KR102204816B1

KR102204816B1 - 불활성 기체 공급 설비 및 불활성 기체 공급 방법

Info

Publication number: KR102204816B1
Application number: KR1020140063032A
Authority: KR
Inventors: 다케시 신; 다다시 니시카와; 마사히로 다카하라; 도시히토 우에다
Original assignee: 가부시키가이샤 다이후쿠
Priority date: 2013-06-26
Filing date: 2014-05-26
Publication date: 2021-01-18
Also published as: CN104253068A; US9822929B2; SG10201402805UA; US20150000785A1; TWI625813B; CN104253068B; JP5874691B2; TW201508854A; JP2015012042A; KR20150001614A

Abstract

제1 제어 장치는, 제2 제어 장치가 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행한다. 또한, 제1 제어 장치는, 계속 작동 처리의 실행 중에 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 불활성 기체 공급부를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행한다.

Description

불활성 기체 공급 설비 및 불활성 기체 공급 방법{Inactive Gas Supply Facility and Inactive Gas Supply Method}

본 발명은, 용기를 수납하는 수납부와, 상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급부와, 상기 불활성 기체 공급부를 제어하는 제1 제어 장치와, 상기 불활성 기체의 공급 상태를 규정한 작동 지령을 상기 제1 제어 장치에 대하여 출력하는 제2 제어 장치를 구비한 불활성 기체 공급 설비, 및 이와 같은 불활성 기체 공급 설비를 이용한 불활성 기체 공급 방법에 관한 것이다.

상기와 같은 불활성 기체 공급 설비로서, 예를 들면, 특허 문헌 1(일본 공개특허 제2010―16199호 공보)에 기재된 바와 같이, 용기 내부에 수용된 수용물(예를 들면, 반도체 기판 등)의 오염 또는 손상을 방지하기 위해, 용기 내부에 불활성 기체(예를 들면, 질소 등)를 공급하는 퍼지(purge) 처리를 행하는 설비가 알려져 있다.

이와 같은 불활성 기체 공급 설비에서는, 다음과 같은 구성으로 하는 것을 고려할 수 있다. 즉, 새롭게 반입(搬入)된 용기에 대하여 퍼지 처리를 개시한 시초에는, 용기 내부에 존재하는 불활성 기체 이외의 기체(예를 들면, 수증기나 산소 등)를 가급적 신속하게 불활성 기체로 치환하기 위해, 제2 제어 장치가, 불활성 기체의 공급 유량을 소정 유량보다 큰 초기 퍼지용의 유량으로 규정하는 작동 지령을 제1 제어 장치에 대하여 출력하고, 제1 제어 장치가 그 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 제어하는 구성으로 한다.

또한, 제2 제어 장치는, 상기한 초기 퍼지용의 유량에 의한 퍼지 처리를 소정 시간 계속함으로써 용기 내부의 불활성 기체가 소정 농도로 된 후에는, 용기 내의 불활성 기체의 농도를 일정한 농도로 유지하기 위해, 불활성 기체의 공급 유량을 초기 퍼지용의 유량보다 작은 보관 퍼지용의 유량으로 하는 작동 지령을 제1 제어 장치에 대하여 출력하고, 제1 제어 장치가, 그 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 제어하는 구성으로 한다.

일본 공개특허 제2010―16199호 공보

상기 특허 문헌 1에서는, 제2 제어 장치가 불활성 기체의 공급 유량을 조정하는 작동 지령을 출력하지만, 예를 들면, 제2 제어 장치가 고장나거나 제2 제어 장치와 제1 제어 장치와의 사이의 결선이 단선(斷線)되는 등의 이유로, 제2 제어 장치가 불활성 기체의 공급 유량을 전환하는 작동 지령을 출력할 수 없는 상태로 되는 경우가 있다.

특허 문헌 1에는 기재되어 있지 않지만, 제1 제어 장치가, 제2 제어 장치로부터 출력되는 작동 지령을 트리거로 하여 불활성 기체 공급부의 공급 유량의 전환을 행하고, 다음 회의 작동 지령을 수신할 때까지의 사이에는 전회의 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 작동시키도록 구성하는 것을 생각할 수 있다. 이 경우에는, 상기한 바와 같이 제2 제어 장치가 작동 지령을 출력할 수 없는 상태로 되면, 제1 제어 장치는, 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 제어하는 상태를 계속한다.

그러나, 이와 같은 구성에서는, 불활성 기체 공급부의 공급 유량을 대유량(大流量)으로 하고 있는 상태에서 제2 제어 장치로부터 작동 지령을 출력할 수 없게 되었을 경우, 그 후, 불활성 기체의 공급 유량을 소유량(小流量)으로 해야 할 타이밍으로 되었다고 해도, 공급 유량을 전환할 수 없으므로, 불활성 기체가 설비 내에 과잉으로 공급된다. 그러므로, 공기 중의 불활성 기체의 농도가 상승(또는, 공기 중의 산소 농도가 상대적으로 저하)하거나, 고가의 불활성 기체를 불필요하게 소비하여 버리는 등의 문제가 생길 우려가 있다.

그래서, 상위의 제어 장치가 작동 지령을 출력할 수 없는 상태에 있어서 용기로의 불활성 기체의 공급을 계속하는 경우에, 불활성 기체의 공급 유량을 전환할 수 없는 것에 의한 문제를 최대한 회피할 수 있는 불활성 기체 공급 설비의 실현 이 요구된다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비는,

용기를 수납하는 수납부;

상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부;

상기 불활성 기체 공급부를 제어하는 제1 제어 장치; 및

상기 불활성 기체의 공급 상태를 규정한 작동 지령을, 상기 제1 제어 장치에 대하여 출력하는 제2 제어 장치;

를 포함하고,

여기서, 상기 제1 제어 장치는, 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정부와, 미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정부와, 상기 불활성 기체 공급부의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행부를 구비하고,

상기 처리 실행부는, 상기 상태 판정부에 의해 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 상기 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 상기 작동 지령에 기초하여 상기 불활성 기체 공급부를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행하고,

상기 처리 실행부는, 또한 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 상기 조건 판정부에 의해 상기 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 상기 계속 작동 처리를 중지하여 상기 불활성 기체 공급부를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행한다.

상기한 구성에 의하면, 제2 제어 장치가 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 경우에는, 제1 제어 장치가, 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령에 기초하여 불활성 기체 공급부를 작동시킨다. 그러므로, 용기로의 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속할 수 있고, 상기 용기의 내부에 대하여 불활성 기체를 공급해야 할 경우에 불활성 기체가 공급되지 않는 현상을 회피할 수 있다.

그러나, 예를 들면, 용기가 수납부로부터 다른 장소로 이동된 경우 등, 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령을 계속하는 것이 그 후에 부적절하게 되는 경우가 있다. 그래서, 상기한 바와 같이 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속하고 있는 상태에 있어서도, 정지 조건을 만족시키는 경우에는 불활성 기체 공급부의 작동을 정지시킴으로써, 제2 제어 장치가 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 후에 계속하는 것이 부적절하게 된 작동 지령에 기초하여, 불활성 기체 공급부를 작동시키는 현상을 회피할 수 있다.

이와 같이, 상위의 제어 장치가 작동 지령을 출력할 수 없는 상태에 있어서 용기로의 불활성 기체의 공급을 계속하는 경우에, 불활성 기체의 공급 유량을 전환할 수 없는 것에 의한 문제를 최대한 회피할 수 있다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비의 기술적 특징은, 불활성 기체 공급 방법에도 적용 가능하며, 본 발명은 그와 같은 방법도 권리의 대상으로 할 수 있다. 이 불활성 기체 공급 방법에 있어서도, 전술한 불활성 기체 공급 설비에 관한 작용 효과를 얻을 수 있다.

즉, 본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법은,

용기를 수납하는 수납부;

상기 불활성 기체 공급부를 제어하는 제1 제어 장치; 및

를 포함하는 불활성 기체 공급 설비를 이용한 방법이며,

상기 불활성 기체 공급 방법은, 상기 제1 제어 장치에 의해 실행되는,

상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정 단계;

미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정 단계; 및

상기 불활성 기체 공급부의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행 단계;

를 포함한다.

