KR102396878B1 - 표면 처리 장치 - Google Patents

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KR102396878B1
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Abstract

본 출원은 표면 처리 장치를 제공하며, 해당 표면 처리 장치는, 프레임워크(11), 디스크 랙(40), 협력하여 디스크 랙(40)을 지지하기 위한 2개의 지지휠(51), 2개의 지지휠(51) 상에 지지되는 디스크 랙(40)의 회전을 구동하기 위한 회전 구동 메커니즘(60), 디스크 랙(40) 상의 회로 기판을 향해 약액을 분사하기 위한 수직 스프레이 랙(20), 및 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 구동하기 위한 승강 메커니즘(30)을 포함한다. 본 출원은 지지휠(51)과 회전 구동 메커니즘(60)을 설치하여 디스크 랙(40)의 회전을 구동하고, 승강 메커니즘(30)을 설치하여 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 푸싱함으로써, 수직 스프레이 랙(20)에서 분사되는 약액을 디스크 랙(40) 상의 회로 기판에 양호하게 커버할 수 있으며, 회로 기판의 측면이 상대적으로 큰 충격에 직면하는 것을 방지하여, 회로 기판의 제조 품질을 확보한다.

Description

표면 처리 장치
본 출원은 2020년 6월 30일에 중국 특허청에 제출한 발명의 명칭이 “표면 처리 장치”인 제202010612375.9호 중국 특허 출원의 우선권을 주장하는 바, 해당 중국 특허 출원의 모든 내용은 참조로 본원 출원에 원용된다.
본 출원은 회로 기판 가공 장치 기술 분야에 관한 것으로, 특히는 표면 처리 장치에 관한 것이다.
여기서 진행되는 진술은 본 출원에 관련된 배경 기술을 제공하기 위한 것일 뿐, 반드시 선행 기술을 구성하는 것은 아니다. 회로 기판은 가공 및 제조됨에 있어서, 통상적으로 표면 처리 장치를 사용하여 회로 기판에 대해 식각, 막 박리, 청결 등의 가공 처리를 진행하여야 한다. 회로 기판에 대해 표면 처리를 진행할 경우, 통상적으로, 스프레이 방식을 사용하여 약액을 회로 기판 상에 분사시킨다. 현재의 스프레이 방식은 수평 스프레이 및 수직 스프레이로 구분된다. 수평 스프레이는 회로 기판을 수평된 전송 라인 상에 배치하고, 스프레이 파이프를 수평면 상에 배열하며, 스프레이 파이프 상의 노즐로 아래로 향해 회로 기판 상으로 분사하는 것이다. 수직 스프레이는 회로 기판을 수직되게 설치하고, 스프레이 파이프를 수직면 상에 배열하며, 스프레이 파이프 상의 노즐로 수직되는 회로 기판 상에 약액을 분사하는 것이다. 수평 스프레이로 인해, 회로 기판 상의 약액은 흔히 제때에 유출되지 못하여, 가공 정밀도에 영향을 미치게 되며, 이로 인해 현재의 고품질 회로 기판의 가공에는 대부분 수직 스프레이 방식을 이용하고 있다. 약액으로 전반적인 회로 기판을 양호하게 커버하기 위하여, 현재의 수직 스프레이의 표면 처리 장치는 통상적으로 회전 구조를 설치하여 스프레이 파이프가 수직축을 중심으로 회동하도록 스프레이 파이프를 구동한다. 그러나, 스프레이 파이프가 수직축을 중심으로 회동할 경우, 노즐에서 분사되는 약액이 인쇄 회로 상에 경사지게 분사되어, 회로 측면에 상대적으로 큰 충격이 인가되어, 회로의 품질에 영향을 미치게 된다.
본 출원의 기술적 과제로서, 표면 처리 장치 중의 스프레이 파이프가 수직축을 중심으로 회동하여 회로의 측면에 상대적으로 큰 충격을 인가하어 회로의 품질에 영향을 미치는 관련된 기술에 존재하는 문제점을 해결하기 위한 표면 처리 장치를 제공하고자 한다.
상술한 기술적 문제를 해결하기 위하여, 본 출원의 일 양태에 있어서, 표면 처리 장치를 제공하며, 해당 표면 처리 장치는,
프레임워크와,
회로 기판을 클램핑하기 위한 디스크 랙과,
상기 프레임워크 상에 지지되어, 협력하여 상기 디스크 랙을 지지하기 위한 2개의 지지휠과,
상기 프레임워크 상에 지지되어, 상기 2개의 지지휠 상에 지지된 상기 디스크 랙의 회전을 구동하기 위한 회전 구동 메커니즘과,
상기 디스크 랙 상의 회로 기판에 약액을 분사하기 위한 수직 스프레이 랙과,
상기 프레임워크 상에 장착되어, 상기 수직 스프레이 랙의 승강 이동을 구동하기 위한 승강 메커니즘을 포함하되,
상기 수직 스프레이 랙은 상기 승강 메커니즘 상에 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 수직 스프레이 랙은 2개이고, 2개의 상기 수직 스프레이 랙은 상기 디스크 랙의 양측에 병렬되게 설치되고, 상기 승강 메커니즘은 상기 수직 스프레이 랙 각각에 연결되는 승강 로드, 상기 승강 로드의 승강 이동을 인도하는 가이드 시트 및 상기 승강 로드의 승강을 구동하는 승강 구동 메커니즘을 포함하고, 상기 승강 구동 메커니즘은 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 가이드 시트는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 승강 로드는 상기 프레임워크 상에 슬라이딩되게 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 승강 구동 메커니즘은 양단부가 상기 수직 스프레이 랙 각각에 대응되는 상기 승강 로드에 각각 경첩 연결되는 푸시 로드, 상기 푸시 로드의 중간 부분을 지지하는 베이스, 상기 푸시 로드의 일단 부의 승강을 구동하는 레버, 상기 레버의 회동을 구동하는 편심륜 및 상기 편심륜의 회전을 구동하는 회전 구동 어셈블리를 포함하고, 상기 회전 구동 어셈블리는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 베이스는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 푸시 로드의 중간 부분은 상기 베이스와 경첩 연결된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 회전 구동 어셈블리는 상기 편심륜을 지지하는 회전축, 상기 회전축의 회전을 구동하는 구동축, 상기 구동축과 상기 회전축을 연결하는 조향 장치 