도면이다. (b)는 고정지립방식에 있어서의 워크의 간극에 있어서의 고정지립와이어의 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 본 발명에 대하여 실시의 형태를 설명하는데, 본 발명은 이것으로 한정되는 것은 아니다.
상기와 같이, 고정지립와이어를 이용하여 워크의 절단을 행하는 경우, 워크의 절단종료후에 워크로부터 와이어를 인발하려고 하면, 와이어가 워크에 걸려, 단면에 소마크가 생기거나, 와이어가 단선되는 등의 문제가 있었다.
이에, 본 발명자들은 이러한 문제를 해결하기 위해 예의 검토를 거듭하였다. 그 결과, 워크의 절단후, 고정지립와이어를, 고정지립와이어가 고착된 지립의 마모량이 많은 표면을 워크에 인접시키도록, 적절한 길이를 되감으면, 고정지립와이어의 직경이 워크의 간극보다 작아지므로, 워크에 걸리는 것을 방지할 수 있는 것을 알아내어, 본 발명을 완성시켰다.
도 1은, 본 발명의 와이어소(1)의 일례를 나타낸 개략도이다. 도 1에 나타낸 바와 같이, 본 발명의 와이어소(1)는, 주로, 워크(W)를 절단하기 위한 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어(2), 고정지립와이어(2)를 권회한 복수의 홈부착 롤러(3, 3'), 홈부착 롤러(3, 3')에 고정지립와이어(2)가 감겨짐으로써 형성된 와이어열(4), 고정지립와이어(2)에 장력을 부여하기 위한 장력부여기구(5, 5'), 절단되는 워크(W)를 하방으로 송출하는 워크이송기구(6), 절단시에 쿨런트를 공급하는 쿨런트공급기구(7)로 구성되어 있다.
고정지립와이어(2)는, 일방의 와이어릴(8)로부터 송출되고, 트래버서(9)를 개재하여, 파우더클러치(저토크모터(10))나 댄서롤러(데드웨이트)(미도시) 등으로 이루어진 장력부여기구(5)를 거쳐, 홈부착 롤러(3)에 들어가 있다. 또한, 고정지립와이어(2)가 홈부착 롤러(3, 3')에 400~500회 정도 감겨짐으로써 와이어열(4)을 형성할 수 있다. 또한, 고정지립와이어(2)는, 트래버서(9')를 개재하여, 파우더클러치(저토크모터(10'))나 댄서롤러(데드웨이트)(미도시)로 이루어진 다른 일방의 장력부여기구(5')를 거쳐 와이어릴(8')에 권취되어 있다.
이러한 와이어소(1)는, 고정지립와이어(2)를 그 축방향으로 왕복주행시키면서, 와이어열(4)에 대하여 워크(W)를 컷팅 이송함으로써, 워크(W)를 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단한다. 고정지립와이어(2)의 왕복주행은, 복수의 홈부착 롤러(3, 3')간에 권회된 고정지립와이어(2)를 한 방향으로 소정의 길이 전진시킨 후에, 다른 방향으로 상기 서술한 전진량보다 적은 길이를 후퇴시키고, 이것을 하나의 이송사이클로 하여, 이 사이클을 반복하는 것에 의해, 와이어를 한 방향으로 송출한다. 홈부착 롤러(3')는, 감긴 고정지립와이어(2)가, 구동용 모터(11)에 의해 미리 정해진 주기로 왕복방향으로 구동할 수 있도록 되어 있다.
여기서, 고정지립와이어의 송출과 권취에 대하여 보다 상세히 설명한다. 도 2의 (a), (c)는, 각각 워크의 절단종료시와 워크인발종료시의 워크(W)와 고정지립와이어(202)의 위치관계를 나타낸 도면이다. 도 2(a)에 나타낸 바와 같이, 절단종료시에는, 워크(W)가 와이어열보다 하측에 위치해 있다. 이에 따라, 워크(W)를 취출하려면, 워크(W)를 상방으로 이동시킴으로써, 절단되어 웨이퍼상이 된 워크의 웨이퍼간의 간극을 통과시켜, 와이어(202)를 상대적으로 하측으로 인발할 필요가 있다.
그러나, 종래의 고정지립와이어를 이용한 와이어소의 경우, 고정지립와이어(202)와 워크(W)의 사이에는 클리어런스가 발생하지 않으므로(도 4의 (b) 참조), 고정지립와이어(202)가 워크(W)에 걸려, 도 2(b)에 나타낸 바와 같이 부상하고, 워크(W)의 절단면에 소마크가 생기거나, 와이어단선이 발생한다.