여기서, 상기 처리 실행 단계에서는, 상기 상태 판정 단계에 의해 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 상기 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 상기 작동 지령에 기초하여 상기 불활성 기체 공급부를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행하고,

상기 처리 실행 단계에서는, 또한 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 상기 조건 판정 단계에 의해 상기 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 상기 계속 작동 처리를 중지하여 상기 불활성 기체 공급부를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행한다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시형태의 예에 대하여 설명한다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 수납부가 복수 설치되고, 상기 복수의 수납부의 각각에, 상기 불활성 기체 공급부가 별개로 설치되고, 상기 제2 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령을 출력하고, 상기 제1 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령에 기초하여, 상기 불활성 기체 공급부의 각각을 별개로 제어하는 것이 바람직하다.

즉, 제2 제어 장치는, 복수의 수납부의 각각에 별개로 설치된 불활성 기체 공급부마다 작동 지령을 출력할 수 있고, 제1 제어 장치는, 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 작동 지령에 기초하여, 불활성 기체 공급부의 각각을 별개로 제어할 수 있다.

그러므로, 복수의 수납부의 각각에 수납된 용기에 대하여, 상이한 공급 상태로 불활성 기체를 공급할 수 있다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 수납부가, 외부와 구획된 보관실의 내부에 설치되고, 상기 제1 제어 장치가, 상기 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도를 계측하는 농도 계측 장치와 통신 가능하게 접속되고,

상기 정지 조건이, 상기 농도 계측 장치에 의해 계측한 상기 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것인 것이 바람직하다.

즉, 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 불활성 기체 공급부를 정지시키는 것이 가능하다.

보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 경우에는, 예를 들면, 보관실 내부의 불활성 기체 농도가 기준 농도보다 높게 된 경우나, 보관실 내부의 산소 농도가 기준 농도보다 낮아진 경우를 생각할 수 있다. 이와 같은 경우, 보관실 내부에 불활성 기체를 계속 공급하는 것은 적절하지 않은 것으로 생각된다.

그래서, 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 불활성 기체 공급부를 정지시킴으로써, 보다 적절하게 운용할 수 있는 불활성 기체 공급 설비를 제공할 수 있다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 수납부에, 상기 용기가 수납되어 있는 재고 상태와 상기 용기가 수납되어 있지 않은 비(非)재고 상태를 검출하는 재고 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제1 제어 장치가, 상기 재고 상태 검출 장치와 통신 가능하게 접속되고,

상기 정지 조건이, 상기 재고 상태 검출 장치에 의해 비재고 상태를 검출한 것인 것이 바람직하다.

즉, 수납부에 용기가 수납되어 있지 않음에도 불구하고 불활성 기체를 공급하면, 불활성 기체를 불필요하게 소비하여 버린다.

그래서, 재고 상태 검출 장치에 의해 비재고 상태를 검출한 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 불활성 기체 공급부를 정지시킨다. 이로써, 수납부에 용기가 수납되어 있지 않음에도 불구하고 불활성 기체를 공급하여, 불활성 기체가 불필요하게 소비되는 것을 억제할 수 있다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 제1 제어 장치가, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능을 구비하고, 상기 정지 조건이, 상기 자체 고장 진단 기능에 의해 고장인 것으로 판별한 것인 것이 바람직하다.

즉, 제1 제어 장치가, 자체 고장 진단 기능에 의해 자체가 고장나 있는 것으로 판별한 경우에는, 불활성 기체 공급부를 적절히 제어할 수 없게 될 우려가 있다.

그래서, 자체 고장 진단 기능에 의해 고장인 것으로 판별한 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 불활성 기체 공급부로부터의 불활성 기체의 공급을 정지시킨다. 이로써, 불활성 기체 공급부의 제어를 적절히 행할 수 없는 것에 의한 문제를 회피할 수 있다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며, 상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치와, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치가 설치되고, 상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고, 상기 제1 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며, 상기 제2 제어 장치가 상기 상위 제어 장치이며, 상기 작동 지령이 상기 상위 지령인 것이 바람직하다.

즉, 상위 제어 장치가 상위 지령을 지령할 수 없는 상태로 된 경우라도, 중간 제어 장치가, 상위 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 상위 지령에 기초하여 유량 조절 장치를 작동시킨다. 그러므로, 용기로의 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속할 수 있다.

또한, 중간 제어 장치가, 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속하고 있는 상태에 있어서도, 정지 조건을 만족시키는 경우에는, 유량 조절 장치의 작동을 정지시킨다. 이로써, 상위 제어 장치가 상위 지령을 출력할 수 없는 상태로 된 후에, 마지막으로 출력된 상위 지령에 기초한 유량 조절 장치의 작동이 부적절이 되었을 경우에는, 마지막으로 지령된 상위 지령에 기초한 유량 조절 장치의 작동을 정지시키는 것이 가능하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 설비 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며, 상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치와, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치가 설치되고, 상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고, 상기 제1 제어 장치가 상기 유량 조절 장치이며, 상기 제2 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며, 상기 작동 지령이 상기 유량 제어 지령인 것이 바람직하다.

즉, 중간 제어 장치가 유량 제어 지령을 지령할 수 없는 상태로 된 경우라도, 유량 조절 장치가, 중간 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 유량 제어 지령에 기초하여 불활성 기체의 유량을 조절한다. 그러므로, 용기로의 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속할 수 있다.

또한, 유량 조절 장치가, 불활성 기체의 공급을 정지시키지 않고 계속하고 있는 상태에 있어서도, 정지 조건을 만족시키는 경우에는, 유량 조절 장치의 작동을 정지시킨다. 이로써, 중간 제어 장치가 유량 제어 지령을 출력할 수 없는 상태로 된 후에, 마지막으로 출력된 유량 제어 지령에 기초한 유량 조절 장치의 작동이 부적절하게 된 경우에는, 마지막으로 출력된 유량 제어 지령에 기초한 유량 조절 장치의 작동을 정지시키는 것이 가능하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 수납부가 복수 설치되고, 상기 복수의 수납부의 각각에, 상기 불활성 기체 공급부가 별개로 설치되고, 상기 제2 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령을 출력하고, 상기 처리 실행 단계에서는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령에 기초하여, 상기 불활성 기체 공급부의 각각을 별개로 제어하는 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 수납부가, 외부와 구획된 보관실의 내부에 설치되고, 상기 제1 제어 장치가, 상기 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도를 계측하는 농도 계측 장치와 통신 가능하게 접속되고, 상기 정지 조건이, 상기 농도 계측 장치에 의해 계측한 상기 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 수납부에, 상기 용기가 수납되어 있는 재고 상태와 상기 용기가 수납되어 있지 않은 비재고 상태를 검출하는 재고 상태 검출 장치가 설치되고, 상기 제1 제어 장치가, 상기 재고 상태 검출 장치와 통신 가능하게 접속되고, 상기 정지 조건이, 상기 재고 상태 검출 장치에 의해 비재고 상태를 검출한 것인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 제1 제어 장치가, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능을 구비하고, 상기 정지 조건이, 상기 자체 고장 진단 기능에 의해 고장인 것으로 판별한 것인 것이 바람직하다.

본 발명에 관한 불활성 기체 공급 방법의 실시형태에 있어서는, 상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며,

상기 불활성 기체 공급 설비는, 또한 상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치와, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치를 구비하고,

상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고,

상기 제1 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며, 상기 제2 제어 장치가 상기 상위 제어 장치이며, 상기 작동 지령이 상기 상위 지령인 것이 바람직하다.

상기 제1 제어 장치가 상기 유량 조절 장치이며, 상기 제2 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며, 상기 작동 지령이 상기 유량 제어 지령인 것이 바람직하다.

