JP6455404B2 - 容器搬送設備 - Google Patents
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Description
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換え自在に構成され、前記搬送経路における、複数の経路が合流する合流部分に対して上流側に、前記接続部が配置されている点を特徴とする。
したがって、第1装置と第2装置との間での搬送時間が長くても、容器の内部を収容する物品の品質維持に適した環境に維持することができる。
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換え自在に構成され、前記搬送装置によって搬送されている前記容器の前記搬送経路に沿う方向での移動に同期させて、前記搬送経路に沿って前記接続部を移動させる接続部移動機構を備えている点を特徴とする。
したがって、第1装置から第2装置への搬送経路の途中において、容器に充填用気体を供給可能な期間をより多く確保することができ、容器の内部を収容する物品の品質維持に適した環境に維持し易い容器搬送設備が実現できる。
上記のような搬送装置として、具体的には、回転体として搬送ローラーや、ベルトやチェーン等の巻回体を備えたものや、支持体として、容器を載置支持した状態で搬送方向に移動する搬送台を備えたものが考えられる。
このような搬送装置において、容器が移動している状態では接続部を非接続状態とし、容器が停止している状態では接続部を接続状態とすることができるので、第1装置から第2装置への搬送経路の途中において充填用気体を供給することができながらも、搬送経路における容器の移動を阻害しないようにすることが可能な容器搬送設備が実現できる。
以下、本発明の容器搬送設備を半導体製造設備に適用した第1の実施形態を、図面に基づいて説明する。
図1に示すように、本実施形態の半導体製造設備は、物品としての半導体基板Uを収容する容器B(図2、3を参照)の上端に設けられたフランジBfを把持して容器Bを搬送する天井搬送車Vが走行する走行レールRと、上記天井搬送車Vとの間で容器Bを授受可能な搬出入ポートEpを備えた保管庫S1及び処理装置P1と、を備えている。これら走行レールRや保管庫S1及び処理装置P1は、所定の空気清浄度が確保された空間を有する第1建屋F1の内部に設置されている。又、同様に、所定の空気清浄度が確保された空間を有する第2建屋F2の内部に、走行レールRと保管庫S2及び処理装置P2とが設置されている。
なお、本実施形態では、第1建屋F1に設けられる保管庫S1又は処理装置P1が第1装置E1に相当し、第2建屋F2に設けられる保管庫S2又は処理装置P2が第2装置E2に相当する。また、以降の説明において、第1装置E1及び第2装置E2をまとめて説明する場合には装置Eと称する。
同様に、3つのバッファコンベヤC12のうちの2つ、及び、3つのバッファコンベヤC22のうちの2つは、搬送端部が走行レールR21を走行する天井搬送車Vの授受箇所となっている。また、3つのバッファコンベヤC11のうちの1つ、及び、3つのバッファコンベヤC21のうちの1つは、搬送端部が走行レールR22を走行する天井搬送車Vの授受箇所となっている。
容器Bは、例えばFOUPやFOSBと呼ばれる、高さ方向に離間した状態で半導体基板Uを複数収容可能な容器である。この容器Bは、前面に着脱自在な蓋を備えており、半導体基板Uの出し入れを行わない場合には当該蓋を装着するようになっている。蓋は気密性を確保可能に構成されている。また、容器Bの底部Bbには、容器Bの外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔Bhが形成された通流孔形成部Bgが2つ設けられている。通流孔形成部Bgには、後述する不活性気体供給部のノズルN(図4参照)が接続可能に構成されている。すなわち、容器Bは、当該容器Bの外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔Bhが形成された通流孔形成部Bgを備えている。
なお、本実施形態においては、1つのコンベヤユニットCu1について、上記ノズル支持体16に支持される一対のノズルNの組(以下、単位供給部と称する)が1つのみ設けられている。
また、供給制御部H2には、検出センサJの検出結果が入力されるように構成されるとともに、シリンダMにおけるシリンダロッド15の伸縮作動、及び、供給切換弁Kの開閉を制御するようになっている。供給制御部H2は、ノズルNの接続状態と非接続状態との切換え、及び、充填用気体供給源の供給状態と供給停止状態との切換えを制御するようになっている。
具体的には、天井搬送車制御部H3は、上位管理装置(図示省略)からの指令に基づいて、搬送元である第1装置E1の搬出部Ep1に対応する走行位置まで天井搬送車Vを走行させ、その位置で搬出入ポートEpに対応する高さまで昇降体Vsを下降させて把持部Vhに容器BのフランジBfを把持させる。その後、把持部Vhが容器BのフランジBfを把持した状態で昇降体Vsを搬送用高さに上昇させ、搬送先であるバッファコンベヤC11に対応する位置まで天井搬送車Vを走行させる。そして、その位置で昇降体Vsを下降させて容器BをバッファコンベヤC11に載置する。
なお、ここでは搬送元の装置Eと搬送先の装置Eとが異なる建屋に存在する場合を説明したが、搬送元の装置Eと搬送先の装置Eとが同じ建屋に存在していてもよい。
