KR101608565B1 - Device for transporting flexible substrate, and system for manufacturing display device or electrical circuit - Google Patents

Device for transporting flexible substrate, and system for manufacturing display device or electrical circuit Download PDF

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Abstract

띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판(S)의 반송장치(1)는 기판(S)을 송출하는 공급롤러(5b)와, 기판(S)을 감는 회수롤러(6b)와, 기판(S)의 진행방향에 대해서 교차하는 방향(X, Z)으로 공급롤러(5b) 및 회수롤러(6b)를 구동하는 구동부(8)를 가진다. 공급롤러(5b)는 제1 레일(3)로 안내되고, 회수롤러(6b)는 제2 레일(4)로 안내된다. 레일구동기구(7)는 양롤러(5b,6b)의 사이의 간격을 변경한다. 레일(3, 4)의 사이에 배치되는 처리부(PA)는 수지 또는 스테인리스강 제품의 기판(S)에 성막, 노광, 세정 등의 처리를 한다. 처리부(PA)는 레일(3,4)에 따라서 복수 배치된다. 양롤러(5b,6b)와 함께 레일(3,4)을 따라서 옮겨지는 기판(S)이 복수의 처리부(PA)에서 차례차례 처리됨으로써, 기판(S)상에 유기EL소자가 형성된다.The conveying apparatus 1 of the substrate S formed in a band shape and having flexibility includes a feeding roller 5b for feeding the substrate S, a collecting roller 6b for winding the substrate S, And a driving unit 8 for driving the feeding roller 5b and the collecting roller 6b in the direction (X, Z) intersecting with the traveling direction of the sheet. The feeding roller 5b is guided to the first rail 3 and the collecting roller 6b is guided to the second rail 4. [ The rail drive mechanism 7 changes the distance between the rollers 5b and 6b. The processing portion PA disposed between the rails 3 and 4 performs film forming, exposure, cleaning, and the like on the substrate S of the resin or stainless steel product. A plurality of processing parts PA are arranged along the rails 3, 4. The substrate S transferred along the rails 3 and 4 together with the rollers 5b and 6b is sequentially processed in the plurality of processing parts PA to form the organic EL element on the substrate S. [

Figure R1020137008344
Figure R1020137008344

Description

가요성 기판의 반송장치 및 표시 디바이스 또는 전자회로의 제조 시스템 {DEVICE FOR TRANSPORTING FLEXIBLE SUBSTRATE, AND SYSTEM FOR MANUFACTURING DISPLAY DEVICE OR ELECTRICAL CIRCUIT}BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention [0001] The present invention relates to a flexible substrate transporting device and a display device or a manufacturing system of an electronic circuit.

본 발명은 반송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a transport apparatus.

본원은 2011년 2월 24일에 출원된 미국특허 가출원61/446,150호에 기초하여 우선권을 주장하며, 그 내용을 여기에 원용한다.Priority is claimed on U.S. Provisional Patent Application No. 61 / 446,150, filed February 24, 2011, the content of which is incorporated herein by reference.

디스플레이 장치 등의 표시장치를 구성하는 표시소자로서, 예를 들면 액정표시소자, 유기전계발광(유기EL) 소자가 알려져 있다. 현재, 이들 표시소자에서는 각 화소에 대응하여 기판 표면에 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : TFT)를 형성하는 능동적 소자(액티브 디바이스)가 주류로 되어 오고 있다.As a display element constituting a display device such as a display device, for example, a liquid crystal display element and an organic electroluminescence (organic EL) element are known. At present, active devices (active devices) forming thin film transistors (TFTs) on the surface of a substrate corresponding to each pixel are becoming mainstream in these display elements.

근래에는, 시트 모양의 기판(예를 들면 필름부재 등)상에 표시소자를 형성하는 기술이 제안되고 있다. 이와 같은 기술로서 예를 들면 롤·투·롤 방식(이하, 간단히 「롤 방식」이라고 표기함)으로 불리는 수법이 알려져 있다(예를 들면, 특허문헌 1 참조). 롤 방식은 기판공급 측의 공급용 롤러에 감겨진 1매의 시트 모양의 기판(예를 들면, 띠 모양의 필름부재)을 송출(送出)함과 아울러 송출된 기판을 기판회수 측의 회수용 롤러로 감으면서, 공급용 롤러와 회수용 롤러와의 사이에 설치된 처리장치에 의해 기판에 소망의 가공을 시행해 가는 것이다.In recent years, a technique of forming a display element on a sheet-like substrate (for example, a film member or the like) has been proposed. As such a technique, for example, a technique called a roll-to-roll method (hereinafter simply referred to as "roll method") is known (see, for example, Patent Document 1). In the roll system, a single sheet-like substrate (for example, a strip-shaped film member) wound on a supply roller on a substrate supply side is fed out, And a desired processing is performed on the substrate by a processing device provided between the supply roller and the rotation roller.

기판이 송출되고 나서 감길 때까지 동안, 예를 들면 복수의 반송롤러 등을 이용하여 기판이 반송되고, 복수의 처리장치(유니트)를 이용하여 TFT를 구성하는 게이트 전극, 게이트 절연막, 반도체막, 소스·드레인 전극 등을 형성하고, 기판의 피처리면에 플렉서블·디스플레이용의 표시소자의 구성요소를 차례차례 형성한다. 예를 들면, 유기EL의 소자를 형성하는 경우에는 발광층, 양극, 음극, 전기회로 등을 기판상에 차례차례 형성한다.The substrate is transported by using, for example, a plurality of transport rollers or the like, and the gate electrode, the gate insulating film, the semiconductor film, the source Drain electrodes and the like are formed, and the constituent elements of the display element for flexible display are sequentially formed on the surface of the substrate to be processed. For example, in the case of forming an organic EL element, a light emitting layer, a cathode, a cathode, an electric circuit and the like are sequentially formed on a substrate.

특허문헌 1 : 국제공개 제2006/100868호Patent Document 1: International Publication No. 2006/100868

그렇지만, 상기의 구성에 대해서는, 송출되고 나서 감길 때까지 걸쳐지는 기판의 치수가 길어지기 때문에, 기판의 관리가 곤란하게 되는 경우가 있다.However, with respect to the above-described configuration, since the dimension of the substrate to be stretched until it is wound after being fed becomes long, it may become difficult to manage the substrate.

본 발명의 태양은 반송시에서의 기판의 관리 부담을 저감할 수 있는 반송장치를 제공하는 것을 목적으로 한다.It is an object of the present invention to provide a transport apparatus capable of reducing the management burden on the substrate at the time of transportation.

본 발명의 태양에 따르면, 띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판을 송출하는 공급롤러와, 상기 공급롤러로부터 송출된 기판을 감는 회수롤러와, 공급롤러로부터 회수롤러를 향한 기판의 진행방향에 대해서 교차하는 방향으로 공급롤러와 회수롤러를 구동하는 구동부를 구비하는 반송장치가 제공된다.According to an aspect of the present invention, there is provided an image forming apparatus comprising: a supply roller that is formed in a band shape and that discharges a flexible substrate; a recovery roller that winds the substrate fed out from the supply roller; And a driving unit for driving the feeding roller and the collection roller in an intersecting direction.

본 발명의 태양에 의하면, 반송시에서의 기판의 관리 부담을 저감할 수 있다.According to the embodiment of the present invention, it is possible to reduce the management burden on the substrate at the time of transportation.

도 1은 본 발명의 실시형태에 관한 반송장치의 전체 구성을 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 실시형태에 관한 반송장치의 일부의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 3은 본 실시형태에 관한 반송장치의 동작의 모습을 나타내는 평면도이다.
도 4는 본 실시형태에 관한 반송장치의 동작의 모습을 나타내는 도이다.
도 5는 본 실시형태에 관한 반송장치의 동작의 모습을 나타내는 도이다.
도 6은 본 발명에 관한 반송장치의 다른 예를 나타내는 평면도이다.
도 7은 본 발명에 관한 반송장치의 다른 예를 나타내는 정면도이다.
도 8은 본 발명에 관한 반송장치의 다른 예를 나타내는 도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS Fig. 1 is a perspective view showing the entire configuration of a transfer device according to an embodiment of the present invention. Fig.
2 is a perspective view showing a configuration of a part of the transport apparatus according to the embodiment.
3 is a plan view showing the operation of the transport apparatus according to the embodiment.
4 is a diagram showing the operation of the transport apparatus according to the present embodiment.
5 is a diagram showing the operation of the transport apparatus according to the embodiment.
6 is a plan view showing another example of the carrying apparatus according to the present invention.
7 is a front view showing another example of the carrying apparatus according to the present invention.
8 is a diagram showing another example of the transport apparatus according to the present invention.

이하, 도면을 참조하여, 본 발명의 실시형태를 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

도 1은 본 실시형태에 관한 반송장치(1)의 전체 구성을 나타내는 사시도이다. 도 2는 반송장치(1)의 일부의 구성에 대해서, 도 1과는 다른 시점으로부터 보았을 때 상태를 나타내는 사시도이다.Fig. 1 is a perspective view showing an overall configuration of a transport apparatus 1 according to the present embodiment. Fig. Fig. 2 is a perspective view showing a state of a part of the transport apparatus 1 when viewed from a different point from Fig. 1. Fig.

