JP2001289167A

JP2001289167A - 真空ポンプの消音器

Info

Publication number: JP2001289167A
Application number: JP2000105868A
Authority: JP
Inventors: Yuji Takahashi; 祐司高橋; Nobuo Takei; 伸雄竹井; Tetsuya Kobayashi; 哲也小林
Original assignee: Orion Machinery Co Ltd
Current assignee: Orion Machinery Co Ltd
Priority date: 2000-04-07
Filing date: 2000-04-07
Publication date: 2001-10-19

Abstract

(57)【要約】【課題】真空ポンプの排気口から排出される気体の持
つ騒音を効率良く低減させて外気中に排出する真空ポン
プの消音器を得る。【解決手段】真空ポンプの排気口から排出される気体
を通過させる消音器の２つ以上の大部屋の間を連通させ
る第１絞り口５４の開口量を、該第１絞り口を通過する
気体の気圧又はその気体の通過量に合わせて、広狭に調
整する調整弁６０を備える。そして、その第１絞り口５
４を通過する気体の気圧又はその気体の通過量に合わせ
て、第１絞り口５４の開口量を自動調整する。そして、
その第１絞り口５４を通過する気体に常に適度な負荷を
加えて、真空ポンプの排気口から排出される気体の持つ
騒音を、真空ポンプの動力ロスを少なく抑えながら、効
率良く低減できるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、真空ポンプから気
体が排出される際に発生する騒音を低減させるための、
真空ポンプの消音器に関する。

【０００２】

【従来の技術】真空ポンプから気体が排出される際に発
生する騒音公害の元となる騒音には、次の膨張音と逆流
音との２種類がある。膨張音は、比較的低真空圧・大流
量状態で動作中の真空ポンプの排気口から排出される、
大気圧よりも気圧の高い気体が発する排気音である。こ
の膨張音は、真空ポンプから排出された気体が外気中で
膨張する際に、その気体が発する騒音である。それに対
して、逆流音は、比較的高真空圧・小流量状態で動作中
の真空ポンプの排気口から真空ポンプ内に外気が逆流し
て吸い込まれる際に、その外気が発する騒音である。

【０００３】これらの真空ポンプから気体が排出される
際に発生する膨張音や逆流音を低減させるのには、消音
器が用いられる。消音器は、一般に、図３に示したよう
に、２つ以上の大部屋５１が小径の第１絞り口５３を通
して一連に連ねられた構造をしている。最後段の大部屋
５１には、該大部屋を外気中に連通させる第２絞り口５
５が開口されている。この消音器によれば、真空ポンプ
の排気口から排出される気体を、２つ以上の大部屋５１
とそれらの大部屋５１の間を連通する第１絞り口５３と
最後段の大部屋５１を外気中に連通させる第２絞り口５
５とを順に通過させて、その気体に繰り返し負荷を加え
ることができる。そして、その真空ポンプから排出され
る気体の持つ騒音を低減させることができる。次いで、
その騒音を低減させて無公害化した気体を、第２絞り口
５５を通して、外気中に排出させることができる。

【０００４】高真空圧を得るための真空ポンプの排気口
には、逆止弁が備えられている。そして、その逆止弁に
より、ポンピング動作中の真空ポンプ内に外気が逆流し
て、その真空ポンプの真空圧達成度にロスが生ずるのを
防ぐことができるように構成されている。この逆止弁
は、高真空圧状態で動作中の真空ポンプの排気口から排
出される気体の持つ前記の逆流音をも、無くすことがで
きる。しかしながら、この真空ポンプの排気口に備えら
れた逆止弁の動作音は、排気口周縁を殴打する比較的高
音の耳障りな金属接触音であって、騒音公害の元凶とな
る。そのために、この高真空圧状態で動作させる真空ポ
ンプにおいても、上記の消音器を用いれば、その真空ポ
ンプの排気口から排出される気体の膨張音や逆流音に加
えて、上記の逆止弁の動作音をも低減させることができ
る。そして、その膨張音や逆流音や逆止弁の動作音が低
減されて無公害化された気体を、消音器の第２絞り口５
５を通して、外気中に排出させることができる。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
消音器では、真空ポンプの排出口から排出される気体を
通過させる第１絞り口５３の口径が一定に設定されてい
るために、その第１絞り口５３を通過する気体に加わる
負荷が、一定となってしまった。他方、真空ポンプは、
高真空圧から低真空圧までの広範囲な真空圧を得るため
に、種々の運転条件下で運転される。また、真空ポンプ
は、大型から小型のものまである。そのために、その真
空ポンプの排気口から排出される気体の気圧が、高圧か
ら低圧まで広範囲に変化したり、その真空ポンプの排気
口から排出される気体の量が、大量から少量まで広範囲
に変化したりする。従って、種々の運転条件下で運転さ
れる真空ポンプや、大型から小型までの真空ポンプの排
気口から排出される気体の気圧やその気体の排出量が広
範囲に変化する気体の持つ膨張音や逆流音や逆止弁の動
作音を、口径が一定に設定された第１絞り口５３を持つ
上記の消音器を用いて低減させた場合には、その第１絞
り口５３を通過する気体に加わる負荷が大きくなり過ぎ
て、そのために消音器から真空ポンプに過度の負荷が加
わって、真空ポンプに大きな動力ロスが生じたり、逆に
その第１絞り口５３を通過する気体に加わる負荷が小さ
過ぎて、その気体の持つ騒音が十分に低減されなかった
りした。

