KR102312786B1 - 용기 반송 설비 - Google Patents

용기 반송 설비 Download PDF

Info

Publication number
KR102312786B1
KR102312786B1 KR1020150032990A KR20150032990A KR102312786B1 KR 102312786 B1 KR102312786 B1 KR 102312786B1 KR 1020150032990 A KR1020150032990 A KR 1020150032990A KR 20150032990 A KR20150032990 A KR 20150032990A KR 102312786 B1 KR102312786 B1 KR 102312786B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
container
support
small
supported
large container
Prior art date
Application number
KR1020150032990A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20150106360A (ko
Inventor
히데오 요시오카
Original Assignee
가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 가부시키가이샤 다이후쿠 filed Critical 가부시키가이샤 다이후쿠
Publication of KR20150106360A publication Critical patent/KR20150106360A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102312786B1 publication Critical patent/KR102312786B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67703—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations between different workstations
    • H01L21/6773—Conveying cassettes, containers or carriers
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67313—Horizontal boat type carrier whereby the substrates are vertically supported, e.g. comprising rod-shaped elements
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6735—Closed carriers
    • H01L21/67379—Closed carriers characterised by coupling elements, kinematic members, handles or elements to be externally gripped
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67769—Storage means
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/677—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations
    • H01L21/67763—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for conveying, e.g. between different workstations the wafers being stored in a carrier, involving loading and unloading
    • H01L21/67775—Docking arrangements
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/14—Wafer cassette transporting

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Warehouses Or Storage Devices (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Robotics (AREA)

Abstract

지지체는, 기부로부터 수평 방향으로 돌출되어 용기의 이송탑재 시에 절결부를 상하 방향으로 통과하는 돌출부를 구비하고, 돌출부의 가로 폭은, 용기의 가로 폭보다 좁게 형성된다. 용기로서, 소용기와, 가로 폭 방향에서 소용기보다 광폭으로 구성되는 대용기가 존재한다. 지지체가, 지지체측 지지부로서, 소용기의 바닥면에서의 3개의 소용기용 피지지부를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부와, 대용기의 바닥면에서의 외주부의 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부를 구비한다.

