KR102520693B1 - 유기발광소자의 증착장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 글라스가 대형화됨에 따라서 중력에 의해 하부로 처지는 것을 방지할 수 있는 것으로서, 글라스를 상부 방향으로 볼록하게 휘어진 상태에서 중심부분부터 모서리부분 방향으로 평면의 정전척 저면에 흡착이 이루어지고, 이에 따라 글라스의 처짐량에 의한 마스크의 변형을 방지할 수 있는 유기발광소자의 증착장치를 제공한다.
그리고 글라스와 마스크를 닿지 않는 정도에서 최대한 밀착시킨 후에 각각의 정렬마크를 측정하여 글라스와 마스크를 흡착하기 때문에 정렬공정이 신속하게 수행될 수 있다.

Description

유기발광소자의 증착장치{Deposition Apparatus}
본 발명은 유기발광소자의 증착장치에 관한 것으로서, 타겟이 하측에 배치되고, 타겟의 상측에 글라스가 배치되어 상향 증착으로 증착재료 물질을 글라스 저면에 증착할 수 있는 유기발광소자의 증착장치에 관한 것이다.
본격적인 정보화 시대로 접어듦에 따라, 전기적 정보신호를 시각적으로 표시하는 디스플레이(display) 분야가 급속도로 발전하고 있다. 이에, 여러 가지 다양한 평판표시장치(Flat Display Device)에 대해 박형화, 경량화 및 저소비 전력화 등의 성능을 개발시키기 위한 연구가 계속되고 있다.
이 같은 평판표시장치의 대표적인 예로는 액정표시장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마표시장치(Plasma Display Panel device: PDP), 전계방출표시장치(Field Emission Display device: FED), 전기발광표시장치(Electro Luminescence Display device: ELD), 전기습윤표시장치(Electro-Wetting Display device: EWD) 및 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Display device: OLED) 등을 들 수 있다.
이와 같은 평판표시장치들은 공통적으로, 영상을 구현하기 위한 평판표시패널을 필수적으로 포함한다. 평판표시패널은 고유의 발광물질 또는 편광물질을 사이에 둔 한 쌍의 기판이 대면 합착된 구조이다.
이 중 유기 발광 표시 장치(OLED)는 자체 발광형 소자인 유기 발광소자(Organic Light Emitting Diode)를 이용하여 화상을 표시하는 장치이다.
유기 발광 표시장치는 다른 평면 표시소자에 비해 발열 등이 제한적인 이상적인 구조를 가지고 있다. 또한 유기 발광 표시장치는 자체 냉발광형이라는 장점으로 인하여 산업계에 그 수요가 증가하고 있다. 이러한 유기 발광 표시장치는 유기물이 담긴 도가니를 가열하여 증발된 유기물이 글라스에 박막의 형태로 증착되도록 하는 방법으로 제조된다.
이때 글라스와 도가니 사이에는 유기물이 선택적으로 통과할 수 있는 소정의 패턴이 형성된 마스크가 위치하고, 마스크의 패턴에 따라 글라스에 유기물이 증착된다. 이러한 마스크를 이용한 유기 발광 표시장치의 제조방법에 대해서는 등록특허 제351822호에 개시된 바 있다.
그러나 점차 글라스가 대형화됨에 따라서 중력에 의해 글라스가 하부 방향으로 처지면서 마스크와 접촉하는 순간 마스크가 변형되는 문제점이 제기되고 있다. 따라서 글라스와 마스크가 접촉할 때 마스크의 변형을 방지하도록 글라스와 마스크를 접촉시키는 방안이 절실히 필요한 상황이다.
게다가 글라스의 처짐량과 마스크의 처짐량이 서로 다르기 때문에 이들을 정밀하게 정렬시키는데 많은 시간과 비용이 지출되고, 서로 다른 처짐량에 의해 밀착성이 떨어져 얼룩에 의한 불량률이 증가하는 문제점이 지적되고 있다.
