KR101434169B1 - 에어블로윙 타입 기판 부상 및 이송 장치 - Google Patents

Abstract

에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 제공한다.
본 발명은, 기판을 부상시켜 일방향으로 이송시키는 장치에 있어서, 상기 기판의 이송방향을 따라 배치되는 적어도 하나의 베이스 플레이트 ; 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 상기 기판의 이송방향과 나란하도록 관통형성되는 복수개의 급기라인을 갖추고, 상기 급기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되어 에어가 토출되는 복수개의 노즐공을 갖추어 상기 기판을 부상시키는 에어토출부 ; 서로 인접하는 급기라인 사이에 배치되도록 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 관통형성되는 복수개의 배기라인을 갖추고, 상기 배기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되는 복수개의 배기홀을 갖추어 상기 기판에 부딪힌 에어를 외부로 배출하는 에어배출부 ; 및 상기 복수개의 급기라인과 일대일 대응되어 연통되는 복수개의 에어공급홀을 구비하는 에어블럭을 상기 베이스 플레이트의 하부면에 갖추어 양단이 밀폐된 복수개의 급기라인으로 에어를 공급하는 에어 공급부 ; 를 포함한다.

Description

에어블로윙 타입 기판 부상 및 이송 장치{An apparatus for Moving and Floating the Substrate by Air Blowing Type}

본 발명은 기판을 부상시켜 이송시키는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 하부로부터 상향으로 토출되는 에어에 의해서 박형 기판을 휨변형을 최소화시키면서 일정높이 부상시킴과 동시에 부상된 기판을 일방향으로 이송시켜 후공정으로 공급할 수 있는 에어블로윙 타입 기판 부상 및 이송장치에 관한 것이다.

일반적으로 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display Device), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel), 전계 방출 표시 장치(Field Emission Display Device) 및 발광 표시 장치(Light Emitting Display Device) 등과 같은 플랫 패널 디스플레이를 제조하는 공정에서는 유리소재의 얇은 두께를 갖는 판재(이하 기판이라함.)을 대상으로 하는 다양한 공정이 수행된다.

즉, 상기 기판의 표면에 레지스트액과 같은 약액을 균일하게 도포하는 코팅 공정이나 약액이 도포된 기판을 합착하는 합착 공정이나 기판의 표면에 발생하는 스크래치나 얼룩 등과 같은 결함을 검사하는 검사 공정 등을 수행하게 된다.

대한민국 공개특허공보 10-2011-0077682호에는 이송 스테이지에 로더 암이 유입되도록 이송 스테이지를 복수의 단위 이송 유니트를 배열하여 구성하고, 단위 이송 유니트와 이웃하는 단위이송 유니트 사이에 승하강이 가능한 보조 공기 분사 유니트를 설치하여 로더 암에서 기판의 로딩후 후퇴시 보조 공기 분사 유니트를 상승시켜 기판을 부양하여 이송시키는 기판 이송장치 및 이를 이용한 이송방법이 개시되어 있다.

그러나, 이러한 종래의 장치는 서로 인접하는 이송스테이지 사이에 상하이동가능하도록 보조 공기 유니트를 설치함과 동시에 이송대상물인 기판을 로딩하기 이한 로더 암을 상하 및 전후진 이동가능하게 구비해야만 하기 때문에 전체적인 설치구조가 복잡하고, 얇은 두께의 기판을 자중에 의한 휨변형없이 일방향으로 이송시키는데 곤란한 문제점이 있었다.

또한, 다양한 폭크기를 갖는 기판의 폭변화에 맞추어 설비의 형태를 변경하는데 있어 분리해체 및 재조립이 번거롭고, 이로 인하여 작업생산성을 향상시키는데 한계가 있었다.

이와 더불어 상기 기판을 상승시키기 위해서 상향 토출되어 기판의 하부면에 부딪힌 다음, 양측으로 배풍되는 에어에 의해서 기판의 떨림현상을 유발하고 이로 인하여 기판의 이송공정이 불안정해지는 문제점이 있었다.