이것을 방지하기 위해서는, 본 발명의 와이어소(1)는, 워크(W)의 절단종료후, 고정지립와이어(2)를, 워크(W)의 절단종료시의 위치로부터, 워크(W)와 와이어열(4)이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 워크(W)의 절단종료시까지 송출한 고정지립와이어(2)의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 와이어열(4)로부터 워크(W)를 인발하도록 제어하는 제어수단(12)을 구비하고 있다.
이 제어수단(12)에 의해, 고정지립와이어(2)를 절단개시시로부터 워크(W)의 절단종료시까지 송출한 고정지립와이어(2)의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감으면, 지립의 마모량이 많은 부분의 와이어가 워크에 인접한 상태로 할 수 있고, 워크인발시에 워크에 와이어가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어단선이 발생하는 것을 피할 수 있다.
계속해서, 본 발명의 워크의 절단방법을, 상기 본 발명의 와이어소를 이용하는 경우를 예로 설명한다.
우선, 도 1에 나타낸 바와 같이, 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어(2)를 복수의 홈부착 롤러(3, 3')에 감음으로써 와이어열(4)을 형성한다. 계속해서, 고정지립와이어(2)를 구동용 모터(11)에 의해, 고정지립와이어(2)의 축방향으로 왕복주행시킨다. 그리고, 워크이송기구(6)에 의해, 와이어열(4)에 대하여 원기둥형상의 워크(W)를 컷팅 이송함으로써, 워크(W)를 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단한다.
본 발명의 워크의 절단방법에서는, 워크(W)의 절단종료후, 고정지립와이어(2)를, 워크(W)의 절단종료시의 위치로부터, 워크(W)와 와이어열(4)이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 워크(W)의 절단종료시까지 송출한 고정지립와이어(2)의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 와이어열(4)로부터 워크(W)를 인발한다.
이에 따라, 워크(W)의 인발시에, 고정지립와이어(2)의 표면에 있어서의 지립의 마모량이 많은 부분이 워크(W)에 인접한 상태로 할 수 있고, 워크(W)의 인발시에 워크(W)에 고정지립와이어(2)가 걸려 소마크가 생기거나, 와이어단선이 발생하는 것 등을 피할 수 있다.
또한, 원기둥형상의 워크로서, 직경 300mm 이상인 것을 절단하는 것이 바람직하다. 워크의 사이즈가 커질수록, 워크에 인접하는 고정지립와이어의 길이와 워크를 인발하는 거리가 길어져, 고정지립와이어가 걸리기 쉬워지므로, 본원의 절단방법이 특히 유효한 수단이 된다.
[실시예]
이하, 본 발명의 실시예 및 비교예를 나타내어 본 발명을 보다 구체적으로 설명하나, 본 발명은 이들 실시예로 한정되는 것이 아니다.
(실시예 1~4)
도 1에 나타낸 바와 같은 본 발명의 와이어소를 이용하여, 본 발명의 절단방법에 따라서, 원기둥형상의 워크의 절단을 행하고, 와이어열로부터의 워크의 인발을 행하였다. 고정지립와이어는 하기의 표 1에 나타낸 것을 이용하였다.
[표 1]
Figure 112018036079536-pct00001
또한, 워크의 절단조건 및 인발조건을 하기의 표 2에 나타낸 조건 1로 하였다. 표 2의 조건 1에 나타낸 바와 같이, 워크와 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 워크의 절단종료시까지 송출한 고정지립와이어의 길이(이하, 이 길이를 와이어사용량이라고 호칭함)는 9000m로 하였다.
[표 2]
Figure 112018036079536-pct00002
또한, 워크의 절단종료후, 고정지립와이어를 되감은 길이는 표 3과 같이, 실시예 1~4에서 변화시켰다. 표 3에 나타낸 바와 같이, 실시예 1~4에서는, 고정지립와이어를 되감은 길이는 와이어사용량의 1/3 이상 2/3 이하의 범위의 길이로 하였다. 한편, 워크로는, 원기둥형상으로 직경 301mm, 길이 300mm의 실리콘단결정잉곳을 절단하였다.
[표 3]
Figure 112018036079536-pct00003
고정지립와이어를 되감은 길이를 와이어사용량의 1/3 이상 2/3 이하의 범위의 길이로 한 실시예 1~4에 있어서, 와이어열로부터의 워크의 인발시의 고정지립와이어의 단선의 유무를 조사한 결과, 단선은 발생하지 않았다.
