KR101677016B1

KR101677016B1 - 글래스 및 필름 혼용 표면검사장치

Info

Publication number: KR101677016B1
Application number: KR1020150101847A
Authority: KR
Inventors: 류용덕; 조대기
Original assignee: 디아이티 주식회사
Priority date: 2015-07-17
Filing date: 2015-07-17
Publication date: 2016-11-18

Abstract

글래스와 필름 혼용 표면검사장치를 제공한다.
본 발명은 경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ; 상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함한다.

Description

글래스 및 필름 혼용 표면검사장치{Apparatus for Inspecting together with the Surface of Glass and Film}

본 발명은 필름과 글래스를 혼용하여 표면검사를 수행할 수 있는 장치에 관한 것으로, 더욱 상세히는 유리기판과 같은 경성재질의 검사대상물에 대한 표면검사와 더불어 필름과 같은 연성재질의 검사대상물에 대한 표면검사를 검사대상물의 평탄도를 유지하면서 휨변형없이 안정적으로 수행할 수 있는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에 관한 것이다

일반적으로 LCD 패널의 대형화, 터치 패널 수요 증가와 함께 플렉시블 디스플레이(Flexible display), OLED, 테블릿 PC, LCD, LED 등 전자 제품의 신 성장 산업 본격화에 따라 제조 공정 안정화, 불량률 감소 및 인건비 절감 등에 대한 기업들의 노력이 확대되고 있다.

이에, 고품질의 디스플레이 장치를 제공하기 위해서는 디스플레이 패널로 사용되는 필름, 기판 및 글래스 등과 같은 조립 구성품에 대한 품질이 보장되어야 하며, 이러한 구성품의 품질을 보장하기 위해서는 반드시 검사장치를 이용하여 표면상태, 예를 들면 버블(bubble), 이물질, 크랙(crack), 깨짐(chipping) 등이 발생하였는지의 여부를 검사하게 된다.

한편, 이러한 검사장치에서 기판이나 유리와 같은 검사대상물을 로딩하여 검사하는 경우, 기판이나 유리와 같은 검사대상물은 재질이 딱딱한 경성재질로 이루어져 있기 때문에 검사대상물을 바닥면으로부터 일정높이 이격된 위치에서 수평상태를 안정적으로 수평상태를 유지하면서 표면에 대한 이물검사와 같은 작업을 안정적으로 수행할 수 있었다.

그러나, 필름과 같은 검사대상물은 재질특성상 휨변형이 용이한 연성재재질로 이루어져 있기 때문에 검사대상물을 검사대상에 올려 놓게 되면 자중에 의해서 중앙부가 하부로 볼록하게 휨변형되어 동일한 검사장치에서 검사작업을 수행하기 곤란하였다.

이에 따라, 유리기판과 같이 경성재질로 이루어진 검사대상물을 검사하는 장치와 필름과 같은 연성재질로 이루어진 검사대상물을 검사하는 장치를 각각 설치하여 검사작업을 수행하게 됨으로써 설비유지가 과다하게 소요되고, 장치가 차지하게 되는 공간을 추가로 확보해야만 하는 문제점이 있었다.

(특허문헌 1) KR10-2006-0121418 A

따라서, 본 발명은 전술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 그 목적은 유리기판과 같은 경성재질의 검사대상물에 대한 표면검사와 더불어 필름과 같은 연성재질의 검사대상물에 대한 표면검사를 검사대상물의 평탄도를 유지하면서 휨변형없이 안정적으로 수행할 수 있는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치를 제공하고자 한다.

본 발명에서 이루고자 하는 기술적 과제들은 이상에서 언급한 기술적 과제들로 제한되지 않으며, 언급하지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.

상기한 목적을 달성하기 위한 구체적인 수단으로서 본 발명의 바람직한 실시예는, 경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ; 상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ; 상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치를 제공한다.