및 상기 구동축의 회전을 구동하는 승강 모터를 포함하고, 상기 승강 모터는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 구동축과 상기 회전축은 각각 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 승강 구동 메커니즘은 다수의 상기 푸시 로드 및 상기 푸시 로드 각각을 지지하는 다수의 베이스를 포함하고, 상기 푸시 로드 각각의 양단부에는 상기 승강 로드가 각각 경첩되고, 상기 푸시 로드 각각의 양단부의 상기 승강 로드는 각각 2개의 상기 수직 스프레이 랙에 연결되며, 상기 승강 구동 메커니즘은 연결 로드를 더 포함하고, 상기 푸시 로드 각각의 일단부는 상기 연결 로드에 경첩되고, 상기 레버는 상기 연결 로드에 경첩된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 승강 메커니즘은 상응한 상기 승강 로드를 위로 향해 탄성적으로 푸시하기 위한 탄성 푸셔를 더 포함하고, 상기 탄성 푸셔의 상단부는 상기 승강 로드에 고정되게 연결되고, 상기 탄성 푸셔의 하단부는 상기 프레임워크 상에 지지된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 표면 처리 장치는,
상기 2개의 지지휠의 양측에 각각 설치되어, 상기 디스크 랙의 전송을 인도하기 위한 가이드 레일과,
상기 프레임워크 상에 장착되어, 상기 디스크 랙의 상측을 지지하기 위한 가이드 바와,
상기 프레임워크 상에 장착되어, 2개의 상기 지지휠의 승강 이동을 각각 구동하는 2개의 승강 장치를 더 포함하되,
상기 2개의 지지휠은 각각 2개의 상기 승강 장치 상에 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 승강 장치는 상기 프레임워크 상에 슬라이딩되게 장착되는 지지 베이스, 상기 지지 베이스의 승강을 푸시하는 편심 캠 및 상기 편심 캠의 회전을 구동하는 회전 장치를 포함하고, 상기 회전 장치는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 지지휠은 상응한 상기 지지 베이스 상에 회전되게 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 승강 장치는 상기 지지 베이스의 하강을 견인하는 탄성 견인 소자를 더 포함하고, 상기 탄성 견인 소자의 상단부는 상기 지지 베이스와 연결되고, 상기 탄성 견인 소자의 하단부는 상기 프레임워크과 연결된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 회전 구동 메커니즘은 상기 2개의 지지휠과 협력하여 상기 디스크 랙을 클램핑하고 상기 디스크 랙의 회전을 구동하기 위한 구동휠 및 상기 구동휠의 회전을 구동하는 회전 어셈블리를 포함하고, 상기 구동휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되고, 상기 회전 어셈블리는 상기 프레임워크 상에 지지된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 회전 구동 메커니즘은 상기 구동휠과 협력하여 상기 디스크 랙을 압박하는 보조휠을 더 포함하고, 상기 보조휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 회전 어셈블리는 회전 모터, 상기 구동휠에 연결되는 기어 세트 및 상기 기어 세트와 상기 구동휠을 연결하는 체인 전동 구조를 포함하고, 상기 구동휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되고, 회전 모터는 프레임워크 상에 지지된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 수직 스프레이 랙은 수직면 상에 배열되는 다수의 스프레이 파이프 및 상기 스프레이 파이프 각각을 지지하는 지지대를 포함하고, 상기 스프레이 파이프 각각 상에는 다수의 노즐이 장착되고, 상기 지지대는 상기 승강 메커니즘에 연결된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 스프레이 파이프 각각은 수직되게 설치되고, 다수의 상기 스프레이 파이프는 수평 방향을 따라 배열된다.
선택 가능한 일 실시예에 있어서, 상기 표면 처리 장치는 약액을 여과하고 회수하기 위한 잔류물 여과 장치를 더 포함한다.
본 출원의 실시예에서 제공하는 표면 처리 장치는 아래와 같은 유익한 효과를 구비한다. 관련된 기술에 비해, 본 출원은 수직 스프레이 랙을 설치하여, 수직 스프레이를 실현하고, 지지휠 및 회전 구동 메커니즘을 설치하여, 디스크 랙의 회전을 구동하고, 승강 메커니즘을 설치하여 수직 스프레이 랙의 승강 이동을 푸시함으로써, 수직 스프레이 랙에서 분사되는 약액을 디스크 랙 상의 회로 기판에 양호하게 커버시켜, 회로 기판 표면에 대해 처리를 진행할 수 있으며, 회로 기판의 측면에 상대적으로 큰 충격이 인가되는 것을 방지하여, 회로 기판의 제조 품질을 확보할 수 있다.
본 출원의 실시예 중의 기술적 방안을 보다 명확하게 설명하기 위하여, 아래에 시범적인 실시예 또는 종래 기술의 설명에 사용될 필요가 있는 첨부된 도면에 대한 간단한 소개를 진행하며, 아래에 설명되는 첨부된 도면은 단지 본 출원의 일부의 실시예일 뿐, 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 진보성 노동이 없이 이러한 첨부된 도면에 따라 기타의 첨부된 도면을 더 획득할 수 있음이 명확할 것이다.
도 1은 본 출원의 제1 실시예에서 제공하는 표면 처리 장치의 개략적 측면 구성도이다.
도 2는 본 출원의 제1 실시예에서 제공하는 표면 처리 장치의 개략적 정면 구성도이다.
도 3은 도 2 중의 표면 처리 장치 중의 디스크 랙의 회전 구동 부분 구성의 개략도이다.
도 4는 도 3 중의 디스크 랙의 회전 구동 부분 구성의 개략적 측면도이다.
도 5는 도 2 중의 표면 처리 장치 중의 수직 스프레이 부분 구성의 개략적 정면도이다.
도 6은 도 5 중의 수직 스프레이 부분 구성의 개략적 부감도이다.
도 7은 도 5 중의 수직 스프레이 부분 구성의 개략적 좌측면도이다.
도 8은 도 5 중의 수직 스프레이 부분 구성의 개략적 우측면도이다.