도 1은, 불활성 기체 공급 설비를 설명하는 측면도이며,
도 2는, 동 설비의 일부를 나타낸 종단 정면도이며,
도 3은, 수납부의 사시도이며,
도 4는, 수납부와 용기와의 관계를 나타낸 개략적인 구성도이며,
도 5는, 복수의 수납부로의 질소 가스의 공급 형태를 나타낸 도면이며,
도 6은, 제어 구성도이며,
도 7은, 제1 실시형태에 있어서의 프로그램 로직 컨트롤러의 구성을 설명하는 도면이며,
도 8은, 퍼지 패턴마다 목표 유량과 공급 시간과의 관계를 나타낸 도면이며,
도 9는, 제1 실시형태에 있어서 프로그램 로직 컨트롤러가 실행하는 제어를 설명하는 플로차트이며,
도 10은, 제2 실시형태에 있어서의 매스플로우(mass flow) 컨트롤러의 구성을 설명하는 도면이며,
도 11은, 제2 실시형태에 있어서 매스플로우 컨트롤러가 실행하는 제어를 설명하는 플로우차트이다.

본 발명의 불활성 기체 공급 설비의 실시형태를 도면을 참조하여 설명한다.

[제1 실시형태]

불활성 기체 공급 설비는, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 기판을 밀폐 상태로 수용하는 용기(50)를 보관하는 보관 선반(10), 반송(搬送) 장치로서의 스태커 크레인(stacker crane)(20), 및 용기(50)의 입출고부로서의 입출고 컨베이어(CV)를 구비하고 있다.

보관 선반(10) 및 스태커 크레인(20)이, 벽체(K)에 의해 외주부가 덮힌 설치 공간 내에 설치되고, 입출고 컨베이어(CV)가, 벽체(K)를 관통하는 상태로 설치되어 있다.

보관 선반(10)은, 용기(50)를 지지하는 수납부(10S)를, 상하 방향 및 좌우 방향(수평 방향)으로 배열되는 상태로 복수 구비하여, 수납부(10S)의 각각에 용기(50)를 수납하도록 구성되어 있다.

그리고, 본 실시형태에 있어서는, 도 1에 나타낸 바와 같이, 물품 보관 설비가 설치된 청정실의 천정부에 부설(敷設)된 가이드 레일을 따라 주행하는 호이스트식(hoist type)의 반송차(搬送車)(D)가 장비되고, 이 호이스트식의 반송차(D)에 의해, 입출고 컨베이어(CV)에 대하여 용기(50)가 반입 및 반출되도록 구성되어 있다.

용기(50)는, SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International) 규격에 따른 합성 수지제의 기밀 용기이며, 기판으로서의 반도체 웨이퍼(W)(도 4 참조)를 수납하기 위해 사용되고, FOUP(Front Opening Unified Pod)라고 하고 있다. 그리고, 상세한 설명은 생략하지만, 용기(50)의 전면(前面)에는, 착탈 가능한 커버체에 의해 개폐되는 기판 출입용의 개구가 형성되고, 용기(50)의 상면에는, 반송차(D)의 척 부재(chuck member)에 의해 파지(把持)되는 탑 플랜지(52)가 형성되고, 그리고, 용기(50)의 바닥면에는, 위치결정핀(10b)(도 3 참조)이 걸어맞추어지는 3개의 걸어맞춤홈(도시하지 않음)이 형성되어 있다.

용기(50)는, 도 4에 나타낸 바와 같이, 내부에 상하 방향으로 복수의 반도체 웨이퍼(W)를 탑재 가능한 기판 지지체(53)를 구비한 케이싱(51)과, 도시하지 않은 커버체를 구비하고 있다. 용기(50)는, 케이싱(51)에 커버체를 장착한 상태에 있어서는, 내부 공간이 밀폐되도록 구성되어 있다. 또한, 용기(50)는, 수납부(10S)에 수납된 상태에 있어서는, 위치결정핀(10b)에 의해 위치 결정되도록 구성되어 있다.

또한, 도 4에 나타낸 바와 같이, 용기(50)의 바닥부에는, 후술하는 바와 같이, 불활성 기체로서의 질소 가스를 주입하기 위해, 급기구(50i), 및 배기구(50o)가 설치되어 있다. 도시는 생략하지만, 급기구(50i)에는, 주입측 개폐 밸브가 설치되고, 배기구(50o)에는, 배출측 개폐 밸브가 설치되어 있다.

주입측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 급기구(50i)에 공급되는 질소 가스의 토출 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.

또한, 배출측 개폐 밸브는, 스프링 등의 가압 부재에 의해 폐쇄 방향으로 가압되어 있고, 용기(50) 내부의 압력이, 대기압보다 설정값이 높은 설정 밸브 개방 압력 이상이 되면, 그 압력에 의해 개방 조작되도록 구성되어 있다.

스태커 크레인(20)은, 보관 선반(10)의 전면측의 바닥부에 설치된 주행 레일(R1)을 따라 주행 이동 가능한 주행 대차(carriage)(21)와, 그 주행 대차(21)에 세워 설치된 마스트(mast)(22)와, 마스트(22)에 안내되는 상태로 승강 이동 가능한 승강대(24)를 구비하고 있다.

또한, 마스트(22)의 상단에 설치된 상부 프레임(23)이, 벽체(K)에 의해 외주부가 덮힌 설치 공간의 천정측에 설치된 상부 가이드 레일(도시하지 않음)에 걸어맞추어져 이동하도록 구성되어 있다.

승강대(24)에는, 수납부(10S)에 대하여 용기(50)를 이송탑재하는 이송탑재(transfer) 장치(25)가 장비되어 있다.

이송탑재 장치(25)는, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지체를, 수납부(10S)의 내부로 돌출하는 돌출 위치와 승강대(24) 측으로 퇴피한 퇴피 위치로 출퇴(出退) 가능하게 구비하고 있다. 이송탑재 장치(25)를 구비한 스태커 크레인(20)은, 탑재 지지체의 출퇴 작동 및 승강대(24)의 승강 작동에 의해, 탑재 지지체에 탑재한 용기(50)를 수납부(10S)에 내려놓는 내려놓는 처리, 및 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)를 인출하는 들어올리는 처리를 행하도록 구성되어 있다.

즉, 용기(50)는, 반송차(D)에 의해 입출고 컨베이어(CV) 상에 탑재되고, 상기 입출고 컨베이어(CV)에 의해 벽체(K)의 외부로부터 내부로 반송된 후, 스태커 크레인(20)에 의해 복수의 수납부(10S) 중 어느 하나로 반송된다.

스태커 크레인(20)에는, 도시하지 않지만, 주행 경로 상의 주행 위치를 검출하는 주행 위치 검출 장치, 및 승강대(24)의 승강 위치를 검출하는 승강 위치 검출 장치가 장비되어 있다. 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 크레인 컨트롤러(H3)가, 주행 위치 검출 장치 및 승강 위치 검출 장치의 검출 정보에 기초하여, 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하도록 구성되어 있다.

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 복수의 수납부(10S)의 각각은, 용기(50)를 탑재 지지하는 판형의 탑재 지지부(10a)를 구비하고 있다.

이 탑재 지지부(10a)는, 이송탑재 장치(25)의 탑재 지지체가 상하 방향으로 통과하는 공간을 형성하도록, 평면에서 볼 때 형상이 U자형으로 되도록 형성되어 있다. 그리고, 탑재 지지부(10a)의 상면에는, 전술한 위치결정핀(10b)이 기립 상태(위쪽으로 돌출하는 상태)로 장비되어 있다.

또한, 탑재 지지부(10a)에는, 용기(50)가 탑재되어 있는지의 여부[즉, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는지의 여부]를 검출하는 2개의 재고 센서(10z)가 설치되고, 이들 검출 정보는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동 상태를 감시하는 퍼지 컨트롤러(H1)에, 프로그램 로직 컨트롤러(P)를 통하여 입력되도록 구성되어 있다.

탑재 지지부(10a)에는, 불활성 기체로서의 질소 가스를 용기(50)의 내부에 공급하는 토출구(吐出口)로서의 토출 노즐(10i)과, 용기(50)의 내부로부터 배출되는 기체를 통류하는 배출용 통기체(10o)가 설치되어 있다. 그리고, 토출 노즐(10i)에는, 매스플로우 컨트롤러(40)로부터의 질소 가스를 유동시키는 공급 배관(Li)이 접속되고, 배출용 통기체(10o)에는, 단부(端部)가 개구된 배출관(Lo)이 접속되어 있다.