본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 상향 토출되는 에어에 의해서 기판의 휨변형 없이 균일하게 일정높이 부상시킬 수 있고, 부상된 기판을 일방향으로 안정적으로 이송시킬 수 있으며, 이송대상물인 기판의 폭크기에 맞추어 분리해체 및 재조립이 간편할 뿐만 아니라 상향 토출되어 기판에 부딪힌 에어를 외부로 배출하는 배풍구조에 의해서 기판 떨림현상을 방지할 수 있는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 제공하고자 한다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명은, 기판을 부상시켜 일방향으로 이송시키는 장치에 있어서, 상기 기판의 이송방향을 따라 배치되는 적어도 하나의 베이스 플레이트 ; 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 상기 기판의 이송방향과 나란하도록 관통형성되는 복수개의 급기라인을 갖추고, 상기 급기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되어 에어가 토출되는 복수개의 노즐공을 갖추어 상기 기판을 부상시키는 에어토출부 ; 서로 인접하는 급기라인 사이에 배치되도록 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 관통형성되는 복수개의 배기라인을 갖추고, 상기 배기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되는 복수개의 배기홀을 갖추어 상기 기판에 부딪힌 에어를 외부로 배출하는 에어배출부 ; 및 상기 복수개의 급기라인과 일대일 대응되어 연통되는 복수개의 에어공급홀을 구비하는 에어블럭을 상기 베이스 플레이트의 하부면에 갖추어 양단이 밀폐된 복수개의 급기라인으로 에어를 공급하는 에어 공급부 ; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 제공한다.

바람직하게, 상기 노즐공은 상기 기판에 부딪히면서 부상력을 발생시키는 에어를 방사방향으로 확산시킬 수 있도록 상부로 갈수록 외경이 커지는 콘단면상으로 구비된다.

바람직하게, 상기 노즐공은 상기 베이스 플레이트의 상부면에 함몰형성되는 연결홈을 매개로 하여 서로 연결된다.

바람직하게, 상기 급기라인과 연통된 노즐공을 통해 상향토출되는 에어에 의해서 부상된 기판을 일방향으로 이송하는 이송부를 포함하고, 상기 이송부는 상기 기판의 좌우양측 하부면과 대응하는 상부면에 흡착홀이 관통형성되고, 상기 흡착홀에 흡입력을 발생시키도록 에어흡입라인과 연결되는 흡착블럭과, 상기 흡착블럭이 조립되는 흡착플레이트를 상부면에 착탈가능하게 조립한 이동플레이트 및 상기 이동플레이트의 하부면에 구비되는 리니어모터의 가이더가 활주이동가능하게 조립되도록 상기 베이스 플레이트의 좌우양측에 나란하게 구비되는 좌우한쌍의 레일을 포함한다.

바람직하게, 상기 베이스 플레이트는 상기 급기라인과 배기라인의 중심을 기준으로 하여 상하 분할되는 상부 베이스 플레이트와 하부 베이스 플레이트로 분할 구성되거나 일체형으로 구비된다.

바람직하게, 상기 배기라인의 양단은 상기 배기홀을 통한 에어흡입이 보다 원활하게 수행할 수 있도록 흡입라인과 연결된다.

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상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

(1) 베이스 플레레이트의 몸체내부에 형성된 급기라인을 따라 구비된 노즐공을 통해 상향 토출되는 에어에 의해서 기판을 휨변형 없이 균일하게 일정높이 부상시키고, 부상된 기판을 일방향으로 이송시킬 수 있기 때문에 기판을 부상시켜 후고정으로 수평이송하는 작업생산성을 향상시킬 수 있다.