도 9는 본 출원의 제2 실시예에서 제공하는 표면 처리 장치 중의 디스크 랙의 회전 구동 부분 구성의 개략도이다.
도 10은 도 9 중의 디스크 랙의 회전 구동 부분 구성의 개략적 단면도이다.
도 11은 본 출원의 제3 실시예에서 제공하는 표면 처리 장치의 개략적 측면 구성도이다.
본 출원에서 해결하고자는 기술적 문제, 기술적 방안 및 유익한 효과가 보다 명확해지도록, 아래에 첨부된 도면 및 실시예들을 결부하여 본 출원에 대한 진일보로 상세한 설명을 진행하기로 한다. 여기에 설명된 구체적인 실시예는 단지 본 출원을 해설하기 위한 것일 뿐, 본 출원을 한정하기 위한 것이 아님을 이해하여야 한다.
구성요소가 다른 하나의 구성요소에 “고정”되거나 “설치”된다고 지칭될 경우, 이는 다른 하나의 구성요소 상에 직접적으로 위치하거나 다른 하나의 구성요소 상에 간접적으로 위치할 수 있으며, 하나의 구성요소가 다른 하나의 구성요소에 “연결”된다고 지칭될 경우, 이는 다른 하나의 구성요소 상에 직접적으로 연결되거나 다른 하나의 구성요소 상에 간접적으로 연결되는 것일 수 있음을 설명하고자 한다.
본 출원의 설명에 있어서, 명확히 구체적으로 한정되지 않는 한, “다수”의 함의는 2개 또는 2개이상이다. 명확히 구체적으로 한정되지 않는 한, “여럿”의 함의는 하나 또는 하나이상이다.
본 출원의 설명에 있어서, 용어 “중심”, “길이”, “폭”, “두께”, “상”, “하”, “전”, “후”, “좌”, “우”, “수직”, “수평”, “상부”, “저부”, “내부”, “외부”등으로 지시되는 방향 또는 위치 관계는 첨부된 도면에 도시된 방향 또는 위치 관계를 기반으로 하며, 단지 본 출원을 설명이 편리하고 설명을 단순화시키기 위한 것일 뿐, 당해 장치 또는 구성요소가 반드시 특정된 방향을 구비하여 특정된 방향으로 구성되고 조작되는 것으로 지시하거나 암시하는 것이 아니며, 따라서, 본 출원에 대한 한정으로 이해하여서는 아니됨을 이해하여야 한다.
본 출원의 설명에 있어서, 명확히 다르게 규정되고 한정되지 않는 한, 용어 “장착”, “상호 연결”, “연결”은 광범위하게 이해되어야 하며, 예를 들어, 고정 연결일 수 있고, 착탈가능한 연결이거나 또는 일체로 연결될 수도 있으며, 기계적 연결일 수 있고, 전기적 연결일 수도 있으며, 직접적인 상호 연결일 수 있고, 중간 매체를 경유한 간접적인 상호 연결일 수도 있으며, 2개의 구성요소 내부의 연통이거나 2개의 구성요소의 상호 작용 관계일 수 있다. 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 구체적인 경우에 따라 본 출원에서의 상술한 용어의 구체적인 함의를 이해할 수 있다.
본 출원의 명세서에 설명된 “하나의 실시예”, “일부의 실시예” 또는 “실시예”를 참조하는 것은 본 출원의 하나 또는 다수의 실시예에 해당 실시예를 결부하여 설명된 특정의 특징, 구성 또는 특점이 포함되는 것을 의미한다. 이로써, 기타의 방식으로 특별히 달리 강조하지 않는 한, 본 명세서 중의 상이한 위치에 나타나는 문구 “하나의 실시예에 있어서”, “일부의 실시예에 있어서”, “기타의 일부의 실시예에 있어서”, “또 다른 일부의 실시예에 있어서” 등은 반드시 모두 동일한 실시예를 참조하는 것이 아니며, “전부가 아닌 하나 또는 다수의 실시예”를 의미한다. 또한, 하나 또는 다수의 실시예에 있어서, 특정의 특징, 구성 또는 특점은 임의의 적절한 방식으로 조합될 수 있다.
제1 실시예
도 1 및 도 2를 참조하여 본 출원에서 제공하는 표면 처리 장치(100)에 대한 설명을 진행하기로 한다. 상기 표면 처리 장치(100)는, 프레임워크(11), 디스크 랙(40), 2개의 지지휠(51), 회전 구동 메커니즘(60), 수직 스프레이 랙(20) 및 승강 메커니즘(30)을 포함한다. 디스크 랙(40)은 회로 기판에 대해 가공 처리를 진행하도록 회로 기판을 클램핑하도록 구성된다. 회전 구동 메커니즘(60)은 프레임워크(11) 상에 지지되고, 회전 구동 메커니즘(60)은 2개의 지지휠(51) 상에 지지되는 디스크 랙(40)의 회전을 구동하도록 구성된다. 2개의 지지휠(51)은 프레임워크(11) 상에 지지되고, 2개의 지지휠(51)은 디스크 랙(40)가 유연하게 회전할 수 있도록 협력하여 디스크 랙(40)를 지지하도록 구성된다. 수직 스프레이 랙(20)은 디스크 랙(40) 상의 회로 기판을 향해 약액을 분사한다. 수직 스프레이 랙(20)은 승강 메커니즘(30) 상에 지지되어, 승강 메커니즘(30)을 통해 수직 스프레이 랙(20)을 지지하고, 승강 메커니즘(30)은 프레임워크(11) 상에 장착되어, 프레임워크(11)를 통해 승강 메커니즘(30)과 수직 스프레이 랙(20)을 지지한다. 승강 메커니즘(30)은 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 구동하며, 이러할 경우, 분사되는 약액은 수직선 상에 더욱 양호하게 커버될 수 있으며, 회전 구동 메커니즘(60)은 디스크 랙(40)의 회전을 구동하며, 이러할 경우, 수직 스프레이 랙(20)에서 분사되는 약액은 전반적인 회로 기판을 커버할 수 있으며, 회로 기판 상에 분사되는 약액은 더욱 잘 섭동되어, 회로 기판 상에서 유동하여, 회로 기판 표면에 대한 처리를 진행할 수 있다. 수직 스프레이 랙(20)이 승강 이동을 진행하므로, 회로 기판의 측면에 상대적으로 큰 충격이 인가되는 것을 방지하여, 회로 기판의 제조 품질을 확보할 수 있다.