도 1 및 도 2에 나타내는 바와 같이, 반송장치(1)는 띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판(S)을 반송하는 장치이며, 예를 들면 제조공장의 바닥면(FL)에 마련되어 있다. 반송장치(1)는 기대(基臺)(페데스탈(pedestal))(2), 제1 레일(3), 제2 레일(4), 기판송출기구(5), 기판권취(卷取)기구(6), 레일구동기구(7), 롤러구동부(8) 및 제어장치(CONT)를 가지고 있다.As shown in Figs. 1 and 2, the carrying apparatus 1 is a device for conveying a flexible substrate S formed in a band shape, for example, on the bottom surface FL of a manufacturing factory. The conveying apparatus 1 includes a pedestal 2, a first rail 3, a second rail 4, a substrate feeding mechanism 5, a substrate winding mechanism 6, a rail drive mechanism 7, a roller drive section 8, and a control device CONT.

반송장치(1)는 띠 모양으로 형성되어 가요성을 가지는 기판(S)의 표면에 각종 처리를 실행하는 롤·투·롤 방식(이하, 간단히 「롤 방식」이라고 표기함)의 시스템에 이용된다. 이와 같은 롤 방식의 시스템은 기판(S)상에 예를 들면 유기EL소자, 액정표시소자 등의 표시소자(전자 디바이스)를 형성하는 경우에 이용된다. 물론, 이들 소자 이외(예를 들면, 솔라셀, 컬러필터, 터치패널 등)의 소자를 형성하는 시스템에서 반송장치(1)를 이용해도 상관없다.The transfer apparatus 1 is used in a system of a roll-to-roll system (hereinafter simply referred to as "roll system") in which various processing is performed on the surface of a flexible substrate S . Such a roll-type system is used when a display element (electronic device) such as an organic EL element or a liquid crystal display element is formed on a substrate S, for example. Of course, the transport apparatus 1 may be used in a system for forming elements other than these elements (for example, a solar cell, a color filter, a touch panel, etc.).

이하, 본 실시형태에 관한 반송장치(1)의 구성을 설명할 때, XYZ 직교좌표계를 설정하고, 이 XYZ 직교좌표계를 참조하면서 각 부재의 위치관계에 대해서 설명한다. 다음과 같은 도면에서는, XYZ 직교좌표계 가운데 바닥면(FL)에 평행한 평면을 XY평면으로 하고 있다. XY평면 중 기판(S)이 롤 방식에 의해서 이동하는 방향(길이방향)을 Y방향으로 하고, Y방향에 직교하는 방향을 X방향으로 하고 있다. 또, 바닥면(FL)(XY평면)에 수직인 방향을 Z축방향으로 하고 있다.Hereinafter, when describing the configuration of the transport apparatus 1 according to the present embodiment, the XYZ orthogonal coordinate system is set, and the positional relationship of the respective members is described with reference to this XYZ orthogonal coordinate system. In the following drawings, a plane parallel to the bottom surface FL of the XYZ orthogonal coordinate system is defined as an XY plane. The direction (longitudinal direction) in which the substrate S moves in the roll system in the XY plane is the Y direction, and the direction orthogonal to the Y direction is the X direction. The direction perpendicular to the bottom surface FL (XY plane) is the Z axis direction.

기판처리장치(PA)에서 처리대상이 되는 기판(S)으로서는, 예를 들면 수지필름이나 스테인리스강 등의 박(箔)(호일(foil))을 이용할 수 있다. 예를 들면, 수지필름은 폴리에틸렌 수지, 폴리프로필렌 수지, 폴리에스테르 수지, 에틸렌 비닐 공중합체 수지, 폴리염화비닐 수지, 셀룰로오스 수지, 폴리아미드 수지, 폴리이미드 수지, 폴리카보네이트 수지, 폴리스티렌 수지, 아세트산 비닐 수지, 폴리에틸렌 테레프탈레이트, 폴리에틸렌 나프탈레이트, 스테인리스박 등의 재료를 이용할 수 있다.As the substrate S to be processed in the substrate processing apparatus PA, for example, a foil (foil) such as a resin film or stainless steel can be used. For example, the resin film may be formed of a resin such as polyethylene resin, polypropylene resin, polyester resin, ethylene vinyl copolymer resin, polyvinyl chloride resin, cellulose resin, polyamide resin, polyimide resin, polycarbonate resin, polystyrene resin, , Polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, and stainless steel foil.

기판(S)의 짧은 길이방향의 치수는 예를 들면 50㎝ ~ 2m 정도로 형성되어 있으며, 길이방향의 치수(1롤분의 치수)는 예를 들면 10m 이상으로 형성되어 있다. 물론, 이 치수는 일례에 불과하고, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면 기판(S)의 짧은 길이방향의 치수가 1m 이하 또는 50㎝ 이하라도 상관없고, 2m 이상이라도 상관없다. 본 실시형태에서는, 짧은 길이방향의 치수가 2m를 넘는 기판(S)을 이용하여도 상관없다. 또, 기판(S)의 길이방향의 치수가 10m 이하라도 상관없다.The dimension of the substrate S in the short-length direction is, for example, about 50 cm to 2 m, and the dimension in the longitudinal direction (dimension of one roll) is, for example, 10 m or more. Of course, this dimension is merely an example, and is not limited to this. For example, the size of the substrate S in the short-length direction may be 1 m or less, or 50 cm or less, and may be 2 m or more. In the present embodiment, the substrate S having a dimension in the short-length direction exceeding 2 m may be used. The length of the substrate S in the longitudinal direction may be 10 m or less.

기판(S)은, 예를 들면 1㎜ 이하의 두께를 가지고, 가요성을 가지도록 형성되어 있다. 여기서 가요성이란, 예를 들면 기판에 적어도 자중(自重) 정도의 소정의 힘을 가해도 전단(剪斷)하거나 파단(破斷)하거나 하지 않고, 이 기판을 휘는 것이 가능한 성질을 말한다. 또, 예를 들면 상기 소정의 힘에 의해서 굴곡하는 성질도 가요성에 포함된다. 또, 상기 가요성은 이 기판의 재질, 크기, 두께 또는 온도, 습도 등의 환경 등에 따라 바뀐다. 또한, 기판(S)으로서는 1매의 띠 모양의 기판을 이용해도 상관없지만, 복수의 단위 기판을 접속하여 띠 모양으로 형성되는 구성이라고 해도 상관없다.The substrate S has a thickness of, for example, 1 mm or less and is formed to have flexibility. Here, the flexibility refers to a property capable of bending the substrate without shearing or fracturing, for example, even when a predetermined force of at least its own weight is applied to the substrate. Also, for example, the property of bending by the predetermined force is included in the flexibility. In addition, the flexibility varies depending on the material, size, thickness of the substrate, environment such as temperature, humidity, and the like. Although a single strip-shaped substrate may be used as the substrate S, it may be a structure in which a plurality of unit substrates are connected to form a strip.

기판(S)은 비교적 고온(예를 들면 200℃ 정도)의 열을 받아도 치수가 실질적으로 변함없도록(열변형이 작도록) 열팽창계수가 비교적 작은 것이 바람직하다. 예를 들면, 무기(無機) 필러를 수지필름에 혼합하여 열팽창계수를 작게 할 수 있다. 무기 필러의 예로서는, 산화 티탄, 산화 아연, 알루미나, 산화 규소 등을 들 수 있다.It is preferable that the substrate S has a relatively small coefficient of thermal expansion so that the dimension does not substantially change even if the substrate S receives relatively high temperature (for example, about 200 캜). For example, an inorganic (inorganic) filler can be mixed with a resin film to reduce the thermal expansion coefficient. Examples of the inorganic filler include titanium oxide, zinc oxide, alumina, silicon oxide and the like.

기대(2)는 베이스부(2a), 다리부(2b) 및 지지대(2c)를 가지고 있다. 베이스부(2a)는 바닥면(FL)에 놓여 있다. 다리부(2b)는 베이스부(2a)상에 복수 마련되어 있으며, 지지대(2c)를 지지하고 있다. 지지대(2c)는, 예를 들면 직사각형으로 형성되어 있으며, X방향으로 처리장치(PA)가 장착되는 개구부와, 그 개구부를 사이에 두도록 마련된 3개의 개구부(2d)가 마련되어 있다. 즉, 지지대(2c)에는 X방향을 따라서 3개의 개구부(2d)가 마련되어 있다. 3개의 개구부(2d) 내에는 Y축방향으로 평행하게 연장하는 안내레일(7r)이 마련되어 있다. 안내레일(7r)은 각 개구부(2d)에 대해서 X방향으로 2개 평행하게 나란히 마련되어 있다.The base 2 has a base portion 2a, a leg portion 2b, and a support base 2c. The base portion 2a lies on the bottom surface FL. A plurality of leg portions 2b are provided on the base portion 2a and support the support base 2c. The support base 2c is formed, for example, of a rectangular shape, and has an opening portion in which the processing device PA is mounted in the X direction and three openings 2d provided so that the opening portion is interposed therebetween. That is, the support base 2c is provided with three openings 2d along the X direction. In the three openings 2d, guide rails 7r extending in parallel in the Y-axis direction are provided. The guide rails 7r are provided parallel to each other in the X direction with respect to the respective openings 2d.

제1 레일(3)은 지지대(2c)의 +Y측의 변을 따라서 배치되어 있다. 제1 레일(3)은 3개의 단위레일(3A ~ 3C)로 분할되어 있다. 각 단위레일(3A ~ 3C)은 지지대(2c)의 3개의 개구부(2d)의 각각에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 단위레일(3A ~ 3C)의 X방향의 치수는 각 개구부(2d)의 X방향의 치수에 대응한 값으로 되어 있다.The first rail 3 is disposed along the side of the support base 2c on the + Y side. The first rail 3 is divided into three unit rails 3A to 3C. Each of the unit rails 3A to 3C is disposed at a position corresponding to each of the three openings 2d of the support table 2c. The dimension in the X direction of the unit rails 3A to 3C is a value corresponding to the dimension in the X direction of each opening portion 2d.