본 발명은 이와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 보다 상세하게는 글라스가 마스크와 접촉하기 전에 평면의 정전척에 글라스를 밀착하여 흡착시킨 후, 처짐이 없는 상태에서 마스크와 다시 흡착하면서 동시에 정렬이 이루어지는 유기발광소자의 증착장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명은 글라스를 하부에서 지지하는 지지부와, 상부에서 흡착하는 흡착부가 구비된다. 이때 글라스를 흡착부가 진공 흡착하기 전에 글라스의 중심부분이 상측으로 돌출되도록 글라스의 모서리부분을 가압하는 가압부가 구비됨으로써, 흡착부가 글라스와 흡착할 때, 글라스의 중심부분으로부터 모서리부분 방향으로 단계적으로 흡착이 이루어져 글라스가 처지는 것을 방지할 수 있는 유기발광소자의 증착장치를 제공한다.
본 발명에 의한 유기발광소자의 증착장치에 따르면,
첫째, 가압부를 이용하여 대형의 글라스 모서리 부분을 가압함으로써 중심부분이 상부 방향으로 볼록하게 휘어지도록 할 수 있고,
둘째, 정전척을 이용하여 글라스의 중심부분부터 흡착이 이루어져 모서리부분까지 완벽하게 밀착이 이루어질 수 있으며,
셋째, 글라스를 평면 상태로 유지할 수 있기 때문에 마스크와 접촉 시, 마스크에 변형이 발생하는 것을 방지할 수 있고,
넷째, 글라스와 마스크를 밀착시킨 상태에서 각각의 정렬마크를 측정하여 흡착시킬 수 있어 정렬공정을 용이하고 신속하게 진행할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 증착장치를 도시하는 단면도이다.
도 2는 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치에서 가압부가 글라스를 가압하고 있는 상태를 도시하는 단면도이다.
도 3은 도 2에 나타낸 유기발광소자의 증착장치의 정전척을 개략적으로 도시하는 단면도이다.
도 4는 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치의 얼라인 카메라를 통하여 글라스와 마스크의 정렬상태를 개략적으로 도시하는 참고도이다.
도 5 내지 도 10은 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치를 통하여 글라스의 흡착상태 또는 글라스와 마스크가 밀착되는 과정을 도시하는 참고도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 당해 분야의 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 설명하기로 한다. 첨부된 도면들에서 구성에 표기된 도면번호는 다른 도면에서도 동일한 구성을 표기할 때에 가능한 한 동일한 도면번호를 사용하고 있음에 유의해야 한다. 또한, 본 발명을 설명함에 있어 관련된 공지의 기능 또는 공지의 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략하기로 한다. 그리고 도면에 제시된 어떤 특징들은 설명의 용이함을 위해 확대 또는 축소 또는 단순화된 것이고, 도면 및 그 구성요소들이 반드시 적절한 비율로 도시되어 있지는 않다. 그러나 당업자라면 이러한 상세 사항들을 쉽게 이해할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 증착장치(100)를 도시하는 단면도이고, 도 2는 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치(100)에서 가압부가 글라스를 가압하고 있는 상태를 도시하는 단면도이며, 도 3은 도 2에 나타낸 유기발광소자의 증착장치(100)의 정전척을 개략적으로 도시하는 단면도이고, 도 4는 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치(100)의 얼라인 카메라를 통하여 글라스와 마스크의 정렬상태를 개략적으로 도시하는 참고도이다.
본 발명의 실시예에 따른 유기발광소자의 증착장치(100)는 진공챔버(10) 내부에서 승강할 수 있도록 배치되어 글라스(20)가 올려지는 지지부(110)와, 상기 글라스(20)의 상면 모서리부분을 가압하여 글라스(20)의 중심부분이 상향 돌출되도록 승강하는 가압부(120)와, 글라스(20)의 상면에 흡착되어 글라스(20)의 처짐을 방지하는 정전척(130)과, 글라스(20)의 하부에 배치되고 설정된 증착 패턴(P)이 마련되는 마스크(140)를 포함한다.
그리고 상기 정전척(130)의 상부에는 글라스(20) 또는 마스크(140)의 과열을 방지하는 쿨링 플레이트(150)가 마련된다.
또한 상기 쿨링 플레이트(150)의 상부에는 글라스(20)와 정전척(130)이 흡착된 후, 상기 마스크(140)와 글라스(20)가 접촉한 상태를 자기력으로 유지시키는 마그넷 플레이트(160)가 구비된다.