바람직하게, 상기 한쌍의 적치대는 좌우한쌍의 제1기어박스에 하단이 연결된 좌우한쌍의 스크류축의 상단과 연결되고, 상기 제1기어박스에 일단이 연결된 좌우한쌍의 제1회전축의 타단과 연결되는 좌우한쌍의 제2기어박스를 포함하고, 상기 좌우한쌍의 제2기어박스에 일단이 연결되는 좌우한쌍의 제2회전축의 마주하는 타단과 연결되는 제3기어박스를 포함하고, 상기 제3기어박스를 통하여 상기 제2회전축을 정방향 또는 역방향으로 회전구동시키는 구동모터를 포함한다.

바람직하게, 상기 적치대의 좌우양측에는 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 검사대상물의 하부면과 접하는 상단에 제1흡착블럭을 갖는 수직바를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수직판과, 상기 좌우한쌍의 수직판을 적치대에 대하여 상하방향으로 이동시켜 상기 수직바의 상하높이를 조절하는 상하작동용 실린더부재를 포함한다.

바람직하게, 상기 적치대의 직상부에는 복수개의 수직대와 수평대로 이루어진 프레임구조물을 포함하고, 상기 프레임구조물의 수평대에 구비되는 결합구를 매개로 조립된 좌우한쌍의 하부수평대를 구비하고, 상기 좌우한쌍의 하부수평대에는 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 하부면과 접하는 선단에 제2흡착블럭을 갖는 수평바를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수평판과, 상기 좌우한쌍의 수평판을 서로 마주하는 방향으로 전후진 왕복작동시키는 전후작동용 실린더부재를 포함한다.

바람직하게, 상기 흡착클램핑판은 상기 흡착패드에 관통형성된 복수개의 관통홀과 연통되는 진공흡착용 장공을 상부면에 형성한 패드판과, 상기 패드판이 선단에 조립되는 흡착판을 포함한다.

바람직하게, 상기 흡착클램핑판은 상기 이동판의 상부면에 구비된 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 제2슬라이더를 하부면에 구비하는 클램핑판을 포함하고, 상기 클램핑판은 상기 이동판에 고정설치된 제2실린더부재의 로드선단과 연결되고, 상기 클램핑판의 선단에는 선단에 밀착패드가 회동가능하게 조립된다.

더욱 바람직하게, 상기 밀착패드는 제1핀부재를 매개로 하여 링크바의 일단과 조립되고 상기 링크바의 타단은 제2핀부재를 매개로 하여 핀브라켓과 연결되고, 상기 핀브라켓은 상기 클램핑판의 하부면에 고정설치된 제3실린더부재의 로드선단과 연결된다.

상기한 바와 같은 본 발명에 의하면 다음과 같은 효과가 있다.

(1) 유리기판과 같이 경성재질로 이루어져 휨변형이 적은 검사대상물에 대한 표면검사와 더불어 필름과 같이 연성재질로 이루어져 휨변형이 많은 검사대상물에 대한 표면검사를 검사대상물의 표면상태를 평탄하게 유지한 상태에서 수행할 수 있도록 하여 검사불량에 의한 신뢰성 저하를 방지하고, 표면검사작업의 정밀도를 높일 수 있다.

(2) 하나의 장비로서 재질특성이 서로 상이한 다양한 소재에 대한 표면 검사작업을 수행할 수 있기 때문에 표면검사작업의 효율성을 높일 수 있고, 수요가의 다양한 요구에 부응하여 만족도를 높일 수 있다.

도 1은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치를 도시한 전체 사시도이다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치의 로딩부를 도시한 전체 구성도이다.
도 3a 와 도 3b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 적치대와 수직판간의 구성을 도시한 사시도이다.
도 4 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 적치대의 결합관계를 도시한 분해 사시도이다.
도 5는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 검사대상물을 로딩하는 상태도이다.
도 6은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치의 이동부와 흡착클램핑부를 도시한 전체 사시도이다.
도 7a 와 도 7b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 이동부와 흡착클램핑부의 분해 사시도이다.
도 8a 와 도 8b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 흡착판의 분해 사시도이다.
도 9a 와 도 9b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 클램핑판의 사시도이다.
도 10a 와 도 10b 는 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치에서 검사대상물을 인장하는 상태도이다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 구조 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.

또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.

덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.