(비교예 1~6)
표 3에 나타낸 바와 같이, 워크의 절단종료후의 고정지립와이어를 되감은 길이를, 와이어사용량의 1/3 미만 또는 와이어사용량의 2/3보다 크게 한 것 이외에, 실시예 1과 동일한 조건으로 원기둥형상의 워크의 절단을 행하고, 와이어열로부터의 워크의 인발을 행하였다. 한편, 표 3에 나타낸 바와 같이, 비교예 1에 관해서는, 워크의 절단종료후의 고정지립와이어를 되감은 길이는 0m로 하고, 즉, 절단후의 고정지립와이어의 되감기를 행하지 않았다.
그 결과, 표 3에 나타낸 바와 같이, 고정지립와이어를 되감은 길이를 와이어사용량의 1/3 미만 또는 와이어사용량의 2/3보다 크게 한 비교예 1~6에서는 단선이 발생하였다.
(실시예 5~8)
표 2의 조건 2로 절단조건을 변경하고, 와이어전진량 및 와이어후퇴량을 바꾸어 와이어사용량을 18000m로 설정한 것 이외에, 실시예 1~4와 동일하게, 워크의 절단, 인발을 행하였다.
실시예 5~8의 각각의 고정지립와이어의 되감기량은, 표 4에 나타낸 바와 같이 하였다.
[표 4]
Figure 112018036079536-pct00004
그 결과, 표 4로부터 알 수 있는 바와 같이, 고정지립와이어를 되감은 길이를 와이어사용량의 1/3 이상 2/3 이하의 범위의 길이로 한 실시예 5~8에 있어서, 와이어열로부터의 워크의 인발시의 고정지립와이어의 단선의 유무를 조사한 결과, 단선은 발생하지 않았다.
(비교예 7~12)
표 4에 나타낸 바와 같이, 워크의 절단종료후의 고정지립와이어를 되감은 길이를, 와이어사용량의 1/3 미만 또는 와이어사용량의 2/3보다 크게 한 것 이외에, 실시예 5와 동일한 조건으로 원기둥형상의 워크의 절단을 행하고, 와이어열로부터의 워크의 인발을 행하였다.
그 결과, 표 4에 나타낸 바와 같이, 고정지립와이어를 되감은 길이를 와이어사용량의 1/3 미만 또는 와이어사용량의 2/3보다 크게 한 비교예 7~12에서는 단선이 발생하였다.
한편, 본 발명은, 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 상기 실시형태는 예시이며, 본 발명의 특허청구의 범위에 기재된 기술적 사상과 실질적으로 동일한 구성을 갖고, 동일한 작용효과를 나타내는 것은, 어떠한 것이어도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.

Claims (3)

  1. 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어를 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 와이어열을 형성하고, 상기 고정지립와이어를 상기 고정지립와이어의 축방향으로 왕복주행시키면서, 상기 와이어열에 대하여 원기둥형상의 워크를 컷팅 이송함으로써, 이 워크를 이 워크의 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단하는 와이어소에 의한 워크의 절단방법으로서,
    상기 워크의 절단종료후, 상기 고정지립와이어를, 상기 워크의 절단종료시의 위치로부터, 상기 워크와 상기 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 상기 워크의 절단종료시까지 송출한 상기 고정지립와이어의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 상기 와이어열로부터 상기 워크를 인발하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 원기둥형상의 워크로서, 직경 300mm 이상인 것을 절단하는 것을 특징으로 하는,
    워크의 절단방법.
  3. 표면에 지립이 고착된 고정지립와이어가 복수의 홈부착 롤러에 감음으로써 형성된 와이어열과, 원기둥형상의 워크를 유지하면서 상기 와이어열에 맞대는 워크이송기구를 구비하고, 상기 고정지립와이어를 상기 고정지립와이어의 축방향으로 왕복주행시키면서, 상기 와이어열에 대하여 상기 워크를 컷팅 이송함으로써, 이 워크를 이 워크의 축방향으로 나열된 복수의 개소에서 동시에 절단하는 와이어소로서,
    상기 워크의 절단종료후, 상기 고정지립와이어를, 상기 워크의 절단종료시의 위치로부터, 상기 워크와 상기 와이어열이 접촉하기 시작한 절단개시시로부터 상기 워크의 절단종료시까지 송출한 상기 고정지립와이어의 길이의 1/3 이상 2/3 이하의 길이를 되감은 후에, 상기 와이어열로부터 상기 워크를 인발하도록 제어하는 제어수단을 구비하는 것을 특징으로 하는,
    와이어소.
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