그리고 상기 마그넷 플레이트(160) 상부에는 글라스(20)에 구비된 제1마크(21)와, 마스크(140)에 구비된 제2마크(141)의 정렬 상태를 측정하는 얼라인 카메라(170)가 마련된다.
이하에서 설명되는 글라스는 유기전계 발광소자(Organic Light Emitting Diodes) 등과 같은 평판 표시소자에 사용되는 기판을 포함한다.
그리고 상기 진공챔버(10)에서는 로봇(도 5 참조, L)에 의해 글라스(20)를 공급받아 상기 지지부(110) 상에 안착시키고, 글라스(20)와 마스크(140)의 정렬 상태를 조절하며, 정렬이 완료된 상태에서 글라스(20)의 하부로부터 증착물질을 발산하여 증착공정을 수행하는 상향 증착방식에 적용된 예를 설명한다. 물론 이에 한정되지 않고, 글라스를 수직방향이나 경사진 방향으로 세워서 배치하여 증착물질을 증착하는 방식으로도 적용될 수 있다.
상기 지지부(110)는 웨지(Wedge) 형상으로 마련된다. 따라서 지지부(110)는 대략 직사각형의 형상으로 중심부분을 개방되고, 가장자리인 모서리부분을 통하여 글라스(20)의 모서리 부분, 즉 비표시영역을 하측에서 지지한다. 상기 지지부(110) 상에 글라스(20)가 올려지면 중력에 의해 글라스(20)의 중심부분이 하측 방향으로 처지게 된다. 물론 글라스의 크기가 점점 커짐에 따라서 대형의 글라스인 경우 처짐량이 더 증가할 수밖에 없다.
이때 상기 지지부(110)의 상면 양 단부에는 글라스(20)의 모서리부분과 직접적으로 접촉하는 부분이 경사진 경사면(111)이 마련된다.
상기 경사면(111)은 글라스(20)의 모서리부분에서 중심부분을 향하여, 또는 상기 지지부(110)의 모서리부분 외측에서 내측방향을 향하여 높이가 높아지는 형상으로 형성된다. 따라서 상기 지지부(110) 상에 글라스(20)가 로딩되면, 글라스(20)의 모서리부분은 상기 경사면(111)의 가장 높은 상측 단부에 접촉하여 지지된다.
이때 글라스(20)의 모서리부분 중 양 측 단부는 상기 경사면(111)의 높이 차이에 따라서 상기 지지부(110) 상면에 접촉하지 못한 상태로 떠 있게 된다. 따라서 로딩된 글라스(20)의 양 측 단부인 모서리부분과 상기 경사면(111) 상부 사이에서 접촉이 이루어지는 접촉영역(112)과, 상기 지지부(110)의 상면과 동일 높이인 상기 경사면(111) 하부에서 글라스(20) 사이에 접촉이 되지 않는 비접촉영역(113)이 형성된다. 그리고 상기 접촉영역(112)과 비접촉영역(113)은 서로 다른 높이차에 의해 형성되며, 단순히 평면의 경사면뿐만 아니라, 서로 다른 높이의 단차 구조나, 곡면으로 형성된 빗면구조를 통해서도 형성될 수 있다.
이렇게 상기 경사면(111)을 형성하면, 글라스(20)가 하중에 의해 하측 방향으로 처진 상태를 반전하여 후기할 가압부(120)에 의해 상측 방향으로 볼록하게 돌출되도록 벤딩할 수 있는 효과가 있다.
그리고 상기 가압부(120)는 수직방향으로 승강하도록 배치된다. 그리고 상기 가압부(120)는 하중에 의해 상기 지지부(110) 상에서 하측 방향으로 휘어진 글라스(20)의 양 측 모서리부분을 하측 방향으로 휘어진 상태를 상측 방향으로 볼록하게 휘어지도록 가압한다.
그러면 도 2에 도시된 바와 같이, 글라스(20)가 상부로 볼록하게 돌출되도록 휘어지면서 중심부분이 상기 정전척(130)의 저면 중심과 가까워진 형상으로 벤딩된다.
