KR101928804B1 - 2축 회전펌프 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 배기기체가 펌프 내부로 역류하는 것을 적극적으로 방지함과 아울러 펌프 내부가 과압축으로 되는 것을 적극적으로 방지하여, 펌프 내부의 온도상승을 억제함으로써 신뢰성을 향상시킬 수 있음과 아울러 운전효율을 향상시킬 수 있는 2축 회전펌프를 제공한다.
2개의 회전자(30, 30) 상호간이 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 2개의 회전자(30, 30)가 실린더(50)의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 회전자(30, 30)를 구비하는 2개의 회전축(20, 20)이 베어링에 의하여 지지되어 설치되고, 기체를 실린더(50) 내로 흡기하고 압축된 기체를 실린더(50)로부터 배기하는 2축 회전펌프에 있어서, 실린더(50)의 양단부를 구성하는 단벽부(52)의 적어도 일방에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 회전축(20, 20)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.

Description

2축 회전펌프{TWO-SHAFT ROTARY PUMP}
본 발명은, 2개의 회전자(rotor) 상호간이 미소한 클리어런스(clearance)를 유지하여 비접촉(非接觸)으로 회전됨과 아울러, 상기 2개의 회전자가 실린더(cylinder)의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 상기 회전자를 구비하는 2개의 회전축이 베어링(bearing)에 의하여 지지되어 설치되고, 기체(氣體)를 상기 실린더 내로 흡기(吸氣)하고 압축된 기체를 상기 실린더로부터 배기(排氣)하는 2축 회전펌프(2軸 回轉pump)에 관한 것이다.
2축 회전펌프로서는, 클로로터(claw rotor)를 탑재하는 비접촉형의 진공펌프(眞空pump)인 클로펌프(claw pump)가 있다. 예를 들면 본 출원인이 이전에 제안한 클로펌프의 배기구조 및 배기방법에 의하면, 펌프실(pump室)을 형성하는 실린더와, 실린더의 끝면을 막는 일방(一方)의 사이드 플레이트(side plate) 및 타방(他方)의 사이드 플레이트와, 실린더 내에서 평행하게 위치하도록 배치되고 반대방향으로 회전되는 2개의 회전축(回轉軸)과, 그 2개의 회전축의 각각에 일체적으로 고정되어 설치되고 서로 비접촉상태에서 맞물려서 흡입한 기체를 압축할 수 있도록 갈고리 모양의 클로부가 형성된 2개의 회전자와, 회전구동장치(回轉驅動裝置)와, 실린더 내의 기체가 압축되지 않는 펌프실의 부분에 연결되는 흡기구(吸氣口)와, 일방의 사이드 플레이트 및 타방의 사이드 플레이트의 양방에 실린더 내의 기체가 압축되는 펌프실의 부분으로 개구되는 배기구(排氣口)를 구비한다(특허문헌1을 참조). 이것에 의하면 배기효율을 높임으로써 클로펌프의 펌프 성능을 향상시킬 수 있다.
이러한 클로펌프 등의 2축 회전펌프에 대하여 다단펌프(多段pump)로 하는 경우에, 종래에는 축방향으로 복수의 회전자를 구비하는 회전축을, 그 복수의 회전자를 2개의 베어링에 의하여 협지하도록 양단지지(兩端支持)하는 구조로 되어 있다(특허문헌2를 참조). 이것에 의하면, 복수(다단)의 회전자에 의하여 다단의 실린더를 통하여 기체의 압축비를 높일 수 있지만, 각 단의 실린더에 있어서는 기체를 압축함으로써 발열하기 때문에 각 단의 회전자에 열팽창이 발생한다. 그리고 다단의 회전자가 하나의 회전축에 배치되어 있기 때문에, 복수의 회전자의 열팽창이 합산되도록 회전자와 실린더의 단벽부(端壁部)와의 클리어런스인 사이드 클리어런스(side clearance)에 영향을 미치게 된다. 즉 복수의 회전자의 열팽창이 합산되도록 영향을 주기 때문에, 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 하는 것이 어렵게 되어 펌프의 성능을 향상시킬 수 없다는 과제가 있다.
또한 클로펌프에 있어서는, 압축공정이 있어 흡입기체(공기)를 압축함으로써 배기효율이 향상된다. 이러한 회전펌프의 도달운전(到達運轉) 시에는 흡입공기량이 없기 때문에, 원리적으로는 펌프의 공기수송 및 압축이 없어 펌프로서의 일은 제로(zero)이다. 그러나 실제에는 도달운전 시에도 약간의 간극으로부터의 누설에 의하여 흡입공기는 존재하고 또한 회전자와 실린더에 의하여 형성되는 배기개방 직전의 공간(밀폐공간)이 배기구를 통하여 외부(펌프 내부로부터 배출된 대기압 이상의 공기가 있는 공간)와 통하였을 때에, 배기개방 직전의 공간은 부압(負壓)이기 때문에 대기압 이상의 배기공기가 펌프 내부로 역류(逆流)된다. 역류된 공기는 재압축(再壓縮)되어 다시 외부로 배출된다. 여기에서 필요없는 공정이 발생하여 동력부하 및 펌프의 내부온도가 상승한다. 또 도달운전이라는 것은 도달압력에서의 운전이고, 그 도달압력이라는 것은 그 펌프의 진공을 만드는 최대 능력인 진공펌프의 흡입구를 닫았을 때(배기유량이 0으로 되었을 때)에 도달할 수 있는 압력이다.
즉 이 도달운전 시 등의 펌프 내부로 역류하는 배기공기에 의하면, 동력부하가 상승하여 운전효율이 악화된다. 또한 그 역류하는 배기공기에 의하면, 펌프의 내부온도가 상승함으로써 열팽창에 의한 회전자 접촉, 오일밀봉(oil seal)이나 베어링 등 중요부품의 열화(劣化)가 발생하기 쉬워지게 되어 펌프장치의 신뢰성이 저하된다. 이것에 대해서는, 역류공기량을 억제하도록 단순히 배기개방 직전의 용적을 감소시키면, 배기유량이 많은 경우의 대기개방측(흡입되는 공기의 압력이 대기압에 가까운 상태에서의 운전이 되는 경우)이 과압축상태(過壓縮狀態)로 된다. 또한 펌프 내부용적의 감소에 의한 유량의 감소가 발생한다는 문제가 발생한다. 또 배기개방 직전의 용적이 존재하는 한 역류공기는 반드시 발생하게 되어, 이상의 문제를 합리적으로 완화하는 것이 과제로 된다. 이 과제에 대하여 종래에는 운전조건에 필요한 제약을 붙임으로써 대응하고 있어 운전효율을 더 향상시킬 수 없었다.
또 이전에 본 출원인은, 베인(vane)을 구비하는 로터리식의 진공펌프(베인펌프)에 대하여 다음의 구성을 제안하고 있다. 진공펌프에는 기체의 배기구멍이 형성되어 있고, 그 배기구멍에는 제1첵크밸브(第1 check valve)가 구비되어 있다. 부가하여 이 진공펌프 내의 외기압(外氣壓) 이상으로 압축된 기체를 외기 중으로 대피시켜서 진공펌프의 동력로스(動力loss)를 적게 억제하기 위한 압력대피구멍(壓力escape hole)이 형성되어 있고, 그 압력대피구멍에는 제2첵크밸브가 구비되어 있다. 이 배기구멍과 압력대피구멍은 진공펌프의 기체의 배기구를 구성하고 있다(특허문헌2를 참조).
이것에 의하면, 실린더를 형성하는 벽부(壁部) 중에서 주벽부(周壁部)에 대피구멍이 형성되어 있어, 압축되는 펌프 내부가 과압축으로 되어 온도가 상승하는 것을 억제할 수 있다.
: 일본국 공개특허 특개2011-38476호 공보(제1쪽) : 일본국 공개특허 특개2002-332963호 공보(도1) : 일본국 공개특허 특개2001-289167호 공보([0020])
2축 회전펌프에 관하여 해결하고자 하는 문제점은, 배기기체가 펌프 내부로 역류하는 것을 적극적으로 방지하여 운전효율을 향상시켜서 펌프 내부의 온도상승을 억제함과 아울러, 펌프 내부가 과압축으로 되는 것을 억제하기 위한 합리적인 구성이 2축 회전펌프에 대해서는 제안되어 있지 않은 점에 있다.
그래서 본 발명의 목적은, 배기기체가 펌프 내부로 역류하는 것을 적극적으로 방지함과 아울러 펌프 내부가 과압축으로 되는 것을 적극적으로 방지하여, 펌프 내부의 온도상승을 억제함으로써 신뢰성을 향상시킬 수 있음과 아울러 운전효율을 향상시킬 수 있는 2축 회전펌프를 제공하는 것에 있다.
또한 2축 회전펌프에 관하여 해결하고자 하는 문제점은, 회전축의 축선방향으로 복수의 회전자를 구비하는 경우에 그 복수의 회전자의 열팽창이 합산되도록 영향을 주기 때문에, 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 하는 것이 어렵게 되어 펌프의 성능을 더 향상시킬 수 없는 점에도 있다.
그래서 본 발명의 목적은, 회전축의 축선방향으로 복수의 회전자를 구비하는 경우에, 그 복수의 회전자의 열팽창이 합산되도록 영향을 주는 것을 피하고, 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 할 수 있음으로써 펌프의 성능을 더 향상시킬 수 있는 2축 회전펌프를 제공하는 것에 있다.
본 발명은, 상기 목적을 달성하기 위하여 다음의 구성을 구비한다.