본 출원에서 제공하는 표면 처리 장치(100)에 있어서, 관련된 기술에 비해, 본 출원은 수직 스프레이 랙(20)을 설치함으로써, 수직 스프레이를 실현하고, 지지휠(51) 및 회전 구동 메커니즘(60)을 설치하여, 디스크 랙(40)의 회전을 구동하며, 승강 메커니즘(30)을 설치하여 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 푸시하여, 수직 스프레이 랙(20)에서 분사되는 약액은 디스크 랙(40) 상의 회로 기판을 양호하게 커버하여, 회로 기판 표면에 대해 처리를 진행할 수 있으며, 회로 기판의 측면에 상대적으로 큰 충격이 인가되는 것을 방지하여, 회로 기판의 제조 품질을 확보할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 표면 처리 장치(100)는 가이드 레일(12), 가이드 바(13) 및 2개의 승강 장치(52)를 더 포함한다. 2개의 승강 장치(52), 가이드 레일(12), 가이드 바(13)는 각각 프레임워크(11) 상에 장착된다. 2개의 지지휠(51)은 각각 2개의 승강 장치(52) 상에 장착되며, 2개의 승강 장치(52)를 통해 각각 2개의 지지휠(51)의 승강을 구동하여, 2개의 지지휠(51)의 협력을 통해 디스크 랙(40)을 지지하여, 디스크 랙(40)을 이동시켜 회전 구동 메커니즘(60)과 접촉시켜, 회전 구동 메커니즘(60)으로 디스크 랙(40)의 회전을 구동할 수 있다. 2개의 지지휠(51)의 양측에는 각각 가이드 레일(12)이 설치되고, 가이드 레일(12)은 디스크 랙(40)의 이동을 인도하여 디스크 랙(40)을 전송하도록 구성되며, 가이드 바(13)는 디스크 랙(40)의 상측을 지지하도록 구성되며, 이로써, 디스크 랙(40)이 가이드 레일(12) 상에서 회전되며 전송될 경우, 가이드 바(13)는 디스크 랙(40)의 양면을 차단시켜, 디스크 랙(40)을 수직되게 유지시키며, 이로써, 디스크 랙(40)이 가이드 레일(12) 상에서 회전되기가 편리하다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 회전 구동 메커니즘(60)은 구동휠(61) 및 회전 어셈블리(63)를 포함하며, 구동휠(61)은 프레임워크(11) 상에 회전되게 장착되며, 회전 어셈블리(63)는 프레임워크(11) 상에 지지되며, 구동휠(61)은 2개의 지지휠(51)과 협력하여 디스크 랙(40)을 클램핑하도록 구성되며, 이로써, 구동휠(61)이 회전할 경우, 디스크 랙(40)의 회전을 구동할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 회전 어셈블리(63)는 회전 모터(631), 구동휠(61)에 연결되는 기어 세트(633) 및 기어 세트(633)와 구동휠(61)을 연결하는 체인 전동 구조(632)를 포함한다. 구동휠(61)은 프레임워크(11) 상에 회전되게 장착되고, 회전 어셈블리(63)는 프레임워크(11) 상에 지지된다. 체인 전동 구조(632)를 사용함으로써, 회전 모터(631)의 위치를 편리하게 배치하여, 장착 정밀도를 저감시킬 수 있다. 물론, 일부의 실시예에 있어서, 직접적으로 회전 모터(631)를 통해 구동휠(61)의 회전을 구동할 수 있다. 또한 일부의 실시예에 있어서, 기어 세트(633)를 이용하여 회전 모터(631)와 구동휠(61)을 연결함으로써, 구동휠(61)의 정밀한 회전을 확보하여, 디스크 랙(40)에 대한 정밀한 위치 결정을 진행할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 회전 구동 메커니즘(60)은 보조휠(62)을 더 포함하며, 보조휠(62)은 프레임워크(11) 상에 회전되게 장착되고, 2개의 지지휠(51)로 디스크 랙(40)의 상승을 구동할 경우, 보조휠(62)은 구동휠(61)과 협력하여 디스크 랙(40)을 압박하여, 디스크 랙(40)은 보다 양호하게 위치 결정할 수 있으며, 구동휠(61)로 디스크 랙(40)을 보다 양호하게 압박함으로써, 구동휠(61)은 디스크 랙(40)의 회전을 보다 양호하게 구동하게 된다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 보조휠(62)은 기어 세트(633)에 연결되어, 기어 세트(633)로 보조휠(62)의 회전을 구동함으로써, 보조휠(62) 및 구동휠(61)을 통해 동시에 디스크 랙(40)의 회전을 구동하여, 디스크 랙(40)의 회전을 보다 안정적으로 구동할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 3 및 도 4를 참조하면, 승강 장치(52)는 지지 베이스(521), 편심 캠(522) 및 회전 장치(523)를 포함하며, 회전 장치(523)는 프레임워크(11) 상에 장착되고, 지지휠(51)은 상응한 지지 베이스(521) 상에 회전되게 장착되며, 지지 베이스(521)는 프레임워크(11) 상에 슬라이딩되게 장착되어, 지지 베이스(521)는 프레임워크(11) 상에서의 지지휠(51)의 승강 이동을 구동할 수 있으며, 편심 캠(522)은 회전 장치(523) 상에 장착되고, 회전 장치(523)를 통해 편심 캠(522)의 회전을 구동하여, 지지 베이스(521)의 승강을 푸시한다. 편심 캠(522)의 회전을 이용하여 지지 베이스(521)의 승강을 푸시함으로써, 회전 장치(523)를 지지휠(51)의 정하방에 설치하는 것을 방지할 수 있으며, 이로써, 가종을 진행한 후 회로 기판 상의 처리액이 회전 장치(523) 상에 떨어지는 것을 방지할 수 있어, 회전 장치(523)를 보호할 수 있다. 일 실시예에 있어서, 회전 장치(523)는 회전 모터(631), 회전 실린더 등을 사용할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 승강 장치(52)는 지지 베이스(521)의 하강을 견인하는 탄성 견인 소자(524)를 더 포함하며, 탄성 견인 소자(524)의 상단부는 지지 베이스(521)에 연결되고, 탄성 견인 소자(524)의 하단부는 프레임워크(11)에 연결된다. 탄성 견인 소자(524)를 통해 지지 베이스(521)로 편심 캠(522)을 압박함으로써, 편심 캠(522)은 지지 베이스(521)의 승강을 푸시하게 된다. 일 실시예에 있어서, 탄성 견인 소자(524)는 스프링이다. 일부의 실시예에 있어서, 탄성 견인 소자(524)는 탄성 로프일 수 있다.
