JP2006172930A - 真空蒸着方法及びelディスプレイ用パネル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 透明基板1とマスク板2とのアライメントは、夫々の角隅部に形成されたアライメントマーク1M及び2Mをカメラ5により観察して行われるが、カメラ5の被写界深度内で行うために、両アライメントマークはできる限り近接させた状態でアライメントを行う。このとき、透明基板1の中央部分に撓みが生じて透明基板1とマスク板2とを接触させないために、予め透明基板1を反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲させた状態で、透明基板1とマスク板2とを近接させる。
【選択図】 図1
Description
3 マグネット 5 カメラ
6 クランプ部材 7 支持基台
Claims (6)
- 真空蒸着により透明基板の表面に所定のパターンとなるように蒸着膜を形成する真空蒸着方法であって、
前記透明基板の前記蒸着膜が蒸着される被処理面を下側に向けて配置し、この被処理面と対向する側に前記所定パターンを有する磁性金属材の薄板からなるマスク板を配置して、前記透明基板の夫々の角隅部に複数箇所形成されているアライメントマークを基準として、前記マスク板と前記透明基板とをアライメントするために、
前記透明基板を、その中央部分が最も前記マスク板から離間されるように、反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲させた状態で、前記マスク板と前記透明基板とを近接させて、前記マスク板に形成されている前記アライメントマークと、このアライメントマークに対応する前記透明基板の前記アライメントマークとを同一のカメラ視野内で観察してアライメントすることを特徴とする真空蒸着方法。 - 前記透明基板を、その外周部分をクランプ部材で保持させることにより、反自重方向に向けて僅かに凸形状に湾曲されることを特徴とする請求項1記載の真空蒸着方法。
- 前記透明基板と前記マスク板とがアライメントされて密着された後に、前記透明基板の前記被処理面とは反対面より電磁石又は永久磁石からなる磁石部材を前記透明基板に当接させて、前記磁石部材と前記マスク板との間に作用する磁力により前記マスク板を保持し、
前記マスク板を介して前記透明基板の前記被処理面に蒸着物質を付着させることを特徴とする請求項1記載の真空蒸着方法。 - 前記透明基板と前記マスク板とのアライメント時に相互に密着させた後に、アライメントミスにより、再度アライメントするときには、前記透明基板と前記マスク板とが完全に剥離するのに必要なストロークだけ上下方向に離間させた後に、再度アライメントを行う距離まで近接させることを特徴とする請求項3記載の真空蒸着方法。
- 前記被処理面に付着する前記蒸着物質は、n個の発光層であり、
前記マスク板と前記透明基板とをアライメントした後に、前記マスク板と前記透明基板とを密着させ、前記磁石部材により前記マスク板が前記透明基板に吸着保持した状態で、前記発光層のうち何れか1つの発光層が蒸着した後に、前記マスク板を前記透明基板から離間して画素ピッチずらす工程を、n回繰り返して行うことにより、
前記被処理面に前記三原色からなる発光層を1画素として形成することを特徴とする請求項4記載の真空蒸着方法。 - 請求項1乃至5に記載の真空蒸着方法によって、順次n個の各色に発光するEL素子のドットパターンを形成したELディスプレイ用パネル。
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