본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 2개의 회전자 상호간이 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 상기 2개의 회전자가 실린더의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 상기 회전자를 구비하는 2개의 회전축이 베어링에 의하여 지지되어 설치되고, 기체를 상기 실린더 내로 흡기하고 압축된 기체를 상기 실린더로부터 배기하는 2축 회전펌프에 있어서, 상기 실린더의 양단부를 구성하는 단벽부의 적어도 일방에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이, 상기 회전축의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 2개의 회전자 상호간이 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 상기 2개의 회전자가 실린더의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 상기 회전자를 구비하는 2개의 회전축이 베어링에 의하여 지지되어 설치되고, 기체를 상기 실린더 내로 흡기하고 압축된 기체를 상기 실린더로부터 배기하는 2축 회전펌프에 있어서, 상기 실린더와 상기 2개의 회전자에 의한 단위펌프구성이, 상기 2개의 회전축의 축방향에 있어서 복수 단으로 설치되고, 복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개가, 상기 2개의 회전축에 있어서 상기 회전자의 양측에 베어링을 배치함으로써 양단이 지지되어 구성되고, 복수의 상기 단위펌프구성 중에서 상기 회전축의 축방향의 양쪽 끝면에 위치하는 적어도 일방이, 상기 2개의 회전축에 있어서 상기 회전자의 한쪽이며 인접하는 상기 단위펌프구성과의 사이에 배치된 베어링에 의하여 외팔보 상태에서 지지됨으로써 구성되어 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 2개의 회전축에 설치되고 외팔보 상태에서 지지된 상기 회전자를 구비하는 상기 단위펌프구성이, 기체를 가장 고압으로 압축하는 최종단의 단위펌프구성으로 되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개에 대하여, 상기 실린더의 축방향으로 양단을 구성하는 단벽부의 적어도 일방에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이, 상기 회전축의 축방향으로 개구되어 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 기체의 흐름의 전단의 상기 단위펌프구성의 배기구로부터 기체의 흐름의 후단의 상기 단위펌프구성의 흡기구에 접속되는 접속 통기로를 구성하는 통기로 벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개에 대하여, 상기 실린더의 통부를 구성하는 실린더의 주벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 실린더를 구성하는 실린더의 벽부로서 기체의 압축공정에서 압축공간을 구성하는 벽부의 부위에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 복수의 대피구멍이 형성되고, 상기 압축공정을 통하여 상기 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간의 용적에 대하여, 상기 복수의 대피구멍의 열려 있는 실린더에 면하는 총면적의 비율이 서서히 증대되도록 상기 복수의 대피구멍이 배치되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 회전축 각각의 양단에, 상기 실린더와 상기 2개의 회전자로 구성되는 단위펌프구성이 설치되고, 상기 단위펌프구성의 모두에 있어서 상기 2개의 회전자가, 상기 2개의 회전자에 있어서의 상기 회전축의 축방향의 한쪽이며 양방의 단위펌프구성의 사이에 배치된 베어링에 의하여 상기 회전축을 통하여 외팔보 상태에서 지지되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 회전축의 양단의 상기 단위펌프구성의 적어도 일방의 실린더로서, 상기 실린더의 축방향의 양단을 구성하는 단벽부 중에서 상기 회전축이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 상기 회전축의 축방향으로 개구되어 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 대피구멍이 복수 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 대피구멍에는, 상기 실린더 내의 압력이 소정의 압력보다 고압인 경우에는 열리고, 소정의 압력보다 저압인 경우에는 닫히는 첵크밸브가 설치되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 첵크밸브가 리드밸브인 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 실린더의 압축된 기체를 배기하는 배기구로부터의 배기와 상기 대피구멍으로부터의 배기를 합류시켜서 소음시키는 공간을 형성하는 사일런서부를 구비하고 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 회전자가 갈고리 모양의 클로부를 구비하는 클로펌프의 회전자이며, 상기 대피구멍이 형성된 상기 단벽부에 상기 실린더의 압축된 기체를 배기하는 배기구가 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 상기 실린더의 통부를 구성하는 실린더의 주벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 할 수 있다.
본 발명에 관한 2축 회전펌프의 하나의 형태에 의하면, 배기기체가 펌프 내부로 역류하는 것을 적극적으로 방지함과 아울러 펌프 내부가 과압축으로 되는 것을 적극적으로 방지하여, 펌프 내부의 온도상승을 억제함으로써 신뢰성을 향상시킬 수 있음과 아울러 운전효율을 향상시킬 수 있다는 특별히 유리한 효과를 얻을 수 있다.
또한 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 다른 형태에 의하면, 회전축의 축선방향으로 복수의 회전자를 구비하는 경우에, 그 복수의 회전자의 열팽창이 합산되도록 영향을 주는 것을 피하여, 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 할 수 있음으로써 펌프의 성능을 더 향상시킬 수 있다는 특별히 유리한 효과를 얻을 수 있다.
도1은, 본 발명에 관한 회전펌프의 상위개념으로서의 형태예를 나타내는 단면도이다.
도2는, 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 형태예를 나타내는 사시도이다.
도3은, 도2의 형태예의 중앙 횡단면도이다.
도4는, 도2의 형태예의 중앙 종단면도이다.
도5는, 도4의 형태예의 X-X선 단면도이다.
도6은, 도2의 머플러 케이스를 제거한 단벽부를 나타내는 측면도이다.
도7은, 도6의 단벽부의 첵크밸브를 제거한 상태를 나타내는 측면도이다.
도8은, 도2의 형태예에 있어서 에스케이프 박스를 제거한 상태를 저면측에서 본 사시도이다.
도9는, 도2의 형태예에 있어서 접속 케이스의 커버부를 제거한 상태를 상면측에서 본 사시도이다.
도10은, 도2의 형태예에 있어서 2개의 회전자와 복수의 대피구멍의 배치관계를 설명하는 단면도이다.
도11은, 도2 및 도12의 형태예에 있어서 2개의 회전자에 의한 기체의 압축상태의 변화와 복수의 대피구멍에 의한 개구의 비율 변화를 설명하는 단면도이다.
도12는, 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 형태예를 도식적으로 나타내는 단면도이다.
도13은, 도12의 형태예에 있어서 실린더의 단벽부를 나타내는 측면도이다.
도14는, 도13의 단벽부의 첵크밸브를 제거한 상태를 나타내는 측면도이다.
도15는, 도12의 형태예에 있어서 2개의 회전자와 복수의 대피구멍의 배치관계를 설명하는 단면도이다.
이하, 본 발명에 관한 형태예를 첨부된 도면에 의거하여 설명한다. 도1은, 본 발명에 관한 회전펌프(回轉pump)의 상위개념으로서의 형태예를 나타내도록 부호를 붙인 단면도이며, 우선 이 도1에 의거하여 본 발명의 상위개념으로서의 형태예를 설명한다.
또 본 형태예는 회전펌프 중에서 용적형 펌프(容積型 pump)로서, 2축 회전펌프(2軸 回轉pump)에 속하는 것으로 되어 있다. 2축 회전펌프로서는 예를 들면 회전자 비접촉형(rotor 非接觸型)의 펌프인 클로펌프(claw pump), 스크루 펌프(screw pump)나 루츠펌프(roots pump) 등을 들 수 있다. 또한 1축의 회전펌프로서는 베인펌프(vane pump) 등이 있다. 이러한 회전펌프는 예를 들면 전동모터에 의하여 구동되며, 진공펌프나 블로워(blower) 등의 공기압 장치(空氣壓 裝置)로서 사용된다.
본 형태예는, 2개의 회전자(30, 30) 상호간이 미소한 클리어런스(clearance)를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 2개의 회전자(30, 30)가 실린더(50)의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 그 회전자(30, 30)를 구비하는 2개의 회전축(20, 20)이 베어링(bearing)(40, 40)에 의하여 지지되어 설치되고, 기체(氣體)를 실린더(cylinder)(50) 내로 흡기(吸氣)하고 압축된 기체를 실린더(50)로부터 배기(排氣)하는 2축 회전펌프로 되어 있다.
이 2축 회전펌프는 클로펌프이며, 회전자(30, 30)는 갈고리 모양의 클로부(claw 部)를 구비하고 있다(도5를 참조). 본 형태예의 회전자(30)에서는 2개(복수)의 갈고리 모양의 클로부를 구비하고 있지만, 클로펌프의 회전자의 형태는 이것에 한정되지 않으며, 1개의 클로부의 경우나 3개 이상의 클로부를 구비하는 경우도 있다. 또 클로펌프에서는, 기체를 고압으로 압축할 수 있기 때문에 펌프 내부의 온도가 상승하기 쉽다.
또한 본 형태예의 클로펌프는, 실린더(50)와 2개의 회전자(30, 30)에 의한 단위펌프구성(單位pump構成)(10)이, 2개의 회전축(20, 20)의 축방향에 대하여 복수 단(2단)으로 설치되어 있는 다단(多段)의 2축 회전펌프로 되어 있다.
복수의 단위펌프구성(10) 중에서 적어도 1개에 대하여, 실린더(50)의 양단부를 구성하는 단벽부(端壁部)(52, 52)의 적어도 일방(一方)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있도록 대피구멍(escape hole)(70)(도4, 도7 등을 참조)이 회전축(20, 20)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
본 형태예에서는, 그 대피구멍(70)(도4, 도7 등을 참조)이 단벽부(52)에 복수 형성되어 있다. 또한 그 대피구멍(70)이 형성된 단벽부(후단(後段) 실린더의 타방(他方)의 단벽부(52D)(도4, 도7 등을 참조))에, 실린더(50)의 압축된 기체를 배기하는 배기구(排氣口)(후단의 배기구(55B)(도4, 도7 등을 참조))가 형성되어 있다.
또 대피구멍(70)에 관한 형상, 크기, 수량, 배치 등의 형태는 본 형태예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 다수의 대피구멍(70) 중에서 적어도 일부(복수)가, 실린더(50)의 내면에 띠모양으로 연속하도록 홈(groove) 모양으로 가공·형성된 띠홈모양 오목부의 내부 저면으로 개구됨으로써, 그 복수의 대피구멍(70)이, 그 실린더(50)의 내면의 측에서는 그 띠홈모양 오목부에 연결되어 일체화 되어 하나의 큰 구멍으로서 기능을 할 수 있도록 하더라도 좋다. 이 경우에도 실린더(50)의 외면(배기측의 면)에는, 후술하는 첵크밸브(check valve)(리드밸브(reed valve)(71))를 각 대피구멍(70)에 대응시켜서 각각에 설치하더라도 좋다.
이 대피구멍(70)에 의하면, 클로로터(claw rotor)를 탑재하는 비접촉형 진공펌프 등의 회전펌프에 있어서 대기개방측의 과압축(過壓縮)을 억제할 수 있다. 과압축을 억제할 수 있기 때문에 배기개방 직전의 용적을 감소시키도록 배기구(후단의 배기구(55B))를 작게 하여 압축비(壓縮比)를 올리는 것이 가능하게 된다. 배기개방 직전의 용적을 감소시킴으로써 펌프 내부로 역류(逆流)되는 배기의 기체량을 억제할 수 있다. 이 역류되는 기체량을 억제할 수 있음으로써 진공펌프의 도달운전(到達運轉) 시에 있어서의 동력부하 감소에 의한 에너지 절약을 할 수 있고, 도달운전 시의 펌프 내부온도의 상승을 억제할 수 있음으로써 열팽창 억제 및 중요부품의 수명의 장기화가 가능하게 된다.