일부의 실시예에 있어서, 승강 장치(52)는 지지휠(51)을 지지하는 지지로드 및 지지 로드의 승강을 구동하는 승강 구조를 포함할 수 있으며, 승강 구조는 실린더, 나사 너트 메커니즘 등일 수 있다. 승강 구조는 프레임워크(11)의 상단부에 장착될 수 있으며, 회로 기판 상의 처리액이 승강 구조 상에 떨어지는 것을 방지할 수도 있다.
본 출원의 실시예의 디스크 랙(40)의 로딩 공정은 아래와 같다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 디스크 랙(40)은 가이드 레일(12) 상에서 회전되며 전송되며, 2개의 지지휠(51)에서, 가이드 레일(12)의 전송 방향의 하류에 위치하는 하나의 승강 장치(52)는 상응한 지지휠(51)의 상승을 푸시하여, 디스크 랙(40)을 정지시키고, 디스크 랙(40)이 2개의 지지휠(51)의 사이로 회전될 경우, 다른 하나의 승강 장치(52)는 가이드 레일(12)의 전송 방향의 상류에 위치하는 지지휠(51)의 상승을 푸시함으로써, 2개의 지지휠(51)은 배합하여 디스크 랙(40)의 상승을 푸시하며, 디스크 랙(40)은 구동휠(61)과 보조휠(62)을 압박하게 되며, 회전 어셈블리(63)은 구동휠(61)의 회전을 구동하여, 디스크 랙(40)의 회전을 구동하며, 승강 메커니즘(30)은 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 구동하여, 수직 스프레이 랙(20)은 디스크 랙(40) 상의 회로 기판을 향해 약액을 분사하게 되며, 이로써 회로 기판에 대해 표면 처리를 진행한다. 회로 기판 표면 처리가 완료되면, 가이드 레일(12)의 전송 방향의 하류에 위치하는 하나의 승강 장치(52)는 상응한 지지휠(51)의 하강을 푸시하고, 이어서, 가이드 레일(12)의 전송 방향의 상류에 위치하는 하나의 승강 장치(52)는 상응한 지지휠(51)의 하강을 푸시하며, 가이드 레일(12)의 전송 방향의 상류에 위치하는 하나의 승강 장치(52)로 상응한 지지휠(51)의 하강을 푸시하는 과정에, 디스크 랙(40)은 구동휠(61)에서 분리되어, 앞으로 가이드 레일(12)의 하부로 회전되어, 다음 작업 위치로 회전되어 전송된다.
일 실시예에 있어서, 도 1 및 도 5를 참조하면, 수직 스프레이 랙(20)은 2개이고, 2개의 수직 스프레이 랙(20)은 디스크 랙(40)의 양측에 병렬되게 설치된다. 2개의 수직 스프레이 랙(20)을 설치함으로써, 동시에 회로 기판의 양면을 향해 약액을 분사하여, 회로 기판에 대해 보다 양호한 표면를 진행하여, 효율을 향상시킬 수 있다. 물론, 일부의 실시예에 있어서, 단지 하나의 수직 스프레이 랙(20)을 설치함으로써, 회로 기판의 일면에 대해 분사를 진행할 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 도 5를 참조하면, 수직 스프레이 랙(20)은 다수의 스프레이 파이프(21) 및 지지대(22)를 포함하며, 스프레이 파이프(21) 각각은 지지대(22) 상에 장착되고, 지지대(22)를 통해 스프레이 파이프(21) 각각을 지지하며, 다수의 스프레이 파이프(21)는 수직면 상에 배열되며, 스프레이 파이프(21) 각각 상에는 다수의 노즐(23)이 장착되며, 다수의 노즐(23)은 수직 분사를 진행하도록 수직면 상에 배치된다. 지지대(22)는 승강 메커니즘(30)와 연결되어, 승강 메커니즘(30)을 통해 지지대(22)의 승강을 구동하며, 이로써 스프레이 파이프(21) 및 그의 상부의 노즐(23)의 승각 이동을 구동한다. 일부의 실시예에 있어서, 중공 보드를 사용할 수도 있으며, 노즐(23)은 해당 보드 상에 장착되고, 해당 보드는 수직되게 설치되어, 수직 스프레이 랙(20)을 형성한다.