또한, 도 1 및 도 2에 나타낸 바와 같이, 평면에서 볼 때 각각의 수납부(10S)의 선반 안쪽[용기(50)가 출입되는 개구에 대향하는 단부측]에서, 또한 선반 좌우 방향에 있어서 용기(50)의 단부 근방으로 되는 위치에, 질소 가스의 공급을 제어하는 매스플로우 컨트롤러(40)가 장비되어 있다.

매스플로우 컨트롤러(40)는, 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치되어 있다.

그리고, 용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지되면, 토출 노즐(10i)이 용기(50)의 급기구(50i)에 끼워맞춘 상태로 접속되고, 또한 배출용 통기체(10o)가 용기(50)의 배기구(50o)에 끼워맞춘 상태로 접속되도록 구성되어 있다.

용기(50)가 탑재 지지부(10a)에 탑재 지지된 상태에 있어서, 토출 노즐(10i)으로부터 대기압보다 설정값 이상 높은 압력의 질소 가스를 토출시킴으로써, 용기(50)의 배기구(50o)보다 용기 내의 기체를 외부로 배출시키는 상태로, 용기(50)의 급기구(50i)보다 질소 가스를 용기(50)의 내부에 주입 가능하도록 구성되어 있다.

본 실시형태에 있어서는, 매스플로우 컨트롤러(40)에 의해 불활성 기체 공급부(F)가 구성된다. 또한, 벽체(K)에 의해 외주부가 덮히는 것에 의해, 본 발명의 보관실이 형성되어 있다.

즉, 용기(50)를 수납 가능한 수납부(10S)가 복수 설치되고, 그 각각에, 수납부(10S)에 수납되어 있는 용기(50)의 내부에 질소 가스를 공급하는 불활성 기체 공급부(F)가 별개로 설치되어 있다. 또한, 수납부(10S)는, 외부와 구획된 보관실의 내부에 설치되어 있다.

(질소 가스의 공급 구성)

도 5에 나타낸 바와 같이, 보관 선반(10)에서의 불활성 기체 공급부(F)의 각각에 질소 가스를 공급하기 위한 질소 가스의 공급원로서, 원 가스 공급 배관(Lm)이 구비되어 있다. 그 원 가스 공급 배관(Lm)으로부터 2분기하는 상태로, 제1 분기 공급 배관(Lb1) 및 제2 분기 공급 배관(Lb2)가 구비되어 있다. 원 가스 공급 배관(Lm)에는 원 가스 개폐 밸브(V1)가 설치되고, 보관 선반(10) 단위로 질소 가스의 공급 및 공급 정지를 전환할 수 있다.

제1 분기 공급 배관(Lb1)에는 제1 전자(電磁) 개폐 밸브(V21)가 설치되고, 제2 분기 공급 배관(Lb2)에는 제2 전자 개폐 밸브(V22)가 설치되어 있다. 그리고, 이들 제1 전자 개폐 밸브(V21) 및 제2 전자 개폐 밸브(V22)는, 후술하는 IO 확장 모듈(A)을 통하여 후술하는 퍼지 컨트롤러(H1)에 전기적으로 접속되어 있고, 퍼지 컨트롤러(H1)가 제1 전자 개폐 밸브(V21) 및 제2 전자 개폐 밸브(V22)의 개폐를 제어하도록 구성되어 있다.

[매스플로우 컨트롤러(40)의 구성]

도 3 및 도 4에 나타낸 바와 같이, 매스플로우 컨트롤러(40)는, 유입측 포트(40i)와 토출측 포트(40o)를 구비하고 있다. 토출측 포트(40o)에는, 전술한 공급 배관(Li)이 접속되고, 유입측 포트(40i)에는, 질소 가스의 공급원로서의 제1 분기 공급 배관(Lb1) 또는 제2 분기 공급 배관(Lb2)로부터의 질소 가스를 안내하는 공급 배관 Ls가 접속되어 있다.

그리고, 질소 가스 공급원에는, 질소 가스의 압력을 대기압보다 설정값 이상 높은 설정 압력으로 조정하는 거버너(governor)나, 질소 가스의 공급을 단속(斷續)하는 수동 조작식의 개폐 밸브 등이 장비된다.

매스플로우 컨트롤러(40)에는, 유입측 포트(40i)로부터 토출측 포트(40o)를 향하는 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 변경 조절하는 유량 조절 밸브(40V), 내부 유로를 유동하는 질소 가스의 유량을 계측하는 유량 센서, 및 유량 조절 밸브의 작동을 제어하는 내부 제어부(40S)가 장비되어 있다.

또한, 매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부(40S)는, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능을 구비하고 있다.

본 실시형태에 있어서, 매스플로우 컨트롤러(40)가 유량 조절 장치에 상당한다.

[제어 구성]

도 6에 나타낸 바와 같이, 불활성 기체 공급 설비에는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 상위 지령을 출력하는 퍼지 컨트롤러(H1), 보관 선반(10)에서의 용기(50)의 재고 상태 등을 관리하는 스토커(stocker) 컨트롤러(H2), 및 스태커 크레인(20)의 작동을 제어하는 크레인 컨트롤러(H3)가 설치되어 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 감시부(H11)와 지령 출력부(H12)를 구비하고 있다.

감시부(H11)는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동 상태를 감시하도록 구성되며, 지령 출력부(H12)는, 감시부(H11)에 의해 감시하고 있는 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동 상태에 기초하여, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 상위 지령을 출력하도록 구성되어 있다.

퍼지 컨트롤러(H1), 스토커 컨트롤러(H2), 및 크레인 컨트롤러(H3)는, 예를 들면, 축적 프로그램 방식으로 정보를 처리 가능한 컴퓨터로 구성되며, 서로 LAN 등의 네트워크(C1)와 접속되어 있다. 또한, 프로그램 로직 컨트롤러(P) 및 IO 확장 모듈(A)이, 상기 퍼지 컨트롤러(H1)와 통신 가능하게 네트워크(C1)에 접속되어 있다.

프로그램 로직 컨트롤러(P)에는, 제어 버스(C2) 경유하여 12대의 매스플로우 컨트롤러(40), 및 보관실 내부의 공기 중의 산소의 농도를 계측하는 농도 계측 장치(S1)의 각각이 접속되어 있다. 즉, 프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 보관실 내부의 기체의 특정 성분으로서의 산소의 농도를 계측하는 농도 계측 장치(S1)와 통신 가능하게 접속되어 있다. 농도 계측 장치(S1)는, 보관실 내부의 공기 중의 산소의 농도가 규정 농도 미만이 되면, 경고 정보를 출력하도록 구성되어 있다.

또한, 도 7에 나타낸 바와 같이, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에는, 퍼지 컨트롤러(H1)가 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정부(Pa)라고 미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정부(Pb)와 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행부(Pc)를 구비하고 있다.

프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터, 매스플로우 컨트롤러(40)의 식별 정보와 그 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 목표 유량의 지령을 수신하면, 상기 식별 정보에 대응하는 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 목표 유량의 지령을 출력하도록 구성되어 있다.

상태 판정부(Pa)는, 설정 시간 간격마다 퍼지 컨트롤러(H1)에 대하여 접속 확인 신호를 송신하고, 그 접속 확인 신호에 대하여 퍼지 컨트롤러(H1)가 회신하는 응답 신호를 수신함으로써, 퍼지 컨트롤러(H1)와의 사이에서 통신이 성립하고 있는지의 여부를 확인하도록 구성되어 있다. 그리고, 상태 판정부(Pa)는, 퍼지 컨트롤러(H1)와의 사이에서 통신이 성립하고 있는 경우에는 퍼지 컨트롤러(H1)가 작동 지령을 출력 가능한 상태인 것으로 판별하고, 퍼지 컨트롤러(H1)와의 사이에서 통신이 성립하고 있지 않는 경우에는 퍼지 컨트롤러(H1)가 작동 지령을 출력 불가능한 상태인 것으로 판별하게 되어 있다. 이 판별을 행하는 단계가, 본 발명에서의 「상태 판정 단계」에 상당한다.

또한, 상태 판정부(Pa)는, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능도 구비하고 있다.