본 발명의 바람직한 실시예에 따른 글래스와 필름 혼용 표면검사장치(100)는 도 1 내지 도 10b에 도시한 바와 같이, 수평상태에서 유리기판과 같이 휨변형이 적은 경성재질의 제1검사대상물과, 필름과 같이 휨변형이 많은 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 혼용하면서 수행할 수 있도록 로딩부(110), 흡착고정부(120) 및 클램핑부(130)를 포함한다.

상기 로딩부(110)는 도 1 내지 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 제1검사대상물 또는 제2검사대상물과 같은 대략 사각판상의 검사대상물을 수평하게 로딩할 수 있도록 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판(111)이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대(112)를 포함한다.

이러한 한쌍의 적치대(112)의 상부면에는 로딩하고자 하는 검사대상물의 길이와 대략 동일한 길이로 이루어지며, 상기 검사대상물의 하부면과 접하는 상단에 표면결함이 발생되지 않도록 고무부재와 같은 접촉부재(111a)를 갖는 적치용 수직판(111)을 검사대상물의 폭방향으로 일정간격을 두고 복수개 구비한다.

상기 한쌍의 적치대(112)는 좌우한쌍의 제1기어박스(113b)에 하단이 연결된 좌우한쌍의 스크류축(113a)의 상단과 연결되고, 상기 제1기어박스(113b)에 일단이 연결된 좌우한쌍의 제1회전축(113c)의 타단과 연결되는 좌우한쌍의 제2기어박스(113d)를 갖추고, 상기 좌우한쌍의 제2기어박스(113d)에 일단이 연결되는 좌우한쌍의 제2회전축(113e)의 마주하는 타단과 연결되는 제3기어박스(113f)를 갖추고, 상기 제3기어박스를 통하여 상기 제2회전축을 정방향 또는 역방향으로 회전구동시키는 구동모터(113g)를 포함한다.

여기서, 상기 제1,2 및 3기어박스는 회전방향을 직각방향으로 전환시킬 수 있도록 베벨기어가 내장된 박스체로 이루어지며, 상기 제1,2 및 3기어박스 및 제1,2회전축과 더불어 구동모터(113g)는 지면으로부터 일정높이 이격된 수평대(113h)상에 설치되는 것이 바람직하다.

이에 따라, 상기 구동모터(113a)의 회전구동에 의해서 제1,2 회전축이 회전구동되면, 상기 제1회전축과 연결된 제1기어박스(113b)에 하단이 결합된 스큐류축(113a)은 상기 적치대(112)와 더불어 적치용 수직판(111)은 상하방향으로 높이를 조절할 수 있는 것이다.

또한, 상기 적치대(112)의 좌우양측에는 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 검사대상물의 하부면과 접하는 상단에 제1흡착블럭(114a)을 갖는 수직바(114b)를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수직판(114c)과, 상기 좌우한쌍의 수직판(114c)을 적치대에 대하여 상하방향으로 이동시켜 상기 수직바의 상하높이를 조절하는 상하작동 실린더부재(114d)를 포함한다.

이에 따라, 진공흡착력이 부여되는 제1흡착블럭에 하부면이 접하는 검사대상물은 상기 상하작동 실린더부재의 하강작동에 의해서 하강되면서 적치용 수직판(111)의 상단에 올려지고, 상기 적치용 수직판(111)상에 올려져 있던 검사대상물은 상기 검사대상물은 상기 상하작동 실린더부재의 상승작동에 의해서 상승되면서 적치용 수직판(111)의 상단으로부터 부터 이격될 수 있는 것이다.

그리고, 상기 적치대(112)의 직상부에는 복수개의 수직대(115a)와 수평대(115b)로 이루어진 프레임구조물(115)을 구비하고, 상기 프레임구조물의 수평대(115b)에 구비되는 결합구(115c)를 매개로 조립된 좌우한쌍의 하부수평대(115d)를 구비하고, 상기 좌우한쌍의 하부수평대(115d)에는 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 하부면과 접하는 선단에 제2흡착블럭(116a)을 갖는 수평바(116b)를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수평판(116c)과, 상기 좌우한쌍의 수평판을 서로 마주하는 방향으로 전후진 왕복작동시키는 전후작동용 실린더부재(116d)를 포함한다.