일 실시예에 있어서, 스프레이 파이프(21) 각각은 수직되게 설치되고, 다수의 스프레이 파이프(21)는 수평 방향을 따라 배열되어, 노즐(23) 각각을 하나의 수직면 상에 배치하는 것을 실현한다. 물론, 일부의 실시예에 있어서, 스프레이 파이프(21) 각각은 수평되게 설치될 수 도 있으며, 다수의 스프레이 파이프(21)는 수직 방향을 따라 배열되고, 노즐(23) 각각을 하나의 수직면 상에 배치할 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 승강 메커니즘(30)은 수직 스프레이 랙(20)의 승강을 직접적으로 구동하도록 나사 너트 메커니즘, 선형 모터, 실린더 등과 같은 선형 이동 메커니즘일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 5 및 도 7을 참조하면, 승강 메커니즘(30)은 승강 로드(31), 가이드 시트(32) 및 승강 구동 메커니즘(33)을 포함하며, 수직 스프레이 랙(20) 각각 상에는 승강 로드(31)가 각각 연결되어, 승강 로드(31)를 통해 상응한 수직 스프레이 랙(20)을 지지한다. 승강 로드(31)는 프레임워크(11) 상에 슬라이딩되게 장착되고, 가이드 시트(32)는 승강 로드(31)에 일대일로 대응되어, 가이드 시트(32)를 통해 승강 로드(31)의 승강 이동을 인도한다. 가이드 시트(32)는 가이드 부시, 가이드 링 등의 구성일 수 있으며, 가이드 시트(32)를 승강 로드(31) 상에 슬리브 설치하여, 승강 로드(31)의 승강을 인도하며, 가이드 시트(32) 각각은 프레임워크(11) 상에 장착된다. 승강 구동 메커니즘(33)은 프레임워크(11) 상에 장착되고, 승강 구동 메커니즘(33)을 통해 승강 로드(31)의 승강 이동을 구동하여, 상응한 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 구동한다. 승강 로드(31)를 설치함으로써, 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 보다 양호하게 인도하여, 수직 스프레이 랙(20)의 안정적인 승강을 확보할 수 있다. 일부의 실시예에 있어서, 승강 메커니즘(30)은 승강 로드(31)의 승강 이동을 직접적으로 구동하도록 나사 너트 메커니즘, 선형 모터, 실린더 등의 선형 이동 메커니즘일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 5, 도 7 및 도 8을 참조하면, 승강 메커니즘(30)은 탄성 푸셔(311)를 더 포함하며, 승강 로드(31) 각각은 탄성 푸셔(311)에 장착되며, 탄성 푸셔(311)의 상단부는 승강 로드(31)에 고정되게 연결되며, 탄성 푸셔(311)의 하단부는 프레임워크(11) 상에 지지되고, 탄성 푸셔(311)는 승강 로드(31)를 위로 향해 탄성적으로 푸시하도록 구성된다. 탄성 푸셔(311)를 통해 승강 로드(31)를 위로 향해 탄성적으로 푸시함으로써, 수직 스프레이 랙(20) 및 승강 로드(31)의 일부의 중력을 상쇄시켜, 승강 구동 메커니즘(33)로 승강 로드(31)및 상응한 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 유연하게 푸시하기에 편리할 수 있다.
일 실시예에 있어서, 탄성 푸셔(311)는 탄성 신축통이며, 예컨대 탄성 신축 성능을 구비하는 풀무통일 수 있으며, 탄성 신축 고무통일 수도 있다. 일부의 실시예에 있어서, 탄성 푸셔(311)는 스프링일 수도 있으며, 탄성 프레임을 구비하는 탄성 고무통일 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 도 5 및 도 7을 참조하면, 승강 구동 메커니즘(33)은 푸시 로드(34), 베이스(35), 레버(37), 편심륜(36) 및 회전 구동 어셈블리(39)를 포함하며, 회전 구동 어셈블리(39)는 프레임워크(11) 상에 장착되고, 베이스(35)는 프레임워크(11) 상에 장착되고, 푸시 로드(34)의 중간 부분은 베이스(35)에 경첩 연결되며, 푸시 로드(34)의 양단부는 각각은 2개의 수직 스프레이 랙(20)에 대응되는 승강 로드(31)에 경첩되고, 푸시 로드(34)의 중간 부분은 베이스(35)에 경첩되어, 푸시 로드(34)로 시소 구조를 형성하며, 레버(37)는 편심륜(36) 상에 장착되고, 편심륜(36)을 통해 레버(37)의 회동을 구동하고, 레버(37)는 푸시 로드(34)의 일단부에 연결되어, 푸시 로드(34)의 일단부의 승강을 구동할 수 있으며, 아울러, 푸시 로드(34)의 타단부의 승강을 구동할 수 있어, 푸시 로드(34)의 양단부의 승강 로드(31)의 동기적인 역방향 승강이동을 실현함으로써, 2개의 수직 스프레이 랙(20)의 승강 이동을 구동한다.
일 실시예에 있어서, 회전 구동 어셈블리(39)는 회전축(394), 구동축(392), 조향 장치(393) 및 승강 모터(391)를 포함하고, 편심륜(36)은 회전축(394) 상에 장착되고, 회전축(394)을 통해 편심륜(36)의 회전을 지지하고 구동하며, 조향 장치(393)는 구동축(392)과 회전축(394)을 연결하고, 승강 모터(391)는 구동축(392)에 연결되어, 구동축(392)의 회전을 구동함으로써, 조향 장치(393)를 통해 회전축(394)의 회전을 구동하여, 편심륜(36)의 회전을 구동하며, 해당 구성은 승강 모터(391)의 위치를 배치하기에 편리할 수 있다. 조향 장치(393)는 원추형 기어 구조를 사용할 수 있으며, 웜기어 구조 등일 수도 있다. 일부의 실시예에 있어서, 승강 모터(391)를 이용하여 편심륜(36)의 회전을 직접적으로 구동할 수도 있으며, 또는 승강 모터(391)를 이용하여 회전축(394)의 회전을 구동할 수도 있다.
일 실시예에 있어서, 승강 구동 메커니즘(33)은 다수의 푸시 로드(34) 및 다수의 베이스(35)를 포함하며, 베이스(35)와 푸시 로드(34)는 일대일로 대응되고, 푸시 로드(34) 각각의 양단부에는 각각 승강 로드(31)가 경첩되고, 푸시 로드(34) 각각의 양단부의 승강 로드(31)는 각각 2개의 수직 스프레이 랙(20)에 연결되어, 수직 스프레이 랙(20) 각각을 보다 안정적으로 지지하며, 수직 스프레이 랙(20) 각각의 승강 이동을 안정적으로 구동한다. 승강 구동 메커니즘(33)은 연결 로드(38)를 더 포함하며, 푸시 로드(34) 각각의 일단부는 연결 로드(38)에 경첩되고, 레버(37)는 연결 로드(38)에 경첩되어, 레버(37)를 통해 연결 로드(38)의 승강을 구동함으로써, 푸시 로드(34) 각각의 동기적인 회동을 구동하여, 수직 스프레이 랙(20) 각각의 안정적인 승강 이동을 구동한다.