Description

용기 반송 설비{Container Transport Facility}
본 발명은, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면(前面)에 배치된 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체를 적어도 상하 방향으로 이동 조작하는 이동 조작부를 구비한 이송탑재부(transfer portion)와, 그 이송탑재부에 의해 용기가 이송탑재되는 이송탑재 대상 개소(箇所)로서의 판형의 탑재체가 구비되고, 지지체는, 용기를 상기 지지체에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태로 상기 용기의 바닥면을 지지하는 지지체측 지지부를 구비하고, 탑재체는, 평면에서 볼 때 오목형의 절결부(切缺部)와, 평면에서 볼 때 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부를 구비하여, 용기를 지지하고 있는 지지체의 일부가 절결부를 아래쪽을 향해 통과함으로써, 복수의 탑재체측 지지부에 의해 용기를 탑재체에 대하여 가로 폭 방향으로 위치 결정한 상태에서 용기의 바닥면을 받아(catching) 지지하도록 구성된 용기 반송 설비에 관한 것이다
이와 같은 용기 반송 설비는, 반도체 처리 설비에 있어서, 기판 반송용 용기를 반송하기 위해 사용된다. 예를 들면, 일본 공개특허 제2003―72917호 공보(특허 문헌 1)에는, 반도체 처리 설비에 설치되는 보관 설비의 내부에 있어서, 용기를 반송하는 경우의 예가 개시되어 있다. 특허 문헌 1에도 기재되어 있는 바와 같이, 반도체 처리 설비에는, 복수의 공정을 분담하여 행하는 복수의 처리 장치의 사이에서, 처리 대상의 반도체 기판을 수용한 용기를 반송하는 공정 간 반송 설비가 설치되어 있고, 이 공정 간 반송 설비에 의해 용기를 공정 간에서 반송할 때 용기를 일시적으로 보관하기 위해 보관 설비가 설치되어 있다.
보관 설비에는, 용기를 일시 보관하는 탑재체가 복수 설치되고, 이들 복수의 탑재체와의 사이에서 용기를 이송탑재하는 이송탑재부가 설치되어 있다. 그리고, 이송탑재부에 의해 용기를 탑재체에 받아건네는 경우에는, 지지체의 일부가 평면에서 볼 때 탑재체의 절결부와 중복되는 상태에서, 용기를 지지한 지지체를 하강 조작하여, 탑재체의 절결부를 상방측으로부터 하방측으로 통과시킨다. 이로써, 지지체에 지지되어 있는 용기는, 지지체의 하강에 따라, 상기 용기의 바닥면 중 적어도 가로 폭 방향 양단 부분에 의해 탑재체에 지지되게 된다.
일본 공개특허 제2003―72917호 공보
종래, 반도체 기판(웨이퍼)은, 직경이 300㎜의 원판 형태의 것이 주류였다. 그러므로, 반도체 기판을 수용하는 용기로서, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에서 규정된 형상의 300㎜의 웨이퍼용의 FOUP(Front―Opening Unified Pod: 이하, 300㎜ FOUP라고 함)가 사용되고 있고, 용기 반송 설비에서의 지지체 및 탑재체는, 300㎜ FOUP를 지지하는데 적절한 형상 및 치수로 구성되어 있었다.
한편, 최근, 생산성의 향상이나 생산 효율의 향상을 위해, 직경이 450㎜의 원판 형태의 웨이퍼가 생산되게 되어, 용기 반송 설비는, 반도체 기판을 수용하는 용기로서, SEMI 규격에서 규정된 형상이며 가로 폭 방향에서 300㎜ FOUP보다 광폭인 450㎜의 웨이퍼용의 용기(이하, 450㎜ FOUP라고 함)를 반송할 필요가 생겨 왔다.
상기 SEMI 규격에서는, 상기 300㎜ FOUP 및 상기 450㎜ FOUP의 어느 것에 대해서도, 용기를 지지체에 의해 지지한 경우에 있어서 용기가 지지체에 대하여 적정한 위치(이하, 적정 탑재 위치라고 함)로 되도록 위치 결정되도록, 용기의 바닥면에 분산 배치되는 3개의 피(被)지지부를 구비하는 것이 규정되어 있다. 이 3개의 피지지부는, 용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 피지지부(이하, 한 쌍의 전방측 피지지부라고 함)와, 용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 한 쌍의 전방측 피지지부에 대하여 용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 피지지부(이하, 후방측 피지지부라고 함)로 구성되어 있다.
그리고, 지지체가 300㎜ FOUP를 지지하는 경우의 상기 300㎜ FOUP의 한 쌍의 전방측 피지지부는, 지지체가 450㎜ FOUP를 지지하는 경우의 상기 450㎜ FOUP의 한 쌍의 전방측 피지지부보다, 평면에서 볼 때 용기의 가로 폭 방향(지지체의 가로 폭 방향)에 있어서 내측에 위치한다.
그런데, 300㎜ FOUP용의 이송탑재부 및 탑재체와 450㎜ FOUP용의 이송탑재부 및 탑재체를 별개로 설치하면, 설비 비용의 증대를 초래하므로, 300㎜ FOUP용의 이송탑재부 및 탑재체와, 450㎜ FOUP용의 이송탑재부 및 탑재체를 공용하는 것이 요구된다.
그러나, 단지 지지체에 소용기의 전방측 피지지부를 지지하는 지지부와 대용기의 전방측 피지지부를 지지하는 지지부와의 양쪽을 구비하는 구성으로 하면, 지지체의 가로 폭 방향에서의 치수는, 대용기의 한 쌍의 전방측 피지지부의 간격에 대응하여 설정된다. 따라서, 대용기의 전방측 피지지부를 지지하는 지지부를 구비한 지지체가 상하 방향으로 통과할 수 있는 절결부를 탑재체에 형성하면, 탑재체에는 소용기에서의 한 쌍의 전방측 피지지부를 지지하는 탑재체측 지지부를 설치하는 것이 곤란해진다. 그러므로, 대용기를 지지할 수 있지만 소용기를 지지체로부터 탑재체에 적절히 이송탑재할 수 없다는 문제가 생길 수 있다.
그래서, 지지체에 의해 소용기와 대용기와의 양쪽을 적절하게 지지할 수 있으면서도, 소용기와 대용기와의 양쪽을 탑재체에 적절히 이송탑재할 수 있는 이송탑재부를 구비한 용기 반송 설비의 실현이 요구되고 있었다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비는,
반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면에 배치된 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 적어도 상하 방향으로 이동 조작하는 이동 조작부를 구비한 이송탑재부; 및
상기 이송탑재부에 의해 상기 용기가 이송탑재되는 이송탑재 대상 개소로서의 판형의 탑재체;
를 포함하고,
상기 지지체는, 상기 용기를 상기 지지체에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태로 상기 용기의 바닥면을 지지하는 지지체측 지지부를 구비하고,
상기 탑재체는, 평면에서 볼 때 오목형의 절결부와, 평면에서 볼 때 상기 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부를 구비하고, 상기 용기를 지지하고 있는 상기 지지체의 일부가 상기 절결부를 아래쪽을 향해 통과함으로써, 상기 복수의 탑재체측 지지부에 의해 상기 용기를 상기 탑재체에 대하여 가로 폭 방향으로 위치 결정한 상태에서 상기 용기의 바닥면을 받아 지지하도록 구성되며,
상기 지지체는, 상기 이동 조작부가 접속되는 기부(基部)와, 상기 기부로부터 수평 방향으로 돌출되어 상기 용기의 이송탑재 시에 상기 절결부를 상하 방향으로 통과하는 돌출부를 구비하고, 또한 상기 돌출부의 돌출 방향으로 상기 용기의 전방으로부터 후방으로 향하는 방향이 따르는 자세로 상기 용기를 지지하도록 구성되며,
상기 돌출부의 가로 폭은, 상기 용기의 가로 폭보다 좁게 형성되고,
상기 용기로서, 소용기와, 가로 폭 방향에서 상기 소용기보다 광폭(廣幅)으로 구성되는 대용기가 존재하고,
상기 소용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 소용기용 피지지부를 구비하고, 상기 3개의 소용기용 피지지부는, 상기 소용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부와, 상기 소용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 소용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 소용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
상기 대용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 대용기용 피지지부를 구비하고, 상기 3개의 대용기용 피지지부는, 상기 대용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부와, 상기 대용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 대용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 대용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
상기 지지체가 상기 소용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부는, 상기 지지체가 상기 대용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부보다 평면에서 볼 때 상기 지지체의 가로 폭 방향에 있어서 내측에 위치하고,
상기 지지체가, 상기 지지체측 지지부로서, 상기 소용기의 바닥면에서의 상기 3개의 소용기용 피지지부를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부와, 상기 대용기의 바닥면에서의 외주부의 상기 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부를 구비하고 있다.
즉, 지지체는, 소용기의 바닥면에서의 3개의 소용기용 피지지부를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부에 의해 소용기를 적정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있고, 또한 대용기의 바닥면에서의 외주부의 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부에 의해 대용기를 적정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 지지할 수 있다.
그리고, 지지체에서의 돌출부의 가로 폭은 소용기의 가로 폭보다 좁게 형성되어 있으므로, 지지체에 지지된 소용기를 탑재체에 이송탑재할 때는, 소용기를 지지한 지지체에서의 돌출부가 탑재체의 절결부를 아래쪽을 향해 통과하도록 이동 조작부를 작동시킴으로써, 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부에 소용기를 지지하게 할 수 있다.
또한, 지지체에는 대용기의 바닥면에서의 외주부의 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부를 구비하고 있으므로, 돌출부에 대용기의 바닥면을 지지하는 지지부를 구비하면, 대용기를 안정적으로 지지할 수 있다. 그리고, 지지체에 지지된 대용기를 탑재체에 이송탑재할 때는, 대용기를 지지한 지지체에서의 돌출부가 탑재체의 절결부를 아래쪽을 향해 통과하도록 이동 조작부를 작동시킴으로써, 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부에 대용기를 지지하게 할 수 있다.