이때 상기 가압부(110)는 글라스(20)의 중심부분이 상부로 볼록하게 휘어지도록 상기 경사면(111) 방향으로 글라스(20)의 모서리부분을 가압한다. 그리고 상기 가압부(120)는 상기 경사면(111) 방향으로 글라스(20)를 가압할 때, 글라스(20)와 상기 가압부(120) 사이에서 마찰에 의한 글라스(20)의 손상을 방지할 수 있도록 롤러(121)를 구비한다.
상기 롤러(121)는 상기 가압부(120)의 단부에 배치되어 글라스(20)와 직접적으로 접촉하게 된다. 그리고 상기 롤러(121)가 글라스(20)를 가압하여 형상이 변형되고, 롤러(121)와 글라스 사이에서 상대적으로 위치 이동이 발생할 수 있다. 이때 글라스(20) 상에서 롤러(121)는 회전할 수 있기 때문에 글라스(20)와 롤러(121)의 접촉면에서 위치 이동이 발생하더라도 마찰에 의해 손상이 발생하는 것을 방지할 수 있게 된다.상기 정전척(130)은 도 3에 도시된 바와 같이, 쿨링 플레이트(150)의 저면에 형성된 절연층(131)과, 상기 절연층(131) 내부에 형성된 전극패턴(132)을 포함한다.
상기 절연층(131)은 고유 저항이 높은 금속 분말인 알루미나(Al2O3)를 이용하여 형성된다. 그리고 상기 전극패턴(132)은 직류전원을 인가하여 정전력을 발생시킴으로써 글라스(20)와 흡착을 할 수 있다.
글라스(20)의 중심부분이 상부방향으로 볼록하게 벤딩된 상태에서 상기 정전척(130)이 하강하거나, 또는 상기 지지부(110)가 상승하게 되면서, 상기 정전척(130)에 전원이 인가되고, 글라스(20)의 중심부분이 먼저 상기 정전척(130)의 저면과 접촉하면서 흡착이 시작된다. 그리고 상기 가압부(120)가 점차 상승하여 글라스(20)의 모서리부분에 가해진 압력이 점진적으로 해제되면서 글라스(20)의 중심부분으로부터 모서리부분 방향으로 상기 정전척(130)과 흡착이 이루어진다. 따라서 글라스(20)를 하부에서 밀어 올리는 별도의 구조 없이도 글라스(20)와 상기 정전척(130)의 완벽한 흡착이 이루어질 수 있다.
그리고 글라스(20)와 상기 정전척(130)의 흡착이 완료되면, 상기 마스크(140)와 인접하도록 상기 정전척(130)이 하강하면서 글라스(20)와 마스크(140)가 닿지 않은 상태로 최대한 가깝게 배치된다.
이때 상기 얼라인 카메라(170)를 통하여 글라스(20)에 구비된 제1마크(21)와 상기 마스크(140)에 구비된 제2마크(141)를 측정하여 글라스(20)와 상기 마스크(140)의 정렬이 이루어진다. 여기서 상기 지지부(110), 가압부(120), 정전척(130), 쿨링 플레이트(150), 마그넷 플레이트(160)는 각각 상기 제1마크(21)와 제2마크(141)의 위치를 정렬할 수 있도록 수직방향 또는 수평방향으로 이송시키는 구동부(180)가 마련된다. 상기 구동부(180)는 각각의 구성요소를 전후좌우 또는 상하방향으로 직선 왕복 이송시키거나 또는 회전시켜 상기 제1마크(21)와 제2마크(141)가 일치하도록 할 수 있다.
이렇게 상기 마스크(140)와 글라스(20)의 정렬이 완료되면 상기 마스크(140)와 글라스(20)가 흡착되고 증착공정을 위한 준비가 완료된다.