그리고 단벽부(52)에 형성된 대피구멍(70)은, 회전축(20, 20)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있기 때문에, 그 깊이는 단벽부(52)의 두께에 상당하는 짧은 것으로서 대피구멍(70)으로서의 응답성이 우수한 형태로 되어 있다. 즉 과압축의 기체를, 타임래그(time lag)가 짧은 상태에서 순서대로 배기할 수 있다. 또한 이 대피구멍(70)은, 단벽부(52)의 면에 있어서 최적의 위치에 용이하게 배치할 수 있어, 그 기능을 최적으로 발휘시키도록 형성할 수 있다.
또한 대피구멍(70)이, 단벽부(52)에 복수 형성됨으로써 기체압축의 공정 중에 있어서 과압축의 기체를 균형이 맞도록 적시(適時)에 배기할 수 있어, 그 기능성을 더 향상시킬 수 있다.
11은 오일배스 커버(oil bath cover)이며, 구동측(驅動側)의 회전축(20A)(도3을 참조)에 일체적으로 고정된 구동기어(驅動gear)(21)와 종동측(從動側)의 회전축(20B)(도3을 참조)에 일체적으로 고정된 종동기어(從動gear)(22)가 내장되는 오일배스부를 구성하고 있다. 또 11a는 오일 게이지(oil gauge)이며, 오일배스부 내의 윤활유의 유량을 확인할 수 있도록 배치되어 있다.
23은 피동풀리(被動pulley)이며, 구동측의 회전축(20A)의 일단부(一端部)에 일체적으로 고정되어 있다. 이 피동풀리(23)에 구동벨트가 걸쳐져서 회전되어, 예를 들면 전동모터로부터의 동력이 전달됨으로써 본 형태예의 2축 회전펌프가 구동되도록 설치되어 있다. 또 구동력의 전달수단은 이것에 한정되는 것은 아니며 예를 들면 구동측의 회전축(20A)과 전동모터의 구동축을 직렬적으로 배치하여 커플링(coupling)에 의하여 연결하는 형태로 하더라도 좋다.
또한 본 형태예는, 오일커버(11), 전단(前段)의 펌프본체(pump本體)(12), 전단의 사이드 플레이트(side plate)(13), 후단(後段)의 펌프본체(15), 후단의 사이드 플레이트(16) 및 머플러 케이스(muffler case)(17)가 회전축(20)의 축방향으로 연결되어 외곽(外郭)이 구성되도록 설치되어 있다. 본 형태예의 오일커버(11)에 의하여 형성되어 있는 오일배스부는 동력이 전달되는 쪽에 설치되어 있고, 구동기어(21)와 종동기어(22)는, 각각이 외팔보(cantilever)에 베어링(40)에 의하여 지지된 회전축(20)의 후단측에 일체적으로 고정된 구성으로 되어 있다.
또한 전단의 펌프본체(12) 및 후단의 펌프본체(15)에 구비되어 있는 각 실린더(50)는, 양단의 단벽부(52, 52)와 주벽부(周壁部)(53)에 의하여 형성되어 있다.
60은 사일런서부(silencer部)이며, 실린더(50)의 압축된 기체를 배기하는 배기구(후단의 배기구(55B)(도4, 도7 등을 참조))로부터의 배기와 대피구멍(70)(도4, 도7 등을 참조)으로부터의 배기를 합류시켜서 소음(消音)시키는 공간으로서 머플러 케이스(17)에 의하여 형성되어 있다. 이것에 의하면, 배기음을 효과적으로 합류시켜서 소음시킬 수 있다.
즉 이 사일런서부의 구조는, 항상 개방되어 있는 배기구(예를 들면 후단의 배기구(55B))로부터의 통상배기와, 첵크밸브(71)가 개방상태에서 대피구멍(70)으로부터 배기되는 과압축 방지 배기의 2계통의 배기를 합류시켜서 소음하는 1개의 머플러로 되어 있으며, 합리적이고 또한 저렴한 구성으로 되어 있다.
다음에 도2∼도10에 의거하여 본 발명에 관한 다단(2단)의 단위펌프구성을 구비하는 2축 회전펌프로서, 클로펌프인 형태예에 대하여 더 구체적으로 설명한다.
본 형태예에서는, 복수(2단)의 단위펌프구성(10A, 10B) 중에서 적어도 1개(단위펌프구성(10A))가, 도3에 나타내는 바와 같이 2개의 회전축(20A, 20B)에 대하여 회전자(30A, 30B)의 양측에 베어링(40A, 40B, 40C, 40D)을 배치함으로써 양단이 지지되도록 구성되어 있다. 또 본 형태예에 의하면, 단위펌프구성(10A)이 기체의 흐름의 전단에 배치되고, 단위펌프구성(10B)이 기체의 흐름의 후단에 배치된 구성으로 되어 있다.
또한 본 형태예에서는, 도3에 나타내는 바와 같이 복수의 단위펌프구성(10A, 10B) 중에서 회전축(20A, 20B)의 축방향의 양쪽 끝면에 위치하는 적어도 일방(단위펌프구성(10B))이, 2개의 회전축(20A, 20B)에 대하여 회전자(30C, 30D)의 한쪽이고 인접하는 단위펌프구성(10A)과의 사이에 배치된 베어링(40C, 40D)에 의하여 외팔보 상태에서 지지됨으로써 구성되어 있다. 또 이 베어링(40C, 40D)으로서는 앵귤러 복열 볼베어링(angular 複列 ball bearing)을 사용할 수 있다.
이것에 의하면, 베어링(40C, 40D)을 기준으로 하여 일방에 회전자(30A, 30B)가 배치되고, 타방에 회전자(30C, 30D)가 배치된 형태로 되어 있다. 이 때문에 열팽창이 베어링(40C, 40D)을 기준으로 하여 회전축의 축방향의 양쪽 사이드로 나누어져서 발생하는 형태로 되어 있다. 따라서 회전자(30)와 실린더의 단벽부(52)와의 클리어런스인 사이드 클리어런스(side clearance)에 관한 열팽창의 영향은, 일방의 회전자(30A, 30B)측과 타방의 회전자(30C, 30D)측으로 분산되게 된다. 이 때문에 종래의 축방향으로 복수의 회전자를 구비하는 회전축을, 그 복수의 회전자를 2개의 베어링에 의하여 협지하도록 양단지지(兩端支持)하는 구조로 한 다단펌프의 경우와 비교하여, 사이드 클리어런스에 관한 열팽창의 영향은 작아지게 된다. 따라서 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 할 수 있어, 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
또한 본 형태예에서는, 기체를 가장 고압으로 압축하는 최종단의 상기 단위펌프구성(10B)에 있어서 회전축(20A, 20B)의 외팔보 끝면측에 설치된 최종단의 회전자(30C, 30D)가, 그 최종단의 단위펌프구성(10B)과 전단의 단위펌프구성(10A)의 사이에 배치된 베어링(40C, 40D)에 의하여 회전축(20A, 20B)을 통하여 외팔보 상태에서 지지되어 있다.
즉 회전축(20A, 20B)에 설치되고 외팔보 상태에서 지지된 회전자(30C, 30D)를 구비하는 단위펌프구성(10B)이, 기체를 가장 고압으로 압축하는 최종단의 단위펌프구성으로 되어 있다.
이와 같이 단위펌프구성(10B)이 최종단으로 되어 있는 경우에 1단째의 단위펌프구성(10A)의 회전자(30A, 30B)는, 용적이 큰 기체가 전단의 실린더(50A)로 유입되기 때문에, 폭이 넓어서 더 질량이 큰 것으로 되어 있어 양단에서 지지되어 있다. 그리고 최종단(본 형태예에서는 2단째)의 단위펌프구성(10B)의 회전자(30C, 30D)는, 기체가 압축되어 후단의 실린더(50B)로 유입되는 관계로부터, 폭이 좁아서 더 질량이 작은 것으로 되어 있어 외팔보 상태에서 지지되어 있다.
양단지지에서는 하중이 분산되어 질량이 큰 것에도 용이하게 대응할 수 있기 때문에, 1단째의 회전자(30A, 30B)에 대해서는 그 양단지지가 적합하다. 이것과 비교하여 외팔보 지지에서는 질량이 큰 것에는 대응하기 어렵기 때문에, 더 질량이 작은 최종단의 회전자(30C, 30D)에 대해서는 외팔보 지지가 적합하다. 따라서 본 형태예와 같이 다단의 펌프구조를 합리적으로 구성할 수 있다.
또한 본 형태예에서는, 그 최종단의 단위펌프구성(10B)으로서, 후단의 실린더(50B)의 양단부를 구성하는 단벽부(52C, 52D) 중에서 회전축(20A, 20B)이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부(52D)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍(70)(도4, 도7 등을 참조)이 회전축(20A, 20B)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
이 대피구멍(70)에 의하면, 배기개방 직전의 용적의 감소 때문에 배기구를 작게 하더라도 대기개방측 과압축을 억제할 수 있다. 따라서 이 대피구멍(70)은, 대기개방측 과압축을 억제할 수 있는 과압축 억제기구의 구성요소의 일례로 되어 있다.
또한 단벽부(52D)에 대해서는 회전축(20A, 20B)이 삽입되지 않기 때문에, 단벽부(52D)의 면(面)에 있어서는 대피구멍(70)의 배치에 관한 제약이 거의 없어, 그 대피구멍(70)을 필요한 위치에 적절하고 또한 용이하게 형성할 수 있다. 이것에 의해서도 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
즉 회전축(20A, 20B)(샤프트)이 사이드 플레이트를 관통하고 있는 종래와 같은 양단지지구조의 경우에, 대피구멍(70)을 배치할 수 있더라도 샤프트가 방해를 하여 첵크밸브(71)를 최적의 위치에 배치하는 것이 곤란하다. 이에 대하여 사이드 플레이트에 샤프트를 관통시키지 않는 외팔보 지지구조로 하였을 경우에, 그러한 제약이 없어 적합하게 첵크밸브(71)를 배치·구성할 수 있다. 또 펌프 구성을 다단화 하였을 경우에는, 다단의 펌프 중에서 최종단을 사이드 플레이트에 샤프트를 관통시키지 않는 외팔보 지지구조로 하면 좋다.
이 대피구멍(70)에는, 실린더(50A, 50B) 내의 압력이 소정의 압력보다 고압인 경우에는 열리고, 소정의 압력보다 저압인 경우에는 닫히는 첵크밸브(71)(도4, 도6 등을 참조)가 설치되어 있다. 이 첵크밸브(71)는, 대피구멍(70)으로부터 고진공(高眞空)으로 되어 있는 실린더 내로 역류하는 배기기체를 억제하는 역류억제기구로서 기능을 한다. 배기기체가 고진공으로 되어 있는 실린더 내에 대한 역류를 적극적으로 방지할 수 있기 때문에 펌프 효율을 향상시킬 수 있다.