이와 같이, 지지체에 의해 소용기와 대용기와의 양쪽을 적절하게 지지할 수 있으면서도, 소용기와 대용기와의 양쪽을 탑재체에 적절히 이송탑재할 수 있는 이송탑재부를 구비한 용기 반송 설비를 실현할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 지지체측 에지부 지지부가, 상기 지지체의 가로 폭 방향으로 분산되어 복수 배치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 지지체측 에지부 지지부가, 지지체의 가로 폭 방향으로 분산된 복수 개소에서 대용기의 바닥면에서의 외주부의 기부측의 에지부를 지지하므로, 대용기의 전방측 부분의 가로 폭 방향에서의 자세를 안정시킬 수 있다.
그러므로, 대용기를 탑재체에 이송탑재하기 위해 이송탑재부를 이동 조작부에 의해 이동 조작한 경우에 있어서도, 안정된 자세로 대용기를 지지체에 의해 지지할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 복수의 지지체측 에지부 지지부가, 상기 대용기의 바닥면의 상기 기부측의 에지부에서의, 상기 돌출부에 대하여 상기 지지체의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 부분을 지지하도록 설치되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 복수의 지지체측 에지부 지지부가, 대용기의 바닥면의 기부측의 에지부에서의, 돌출부에 대하여 지지체의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 부분을 지지함으로써, 보다 안정된 자세로 대용기를 지지체에 의해 지지할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 돌출부의 선단부에, 상기 대용기에서의 상기 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 지지체측 대용기용 지지부가 설치되고, 상기 지지체는, 상기 지지체측 에지부 지지부와 상기 지지체측 대용기용 지지부에 의해 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 대용기는, 돌출부의 선단부에 설치된 지지체측 대용기용 지지부와 지지체측 에지부 지지부에 의해 지지된다.
여기서, 지지체측 대용기용 지지부는, 용기의 가로 폭 방향 중앙부에 위치하는 1개의 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 것이므로, 이것을 구비하기 위해 돌출부의 용기 가로 폭 방향의 치수를 크게 할 필요는 없어, 돌출부의 용기 가로 폭 방향의 치수의 소형화를 도모할 수 있다. 그리고, 지지체는, 지지체측 대용기용 지지부와 지지체측 에지부 지지부와의 양쪽에서 대용기를 지지하므로, 대용기를 안정된 자세로 지지하는 것이 가능해진다.
이와 같이, 대용기를 지지체에 의해 적절하게 지지 가능하고, 또한 이들을 탑재체에 적절히 이송탑재할 수 있는 이송탑재부를 구비한 용기 반송 설비를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 지지체측 에지부 지지부 및 상기 지지체측 대용기용 지지부는, 상기 대용기의 바닥면이 상기 지지체측 소용기용 지지부의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 대용기를 지지체에서의 지지체측 에지부 지지부 및 지지체측 대용기용 지지부에 의해 지지하는 경우에, 대용기의 바닥면이 지지체측 소용기용 지지부와 간섭하지 않는다. 그러므로, 소용기를 지지하기 위한 지지체측 소용기용 지지부를 구비하면서도, 대용기도 적절히 지지할 수 있는 지지체를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 탑재체가, 상기 탑재체측 지지부로서, 상기 소용기를 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 소용기의 바닥면을 지지 가능한 탑재체측 소용기용 지지부를 구비하고, 상기 탑재체측 소용기용 지지부가, 평면에서 볼 때 상기 탑재체의 가로 폭 방향에서 상기 탑재체의 상기 절결부의 양측으로 이격되어 설치되어 상기 소용기의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 탑재면과, 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부와, 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재를 구비하고, 상기 소용기용 위치 결정 부재가, 상기 소용기의 측부와 맞닿아 상기 탑재체의 가로 폭 방향을 따른 상기 소용기의 이동을 규제하는 규제면, 및 상기 소용기를 상기 탑재체의 가로 폭 방향에 있어서 상기 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 상기 소용기의 바닥면에서의 가로 폭 방향의 단부(端部)를 안내하는 안내용 경사부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
즉, 소용기는, 평면에서 볼 때 탑재체의 가로 폭 방향에서 탑재체의 절결부의 양측으로 이격되어 설치되어 소용기의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 탑재면에 의해, 용기의 가로 폭 방향에서의 경사가 억제되는 상태로 안정적으로 탑재체에 지지된다.
또한, 소용기를 지지체로부터 탑재체에 이송탑재할 때 소용기의 가로 폭 방향에서의 위치가 소용기용 설정 탑재 위치로부터 어긋나 있어도, 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재의 안내용 경사부에 의해, 소용기를 적절히 소용기용 설정 탑재 위치로 안내할 수 있다.
또한, 소용기가 탑재체에 탑재된 상태에 있어서는, 소용기는, 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부 및 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재의 규제면에 의해, 탑재체의 전후 방향 및 가로 폭 방향에 있어서 적절히 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정된다.
이와 같이, 소용기를 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 적절히 지지할 수 있는 탑재체를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 탑재체가, 상기 탑재체측 지지부로서, 상기 대용기를 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 대용기의 바닥면을 지지 가능한 탑재체측 대용기용 지지부를 구비하고, 상기 탑재체측 대용기용 지지부가, 평면에서 볼 때 상기 탑재체의 가로 폭 방향에서 상기 탑재체의 상기 절결부의 양측으로 이격되어 설치되고, 또한 상기 대용기의 바닥면에서의 상기 대용기의 가로 폭 방향으로 이격된 한 쌍의 피지지 개소를 지지하는 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재와, 상기 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 대용기용 후방측 지지부를 구비하고, 상기 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 상기 대용기의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하는 탑재면, 상기 대용기의 측부와 맞닿아 상기 탑재체의 가로 폭 방향을 따른 상기 대용기의 이동을 규제하는 규제면, 및 상기 대용기를 상기 탑재체의 가로 폭 방향에 있어서 상기 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 상기 대용기의 바닥면에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부를 구비하고 있는 것이 바람직하다.
즉, 대용기는, 평면에서 볼 때 탑재체의 가로 폭 방향에서 탑재체의 절결부의 양측으로 이격되어 설치되는 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재의 각각에 구비되는 탑재면과, 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 대용기용 후방측 지지부에 의해, 용기의 가로 폭 방향에서의 경사가 억제되는 상태로 안정적으로 탑재체에 지지된다.
또한, 대용기를 지지체로부터 탑재체에 이송탑재할 때 대용기의 가로 폭 방향에서의 위치가 대용기용 설정 탑재 위치로부터 어긋나 있어도, 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재의 안내용 경사부에 의해, 대용기를 적절히 대용기용 설정 탑재 위치로 안내할 수 있다.
또한, 대용기가 탑재체에 탑재된 상태에 있어서는, 대용기는, 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재의 규제면에 의해, 탑재체의 가로 폭 방향에 있어서 적절히 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정된다.
이와 같이, 대용기를 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 적절히 지지할 수 있는 탑재체를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 탑재체측 대용기용 지지부는, 상기 대용기의 바닥면이 상기 소용기용 걸어맞춤부의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 대용기를 탑재체에서의 탑재체측 대용기용 지지부에 의해 지지한 상태에 있어서, 대용기의 바닥면이 소용기용 걸어맞춤부와 간섭하지 않는다. 그러므로, 소용기를 지지하기 위한 소용기용 걸어맞춤부를 구비하면서도, 대용기도 적절히 지지할 수 있는 탑재체를 실현할 수 있다.
본 발명에 관한 용기 반송 설비 실시형태에 있어서는, 상기 소용기용 위치 결정 부재와 상기 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 단일의 부재에 의해 구성되어 있는 것이 바람직하다.
즉, 소용기용 위치 결정 부재와 대용기용 지지 위치 결정 부재를, 단일의 부재로 구성함으로써, 부재 수를 삭감하여 구성의 간소화가 도모되는 동시에, 장착 등의 작업을 간략화할 수 있다.
도 1은, 용기 반송 설비를 구비한 반도체 용기 보관 설비의 주요부를 나타낸 측면도이며,
도 2는, 용기 반송 설비를 구비한 반도체 용기 보관 설비의 평면도이며,
도 3은, 지지체 및 이동 조작부의 일부를 나타낸사시도이며,
도 4는, 탑재체의 구성을 나타낸 사시도이며,
도 5는, 용기의 수수(授受) 시에서의 지지체와 탑재체와의 위치 관계를 나타낸사시도이며,
도 6은, 지지체와 상기 지지체에 지지된 대용기 및 소용기와의 위치 관계를 나타낸 평면도이며,
도 7은, 지지체와 상기 지지체에 지지된 대용기 및 소용기와의 위치 관계를 나타낸 측면도이며,
도 8은, 탑재체와 상기 탑재체에 지지된 대용기 및 소용기와의 위치 관계를 나타낸 평면도이며,
도 9는, 탑재체와 상기 탑재체에 지지된 대용기 및 소용기와의 위치 관계를 나타낸 정면도이며,
도 10은, 탑재체와 상기 탑재체에 지지된 대용기 및 소용기와의 위치 관계를 나타낸 측면도이며,
도 11은, 탑재체에 대용기를 이송탑재할 때의 대용기의 안내 상태를 나타낸 측면도이다.
본 발명의 용기 반송 설비를 반도체 용기의 보관 설비에 적용한 경우의 실시형태를, 도면을 참조하여 설명한다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 용기 보관 설비(ST)는, 주위가 벽체에 의해 포위된 내부에, 반도체 웨이퍼를 밀폐 상태로 수용하는 용기(B)(SEMI 규격에서 규정된 용기이며, 일반적으로 FOUP라는 기판 반송용 용기임)를 아래쪽으로부터 지지하는 탑재체(S)를 복수 구비하여 구성되어 있다.