【０００６】本発明は、このような課題を解消可能な、
種々の運転条件下で運転される真空ポンプや大型から小
型までの真空ポンプの排気口から排出される気体の気圧
やその気体の排出量に合わせて、第１絞り口の開口量を
大小に調整して、その第１絞り口を通過する気体に過不
足なく常に適度な負荷を加えることのできる消音器であ
って、真空ポンプの排気口から排出される気体の持つ騒
音を、真空ポンプの動力ロスを少なく抑えながら、効率
良く低減させることのできる、真空ポンプの消音器（以
下、消音器という）を提供することを目的としている。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明の消音器は、真空ポンプの排気口から排出
される気体を、２つ以上の大部屋と該大部屋の間を連通
させる第１絞り口と最後段の前記大部屋を外気中に連通
させる第２絞り口とを順に通過させて、その気体の持つ
騒音を低減させて外気中に排出させる構造の真空ポンプ
の消音器であって、前記第１絞り口の開口量を、第１絞
り口を通過する気体の気圧又はその気体の通過量に合わ
せて、広狭に調整する調整弁が備えられたことを特徴と
している。

【０００８】この消音器においては、大部屋の間を連通
させている第１絞り口の開口量を、その第１絞り口を通
過する気体の気圧又はその気体の通過量に合わせて、広
狭に調整できる。そのために、真空ポンプの排気口から
排出されて、第１絞り口を通過する気体の気圧が高い場
合又はその気体の通過量が多い場合には、それに合わせ
て、その第１絞り口の開口量を、広げることができる。
そして、その第１絞り口を通過する気体に加わる負荷が
大きくなり過ぎるのを、防ぐことができる。そして、そ
のために、消音器から真空ポンプに過度の負荷が加わっ
て、真空ポンプに大きな動力ロスが生ずるのを防ぐこと
ができる。逆に、真空ポンプの排気口から排出されて、
第１絞り口を通過する気体の気圧が低い場合又はその気
体の通過量が少ない場合には、それに合せて、その第１
絞り口の開口量を、狭めることができる。そして、その
第１絞り口を通過する気体に加わる負荷が小さくなり過
ぎるのを、防ぐことができる。そして、その第１絞り口
を通過させる気体の持つ騒音を十分に低減できなくなる
のを防ぐことができる。

【０００９】本発明の消音器においては、前記調整弁
が、前記第１絞り口を気体の送り出し側から封ずる弁本
体と、該弁本体が第１絞り口から離れる方向に移動した
り第１絞り口方向に移動したり可能に弁本体を支持する
支持手段と、該弁本体を前記第１絞り口方向に移動させ
る付勢力を弁本体に付与する付勢手段とからなることを
好適としている。