(2) 베이스 플레이트의 몸체내부에 급기라인과 더불어 배기라인을 형성하고, 배기라인을 따라 기판으로 상향토출된 에어를 외부로 배출하는 배기홀을 구비함으로써, 기판을 부상시키기 위해서 기판의 하부면에 부딪힌 에어가 기판 좌우양측에 배치된 이송부측으로 배출되는 것을 최소화할 수 있기 때문에 얇은 두께를 갖는 기판의 이송 중 떨림현상을 방지하여 기판의 안정적인 이송을 보장할 수 있다. '

(3) 기판의 폭크기에 맞추어 급기라인과 배기라인을 갖는 복수개의 베이스 플레이트를 분리해체 및 재조립함으로써 이송 대상물인 기판의 폭변화에 맞추어 설비를 탄력적으로 변경할 수 있기 때문에 수요가의 요구에 맞추어 신속하게 대응할 수 있는 효과가 얻어진다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 도시한 전체 구성도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 도시한 평면도이다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 이송방향에서 바라본 정면도이다.
도 4는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치에 채용되는 베이스 플레이트를 도시한 상세도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치를 도시한 것으로서,
(a)는 급기라인을 따라 절단한 종단면도이고,
(b)는 급기라인과 직교하는 방향으로 절단한 종단면도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치에 채용되는 베이스 플레이트에 채용되는 이송부를 도시한 사시도이다.
도 7은 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치에 채용되는 베이스 플레이트의 다른 형태를 도시한 구성도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치 (100)는 도 1 내지 도 6에 도시한 바와 같이, 부상 및 이송대상물인 얇은 두께를 갖는 기판(S)을 상향 토출되는 에어블러윙에 의해서 휨변형없이 부상시킴과 동시에 부상된 기판을 일방향으로 안전하게 수평이송시킬 수 있도록 베이스 플레이트(110), 에어토출부(120), 에어배출부(130), 에어공급부(140)를 포함한다.

상기 베이스 플레이트(110)는 상기 기판(S)의 이송방향을 따라 배치되고, 바닥면으로부터 일정높이 이격되도록 복수개의 지지대(112)를 갖는 대략 사각판상의 판재로 이루어질 수 있다.

이러한 베이스 플레이트(110)는 일정간격을 두고 서로 마주하여 배치되는 이송부(150)사이에 복수개로 배열되며, 그 배열구조는 이송대상물인 기판(S)의 길이 및 폭크기에 따라 다양하게 변경될 수 있다.

상기 에어토출부(120)는 상기 기판(S)을 상기 베이스 플레이트(110)의 상부면으로부터 일정높이 부상시키기 위해서 에어를 일정세기의 압력으로 상향 토출할 수 있도록 복수개의 급기라인(122)과 복수개의 노즐공(124)을 포함한다.

상기 급기라인(122)은 일정두께를 갖는 베이스 플레이트(110)의 몸체 내부에 상기 기판(S)의 이송방향과 나란하도록 길이방향으로 일정길이 길게 관통형성되는 대략 원형단면상의 에어공급통로로 구비될 수 있다.

상기 베이스 플레이트(110)의 양측단으로 노출되는 급기라인(122)의 양단은 이를 통해 에어가 유출되는 것을 방지할 수 있도록 마감부재(123)에 의해서 각각 밀봉처리될 수 있다.

이러한 마감부재(123)는 상기 급기라인(122)의 양단 내주면에 형성된 암나사부와 나사결합되어 조립될 수 있도록 수나사부를 갖는 플러그부재로 이루어질 수 있다.

상기 노즐공(124)은 상기 급기라인(122)과 대략 수직한 연결공(124a)을 매개로 하여 연통되도록 상기 베이스 플레이트(110)의 상부면에 상기 급기라인을 따라 일정간격을 두고 함몰형성됨으로써 에어공급시 상기 기판(S)을 부상시키는 부상력을 발생시킬 수 있도록 상기 급기라인(122)을 통해 공급된 에어가 상향 토출되는 토출구이다.

이러한 노즐공(124)은 상기 기판(S)에 부딪히면서 부상력을 발생시키는 에어를 방사방향으로 확산시킬 수 있도록 상부로 갈수록 외경이 커지는 콘단면상으로 구비되는 것이 바람직하다.