이에 따라, 미도시된 검사대상물 이송용 장치에 의해서 상기 좌우한쌍의 하부수평대사이로 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 진입되어 배치되면, 상기 전후작동용 실린더부재(116d)의 전진작동에 의해서 상기 좌우한쌍의 수평판(116c)이 전진이동되기 때문에, 진공흡착력이 부여되는 제2흡착블럭(116a)은 검사대상물의 양측 테두리 하부면과 접하여 검사대상물을 흡착고정하게 된다.

이러한 상태에서, 상기 적치대의 좌우양측에 구비된 상하작동 실린더부재(114d)가 상승작동되면, 상기 좌우한쌍의 수직판(114c)은 하강대기상태에서 상승이동되면서 상기 검사대상물의 양측 테두리 하부면에 수직바의 제1흡착블럭(114a)이 접해지기 때문에 진공흡착력이 부여된 제1흡착블럭에 의해서 검사대상물을 흡착고정하게 된다.

이때, 상기 제1흡착블럭(114a)에 진공흡착력이 부여됨과 동시에 상기 제2흡착블럭(116a)에 부여된 진공흡착력은 상실하게 되고, 상기 수평판은 후진복귀된다.

연속하여, 상기 좌우한쌍의 수직판(114c)의 상승작동에 의해서 수직바의 상단에 올려진 검사대상물은 상기 상하작동용 실린더부재의 하강복귀작동에 의해서 하강되면서 상기 적치대의 적치용 수직판(111)에 올려져 수평하게 적치되는 것이다.

상기 이동부(120)는 도 6 내지 도 7a 에 도시한 바와 같이, 상기 적치용 수직판상에 수평하게 올려진 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측테두리를 상기 클램핑부에 의해서 흡착고정한 상태에서 후공정으로 이송하는 것이다.

이러한 이동부(120)는 상기 적치대(112)의 좌우양측에 좌우한쌍으로 배치되는 일정길이의 고정대(121)를 갖추고, 상기 고정대(121)의 레일(121a)에에는 상기 고정대(121)의 길이방향으로 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대(122)를 포함한다.

이에 따라, 상기 왕복대(122)는 미도시된 동력원에 의해서 상기 레일을 따라 이동되면서 상기 로딩부에 로딩되어 배치된 검사대상물을 클램핑부로서 흡착고정한 상태에서 후공정인 표면검사작업을 수행할 수 있도록 수평이동되는 것이다.

상기 왕복대(122)의 상부에는 상기 고정대의 길이방향과 직교하는 방향으로 왕복이동되는 이동판(124)을 구비하는바, 이러한 이동판(124)은 상기 왕복대의 상부면에 구비된 복수개의 제1가이더(122a)에 활주이동가능하게 조립되는 제1슬라이더(124a)를 하부면에 구비하는 대략 사각형상의 판재로 이루어지고, 상기 왕복대(122)와 이동판(124)사이에는 상기 이동판(124)의 하부면과 로드선단이 연결되는 제1실린더부재(123)를 포함한다.

이에 따라, 상기 제1실린더부재의 전후진작동에 의해서 좌우한쌍의 이동판은 왕복대의 이동방향과 직교하는 방향으로 검사대상물측으로 이동되거나 검사대상물로부터 멀어지도록 외측으로 이동되면서 상기 클램핑부에 의해서 상기 검사대상물의 양측 테두리에 대한 흡착클램핑이 가능하도록 상기 클램핑부를 검사대상물측으로 접근시키거나 멀어지도록 이격시키는 것이다.

상기 클램핑부(130)는 도 8 내지 도 10b 에 도시한 바와같이, 상기 이동부에 의한 검사대상물의 이송작업이 가능하도록 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 것으로 이러한 클램핑부(130)는 상기 이동판(124)의 상부면에 구비된 복수개의 제2가이더(124b)에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더(135a)를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드(132)와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 밀착패드(136)를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판(133)을 포함한다.

상기 흡착클램핑판(133)은 상기 흡착패드(132)에 관통형성된 복수개의 관통홀(132)과 연통되는 진공흡착용 장공(132b)을 상부면에 형성한 패드판(132c)과, 상기 패드판이 선단에 조립되는 흡착판(131)을 포함한다.