본 형태예의 첵크밸브는 리드밸브(71)로 구성되어 있다. 이 리드밸브(71)는, 선단(先端)이 반원형의 직사각형인 판자모양으로 형성되고, 후단(後端)측에서 외팔보 상태에서 지지·고정됨으로써 선단측이 자유단(自由端)으로 되어 있어 대피구멍(70)을 개폐할 수 있도록 되어 있다. 또한 리드밸브(71)는, 볼트구멍(72a)에 나사결합되는 첵크밸브 고정볼트(72)에 의하여 고정되어 있다. 이 리드밸브(71)는, 대피구멍(70)의 배기측에 고정된 첵크밸브이며, 그 배기측의 압력과 압축공간 내의 압력의 차이압력이 리드밸브의 스프링력(spring force)(탄성)을 상회한 경우에 열리게 된다. 이 리드밸브(71)에 의한 첵크밸브는, 간단한 구조이고 컴팩트하며 또한 저렴하게 구성할 수 있고, 용이하게 장착할 수 있음과 아울러 유지보수도 용이하게 할 수 있다. 또한 첵크밸브로서는, 본 형태예와 같은 리드밸브(71)에 한정되지 않고 예를 들면 고무나 실리콘 등의 탄성체를 사용하는 것, 스프링(탄성)을 사용하여 그 탄성에 의하여 개폐되는 것을 사용할 수 있다.
이상의 구성은, 1단의 단위펌프구성을 구비하는 1축의 회전펌프에도 응용할 수 있다. 즉 회전축(20)의 외팔보 끝면측에 설치되고 실린더(50) 내에서 회전하는 회전자(30)가, 그 회전자(30)의 한쪽에 배치된 베어링(40)에 의하여 회전축(20)을 통하여 외팔보 상태에서 지지되고, 기체를 실린더(50) 내로 흡기하고 압축된 기체를 실린더(50)로부터 배기하는 회전펌프에도 적합하게 적용할 수 있다.
이 경우에도 실린더(50)의 축방향으로 양단을 구성하는 단벽부(52, 52) 중에서 회전축이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부(52D)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍(70)을 회전축(20)의 축방향으로 개구되도록 형성할 수 있다.
단벽부(52D)에 관해서는 회전축(20)이 삽입되지 않기 때문에, 이 단벽부(52D)의 면에 있어서는 대피구멍(70)의 배치에 관한 제약이 거의 없어, 그 대피구멍(70)을 필요한 위치에 적절하고 또한 용이하게 형성할 수 있다. 이것에 의해서도 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
또한 이상의 구성은, 다단의 단위펌프구성을 구비하는 1축의 회전펌프에도 응용할 수 있다. 즉 실린더(50)와 회전자(30)에 의한 단위펌프구성(10)이, 회전축(20)의 축방향에 대하여 복수 단으로 설치되어 있는 경우에도, 기체를 가장 고압으로 압축하는 최종단의 실린더(50B)를 구성하는 외팔보 끝면측의 단벽부(52D)에 대피구멍(70)이 형성될 수 있다. 이것에 의해서도 상기한 내용과 마찬가지의 효과를 얻을 수 있다.
또한 본 형태예에서는, 전단의 실린더(50A)에 있어서 실린더의 통부(筒部)를 구성하는 실린더의 주벽부(53A)(도5를 참조)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍(70)이 형성되어 있다. 이 대피구멍(70)으로부터의 대피하는 기체는, 실린더의 주벽부(53A)의 외측에 설치된 에스케이프 박스(escape box)(61)로 배출되고 또한 에스케이프 박스의 출구(61a)(도4를 참조)와 머플러 케이스(muffler case)(17)의 에스케이프 파이프 접속구(escape pipe 接續口)(17c)의 사이를 접속하는 에스케이프 파이프(62)를 통하여 사일런서부(60)로 배출된다. 그리고 그 배기는, 사일런서부(60)에서 후술하는 배기구(55A, 55B)로부터의 배기 등과 합류되어 소음됨으로써 머플러 케이스의 배기구(17a)(도2를 참조)로부터 외부로 방출된다.
이 실린더의 주벽부(53A)에 형성된 대피구멍(70)에 의해서도, 상기한 바와 같이 펌프 내부의 압축공간(51A)이 과압축으로 되는 것을 억제할 수 있어, 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
다만 실린더의 주벽부(53A)에 대피구멍(70)을 형성하였을 경우에, 그 깊이가 상기한 바와 같은 단벽부(52)에 형성하였을 경우보다 깊어지기 때문에, 대피구멍(70)으로서의 응답성에 대해서는 약간 뒤떨어지는 것으로 생각된다. 또한 실린더의 주벽부(53A)에 대피구멍(70)을 형성하는 경우에는, 그 형성위치에 제약이 붙기 쉬워서 상기한 바와 같은 단벽부(52)에 형성하는 경우와 비교하면 약간의 난점이 있다. 예를 들면 회전자 폭이 작은 경우에는 확보할 수 있는 대피구멍(70)의 수가 적어 충분하게 적용할 수 없는 경우도 있다.
또한 본 형태예에서는, 전단의 단위펌프구성(10A)의 배기구(55A)로부터 후단의 단위펌프구성(10B)의 흡기구(후단의 흡기구(35B))에 접속되는 접속 통기로(接續 通氣路)(65)(도4를 참조)를 구성하는 통기로 벽부(通氣路 壁部)(66a)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍(70)이 형성되어 있다. 또 접속 통기로(65)는, 접속 케이스의 입구(66c) 및 접속 케이스의 출구(66d)를 구비하는 접속 케이스의 베이스부(66b)와, 통기로 벽부(66a)를 구성하는 뚜껑 판자모양부로 형성되어 있는 접속 케이스의 본체부(66)에 의하여 형성되어 있다.
이 대피구멍(70)으로부터의 대피기체는, 통기로 벽부(66a)의 외측에 고정된 접속 케이스의 커버부(cover部)(67) 내로 배출되고 또한 접속 케이스의 에스케이프 출구(67a)(도4를 참조)와 머플러 케이스(17)의 에스케이프 호스 접속구(17b)(도2를 참조)의 사이를 접속하는 에스케이프 호스(68)(도2를 참조)를 통하여 사일런서부(60)로 배출된다. 그리고 그 배기는, 사일런서부(60)에서 배기구(55A, 55B)로부터의 배기 등과 합류되어 소음됨으로써 머플러 케이스의 배기구(17a)로부터 외부로 방출된다.
또한 36은 흡기 케이스이고, 36a는 흡기 케이스의 흡기구로서, 전단의 단위펌프구성(10A)으로 개구되는 전단의 흡기구(35A)에 연결되어 있다. 43은 오일밀봉(oil seal)이고, 45는 축밀봉(shaft seal)으로 되어 있다.
다음에 도10 및 도11에 의거하여 복수의 대피구멍(70)을 형성하는 경우의 형태예에 대하여 상세하게 설명한다. 또 도10은 클로펌프의 구성을 나타냄과 아울러 배기상태의 형태를 나타내고, 도11(a)는 도10의 클로펌프에 있어서 기체의 압축공정의 초기상태를 나타내고, 도11(b)는 기체의 압축공정의 도중에서 배기구(55B)가 회전자(30C)의 측면에 의하여 여유를 가지고 막힌 상태를 나타내고, 도11(c)는 기체의 압축공정이 종료되기 직전의 상태를 나타내고 있다. 또한 도11에 기재된 화살표는 회전자의 회전방향을 나타내고 있다.
본 형태예에서는, 실린더(후단의 실린더(50B))를 구성하는 실린더의 벽부(후단 실린더의 일방의 단벽부(52C), 후단 실린더의 타방의 단벽부(52D), 후단의 주벽부(53B))로서 기체의 압축공정에서 압축공간을 구성하는 벽부의 부위(후단 실린더의 타방의 단벽부(52D)의 일부)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 복수의 대피구멍(70)이 형성되어 있다. 또 본 형태예의 대피구멍(70)은 회전축(20A, 20B)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
그리고 실린더(후단의 실린더(50B))의 내부에서의 압축공정을 통하여 그 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간의 용적에 대하여, 복수의 대피구멍(70)이 열려 있는 실린더에 면(面)하는 총면적의 비율이 서서히 증대되도록 그 복수의 대피구멍(70)이 배치되어 있다. 즉 기체의 압축비와 대피구멍이 개구되어 있는 총면적의 곱이, 압축공정의 압축시작부터 압축종료까지의 사이에서 서서히 커지고, 압축종료일 때에는 최대가 되도록 복수의 대피구멍(70)이 배치되어 있다. 또 기체의 최대 압축비는, 압축을 시작하는 순간의 용적과 배기가 시작되는 순간의 용적의 비가 된다.
이와 같이 복수의 대피구멍(70)을 배치하기 위해서는, 배기구(55B)에서 먼 범위의 대피구멍(70)에 의한 개구된 면적보다, 배기구(55B)에서 가까운 범위의 대피구멍(70)에 의한 개구된 면적이 커지게 되도록 설정하면 좋다. 따라서 복수의 동일한 크기(동일한 직경)의 대피구멍(70)을 배치하는 경우에는, 상기 단벽부(52D)의 배기구(55B)에 가까운 부위일수록 그 대피구멍(70)의 수가 많이 형성되어 있으면 좋다. 즉 배기구(55B)에 가까운 곳일수록 대피구멍(70)이 존재하는 밀도가 높아지도록 형성되어 있으면 좋다. 또한 상기 단벽부(52D)의 배기구(55B)에 가까운 부위일수록 대피구멍(70)의 사이즈를 크게 함으로써 상기의 조건을 충족시키는 것도 가능하다.
또 본 형태예에서는, 후단의 실린더(50B)에 형성되는 복수의 대피구멍(70)의 전체 개수가, 후단 실린더의 타방의 단벽부(52D)에 형성되어 있다. 그러나 상기한 바와 같은 조건을 충족시키면 이것에 한정되는 것은 아니며, 복수의 대피구멍(70)의 일부가 실린더(전단의 실린더(50A), 후단의 실린더(50B))의 양단부를 구성하는 단벽부(전단 실린더의 일방의 단벽부(52A), 전단 실린더의 타방의 단벽부(52B), 후단 실린더의 일방의 단벽부(52C), 후단 실린더의 타방의 단벽부(52D))의 적어도 일방에 형성되어 있는 형태이더라도 좋다. 또한 실린더(50)의 내부에서의 압축공정을 통하여 그 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간의 용적에 대하여, 복수의 대피구멍(70)이 열려 있는 총면적의 비율이 서서히 증대된다는 조건을 충족시키면, 복수의 대피구멍(70)을 실린더의 주벽부(53)에 형성하더라도 좋다.