일부의 실시예에 있어서, 수직 스프레이 랙(20) 각각에는 다수의 승강 로드(31)가 연결되며, 승강 구동 메커니즘(33)은 수직 스프레이 랙(20) 각각 에 대응되는 다수의 승강 로드(31)에 각각 연결되는 연결 로드(38)를 더 포함하며, 푸시 로드(34)의 양단부는 각각 2개의 연결 로드(38)에 경첩되며, 이러한 구성은 수직 스프레이 랙(20) 각각에 대응되는 승강 로드(31)의 동기적인 승강을 구동하여, 수직 스프레이 랙(20)의 안정적인 승강을 확보할 수도 있다. 또한, 일부의 실시예에 있어서, 구성을 간략화시키기 위하여, 해당 구성에는 단지 하나의 푸시 로드(34)가 설치될 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 5 내지 도 6을 참조하면, 회전축(394) 상에는 다수의 편심륜(36)이 장착되고, 편심륜(36) 각각에는 레버(37)가 장착되고, 레버(37) 각각은 모두 연결 로드(38)에 경첩되어, 연결 로드(38)의 승강 이동을 보다 안정적으로 구동하게 된다. 물론, 일부의 실시예에 있어서, 레버(37) 및 편심륜(36)은 모두 1개일 수 있다.
일 실시예에 있어서, 도 1을 참조하면, 프레임워크(11)의 하단부에는 액체 수집 탱크(111)가 더 구비되어, 수직 스프레이 랙(20)에서 분사되는 약액을 수집하기에 편리하여, 오염을 방지하고, 약액에 대해 회수 및 재 처리를 진행할 수 있다.
본 출원의 실시예의 표면 처리 장치(100)는 회로 기판에 대해 식각을 진행하기 위한 식각 장치일 수 있으며, 회로 기판에 대해 청결을 진행하기 위한 청결 장치일 수도 있으며, 회로 기판에 대해 막 박리를 진행하기 위한 막 박리 장치일 수도 있다. 물론, 회로 기판 처리 공정에서 스프레이를 진행할 필요가 있을 경우, 본 실시예의 표면 처리 장치(100)를 사용할 수도 있다.
제2 실시예:
도 9 및 도 10을 참조하면, 본 실시예의 표면 처리 장치(100)와 제1 실시예의 표면 처리 장치(100)는 아래와 같은 차이점을 구비한다.
본 실시예에 있어서, 회전 어셈블리(63)는 회전 모터(631), 및 회전 모터(631)와 구동휠(61)을 연결하는 체인 전동 구조(632)를 포함한다. 체인 전동 구조(632)를 사용함으로써, 회전 모터(631)의 위치를 편리하게 배치하여, 장착 정밀도를 저감시킬 수 있다. 제1 실시예에 비해, 해당 구성은 회전 어셈블리(63)의 구성을 간략화시킨다.
일 실시예에 있어서, 디스크 랙(40)의 회전 구동 메커니즘은 보조휠(62)을 더 포함하며, 보조휠(62)은 프레임워크(11) 상에 회전되게 장착되며, 2개의 지지휠(51)로 디스크 랙(40)의 상승을 구동할 경우, 디스크 랙(40)의 보다 양호한 위치 결정을 위하여, 보조휠(62)은 구동휠(61)과 배합하여 디스크 랙(40)을 압박하며, 구동휠(61)로 디스크 랙(40)을 보다 양호하게 압박함으로써, 구동휠(61)로 디스크 랙(40)의 회전을 구동할 경우, 보조휠(62)은 디스크 랙(40)을 다라 회전하여, 디스크 랙(40)의 안정하고 유연한 회전을 확보한다. 또한, 제1 실시예에 비해, 해당 구성은 구성을 간략화시켜, 조립에 편리하고 비용이 저감된다.
본 실시예의 표면 처리 장치(100) 의 기타 구성은 제1 실시예의 표면 처리 장치(100)의 기타 구성과 동일하므로, 이에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.
제3 실시예
도 11을 참조하면, 본 실시예의 표면 처리 장치(100)와 제1 실시예의 표면 처리 장치(100)는 아래와 같은 차이점을 구비한다.
본 실시예에 있어서, 표면 처리 장치(100)는 잔류물 여과 장치(70)를 더 포함하며, 잔류물 여과 장치(70)를 설치함으로써, 약액 중의 잔류물, 이물 등을 여과하여 회수하도록 약액을 회수하여 여과를 진행할 수 있다. 해당 표면 처리 장치(100)는 회로 기판 처리를 위한 막 박리 장치로 이용될 수 있으며, 이러할 경우, 잔류물 여과 장치(70)는 양액 중의 잔류물 막에 대해 여과를 진행할 수 있다.
본 실시예의 표면 처리 장치(100)의 기타 구성은 제1 실시예의 표면 처리 장치(100)의 기타 구성과 동일하므로, 이에 대한 중복된 설명은 생략하기로 한다.
이상의 내용은 단지 본 출원의 선택 가능한 실시예일 뿐, 본 출원을 한정하기 위한 것이 아니며, 본 출원의 사상 및 원리의 범위 내에서 진행한 임의의 수정, 균등한 대체 및 개선 등은 모두 본 출원의 보호 범위 내에 포함되어야 한다.