그리고 상기 마그넷 플레이트(160)는 내부에 글라스(20)와 마스크(140)가 밀착된 상태에서 자기력을 형성하여 금속재질로 형성된 마스크(140)를 인력으로 끌어당겨 글라스(20)와 상기 마스크(140)의 밀착력을 유도하는 기능을 제공한다. 따라서 대형의 글라스(20)가 적용되는 경우 하중에 의해 발생하는 글라스(20)의 곡률과 마스크(140)의 곡률이 다르기 때문에 글라스(20)와 마스크(140)의 밀착성이 떨어지면서 쉐도잉이 발생하는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
또한 상기 쿨링 플레이트(Cooling Plate)는 증착공정에서 글라스(20) 또는 마스크(140)가 과열되는 것을 방지할 수 있도록 냉각시키는 기능을 제공한다. 따라서 글라스(20)의 변형을 방지하고 이에 따른 박막 패턴이 정교하게 형성될 수 있는 효과를 기대할 수 있다. 도면에 도시하지는 않았지만, 상기 쿨링 플레이트(150)는 냉각수 또는 냉각된 공기가 주입되는 냉각라인(미도시) 등이 구비될 수 있다.
이하에서는 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기발광소자의 증착장치의 제어방법에 관하여 설명한다.
도 5 내지 도 10은 도 1에 나타낸 유기발광소자의 증착장치를 통하여 글라스의 흡착상태 또는 글라스와 마스크가 밀착되는 과정을 도시하는 참고도이다.
먼저, 도 5를 참조하면, 글라스가 로더(L) 상에 올려져 상기 지지부(110)로 로딩되는 상태를 나타낸다. 그리고 도 6과 같이, 로더(L)는 글라스(20)를 상기 지지부(110) 상에 올려 놓은 후 외부로 이송된다.
이때 글라스(20)는 상기 지지부(110) 상에서 모서리 부분만이 지지되고, 하중에 의해 중심부분이 하측 방향으로 처진 형상을 확인할 수 있다.
이렇게 글라스(20)의 중심부분이 하측으로 처진 상태에서는 상기 정전척(130)을 이용하여 흡착하려고 해도 글라스(20)의 처짐량에 의해 고스란히 흡착하는데 한계가 있다. 따라서 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 가압부(120)가 하강하면서 상기 롤러(121)가 글라스(20) 상면의 모서리부분을 눌러줌으로써 글라스(20)의 중심부분이 상측 방향으로 볼록하게 휘어지도록 가압한다.
여기서 글라스(20) 모서리부분이 가압되면서 휘어지는 정도는 상기 지지부(110) 상면의 상기 경사면(111)의 각도에 따라서 달라질 수 있으며, 글라스(20)의 크기 또는 하중을 고려하여 그 각도 조절이 가능하다. 물론 상기 지지부(110)의 양 단부 거리를 좁혀서 상기 경사면(111)의 각도와 관계없이 글라스(20)의 휘어지는 정도를 제어하도록 할 수 있음은 물론이다.
이렇게 글라스(20)의 중심부분이 설정된 높이로 돌출되거나, 또는 설정된 곡률범위에 상응하게 되면, 도 8에 도시된 바와 같이, 상기 정전척(130)이 하강하여 글라스(20)의 중심부분부터 정전기력에 의한 흡착이 이루어진다.
상기 정전척(130)과 글라스(20)가 점진적으로 흡착이 이루어져 글라스(20)의 중심부분으로부터 모서리부분까지 균일하게 흡착이 이루어지기 위해서는 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 지지부(100)가 글라스(20)를 가압하는 압력이 단계적으로 해제되고, 또한 상기 지지부(110)가 소정의 높이를 상승하면서 상기 정전척(130)과 글라스(20)의 흡착이 완료된다. 이때 상기 가압부(120)의 압력이 해제될 때, 상기 지지부(110)가 상승하지 않고, 상기 정전척(130)이 하강하면서 글라스(20)와의 흡착을 도모할 수도 있다. 또한 상기 지지부(110)가 상승하거나 또는 정전척(130)이 하강하는 두 가지 경우가 연동하여 동시에 이루어지는 방법 또한 가능하다.
그리고 도 10에 도시된 바와 같이, 글라스(20)와 정전척(130)이 흡착된 상태를 유지하면서 상기 지지부(110)와 정전척(130)이 하강하여 상기 마스크(140)와 흡착이 이루어진다.
그리고 상기 마그넷 플레이트(160)에 전원이 인가되어 상기 마그넷 플레이트(160)와 마스크(140)의 인력이 형성되면서 상기 정전척(130), 글라스(20), 마스크(140)의 흡착이 완성된다.