【００１０】この消音器にあっては、第１絞り口を通過
する気体の気圧が高い場合又はその気体の通過量が多い
場合には、その第１絞り口を封ずる弁本体であって、支
持手段に移動可能に支持された弁本体を、付勢手段の付
勢力に抗して、第１絞り口から離す方向に移動させるこ
とができる。そして、第１絞り口の開口量を、上記の高
い気圧を持つ気体又は通過量の多い気体に合わせて、自
動的に広げることができる。逆に、第１絞り口を通過す
る気体の気圧が低い場合又はその気体の通過量が少ない
場合には、その第１絞り口を封ずる弁本体であって、支
持手段に移動可能に支持された弁本体を、付勢手段の付
勢力を利用して、第１絞り口に接近させる方向に移動さ
せることができる。そして、第１絞り口の開口量を、上
記の低い気圧を持つ気体又は通過量の少ない気体に合わ
せて、自動的に狭めることができる。

【００１１】また、本発明の消音器においては、前記弁
本体を第１絞り口方向に移動させる付勢手段の付勢力を
強弱に調整する調整手段が備えられた構造とすることを
好適としている。

【００１２】この消音器にあっては、真空ポンプが大型
か又は小型かにより、支持手段に移動可能に支持された
弁本体を第１絞り口方向に移動させる付勢手段の付勢力
を、調整手段により、強弱に調整できる。詳しくは、真
空ポンプが大型の場合には、調整手段により、付勢手段
の付勢力を弱めることができる。逆に、真空ポンプが小
型の場合には、調整手段により、付勢手段の付勢力を強
めることができる。そして、真空ポンプが大型か又は小
型かにより、大量から少量まで大きく異なる第１絞り口
を通過する気体の通過量に合わせて、調整手段により調
整した付勢手段の付勢力に抗して、弁本体を第１絞り口
から離す方向に適宜距離移動させたり、逆に、調整手段
により調整した付勢手段の付勢力を用いて、第１絞り口
方向に適宜距離移動させたりできる。そして、真空ポン
プが大型の場合には、その真空ポンプの排気口から排出
されて、第１絞り口を通過する大量の気体の量に合わせ
て、その第１絞り口の開口量を広げることができる。逆
に、真空ポンプが小型の場合には、その真空ポンプの排
気口から排出されて、第１絞り口を通過する少量の気体
の量に合わせて、その第１絞り口の開口量を狭めること
ができる。

【００１３】また、本発明の消音器においては、前記第
１絞り口の開口部周縁に押接させる弁本体の表面に、衝
撃吸収体が被着された構造とすることを好適としてい
る。

【００１４】この消音器にあっては、支持手段に移動可
能に支持された弁本体を、付勢手段の付勢力を用いて、
第１絞り口方向に移動させた場合に、その第１絞り口の
開口部周縁に衝突する際の弁本体の衝撃力を、弁本体の
表面に被着された衝撃吸収体により、吸収できる。そし
て、その弁本体が第１絞り口の開口部周縁に衝突した際
の騒音公害の元となる衝撃音を低減させることができ
る。

【００１５】また、本発明の消音器においては、前記大
部屋に真空ポンプから排出される気体に含まれる塵埃を
除去するフィルタが交換可能に収容された構造とするこ
とを好適としている。

【００１６】この消音器にあっては、大部屋を通過する
気体に含まれる塵埃を、その大部屋に収容されたフィル
タを通過させて、そのフィルタにより除去できる。ま
た、そのフィルタが塵埃により詰まった状態となった場
合には、そのフィルタを新しいフィルタに交換できる。

【００１７】また、本発明の消音器においては、前記真
空ポンプの排気口が、排気孔と圧力逃がし孔とから形成
されて、その排気孔に第１逆止弁が備えられ、その圧力
逃がし孔に第２逆止弁が備えられた構造とすることを好
適としている。

【００１８】この消音器にあっては、第１逆止弁を押し
退けて真空ポンプの排気孔から排出される気体や、第２
逆止弁を押し退けて真空ポンプの圧力逃がし孔から排出
される気体を、消音器の最前段の大部屋に共に流入させ
ることができる。次いで、その気体を、その最前段の大
部屋に連なる第１絞り口、１つ以上の大部屋及び第２絞
り口を通して、繰り返し負荷を加えながら、その気体の
持つ膨張音や逆流音や第１逆止弁や第２逆止弁の動作音
を低減させて、外気中に排出させることができる。

【００１９】

【発明の実施の形態】図１と図２は本発明の消音器の好
適な実施の形態を示し、図１はその概略構造説明図、図
２はその調整弁部分の拡大構造説明図である。以下に、
この消音器を説明する。