100: 표면 처리 장치
11: 프레임워크
111: 액체 수집 탱크
12: 가이드 레일
13: 가이드 바
20: 수직 스프레이 랙
21: 스프레이 파이프
22: 지지대
23: 노즐
30: 승강 메커니즘
31: 승강 로드
311: 탄성 푸셔
32: 가이드 시트
33: 승강 구동 메커니즘
34: 푸시 로드
35: 베이스
36: 편심륜
37: 레버
38: 연결 로드
39: 회전 구동 어셈블리
391: 승강 모터
392: 구동축
393: 조향 장치
394: 회전축
40: 디스크 랙
51: 지지휠
52: 승강 장치
521: 지지 베이스
522: 편심 캠
523: 회전 장치
524: 탄성 견인 소자
60: 회전 구동 메커니즘
61: 구동휠
62: 보조휠
63: 회전 어셈블리
631: 회전 모터
632: 체인 전동 구조
633: 기어 세트
70: 잔류물 여과 장치

Claims (15)

  1. 삭제
  2. 표면 처리 장치에 있어서,
    프레임워크와,
    회로 기판을 클램핑하기 위한 디스크 랙과,
    상기 프레임워크 상에 지지되어, 협력하여 상기 디스크 랙을 지지하기 위한 2개의 지지휠과,
    상기 프레임워크 상에 지지되어, 상기 2개의 지지휠 상에 지지된 상기 디스크 랙의 회전을 구동하기 위한 회전 구동 메커니즘과,
    상기 디스크 랙 상의 회로 기판에 약액을 분사하기 위한 수직 스프레이 랙과,
    상기 프레임워크 상에 장착되어, 상기 수직 스프레이 랙의 승강 이동을 구동하기 위한 승강 메커니즘을 포함하되,
    상기 수직 스프레이 랙은 상기 승강 메커니즘 상에 장착되고,
    상기 수직 스프레이 랙은 2개이고, 2개의 상기 수직 스프레이 랙은 상기 디스크 랙의 양측에 병렬되게 설치되고,
    상기 승강 메커니즘은 상기 수직 스프레이 랙 각각에 연결되는 승강 로드, 상기 승강 로드의 승강 이동을 인도하는 가이드 시트 및 상기 승강 로드의 승강을 구동하는 승강 구동 메커니즘을 포함하고,
    상기 승강 구동 메커니즘은 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 가이드 시트는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 승강 로드는 상기 프레임워크 상에 슬라이딩되게 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 승강 구동 메커니즘은 양단부가 상기 수직 스프레이 랙 각각에 대응되는 상기 승강 로드에 각각 경첩 연결되는 푸시 로드, 상기 푸시 로드의 중간 부분을 지지하는 베이스, 상기 푸시 로드의 일단 부의 승강을 구동하는 레버, 상기 레버의 회동을 구동하는 편심륜 및 상기 편심륜의 회전을 구동하는 회전 구동 어셈블리를 포함하고,
    상기 회전 구동 어셈블리는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 베이스는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 푸시 로드의 중간 부분은 상기 베이스와 경첩 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 회전 구동 어셈블리는 상기 편심륜을 지지하는 회전축, 상기 회전축의 회전을 구동하는 구동축, 상기 구동축과 상기 회전축을 연결하는 조향 장치 및 상기 구동축의 회전을 구동하는 승강 모터를 포함하고,
    상기 승강 모터는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 구동축과 상기 회전축은 각각 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 승강 구동 메커니즘은 다수의 상기 푸시 로드 및 상기 푸시 로드 각각을 지지하는 다수의 베이스를 포함하고,
    상기 푸시 로드 각각의 양단부에는 상기 승강 로드가 각각 경첩되고,
    상기 푸시 로드 각각의 양단부의 상기 승강 로드는 각각 2개의 상기 수직 스프레이 랙에 연결되며,
    상기 승강 구동 메커니즘은 연결 로드를 더 포함하고,
    상기 푸시 로드 각각의 일단부는 상기 연결 로드에 경첩되고, 상기 레버는 상기 연결 로드에 경첩되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 승강 메커니즘은 상응한 상기 승강 로드를 위로 향해 탄성적으로 푸시하기 위한 탄성 푸셔를 더 포함하고,
    상기 탄성 푸셔의 상단부는 상기 승강 로드에 고정되게 연결되고, 상기 탄성 푸셔의 하단부는 상기 프레임워크 상에 지지되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  7. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 2개의 지지휠의 양측에 각각 설치되어, 상기 디스크 랙의 전송을 인도하기 위한 가이드 레일과,
    상기 프레임워크 상에 장착되어, 상기 디스크 랙의 상측을 지지하기 위한 가이드 바와,
    상기 프레임워크 상에 장착되어, 2개의 상기 지지휠의 승강 이동을 각각 구동하는 2개의 승강 장치를 더 포함하되,
    상기 2개의 지지휠은 각각 2개의 상기 승강 장치 상에 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 승강 장치는 상기 프레임워크 상에 슬라이딩되게 장착되는 지지 베이스, 상기 지지 베이스의 승강을 푸시하는 편심 캠 및 상기 편심 캠의 회전을 구동하는 회전 장치를 포함하고,
    상기 회전 장치는 상기 프레임워크 상에 장착되고, 상기 지지휠은 상응한 상기 지지 베이스 상에 회전되게 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 승강 장치는 상기 지지 베이스의 하강을 견인하는 탄성 견인 소자를 더 포함하고,
    상기 탄성 견인 소자의 상단부는 상기 지지 베이스와 연결되고, 상기 탄성 견인 소자의 하단부는 상기 프레임워크과 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  10. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 회전 구동 메커니즘은 상기 2개의 지지휠과 협력하여 상기 디스크 랙을 클램핑하고 상기 디스크 랙의 회전을 구동하기 위한 구동휠 및 상기 구동휠의 회전을 구동하는 회전 어셈블리를 포함하고,
    상기 구동휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되고, 상기 회전 어셈블리는 상기 프레임워크 상에 지지되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  11. 제10항에 있어서,
    상기 회전 구동 메커니즘은 상기 구동휠과 협력하여 상기 디스크 랙을 압박하는 보조휠을 더 포함하고,
    상기 보조휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  12. 제10항에 있어서,
    상기 회전 어셈블리는 회전 모터, 상기 구동휠에 연결되는 기어 세트 및 상기 기어 세트와 상기 구동휠을 연결하는 체인 전동 구조를 포함하고,
    상기 구동휠은 상기 프레임워크 상에 회전되게 장착되고, 회전 모터는 프레임워크 상에 지지되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  13. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 수직 스프레이 랙은 수직면 상에 배열되는 다수의 스프레이 파이프 및 상기 스프레이 파이프 각각을 지지하는 지지대를 포함하고,
    상기 스프레이 파이프 각각 상에는 다수의 노즐이 장착되고,
    상기 지지대는 상기 승강 메커니즘에 연결되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 스프레이 파이프 각각은 수직되게 설치되고, 다수의 상기 스프레이 파이프는 수평 방향을 따라 배열되는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
  15. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서,
    약액을 여과하고 회수하기 위한 잔류물 여과 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 표면 처리 장치.
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