이 후, 상기 마스크(140)의 하측에서 증착물질이 발산되어 증착공정이 수행될 수 있다.
따라서 본 발명의 유기발광소자의 증착장치(100)에 의하면 진공챔버(10) 내부에서 중력에 의한 글라스(20)의 처짐량을 보상하여 정전척(130)과 용이하게 흡착시킬 수 있고, 이에 따라 글라스(20)가 처지는 것을 방지할 수 있기 때문에 마스크(140)와 접촉 시 마스크(140)가 변형되는 것을 방지할 수 있는 효과가 있다.
이상에서 본 발명의 기술적 사상을 예시하기 위해 구체적인 실시 예로 도면을 참고하여 설명하였으나, 본 발명은 상기와 같이 구체적인 실시 예와 동일한 구성 및 작용효과에만 국한되지 않고, 여러 가지 변형된 예가 본 발명의 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 실시될 수 있다. 따라서 그와 같은 변형 예도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주해야 하며, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 후술하는 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 결정되어야 할 것이다.
100 : 유기발광소자의 증착장치
110 : 지지부 111 : 경사면
112 : 접촉영역 113 : 비접촉영역
120 : 가압부 121 : 롤러
130 : 정전척 131 : 절연층
132 : 전극패턴 140 : 마스크
141 : 제2마크 150 : 쿨링 플레이트
160 : 마그넷 플레이트 170 : 얼라인 카메라
180 : 구동부
10 : 진공챔버 20 : 글라스
21 : 제1마크

Claims (7)

  1. 로딩된 글라스의 저면 모서리부분을 지지하며, 진공챔버 내부에서 승하강 또는 회전하도록 배치되는 지지부;
    상기 진공챔버 내부에서 승하강하도록 배치되고, 상기 글라스 중심부분이 상부 방향으로 볼록하게 휘어지도록 상기 지지부 상에서 상기 글라스의 상면 양 측 모서리부분을 가압하는 가압부;
    상기 글라스의 상부에서 승하강하도록 배치되어 상기 글라스를 흡착하는 정전척 및
    설정된 증착 패턴이 마련되어 상기 글라스의 하부에 고정되는 마스크;
    를 포함하고,
    상기 지지부는 상기 글라스의 모서리부분에서 중심부분 방향으로 상기 지지부의 상면의 높이가 더 높아지도록 경사면을 포함하고,
    상기 가압부는 상기 경사면 상부에서 상기 글라스의 모서리부분 상면과 접촉하는 부분에 마련되는 롤러를 포함하고,
    상기 정전척이 하강하거나 상기 지지부가 상승하게 되면, 상기 정전척에 전원이 인가되고, 상기 글라스의 중심부분이 상기 정전척의 저면과 접촉하면서 상기 글라스의 중심부분부터 정전기력에 의한 흡착이 시작되고, 상기 가압부가 점차 상승하여 상기 글라스의 모서리부분으로 단계적으로 압력이 해제되면 상기 글라스의 중심부분으로부터 모서리부분 방향으로 단계적으로 흡착이 이루어지는 유기발광소자의 증착장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 정전척의 상부에 구비되어 글라스 또는 마스크의 과열을 방지하는 쿨링 플레이트를 더 포함하는 유기발광소자의 증착장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 정전척의 상부에 구비되어 글라스와 상기 정전척이 흡착된 후, 상기 마스크와 글라스가 접촉한 상태를 자기력으로 유지시키는 마그넷 플레이트를 더 포함하는 유기발광소자의 증착장치.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 정전척의 상부에 구비되어 글라스에 구비된 제1마크와, 마스크에 구비된 제2마크의 정렬 상태를 측정하는 얼라인 카메라를 더 포함하는 유기발광소자의 증착장치.
  7. 청구항 4에 있어서,
    상기 정전척은
    상기 쿨링 플레이트의 저면에 형성된 절연층과, 상기 절연층 내부에 형성된 전극패턴을 포함하고,
    상기 절연층은 고유 저항이 높은 금속 분말인 알루미나(Al2O3)를 포함하는 유기발광소자의 증착장치.
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