【００２０】図において、１０は、ベーン１６を持つロ
ータリー式の真空ポンプである。真空ポンプ１０には、
気体の排気孔１２が設けられていて、その排気孔１２に
は、第１逆止弁２２が備えられている。加えて、図の真
空ポンプ１０では、真空ポンプ１０内の外気圧以上に圧
縮された気体を外気中に逃がして、真空ポンプ１０の動
力ロスを少なく抑えるための圧力逃がし孔１４が設けら
れていて、その圧力逃がし孔１４には、第２逆止弁２４
が備えられている。この排気孔１２と圧力逃がし孔１４
とは、真空ポンプの気体の排気口を構成している。

【００２１】図の消音器５０は、このような真空ポンプ
１０の上端に搭載されて用いられる。この消音器５０で
は、真空ポンプの排気孔１２から第１逆止弁２２を押し
退けて真空ポンプ１０外部に排出される気体、あるいは
同じ真空ポンプの圧力逃がし孔１４から第２逆止弁２４
を押し退けて真空ポンプ１０外部に排出される気体を、
消音器５０内の同じ大部屋の第１部屋５２に共に流入さ
せることができるように構成されている。次いで、その
気体を、消音器５０内の第１部屋５２に連なる第１絞り
口５４と、大部屋の第２部屋５６と、第２絞り口５８と
を通して、外気中に排出させることができるように構成
されている。そして、その際に、第１絞り口５４と第２
絞り口５８とを通過する気体に負荷を加えて、その気体
の持つ排気音や第１逆止弁２２及び第２逆止弁２４の動
作音を低減させることができるように構成されている。

【００２２】以上の消音器の構成は、従来の消音器と同
様であるが、図の消音器５０では、その第１絞り口５４
の開口量を、第１絞り口５４を通過する気体の気圧又は
その気体の通過量に合せて、広狭に調整する調整弁６０
が備えられている。調整弁６０は、図２に示したよう
に、第１絞り口５４を気体の送り出し側から封ずる弁本
体６２と、該弁本体が第１絞り口５４から離れる方向に
移動したり第１絞り口５４方向に移動したり可能に弁本
体６２を支持する支持手段６４と、該支持手段に移動可
能に支持された弁本体６２を第１絞り口５４方向に移動
させる付勢力を弁本体６２に付与する付勢手段６６とか
ら構成されている。支持手段６４は、第２部屋５６の周
壁からその内側に突設された支持棒６４２から構成され
ていて、その支持棒６４２周囲に弁本体６２が摺動可能
に支持されている。付勢手段６６は、支持棒６４２周囲
に遊嵌された圧縮コイルばね６６２であって、支持棒６
４２中途部に突設されたフランジ６４４内側とそれに対
向する弁本体６２との間に挟持された圧縮コイルばね６
６２から構成されている。

【００２３】図１と図２に示した消音器５０は、以上の
ように構成されていて、この消音器５０においては、真
空ポンプの排気孔１２や圧力逃がし孔１４から排出され
て、第１絞り口５４を通過する気体の気圧又はその気体
の通過量に合わせて、第１部屋５２と第２部屋５６との
間を連通している第１絞り口５４の開口量を、調整弁６
０により広狭に調整できる。具体的には、第１絞り口５
４を通過する気体の気圧の高低又はその気体の通過量の
多少に合せて、支持棒６４２周囲に摺動可能に支持され
た弁本体６２を、圧縮コイルばね６６２の付勢力に抗し
て、第１絞り口５４から離す方向に自動的に移動させた
り、逆に圧縮コイルばね６６２の付勢力を用いて、第１
絞り口５４方向に自動的に移動させたりできる。そし
て、真空ポンプ１０の排気口から排出されて、第１絞り
口５４を通過する気体の気圧が高い場合又はその気体の
通過量が多い場合には、それに合わせて、第１絞り口５
４の開口量を広げて、その第１絞り口５４を通過する気
体に加わる負荷が大きくなり過ぎるのを、防ぐことがで
きる。そして、そのために、消音器５０から真空ポンプ
１０に過度の負荷が加わって、真空ポンプ１０に大きな
動力ロスが生ずるのを防ぐことができる。逆に、真空ポ
ンプ１０の排気口から排出されて、第１絞り口５４を通
過する気体の気圧が低い場合又はその気体の通過量が少
ない場合には、それに合せて、第１絞り口５４の開口量
を狭めて、その第１絞り口５４を通過する気体に加わる
負荷が小さくなり過ぎるのを、防ぐことができる。そし
て、その第１絞り口５４を通過させる気体の持つ膨張音
や逆流音や第１逆止弁２２や第２逆止弁２４の動作音を
十分に低減させることができなくなるのを防ぐことがで
きる。