상기 패드판(132c)에 형성된 진공흡착용 장공(132)은 상기 패드판의 몸체내부에 형성된 흡입라인을 통하여 미도시된 진공흡입라인과 연결됨으로서 상기 진공흡착용 장공과 연통되도록 패드판의 상부면에 탑재되는 흡착패드에 진공흡착력을 부여할 수 있는 것이다.

여기서, 상기 흡착패드(132)와 패드판(132)은 보수유지가 간편하도록 일정간격을 두고 분할되는 것으로 도시하고 설명하였지만 이에 한정되는 것은 아니며 일체형으로 구비될 수 있다.

이에 따라, 상기 이동판(124)의 전진작동에 의해서 상기 흡착클램핑판이 전진이동되면, 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측테두리의 하부면으로 상기 흡착클램핑판의 흡착패드가 진입되어 위치됨에 따라, 상기 흡착패드에 부여되는 진공흡착력에 의해서 검사대상물의 양측테두리 하부면에 흡착패드가 접해짐과 동시에 해당하는 검사대상물을 고정할 수 있는 것이다.

또한, 상기 흡착클램핑판(133)은 상기 이동판의 상부면에 구비된 제2가이더(124b)에 활주이동가능하게 조립되는 제2슬라이더(135a)를 하부면에 구비하는 클램핑판(135)을 포함하고, 상기 클램핑판(135)은 상기 이동판(124)에 고정설치된 제2실린더부재(134)의 로드선단과 연결되고, 상기 클램핑판(135)의 선단에는 선단에 밀착패드(136)가 회동가능하게 조립된다.

이러한 밀착패드(136)는 제1핀부재(136a)을 매개로 하여 링크바(137)의 일단과 조립되고 상기 링크바(137)의 타단은 제2핀부재(137)를 매개로 하여 핀브라켓(138a)과 연결되고, 상기 핀브라켓(138a)은 상기 클램핑판의 하부면에 고정설치된 제3실린더부재(138)의 로드선단과 연결된다.

이에 따라, 상기 링크바(137)와 연결된 밀착패드(136)는 상기 제3실린더부재의 전진 작동시 상기 제1핀부재를 회전중심으로 하여 상방으로 선회되면서 상기 흡착패드로부터 멀어지도록 상방으로 선회되는 반면에 상기 제3실린더부재의 후진작동시에는 상기 제1핀부재를 회전중심으로 하여 하방으로 선회되어 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측테두리 상부면에 접하여 흡착판과 더불어 해당하는 검사대상물을 클램핑하게 되는 것이다.

한편, 상기 흡착판과 밀착패드사이에 개재되어 양측테두리가 개재되어 클램핑된 검사대상물이 연성재질의 필름과 같은 소재로 이루어지는 경우, 검사대상물의 재질특성상 자중방향으로 휨변형이 발생하기 때문에 표면검사작업을 정확하게 수행하기 곤란하게 된다.

이러한 경우, 상기 이동판에 고정되고 상기 클램핑판에 로드선단이 연결된 제2실린더의 후진작동에 의해서 상기 클램핑판이 해당하는 검사대상물로부터 후진되면, 상기 흡착패드와 밀착패드사이에 클램핑된 검사대상물의 양측테두리를 0.5 내지 10㎏f의 인장력으로 외측으로 당길 수 있기 때문에 필를과 같은 검사대상물의 표면을 휨변형이 발생하지 않도록 평탄하게 유지할 수 있고, 이로 인하여 유리기판과 같은 경성재질의 검사대상물에 대한 표면검사와 동일하게 검사작업을 높은 정밀도로 수행할 수 있는 것이다.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능함은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 명백할 것이다.