탑재체(S)는, 후술하는 이송탑재부(Y)에 의해 용기(B)가 이송탑재되는 이송탑재 대상 개소이며, 도 4에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 직사각형의 판형체(20)에 의해 구성되어 있다. 판형체(20)에는, 절결(切缺) 형성부(21)가 구비되어 있다. 절결 형성부(21)는, 후술하는 지지체(J)(도 3 참조)가 상하 방향으로 통과 가능한, 평면에서 볼 때 오목하게 들어간 절결부(20k)를 형성한다. 절결부(20k)는, 평면에서 볼 때 오목형으로 형성되어 있다. 그리고, 지지체(J)와 탑재체(S) 사이에서의 용기(B)의 이송탑재 시에는, 지지체(J)의 돌출부(10)의 기부(13)로부터의 돌출 방향이, 이송탑재 대상의 탑재체(S)의 절결부(20k)의 개구 방향과는 역방향으로 되도록, 지지체(J)와 탑재체(S)와의 방향을 맞출 수 있다. 탑재체(S)는, 도 2에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때, 판형체(20)에서의 절결부(20k)가 기판 용기 보관 설비(ST)의 중앙부를 향하는 형태로, 4개의 위치의 각각에 구비되어 있다. 또한, 탑재체(S)는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 상하 방향을 따르는 지주(支柱)(M1)에 지지되는 형태로, 상하 방향으로 이격되어 복수 구비되어 있다.
여기서, 용기 반송 설비의 반송 대상인 용기(B)에 대하여 설명한다.
본 실시형태에서는, 용기 반송 설비는, SEMI 규격(E47.1)에서 규정된 직경 300㎜의 웨이퍼용의 소용기(B1)와, SEMI 규격(E158)에서 규정된 직경 450㎜의 웨이퍼용의 대용기(B2)와의 양쪽을 반송 가능하게 구성되어 있다. 소용기(B1) 및 대용기(B2)는, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면에 배치된 전면 개구식의 용기이다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 소용기(B1)는, SEMI 규격(E57)에 기초하여, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 소용기용 피지지부(B1g)를 구비하고 있다. 소용기용 피지지부(B1g)의 각각은, 평면에서 볼 때(상하 방향에서 볼 때)와 소용기(B1)의 바닥면의 중심부로부터 방사상으로 연장되는 긴 홈형으로 형성되어 있다. 바닥면의 중심부는, 예를 들면, 바닥면의 도형으로서의 중심(重心)에 상당하는 부분, 또는 바닥면에서의 평면에서 볼 때 용기의 중심[질량 중심(中心)]과 중복되는 부분으로 된다. 각각의 소용기용 피지지부(B1g)는, 홈형부의 중앙부에 가까워질수록 용기 내측(위쪽)으로 오목하게 들어가도록 형성되어 있고, 홈형부의 주위 에지부는 소용기(B1)의 바닥면(B1m)과 단차(段差)가 없는 상태로 연속되도록 구성되어 있다. 3개의 소용기용 피지지부(B1g)는, 소용기(B1)의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)와, 소용기(B1)의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)에 대하여 소용기(B1)의 후방측(도 6에서의 우측)으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 소용기용 후방측 피지지부(B1gb)로 구성되어 있다. 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)는, 평면에서 볼 때 소용기(B1)의 중심으로부터 전방측(도 6에서의 좌측)에 배치되고, 소용기용 후방측 피지지부(B1gb)는, 평면에서 볼 때 소용기(B1)의 중심으로부터 후방측에 배치되어 있다. 용기의 중심은, 예를 들면, 평면에서 볼 때의 용기의 외형의 도형으로서의 중심, 바닥면의 도형으로서의 중심, 또는 용기의 중심(질량 중심)으로 된다.
또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 대용기(B2)는, SEMI 규격(E158)에 기초하여, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 대용기용 피지지부(B2g)를 구비하고 있다. 대용기용 피지지부(B2g)의 각각은, 평면에서 볼 때 대용기(B2)의 바닥면의 중심부로부터 방사상으로 연장되는 긴 홈형으로 형성되어 있다. 각각의 대용기용 피지지부(B2g)는, 홈형부의 중앙부에 가까워질수록 용기 내측으로 오목하게 들어가도록 형성되어 있고, 홈형부의 주위 에지부는 대용기(B2)의 바닥면(B2m)과 단차가 없는 상태로 연속되도록 구성되어 있다. 3개의 대용기용 피지지부(B2g)는, 대용기(B2)의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부(B2ga)와, 대용기(B2)의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부(B2ga)에 대하여 대용기(B2)의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)로 구성되어 있다. 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부(B2ga)는, 평면에서 볼 때 대용기(B2)의 중심으로부터 전방측에 배치되고, 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)는, 평면에서 볼 때 대용기(B2)의 중심으로부터 후방측에 배치되어 있다.
도 6에 나타낸 바와 같이, 대용기(B2)는, 가로 폭 방향에서 소용기(B1)보다 광폭으로 구성된다.
또한, 후술하는 지지체(J)가 소용기(B1)를 지지한 상태에서의 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)는, 지지체(J)가 대용기(B2)를 지지한 상태에서의 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부(B2ga)보다, 평면에서 볼 때 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]의 가로 폭 방향[지지체(J)의 가로 폭 방향]에 있어서 내측에 위치하도록 구성되어 있다.
도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판 용기 보관 설비(ST)의 내부에는, 상하 방향을 따르는 승강 안내 마스트(mast)(M2)가 설치되고, 승강체(K)가 승강 안내 마스트(M2)를에 따라 승강 이동 가능하게 지지되어 있다. 승강체(K)는, 와이어(W)에 의해 현수 지지되어 있고, 와이어(W)의 권취 또는 송출을 행하는 승강 구동부(V1)의 작동에 의해, 상승 이동 및 하강 이동 가능하게 구성되어 있다. 또한, 용기(B)를 지지 가능한 지지체(J)가, 요동(搖動) 암(arm)(YA) 및 회동(回動) 구동부(Y1)를 통하여 승강체(K)에 지지되어 있다.
회동 구동부(Y1)는 지지체(J)를 평면에서 볼 때 지지 지점(支点) 주위에서 회동시키도록 구성되어 있다. 또한, 요동 암은 암 구동부(V2)에 의해 요동 구동되고, 승강체(K)에 대한 회동 구동부(Y1)의 위치를 조정할 수 있다.
본 실시형태에 있어서는, 승강 구동부(V1), 회동 구동부(Y1), 요동 암, 암 구동부(V2), 및 지지체(J)에 의해 이송탑재부(Y)가 구성되어 있고, 승강 구동부(V1), 회동 구동부(Y1), 요동 암, 암 구동부(V2)에 의해 이동 조작부가 구성되어 있다. 따라서, 이송탑재부(Y)는, 지지체(J)를 적어도 상하 방향으로 이동 조작하는 이동 조작부를 구비하고 있다.
도 3에 나타낸 바와 같이, 회동 구동부(Y1)에는, 상기 회동 구동부(Y1)로부터 가로 폭 방향 양측으로 연장되는 기부(13)가 장착되고, 기부(13)의 가로 폭 방향 중앙부에, 평판형으로 또한 기부(13)로부터 수평 방향으로 돌출하는 돌출부(10)가 구비되어 있다.
즉, 지지체(J)는, 이동 조작부가 접속되는 기부(13)와 기부(13)로부터 수평 방향으로 돌출되어 용기(B)의 이송탑재 시에 절결부(20k)를 상하 방향으로 통과하는 돌출부(10)를 구비하고 있다.
돌출부(10)는, 도 3에 나타낸 바와 같이 평면에서 볼 때, 기부(13) 측이 직사각형, 선단측이 삼각형상으로 되는 형태로 구성되며, 또한 도 5에 나타낸 바와 같이, 직사각형 부분의 가로 폭 방향에서의 치수가, 탑재체(S)의 절결부(20k)의 가로 폭 방향에서의 치수보다 협폭(狹幅)으로 구성되어 있다.
이송탑재부(Y)는, 회동 구동부(Y1) 및 암 구동부(V2)를 작동시킴으로써, 돌출부(10)의 돌출 방향과, 탑재체(S)의 절결부(20k)의 오목하게 들어간 방향을 맞추는 것이 가능하게 되어 있다. 전술한 바와 같이, 돌출부(10)의 직사각형 부분의 가로 폭 방향에서의 치수는, 탑재체(S)의 절결부(20k)의 가로 폭 방향에서의 치수보다 작으므로, 돌출부(10)는, 탑재체(S)의 절결부(20k)를 상하 방향으로 통과할 수 있다.
또한, 도 6에 나타낸 바와 같이, 돌출부(10)의 가로 폭은, 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]의 가로 폭보다 좁게 형성되어 있다.
기부(13)의 가로 폭 방향 양 단부의 각각에는, 도 2, 3, 5, 6에 나타낸 바와 같이, 대용기(B2)의 바닥면에서의 기부(13) 측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부(14)가 설치되어 있다.
본 실시형태에서는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 지지체측 에지부 지지부(14)가, 지지체(J)의 가로 폭 방향으로 분산되어 복수 배치되어 있다. 그리고, 복수의 지지체측 에지부 지지부(14)가, 대용기(B2)의 바닥면의 기부(13) 측의 에지부에서의, 돌출부(10)에 대하여 지지체(J)의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 부분을 지지하도록 설치되어 있다. 본 예에서는, 2개의 지지체측 에지부 지지부(14)가, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 기부(13) 측의 양 코너부(가로 폭 방향의 양 단부 또는 그 근방 부분)를 지지하도록 설치되어 있다. 또한, 본 예에서는, 지지체측 에지부 지지부(14)는, 도 3에 나타낸 바와 같이, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)을 탑재 지지하는 탑재면(14a)과, 대용기(B2)를 지지체(J)에 이송탑재할 때 대용기(B2)의 바닥부를 안내하는 제1 경사면(14b)과 제2 경사면(14c)을 구비하고 있다.
또한, 돌출부(10)에는, 소용기(B1)의 3개의 소용기용 피지지부(B1g)와 걸어맞추어짐으로써, 소용기(B1)를 지지체에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태로 소용기(B1)의 바닥면(B1m)을 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부(11)가 구비되어 있다. 3개의 지지체측 소용기용 지지부(11)는, 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 전방측 지지부(11a)와, 1개의 소용기용 후방측 피지지부(B1gb)와 걸어맞추어지는 1개의 소용기용 후방측 지지부(11b)로 구성되어 있다.
또한, 돌출부(10)의 선단에는, 대용기(B2)의 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)를 지지하는 지지체측 대용기용 지지부(15)가 구비되어 있다.