【００２４】この消音器においては、真空ポンプ１０が
大型か又は小型かにより、弁本体６２を第１絞り口５４
方向に移動させる付勢手段６６の付勢力を強弱に調整す
る調整手段９０を備えると良い。そして、真空ポンプ１
０が大型か又は小型かにより大きく異なる、第１絞り口
５４を通過する気体の通過量に合わせて、支持手段６４
に移動可能に支持された弁本体６２を第１絞り口５４方
向に移動させる付勢手段６６の付勢力を、調整手段９０
により、強弱に調整できるようにすると良い。調整手段
９０は、例えば図２に示したように、ダブルナット機構
を用いて、支持棒６４２中途部のフランジ６４４を弁本
体６２方向に接近させたり弁本体６２から離隔させたり
して、弁本体６２を第１絞り口５４方向に押す圧縮コイ
ルばね６６２の付勢力を強弱に調整できる構造のものと
すると良い。そして、真空ポンプ１０が大型で、第１絞
り口５４を通過する気体の通過量が多い場合には、調整
手段９０により、付勢手段６６の付勢力を弱めて、弁本
体６２と第１絞り口５４との間の隙間を広げることがで
きるようにすると良い。逆に、真空ポンプ１０が小型
で、第１絞り口５４を通過する気体の通過量が少ない場
合には、調整手段９０により、付勢手段６６の付勢力を
強めて、弁本体６２と第１絞り口５４との間の隙間を狭
めることができるようにすると良い。そして、真空ポン
プ１０が大型か又は小型かにより、第１絞り口５２を通
過する大量から少量まで大きく異なる気体の通過量に合
わせて、調整手段９０により調整した付勢手段６６の付
勢力に抗して、弁本体６２を第１絞り口５４から離す方
向に適宜距離移動させたり、逆に、調整手段９０により
調整した付勢手段６６の付勢力を用いて、第１絞り口５
４方向に適宜距離移動させたりできるようにすると良
い。そして、第１絞り口５４の開口量を、上記の大量か
ら少量まで大きく異なる第１絞り口５４を通過する気体
の通過量に合わせて、広狭に的確に調整できるできるよ
うにすると良い。

【００２５】また、第１絞り口５４の開口部周縁に押接
させる弁本体６２の表面には、図２に示したように、フ
ェルト板等の衝撃吸収体７０を被着すると良い。そし
て、支持手段に移動可能に支持された弁本体６２を、付
勢手段６６の付勢力を用いて、第１絞り口５４方向に移
動させた場合に、その第１絞り口５４の開口部周縁に衝
突する際の弁本体６２の衝撃力を、衝撃吸収体７０によ
り、吸収できるようにすると良い。そして、その弁本体
６２が第１絞り口５４の開口部周縁に衝突した際の騒音
公害の元となる衝撃音を低減させることができるように
すると良い。

【００２６】また、大部屋の第１部屋５２等には、図１
に示したように、真空ポンプ１０から排出される気体に
含まれる塵埃を除去するフィルタ８０を交換可能に収容
すると良い。そして、大部屋を通過する気体に含まれる
例えば真空ポンプのカーボンからなるベーン１６から排
出される粉末等の塵埃を、その大部屋に収容されたフィ
ルタ８０を通過させて、そのフィルタ８０により除去で
きるようにすると良い。そして、クリーンな無公害の気
体を、第２絞り口５８から外気中に排出できるようにす
ると良い。また、フィルタ８０が塵埃により詰まった状
態となった場合には、そのフィルタ８０を新しいフィル
タに交換できるようにすると良い。

【００２７】また、消音器５０は、第１部屋５２及び第
２部屋５６に加えて、第３部屋等の大部屋を１つ以上加
えた構造として、それらの大部屋の間を２つ以上の第１
絞り口５４を通して連通させた構造としても良い。そし
て、それらの２つ以上の第１絞り口５４を通過させる気
体に２回以上に亙って負荷を加えることができるように
しても良い。そして、その気体の持つ騒音を大幅に低減
できるようにしても良い。