또한 대피구멍(70)에 부착된 첵크밸브(71)는, 배기구(55B)의 개구 전에 펌프 내부의 압력이 정압(正壓)으로 된 상태에서 열리도록 설치되어 있다. 또 여기에서 「정압」이라는 것은, 대피구멍(70)의 배기측의 압력보다 압축공간 내의 압력이 상회한 상태의 압력을 의미하고 있으며, 대기압보다 높은 압력에 한정되지 않는다. 그리고 배기측의 압력과 압축공간 내의 압력의 차이압력이, 첵크밸브(리드밸브(71))의 스프링력(탄성)을 상회하였을 경우에 그 리드밸브(71)가 열리게 된다. 진공펌프에 있어서, 흡기된 부압공기(負壓空氣)는 클로형상의 회전자에 의하여 압축되고, 정압(첵크밸브(71)가 동작하는 압력)에서 첵크밸브(71)가 열려서 대피구멍(70)으로부터의 배기가 이루어진다. 그 때문에 대피구멍(70)은, 회전자 형상에 의하여 형성되는 회전궤도의 압축공정 내에서 펌프 내부가 정압으로 되는 위치에 배치할 필요가 있다. 또 배기구에 가까운 위치일수록 압축공정이 진행되어 내부가 고압상태에 있기 때문에 첵크밸브(71)는 동작하기 쉽고 또한 압축공정시간이 긴 위치일수록 첵크밸브(71)의 동작시간이 길어져서 대기개방측에서의 과압축억제효과가 크다. 또한 본 형태예에서는, 첵크밸브(71)가 리드밸브로 구성되어 있고, 그 경도·판두께를 변경함으로써 동작압력을 변경·조정할 수 있다.
이상과 같이 대기개방측의 과압축을 억제하기 위한 대피구멍(70)의 배치조건을 최적으로 설정함으로써 대기개방측의 과압축억제에 관한 효과를 최대한으로 발휘할 수 있도록 할 수 있다.
또한 이 대피구멍(70)에 대해서는, 구멍의 수, 구멍의 지름 및 구멍의 베벨링(beveling) 등의 형상을 적절하게 선택적으로 최적화 하면 좋다.
본 형태예에 의하면, 클로로터를 탑재하는 비접촉형 진공펌프 등의 회전펌프에 있어서, 대피구멍(70)에 의한 과압축 억제기구를 설치하고 있고, 이 대피구멍(70)의 효과에 대하여 그 작용의 연쇄에 주목하여 이하에서 상세하게 설명한다.
이 과압축 억제기구(대피구멍(70))에 의하면, 배기유량이 많은 대기개방측(흡입되는 공기의 압력이 대기압에 가까운 상태에서의 운전이 되는 경우)의 과압축을 억제할 수 있고, 고진공으로 되어 있는 실린더 내에 대피구멍(70)으로부터 역류하는 배기기체의 진입은 대피구멍(70)을 막는 첵크밸브(71)에 의한 역류억제기구에 의하여 억제할 수 있다.
이것에 의하면, 상기한 바와 같이 과압축이 억제될 수 있기 때문에, 배기개방 직전의 용적을 감소시키도록 배기구를 작게 하여 압축비를 올리는 것이 가능하게 된다. 배기개방 직전의 용적을 감소시킴으로써 펌프 내부로 역류하는 배기의 기체량을 억제할 수 있다. 이 역류하는 기체량을 억제할 수 있음으로써 진공펌프의 도달운전 시에 있어서의 동력부하 및 펌프 내부의 온도의 상승을 억제할 수 있다.
즉 본 형태예에 의하면, 배기개방 직전의 용적감소에 의하여 역류기체량을 억제하여 동력부하 및 온도상승을 억제하는 것을 가능하게 하고, 또한 과압축 억제기구(대피구멍(70))에 의하여 대기개방측의 과압축을 억제하고, 또한 고진공으로 되어 있는 실린더 내측은 역류억제기구(첵크밸브(71))에 의하여 대피구멍(70)으로부터의 역류기체를 억제함으로써 유량을 감소시키지 않고, 또한 1단펌프에서 압력 풀 레인지(壓力 full range)의 사용이 가능한 고진공압측의 고효율 펌프구조를 실현할 수 있고, 또한 그 효과를 최대한으로 발휘할 수 있는 구조로 되어 있다.
또 배기개방 직전의 용적을 감소시키기 위해서는, 배기구를 작게 하고 또한 가능한 한 펌프 내부의 공기가 압축된 상태의 위치에 배기구를 형성하면 좋다. 즉 압축비를 올리도록 배기구를 형성한다. 역류하는 배기의 기체량의 억제에는, 이외에 다단구조에 의하여 전단 펌프의 배기를 후단 펌프로 빼는 것, 배기구에 첵크밸브를 부착하는 방법이 있다.
또한 이상의 작용효과에 대하여 반대의 견지에서 설명하면, 배기개방 직전의 용적을 감소시키기 위하여 압축비를 올림으로써 결과적으로 배기유량이 많은 대기개방측이 과압축으로 되는 것을 억제하는 과압축 억제기구로서의 대피구멍(70)이 형성되어 있다. 또한 고진공으로 되어 있는 실린더 내로 대피구멍(70)으로부터 역류하는 배기기체를 억제하는 역류억제기구로서의 첵크밸브(71)가 설치되어 있다.
다음에 본 발명에 관한 2축 회전펌프의 다른 형태예를 첨부된 도면(도12∼도15, 도11)에 의거하여 설명한다. 또 도면에 기재된 부호에 대해서는, 동일명칭의 구성이 복수 있는 경우에 대하여 그 배치되어 있는 위치를 식별하기 위하여 숫자에 A, B, C, D를 붙여서 기재하고 있지만, 이하의 설명 중에서는, 총괄적으로 동일명칭의 구성을 설명하는 경우에는 A, B, C, D를 부가하지 않는 숫자만의 부호를 기재하고 있다. 예를 들면 회전축을 총괄적으로 설명하는 경우에는, 「회전축(120)」으로 하고, 2개의 회전축의 배치에 대하여 의식을 환기하는 것과 같은 경우에는 「2개의 회전축(120A, 120B)」으로 하도록 기재되어 있다.
본 형태예는, 회전펌프 중에서 용적형 펌프로서 2축 회전펌프에 속하는 것으로 되어 있다. 2축 회전펌프로서는 예를 들면 회전자 비접촉형의 펌프인 클로펌프, 스크루 펌프(screw pump)나 루츠펌프(roots pump) 등을 들 수 있다. 이러한 회전펌프는 예를 들면 전동모터에 의하여 구동되고, 진공펌프나 블로워(blower) 등의 공기압 장치로서 사용된다.
본 형태예는, 2개의 회전자(130(130A와 130B, 130C와 130D의 각 세트)) 상호간이 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 2개의 회전자(130, 130)가 실린더(150(150A, 150B))의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 그 회전자(130, 130)를 구비하는 2개의 회전축(120(120A, 120B))이 베어링(140(140A와 140B, 140C와 140D의 각 세트))에 의하여 지지되어 설치되고, 기체를 실린더(150) 내로 흡기하고 압축된 기체를 실린더(150)로부터 배기하는 2축 회전펌프로 되어 있다. 흡기구(135A, 135B)에서 흡기되고, 배기구(155A, 155B)로부터 배기된다.
이 형태예의 2축 회전펌프는, 클로펌프이며 회전자(130, 130)는 복수의 갈고리 모양의 클로부를 구비하고 있다(도15를 참조). 또 클로펌프에서는, 기체를 고압으로 압축할 수 있기 때문에 펌프 내부의 온도가 상승하기 쉽다.
또한 본 형태예의 클로펌프는, 실린더(150)와 2개의 회전자(130, 130)에 의한 단위펌프구성(110(110A, 110B))이, 2개의 회전축(120A, 120B)의 축방향에 있어서 복수 단(2단)으로 설치되어 있는 다단의 2축 회전펌프로 되어 있다.
그리고 본 형태예에서는, 회전축(120) 각각의 양단에, 실린더(150)와 2개의 회전자(130, 130)에 의하여 구성되는 단위펌프구성(110(110A, 110B))이 설치되고, 그 단위펌프구성(110A, 110B)의 모두에 있어서 2개의 회전자(130, 130)가, 그 2개의 회전자(130, 130)에 있어서의 회전축(120(120A, 120B))의 축방향의 한쪽이며 양방의 단위펌프구성(110A, 110B)의 사이에 배치된 베어링(140(140A와 140B, 140C와 140D의 각 세트))에 의하여 회전축(120)을 통하여 외팔보 상태에서 지지되어 있다. 또 이 베어링(140)으로서는 예를 들면 앵귤러 복열 볼베어링을 사용할 수 있다.
또 2개의 베어링(140A, 140B)과 2개의 베어링(140C, 140D)의 사이에 기어(121, 122)를 배치함으로써, 그 기어(121, 122)에 대해서는 양단이 지지되는 구성으로 되어 있다. 또 2개의 기어(121, 122)가 맞물려 있음으로써 2개의 회전축(120A, 120B)이 반대방향으로 동일한 속도로 회전하도록 구성되어 있다.
이것에 의하면, 베어링(140(140A, 140B, 140C, 140D))을 기준으로 하여, 회전축(120)을 사이에 두고 일방에 회전자(130A, 130B)가 배치되고, 타방에 회전자(130C, 130D)가 배치된 형태로 되어 있다. 이 때문에 열팽창이 베어링(140)을 기준으로 하여 회전축의 축방향의 양쪽 사이드로 나누어져서 발생하는 형태로 되어 있다. 따라서 회전자(130)와 실린더의 축방향의 단벽부(152)의 클리어런스인 사이드 클리어런스에 관한 열팽창의 영향은, 일방의 회전자(130A, 130B)측과 타방의 회전자(130C, 130D)측으로 분산되게 된다. 이 때문에 종래에 있어서 축방향으로 복수의 회전자를 구비하는 회전축을, 그 복수의 회전자를 2개의 베어링에 의하여 협지하도록 양단지지하는 구조로 한 다단펌프의 경우와 비교하여, 사이드 클리어런스에 관한 열팽창의 영향은 작아지게 된다. 따라서 사이드 클리어런스를 더 작게 하여 기체누설의 발생을 더 작게 할 수 있어, 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
또한 본 형태예에서는, 회전축(120)에 있어서 양단의 단위펌프구성(110A, 110B)의 양방의 실린더(150(150A, 150B))로서, 그 실린더(150)의 양단부를 구성하는 단벽부(152(152A, 152B, 152C, 152D)) 중에서 회전축(120)이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부(152(152A, 152D))에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍(170)이 회전축(120)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
또한 본 형태예에서는, 그 대피구멍(170)이 외팔보 끝면측의 단벽부(152(152A, 152D))에 복수 형성되어 있다. 또한 그 대피구멍(170)이 형성된 외팔보 끝면측의 단벽부(152)에, 실린더(150(150A, 150B))의 압축된 기체를 배기하는 배기구(155(155A, 155B))가 형성되어 있다.