IO 확장 모듈(A)에는, 상기 12대의 매스플로우 컨트롤러(40)가 구비되어 있는 수납부(10S)에 대응하는 재고 센서(10z)가, 각각 신호선(C3)과 접속되어 있다. IO 확장 모듈(A)에 입력된 정보는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 집약된다. 본 실시형태에 있어서, 재고 센서(10z)가, 재고 상태 검출 장치에 상당한다. 즉, 수납부(10S)에, 용기(50)가 수납되어 있는 재고 상태와 용기(50)가 수납되어 있지 않은 비재고 상태를 검출하는 재고 센서(10z)가 설치되고, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가, 재고 센서(10z) 및 농도 계측 장치(S1)의 각각과 통신 가능하게 접속되어 있다.

퍼지 컨트롤러(H1)는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치된 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 목표 유량을 지령한다. 이와 같이 퍼지 컨트롤러(H1)가 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 지령하는 복수의 매스플로우 컨트롤러(40)의 각각에 대한 목표 유량의 지령이, 상위 지령에 상당한다. 매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부(40S)는, 유량 센서의 검출 정보에 기초하여, 용기(50)에 대한 공급 유량을 전술한 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 상위 지령에 의해 규정되는 목표 유량으로 조정하기 위해, 유량 조절 밸브(40V)를 제어한다. 또한, 퍼지 컨트롤러(H1)에는, 각종 정보를 입력하기 위한 조작 테이블(HS)이 장비되어 있다.

즉, 불활성 기체 공급부는, 수납부(10S)에 수납된 용기(50)에 공급하는 질소 가스의 유량을 조절하는 유량 조절 장치[매스플로우 컨트롤러(40)]이며, 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 매스플로우 컨트롤러(40)를 제어하는 프로그램 로직 컨트롤러(P)와, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 상위 지령을 출력하는 퍼지 컨트롤러(H1)가 설치되어 있다.

또한, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동 상태를 감시하는 감시부(H11)와, 감시부(H11)에 의해 감시되고 있는 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동 상태에 기초하여, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 상위 지령을 출력하는 지령 출력부(H12)를 구비하고 있다.

즉, 본 실시형태에 있어서, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 유량 조절 장치로서의 매스플로우 컨트롤러(40)를 제어하는 중간 제어 장치에 상당하고, 퍼지 컨트롤러(H1)가, 질소 가스의 공급 상태를 규정한 상위 지령을 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하는 상위 제어 장치에 상당한다.

또한, 본 실시형태의 불활성 기체 공급 설비에는, 매스플로우 컨트롤러(40)를 제어하는 프로그램 로직 컨트롤러(P)와, 불활성 기체의 공급 상태를 규정한 상위 지령을 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하는 퍼지 컨트롤러(H1)가 구비되어 있다. 즉, 본 실시형태에 있어서는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 제1 제어 장치에 상당하고, 퍼지 컨트롤러(H1)가 제2 제어 장치에 상당하고, 퍼지 컨트롤러(H1)가 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하는 상위 지령이 작동 지령에 상당한다.

퍼지 컨트롤러(H1)가 출력하는 상위 지령에 의해 규정되는 목표 유량으로서는, 보관용의 목표 유량과 노즐 정화용의 목표 유량과 클리닝용의 목표 유량이 있다. 보관용의 목표 유량은, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되어 있는 상태에 있어서, 용기(50)의 내부에 질소 가스를 주입하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 지령되는 목표 유량이다. 노즐 정화용의 목표 유량은, 용기(50)가 수납부(10S)에 수납되기 직전에 있어서, 토출 노즐(10i)을 청정화하기 위해서 지령되는 목표 유량이다. 클리닝용의 목표 유량은, 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 토출 노즐(10i)이나 공급 배관(Li) 등을 청정화하기 위해 지령되는 목표 유량이다.

도 8에 나타낸 바와 같이, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 목표 유량과 공급 시간을 정한 복수의 퍼지 패턴으로서, 노즐 퍼지 패턴(P1), 클리닝 패턴(P2), 및 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)을 기억하고 있다.

그리고, 보관 선반(10)의 설치 시 등에 있어서, 조작 테이블(HS)에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되면, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 클리닝 패턴(P2)에 따른 상위 지령을, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하도록 구성되어 있다. 상기 상위 지령을 받은 프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 클리닝용의 목표 유량(청소용 유량)의 질소 가스를 청소용 시간만 통류시켜 불활성 기체 공급부(F)를 청소하는 청소용 공급 형태로 하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다.

그리고, 조작 테이블(HS)은, 청소가 필요한 불활성 기체 공급부(F)를 선택 가능하게 구성되며, 선택된 불활성 기체 공급부(F)에 대하여 클리닝 개시 지령을 지령 가능하게 구성되어 있다.

또한, 용기(50)가 입출고 컨베이어(CV)에 반입되면 퍼지 컨트롤러(H1)는, 노즐 퍼지 패턴(P1)에 따른 상위 지령을, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하도록 구성되어 있다. 상기 상위 지령을 받은 프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 노즐 정화용의 목표 유량의 질소 가스를 공급하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다.

본 실시형태에 있어서는, 퍼지 컨트롤러(H1)는, 용기(50)가 입출고 컨베이어(CV)에 반입된 것을, 호이스트식의 반송차(D)의 운전을 제어하는 반송차 컨트롤러(도시하지 않음)로부터 통신되는 수납 지령에 의해 판별하도록 구성되어 있다.

또한, 2개의 재고 센서(10z)가 용기(50)를 검출하고 있을 때에는, 퍼지 컨트롤러(H1)가, 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6) 중 조작 테이블(HS)에 의해 미리 선택된 1개의 패턴에 따른 상위 지령을, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 출력하도록 구성되어 있다. 상기 상위 지령을 받은 프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 미리 선택된 보관용 퍼지 패턴에 따른 보관용의 목표 유량(공급 유량)의 질소 가스를 공급하기 위해, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어한다.

또한, 노즐 퍼지 패턴(P1) 및 클리닝 패턴(P2)에서의 목표 유량과 공급 시간은, 미리 기준 상태로 설정되어 있다. 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)의 각각의 목표 유량과 공급 시간은, 설비의 설치 시에, 사용자가 설정한다. 그리고, 상기 기준 상태는, 조작 테이블(HS)로부터 변경 설정 가능하게 구성되어 있다.

다음에 노즐 퍼지 패턴(P1), 클리닝 패턴(P2), 및 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)의 각각에 대하여, 도 8에 기초하여 설명한다.

노즐 퍼지 패턴(P1)은, 전술한 수납 지령이 지령된 시점으로부터 수납 전 공급 시간으로서 설정된 공급 시간(t1) 동안, 노즐 정화용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량(L1)에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

공급 시간(t1)은, 예를 들면, 5초로 설정되고, 목표 유량(L1)은, 예를 들면, [30리터/분]로 설정된다.

클리닝 패턴(P2)은, 조작 테이블(HS)에 의해 클리닝 개시 지령이 지령되고 나서 설치 초기 공급 시간으로서 설정된 공급 시간(t2) 동안, 클리닝용의 목표 유량으로서 설정된 목표 유량(L2)에 의해 질소 가스를 공급하는 패턴으로서 정해져 있다.

공급 시간(t2)은, 예를 들면, 1800초로 설정되고, 목표 유량(L2)은, 예를 들면, [20리터/분]로 설정된다.

4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)의 각각에 대해서는, 보관용의 목표 유량으로서, 초기 목표 유량값 Lα와 그 초기 목표 유량 Lα보다 적은 정상 목표 유량값 Lβ가 설정되어 있다.

초기 목표 유량값 Lα는, 예를 들면, [50리터/분]로 설정되고, 정상 목표 유량값 Lβ는, 예를 들면, [5리터/분]로 설정된다. 전술한 바와 같이, 초기 목표 유량값 Lα나 정상 목표 유량값 Lβ는, 사용자가 변경 설정할 수 있다.