【００２８】また、真空ポンプ１０から排出される気体
中に含まれる塵埃量が少なくて、その塵埃が公害の元凶
とならない場合には、大部屋に塵埃除去用のフィルタ８
０は、収容せずとも良い。

【００２９】また、真空ポンプ１０に一定の大きさのも
のを用いた場合には、付勢手段６６の付勢力を強弱に調
整する調整手段９０は、不要である。

【００３０】本発明の消音器は、気体の排気口が、排気
孔１２のみであって、圧力逃がし孔１４が備えられてい
ない真空ポンプの消音器にも、利用可能である。その場
合も、その真空ポンプの排気孔１２から排出される気体
の持つ膨張音や逆流音や第１逆止弁１２の動作音を、本
発明の消音器により、容易かつ迅速に低減させることが
できる。また、本発明の消音器は、レシプロ式等の各種
の真空ポンプにも、利用可能である。その場合も、その
レシプロ式等の真空ポンプの排気口から排出される気体
の持つ騒音を、本発明の消音器により、容易かつ的確に
低減させることができる。

【００３１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の消音器に
よれば、種々の運転条件下で運転される真空ポンプや大
型から小型までの真空ポンプの排気口から排出されて、
第１絞り口を通過する気体の気圧又はその気体の通過量
に合わせて、その第１絞り口の開口量を大小に調整でき
る。そして、その第１絞り口を通過する気体に過不足な
く常に適度な負荷を加えて、その真空ポンプから排出さ
れる気体の持つ騒音を、真空ポンプの動力ロスを少なく
抑えながら、効率良く低減させることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の消音器の概略構造説明図である。

【図２】本発明の消音器の調整弁部分の拡大構造説明図
である。

【図３】従来の消音器の概略構造説明図である。

【符号の説明】

１０真空ポンプ１２排気孔１４圧力逃がし孔１６ベーン２２第１逆止弁２４第２逆止弁５０消音器５２第１部屋５４第１絞り口５６第２部屋５８第２絞り口６０調整弁６２弁本体６４支持手段６６付勢手段７０衝撃吸収体８０フィルタ９０調整手段

フロントページの続き (72)発明者小林哲也長野県須坂市大字幸高246番地オリオン機械株式会社内Ｆターム(参考） 3H003 AA05 AC01 BA04 3H029 AA05 AB06 BB21 BB35 BB36 CC13 CC15 CC23 CC25 CC28 CC43

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】真空ポンプの排気口から排出される気体
を、２つ以上の大部屋と該大部屋の間を連通させる第１
絞り口と最後段の前記大部屋を外気中に連通させる第２
絞り口とを順に通過させて、その気体の持つ騒音を低減
させて外気中に排出させる構造の真空ポンプの消音器で
あって、前記第１絞り口の開口量を、第１絞り口を通過する気体
の気圧又はその気体の通過量に合わせて、広狭に調整す
る調整弁が備えられたことを特徴とする真空ポンプの消
音器。
【請求項２】前記調整弁が、前記第１絞り口を気体の
送り出し側から封ずる弁本体と、該弁本体が第１絞り口
から離れる方向に移動したり第１絞り口方向に移動した
り可能に弁本体を支持する支持手段と、該弁本体を前記
第１絞り口方向に移動させる付勢力を弁本体に付与する
付勢手段とからなる請求項１記載の真空ポンプの消音
器。
【請求項３】前記弁本体を第１絞り口方向に移動させ
る付勢手段の付勢力を強弱に調整する調整手段が備えら
れた請求項１又は２記載の真空ポンプの消音器。
【請求項４】前記第１絞り口の開口部周縁に押接させ
る弁本体の表面に、衝撃吸収体が被着された請求項１、
２又は３記載の真空ポンプの消音器。
【請求項５】前記大部屋に真空ポンプから排出される
気体に含まれる塵埃を除去するフィルタが交換可能に収
容された請求項１、２、３又は４記載の真空ポンプの消
音器。
【請求項６】前記真空ポンプの排気口が、排気孔と圧
力逃がし孔とから形成されて、その排気孔に第１逆止弁
が備えられ、その圧力逃がし孔に第２逆止弁が備えられ
た請求項１、２、３、４又は５記載の真空ポンプの消音
器。