110 : 로딩부
111 : 적치용 수직판
112 : 적치대
114a : 제1흡착블럭
114b : 수직바
114c : 수직판
115 : 프레임구조물
116a : 제2흡착블럭
116b : 수평바
116c : 수평판
120 : 이동부
121 : 고정대
122 : 왕복대
123 : 제1실린더부재
124 : 이동판
130 : 흡착클램핑판
131 : 흡착판
132 : 흡착패드
133 : 흡착클램핑판
134 : 제2실린더부재
135 : 클램핑판
136 : 밀착패드
137 : 링크바

Claims

경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서,
상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;
상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ;
상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함하고,
상기 한쌍의 적치대는 좌우한쌍의 제1기어박스에 하단이 연결된 좌우한쌍의 스크류축의 상단과 연결되고, 상기 제1기어박스에 일단이 연결된 좌우한쌍의 제1회전축의 타단과 연결되는 좌우한쌍의 제2기어박스를 포함하고, 상기 좌우한쌍의 제2기어박스에 일단이 연결되는 좌우한쌍의 제2회전축의 마주하는 타단과 연결되는 제3기어박스를 포함하고, 상기 제3기어박스를 통하여 상기 제2회전축을 정방향 또는 역방향으로 회전구동시키는 구동모터를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서,
상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;
상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ;
상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함하고,
상기 적치대의 좌우양측에는 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 검사대상물의 하부면과 접하는 상단에 제1흡착블럭을 갖는 수직바를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수직판과, 상기 좌우한쌍의 수직판을 적치대에 대하여 상하방향으로 이동시켜 상기 수직바의 상하높이를 조절하는 상하작동용 실린더부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서,
상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;
상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ;
상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함하고,
상기 적치대의 직상부에는 복수개의 수직대와 수평대로 이루어진 프레임구조물을 포함하고, 상기 프레임구조물의 수평대에 구비되는 결합구를 매개로 조립된 좌우한쌍의 하부수평대를 구비하고, 상기 좌우한쌍의 하부수평대에는 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 하부면과 접하는 선단에 제2흡착블럭을 갖는 수평바를 일정간격을 두고 복수개 구비하는 좌우한쌍의 수평판과, 상기 좌우한쌍의 수평판을 서로 마주하는 방향으로 전후진 왕복작동시키는 전후작동용 실린더부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
경성재질의 제1검사대상물과 연성재질의 제2검사대상물에 대한 표면검사를 선택적으로 수행하는 장치에 있어서,
상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나가 상단에 접하여 올려지도록 복수개의 적치용 수직판이 일정간격을 두고 구비되는 한쌍의 적치대를 갖추어 검사대상물을 로딩하는 로딩부 ;
상기 적치대의 좌우양측에 배치되는 좌우한쌍의 고정대의 레일에 활주이동가능하게 조립되는 좌우한쌍의 왕복대를 갖추고, 상기 왕복대에 구비된 복수개의 제1가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제1슬라이더를 갖는 좌우한쌍의 이동판을 갖추어 상기 왕복대와 직교하는 방향으로 이동판을 왕복이동시키는 이동부 ;
상기 이동판에 구비된 복수개의 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 복수개의 제2슬라이더를 갖추고, 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 하부면에 흡착고정되는 흡착패드와 상기 제1,2검사대상물 중 어느 하나의 양측 테두리의 상부면에 밀착되는 흡착패드를 선단에 구비하는 좌우한쌍의 흡착클램핑판을 갖추어 상기 검사대상물의 양측테두리를 클램핑하여 고정하는 클램핑부를 포함하고,
상기 흡착클램핑판은 상기 이동판의 상부면에 구비된 제2가이더에 활주이동가능하게 조립되는 제2슬라이더를 하부면에 구비하는 클램핑판을 포함하고, 상기 클램핑판은 상기 이동판에 고정설치된 제2실린더부재의 로드선단과 연결되고, 상기 클램핑판의 선단에는 선단에 밀착패드가 회동가능하게 조립되는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
제4항에 있어서,
상기 밀착패드는 제1핀부재를 매개로 하여 링크바의 일단과 조립되고 상기 링크바의 타단은 제2핀부재를 매개로 하여 핀브라켓과 연결되고, 상기 핀브라켓은 상기 클램핑판의 하부면에 고정설치된 제3실린더부재의 로드선단과 연결되는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
제1항 내지 제5항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 흡착클램핑판은 상기 흡착패드에 관통형성된 복수개의 관통홀과 연통되는 진공흡착용 장공을 상부면에 형성한 패드판과, 상기 패드판이 선단에 조립되는 흡착판을 포함하는 것을 특징으로 하는 글래스와 필름 혼용 표면검사장치.
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