그리고, 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)의 각각은, 용기(50)에 질소 가스를 공급할 때는, 먼저, 목표 유량값을 초기 목표 유량값 Lα으로 설정하고, 그 후, 목표 유량값을 정상 목표 유량값 Lβ로 설정 변경하는 점이 공통되지만, 서로 다른 패턴으로 정해져 있다. 4개의 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)은, 도 8에 나타낸 바와 같이, 시간의 경과에 따라 목표 유량을 전환하는 패턴으로 설정되어 있지만, 여기서는 그 상세한 설명은 생략한다.

[프로그램 로직 컨트롤러가 실행하는 처리]

불활성 기체 공급 설비를 사용하는 경우에 있어서, 매스플로우 컨트롤러(40)에 의해 용기(50)에 질소 가스를 공급하는 퍼지 처리의 실행 중인 것에도 불구하고, 컴퓨터의 프리즈나 통신 인터페이스의 고장 등의 사정에 의해 퍼지 컨트롤러(H1)가 상위 지령을 출력 불가능한 상태로 되는 경우가 있다. 이와 같은 현상이 발생하면, 예를 들면, 매스플로우 컨트롤러(40)가 공급하는 질소 가스의 공급 유량을 전술한 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)에 기초하여 초기 목표 유량값 Lα로 설정하고 있는 상태에 있어서, 퍼지 컨트롤러(H1)가 상위 지령을 출력 불가능한 상태로 되어, 공급 유량을 정상 목표 유량값 Lβ로 설정해야 할 타이밍인 것에도 불구하고 공급 유량의 변경을 지령하는 상위 지령을 퍼지 컨트롤러(H1)가 출력할 수 없게 될 우려가 있다. 이와 같은 경우에 있어서 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 실행하는 처리에 대하여, 도 9에 기초하여 설명한다. 그리고, 도 9의 플로우는, 설정 시간(제어 주기이며, 예를 들면, 100밀리초) 간격마다 반복 실행된다.

프로그램 로직 컨트롤러(P)가 구비하는 상태 판정부(Pa)는, 먼저, 퍼지 컨트롤러(H1)와의 접속을 확인할 수 있었는지의 여부를 판별한다(스텝#11). 스텝#11에 서, 퍼지 컨트롤러(H1)와의 접속을 확인할 수 있었다고 판별하면(스텝#11: Yes), 상태 판정부(Pa)는, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 상위 지령이 있는지의 여부를 확인한다(스텝#12). 스텝#12에서, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 상위 지령이 있는 것으로 판별하면(스텝#12: Yes), 이어서, 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 구비되는 처리 실행부(Pc)는, 매스플로우 컨트롤러(40)에 유량 제어 지령을 송신한다(스텝#13).

스텝#12에서, 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 작동 지령이 없는 것으로 판별한 경우에는(스텝#12: No), 이 플로우를 종료한다.

한편, 스텝#11에서, 상태 판정부(Pa)가 퍼지 컨트롤러(H1)와의 접속을 확인할 수 없었던 것으로 판별하면(스텝#11: No), 조건 판정부(Pb)는, 정지 조건이 만족되었는지의 여부를 판별한다(스텝#14). 정지 조건이 만족되었는지의 여부를 판별하는 이 단계가, 본 발명에서의 「조건 판정 단계」에 상당한다.

정지 조건이란, 「농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 산소 농도가 기준 농도를 하회하는 것」, 「재고 센서(10z)에 의해 비재고 상태를 검출한 것」, 또는 「프로그램 로직 컨트롤러(P)가 자체 고장 진단 기능에 의해 자체가 고장나 있는 것으로 판별한 것」 중 어느 하나의 조건이다. 조건 판정부(Pb)는, 이들 3개의 조건 중 어느 하나가 만족된 경우에, 정지 조건이 만족된 것으로 판정한다.

본 실시형태에서는, 농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 산소 농도가 기준 농도를 하회하는 것이, 농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것에 상당한다.

스텝#14에서 정지 조건이 만족되어 있지 않은 것으로 판별한 경우(스텝#14: No), 처리 실행부(Pc)는, 퍼지 컨트롤러(H1)가 마지막으로 지령한 상위 지령에 기초하여 매스플로우 컨트롤러(40)에 유량 제어 지령을 송신한다(스텝#15). 본 실시형태에서는, 스텝#15의 처리가 계속 작동 처리에 상당한다.

또한, 스텝#14에 의해 정지 조건이 만족되어 있다고 판별한 경우(스텝#14: Yes), 처리 실행부(Pc)는, 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 퍼지 정지[유량 조절 밸브(40V)의 폐쇄]를 지령한다(스텝#16). 본 실시형태에서는, 스텝#16의 처리가 작동 정지 처리에 상당한다.

즉, 처리 실행부(Pc)는, 상태 판정부(Pa)에 의해 퍼지 컨트롤러(H1)가 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 퍼지 컨트롤러(H1)에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령에 기초하여 매스플로우 컨트롤러(40)를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행한다. 또한, 처리 실행부(Pc)는, 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 조건 판정부(Pb)에 의해 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 매스플로우 컨트롤러(40)를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행하도록 구성되어 있다. 이들 계속 작동 처리 및 작동 정지 처리를 포함하는, 매스플로우 컨트롤러(40)의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 단계가, 본 발명에서의 「처리 실행 단계」에 상당한다.

[제2 실시형태]

다음에 불활성 기체 공급 설비의 제2 실시형태에 대하여 설명하지만, 본 제2 실시형태는, 제1 실시형태와, 제1 제어 장치 및 제2 제어 장치의 관계가 상이할뿐이므로, 중복되는 설명을 생략하고 상이한 부분만을 설명한다.

본 실시형태에 있어서는, 도 10에 나타낸 바와 같이, 매스플로우 컨트롤러(40)는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 유량 제어 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정부(40a)와, 미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정부(40b)와, 매스플로우 컨트롤러(40)에서의 유량 조절 밸브(40V)의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행부(40c)를 구비하고 있다.

또한, 매스플로우 컨트롤러(40)가, 보관실 내부의 산소의 농도를 계측하는 농도 계측 장치(S1), 및 수납부(10S)에 대응하는 재고 센서(10z)의 각각과, 제어 버스(C2)를 경유하여 통신 가능하게 접속되어 있다.

상태 판정부(40a)는, 설정 시간 간격마다 프로그램 로직 컨트롤러(P)에 대하여 접속 확인 신호를 송신하고, 그 접속 확인 신호에 대하여 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 회신하는 응답 신호를 수신함으로써, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 사이에서 통신이 성립하고 있는지의 여부를 확인하도록 구성되어 있다. 그리고, 상태 판정부(40a)는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 사이에서 통신이 성립하고 있는 경우에는 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 작동 지령을 출력 가능한 상태인 것으로 판별하고, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 사이에서 통신이 성립하고 있지 않는 경우에는 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 작동 지령을 출력 불가능한 상태인 것으로 판별하도록 구성되어 있다.

또한, 상태 판정부(40a)는, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능도 구비하고 있다.

프로그램 로직 컨트롤러(P)는, 복수의 수납부(10S)의 각각에 대응하여 설치된 매스플로우 컨트롤러(40)의 각각에 대하여, 각각의 매스플로우 컨트롤러(40)에 대한 목표 유량을 퍼지 컨트롤러(H1)로부터의 상위 지령에 의해 규정되는 목표 유량으로 조정하기 위해, 목표 유량을 지령한다. 이와 같이 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 지령하는 목표 유량의 지령이, 유량 제어 지령에 상당한다. 매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부(40S)는, 유량 센서의 검출 정보에 기초하여, 용기(50)에 대한 공급 유량을 전술한 프로그램 로직 컨트롤러(P)로부터의 유량 제어 지령에 의해 규정되는 목표 유량으로 조정하기 위해, 유량 조절 밸브(40V)를 제어한다.

즉, 본 실시형태에 있어서는, 매스플로우 컨트롤러(40)에 구비되는 내부 제어부(40S)가 제1 제어 장치에 상당하고, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 제2 제어 장치에 상당하고, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 매스플로우 컨트롤러(40)에 대하여 출력하는 유량 제어 지령이 작동 지령에 상당한다.