또한, 서로 인접하는 노즐공(124)은 상기 베이스 플레이트(110)의 상부면에 함몰형성되는 연결홈(125)을 매개로 하여 서로 연결되는 것이 바람직하다.

상기 연결홈(125)은 콘단면상의 노즐공(124)을 통한 상향 토출에 기인하는 기판 부상시 후술하는 배기라인(132)의 배기홀(134)을 통한 에어배출과 동시에 상기 베이스 플레이트(110)와 기판사이의 공간에서 기판의 진행방향에 대하여 대략 직교하는 양측방향으로의 에어배기를 유도하는 통로역활을 수행하게 되고, 기판 부상시 양측방향으로 일정하게 배기되는 에어에 의해서 상기 베이스 플레이트와 기판사이에 에어층을 균일하게 유지할 수 있는 것이다.

이와 동시에, 노즐공(124)을 통하여 상향 토출되는 에어에 의해서 일정한 면적에 대한 압력을 가하여 기판을 부상시키는 과정에서 양측방향으로 배기되는 에어흐름이 발생하는 과정에서 상기 연결홈(125)을 따라 배기되는 에어에 의해 토출구인 노즐공(124)의 압력범위가 미치지 못하는 곳에도 공기층을 형성함으로써 기판이 베이스플레이트와 접촉되어 기판 및 베이스 플레이트가 손상되는 것을 방지할 수 있는 것이다.

상기 에어배출부(130)는 상기 기판을 부상시키는 부상력을 발생시키기 위해서 상기 기판의 하부면에 부딪힌 에어를 외부로 안내배출할 수 있도록 복수개의 배기라인(132)과 복수개의 배기홀(134)을 포함한다.

상기 배기라인(132)은 서로 인접하는 급기라인(122)들 사이에 배치되도록 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 상기 급기라인과 나란하게 길이방향으로 일정길이 길게 관통형성되는 대략 원형단면상의 에어배출통로로 구비될 수 있다.

이러한 배기라인(132)의 양단은 상기 베이스 플레이트의 양단에 노출되어 상기 배기공을 통해 유입되는 에어를 상기 베이스 플레이트의 양단으로 배출처리하는 것이다.

상기 배기홀(134)은 상기 배기라인(132)과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성됨으로써 상기 노즐공(124)을 통해 상향 토출되어 상기 기판(S)에 부딪힌 에어를 상기 이송부와 마주하지 않는 베이스 플레이트의 양단을 통해 외부로 배출할 수 있는 것이다.

이에 따라, 상기 기판(S)을 베이스 플레이트로 부터 이격시켜 부상시키기 위해서 기판의 하부면에 부딪힌 에어가 상기 기판의 양측 상부면 테두리를 흡착하여 이송하는 이송부(150)측으로 배출되는 것을 최소화하면서 배기홀과 배기라인을 통하여 상기 베이스 플레이트(110)의 양단으로 배출처리됨으로써 상기 기판과 베이스 플레이트사이에서의 난류현상을 방지할 수 있기 때문에 기판을 부상시켜 이송하는 과정에서 기판(S)의 좌우양측 테두리가 떨리는 교란현상을 방지할 수 있고, 이로 인하여 기판을 이송작업을 보다 안정적으로 수행할 수 있는 것이다.

한편, 상기 급기라인(122)과 배기라인(132)이 서로 나란하게 기판의 이송방향으로 관통형성되는 베이스 플레이트(110)는 일정두께를 갖는 대략 사각판재의 일체형으로 이루어지는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며, 상기 베이스 플레이트(110)는 상기 급기라인(122)과 배기라인(132)의 기계가공을 보다 용이하게 수행할 수 있도록 상기 급기라인과 배기라인의 중심을 기준으로 하여 상하 분할되어 상하 적층조립되는 상부 베이스플레이트(110a)와 하부 베이스 플레이트(110b)로 분할 구성될 수 있다.