지지체(J)는, 대용기(B2)를 지지할 때는, 상기 대용기(B2)를, 지지체측 에지부 지지부(14)와 지지체측 대용기용 지지부(15)에 의해 지지하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에 있어서, 지지체측 소용기용 지지부(11), 지지체측 에지부 지지부(14), 및 지지체측 대용기용 지지부(15)가, 지지체측 지지부(12)에 상당한다.
즉, 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면에 배치된 용기(B)를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체(J)가 설치되고, 지지체(J)는, 지지체측 지지부(12)로서, 소용기(B1)의 바닥면(B1m)에서의 3개의 소용기용 피지지부(B1g)를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부(11)와, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 외주부의 기부(13) 측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부(14)를 구비하여 구성되어 있다.
따라서, 지지체(J)는, 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]를 상기 지지체(J)에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태로 상기 용기(B)의 바닥면을 지지하게 된다.
도 7에 나타낸 바와 같이, 지지체측 에지부 지지부(14) 및 지지체측 대용기용 지지부(15)는, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)이 지지체측 소용기용 지지부(11)의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 대용기(B2)를 지지하도록 구성되어 있다.
다음에, 탑재체(S)의 구성에 대하여 설명한다. 도 4에 나타낸 바와 같이, 탑재체(S)에는, 평면에서 볼 때 탑재체(S)의 가로 폭 방향에서 절결부(20k)의 양측으로 이격되어 설치되어 소용기(B1)의 바닥면(B1m)을 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 탑재면(42)과, 소용기(B1)에서의 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)가 설치되어 있다. 도 5에 나타낸 바와 같이, 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)의 간격은, 한 쌍의 소용기용 전방측 지지부(11a)의 간격보다 넓다. 또한, 탑재체(S)의 가로 폭 방향에서 한 쌍의 탑재면(42)의 외측에는, 대소(大小) 용기용 위치 결정 지지 부재(50)가 설치되어 있다. 또한, 탑재체(S)의 가로 폭 방향에서 절결부(20k)의 중앙 부분에서, 또한 안길이 방향에서 절결부(20k)보다 안쪽에는, 대용기(B2)의 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)를 지지하는 대용기용 후방측 지지부(31)가 설치되어 있다. 또한, 대용기용 후방측 지지부(31)보다 안쪽에, 대용기 전후 위치 결정 블록(32)이 탑재체(S)의 가로 폭 방향으로 이격되어 한 쌍 설치되어 있다. 대용기 전후 위치 결정 블록(32)은, 탑재체(S)의 전방측이 후방측보다 낮은 위치로 되도록 경사지는 경사면(32c)을 구비하고 있다.
탑재체(S)를 구성하는 판형체(20)의 가로 폭 방향 양 단부에는, 경사부(22)가 판형체(20)를 펀칭 및 절곡 형성하는 형태로 설치되어 있다. 경사부(22)는, 가로 폭 방향의 외측이 높은 위치로 되도록 형성되어 있다.
한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 각각은, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 배열 방향(이하 단지 배열 방향이라고 함)으로 최내측으로 수직면 상태로 형성되는 규제면(51), 규제면(51)의 상하 방향 최고부로부터 배열 방향으로 외측을 향해 경사형으로 연속되는 안내용 경사부(52), 안내용 경사부(52)의 상하 방향 최고부로부터 배열 방향 외측을 향해 수평으로 연속되는 탑재면(53), 탑재면(53)의 배열 방향 외측 부분으로부터 연속하여 수직면형으로 기립하는 규제면(54), 및 규제면(54)의 상하 방향 최고부로부터 배열 방향 외측을 향해 경사형으로 연속되는 안내용 경사부(55)를 구비하고 있다. 그리고, 본 실시형태에서는, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 각각은, 금속 부재의 절삭 가공에 의해 구성하고 있다.
본 실시형태에서는, 후술하는 소용기용 위치 결정 부재와 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 단일의 부재인 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)에 의해 구성되어 있다.
이하, 본 실시형태에 있어서, 지지체(J)가 지지하는 용기(B)를 탑재체(S)에 이송탑재하는 경우를, 이송탑재 대상의 용기(B)가 소용기(B1)인 경우와 이송탑재 대상의 용기(B)가 대용기(B2)인 경우로 나누어 설명한다.
먼저, 지지체(J)에 의해 지지하고 있는 소용기(B1)를 탑재체(S)에 이송탑재하는 경우에 대하여 설명한다.
소용기(B1)는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 돌출부(10)의 돌출 방향으로 소용기(B1)의 전방으로부터 후방으로 향하는 방향이 따르는 자세로, 또한 평면에서 볼 때 소용기용 설정 탑재 위치(도 6의 일점 쇄선)에 위치결정된 상태로, 지지체(J)에 지지된다.
이 때, 소용기(B1)의 바닥면(B1m)에 구비되는 소용기용 피지지부(B1g)는, 지지체(J)에 구비되는 지지체측 소용기용 지지부(11)와 걸어맞추어지는 상태로 되어 있다.
그리고, 지지체(J)에 의해 지지하는 소용기(B1)를 탑재체(S)에 이송탑재하는 경우에는, 소용기(B1)를 지지한 지지체(J)의 돌출부(10)가 평면에서 볼 때 탑재체(S)의 절결부(20k)와 중복되는 위치로 되도록 회동 구동부(Y1), 요동 암, 및 암 구동부(V2)를 작동시키고, 또한 소용기(B1)를 지지한 지지체(J)의 돌출부(10)가 탑재체(S)의 절결부(20k)를 아래쪽을 향해 통과하도록, 승강 구동부(V1)를 작동시킨다.
이로써, 지지체(J)에 지지되는 소용기(B1)는, 탑재체(S)에 형성되어 있는 한 쌍의 탑재면(42)에 의해 지지되는 상태로 된다. 또한, 소용기(B1)가 탑재체(S)에 지지된 상태에 있어서는, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)에 구비하는 규제면(51)이 소용기(B1)의 좌우의 측부와 맞닿아 상기 소용기(B1)의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제한다.
본 실시형태에서는, 규제면(51) 및 안내용 경사부(52)를 구비하는 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)가 소용기용 위치 결정 부재에 상당한다. 따라서, 소용기용 위치 결정 부재가, 탑재체(S)에, 그 가로 폭 방향으로 이격되어 한 쌍 구비되어 있다.
또한, 본 실시형태에서는, 한 쌍의 탑재면(42)과 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)와 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재가 탑재체측 소용기용 지지부(40)에 상당한다.
즉, 탑재체측 소용기용 지지부(40)가, 평면에서 볼 때 탑재체(S)의 가로 폭 방향에서 탑재체(S)의 절결부(20k)의 양측으로 이격되어 설치되어 소용기(B1)의 바닥면(B1m)을 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 탑재면(42)과, 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)와, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)를 구비하여 구성되어 있다. 그리고, 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 각각은, 소용기(B1)의 측부와 맞닿아 상기 소용기의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제하는 규제면(51), 및 소용기(B1)를 가로 폭 방향에 있어서 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 소용기(B1)의 바닥면(B1m)에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부(52)를 구비하고 있다.
그리고, 이송탑재 전의 상태에 있어서, 지지체(J)에 지지된 소용기(B1)가 탑재체(S)에서의 소용기용 설정 탑재 위치로부터 어긋난 위치로 되어 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우에는, 지지체(J)의 하강 이동에 따라, 좌우 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)의 상단부에 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)의 오목 부분의 내면이 안내되는 형태로, 또한 소용기(B1)의 바닥면(B1m)에서의 용기 가로 폭 방향에서의 양단 부분이 안내용 경사부(52)에 안내되는 형태로, 소용기(B1)를 소용기용 설정 탑재 위치로 안내하게 된다.
다음에, 지지체(J)에 의해 지지하고 있는 대용기(B2)를 탑재체(S)에 이송탑재하는 경우에 대하여 설명한다.
대용기(B2)는, 도 6 및 도 7에 나타낸 바와 같이, 돌출부(10)의 돌출 방향으로 대용기(B2)의 전방으로부터 후방으로 향하는 방향이 따르는 자세로, 또한 평면에서 볼 때 대용기용 설정 탑재 위치(도 6의 2점 쇄선)에 위치결정된 상태로, 지지체(J)에 지지된다.
이 때, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에 구비되는 3개의 대용기용 피지지부(B2g) 중 용기 후방측의 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)는, 지지체(J)에 구비되는 지지체측 대용기용 지지부(15)에 지지되어 있다. 또한, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 외주부의 기부(13) 측의 에지부는, 한 쌍의 지지체측 에지부 지지부(14)에 지지되어 있다.
그리고, 대용기(B2)를 지지하고 있는 지지체(J)의 돌출부(10)가 평면에서 볼 때 탑재체(S)의 절결부(20k)와 중복되는 위치로 되도록 회동 구동부(Y1), 요동 암, 및 암 구동부(V2)를 작동시키고, 또한 대용기(B2)를 지지하고 있는 지지체(J)의 돌출부(10)가 탑재체(S)의 절결부(20k)를 아래쪽을 향해 통과하도록, 승강 구동부(V1)를 작동시킨다.
이로써, 지지체(J)에 지지되는 대용기(B2)는, 탑재체(S)에 설치되어 있는 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 탑재면(53)과, 대용기용 후방측 지지부(31)에 의해 지지되는 상태로 된다. 또한, 대용기(B2)가 탑재체(S)에 지지되어 있는 상태에 있어서는, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)에 구비하는 규제면(54)이 대용기(B2)의 좌우의 측부와 맞닿아 상기 대용기(B2)의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제한다.