[매스플로우 컨트롤러가 실행하는 처리]

불활성 기체 공급 설비를 사용하는 경우에 있어서, 매스플로우 컨트롤러(40)에 의해 용기(50)에 질소 가스를 공급하는 퍼지 처리의 실행 중인 것에도 불구하고, 통신 인터페이스의 고장 등의 사정에 의해 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 유량 제어 지령을 출력 불가능한 상태로 되는 경우가 있다. 이와 같은 현상이 발생하면, 예를 들면, 매스플로우 컨트롤러(40)가 공급하는 질소 가스의 공급 유량을 전술한 보관용 퍼지 패턴(P3∼P6)에 기초하여 초기 목표 유량값 Lα로 설정하고 있는 상태에 있어서, 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 유량 제어 지령을 출력 불가능한 상태로 되어, 공급 유량을 정상 목표 유량값 Lβ로 설정해야 할 타이밍인 것에도 불구하고 공급 유량의 변경을 지령하는 유량 제어 지령을 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 출력할 수 없게 될 우려가 있다. 이와 같은 경우에 매스플로우 컨트롤러(40)가 실행하는 처리에 대하여, 도 11에 기초하여 설명한다. 그리고, 도 11의 플로우는, 설정 시간(제어 주기이며, 예를 들면, 100밀리초) 간격마다 반복 실행된다.

매스플로우 컨트롤러(40)가 구비하는 상태 판정부(40a)는, 먼저, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 접속을 확인할 수 있었는지의 여부를 판별한다(스텝#21). 스텝#21에서, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 접속을 확인할 수 있었다고 판별하면(스텝#21: Yes), 상태 판정부(40a)는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)로부터의 유량 제어 지령이 있는지의 여부를 확인한다(스텝#22). 스텝#22에서, 프로그램 로직 컨트롤러(P)로부터의 유량 제어 지령이 있는 것으로 판별하면(스텝#22: Yes), 이어서, 매스플로우 컨트롤러(40)에 구비되는 처리 실행부(40c)는, 유량 제어 지령에 기초하여 유량 조절 밸브(40V)를 제어한다(스텝#23).

스텝#22에 의해, 프로그램 로직 컨트롤러(P)로부터의 유량 제어 지령이 없는 것으로 판별한 경우에는(스텝#22: No), 이 플로우를 종료한다.

한편, 스텝#21에서, 상태 판정부(40a)가, 프로그램 로직 컨트롤러(P)와의 접속을 확인할 수 없었던 것으로 판별하면(스텝#21: No), 조건 판정부(40b)는 정지 조건이 만족되었는지의 여부를 판별한다(스텝#24). 이 정지 조건이란, 「농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 산소 농도가 기준 농도를 하회하는 것」, 「재고 센서(10z)에 의해 비재고 상태를 검출한 것」, 또는 「매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부(40S)가, 자체 고장 진단 기능에 의해 자체가 고장나 있는 것으로 판별한 것」 중 어느 하나의 조건이다. 조건 판정부(40b)는, 이들 3개의 조건 중 어느 하나가 만족된 경우에, 정지 조건이 만족된 것으로 판정한다.

스텝#24에서 정지 조건이 만족되어 있지 않은 것으로 판별한 경우(스텝#24: No), 처리 실행부(40c)는, 프로그램 로직 컨트롤러(P)로부터 마지막으로 받은 유량 제어 지령에 기초하여 유량 조절 밸브(40V)를 제어한다(스텝#25). 본 실시형태에서는, 스텝#25의 처리가 계속 작동 처리에 상당한다.

또한, 스텝#24에서 정지 조건이 만족되어 있다고 판별한 경우(스텝#24: Yes), 처리 실행부(40c)는, 유량 조절 밸브(40V)를 폐쇄하기 위해 제어한다(스텝#26). 본 실시형태에서는, 스텝#26의 처리가 작동 정지 처리에 상당한다.

즉, 처리 실행부(40c)는, 상태 판정부(40a)에 의해 프로그램 로직 컨트롤러(P)가 유량 제어 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 퍼지 컨트롤러(H1)에 의해 마지막으로 출력된 작동 지령에 기초하여 매스플로우 컨트롤러(40)를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행한다. 또한, 처리 실행부(40c)는, 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 조건 판정부(40b)에 의해 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 계속 작동 처리를 중지하여 매스플로우 컨트롤러(40)를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행하도록 구성되어 있다.

[다른 실시형태]

(1) 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 수납부(10S)가 복수 설치되고, 이들 복수의 수납부(10S)의 각각에 매스플로우 컨트롤러(40)가 별개로 설치된 구성을 예시했다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 예를 들면, 수납부(10S)를 1개만 구비하고, 그 1개의 수납부(10S)에 1개의 매스플로우 컨트롤러(40)를 구비하는 불활성 기체 공급 설비로 해도 된다. 또한, 수납부(10S)를 복수 구비하고, 이들 복수의 수납부(10S)에 수납된 용기(50)에 대하여 공급하는 질소 가스의 유량을, 단일의 매스플로우 컨트롤러(40)로 조절하도록 구성해도 된다. 또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 제2 제어 장치가 복수의 매스플로우 컨트롤러(40)의 각각에 대한 작동 지령을 별개로 출력하도록 구성하였지만, 제2 제어 장치가 복수의 매스플로우 컨트롤러(40)의 모두에 대하여 동일한 작동 지령을 출력하도록 구성해도 된다.

(2) 상기 제1 실시형태에서는, 정지 조건을, 「농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 산소 농도가 기준 농도를 하회하는 것」, 「재고 센서(10z)에 의해 비재고 상태를 검출한 것」, 또는 「프로그램 로직 컨트롤러(P)가 자체 고장 진단 기능에 의해 자체가 고장나 있는 것으로 판별한 것」 중 어느 하나의 조건으로 하고, 제2 실시형태에 있어서는, 정지 조건을, 「농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 산소 농도가 기준 농도를 하회하는 것」, 「재고 센서(10z)에 의해 비재고 상태를 검출한 것」, 또는 「매스플로우 컨트롤러(40)의 내부 제어부(40S)가, 자체 고장 진단 기능에 의해 자체가 고장나 있는 것으로 판별한 것」 중 어느 하나의 조건으로 하도록 구성하였다. 그러나, 정지 조건은 이들에 한정되지 않고, 예를 들면, 「작업자에 의해 비상 정지가 지령된 것」등, 다른 조건을 정지 조건에 포함해도 된다. 또한, 정지 조건을 상기 제1 또는 제2 실시형태에 나타낸 3개의 조건 중 모두가 아니고, 1개 또는 2개만으로 해도 된다.

또한, 상기 제1 및 제2 실시형태에서는, 정지 조건을 만족시킨 것을, 상기 3개의 조건 중 어느 하나를 만족시킨 것을 가지고 판별하는 구성으로 하였으나, 상기 3개 중 사전에 설정한 2개의 조건 또는 3개의 조건을 만족시킨 것을 가지고 정지 조건을 만족시킨 것으로 판별하도록 구성해도 된다.

(3) 상기 제2 실시형태에서는, 매스플로우 컨트롤러(40)가, 보관실 내부의 산소의 농도를 계측하는 농도 계측 장치(S1), 및 수납부(10S)에 대응하는 재고 센서(10z)의 각각과, 제어 버스(C2)를 경유하여 통신 가능하게 접속되는 구성을 예시했다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 농도 계측 장치(S1) 및 재고 센서(10z)의 각각이, 매스플로우 컨트롤러(40)에 계측 정보를 직접 입력하도록 접속되는 구성으로 해도 된다.

(4) 상기 제1 및 제2 실시형태에 있어서는, 보관실 내부의 기체의 특정 성분을 산소로 하고, 농도 계측 장치(S1)에 의해 산소의 농도를 계측하는 구성을 예시했다. 그러나, 본 발명의 실시형태는 이와 같은 구성에 한정되지 않고, 보관실 내부의 기체의 특정 성분을 질소로 하고, 농도 계측 장치(S1)에 의해 질소의 농도를 계측하도록 구성해도 된다. 이 경우, 농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 질소 농도가 기준 농도를 상회하는 것이, 농도 계측 장치(S1)에 의해 계측한 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것에 상당한다.