또 대피구멍(170)에 관한 형상, 크기, 수량, 배치 등의 형태는 본 형태예에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면 다수의 대피구멍(170) 중에서 적어도 일부(복수)가, 실린더(150(150A, 150B))의 내면에 띠모양으로 연속하도록 홈모양으로 가공·형성된 띠홈모양 오목부의 내부 저면으로 개구됨으로써, 그 복수의 대피구멍(170)이 그 실린더(150)의 내면의 측에서는 그 띠홈모양 오목부에 연결되어 일체화 됨으로써 하나의 큰 구멍으로서 기능을 할 수 있도록 하더라도 좋다. 이 경우에도 실린더(150)의 외면(배기측의 면)에는, 후술하는 첵크밸브(리드밸브(171))를 각 대피구멍(170)에 대응시켜서 각각에 설치하더라도 좋다.
이 대피구멍(170)에 의하면, 클로로터를 탑재하는 비접촉형 진공펌프 등의 회전펌프에 있어서, 대기개방측의 과압축을 억제할 수 있다. 과압축을 억제할 수 있기 때문에, 배기개방 직전의 용적을 감소시키도록 배기구(155A, 155B)를 작게 하여 압축비를 올리는 것이 가능하게 된다. 배기개방 직전의 용적을 감소시킴으로써 펌프 내부로 역류하는 배기의 에어량(air量)을 억제할 수 있다. 이 역류하는 에어량을 억제할 수 있음으로써 진공펌프의 도달운전 시에 있어서의 동력부하 감소에 의한 에너지 절약을 할 수 있고, 도달운전 시의 펌프 내부온도의 상승을 억제할 수 있음으로써 열팽창 억제 및 중요부품의 수명의 장기화가 가능하게 된다.
그리고 단벽부(152)에 형성된 대피구멍(170)은, 회전축(120)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있기 때문에, 그 깊이는 단벽부(152)의 두께에 상당하는 짧은 것으로서 대피구멍(170)으로서의 응답성이 우수한 형태로 되어 있다. 즉 과압축의 기체를, 타임래그가 짧은 상태에서 순서대로 배기할 수 있다. 또한 이 대피구멍(170)은, 단벽부(152)의 면에 있어서 최적의 위치에 용이하게 배치할 수 있어, 그 기능을 최적으로 발휘시키도록 형성할 수 있다.
또한 대피구멍(170)이, 단벽부(152)에 복수 형성됨으로써 기체압축의 공정 중에 있어서 과압축의 기체를 균형이 맞도록 적시에 배기할 수 있어, 그 기능성을 더 향상시킬 수 있다.
또한 본 형태예에서는, 장치 양단에 배치된 각각의 단벽부(152A, 152D)에 대해서는, 회전축(120A, 120B)이 삽입되지 않기 때문에, 그 단벽부(152A, 152D)의 면에 있어서는 대피구멍(170)의 배치에 관한 제약이 거의 없어, 그 대피구멍(170)을 적절하고 또한 용이하게 형성할 수 있어 펌프의 성능을 향상시킬 수 있다.
즉 2개의 회전축(120A, 120B)(샤프트)이 사이드 플레이트를 관통하고 있는 종래와 같은 양단지지구조의 경우에, 대피구멍(170)을 배치할 수 있더라도 샤프트가 방해를 하여 첵크밸브(171)를 최적의 위치에 배치하는 것이 곤란하다. 이에 대하여 사이드 플레이트(111, 113)(단벽부(152A, 152D))에 샤프트를 관통시키지 않는 외팔보 구조로 하였을 경우에, 그러한 제약이 없이 적합하게 첵크밸브(171)를 배치·구성할 수 있다.
또 도12에 가상선(2점 쇄선)으로 나타내는 바와 같이 일방의 회전축(120A)에 대하여 동력을 입력하기 위하여 연장된 입력축부(入力軸部)(180)를 구비하는 경우에, 그 입력축부(180)는 사이드 플레이트(111)를 관통하지만, 타방의 회전축(120B)에 대해서는 사이드 플레이트(111)를 관통하지 않는다. 이 경우에도 대피구멍(170)의 배치에 관한 제약이 적어지는 메리트가 있다.
이 대피구멍(170)에는, 실린더(150A, 150B) 내의 압력이 소정의 압력보다 고압인 경우에는 열리고, 소정의 압력보다 저압인 경우에는 닫히는 첵크밸브(171)가 설치되어 있다. 이 첵크밸브(171)는, 대피구멍(170)으로부터 고진공으로 되어 있는 실린더 내로 역류하는 배기기체를 억제하는 역류억제기구로서 기능을 한다. 배기기체가 고진공으로 되어 있는 실린더 내에 대한 역류를 적극적으로 방지할 수 있기 때문에 펌프 효율을 향상시킬 수 있다.
본 형태예의 첵크밸브는 리드밸브(171)로 구성되어 있다. 이 리드밸브(171)는, 선단이 반원형의 직사각형인 판자모양으로 형성되고, 후단측에서 외팔보 상태에서 지지·고정됨으로써 선단측이 자유단으로 되어 있어 대피구멍(170)을 개폐할 수 있도록 되어 있다. 또한 리드밸브(171)는, 볼트구멍(172a)에 나사결합되는 첵크밸브 고정볼트(172)에 의하여 고정되어 있다. 이 리드밸브(171)는, 대피구멍(170)의 배기측에 고정된 첵크밸브이며, 그 배기측의 압력과 압축공간 내의 압력의 차이압력이, 리드밸브의 스프링력(탄성)을 상회한 경우에 열리게 된다. 이 리드밸브(171)에 의한 첵크밸브는, 간단한 구조이고 컴팩트하며 또한 저렴하게 구성할 수 있고, 용이하게 장착할 수 있음과 아울러 유지보수도 용이하게 할 수 있다. 또한 첵크밸브로서는, 본 형태예와 같은 리드밸브(171)에 한정되지 않고 예를 들면 고무나 실리콘 등의 탄성체를 사용하는 것, 스프링(탄성)을 사용하여 그 탄성에 의하여 개폐되는 것을 사용할 수 있다.
또한 111은 일방의 사이드 플레이트이고, 112는 펌프본체, 113은 타방의 사이드 플레이트이다. 이들의 구성이 회전축(120)의 축방향으로 연결되어 장치의 외곽이 형성되어 있다.
또한 115는 오일배스부이며, 회전축(120A)에 일체적으로 고정된 기어(121)와 회전축(120B)에 일체적으로 고정된 종동기어(122)가 내장되는 오일실(oil室)을 구성하고 있다. 이 오일배스부(115)는, 일방의 베어링(140A, 140B)의 세트와 타방의 베어링(140C, 140D)의 세트의 사이에 형성되어 있어, 적절하게 윤활이 되도록 구성되어 있다. 또 143은 오일밀봉이다.
도12의 형태예에 있어서는, 동력장치에 대하여 도면에 나타내지 않고 있지만 예를 들면 전동모터로부터의 동력이 전달됨으로써 본 형태예의 2축 회전펌프가 구동되도록 설치할 수 있다. 또 구동력의 전달수단으로서는 예를 들면 기어기구를 사용할 수 있다. 또한 구동력의 전달수단으로서는, 120A를 구동측의 회전축으로 하고, 120B를 종동측의 회전축으로 하였을 경우에, 회전축(120A)에 전동모터의 구동축을 직렬적으로 배치하고 커플링에 의하여 연결하는 형태로 하더라도 좋다는 등 이미 알고 있는 기술을 적절하게 선택적으로 사용할 수 있다.
또한 본 형태예에 대하여 한쪽의 단위펌프구성(예를 들면 단위펌프구성(110B))을, 기체를 가장 고압으로 압축하는 후단의 단위펌프구성으로 할 수 있다. 이와 같이 단위펌프구성(110B)을 후단에 하는 경우에, 전단의 단위펌프구성(110A)의 배기구(155A)와 후단의 단위펌프구성(110B)의 흡기구(135B)를 접속하도록 접속 통기로를 설치하면 좋다. 또한 그 경우에 전단의 단위펌프구성(110A)의 회전자(130A, 130B)는, 용적이 큰 기체가 전단의 실린더(150A)로 유입되기 때문에 폭이 넓어서 더 질량이 큰 것으로 할 수 있다. 그리고 후단의 단위펌프구성(110B)의 회전자(130C, 130D)는, 기체가 압축되어 후단의 실린더(150B)로 유입되는 관계로부터 폭이 좁아서 더 질량이 작은 것으로 할 수 있다.
이상에서 설명한 본 발명에 관한 양측 외팔보 구조의 2축 회전펌프에 의하면, 회전자(130)에 대한 액세스가 용이하여, 클리어런스 조정이 필요한 회전자의 조립성, 유지보수성이 우수하다. 또한 양측의 실린더(150) 및 회전자 폭을 변경하는 것만으로 유량이 서로 다른 시리즈를 용이하게 제작할 수 있어, 시리즈 전개의 확장성이 높다고 하는 이점이 있다. 또한 장치의 양단측에서 리드밸브(171)를 장착할 수 있어, 양방의 단위펌프구성(110)에 대하여 상기한 바와 같이 펌프의 높은 성능을 실현시키면서, 간단하고 또한 저렴하게 제조할 수 있다. 또한 양측에서 기본적인 구성이 동일하기 때문에, 대칭성이 있고 장치 전체로서의 균형을 취하기 쉽고 소형화에 적절하여, 더 신뢰성이나 경제성이 높은 구조를 더 적절하게 실현할 수 있다. 또 양쪽 사이드의 펌프 구성에 대하여, 적어도 일방을 다단화 하여 기체의 압축비를 높이는 등 본 발명의 본질을 위배하지 않고 다양한 응용형태를 구성할 수도 있다.
다음에 도15 및 도11에 의거하여 복수의 대피구멍(170)을 형성하는 경우의 형태예에 대하여 상세하게 설명한다. 또 도15는 클로펌프의 구성을 나타냄과 아울러 배기상태의 형태를 나타내고, 도11(a)는 기체의 압축공정의 초기상태를 나타내고, 도11(b)는 기체의 압축공정의 도중에서 배기구(155)가 회전자(130)의 측면에 의하여 여유를 가지고 막힌 상태를 나타내고, 도11(c)는 기체의 압축공정이 종료되기 직전의 상태를 나타내고 있다. 또한 도11에 기재된 화살표는 회전자의 회전방향을 나타내고 있다.