또한, 상기 급기라인(122)과 배기라인(132)은 대략 원형단면상으로 관통형성되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며 타원 또는 사각과 같은 다각단면상으로 구비될 수 있다.

그리고, 상기 베이스 플레이트(110)의 양측단에 노출되는 배기라인(132)의 양단에는 상기 배기홀(134)을 통하여 상기 기판을 부상시키도록 상향 토출되어 기판에 부딪힌 에어의 외부배출을 보다 효율적으로 수행하기 위해서 흡입라인과 각각 연결되는 것이 바람직하며, 이러한 흡입라인은 후술하는 이송부(150)의 흡착블럭(152)과 연결되는 흡입라인(152a)과 연동하여 구성할 수 있다.

상기 에어공급부(140)는 상기 베이스 플레이트의 양단에서 마감부재에 의해서 밀폐된 복수개의 급기라인(122)으로 기판부상용 에어를 공급할 수 있도록 에어공급라인(146)과 연결되어 상기 베이스 플레이트(110)의 하부면에 착탈가능하게 조립되는 에어블럭(142)을 포함한다.

이러한 에어블럭(142)은 상기 베이스 플레이트(110)에 형성된 복수개의 급기라인과 대략 수직한 연결공(144a)과 일대일 대응되어 연통되는 복수개의 에어공급홀(144)을 구비한다.

상기 복수개의 에어공급홀(144)이 형성되는 에어블럭(142)은 오링부재(145)를 매개로 하여 상기 베이스 플레이트(110)의 하부면에 밀착되도록 조립되는 것이 바람직한다.

상기 에어블럭(142)는 상기 급기라인을 따라 일정간격을 두고 형성되는 복수개의 노즐공을 통한 에어공급 및 에어토출이 동시에 이루어질 수 있도록 상기 급기라인과 직교하는 방향으로 상기 베이스 플레이트의 하부면에 기판 이송방향으로 일정간격을 두고 함몰형성된 배치홈에 착탈가능하게 조립되는 대략 직육면체상의 블럭구조물이다.

이에 따라, 상기 에어공급라인(146)을 통해 외부로부터 기판 부상용 에어가 상기 베이스 플레이트(110)의 하부면에 조립된 에어블럭의 내부로 공급되면, 상기 에어블럭에 형성된 에어공급홀(144)은 하부측 연결공을 통해 상기 급기라인과 연통되어 있기 때문에, 상기 급기라인(122)을 따라 일정간격을 두고 연통형성된 노즐공(124)을 통하여 에어가 상향토출되고, 상기 베이스 플레이트의 상부에 올려진 기판을 상향 토출되는 에어에 의해서 베이스 플레이트로부터 이격되도록 일정높이 부상시킬 수 있는 것이다.

한편, 상기 베이스 플레이트(110)에 구비된 급기라인(122)과 연통된 노즐공(124)을 통해 상향토출되는 에어에 의해서 부상된 기판(S)을 일방향으로 이송하는 이송부(150)를 포함한다.

이러한 이송부(150)는 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 기판의 좌우양측 하부면과 대응하는 상부면에 흡착홀(151)이 관통형성되고, 상기 흡착홀(151)에 흡입력을 발생시키도록 에어흡입라인(152a)과 연결되는 흡착블럭(152)과, 상기 흡착블럭이 조립되는 흡착플레이트(153)를 상부면에 착탈가능하게 조립한 이동플레이트(154) 및 상기 이동플레이트(154)의 하부면에 구비되는 리니어모터의 가이더(155)가 활주이동가능하게 조립되도록 상기 베이스 플레이트(110)의 좌우양측에 나란하게 구비되는 좌우한쌍의 레일(156)을 포함한다.

이에 따라, 상기 급기라인의 노즐공(124)을 통해 상향 토출된 에어에 의해서 베이스 플레이트로부터 일정높이 부상된 기판(S)은 상기 흡착블럭(152)과 연결된 에어흡입라인(152a)을 통해 흡착홀(151)에 전달되는 에어흡입력에 의해서 하부면 좌우양측 테두리가 흡착고정된다.