제2 레일(4)은 지지대(2c)의 -Y측의 변을 따라서 배치되어 있다. 제2 레일(4)은 3개의 단위레일(4A ~ 4C)로 분할되어 있다. 각 단위레일(4A ~ 4C)은, 상기의 단위레일(3A ~ 3C)과 마찬가지로, 지지대(2c)의 3개의 개구부(2d)의 각각에 대응하는 위치에 배치되어 있다. 단위레일(4A ~ 4C)의 X방향의 치수는 각 개구부(2d)의 X방향의 치수에 대응한 값으로 되어 있으며, 상기의 단위레일(3A ~ 3C)의 X방향의 치수와 동일한 치수로 되어 있다.The second rails 4 are arranged along the side of the -Y side of the support base 2c. The second rail 4 is divided into three unit rails 4A to 4C. Each of the unit rails 4A to 4C is disposed at a position corresponding to each of the three openings 2d of the support base 2c as in the unit rails 3A to 3C. The dimensions of the unit rails 4A to 4C in the X direction correspond to the dimensions of the opening portions 2d in the X direction and are the same as the dimensions of the unit rails 3A to 3C in the X direction have.

제1 레일(3)의 단위레일(3A ~ 3C) 및 제2 레일(4)의 단위레일(4A ~ 4C)은 각 개구부(2d)에 마련되고, 또한 Y방향으로 연장한 안내레일(7r)에 각각 지지되어 있다. 도 1에 나타내는 구성에서는, 단위레일(3A ~ 3C)이 안내레일(7r)의 +Y측 단부에 지지되어 있으며, 단위레일(4A ~ 4C)이 안내레일(7r)의 -Y측 단부에 지지되어 있다.The unit rails 3A to 3C of the first rail 3 and the unit rails 4A to 4C of the second rail 4 are provided in the respective opening portions 2d and the guide rails 7r, Respectively. 1, the unit rails 3A to 3C are supported on the + Y side end portion of the guide rail 7r and the unit rails 4A to 4C are supported on the -Y side end portion of the guide rail 7r .

제1 레일(3)의 단위레일(3A ~ 3C)과, 제2 레일(4)의 단위레일(4A ~ 4C)은 각각 X축방향으로 평행하게 배치되어 있다. 또, 안내레일(7r)이 Y축방향으로 평행하게 연장하고 있기 때문에, 단위레일(3A ~ 3C) 및 단위레일(4A ~ 4C)은 서로 평행한 상태를 유지하면서 안내레일(7r)상을 Y방향으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 이와 같이, 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)은 안내레일(7r)에 의해서 XY평면에 평행한 평면상을 직선 모양으로 이동 가능한 구성으로 되어 있다.The unit rails 3A to 3C of the first rail 3 and the unit rails 4A to 4C of the second rail 4 are arranged in parallel in the X axis direction. Since the guide rails 7r extend in parallel in the Y axis direction, the unit rails 3A to 3C and the unit rails 4A to 4C are held on the guide rails 7r in the Y As shown in FIG. Thus, the first rail 3 and the second rail 4 are configured to be linearly movable on a plane parallel to the XY plane by the guide rails 7r.

기판송출기구(5)는 제1 레일(3)상에 배치되어 있다. 기판송출기구(5)는 롤러지지부(5a) 및 공급롤러(5b)를 가지고 있다. 롤러지지부(5a)는 제1 레일(3)상에 접속되어 있으며, 제1 레일(3)을 따라서 X방향으로 이동(안내) 가능하게 마련되어 있다. 롤러지지부(5a)는 제1 레일(3)을 구성하는 단위레일(3A ~ 3C)에 걸쳐 이동 가능하다.The substrate feeding mechanism 5 is disposed on the first rail 3. The substrate feeding mechanism 5 has a roller supporting portion 5a and a feeding roller 5b. The roller support portion 5a is connected on the first rail 3 and is provided so as to be movable (guided) along the first rail 3 in the X direction. The roller supporting portion 5a is movable across the unit rails 3A to 3C constituting the first rail 3. [

공급롤러(5b)는 롤러지지부(5a)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 공급롤러(5b)는 회전축의 방향이 X방향에 평행한 방향에 일치하도록 지지되어 있다. 공급롤러(5b)에는 기판(S)이 롤 모양으로 감겨져 있다. 공급롤러(5b)가 회전함으로써, 상기 공급롤러(5b)에 감겨진 기판(S)이 -Y방향으로 송출되도록 되어 있다. 공급롤러(5a)는 모터 등에 의해서 회전 가능하다.The feeding roller 5b is rotatably supported by the roller supporting portion 5a. The feeding roller 5b is supported so that the direction of the rotating shaft coincides with the direction parallel to the X direction. On the feeding roller 5b, a substrate S is wound in a roll shape. As the feed roller 5b rotates, the substrate S wound around the feed roller 5b is fed in the -Y direction. The feed roller 5a is rotatable by a motor or the like.

기판권취기구(6)는 제2 레일(4)상에 배치되어 있다. 기판권취기구(6)는 롤러지지부(6a) 및 회수롤러(6b)를 가지고 있다. 롤러지지부(6a)는 제2 레일(4)상에 접속되어 있으며, 제2 레일(4)을 따라서 X방향으로 이동(안내) 가능하게 마련되어 있다. 롤러지지부(6a)는 제2 레일(4)을 구성하는 단위레일(4A ~ 4C)에 걸쳐 이동 가능하다.The substrate winding mechanism 6 is disposed on the second rail 4. The substrate winding mechanism 6 has a roller support portion 6a and a collection roller 6b. The roller supporting portion 6a is connected on the second rail 4 and is provided so as to be movable in the X direction along the second rail 4. [ The roller supporting portion 6a is movable across the unit rails 4A to 4C constituting the second rail 4. [

회수롤러(6b)는 롤러지지부(6a)에 회전 가능하게 지지되어 있다. 회수롤러(6b)는 회전축의 방향이 X방향에 평행한 방향에 일치하도록 지지되어 있다. 회수롤러(6b)에는 기판(S)이 롤 모양으로 감겨져 있다. 회수롤러(6b)가 회전함으로써, 이 회수롤러(6b)에 기판(S)이 감기도록 되어 있다. 회수롤러(6b)는 모터 등에 의해서 회전 가능하다.The collection roller 6b is rotatably supported by the roller support portion 6a. The collection roller 6b is supported so that the direction of the rotation axis coincides with the direction parallel to the X direction. On the collection roller 6b, the substrate S is rolled up. As the collection roller 6b rotates, the substrate S is wound on the collection roller 6b. The collection roller 6b is rotatable by a motor or the like.

레일구동기구(7)는 안내레일(7r)을 따라서 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)을 Y방향으로 이동시킨다. 레일구동기구(7)는 제1 레일(3)을 단위레일(3A ~ 3C)마다 구동 가능함과 아울러, 제2 레일(4)을 단위레일(4A ~ 4C) 마다 구동 가능하다. 제어장치(CONT)는 레일구동기구(7)에 의한 구동량, 구동속도 및 구동의 타이밍 등을 제어 가능하다. 레일구동기구(7)는 안내레일(7r)을 따라서 단위레일(3A)과 단위레일(4A)을 서로 접근하거나 서로 떼어 놓거나 하는 것이 가능하다. 또, 레일구동기구(7)는 안내레일(7r)을 따라서 단위레일(3B)과 단위레일(4B)을 서로 접근하거나 서로 떼어 놓거나 하는 것이 가능하다. 또, 레일구동기구(7)는 안내레일(7r)을 따라서 단위레일(3C)과 단위레일(4C)을 서로 접근하거나 서로 떼어 놓거나 하는 것이 가능하다.The rail drive mechanism 7 moves the first rail 3 and the second rail 4 along the guide rail 7r in the Y direction. The rail drive mechanism 7 can drive the first rails 3 for each of the unit rails 3A to 3C and can drive the second rails 4 for each of the unit rails 4A to 4C. The control device CONT is capable of controlling the amount of driving, the driving speed and the timing of driving by the rail driving mechanism 7. [ The rail drive mechanism 7 can move the unit rail 3A and the unit rail 4A toward or away from each other along the guide rail 7r. The rail drive mechanism 7 can move the unit rail 3B and the unit rail 4B toward or away from each other along the guide rail 7r. The rail drive mechanism 7 can move the unit rail 3C and the unit rail 4C toward or away from each other along the guide rail 7r.

롤러구동부(8)는 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)를 가지고 있다. 제1 구동부(83)는 롤러지지부(5a)를 제1 레일(3)을 따라서 X방향으로 이동시킴과 아울러, 공급롤러(5b)를 회전시킨다. 제2 구동부(84)는 롤러지지부(6a)를 제2 레일(4)에 따라서 X방향으로 이동시킴과 아울러, 회수롤러(6b)를 회전시킨다. 제어장치(CONT)는 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)를 개별적으로 혹은 동기시켜 제어할 수 있도록 되어 있다. 또, 제어장치(CONT)는 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)에서의 구동량, 구동속도, 구동의 타이밍 등을 제어 가능하다.The roller driving unit 8 has a first driving unit 83 and a second driving unit 84. The first driving part 83 moves the roller supporting part 5a along the first rail 3 in the X direction and rotates the feeding roller 5b. The second driving portion 84 moves the roller supporting portion 6a in the X direction along the second rail 4 and rotates the collecting roller 6b. The control device CONT can control the first driving section 83 and the second driving section 84 individually or in synchronization. Further, the control device CONT can control the amount of driving, the driving speed, the timing of driving, and the like in the first driving portion 83 and the second driving portion 84.