또한, 도 9, 도 10에 나타낸 바와 같이, 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 탑재면(53)과 대용기용 후방측 지지부(31)는, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)이 소용기용 걸어맞춤부(41)의 상단보다 위쪽으로 되는 높이로 대용기(B2)를 지지하도록 구성되어 있다.
본 실시형태에서는, 탑재면(53), 규제면(54), 및 안내용 경사부(55)를 구비하는 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)가 대용기용 지지 위치 결정 부재에 상당한다. 따라서, 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 탑재체(S)에, 그 가로 폭 방향으로 이격되어 한 쌍 구비되어 있다.
본 실시형태에서는, 대용기용 후방측 지지부(31)와 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재가 탑재체측 대용기용 지지부(30)에 상당한다. 즉, 탑재체측 대용기용 지지부(30)가, 대용기용 후방측 지지부(31)와 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)를 구비하여 구성되어 있다.
대용기용 후방측 지지부(31)는 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)를 지지하도록 구성되어 있다.
그리고, 한 쌍의 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)의 각각은, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)을 지지하는 탑재면(53)과, 대용기(B2)의 측부와 맞닿아 상기 대용기(B2)의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제하는 규제면(54), 및 대용기(B2)를 가로 폭 방향에 있어서 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부(55)를 구비하고 있다.
그리고, 대용기(B2)를 지지체(J)로부터 탑재체(S)에 이송탑재하는데 있어서, 이동 조작부의 이동 정밀도 등에 기인하여, 지지체(J)가 평면에서 볼 때 대용기용 설정 탑재 위치에 대응하는 적정 위치로부터 어긋나 있는 경우가 있다. 이와 같은 경우, 지지체(J)에 지지된 대용기(B2)는, 다음과 같이 하여 대용기용 설정 탑재 위치로 안내된다.
즉, 지지체(J)가 아래쪽으로 이동 조작되어 절결부(20k)를 통과함에 따라, 대용기(B2)의 측부에 형성되는 팽출부(膨出部)가 경사부(22)에 의해 가로 폭 방향으로 안내되고, 또한 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 용기 가로 폭 방향에서의 양단 부분이 안내용 경사부(55)에 의해 가로 폭 방향으로 안내된다. 이와 같이 하여, 대용기(B2)는, 가로 폭 방향에서 대용기용 설정 탑재 위치로 안내된다.
또한, 지지체(J)가 아래쪽으로 이동 조작되어 절결부(20k)를 통과함에 따라, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 용기 전후 방향 후방측의 단부가 대용기 전후 위치 결정 블록(32)의 경사면(32c)에 의해 전후 방향으로 안내된다. 이와 같이 하여, 대용기(B2)는, 전후 방향에서 대용기용 설정 탑재 위치로 안내된다.
이와 같이, 본 실시형태에 있어서는, 탑재체(S)가, 탑재체측 지지부로서, 소용기(B1)를 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 소용기(B1)의 바닥면(B1m)을 지지 가능한 탑재체측 소용기용 지지부(40)와 대용기(B2)를 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 대용기(B2)의 바닥면(B2m)을 지지 가능한 탑재체측 대용기용 지지부(30)를 구비하고 있다. 즉, 탑재체(S)는, 평면에서 볼 때 절결부(20k)의 주위 방향[절결부(20k)의 주위 에지에 따른 방향]에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부를 구비하고 있다.
그리고, 용기(B)를 지지하고 있는 지지체(J)의 돌출부(10)가 절결부(20k)를 아래쪽을 향해 통과함으로써, 복수의 탑재체측 지지부에 의해 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]를 탑재체(S)에 대하여 가로 폭 방향에서 위치 결정한 상태에서 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]의 바닥면이 받아 지지되고, 용기(B)[소용기(B1), 대용기(B2)]가 지지체(J)로부터 탑재체(S)에 이송탑재된다.
[다른 실시형태]
(1) 상기 실시형태에서는, 대용기(B2)의 바닥면에서의 외주부의 기부(13) 측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부(14)를, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 기부(13) 측의 양 코너부를 지지하도록 한 쌍 설치하는 구성으로 하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 지지체측 에지부 지지부(14)를 대용기(B2)의 바닥면(B2m)의 기부(13) 측의 에지부에서의 코너부보다 내측의 복수 개소를 지지하도록 설치해도 된다. 이 경우에 있어서, 지지체측 에지부 지지부(14)의 개수는, 3 이상으로 해도 된다.
또한, 상기 실시형태에서는, 지지체측 에지부 지지부(14)를 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 기부(13) 측의 양 코너부를 지지하도록 설치하는 구성으로 하였으나, 지지체측 에지부 지지부(14)가 대용기(B2)의 바닥면(B2m)의 기부(13) 측의 에지부를 가로 폭 방향의 전체에 걸쳐 지지하는 구성으로 해도 된다.
(2) 상기 실시형태에서는, 소용기용 위치 결정 부재와 대용기용 지지 위치 결정 부재를, 단일의 부재인 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(50)에 의해 구성하는 예를 나타냈으나, 소용기용 위치 결정 부재와 대용기용 지지 위치 결정 부재를 다른 부재라도 된다.
(3) 상기 실시형태에서는, 지지체(J)에 있어서 대용기(B2)의 후방측을 지지할 때, 지지체(J)에서의 돌출부(10)선단부에 대용기(B2)에서의 대용기용 피지지부(B2g)를 지지하는 지지체측 대용기용 지지부(15)를 설치하는 구성을 예시했지만, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 대용기(B2)의 후방측을 지지하는 지지부를, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)을 탑재 지지하는 형태의 것으로 해도 된다.
(4) 상기 실시형태에서는, 탑재체측 소용기용 지지부(40)로서, 탑재체(S)의 절결부(20k)의 가로 폭 방향 양측에 형성되는 한 쌍의 탑재면(42)과, 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부(B1ga)와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부(41)와, 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재를 구비하고, 소용기용 위치 결정 부재의 각각이, 소용기의 측부와 맞닿아 상기 소용기의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제하는 규제면(51), 및 소용기(B1)를 탑재체(S)의 가로 폭 방향에 있어서 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 소용기(B1)의 바닥면에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부(52)를 구비하는 구성을 예시했지만, 이들 중, 예를 들면, 소용기용 걸어맞춤부(41)를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다. 또한, 회동 구동부(Y1), 요동 암, 및 암 구동부(V2)에 의한 돌출부(10)의 이동 정밀도가 충분한 경우, 안내용 경사부(52)를 형성하지 않는 구성으로 해도 된다.
(5) 상기 실시형태에서는, 탑재체측 대용기용 지지부(30)로서, 대용기용 후방측 피지지부(B2gb)를 지지하는 대용기용 후방측 지지부(31)와, 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재를 구비하고, 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)을 아래쪽으로부터 지지하는 탑재면(53), 대용기(B2)의 측부와 맞닿아 상기 대용기(B2)의 가로 폭 방향을 따른 이동을 규제하는 규제면(54), 및 대용기(B2)를 가로 폭 방향에 있어서 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 대용기(B2)의 바닥면(B2m)에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부(55)를 구비하는 구성을 예시했지만, 회동 구동부(Y1), 요동 암, 및 암 구동부(V2)에 의한 돌출부(10)의 이동 정밀도가 충분한 경우, 이들 중, 안내용 경사부(55)를 구비하지 않는 구성으로 해도 된다.
(6) 상기 실시형태에서는, 탑재체측 대용기용 지지부(30)를, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)이 소용기용 걸어맞춤부(41)의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 대용기(B2)를 지지하도록 구성하는 예를 설명하였으나, 소용기용 걸어맞춤부(41)와 대용기(B2)의 바닥면(B2m)이 간섭하지 않는 구성이면, 대용기(B2)의 바닥면(B2m)의 높이는 상기에 한정되는 것은 아니다.
(7) 상기 실시형태에서는, 용기 반송 설비를 반도체 용기의 보관 설비에 있어서 사용하는 경우에 대하여 설명하였으나, 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 반도체 처리 설비에서의 로드 포트에 탑재체(S)를 설치하고, 로드 포트에 용기(B)를 반송하는 반송 장치에 지지체(J)를 설치하는 구성으로 하는 등, 본 발명에 관한 용기 반송 설비는, 반도체 용기의 보관 설비 이외의 각종 설비에 있어서 사용할 수 있다.
10; 돌출부
11; 지지체측 소용기용 지지부
12; 지지체측 지지부
13; 기부
14; 지지체측 에지부 지지부
15; 지지체측 대용기용 지지부
20k; 절결부
30; 탑재체측 대용기용 지지부
31; 대용기용 후방측 지지부
40; 탑재체측 소용기용 지지부
41; 소용기용 걸어맞춤부
42; 탑재면
50; 대소 용기용 위치 결정 지지 부재(소용기용 위치 결정 부재, 대용기용 지지 위치 결정 부재)
51; 규제면
52; 안내용 경사부
53; 탑재면
54; 규제면
55; 안내용 경사부
B; 용기
B1; 소용기
B1g; 소용기용 피지지부
B1ga; 소용기용 전방측 피지지부
B1gb; 소용기용 후방측 피지지부
B1m, B2m; 바닥면
B2; 대용기
B2g; 대용기용 피지지부
B2ga; 대용기용 전방측 피지지부
B2gb; 대용기용 후방측 피지지부
J; 지지체
S; 탑재체
Y; 이송탑재부