이러한 상태에서, 상기 이동플레이트(154)에 구비되는 리니어모터의 가이더가 레일(156)을 따라 일방향으로 활주이동하게 되면, 부상된 기판(S)을 일방향으로 안정적으로 후공정으로 운반이송할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

110 : 베이스 플레이트
112 : 지지대
120 : 에어토출부
122 : 급기라인
123 : 마감부재
124 : 노즐공
125 : 연결홈
130 : 에어배출부
132 : 배기라인
134 : 배기홀
140 : 에어공급부
142 : 에어블럭
144 ; 에어공급홀
146 : 에어공급라인
150 : 이송부
151 : 흡착홀
152 : 흡착블럭
153 : 흡착플레이트
154 : 이동플레이트
155 : 가이더
156 : 레일

Claims (6)

1. 기판을 부상시켜 일방향으로 이송시키는 장치에 있어서,
   상기 기판의 이송방향을 따라 배치되는 적어도 하나의 베이스 플레이트 ;
   상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 상기 기판의 이송방향과 나란하도록 관통형성되는 복수개의 급기라인을 갖추고, 상기 급기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되어 에어가 토출되는 복수개의 노즐공을 갖추어 상기 기판을 부상시키는 에어토출부 ;
   서로 인접하는 급기라인 사이에 배치되도록 상기 베이스 플레이트의 몸체내부에 관통형성되는 복수개의 배기라인을 갖추고, 상기 배기라인과 연통되도록 상기 베이스 플레이트의 상부면에 관통형성되는 복수개의 배기홀을 갖추어 상기 기판에 부딪힌 에어를 외부로 배출하는 에어배출부 ; 및
   상기 복수개의 급기라인과 일대일 대응되어 연통되는 복수개의 에어공급홀을 구비하는 에어블럭을 상기 베이스 플레이트의 하부면에 갖추어 양단이 밀폐된 복수개의 급기라인으로 에어를 공급하는 에어 공급부 ; 를 포함하고,
   상기 노즐공은 상기 베이스 플레이트의 상부면에 함몰형성되는 연결홈을 매개로 하여 서로 연결되는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치.
   
2. 제1항에 있어서,
   상기 노즐공은 상기 기판에 부딪히면서 부상력을 발생시키는 에어를 방사방향으로 확산시킬 수 있도록 상부로 갈수록 외경이 커지는 콘단면상으로 구비되는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치.
3. 삭제
4. 제1항에 있어서,
   상기 급기라인과 연통된 노즐공을 통해 상향토출되는 에어에 의해서 부상된 기판을 일방향으로 이송하는 이송부를 포함하고,
   상기 이송부는 상기 기판의 좌우양측 하부면과 대응하는 상부면에 흡착홀이 관통형성되고, 상기 흡착홀에 흡입력을 발생시키도록 에어흡입라인과 연결되는 흡착블럭과, 상기 흡착블럭이 조립되는 흡착플레이트를 상부면에 착탈가능하게 조립한 이동플레이트 및 상기 이동플레이트의 하부면에 구비되는 리니어모터의 가이더가 활주이동가능하게 조립되도록 상기 베이스 플레이트의 좌우양측에 나란하게 구비되는 좌우한쌍의 레일을 포함하는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치.
5. 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한항에 있어서,
   상기 베이스 플레이트는 상기 급기라인과 배기라인의 중심을 기준으로 하여 상하 분할되는 상부 베이스플레이트와 하부 베이스 플레이트로 분할 구성되거나 일체형으로 구비되는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치.
6. 제1항, 제2항, 제4항 중 어느 한항에 있어서,
   상기 배기라인의 양단은 상기 배기홀을 통한 에어흡입이 보다 원활하게 수행할 수 있도록 흡입라인과 연결되는 것을 특징으로 하는 에어플로팅 타입 기판부상 및 이송장치.
   

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