또한, 보관실 내부의 기체의 특정 성분은, 상기 산소 또는 질소 이외의 성분, 예를 들면, 이산화탄소나 수증기 등으로 해도 된다.

10S 수납부
10z 재고 상태 검출 장치
40 유량 조절 장치
40a 상태 판정부
40b 조건 판정부
40c 처리 실행부
50 용기
F 불활성 기체 공급부
H1 상위 제어 장치
H11 감시부
H12 지령 출력부
P 중간 제어 장치
Pa 상태 판정부
Pb 조건 판정부
Pc 처리 실행부
S1 농도 계측 장치

Claims

용기를 수납하는 수납부;
상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체(氣體)를 공급하는 불활성 기체 공급부;
상기 불활성 기체 공급부를 제어하는 제1 제어 장치; 및
상기 불활성 기체의 공급 상태를 규정한 작동 지령을, 상기 제1 제어 장치에 대하여 출력하는 제2 제어 장치;
를 포함하는 불활성 기체 공급 설비로서,
상기 작동 지령은 목표 유량의 지령이고,
상기 제1 제어 장치는, 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정부와, 미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정부와, 상기 불활성 기체 공급부의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행부를 구비하고,
상기 처리 실행부는, 상기 상태 판정부에 의해 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 상기 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 상기 작동 지령에 기초하여 상기 불활성 기체 공급부를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행하고,
상기 처리 실행부는, 또한 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 상기 조건 판정부에 의해 상기 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 상기 계속 작동 처리를 중지하여 상기 불활성 기체 공급부를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행하는,
불활성 기체 공급 설비.
제1항에 있어서,
상기 수납부가 복수 설치되고,
상기 복수의 수납부의 각각에, 상기 불활성 기체 공급부가 별개로 설치되고,
상기 제2 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령을 출력하고,
상기 제1 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령에 기초하여, 상기 불활성 기체 공급부의 각각을 별개로 제어하는, 불활성 기체 공급 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수납부가, 외부와 구획된 보관실의 내부에 설치되고,
상기 제1 제어 장치가, 상기 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도를 계측하는 농도 계측 장치와 통신 가능하게 접속되고,
상기 정지 조건이, 상기 농도 계측 장치에 의해 계측한 상기 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것인, 불활성 기체 공급 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 수납부에, 상기 용기가 수납되어 있는 재고 상태와 상기 용기가 수납되어 있지 않은 비(非)재고 상태를 검출하는 재고 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제1 제어 장치가, 상기 재고 상태 검출 장치와 통신 가능하게 접속되고,
상기 정지 조건이, 상기 재고 상태 검출 장치에 의해 상기 비재고 상태를 검출한 것인, 불활성 기체 공급 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 제1 제어 장치가, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능을 구비하고,
상기 정지 조건이, 상기 자체 고장 진단 기능에 의해 고장인 것으로 판별한 것인, 불활성 기체 공급 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며,
상기 불활성 기체 공급 설비는,
상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치; 및
상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치;를 더 구비하고,
상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며,
상기 제2 제어 장치가 상기 상위 제어 장치이며,
상기 작동 지령이 상기 상위 지령인, 불활성 기체 공급 설비.
제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며,
상기 불활성 기체 공급 설비는,
상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치; 및
상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치;를 더 구비하고,
상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치가 상기 유량 조절 장치이며,
상기 제2 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며,
상기 작동 지령이 상기 유량 제어 지령인, 불활성 기체 공급 설비.
불활성 기체 공급 설비를 이용한 불활성 기체 공급 방법으로서,
상기 불활성 기체 공급 설비는,
용기를 수납하는 수납부;
상기 수납부에 수납되어 있는 상기 용기의 내부에 불활성 기체를 공급하는 불활성 기체 공급부;
상기 불활성 기체 공급부를 제어하는 제1 제어 장치; 및
상기 불활성 기체의 공급 상태를 규정한 작동 지령을, 상기 제1 제어 장치에 대하여 출력하는 제2 제어 장치;
를 포함하고,
상기 작동 지령은 목표 유량의 지령이고,
상기 제1 제어 장치에 의해 실행되는 단계로서,
상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것을 판정하는 상태 판정 단계;
미리 정한 정지 조건을 만족시키는지의 여부를 판정하는 조건 판정 단계; 및
상기 불활성 기체 공급부의 작동을 제어하기 위한 처리를 실행하는 처리 실행 단계;
를 포함하고,
상기 처리 실행 단계에서는, 상기 상태 판정 단계에서 상기 제2 제어 장치가 상기 작동 지령을 출력 불가능한 상태로 된 것으로 판정된 경우에는, 상기 제2 제어 장치에 의해 마지막으로 출력된 상기 작동 지령에 기초하여 상기 불활성 기체 공급부를 작동시키는 계속 작동 처리를 실행하고,
상기 처리 실행 단계에서는, 또한, 상기 계속 작동 처리의 실행 중에, 상기 조건 판정 단계에서 상기 정지 조건을 만족시킨 것으로 판정된 경우에는, 상기 계속 작동 처리를 중지하여 상기 불활성 기체 공급부를 정지시키는 작동 정지 처리를 실행하는,
불활성 기체 공급 방법.
제8항에 있어서,
상기 수납부가 복수 설치되고,
상기 복수의 수납부의 각각에, 상기 불활성 기체 공급부가 별개로 설치되고,
상기 제2 제어 장치는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령을 출력하고,
상기 처리 실행 단계에서는, 상기 복수의 불활성 기체 공급부의 각각에 대한 상기 작동 지령에 기초하여, 상기 불활성 기체 공급부의 각각을 별개로 제어하는, 불활성 기체 공급 방법.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 수납부가, 외부와 구획된 보관실의 내부에 설치되고,
상기 제1 제어 장치가, 상기 보관실 내부의 기체의 특정 성분의 농도를 계측하는 농도 계측 장치와 통신 가능하게 접속되고,
상기 정지 조건이, 상기 농도 계측 장치에 의해 계측한 상기 농도가 기준 상태로부터 벗어나 있는 것인, 불활성 기체 공급 방법.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 수납부에, 상기 용기가 수납되어 있는 재고 상태와 상기 용기가 수납되어 있지 않은 비재고 상태를 검출하는 재고 상태 검출 장치가 설치되고,
상기 제1 제어 장치가, 상기 재고 상태 검출 장치와 통신 가능하게 접속되고,
상기 정지 조건이, 상기 재고 상태 검출 장치에 의해 상기 비재고 상태를 검출한 것인, 불활성 기체 공급 방법.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 제1 제어 장치가, 자체가 고장나 있는지의 여부를 판별하는 자체 고장 진단 기능을 구비하고,
상기 정지 조건이, 상기 자체 고장 진단 기능에 의해 고장인 것으로 판별한 것인, 불활성 기체 공급 방법.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며,
상기 불활성 기체 공급 설비는,
상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치; 및
상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치;
를 더 구비하고,
상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며,
상기 제2 제어 장치가 상기 상위 제어 장치이며,
상기 작동 지령이 상기 상위 지령인, 불활성 기체 공급 방법.
제8항 또는 제9항에 있어서,
상기 불활성 기체 공급부가, 상기 수납부에 수납된 상기 용기에 공급하는 상기 불활성 기체의 유량을 조절하는 유량 조절 장치이며,
상기 불활성 기체 공급 설비는,
상기 유량 조절 장치에 대하여 유량 제어 지령을 출력하여 상기 유량 조절 장치를 제어하는 중간 제어 장치; 및
상기 중간 제어 장치에 대하여 상위 지령을 출력하는 상위 제어 장치;를 더 구비하고,
상기 상위 제어 장치가, 상기 유량 조절 장치의 작동 상태를 감시하는 감시부와, 상기 감시부에 의해 감시하고 있는 상기 유량 조절 장치의 작동 상태에 기초하여, 상기 중간 제어 장치에 대하여 상기 상위 지령을 출력하는 지령 출력부를 구비하고,
상기 제1 제어 장치가 상기 유량 조절 장치이며,
상기 제2 제어 장치가 상기 중간 제어 장치이며,
상기 작동 지령이 상기 유량 제어 지령인, 불활성 기체 공급 방법.