Claims (9)

  1. 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면(前面)에 배치된 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 적어도 상하 방향으로 이동 조작하는 이동 조작부를 구비하는 이송탑재부(transfer portion); 및
    상기 이송탑재부에 의해 상기 용기가 이송탑재되는 이송탑재 대상 개소(箇所)로서의 판형의 탑재체;
    를 포함하고,
    상기 지지체는, 상기 용기를 상기 지지체에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태에서 상기 용기의 바닥면을 지지하는 지지체측 지지부를 포함하고,
    상기 탑재체는, 평면에서 볼 때 오목형의 절결부(切缺部)와, 평면에서 볼 때 상기 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부를 구비하고, 상기 용기를 지지하고 있는 상기 지지체의 일부가 상기 절결부를 아래쪽을 향해 통과함으로써, 상기 복수의 탑재체측 지지부에 의해 상기 용기를 상기 탑재체에 대하여 가로 폭 방향으로 위치 결정한 상태에서 상기 용기의 바닥면을 받아(catching) 지지하도록 구성된, 용기 반송(搬送) 설비로서,
    상기 지지체는, 상기 이동 조작부가 접속되는 기부(基部)와, 상기 기부로부터 수평 방향으로 돌출되어 상기 용기의 이송탑재 시에 상기 절결부를 상하 방향으로 통과하는 돌출부를 포함하고, 또한 상기 돌출부의 돌출 방향으로 상기 용기의 전방으로부터 후방으로 향하는 방향이 따르는 자세로 상기 용기를 지지하도록 구성되며,
    상기 돌출부의 가로 폭은, 상기 용기의 가로 폭보다 좁게 형성되고,
    상기 용기로서, 소용기와, 가로 폭 방향에서 상기 소용기보다 광폭(廣幅)으로 구성되는 대용기가 존재하고,
    상기 소용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 소용기용 피(被)지지부를 포함하고, 상기 3개의 소용기용 피지지부는, 상기 소용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부와, 상기 소용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 소용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 소용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
    상기 대용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 대용기용 피지지부를 포함하고, 상기 3개의 대용기용 피지지부는, 상기 대용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부와, 상기 대용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 대용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 대용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
    상기 지지체가 상기 소용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부는, 상기 지지체가 상기 대용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부보다 평면에서 볼 때 상기 지지체의 가로 폭 방향에 있어서 내측에 위치하고,
    상기 지지체가, 상기 지지체측 지지부로서, 상기 소용기의 바닥면에서의 상기 3개의 소용기용 피지지부를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부와, 상기 대용기의 바닥면에서의 외주부의 상기 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부를 포함하고 있고,
    상기 돌출부의 선단부에, 상기 대용기에서의 상기 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 지지체측 대용기용 지지부가 설치되고,
    상기 지지체는, 상기 지지체측 에지부 지지부와 상기 지지체측 대용기용 지지부에 의해 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있고,
    상기 지지체측 에지부 지지부 및 상기 지지체측 대용기용 지지부는, 상기 대용기의 바닥면이 상기 지지체측 소용기용 지지부의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있는,
    용기 반송 설비.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지체측 에지부 지지부가, 상기 지지체의 가로 폭 방향으로 분산되어 복수 배치되어 있는, 용기 반송 설비.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 복수의 지지체측 에지부 지지부가, 상기 대용기의 바닥면의 상기 기부측의 에지부에서의, 상기 돌출부에 대하여 상기 지지체의 가로 폭 방향의 양측에 위치하는 부분을 지지하도록 설치되어 있는, 용기 반송 설비.
  4. 반도체 기판을 출입시키기 위한 개구가 전면(前面)에 배치된 용기를 아래쪽으로부터 지지하는 지지체, 및 상기 지지체를 적어도 상하 방향으로 이동 조작하는 이동 조작부를 구비하는 이송탑재부(transfer portion); 및
    상기 이송탑재부에 의해 상기 용기가 이송탑재되는 이송탑재 대상 개소(箇所)로서의 판형의 탑재체;
    를 포함하고,
    상기 지지체는, 상기 용기를 상기 지지체에서의 이송탑재용 위치에서 위치 결정한 상태에서 상기 용기의 바닥면을 지지하는 지지체측 지지부를 포함하고,
    상기 탑재체는, 평면에서 볼 때 오목형의 절결부(切缺部)와, 평면에서 볼 때 상기 절결부의 주위 에지에 따른 방향에서의 상이한 위치에 분산되어 배치된 복수의 탑재체측 지지부를 구비하고, 상기 용기를 지지하고 있는 상기 지지체의 일부가 상기 절결부를 아래쪽을 향해 통과함으로써, 상기 복수의 탑재체측 지지부에 의해 상기 용기를 상기 탑재체에 대하여 가로 폭 방향으로 위치 결정한 상태에서 상기 용기의 바닥면을 받아(catching) 지지하도록 구성된, 용기 반송(搬送) 설비로서,
    상기 지지체는, 상기 이동 조작부가 접속되는 기부(基部)와, 상기 기부로부터 수평 방향으로 돌출되어 상기 용기의 이송탑재 시에 상기 절결부를 상하 방향으로 통과하는 돌출부를 포함하고, 또한 상기 돌출부의 돌출 방향으로 상기 용기의 전방으로부터 후방으로 향하는 방향이 따르는 자세로 상기 용기를 지지하도록 구성되며,
    상기 돌출부의 가로 폭은, 상기 용기의 가로 폭보다 좁게 형성되고,
    상기 용기로서, 소용기와, 가로 폭 방향에서 상기 소용기보다 광폭(廣幅)으로 구성되는 대용기가 존재하고,
    상기 소용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 소용기용 피(被)지지부를 포함하고, 상기 3개의 소용기용 피지지부는, 상기 소용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부와, 상기 소용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 소용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 소용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
    상기 대용기는, 그 바닥면에 분산 배치되는 3개의 대용기용 피지지부를 포함하고, 상기 3개의 대용기용 피지지부는, 상기 대용기의 가로 폭 방향으로 이격되는 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부와, 상기 대용기의 가로 폭 방향 중앙부에서 또한 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부에 대하여 상기 대용기의 후방측으로 이격된 위치에 위치하는 1개의 대용기용 후방측 피지지부로 구성되고,
    상기 지지체가 상기 소용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부는, 상기 지지체가 상기 대용기를 지지한 상태에서의 상기 한 쌍의 대용기용 전방측 피지지부보다 평면에서 볼 때 상기 지지체의 가로 폭 방향에 있어서 내측에 위치하고,
    상기 지지체가, 상기 지지체측 지지부로서, 상기 소용기의 바닥면에서의 상기 3개의 소용기용 피지지부를 지지하는 3개의 지지체측 소용기용 지지부와, 상기 대용기의 바닥면에서의 외주부의 상기 기부측의 에지부를 지지하는 지지체측 에지부 지지부를 포함하고 있고,
    상기 탑재체가, 상기 탑재체측 지지부로서, 상기 소용기를 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 소용기의 바닥면을 지지 가능한 탑재체측 소용기용 지지부를 구비하고,
    상기 탑재체측 소용기용 지지부가, 평면에서 볼 때 상기 탑재체의 가로 폭 방향에서 상기 탑재체의 상기 절결부의 양측으로 이격되어 설치되어 상기 소용기의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하는 한 쌍의 탑재면과, 상기 한 쌍의 소용기용 전방측 피지지부와 걸어맞추어지는 한 쌍의 소용기용 걸어맞춤부와, 한 쌍의 소용기용 위치 결정 부재를 구비하고,
    상기 소용기용 위치 결정 부재가, 상기 소용기의 측부와 맞닿아 상기 탑재체의 가로 폭 방향을 따른 상기 소용기의 이동을 규제하는 규제면, 및 상기 소용기를 상기 탑재체의 가로 폭 방향에 있어서 상기 소용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 상기 소용기의 바닥면에서의 가로 폭 방향의 단부(端部)를 안내하는 안내용 경사부를 구비하고 있는, 용기 반송 설비.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 탑재체가, 상기 탑재체측 지지부로서, 상기 대용기를 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정한 상태에서 상기 대용기의 바닥면을 지지 가능한 탑재체측 대용기용 지지부를 구비하고,
    상기 탑재체측 대용기용 지지부가, 평면에서 볼 때 상기 탑재체의 가로 폭 방향에서 상기 탑재체의 상기 절결부의 양측으로 이격되어 설치되고, 또한 상기 대용기의 바닥면에서의 상기 대용기의 가로 폭 방향으로 이격된 한 쌍의 피지지 개소를 지지하는 한 쌍의 대용기용 지지 위치 결정 부재와, 상기 대용기용 후방측 피지지부를 지지하는 대용기용 후방측 지지부를 구비하고,
    상기 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 상기 대용기의 바닥면을 아래쪽으로부터 지지하는 탑재면, 상기 대용기의 측부와 맞닿아 상기 탑재체의 가로 폭 방향을 따른 상기 대용기의 이동을 규제하는 규제면, 및 상기 대용기를 상기 탑재체의 가로 폭 방향에 있어서 상기 대용기용 설정 탑재 위치에 위치 결정하기 위해 상기 대용기의 바닥면에서의 가로 폭 방향의 단부를 안내하는 안내용 경사부를 구비하고 있는, 용기 반송 설비.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 탑재체측 대용기용 지지부는, 상기 대용기의 바닥면이 상기 소용기용 걸어맞춤부의 상단보다 위쪽으로 되는 높이에서 상기 대용기를 지지하도록 구성되어 있는, 용기 반송 설비.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 소용기용 위치 결정 부재와 상기 대용기용 지지 위치 결정 부재가, 단일의 부재에 의해 구성되어 있는, 용기 반송 설비.
  8. 삭제
  9. 삭제
KR1020150032990A 2014-03-11 2015-03-10 용기 반송 설비 KR102312786B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2014-047450 2014-03-11
JP2014047450A JP6052209B2 (ja) 2014-03-11 2014-03-11 容器搬送設備

