JP3983254B2 - 製品収容容器用パージシステム及び該パージシステムに供せられる台 - Google Patents
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Description
Claims (6)
- 製品を収容する容器を台上に載置し、前記容器の内部を所定の気体によってパージするパージシステムであって、
前記容器における前記台との対向面に設けられて、前記容器内部に前記所定の気体を給気する際に用いられる気体給気ポートと、
前記容器における前記台との対向面に設けられて、前記容器内部の気体を前記容器の外部に排気する際に用いられる気体排気ポートと、
前記台における前記容器との対向面に設けられ、前記気体給気ポートと協働して前記容器の内部に前記所定の気体を給気する気体給気系を構成する台側気体給気ポートと、
前記台における前記容器との対向面に設けられ、前記気体排気ポートと協働して前記容器の内部の気体を前記容器の内部から前記容器の外部に排気する気体排気系を構成する台側気体排気ポートとを有し、
前記気体給気系の内部は前記気体給気系の外部に対して閉鎖されており、
前記気体排気系の内部は、連通経路を介して前記気体排気系の外部と連通することを特徴とするパージシステム。 - 前記気体給気系は前記気体給気ポートと前記台側気体給気ポートとの間にシール作用を有する部材を配することにより前記外部に対する閉鎖状態を形成し、前記気体排気系は前記気体排気ポートと前記台側気体排気ポートとの間にシール作用を有する部材を配置しないことにより前記気体排気ポートと前記台側気体排気ポートとの間に前記連通経路を構成することを特徴とする請求項1に記載のパージシステム。
- 前記気体排気系の内部の圧力と前記気体排気系の外部の圧力とが所定の差圧を有する際に、前記連通経路を介して前記気体排気系の内部に前記容器外部から気体を導入する弁状部材を更に有することを特徴とする請求項1に記載のパージシステム。
- 製品を収容し、内部に所定の気体を給気する際に用いられる気体給気ポートと前記内部に存在する気体を外部に排気する際に用いられる気体排気ポートとを一面に有する容器における前記一面と対向するように前記容器が載置されて前記容器内部の前記所定の気体によるパージを行うパージ操作用台であって、
前記台における前記容器との対向面に設けられ、前記気体給気ポートと協働して前記容器の内部に前記所定の気体を給気する気体給気系を構成する台側気体給気ポートと、
前記台における前記容器との対向面に設けられ、前記気体排気ポートと協働して前記容器の内部の気体を前記容器の内部から前記容器の外部に排気する気体排気系を構成する台側気体排気ポートとを有し、
前記容器が載置されて前記気体給気系が形成された際に、前記気体給気系の内部は前記気体給気系の外部に対して閉鎖されており、
且つ同時に形成される前記気体排気系の内部は、連通経路を介して前記気体排気系の外部と連通することを特徴とするパージ操作用台。 - 前記気体給気系は前記気体給気ポートと前記台側気体給気ポートとの間にシール作用を有する部材を配することにより前記外部に対する閉鎖状態を形成し、前記気体排気系は前記気体排気ポートと前記台側気体排気ポートとの間にシール作用を有する部材を配置しないことにより前記気体排気ポートと前記台側気体排気ポートとの間に前記連通経路を構成することを特徴とする請求項4に記載のパージ操作用台。
- 前記気体排気系の内部の圧力と前記気体排気系の外部の圧力とが所定の差圧を有する際に、前記連通経路を介して前記気体排気系の内部に前記容器外部から気体を導入する弁状部材を更に有することを特徴とする請求項4に記載のパージ操作用台。
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