次に、本発明の容器搬送設備を半導体製造設備に適用した第2実施形態を、図9及び図10に基づいて説明するが、第2実施形態では、コンベヤユニットCuの形態が異なる点以外は第1実施形態と同じ構成であるので、以下、第1実施形態と構成の異なるコンベヤユニットCuのみを説明する。
車輪駆動モータ29は、ローラ22による容器Bの移動に同期させてシリンダ支持部23を移動させるようにコンベヤ制御部H1によって制御される。したがって、図9に示すように、容器Bを移動させながら不活性気体を当該容器Bに供給可能となる。
このような構成により、容器Bを搬送経路に沿って移動させているときにおいても、不活性気体を容器Bの内部に供給することができる。
(1)上記第1及び第2実施形態では、第1装置及び第2装置として、保管庫S1、S2及び処理装置P1、P2を備える構成としたが、第1装置及び第2装置として、保管庫のみ、又は、処理装置のみを備える構成としてもよい。また、上記第1及び第2実施形態では、処理装置P1、P2として、フォトリソグラフィ処理や洗浄処理を行う装置を例示したが、これら以外の処理、例えば、現像処理やスパッタリング処理等各種処理を行う装置に適用してもよい。
12、22 回転体
B 容器
Bg 通流孔形成部
Bh 通流孔
C コンベヤ(搬送装置)
Cu コンベヤユニット(搬送装置)
D 接続部移動機構
E1 第1装置
E2 第2装置
Ep1 搬出部
Ep2 搬入部
G 気体供給源(充填用気体供給源)
K 供給切換弁(充填用気体供給源)
H1 コンベヤ制御部(搬送制御部)
H2 供給制御部
J 検出センサ(検出部)
N ノズル(接続部)
U 半導体基板(物品)
Claims (5)
- 物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第1装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第2装置と、前記第1装置から前記第2装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えた容器搬送設備であって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、
前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、
前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換
え自在に構成され、
前記搬送経路における、複数の経路が合流する合流部分に対して上流側に、前記接続部が配置されている容器搬送設備。 - 物品を収容する容器が搬出される搬出部を備えた第1装置と、前記容器が搬入される搬入部を備えた第2装置と、前記第1装置から前記第2装置まで搬送経路に沿って前記容器を搬送する搬送装置と、前記容器の内部に充填する充填用気体を前記容器の内部に供給する供給装置と、を備えた容器搬送設備であって、
前記容器は、当該容器の外部と内部との間で気体が通流可能な通流孔が形成された通流孔形成部を備え、
前記供給装置は、気体が通流自在な通流路を有した接続部と、前記充填用気体を前記通流路に通流させる充填用気体供給源と、を備え、
前記接続部が、前記搬送経路を移動する容器の移動領域の外部に退避する非接続状態と、前記移動領域の内部に侵入して前記容器の通流孔形成部に接続される接続状態とに切換
え自在に構成され、
前記搬送装置によって搬送されている前記容器の前記搬送経路に沿う方向での移動に同期させて、前記搬送経路に沿って前記接続部を移動させる接続部移動機構を備えている容器搬送設備。 - 前記充填用気体供給源が、前記充填用気体を前記通流路に通流させる供給状態と、前記充填用気体を前記通流路に通流させない供給停止状態と、に切換え自在に構成され、
前記接続部の前記接続状態と前記非接続状態との切換え、及び、前記充填用気体供給源の前記供給状態と前記供給停止状態との切換えを制御する供給制御部と、前記容器内の前記充填用気体の状態を検出する検出部と、が設けられ、
前記供給制御部は、前記検出部によって検出された前記容器内の前記充填用気体の状態が、前記容器への前記充填用気体の供給が必要な供給必要状態であるか、前記容器への前記充填用気体の供給が不要な供給不要状態であるかを判別し、かつ、前記供給必要状態であると判別した場合には、前記接続部を前記接続状態に切換え又は維持して、前記充填用気体供給源を前記供給状態に切換え又は維持し、前記供給不要状態であると判別した場合には、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態に切換え又は維持するように構成されている請求項1又は2に記載の容器搬送設備。 - 前記搬送装置は、前記搬送経路に沿う方向での位置が固定された基部と、前記基部に対する前記搬送経路に沿う方向の位置が固定された状態で前記基部に支持された駆動部と、前記容器に接触した状態で前記駆動部にて駆動されて前記容器に対して前記搬送経路に沿う方向の推進力を伝達する接触部と、前記駆動部を制御する搬送制御部とを備え、
前記接触部は、前記基部に回転自在に支持されて前記駆動部によって回転駆動される回転体、又は、前記搬送経路に沿って移動自在に前記基部に支持されて前記駆動部によって移動される支持体であり、
前記供給制御部は、前記搬送制御部により前記駆動部が駆動されている場合は、前記接続部を非接続状態として、前記充填用気体供給源を前記供給停止状態とする請求項3に記載の容器搬送設備。 - 複数の前記接続部が前記搬送経路に沿って分散して設けられている請求項1から4の何れか1項に記載の容器搬送設備。
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