다음으로, 도 3 등을 참조하여, 상기와 같이 구성된 반송장치(1)의 동작을 설명한다. 도 3은 반송장치(1)의 동작을 나타내는 평면도이다.Next, with reference to Fig. 3 and others, the operation of the transport apparatus 1 configured as described above will be described. Fig. 3 is a plan view showing the operation of the transport apparatus 1. Fig.

우선, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에 기판(S)을 걸쳐서 동작을 행하는 경우에 대해서 설명한다.First, a description will be given of a case where the operation is carried out with the substrate S between the supply roller 5b and the collection roller 6b.

이 경우, 제어장치(CONT)는 기판송출기구(5)를 제1 레일(3)의 단위레일(3A)상에 배치시킴과 아울러, 기판권취기구(6)를 제2 레일(4)의 단위레일(4A)상에 배치시킨다. 이 동작에 의해, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)가 Y방향으로 대향하도록, 또한, 평행하게 배치된다.In this case, the control device CONT controls the substrate feeding mechanism 5 on the unit rails 3A of the first rails 3 and the substrate winding mechanism 6 on the unit of the second rails 4 And placed on the rail 4A. By this operation, the feeding roller 5b and the collecting roller 6b are arranged so as to be opposed to each other in the Y direction and in parallel to each other.

다음으로, 공급롤러(5b)에 롤 모양으로 감겨진 기판(S)을 장착한다. 기판(S)의 선단(Sf)에는, 예를 들면 도 3에 나타내는 구성에서는 리더(Lf)가 장착되어 있지만, 이 리더(Lf)가 생략된 구성이라도 상관없다. 공급롤러(5b)에 롤 모양의 기판(S)을 장착한 후, 제어장치(CONT)는 제2 레일(4)의 단위레일(4A)을 +Y방향으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)가 가까워진다.Next, the substrate S wound in a roll shape is mounted on the feed roller 5b. In the configuration shown in Fig. 3, for example, the reader Lf is attached to the front end Sf of the substrate S, but the reader Lf may be omitted. After the roll-shaped substrate S is mounted on the feed roller 5b, the control unit CONT moves the unit rail 4A of the second rail 4 in the + Y direction. By this operation, the supply roller 5b and the collection roller 6b are brought close to each other.

제어장치(CONT)는 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 거리가 제1 거리(D1)가 되었을 경우, 제1 구동부(83)에 의해서 공급롤러(5b)를 회전시킨다. 이 동작에 의해, 기판(S)의 선단(Sf)이 회수롤러(6b) 측으로 송출되며, 기판(S)의 선단(Sf)이 회수롤러(6b)에 도달하여 이 회수롤러(6b)에 감겨진다. 또한, 기판(S)의 선단(Sf)을 회수롤러(6b)에 감는 조작은 자동화되어 있어도 되지만, 사람의 손에 의해서, 선단(Sf)을 회수롤러(6b)에 고정 테이프 등을 이용하여 부착하여도 된다.The controller CONT rotates the feed roller 5b by the first drive unit 83 when the distance between the feed roller 5b and the take-up roller 6b reaches the first distance D1. This operation causes the leading end Sf of the substrate S to be fed to the collecting roller 6b side so that the leading end Sf of the substrate S reaches the collecting roller 6b and is wound on the collecting roller 6b Loses. The operation of winding the leading end Sf of the substrate S around the collecting roller 6b may be automated, but the tip Sf may be attached to the collecting roller 6b by a human hand using a fixing tape or the like .

제어장치(CONT)는 기판(S)의 선단(Sf)이 회수롤러(6b)에 걸려진 후, 공급롤러(5b)를 회전시킴과 아울러, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 거리가 제2 거리(기판권취기구(6)가 원래의 위치에 도달하는 거리)까지 단위레일(4A)을 -Y방향으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 기판(S)의 선단(Sf)이 회수롤러(6b)에 걸린 상태에서 -Y방향으로 인출(引出)된다.The control unit CONT controls the rotation of the feed roller 5b after the leading end Sf of the substrate S is caught by the collecting roller 6b and the distance between the feed roller 5b and the collecting roller 6b The unit rail 4A is moved in the -Y direction to the second distance (the distance at which the substrate winding mechanism 6 reaches the original position). With this operation, the leading end Sf of the substrate S is pulled out in the -Y direction in a state where it is caught by the collection roller 6b.

기판권취기구(6)가 원래의 위치에 도달한 후, 제어장치(CONT)는 상기 기판권취기구(6)의 이동을 정지시킨다. 그 후, 제어장치(CONT)는, 도 4에 나타내는 바와 같이, 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)에 의해서 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)를 동기시켜, 각각 단위레일(3B)상 및 단위레일(4B)상으로 이동시킨다. 또한, 이 동작에 앞서, 단위레일(3B)과 단위레일(4B)과의 사이에 처리장치(PA)를 배치시켜 둔다. 이 때, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에 걸쳐서 기판(S)이 Y방향으로 적당한 텐션이 주어져 평탄하게 펴지도록 기판송출기구(5)와 기판권취기구(6)를 제어한다.After the substrate winding mechanism 6 reaches the original position, the control device CONT stops the movement of the substrate winding mechanism 6. Thereafter, as shown in Fig. 4, the control device CONT synchronizes the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 by the first driving part 83 and the second driving part 84, The unit rail 3B and the unit rail 4B. Prior to this operation, the processing apparatus PA is arranged between the unit rail 3B and the unit rail 4B. At this time, the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 are controlled so that the substrate S is given a proper tension in the Y direction and spreads flatly between the feeding roller 5b and the collecting roller 6b .

이 처리장치(PA)는 기판(S)의 피처리면(Sa)에 대해서 예를 들면 유기EL소자를 형성하기 위한 각종 처리부를 가지고 있다. 이와 같은 처리부로서는, 예를 들면 피처리면(Sa)상에 격벽을 형성하기 위한 격벽형성장치, 유기EL소자를 구동하기 위한 전극을 형성하기 위한 전극형성장치, 발광층을 형성하기 위한 발광층 형성장치 등이 마련된다.This processing apparatus PA has various processing sections for forming, for example, an organic EL element with respect to the target surface Sa of the substrate S. [ Examples of such a processing section include a partition forming apparatus for forming a partition on the surface to be processed Sa, an electrode forming apparatus for forming an electrode for driving the organic EL element, a light emitting layer forming apparatus for forming a light emitting layer, .

보다 구체적으로는, 액적(液滴)도포장치(예를 들면 잉크젯형 도포장치, 스프레이 코트(spray coat)형 도포장치, 그라비어(gravure) 인쇄기 등), 증착(蒸着)장치, 스퍼터링(sputtering) 장치 등의 성막(成膜)장치나, 노광장치, 현상장치, 표면개질장치, 세정장치 등을 들 수 있다. 처리장치(PA)로서 유기EL소자를 형성하기 위한 처리부에 한정되지 않고, 다른 소자를 형성하는 처리부를 가지는 처리장치를 배치시켜도 물론 상관없다.More specifically, a droplet applying device (for example, an ink jet type applying device, a spray coat type applying device, a gravure type printing device, etc.), a deposition device, a sputtering device , An exposure apparatus, a developing apparatus, a surface modifying apparatus, a cleaning apparatus, and the like. The processing apparatus PA is not limited to the processing section for forming the organic EL element, and a processing apparatus having a processing section for forming other elements may be disposed.

제어장치(CONT)는 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)를 각각 단위레일(3B 및 4B)상에 배치시킨 후, 처리장치(PA)의 처리의 타이밍에 맞추어 공급롤러(5b) 및 회수롤러(6b)를 회전시킨다. 이 동작에 의해, 공급롤러(5b)로부터 기판(S)이 화살표 K2와 같이 송출됨과 아울러, 회수롤러(6b)에서 기판(S)이 감기는 상태가 되며, 이 상태에서 처리장치(PA)에 의한 처리가 기판(S)의 피처리면(Sa)에 대해서 행해지게 된다.The control device CONT controls the feed roller 5b in accordance with the timing of the processing of the processing device PA after the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 are disposed on the unit rails 3B and 4B, And the collection roller 6b. By this operation, the substrate S is fed from the feeding roller 5b as shown by the arrow K2 and the substrate S is wound by the collecting roller 6b. In this state, Is performed on the surface S of the substrate S to be processed.

제어장치(CONT)는 처리장치(PA)의 처리속도에 따라서, 공급롤러(5b)로부터 회수롤러(6b)로 이동하는 기판(S)의 이동속도를 조정한다. 예를 들면, 공급롤러(5b)에 감겨진 기판(S)의 감김지름(R1)과, 회수롤러(6b)에 감겨진 기판(S)의 감김지름(R2)에 따라서, 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)에서의 구동속도를 조정시킨다. 이 동작에 의해, 반송속도가 일정한 기판(S)이 반송되게 된다.The control device CONT adjusts the moving speed of the substrate S moving from the feeding roller 5b to the collecting roller 6b in accordance with the processing speed of the processing device PA. For example, in accordance with the winding diameter R1 of the substrate S wound around the supply roller 5b and the winding diameter R2 of the substrate S wound around the collection roller 6b, the first drive unit 83 ) And the second driving unit 84 are adjusted. By this operation, the substrate S having a constant transporting speed is transported.

제어장치(CONT)는 처리장치(PA)의 처리위치나 Y방향의 치수 등에 따라서, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 거리를 조정해도 상관없다. 이 경우, 제어장치(CONT)는 레일구동기구(7)에 의해서 예를 들면 단위레일(3B) 혹은 단위레일(4B)을 Y방향으로 각각 이동시키도록 한다. 처리장치(PA)에 의해, 표시소자의 구성요소의 일부 혹은 전부가 기판(S)상에 차례차례 형성된다.The control apparatus CONT may adjust the distance between the feed roller 5b and the collection roller 6b in accordance with the processing position of the processing apparatus PA and the dimension in the Y direction. In this case, the control device CONT causes the rail drive mechanism 7 to move, for example, the unit rail 3B or the unit rail 4B in the Y direction. Part or all of the constituent elements of the display element are sequentially formed on the substrate S by the processing device PA.

기판(S)에 대한 처리가 완료한 후, 제어장치(CONT)는 제1 구동부(83) 및 제2 구동부(84)에 의해, 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)를 동기시켜, 각각 단위레일(3C)상 및 단위레일(4C)상으로 이동시킨다. 도 5에 나타내는 바와 같이, 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)가 단위레일(3C)상 및 단위레일(4C)상에 배치된 후, 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)의 이동을 정지시킨다. 이 때, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에 걸쳐진 기판(S)은 휘어지지 않고, 수평으로 펴져 있는 것이 바람직하다.After the processing on the substrate S is completed, the control device CONT synchronizes the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 by the first driving section 83 and the second driving section 84 Respectively, onto the unit rails 3C and onto the unit rails 4C. 5, after the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 are disposed on the unit rails 3C and the unit rails 4C, the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6). At this time, it is preferable that the substrate S extending between the feeding roller 5b and the collecting roller 6b is not warped but spreads horizontally.

제어장치(CONT)는 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)의 이동을 정지시킨 후, 회수롤러(6b)를 회전시키면서 단위레일(4C)을 +Y방향으로 이동시킨다. 이 동작에 의해, 회수롤러(6b)가 기판(S)을 감으면서 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)가 다시 가까워진다.The control device CONT stops the movement of the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 and then moves the unit rail 4C in the + Y direction while rotating the collecting roller 6b. With this operation, the supply roller 5b and the collection roller 6b are brought close again while the collection roller 6b winds the substrate S.

제어장치(CONT)는 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 거리가 제3 거리(D2)가 된 후, 도 5에 나타내는 바와 같이, 제1 구동부(83)에 의해서 공급롤러(5b)를 회전시킨다. 이 경우, 제3 거리(D2)에 대해서는, 예를 들면 상기의 제1 거리(D1)와 동일한 거리로 할 수 있다. 이 동작에 의해, 기판(S)의 후단(Se)이 회수롤러(6b) 측으로 송출되고, 기판(S)의 후단(Se)은 회수롤러(6b)에 도달하여 이 회수롤러(6b)에 감겨진다. 또한, 기판(S)의 후단(Se)에는, 예를 들면 도 5에 나타내는 구성에서는 리더(Le)가 장착되어 있지만, 이 리더(Le)가 생략된 구성이라도 상관없다.The controller CONT controls the feed roller 5b by the first driving portion 83 as shown in Fig. 5 after the distance between the feeding roller 5b and the collecting roller 6b reaches the third distance D2, . In this case, the third distance D2 may be, for example, the same distance as the first distance D1. By this operation, the rear end Se of the substrate S is fed toward the collecting roller 6b, the rear end Se of the substrate S reaches the collecting roller 6b and is wound on the collecting roller 6b Loses. Although the reader Le is attached to the rear end Se of the substrate S in the configuration shown in Fig. 5, for example, the reader Le may be omitted.

제어장치(CONT)는 기판(S)의 후단(Se)이 회수롤러(6b)에 걸린 후, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 거리가 제2 거리(기판권취기구(6)가 원래의 위치에 도달하는 거리)까지 단위레일(4C)을 -Y방향으로 이동시킨다. 기판권취기구(6)가 원래의 위치에 돌아온 후, 회수롤러(6b)에 감겨진 롤 모양의 기판(S)은 다음의 처리장치로 이동된다. 혹은, 기판(S)에 대해서 모든 처리가 행해지고 있는 경우에는, 상기 회수롤러(6b)로부터 떼어내져 회수된다.The control device CONT is configured such that the rear end Se of the substrate S is caught by the collection roller 6b so that the distance between the supply roller 5b and the collection roller 6b becomes the second distance And moves the unit rail 4C in the -Y direction until the distance reaches the original position. After the substrate winding mechanism 6 returns to its original position, the roll substrate S wound around the collection roller 6b is moved to the next processing apparatus. Alternatively, if all the processing is performed on the substrate S, it is removed from the collection roller 6b and recovered.

이상과 같이, 본 실시형태에 의하면, 기대(2)에 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)이 마련되고, 제1 레일(3)에는 상기 제1 레일(3)상을 이동 가능한 공급롤러(5b)가 마련되어 있으며, 제2 레일(4)에는 상기 제2 레일(4)상을 이동 가능한 회수롤러(6b)가 마련되어 있고, 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)은 레일구동기구(7)에 의해서 구동 가능하기 때문에, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에서 기판(S)을 컴팩트하게 반송할 수 있다. 이것에 의해, 송출되고 나서 감길 때까지 걸쳐지는 기판(S)의 치수가 길어지는 것을 억제할 수 있기 때문에, 반송시의 기판(S)의 관리 부담을 저감할 수 있다.As described above, according to the present embodiment, the first rail 3 and the second rail 4 are provided on the base 2, and the first rail 3 can be moved on the first rail 3, And the second rail 4 is provided with a collection roller 6b capable of moving on the second rail 4 and the first and second rails 3 and 4 are provided with a supply roller 5b, The substrate S can be compactly conveyed between the feeding roller 5b and the collecting roller 6b since it can be driven by the rail driving mechanism 7. [ As a result, it is possible to suppress the increase in the dimension of the substrate S that is stretched until it is wound after being fed, so that it is possible to reduce the management burden on the substrate S at the time of transportation.

본 발명의 기술범위는 상기 실시형태에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 취지를 일탈하지 않는 범위에서 적절히 변경을 더할 수 있다.The technical scope of the present invention is not limited to the above-described embodiment, and can be modified as appropriate without departing from the gist of the present invention.

상기 실시형태에서는, 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)이 XY평면에 평행한 방향으로 이동하는 구성을 예로 들어 설명했지만, 이것에 한정되는 것은 아니다. 예를 들면, 제1 레일(3) 및 제2 레일(4)이 Z방향으로 이동 가능한 구성이라고 해도 상관없다.In the above embodiment, the first rail 3 and the second rail 4 are moved in a direction parallel to the XY plane. However, the present invention is not limited to this. For example, the first rail 3 and the second rail 4 may be movable in the Z direction.

도 6은 반송장치(1)의 다른 예를 나타내는 평면도이며, 도 7은 도 6의 반송장치(1)의 예를 나타내는 측면도이다.Fig. 6 is a plan view showing another example of the transport apparatus 1, and Fig. 7 is a side view showing an example of the transport apparatus 1 in Fig.

도 6 및 도 7에 나타내는 바와 같이, 반송장치(1)의 기대(2)에 상당하는 구성은, 본 예에서는, 4개의 지지대(20A ~ 20D)를 가지는 구성으로 되어 있다. 지지대(20A)에는 단위레일(3A 및 4A)이 배치되어 있다. 단위레일(3A)과 단위레일(4A)과의 사이에 제1 처리장치(PA1)가 접속되도록 되어 있다.As shown in Figs. 6 and 7, the structure corresponding to the base 2 of the transfer apparatus 1 has four support rods 20A to 20D in this example. The unit rails 3A and 4A are disposed on the support table 20A. The first processing apparatus PA1 is connected between the unit rail 3A and the unit rail 4A.

지지대(20B)에는 단위레일(3B) 및 단위레일(4B)이 배치되어 있다. 지지대(20B)는 지지대(20A), 지지대(20C) 및 지지대(20D)와는 분리되어 있다. 지지대(20B)는 승강기구(9)에 의해서 Z방향으로 단독으로 이동 가능하게 마련되어 있다. 승강기구(9)는 지지기둥(9a), 안내기둥(9b) 및 액츄에이터(9c)를 가지고 있다. 액츄에이터(9c)의 구동에 의해, 지지대(20B)는 지지기둥(9a)에 지지된 상태에서, 안내기둥(9b)을 따라서 Z방향으로 이동하도록 되어 있다. 액츄에이터(9c)의 구동량, 구동속도 및 구동의 타이밍에 대해서는, 예를 들면 제2 제어장치(CONT2)에 의해서 제어 가능하게 되어 있다. 또한, 제어장치(CONT)에서 모아서 행하게 해도 상관없다.The unit rail 3B and the unit rail 4B are disposed on the support base 20B. The support base 20B is separated from the support base 20A, the support base 20C and the support base 20D. The support base 20B is provided so as to be movable independently in the Z direction by the elevating mechanism 9. [ The elevating mechanism 9 has a supporting column 9a, a guide column 9b and an actuator 9c. The support base 20B is moved in the Z direction along the guide pillar 9b while being supported by the support pillar 9a by driving of the actuator 9c. The driving amount of the actuator 9c, the driving speed, and the timing of the driving can be controlled by, for example, the second control device CONT2. Alternatively, they may be collected by the control device CONT.

지지대(20C) 및 지지대(20D)는 Z방향으로 나란히 배치되어 있다. 지지대(20C)는 +Z측, 지지대(20D)는 -Z측에 각각 마련되어 있다. 지지대(20C)에는 단위레일(3C 및 4C)이 마련되어 있다. 이 단위레일(3C)과 단위레일(4C)과의 사이에는 제2 처리장치(PA2)가 접속 가능하다. 제2 처리장치(PA2)에서는, 예를 들면 제1 처리장치(PA1)의 후속 공정처리가 행해진다.The support table 20C and the support table 20D are arranged side by side in the Z direction. The support table 20C is provided on the + Z side, and the support table 20D is provided on the -Z side. The support rods 20C are provided with unit rails 3C and 4C. A second processing unit PA2 can be connected between the unit rail 3C and the unit rail 4C. In the second processing apparatus PA2, for example, subsequent processing of the first processing apparatus PA1 is performed.

지지대(20D)에는 단위레일(3D 및 4D)이 마련되어 있다. 이 단위레일(3D)과 단위레일(4D)과의 사이에는, 제3 처리장치(PA3)가 접속 가능하다. 제3 처리장치(PA3)에서는 제2 처리장치(PA2)와 동일한 처리(여기에서는, 제1 처리장치(PA1)의 후속 공정처리)가 행해진다.The support rods 20D are provided with unit rails 3D and 4D. A third processing apparatus PA3 is connectable between the unit rail 3D and the unit rail 4D. In the third processing apparatus PA3, the same processing as that of the second processing apparatus PA2 (here, the subsequent processing process of the first processing apparatus PA1) is performed.

또한, 도 6 및 도 7에서 나타내는 실시형태에서는, 제2 처리장치(PA2) 및 제3 처리장치(PA3)에 있어서, 동일한 처리(제1 처리장치(PA1)의 후속 공정처리)가 행해지는 예로 들어 설명하지만, 이것에 한정되지 않는다. 예를 들면, 제2 처리장치(PA2) 및 제3 처리장치(PA3)에서는 각각 다른 처리가 행해지는 구성으로 해도 상관없다.6 and 7 show an example in which the same processing (subsequent processing of the first processing device PA1) is performed in the second processing device PA2 and the third processing device PA3 It is explained, but it is not limited to this. For example, the second processing device PA2 and the third processing device PA3 may be configured to perform different processes.

또한, 제2 처리장치(PA2)와 제3 처리장치(PA3)를 구성상은 완전히 동일한 장치로 하고, 장치에 의해서 처리조건(온도나 습도, 처리시간, 기판의 전송속도, 텐션량 등)을 다르게 하여 설정하는 구성이라고 해도 상관없다.The second processing apparatus PA2 and the third processing apparatus PA3 may be configured to be completely identical to each other in terms of their constitution and the processing conditions (temperature, humidity, processing time, substrate transfer speed, tension amount, etc.) It is also possible to adopt a configuration in which the setting is performed.

지지대(20B)는 승강기구(9)에 의해서 각각 지지대(20C) 및 지지대(20D)와 동일한 Z위치에 이동 가능하게 마련되어 있다. 지지대(20B)와 지지대(20C)가 동일한 Z위치에 배치되었을 경우에는, 단위레일(3B 및 4B)과, 단위레일(3C 및 4C)이 접속 가능하게 된다. 이 경우, 제어장치(CONT)는 단위레일(3B)과 단위레일(4B)과의 거리를 단위레일(3C)과 단위레일(4C)과의 거리에 동일하게 되도록 조정시킨다.The support base 20B is provided by the elevating mechanism 9 so as to be movable in the same Z position as the support base 20C and the support base 20D, respectively. The unit rails 3B and 4B and the unit rails 3C and 4C can be connected when the support base 20B and the support base 20C are disposed at the same Z position. In this case, the control device CONT adjusts the distance between the unit rail 3B and the unit rail 4B to be equal to the distance between the unit rail 3C and the unit rail 4C.

마찬가지로, 지지대(20B)와 지지대(20D)가 동일한 Z위치에 배치되었을 경우에는, 단위레일(3B 및 4B)과, 단위레일(3D 및 4D)이 접속 가능하게 된다. 이 경우, 제어장치(CONT)는 단위레일(3B)과 단위레일(4B)과의 거리를 단위레일(3D)과 단위레일(4D)과의 거리에 동일하게 되도록 조정시킨다.Similarly, when the support base 20B and the support base 20D are disposed at the same Z position, the unit rails 3B and 4B can be connected to the unit rails 3D and 4D. In this case, the control device CONT adjusts the distance between the unit rail 3B and the unit rail 4B to be equal to the distance between the unit rail 3D and the unit rail 4D.

이와 같은 구성에 관한 반송장치(1)를 작동시키는 경우, 상기 실시형태와 마찬가지로, 제1 레일(3)에는 기판송출기구(5)를 배치시키고, 제2 레일(4)에는 기판권취기구(6)를 배치시키며, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에 기판(S)을 걸쳐서 이 2개의 롤러 사이에 기판(S)을 반송시킨다.In the case of operating the conveying apparatus 1 having such a configuration, the substrate feeding mechanism 5 is disposed on the first rail 3 and the substrate winding mechanism 6 And the substrate S is conveyed between the two rollers across the substrate S between the feeding roller 5b and the collecting roller 6b.

이 경우, 지지대(20B)가 지지대(20C) 및 지지대(20D)의 양쪽에 선택적으로 액세스 가능한 구성이기 때문에, 제1 처리장치(PA1)를 거친 기판(S)이 제2 처리장치(PA2)와 제3 처리장치(PA3)에 교호(交互)로 이동하도록 기판(S)의 이동장소를 설정할 수 있다. 이것에 의해, 예를 들면 제2 처리장치(PA2) 및 제3 처리장치(PA3)에서의 기판(S)의 반송속도가 제1 처리장치(PA1)에서의 기판(S)의 반송속도에 비해 늦은 경우, 기판(S)이 제2 처리장치(PA2) 및 제3 처리장치(PA3)의 전에서 처리 대기 상태가 되어 버리는 것을 방지할 수 있다.In this case, since the support table 20B is selectively accessible to both the support table 20C and the support table 20D, the substrate S having passed through the first processing apparatus PA1 can be selectively accessed by the second processing apparatus PA2 It is possible to set the moving position of the substrate S so as to alternately move to the third processing apparatus PA3. As a result, for example, the conveying speed of the substrate S in the second processing apparatus PA2 and the third processing apparatus PA3 is smaller than the conveying speed of the substrate S in the first processing apparatus PA1 In the latter case, it is possible to prevent the substrate S from becoming in the process waiting state before the second processing apparatus PA2 and the third processing apparatus PA3.

또한, 기판송출기구(5) 및 기판권취기구(6)의 각각에 공급롤러(5b), 회수롤러(6b)의 높이를 조절하는 엘리베이터를 마련함으로써, 기판송출기구(5)로부터 기판권취기구(6)에 걸치는 기판(S)의 높이 또는 경사를 조정할 수 있다. 또한, 공급롤러(5b)와 회수롤러(6b)와의 사이에 기판(S)을 걸친 상태를 기판 세트(롤 세트) 로 칭한다.An elevator for adjusting the height of the feeding roller 5b and the collecting roller 6b is provided in each of the substrate feeding mechanism 5 and the substrate winding mechanism 6 so that the substrate feeding mechanism 5 6 can be adjusted by adjusting the height or inclination of the substrate S. The state in which the substrate S is held between the supply roller 5b and the collection roller 6b is referred to as a substrate set (roll set).

이상과 같이, 제1 처리장치(PA1)에서 제1 기판 세트의 기판(S)에 대한 처리가 종료하고, 제1 기판 세트의 회수롤러 및 공급롤러를 지지대(20B)상으로 이동시킨 후, 새로운 처리대상이 되는 제2 기판 세트의 공급롤러 및 회수롤러를 제1 처리장치(PA1)로 반입할 수 있다.As described above, after the processing for the substrate S of the first substrate set in the first processing apparatus PA1 is finished and the collecting roller and the supplying roller of the first substrate set are moved onto the support table 20B, The supply roller and the collection roller of the second substrate set to be processed can be carried into the first processing apparatus PA1.

즉, 제1 기판 세트를 제2 처리장치(PA2) 또는 제3 처리장치(PA3) 중 어느 한쪽으로 반입하는 타이밍과, 제2 기판 세트를 제1 처리장치(PA1)로 반입하는 타이밍을 조정할 수 있기 때문에, 복수의 기판 세트를 차례차례 처리하는 것이 가능하게 된다.That is, the timing at which the first substrate set is brought into one of the second processing apparatus PA2 or the third processing apparatus PA3 and the timing at which the second substrate set is brought into the first processing apparatus PA1 can be adjusted It is possible to sequentially process a plurality of substrate sets.

또, 제2 처리장치(PA2), 제3 처리장치(PA3)의 후에도, 지지대(20B)와 같은 구성을 마련함으로써, 다음의 처리공정의 장치(PA4)에 기판 세트를 반입할 수 있다.Even after the second processing apparatus PA2 and the third processing apparatus PA3, it is possible to bring the substrate set into the apparatus PA4 of the next processing step by providing the same configuration as that of the support table 20B.

또한, 본 실시형태의 구성에서는, 송출기구(5)와 귄취기구(6)와의 사이에 기판(S)을 걸친 상태에서, 기판(S)을 처리장치(PA)(PA1, PA2, PA3) 사이를 X방향으로 이동시킬 수 있다. 이 경우, 각 처리장치(PA)의 일례로서, 도 8과 같이, 상부 유니트(100A)와 하부 유니트(100B)로 분리 가능한 구성으로 하고, Y방향의 텐션이 가해진 상태에서, 기판송출기구(5)와 기판권취기구(6)와의 사이에 걸쳐진 기판(S)이 상부 유니트(100A)와 하부 유니트(100B)의 사이의 공간을 X방향으로 통과할 수 있는 형태로 한다.In the configuration of the present embodiment, the substrate S is held between the processing apparatuses PA1, PA2, and PA3 with the substrate S interposed between the feeding mechanism 5 and the take- Can be moved in the X direction. In this case, as an example of each processing apparatus PA, it is configured to be separable into an upper unit 100A and a lower unit 100B as shown in Fig. 8, and in a state in which tension in the Y direction is applied, And the substrate take-up mechanism 6 can pass through the space between the upper unit 100A and the lower unit 100B in the X direction.

상부 유니트(100A), 하부 유니트(100B)의 기판(S)의 투입구 측과 퇴출구 측에는 기판(S)을 안내하기 위한 롤러(101a, 101b, 102a, 102b)가 마련된다. 각 처리장치(PA)는 상부 유니트(100A)와 하부 유니트(100B) 중 어느 한쪽 또는 양쪽이 도시하지 않은 승강기구에 의해서 필요량만큼 Z방향으로 이동 가능하다. 이와 같은 처리장치(PA)로서는 인쇄기(잉크젯 프린터도 포함함), 플라스마 장치, 증착장치, 노광장치 등을 이용할 수 있다.Rollers 101a, 101b, 102a and 102b for guiding the substrate S are provided on the side of the inlet and outlet of the substrate S of the upper unit 100A and the lower unit 100B. Either or both of the upper unit 100A and the lower unit 100B can be moved in the Z direction by a required amount by an elevating mechanism (not shown). As such a processing apparatus PA, a printing apparatus (including an ink jet printer), a plasma apparatus, a vapor deposition apparatus, an exposure apparatus, and the like can be used.

1 … 반송장치 2 … 기대
3 … 제1 레일 3A ~ 3D … 단위레일
4 … 제2 레일 4A ~ 4 D … 단위레일
5b … 공급롤러 6b … 회수롤러
7 … 레일구동기구 7r … 안내레일
8 … 롤러구동부 9 … 승강기구
9c … 액츄에이터 20A ~ 20D … 지지대
83 … 제1 구동부 84 … 제2 구동부
100A … 상부 유니트 100B …하부 유니트
CONT … 제어장치 CONT2 … 제2 제어장치
D1 … 제1 거리 D2 … 제3 거리
PA(PA1, PA2, PA3) … 처리장치 S … 기판
Sf … 기판(S)의 선단 Se … 기판(S)의 후단One … Conveying device 2 ... Expectation
3 ... First rail 3A to 3D ... Unit rail
4 … The second rails 4A to 4D ... Unit rail
5b ... Feed roller 6b ... Recovery roller
7 ... The rail drive mechanism 7r ... Guide rail
8 … Roller drive part 9 ... Elevator
9c ... The actuators 20A to 20D ... support fixture
83 ... The first driving unit 84 ... The second driver
100A ... The upper unit 100B ... The lower unit
CONT ... Control device CONT2 ... The second control device
D1 ... The first distance D2 ... Third street
PA (PA1, PA2, PA3) ... Processing device S ... Board
Sf ... The tip Se of the substrate S The rear end of the substrate S

Claims (19)

띠 모양으로 형성된 가요성의 기판을 처리장치로 반송하는 반송장치로서,
상기 기판이 감겨진 공급롤러를 유지하고, 상기 처리장치에 상기 공급롤러로부터의 기판을 띠 모양의 방향으로 송출하는 기판송출기구와,
상기 기판을 권취하는 회수롤러를 유지하고, 상기 공급롤러로부터 송출되어 상기 처리장치를 통과한 상기 기판을 회수하는 기판권취기구와,
상기 기판송출기구를, 상기 기판의 이송 방향과 교차하는 교차 방향으로 이동시키는 제1 구동부와,
상기 기판권취기구를 상기 교차 방향으로 이동시키는 제2 구동부와,
상기 기판의 이송 방향에 관하여, 상기 공급롤러와 상기 회수롤러의 간격을 변화시키도록, 상기 기판송출기구와 상기 기판권취기구 중 적어도 한쪽을 이동시키는 제3 구동부를 구비하는 반송장치.A conveying apparatus for conveying a flexible substrate formed in a strip shape to a processing apparatus,
A substrate feeding mechanism for holding a feeding roller wound with the substrate and for feeding the substrate from the feeding roller in a strip-like direction to the processing device,
A substrate winding mechanism for holding a collection roller for winding the substrate and for recovering the substrate that has been fed from the feeding roller and passed through the processing device,
A first driving unit for moving the substrate feeding mechanism in a crossing direction intersecting with a feeding direction of the substrate;
A second driving unit for moving the substrate winding mechanism in the cross direction,
And a third driving section for moving at least one of the substrate feeding mechanism and the substrate winding mechanism so as to change the interval between the feeding roller and the collection roller with respect to the feeding direction of the substrate. 청구항 1에 있어서,
상기 처리장치에 대해서, 상기 기판을 상기 교차 방향으로 이동시킬 때에는, 상기 제1 구동부와 상기 제2 구동부를 동기(同期) 구동하는 반송장치.The method according to claim 1,
Wherein the substrate is moved in the cross direction with respect to the processing apparatus by synchronously driving the first drive section and the second drive section. 청구항 1에 있어서,
기대(基臺)와,
상기 기대에 마련되고, 상기 기판송출기구의 상기 교차 방향으로의 이동을 안내하는 제1 레일과,
상기 기대 중 상기 제1 레일에 대해서 떨어진 위치에 마련되고, 상기 기판권취기구의 상기 교차방향으로의 이동을 안내하는 제2 레일을 구비하는 반송장치.The method according to claim 1,
A base,
A first rail provided on the base and guiding movement of the substrate feeding mechanism in the cross direction,
And a second rail provided at a position spaced apart from the first rail in the expectation and guiding the movement of the substrate winding mechanism in the cross direction. 청구항 3에 있어서,
상기 제3 구동부는, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일 가운데 적어도 한쪽을 구동하여, 상기 기판송출기구와 상기 기판권취기구를 서로 접근 또는 이간시키는 레일 구동부를 구비하는 반송장치.The method of claim 3,
And the third drive unit includes a rail driver that drives at least one of the first rail and the second rail to move the substrate feeding mechanism and the substrate winding mechanism toward or away from each other. 청구항 4에 있어서,
상기 레일 구동부는, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일을 상기 기판의 이송 방향으로 서로 접근 또는 이간하도록 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일 가운데 적어도 한쪽을 안내하는 안내부를 가지는 반송장치.The method of claim 4,
Wherein the rail driving unit has a guide portion for guiding at least one of the first rail and the second rail so that the first rail and the second rail approach or move away from each other in the transport direction of the substrate. 청구항 4에 있어서,
상기 기판송출기구의 상기 공급롤러로부터 상기 기판권취기구의 상기 회수롤러에, 상기 기판의 선단부를 송출하는 경우에, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일과의 사이가 제1 거리가 되도록 상기 레일 구동부를 제어하는 제어부를 가지는 반송장치.The method of claim 4,
Wherein when the leading end portion of the substrate is to be fed from the feeding roller of the substrate feeding mechanism to the collecting roller of the substrate winding mechanism, the first and second rails are spaced apart from each other by a predetermined distance, And a control unit for controlling the conveying unit. 청구항 6에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판의 상기 선단부가 상기 회수롤러에 감긴 후, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일과의 사이가 제2 거리가 되도록 상기 레일 구동부를 제어하는 반송장치.The method of claim 6,
Wherein the control unit controls the rail driving unit such that a distance between the first rail and the second rail becomes a second distance after the leading end of the substrate is wound around the collecting roller. 청구항 6 또는 7에 있어서,
상기 제어부는 상기 회수롤러에 의해서 상기 기판의 후단부까지 감는 경우에, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일과의 사이가 제3 거리가 되도록 상기 레일 구동부를 제어하는 반송장치.The method according to claim 6 or 7,
Wherein the control unit controls the rail driving unit such that a distance between the first rail and the second rail is a third distance when the rear end of the substrate is wound by the collection roller. 청구항 8에 있어서,
상기 제어부는 상기 기판의 상기 후단부가 상기 회수롤러에 감긴 후, 상기 제1 레일과 상기 제2 레일과의 사이가 제2 거리가 되도록 상기 레일 구동부를 제어하는 반송장치.The method of claim 8,
Wherein the controller controls the rail driving unit such that the rear end of the substrate is wound on the collecting roller and then the second distance is a distance between the first rail and the second rail. 청구항 6 또는 7에 있어서,
상기 제어부는, 상기 레일 구동부를 제어하여, 상기 공급롤러와 상기 회수롤러와의 사이에 상기 기판이 걸쳐져 있는 상태에서 상기 기판 가운데 걸쳐진 부분의 길이를 조정하는 반송장치.The method according to claim 6 or 7,
Wherein the control unit controls the rail driving unit to adjust the length of a portion of the substrate that is spread over the substrate in a state where the substrate is sandwiched between the feeding roller and the collection roller. 청구항 4 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 레일 구동부는, 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일을 중력방향을 따라서 안내하는 제2 안내부를 가지는 반송장치.The method according to any one of claims 4 to 7,
Wherein the rail drive unit has a second guide portion for guiding the first rail and the second rail along the gravity direction. 청구항 11에 있어서,
상기 레일 구동부에 의한 상기 제2 안내부를 통한 구동을 제어하는 제2 제어부를 더 구비하고,
상기 제2 제어부는, 상기 기판송출기구로부터 상기 기판권취기구로 이동하는 상기 기판의 이동속도에 따라서, 중력방향을 따라서 설정된 복수의 높이 위치의 사이를 상기 제1 레일 및 상기 제2 레일이 이동하도록, 상기 레일 구동부에 의한 구동량을 조정하는 반송장치.The method of claim 11,
And a second control unit for controlling driving of the rail driving unit through the second guide unit,
The second control unit moves the first rail and the second rail between a plurality of height positions set along the gravity direction in accordance with the moving speed of the substrate moving from the substrate feeding mechanism to the substrate winding mechanism , And adjusts the driving amount by the rail driving unit. 청구항 3 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 레일 및 상기 제2 레일은, 복수의 단위레일로 분할되어 있고,
상기 레일 구동부는, 상기 단위레일마다 구동 가능한 반송장치.The method according to any one of claims 3 to 7,
Wherein the first rail and the second rail are divided into a plurality of unit rails,
And the rail drive unit is driveable for each unit rail. 청구항 3 내지 7 중 어느 한 항에 있어서,
상기 제1 레일과 상기 제2 레일은, 상기 공급롤러로부터 상기 회수롤러를 향하여 반송되는 상기 기판의 상기 이송 방향에 관하여, 상기 처리 장치를 사이에 두고 설치되는 반송장치.The method according to any one of claims 3 to 7,
Wherein the first rail and the second rail are installed with the processing device interposed therebetween in the conveying direction of the substrate conveyed from the feeding roller toward the collection roller. 청구항 14에 있어서,
상기 처리장치는 상기 기판상에 다른 처리를 시행하기 위한 복수의 처리장치를 포함하고,
이 복수의 처리장치는 상기 제1 레일과 상기 제2 레일이 연장하는 상기 교차 방향으로 나란히 배치되는 반송장치.15. The method of claim 14,
Wherein the processing apparatus includes a plurality of processing apparatuses for performing another processing on the substrate,
Wherein the plurality of processing apparatuses are arranged side by side in the intersecting direction in which the first rail and the second rail extend. 청구항 15에 기재한 반송장치와 상기 복수의 처리장치를 바닥상에 설치하여, 상기 기판상에 가요성의 표시 디바이스, 또는 가요성의 전자회로를 형성하는 제조 시스템.The manufacturing system according to claim 15, wherein the transfer device and the plurality of processing devices are provided on a floor to form a flexible display device or a flexible electronic circuit on the substrate. 가요성을 가지는 띠 모양의 기판을, 표시 디바이스 또는 전자 회로를 형성하는 복수의 처리 장치의 각각에 차례로 보내는 제조시스템으로서,
상기 기판이 감겨진 공급롤러를 가지며, 상기 복수의 처리장치 가운데 제1 처리장치를 향해, 상기 공급롤러로부터의 기판을 제1 방향을 따라서 송출하는 기판송출기구와,
상기 기판을 감는 회수롤러를 가지며, 상기 제1 처리장치에서 처리된 상기 기판을 회수하는 기판권취기구와,
상기 기판송출기구를, 상기 제1 방향과 교차한 제2 방향으로 이동시키는 제1 이동기구와,
상기 기판권취기구를, 상기 제2 방향으로 이동시키는 제2 이동기구와,
상기 제1 처리장치로부터 상기 제2 방향으로 떨어져 설치되는 제2 처리장치로 상기 기판을 옮기기 위해, 상기 제1 이동기구와 제2 이동기구를 제어하여, 상기 기판송출기구와 상기 기판권취기구를 함께 상기 제2 방향으로 이동시키는 제어부를 구비하는 제조시스템.A manufacturing system for sequentially sending a band-shaped substrate having flexibility to each of a plurality of processing devices forming a display device or an electronic circuit,
A substrate feeding mechanism having a feeding roller wound with the substrate and feeding a substrate from the feeding roller toward a first processing apparatus among the plurality of processing apparatuses along a first direction,
A substrate winding mechanism having a recovery roller for winding the substrate, for recovering the substrate processed in the first processing apparatus,
A first moving mechanism for moving the substrate feeding mechanism in a second direction intersecting with the first direction;
A second moving mechanism for moving the substrate winding mechanism in the second direction,
The first moving mechanism and the second moving mechanism are controlled so as to move the substrate from the first processing apparatus to the second processing apparatus which is installed in the second direction so as to move the substrate feeding mechanism and the substrate winding mechanism together And a control unit for moving the first substrate in the second direction. 공급롤러에 감겨진 장척의 시트 기판을, 표시 디바이스 또는 전자회로를 형성하기 위한 처리장치에 통과시킨 후, 회수롤러에서 감는 제조시스템으로서,
상기 공급롤러를 구비하며, 상기 표시 디바이스 또는 전자회로를 형성하는 제1 공정용의 제1 처리장치에 상기 시트 기판이 상기 장척 방향으로 반입하도록, 상기 시트 기판을 송출하는 기판공급기구와,
상기 회수롤러를 구비하며, 상기 제1 처리장치로부터 상기 장척 방향으로 반출되는 상기 시트 기판을 상기 회수롤러에서 감아 회수하는 기판회수기구와,
상기 기판공급기구와 상기 기판회수기구를, 상기 시트기판의 장척 방향과 교차하는 폭 방향으로 이동시키기 위한 제1 안내기구와,
상기 기판공급기구와 상기 기판회수기구와의 상기 시트 기판의 장척 방향에 관한 간격을 변화시키도록, 상기 기판공급기구와 상기 기판회수기구 중 적어도 한쪽을 이동시키기 위한 제2 안내기구를 구비하는 제조시스템.1. A production system for winding a long sheet substrate wound on a supply roller through a processing device for forming a display device or an electronic circuit and winding the same on a collection roller,
A substrate feed mechanism for feeding the sheet substrate so that the sheet substrate is carried in the longitudinal direction to the first processing apparatus for the first process which forms the display device or the electronic circuit,
A substrate collecting mechanism provided with the collecting roller and winding the sheet substrate taken out from the first processing apparatus in the longitudinal direction by the collecting roller,
A first guide mechanism for moving the substrate supply mechanism and the substrate recovery mechanism in a width direction crossing the longitudinal direction of the sheet substrate,
And a second guide mechanism for moving at least one of the substrate supply mechanism and the substrate recovery mechanism so as to change an interval in the longitudinal direction of the sheet substrate between the substrate supply mechanism and the substrate recovery mechanism . 공급롤러로부터 장척의 시트 기판을 인출하고, 이 시트 기판상에 표시 디바이스 또는 전자회로를 형성하기 위한 처리를 시행한 후, 회수롤러에서 감는 제조시스템으로서,
상기 시트 기판의 표면측에 위치하는 상부 유닛과, 이면측에 위치하는 하부 유닛으로 분리 가능하게 구성되며, 상기 시트 기판에 소정의 처리를 시행하는 처리장치와,
상기 공급롤러를 구비하며, 상기 시트 기판이 상기 장척 방향에서 상기 처리장치로 반입하도록, 상기 시트기판을 송출하는 기판공급기구와,
상기 회수롤러를 구비하며, 상기 처리장치로부터 상기 장척 방향으로 반출되는 상기 시트 기판을 상기 회수롤러에서 감아 회수하는 기판회수기구와,
상기 시트 기판의 장척 방향과 교차하는 폭 방향으로 상기 기판공급기구를 이동시키기 위한 제1 이동기구와,
상기 시트 기판의 상기 폭 방향으로 상기 기판회수기구를 이동시키기 위한 제2 이동기구와,
상기 시트기판이, 상기 처리장치의 상기 상부유닛과 상기 하부유닛의 분리에 의해서 형성되는 공간을 상기 폭방향으로 통과하도록, 상기 제1 이동기구와 상기 제2 이동기구를 제어하는 제어부를 가지는 제조시스템.

There is provided a manufacturing system for drawing a long sheet substrate from a supply roller, performing a process for forming a display device or an electronic circuit on the sheet substrate,
A processing unit configured to be separable into an upper unit located on a front surface side of the sheet substrate and a lower unit located on a rear surface side,
A substrate feeding mechanism for feeding the sheet substrate so as to bring the sheet substrate into the processing apparatus in the longitudinal direction,
A substrate collecting mechanism provided with the collecting roller for collecting and collecting the sheet substrate taken out from the processing apparatus in the longitudinal direction by the collecting roller,
A first moving mechanism for moving the substrate supply mechanism in a width direction intersecting the longitudinal direction of the sheet substrate,
A second moving mechanism for moving the substrate retrieving mechanism in the width direction of the sheet substrate,
Wherein the sheet substrate has a control unit for controlling the first moving mechanism and the second moving mechanism such that a space formed by the separation of the upper unit and the lower unit of the processing apparatus is passed in the width direction, .

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