본 형태예에서는, 실린더(150)를 구성하는 실린더의 벽부(152, 153)로서 기체의 압축공정에서 압축공간(151)을 구성하는 벽부의 부위에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 복수의 대피구멍(170)이 형성되어 있다. 또 본 형태예의 대피구멍(170)은, 단벽부(152)에 있어서 회전축(120)의 축방향으로 개구되어 형성되어 있다.
그리고 도11에 나타내는 바와 같이 실린더(150)의 내부에서의 압축공정을 통하여 그 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간(151)의 용적에 대하여, 복수의 대피구멍(170)이 열려 있는 총면적의 비율이 서서히 증대되도록 그 복수의 대피구멍(170)이 배치되어 있다. 즉 기체의 압축비와 대피구멍이 개구되어 있는 실린더에 면하는 총면적의 곱이, 압축공정의 압축시작부터 압축종료까지의 사이에서 서서히 커지게 되고, 압축종료일 때에는 최대가 되도록 복수의 대피구멍(170)이 배치되어 있다.
이와 같이 복수의 대피구멍(170)을 배치하기 위해서는, 배기구(155)로부터 먼 범위의 대피구멍(170)에 의한 개구된 면적보다, 배기구(155)에서 가까운 범위의 대피구멍(170)에 의한 개구된 면적이 커지게 되도록 설정하면 좋다. 따라서 복수의 동일한 크기(동일한 직경)의 대피구멍(170)을 배치하는 경우에는, 상기 단벽부(152)의 배기구(155)에 가까운 부위일수록 그 대피구멍(170)의 수가 많이 형성되어 있으면 좋다. 즉 배기구(155)에 가까운 곳일수록 대피구멍(170)의 밀도가 높아지도록 형성되어 있으면 좋다. 또한 상기 단벽부(152)의 배기구(155)에 가까운 부위일수록 대피구멍(170)의 사이즈를 크게 함으로써 상기한 조건을 충족시키는 것도 가능하다.
또 본 형태예에서는, 실린더(150)에 형성되는 복수의 대피구멍(170)의 전체 개수가, 실린더의 자유단측의 단벽부(152)에 형성되어 있다. 그러나 상기한 바와 같은 조건을 충족시키면 이것에 한정되는 것은 아니며, 복수의 대피구멍(170)의 일부가 실린더(150)의 양단부를 구성하는 단벽부(152)의 적어도 일방에 형성되어 있는 형태이더라도 좋다.
또한 실린더(150)의 내부에서의 압축공정을 통하여 그 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간(151)의 용적에 대하여, 복수의 대피구멍(170)이 열려 있는 총면적의 비율이 서서히 증대된다는 조건을 충족시키면, 복수의 대피구멍(170)을 실린더의 주벽부(153)에 형성하더라도 좋다.
또한 대피구멍(170)에 부착된 첵크밸브(171)는, 배기구(155)의 개구 전에 펌프 내부의 압력이 정압으로 된 상태에서 열리도록 설치되어 있다. 또 여기에서 「정압」이라는 것은, 대피구멍(170)의 배기측의 압력보다 압축공간 내의 압력이 상회한 상태의 압력을 의미하고 있으며, 대기압보다 높은 압력에 한정되지 않는다. 그리고 배기측의 압력과 압축공간 내의 압력의 차이압력이, 첵크밸브(리드밸브(171))의 스프링력(탄성)을 상회하였을 경우에 그 리드밸브(171)가 열리게 된다. 진공펌프에 있어서, 흡기된 부압공기는 클로형상 회전자에 의하여 압축되어, 정압(첵크밸브(171)가 동작하는 압력)에서 첵크밸브(171)가 열려서 대피구멍(170)으로부터의 배기가 이루어진다. 그 때문에 대피구멍(170)은, 회전자 형상에 의하여 형성되는 회전궤도의 압축공정 내에서 펌프 내부가 정압으로 되는 위치에 배치할 필요가 있다. 또 배기구에 가까운 위치일수록 압축공정이 진행되어 내부가 고압상태에 있기 때문에 첵크밸브(171)는 동작하기 쉽고 또한 압축공정시간이 긴 위치일수록 첵크밸브(171)의 동작시간이 길어져서 대기개방측에서의 과압축억제효과가 크다.
또한 본 형태예에서는, 첵크밸브(171)가 리드밸브로 구성되어 있고, 그 경도·판두께를 변경함으로써 동작압력을 변경·조정할 수 있다.
이상과 같이 대기개방측의 과압축을 억제하기 위한 대피구멍(170)의 배치조건을 최적으로 설정함으로써 대기개방측의 과압축억제에 관한 효과를 최대한으로 발휘할 수 있도록 할 수 있다.
또한 이 대피구멍(170)에 대해서는, 구멍의 수, 구멍의 지름 및 구멍의 베벨링 등의 형상을 적절하게 선택적으로 최적화 하면 좋다.
본 형태예에 의하면, 클로로터를 탑재하는 비접촉형 진공펌프 등의 회전펌프에 있어서, 대피구멍(170)에 의한 과압축 억제기구를 형성하고 있고, 이 대피구멍(170)의 효과에 대하여 그 작용의 연쇄에 주목하여 이하에서 상세하게 설명한다.
이 과압축 억제기구(대피구멍(170))에 의하면, 배기유량이 많은 대기개방측(흡입되는 공기의 압력이 대기압에 가까운 상태에서의 운전이 되는 경우)의 과압축을 억제할 수 있고, 고진공으로 되어 있는 실린더 내에 대피구멍(170)으로부터 역류하는 배기기체의 진입은 대피구멍(170)을 막는 첵크밸브(71)에 의한 역류억제기구에 의하여 억제할 수 있다.
이것에 의하면, 상기한 바와 같이 과압축을 억제할 수 있기 때문에, 배기개방 직전의 용적을 감소시키도록 배기구를 작게 하여 압축비를 올리는 것이 가능하게 된다. 배기개방 직전의 용적을 감소시킴으로써 펌프 내부로 역류하는 배기의 기체량을 억제할 수 있다. 이 역류하는 기체량을 억제할 수 있음으로써 진공펌프의 도달운전 시에 있어서의 동력부하 및 펌프 내부의 온도의 상승을 억제할 수 있다.
즉 본 형태예에 의하면, 배기개방 직전의 용적감소에 의하여 역류기체량을 억제하여 동력부하 및 온도상승을 억제하는 것을 가능하게 하고, 또한 과압축 억제기구(대피구멍(170))에 의하여 대기개방측의 과압축을 억제하고, 또한 고진공으로 되어 있는 실린더 내측은 역류억제기구(첵크밸브(171))에 의하여 대피구멍(170)으로부터의 역류기체를 억제함으로써 유량을 감소시키지 않고, 또한 1단펌프에서 압력 풀 레인지의 사용이 가능한 고진공압측의 고효율 펌프구조를 실현할 수 있고, 또한 그 효과를 최대한으로 발휘할 수 있는 구조로 되어 있다.
또 배기개방 직전의 용적을 감소시키기 위해서는, 배기구를 작게 하고 또한 가능한 한 펌프 내부의 공기가 압축된 상태의 위치에 배기구를 형성하면 좋다. 즉 압축비를 올리도록 배기구를 형성한다. 역류하는 배기의 기체량의 억제에는, 이외에 다단구조에 의하여 전단 펌프의 배기를 후단 펌프로 빼는 것, 배기구에 첵크밸브를 부착하는 방법이 있다.
또한 이상의 작용효과에 대하여 반대의 견지에서 설명하면, 배기개방 직전의 용적을 감소시키기 위하여 압축비를 올림으로써 결과적으로 배기유량이 많은 대기개방측이 과압축으로 되는 것을 억제하는 과압축 억제기구로서의 대피구멍(170)이 형성되어 있다. 또한 고진공으로 되어 있는 실린더 내측으로 대피구멍(170)으로부터 역류하는 배기기체를 억제하는 역류억제기구로서의 첵크밸브(171)가 설치되어 있다.
이상에서는 본 발명에 대한 적합한 형태예를 들어서 다양하게 설명하였지만, 본 발명은 이 형태예에 한정되는 것이 아니며 발명의 정신을 일탈하지 않는 범위 내에서 많은 개변(modification)을 실시할 수 있다는 것은 물론이다.
10 : 단위펌프구성
10A : 전단의 단위펌프구성
10B : 후단의 단위펌프구성
11 : 오일배스 커버
11a : 오일 게이지
12 : 전단의 펌프본체
13 : 전단의 사이드 플레이트
15 : 후단의 펌프본체
16 : 후단의 사이드 플레이트
17 : 머플러 케이스
17a : 머플러 케이스의 배기구
17b : 에스케이프 호스 접속구
17c : 에스케이프 파이프 접속구
20 : 회전축
20A : 구동회전축
20B : 종동회전축
21 : 구동기어
22 : 종동기어
23 : 피동풀리
30 : 회전자
30A : 전단의 구동회전축측의 회전자
30B : 전단의 종동회전축측의 회전자
30C : 후단의 구동회전축측의 회전자
30D : 후단의 종동회전축측의 회전자
35A : 전단의 흡기구
35B : 후단의 흡기구
36 : 흡기 케이스
36a : 흡기 케이스의 흡기구
40 : 베어링
40A : 일방의 구동회전축측의 베어링
40B : 일방의 종동회전축측의 베어링
40C : 타방의 구동회전축측의 베어링
40D : 타방의 종동회전축측의 베어링
43 : 오일밀봉
45 : 축밀봉
50 : 실린더
50A : 전단의 실린더
50B : 후단의 실린더
51A : 전단의 압축공간
51B : 후단의 압축공간
52 : 단벽부
52A : 전단 실린더의 일방의 단벽부
52B : 전단 실린더의 타방의 단벽부
52C : 후단 실린더의 일방의 단벽부
52D : 후단 실린더의 타방의 단벽부
53 : 주벽부
53A : 전단의 주벽부
53B : 후단의 주벽부
55A : 전단의 배기구
55B : 후단의 배기구
60 : 사일런서부
61 : 에스케이프 박스
61a : 에스케이프 박스의 출구
62 : 에스케이프 파이프
65 : 접속 통기로
66 : 접속 케이스의 본체부
66a : 통기로 벽부
66b : 접속 케이스의 베이스부
66c : 접속 케이스의 입구
66d : 접속 케이스의 출구
67 : 접속 케이스의 커버부
67a : 접속 케이스의 에스케이프 출구
68 : 에스케이프 호스
70 : 대피구멍
71 : 첵크밸브(리드밸브)
72 : 첵크밸브 고정볼트
72a : 볼트구멍
110 : 단위펌프구성
110A : 단위펌프구성
110B : 단위펌프구성
111 : 일방의 사이드 플레이트
112 : 펌프본체
113 : 타방의 사이드 플레이트
115 : 오일배스부
120 : 회전축
120A : 회전축
120B : 회전축
121 : 기어
122 : 기어
130 : 회전자
130A : 회전자
130B : 회전자
130C : 회전자
130D : 회전자
135A : 흡기구
135B : 흡기구
140 : 베어링
140A : 일방측의 베어링
140B : 일방측의 베어링
140C : 타방측의 베어링
140D : 타방측의 베어링
143 : 오일밀봉
150 : 실린더
150A : 실린더
150B : 실린더
151 : 압축공간
152 : 단벽부
152A : 단벽부
152B : 단벽부
152C : 단벽부
152D : 단벽부
153 : 주벽부
155 : 배기구
155A : 배기구
155B : 배기구
170 : 대피구멍
171 : 첵크밸브(리드밸브)
172 : 첵크밸브 고정볼트
172a : 볼트구멍

Claims (15)

  1. 2개의 회전자(rotor) 상호간이 미소한 클리어런스(clearance)를 유지하여 비접촉(非接觸)으로 회전됨과 아울러, 상기 2개의 회전자가 실린더(cylinder)의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 상기 회전자를 구비하는 2개의 회전축이 베어링(bearing)에 의하여 지지되어 설치되고, 기체(氣體)를 상기 실린더 내로 흡기(吸氣)하고 압축된 기체를 상기 실린더로부터 배기(排氣)하는 2축 회전펌프(2軸 回轉pump)에 있어서,
    상기 실린더의 양단부를 구성하는 단벽부(端壁部) 중에서 상기 회전축이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 하나 또는 복수의 대피구멍(escape hole)이, 상기 회전축의 축방향으로 개구(開口)되어 형성되어 있고,
    상기 대피구멍에는, 상기 실린더 내의 압력이, 소정의 압력보다 고압인 경우에는 열리고, 소정의 압력보다 저압인 경우에는 닫히는 첵크밸브(check valve)가 설치되어 있는 것을
    특징으로 하는 2축 회전펌프.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 첵크밸브가 리드밸브(reed valve)인 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 회전축 각각의 양단에, 상기 실린더와 상기 2개의 회전자로 구성되는 단위펌프구성(單位pump構成)이 설치되고, 상기 단위펌프구성의 모두에 있어서 상기 2개의 회전자가, 상기 2개의 회전자에 있어서의 상기 회전축의 축방향의 한쪽이며 양방의 단위펌프구성의 사이에 배치된 베어링에 의하여 상기 회전축을 통하여 외팔보(cantilever) 상태에서 지지되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  4. 삭제
  5. 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 실린더의 통부를 구성하는 실린더의 주벽부(周壁部)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  6. 2개의 회전자 상호간이 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전됨과 아울러, 상기 2개의 회전자가 실린더의 내면에서도 미소한 클리어런스를 유지하여 비접촉으로 회전되도록, 상기 회전자를 구비하는 2개의 회전축이 베어링에 의하여 지지되어 설치되고, 기체를 상기 실린더 내로 흡기하고 압축된 기체를 상기 실린더로부터 배기하는 2축 회전펌프에 있어서,
    상기 실린더와 상기 2개의 회전자에 의한 단위펌프구성(單位pump構成)이, 상기 2개의 회전축의 축방향에 있어서 복수 단(段)으로 설치되고,
    복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개가, 상기 2개의 회전축에 있어서 상기 회전자의 양측에 베어링을 배치함으로써 양단이 지지되어 구성되고,
    복수의 상기 단위펌프구성 중에서 상기 회전축의 축방향의 양쪽 끝면에 위치하는 적어도 일방이, 상기 2개의 회전축에 있어서 상기 회전자의 한쪽이며 인접하는 상기 단위펌프구성과의 사이에 배치된 베어링에 의하여 외팔보(cantilever) 상태에서 지지됨으로써 구성되고,
    복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개에 대하여, 상기 실린더의 축방향의 양단을 구성하는 단벽부 중에서 상기 회전축이 삽입되지 않는 외팔보 끝면측의 단벽부에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 하나 또는 복수의 대피구멍이, 상기 회전축의 축방향으로 개구되어 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 2개의 회전축에 설치되고 외팔보 상태에서 지지된 상기 회전자를 구비하는 상기 단위펌프구성이, 기체를 가장 고압으로 압축하는 최종단(最終段)의 단위펌프구성으로 되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  8. 삭제
  9. 제6항에 있어서,
    기체의 흐름의 전단(前段)의 상기 단위펌프구성의 배기구로부터 기체의 흐름의 후단(後段)의 상기 단위펌프구성의 흡기구에 접속되는 접속 통기로(接續 通氣路)를 구성하는 통기로 벽부(通氣路 壁部)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 하나 또는 복수의 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  10. 제6항에 있어서,
    복수의 상기 단위펌프구성 중에서 적어도 1개에 대하여, 상기 실린더의 통부(筒部)를 구성하는 실린더의 주벽부(周壁部)에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 하나 또는 복수의 대피구멍이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  11. 제1항 또는 제6항에 있어서,
    상기 실린더를 구성하는 실린더의 벽부(壁部)로서 기체의 압축공정에서 압축공간을 구성하는 벽부의 부위에, 압축된 기체의 일부를 대피시킬 수 있는 복수의 대피구멍이 형성되고,
    상기 압축공정을 통하여 상기 압축공정의 압축비의 증대에 따라 감소되는 압축공간의 용적에 대하여, 상기 복수의 대피구멍이 열려 있는 실린더에 면(面)하는 총면적의 비율이 서서히 증대되도록 상기 복수의 대피구멍이 배치되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  12. 제6항, 제9항, 제10항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 대피구멍에는, 상기 실린더 내의 압력이 소정의 압력보다 고압인 경우에는 열리고, 소정의 압력보다 저압인 경우에는 닫히는 첵크밸브(check valve)가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  13. 제12항에 있어서,
    상기 첵크밸브가 리드밸브(reed valve)인 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  14. 제1항, 제6항, 제9항, 제10항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 실린더의 압축된 기체를 배기하는 배기구로부터의 배기와 상기 대피구멍으로부터의 배기를 합류시켜서 소음(消音)시키는 공간을 형성하는 사일런서부(silencer部)를 구비하는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
  15. 제1항, 제6항, 제9항, 제10항 중 어느 하나의 항에 있어서,
    상기 회전자가 갈고리 모양의 클로부(claw部)를 구비하는 클로펌프(claw pump)의 회전자이며, 상기 대피구멍이 형성된 상기 단벽부에, 상기 실린더의 압축된 기체를 배기하는 배기구가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 2축 회전펌프.
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DE (1) DE112014002619B4 (ko)
WO (1) WO2014192851A1 (ko)

Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20200032799A1 (en) * 2017-01-10 2020-01-30 The Queenstown Trust Improvements in rotary claw pumps
DE102018203992A1 (de) 2018-03-15 2019-09-19 Gardner Denver Schopfheim Gmbh Drehkolbenmaschine
FR3117176B1 (fr) * 2020-12-04 2023-03-24 Pfeiffer Vacuum Pompe à vide

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485919B1 (ko) 1996-06-03 2005-07-28 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 용적형진공펌프

Family Cites Families (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2519913A (en) 1943-08-21 1950-08-22 Jarvis C Marble Helical rotary compressor with pressure and volume regulating means
US2635552A (en) 1949-01-31 1953-04-21 Bump Pump Co Sanitary pump assemblage
GB1248031A (en) 1967-09-21 1971-09-29 Edwards High Vacuum Int Ltd Two-stage rotary vacuum pumps
DE2302741A1 (de) 1973-01-18 1974-07-25 Mannesmann Meer Ag Drehkolben-kompressor
US3989413A (en) * 1975-05-14 1976-11-02 Ingersoll-Rand Company Gas compressor unloading means
DE3312117A1 (de) * 1983-04-02 1984-10-04 Leybold-Heraeus GmbH, 5000 Köln Zweiwellen-vakuumpumpe mit innerer verdichtung
JPS59218392A (ja) * 1983-05-25 1984-12-08 Ebara Corp スクリユ−圧縮機
JP3112490B2 (ja) * 1991-04-08 2000-11-27 アネルバ株式会社 メカニカル真空ポンプ
JPH07243331A (ja) * 1994-03-03 1995-09-19 Toyota Motor Corp 機械式過給機
DE19519247C2 (de) * 1995-05-25 2000-08-31 Guenter Kirsten Schraubenverdichter
JPH11210650A (ja) * 1998-01-28 1999-08-03 Sanden Corp スクロール型圧縮機
JP2001289167A (ja) 2000-04-07 2001-10-19 Orion Mach Co Ltd 真空ポンプの消音器
CN1173118C (zh) * 2001-04-26 2004-10-27 北京朗禾科技有限公司 干式真空泵及其转子
JP2002332963A (ja) 2001-05-08 2002-11-22 Toyota Industries Corp 真空ポンプにおける油洩れ防止構造
WO2007000815A1 (ja) * 2005-06-29 2007-01-04 Mayekawa Mfg. Co., Ltd 二段スクリュー圧縮機の給油方法、装置及び冷凍装置の運転方法
US20080050262A1 (en) * 2006-08-24 2008-02-28 Sam J. Jacobsen Rotary pump having a valve rotor and one or more vane rotors and methods for pumping fluids
JP2008088879A (ja) * 2006-09-29 2008-04-17 Anest Iwata Corp 真空排気装置
JP5046379B2 (ja) * 2007-03-30 2012-10-10 アネスト岩田株式会社 オイルフリーロータリコンプレッサのロータ軸シール装置
JP4818410B2 (ja) 2009-08-11 2011-11-16 オリオン機械株式会社 クローポンプの排気構造及び排気方法
JP5504530B2 (ja) 2009-09-15 2014-05-28 オリオン機械株式会社 回転ポンプ装置の製造方法
JP5284940B2 (ja) 2009-12-24 2013-09-11 アネスト岩田株式会社 多段真空ポンプ
JP2011226368A (ja) * 2010-04-19 2011-11-10 Ebara Corp 排気ユニット、及びドライ真空ポンプ装置
JP5914449B2 (ja) * 2013-11-06 2016-05-11 アネスト岩田株式会社 クローポンプ

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100485919B1 (ko) 1996-06-03 2005-07-28 가부시키가이샤 에바라 세이사꾸쇼 용적형진공펌프

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