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20150106360A KR20150106360A (ko) 2015-09-21
KR102312786B1 true KR102312786B1 (ko) 2021-10-13

Family

ID=54069652

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020150032990A KR102312786B1 (ko) 2014-03-11 2015-03-10 용기 반송 설비

Country Status (6)

Country Link
US (1) US9685361B2 (ko)
JP (1) JP6052209B2 (ko)
KR (1) KR102312786B1 (ko)
CN (1) CN104909101B (ko)
SG (1) SG10201501726PA (ko)
TW (1) TWI634063B (ko)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6052209B2 (ja) * 2014-03-11 2016-12-27 株式会社ダイフク 容器搬送設備
JP6233340B2 (ja) * 2015-03-26 2017-11-22 村田機械株式会社 ストッカ及び物品の支持方法
JP6332133B2 (ja) * 2015-05-14 2018-05-30 株式会社ダイフク 容器搬送設備
JP6531642B2 (ja) * 2015-12-24 2019-06-19 株式会社ダイフク 物品搬送設備
KR102346764B1 (ko) 2016-01-18 2022-01-04 (주)에이치티에스 즉석밥 용기 이송 그리퍼
KR101774297B1 (ko) * 2016-03-21 2017-09-20 주식회사 카스 무게 측정장치
CN107579029B (zh) * 2016-07-05 2021-04-09 北京北方华创微电子装备有限公司 片盒定位装置、片盒装卸载***及半导体加工设备
JP6693356B2 (ja) * 2016-09-09 2020-05-13 株式会社ダイフク 物品搬送装置
JP6686914B2 (ja) * 2017-01-12 2020-04-22 株式会社ダイフク 物品保管設備
US10703563B2 (en) * 2017-11-10 2020-07-07 Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. Stocker
JP6801640B2 (ja) * 2017-12-21 2020-12-16 株式会社ダイフク 収納棚及び物品収納設備
US20230016251A1 (en) * 2021-07-15 2023-01-19 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. Compound fork device and system including the same
TWI830459B (zh) * 2022-08-02 2024-01-21 采鈺科技股份有限公司 晶圓盒的傳輸系統

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030198541A1 (en) * 1994-04-28 2003-10-23 Semitool, Inc. Semiconductor wafer processing apparatus
JP2005197431A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置
JP2008277764A (ja) 2007-04-02 2008-11-13 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06115615A (ja) * 1992-10-01 1994-04-26 Murata Mach Ltd 収納庫
US6447232B1 (en) * 1994-04-28 2002-09-10 Semitool, Inc. Semiconductor wafer processing apparatus having improved wafer input/output handling system
US6599075B2 (en) * 1994-04-28 2003-07-29 Semitool, Inc. Semiconductor wafer processing apparatus
JPH0992708A (ja) * 1995-09-27 1997-04-04 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウエーハキャリアの係止治具
TWI237305B (en) * 1998-02-04 2005-08-01 Nikon Corp Exposure apparatus and positioning apparatus of substrate receiving cassette
JP3832293B2 (ja) 2001-08-31 2006-10-11 株式会社ダイフク 荷保管設備
WO2005112107A1 (ja) * 2004-05-17 2005-11-24 Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. 基板収納容器及びその位置決め方法
US7409263B2 (en) * 2004-07-14 2008-08-05 Applied Materials, Inc. Methods and apparatus for repositioning support for a substrate carrier
CN100511630C (zh) * 2005-03-08 2009-07-08 株式会社安川电机 装载口及装载口的控制方法
JP4591335B2 (ja) * 2005-12-08 2010-12-01 ムラテックオートメーション株式会社 ストッカー内の棚における基板収納用容器の変位防止装置
JP4904995B2 (ja) * 2006-08-28 2012-03-28 シンフォニアテクノロジー株式会社 ロードポート装置
JP5003292B2 (ja) * 2006-11-07 2012-08-15 シンフォニアテクノロジー株式会社 搬送システム
US8814488B2 (en) * 2007-04-02 2014-08-26 Hitachi Kokusai Electric Inc. Substrate processing apparatus and semiconductor device manufacturing method
TWI435832B (zh) * 2011-09-02 2014-05-01 Sparking Power Technology Co Ltd 可裝配不同尺寸晶圓盒之承載機構
JP6052209B2 (ja) * 2014-03-11 2016-12-27 株式会社ダイフク 容器搬送設備

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20030198541A1 (en) * 1994-04-28 2003-10-23 Semitool, Inc. Semiconductor wafer processing apparatus
JP2005197431A (ja) * 2004-01-07 2005-07-21 Shinko Electric Co Ltd ロードポート装置
JP2008277764A (ja) 2007-04-02 2008-11-13 Hitachi Kokusai Electric Inc 基板処理装置および半導体装置の製造方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP6052209B2 (ja) 2016-12-27
US9685361B2 (en) 2017-06-20
US20150262855A1 (en) 2015-09-17
CN104909101A (zh) 2015-09-16
SG10201501726PA (en) 2015-10-29
TW201544422A (zh) 2015-12-01
TWI634063B (zh) 2018-09-01
KR20150106360A (ko) 2015-09-21
JP2015171919A (ja) 2015-10-01
CN104909101B (zh) 2019-01-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR102312786B1 (ko) 용기 반송 설비
US10800617B2 (en) Transport vehicle and transport facility
KR102450289B1 (ko) 용기 반송 장치 및 용기 반송 설비
JP6693356B2 (ja) 物品搬送装置
US9048275B2 (en) Transport system and set-up method
US7506749B2 (en) Conveying system
JP6460245B2 (ja) 取出装置及び保管装置
KR102120521B1 (ko) 웨이퍼 보트 지지대 및 이것을 사용한 열처리 장치
JP2016216137A5 (ko)
JP6819565B2 (ja) 物品収納設備
TWI534946B (zh) Plasma processing device
JP6750574B2 (ja) 物品支持棚
CN107579029B (zh) 片盒定位装置、片盒装卸载***及半导体加工设备
JP6477579B2 (ja) 容器支持棚
JP2014204010A (ja) 基板受け渡し装置および基板搬送装置
JP7272445B2 (ja) 移載システム、移載装置及び移載方法
JP6504105B2 (ja) 容器支持棚
CN109256353B (zh) 定位底座
JP2020100495A (ja) 移載システム
TW202039338A (zh) 移載裝置及高架搬送車

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant